JP4672623B2 - 半導体検査方法及び装置 - Google Patents
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Description
図1において、半導体検査装置は、真空チャンバ隔壁113内の薄片の試料103に対向してSEM(走査電子顕微鏡:Scanning Electron Microscope)あるいはFIB(FIB:Focused Ion Beam)などの1次電子ビーム101を当てる。そして、2次電子ビーム102を2次電子検出器104で検出して、制御コンピュータ116を介して表示装置117に半導体の画像を表示する。制御コンピュータ116は、半導体検査装置全体の動作制御を行い、後述するセルカウンターの動作もコンピュータプログラムに従って制御する。
セルカウントする方向とステージの移動方向を求める。詳細は、後述する図7から図9にて示す。
このラスタローテーション設定をセルカウントする前に実施することによって、セルカウントする際、ステージ114を移動しても光学系とステージ114の回転軸の差による誤差がなくなり、セル枠内にセルがより正確に入ることになり、より正確なセルカウントが可能となる。
Claims (8)
- 移動可能なステージ上の半導体に荷電粒子線を照射して得られた試料信号に基づいて、上記半導体に形成された複数のセルを、表示手段に表示して、特定のセルを判別する走査型電子顕微鏡或いは集束イオンビーム装置の機能を有する半導体検査装置を用いた半導体検査方法において、
上記表示手段に表示された半導体に形成された1つのセル毎にそのセルを包囲する枠及び各セルに対応する数値を表示し、
上記半導体の移動開始後、上記半導体の移動速度が一定となるまでの時間であって、上記1つのセル分の移動時間より短い待ち時間の経過後、上記半導体の移動中に、上記表示手段に表示されたセルの移動に追従して、上記ステージの移動による初期の画像と現在の画像との誤差量をイメージシフトで補正して、セルを1次元方向にカウントし、上記セルの移動と同期して上記枠及び数値を表示し、特定のセルを判別することを特徴とする半導体検査方法。 - 請求項1記載の半導体検査方法において、上記ステージを、互いに直交するX軸及びY軸方向に対して、ステージの移動方向を固定して、加速した後、一定速度とし、その後、減速して移動させることを特徴とする半導体検査方法。
- 請求項1記載の半導体検査方法において、上記ステージ移動とイメージシフトとの相殺処理及びバックラッシュ除去処理を上記表示手段への表示画面を静止させた状態で行うことを特徴とする半導体検査方法。
- 請求項3記載の半導体検査方法において、上記表示手段に表示された半導体の画像に対して、輪郭強調処理、2値化処理、及び拡大処理を行った後に、上記相殺処理を行うことを特徴とする半導体検査方法。
- 請求項1記載の半導体検査方法において、電子顕微鏡を用いて上記荷電粒子線をステージ上の半導体に照射し、上記電子顕微鏡の軸とステージの回転軸とのずれ補正を、検査条件毎に行なうことを特徴とする半導体検査方法。
- 請求項1記載の半導体検査方法において、上記表示したセルに対応する数値を変更することができることを特徴とする半導体検査方法。
- 半導体を支持し、移動可能なステージと、このステージ上の半導体に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射手段と、上記荷電粒子線の半導体への照射により得られた試料信号に基づいて、上記半導体に形成された複数のセルを表示する表示手段と、上記ステージ、荷電粒子線照射手段及び表示手段を制御する制御手段とを有し、特定のセルを判別する走査型電子顕微鏡或いは集束イオンビーム装置の機能を有する半導体検査装置において、
上記表示手段に表示されたセルの移動に追従して、上記ステージの移動による初期の画像と現在の画像との誤差量をイメージシフトで補正して、セルを1次元方向にカウントするセルカウント手段を備え、
上記制御手段は、
上記半導体の移動開始後、上記半導体の移動速度が一定となるまでの時間であって、上記1つのセル分の移動時間より短い待ち時間の経過後、上記セルカウント手段がカウントしたセルカウント数に基づいて、1つのセル毎にそのセルを包囲する枠及び各セルに対応する数値を上記表示手段に表示させ、特定のセルを判別することを特徴とする半導体検査装置。 - 半導体を支持し、移動可能なステージと、このステージ上の半導体に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射手段と、上記荷電粒子線の半導体への照射により得られた試料信号に基づいて、上記半導体に形成された複数のセルを表示する表示手段と、上記表示手段に表示されたセルの移動に追従して、セルをカウントするセルカウント手段と、上記ステージ、荷電粒子線照射手段、表示手段及びセルカウント手段を制御する制御手段とを有し、特定のセルを判別する走査型電子顕微鏡或いは集束イオンビーム装置の機能を有する半導体検査装置のコンピュータプログラムにおいて、
上記制御手段により実行され、
上記半導体の移動開始後、上記半導体の移動速度が一定となるまでの時間であって、上記1つのセル分の移動時間より短い待ち時間の経過後、上記セルカウント手段が上記ステージの移動による初期の画像と現在の画像との誤差量をイメージシフトで補正して、セルを1次元方向にカウントしたセルカウント数に基づいて、1つのセル毎にそのセルを包囲する枠及び各セルに対応する数値を上記表示手段に表示し、特定のセルを判別することを特徴とする半導体検査装置のコンピュータプログラム。
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