JP7144487B2 - 荷電粒子線装置および試料ステージの制御方法 - Google Patents
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Description
荷電粒子線を試料に照射して、試料像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
前記試料像を撮影するための検出器と、
前記偏向器および前記試料ステージを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記試料像の観察対象を視野の中心に移動させるための移動情報を取得する処理と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、電子線の軌道が光軸にあった状態の第1視野から前記観察対象が視野の中心となり電子線の軌道が光軸からずれた状態の第2視野に視野を移動させる処理と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する処理と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させることにより電子線の軌道を光軸に合わせる処理と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に電子線の軌道が光軸にあった状態で視野を移動させる処理と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、
を行う。
本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、
荷電粒子線を試料に照射して、試料像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
前記試料像を撮影するための検出器と、
前記偏向器および前記試料ステージを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する処理と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる処理と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する処理と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる処理と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる処理と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、
を行い、
前記移動情報を取得する処理は、
前記試料像を取得する処理と、
テンプレート画像を取得する処理と、
前記試料像と前記テンプレート画像を比較して、前記試料像から前記テンプレート画像との類似度の高い箇所を抽出する処理と、
抽出された前記箇所の位置情報を取得し、前記箇所の位置情報に基づいて前記移動情報を生成する処理と、
を含む。
本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、
荷電粒子線を試料に照射して、試料像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
前記試料像を撮影するための検出器と、
前記試料像を拡大するための光学系と、
前記偏向器および前記試料ステージを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する処理と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる処理と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する処理と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる処理と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる処理と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、
を行い、
前記移動情報を取得する処理は、
前記試料像を拡大する指示が入力された場合に、前記試料像の中心の画像を取得する処理と、
前記光学系を用いて前記試料像を拡大する処理と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量に基づいて、前記移動情報を生成する処理と、
を含む。
荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
試料を移動させる試料ステージと、
試料像を撮影するための検出器と、
を含む荷電粒子線装置における試料ステージの制御方法であって、
前記試料像の観察対象を視野の中心に移動させるための移動情報を取得する工程と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、電子線の軌道が光軸にあった状態の第1視野から前記観察対象が視野の中心となり電子線の軌道が光軸からずれた状態の第2視野に視野を移動させる工程と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する工程と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させることにより電子線の軌道を光軸に合わせる工程と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に電子線の軌道が光軸にあった状態で視野を移動させる工程と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる工程と、
を含む。
本発明に係る試料ステージの制御方法の一態様は、
荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
試料を移動させる試料ステージと、
試料像を撮影するための検出器と、
を含む荷電粒子線装置における試料ステージの制御方法であって、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する工程と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる工程と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する工程と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる工程と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる工程と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる工程と、
を含み、
前記移動情報を取得する工程は、
前記試料像を取得する工程と、
テンプレート画像を取得する工程と、
前記試料像と前記テンプレート画像を比較して、前記試料像から前記テンプレート画像との類似度の高い箇所を抽出する工程と、
抽出された前記箇所の位置情報を取得し、前記箇所の位置情報に基づいて前記移動情報を生成する工程と、
を含む。
本発明に係る試料ステージの制御方法の一態様は、
荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
試料を移動させる試料ステージと、
試料像を撮影するための検出器と、
を含む荷電粒子線装置における試料ステージの制御方法であって、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する工程と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる工程と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する工程と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる工程と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる工程と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる工程と、
を含み、
前記移動情報を取得する工程は、
前記試料像を拡大する指示が入力された場合に、前記試料像の中心の画像を取得する工程と、
前記光学系を用いて前記試料像を拡大する工程と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量に基づいて、前記移動情報を生成する工程と、
を含む。
明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
まず、本発明の一実施形態に係る透過電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る透過電子顕微鏡100の構成を示す図である。
透過電子顕微鏡100では、試料ステージ14を用いて、試料像の視野を正確に移動させることができる。図2は、処理部42の試料ステージ14を制御する処理の一例を示すフローチャートである。
、移動情報取得部420は、入力された移動情報を受け付けて、移動情報を取得する(S100)。
透過電子顕微鏡100では、処理部42は、試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する処理と、移動情報に基づいて偏向器を動作させて第1視野から第2視野に視野を移動させる処理と、第2視野で試料像を撮影して基準画像I2を取得する処理と、偏向器12を動作させて第2視野から第1視野に視野を移動させる処理と、移動情報に基づいて試料ステージ14を動作させて第1視野から第3視野に視野を移動させる処理と、第3視野で試料像を撮影して、比較画像I4を取得する処理と、基準画像I2と比較画像I4の位置ずれ量Δを計算する処理と、基準画像I2と比較画像I4の位置ずれ量Δが指定量以下か否かを判定する処理と、基準画像I2と比較画像I4の位置ずれ量が指定量以下ではないと判定した場合に、基準画像と比較画像の位置ずれ量に基づいて試料ステージ14を動作させて、第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、を行う。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
上述した実施形態では、図2に示す移動情報を取得する処理S100において、移動情報取得部420は、ユーザーが操作部44を介して入力した移動情報を取得したが、移動情報を取得する処理S100は、これに限定されない。
クリックする操作などであってもよい。
上述した実施形態では、図2に示す移動情報を取得する処理S100において、移動情報取得部420は、ユーザーが操作部44を介して入力した移動情報を取得したが、移動情報を取得する処理S100は、これに限定されない。
上述した実施形態では、図2に示す移動情報を取得する処理S100において、移動情報取得部420は、ユーザーが操作部44を介して入力した移動情報を取得したが、移動情報を取得する処理S100は、これに限定されない。
上述した実施形態では、本発明に係る荷電粒子線装置が透過電子顕微鏡である場合について説明したが、本発明に係る荷電粒子線装置は、透過電子顕微鏡に限定されない。例えば、本発明に係る荷電粒子線装置は、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、オージェ電子分光装置、集束イオンビーム装置などであってもよい。
構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (8)
- 荷電粒子線を試料に照射して、試料像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
前記試料像を撮影するための検出器と、
前記偏向器および前記試料ステージを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記試料像の観察対象を視野の中心に移動させるための移動情報を取得する処理と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、電子線の軌道が光軸にあった状態の第1視野から前記観察対象が視野の中心となり電子線の軌道が光軸からずれた状態の第2視野に視野を移動させる処理と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する処理と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させることにより電子線の軌道を光軸に合わせる処理と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に電子線の軌道が光軸にあった状態で視野を移動させる処理と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、
を行う、荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記移動情報を入力するための操作部を含む、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料に照射して、試料像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
前記試料像を撮影するための検出器と、
前記偏向器および前記試料ステージを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する処理と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる処理と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する処理と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる処理と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる処理と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、
を行い、
前記移動情報を取得する処理は、
前記試料像を取得する処理と、
テンプレート画像を取得する処理と、
前記試料像と前記テンプレート画像を比較して、前記試料像から前記テンプレート画像との類似度の高い箇所を抽出する処理と、
抽出された前記箇所の位置情報を取得し、前記箇所の位置情報に基づいて前記移動情報を生成する処理と、
を含む、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料に照射して、試料像を取得する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
前記試料像を撮影するための検出器と、
前記試料像を拡大するための光学系と、
前記偏向器および前記試料ステージを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する処理と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる処理と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する処理と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる処理と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる処理と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定す
る処理と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる処理と、
を行い、
前記移動情報を取得する処理は、
前記試料像を拡大する指示が入力された場合に、前記試料像の中心の画像を取得する処理と、
前記光学系を用いて前記試料像を拡大する処理と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量を計算する処理と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量に基づいて、前記移動情報を生成する処理と、
を含む、荷電粒子線装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記制御部は、前記第4視野に視野を移動させる処理の後に、前記第4視野で前記試料像を撮影して、前記比較画像を取得する処理を行う、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
試料を移動させる試料ステージと、
試料像を撮影するための検出器と、
を含む荷電粒子線装置における試料ステージの制御方法であって、
前記試料像の観察対象を視野の中心に移動させるための移動情報を取得する工程と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、電子線の軌道が光軸にあった状態の第1視野から前記観察対象が視野の中心となり電子線の軌道が光軸からずれた状態の第2視野に視野を移動させる工程と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する工程と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させることにより電子線の軌道を光軸に合わせる工程と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に電子線の軌道が光軸にあった状態で視野を移動させる工程と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる工程と、
を含む、試料ステージの制御方法。 - 荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
試料を移動させる試料ステージと、
試料像を撮影するための検出器と、
を含む荷電粒子線装置における試料ステージの制御方法であって、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する工程と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる工程と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する工程と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる工程と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に
視野を移動させる工程と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる工程と、
を含み、
前記移動情報を取得する工程は、
前記試料像を取得する工程と、
テンプレート画像を取得する工程と、
前記試料像と前記テンプレート画像を比較して、前記試料像から前記テンプレート画像との類似度の高い箇所を抽出する工程と、
抽出された前記箇所の位置情報を取得し、前記箇所の位置情報に基づいて前記移動情報を生成する工程と、
を含む、試料ステージの制御方法。 - 荷電粒子線を偏向させる偏向器と、
試料を移動させる試料ステージと、
試料像を撮影するための検出器と、
前記試料像を拡大するための光学系と、
を含む荷電粒子線装置における試料ステージの制御方法であって、
前記試料像の視野を移動させるための移動情報を取得する工程と、
前記移動情報に基づいて前記偏向器を動作させて、第1視野から第2視野に視野を移動させる工程と、
前記第2視野で前記試料像を撮影して、基準画像を取得する工程と、
前記偏向器を動作させて、前記第2視野から前記第1視野に視野を移動させる工程と、
前記移動情報に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第1視野から第3視野に視野を移動させる工程と、
前記第3視野で前記試料像を撮影して、比較画像を取得する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下か否かを判定する工程と、
前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量が指定された位置ずれ量以下ではないと判定した場合に、前記基準画像と前記比較画像の位置ずれ量に基づいて前記試料ステージを動作させて、前記第3視野から第4視野に視野を移動させる工程と、
を含み、
前記移動情報を取得する工程は、
前記試料像を拡大する指示が入力された場合に、前記試料像の中心の画像を取得する工程と、
前記光学系を用いて前記試料像を拡大する工程と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量を計算する工程と、
前記中心の画像と拡大された前記試料像の位置ずれ量に基づいて、前記移動情報を生成する工程と、
を含む、試料ステージの制御方法。
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