JP3556164B2 - 受動部品を埋め込む方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機層上に厚膜受動部品を埋め込む改良式の方法であって、可撓性金属基板が、その上に塗布された導電性ペーストアンダープリントを有する方法を対象とする。
【0002】
【従来の技術】
現在の受動部品は、通常は抵抗器またはコンデンサ厚膜技術に由来し、金属導体によって終端された組込み受動組成物を含む担体からなる。これらの受動部品は、ピック/プレース機器を用いてプリント配線板(PWB)の表面に一つずつ装着され、接着剤、フラックス、はんだペーストおよび/または流動はんだ付けまたはリフローを含むいくつかの複雑なプロセスの1つによって電気的に回路に接続される。
【0003】
電子装置の小型化の要求が高まるにつれ、単位面積あたりの回路密度および構成部品密度はともに劇的に増大した。構成部品数は指数関数的に上昇し、必然的に構成部品サイズは縮小された。ボード設計の小型化、高密度化は、現在の技術の実用上の限界に近づいているため、回路設計者は、使用可能な領域を既に最大限利用しており、構成部品をいっそう小型化するか、あるいは構成部品を内側の層の中に埋め込む、すなわち構成部品を垂直に積み重ねない限り、構成部品を追加することはできない。
【0004】
特開平2−153589号公報に見られるような初期の埋込み受動パネルでは、受動部品が金属箔上に直接に印刷される。この方法には、抵抗器の接着の問題、コンデンサの低静電容量および高散逸率などの欠点がある。本発明は、受動部品を印刷する前に金属箔に付着したペーストアンダープリントの適用によって良好な接着を達成する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明は、現在のサーメット厚膜技術を用いて受動部品を形成する改良式の方法を利用して、低コストで有機基板上に埋込み部品を形成する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程:
A.可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Aを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
B.工程Aの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Bを形成する工程と、
C.物品Bの焼成されたアンダープリント上に少なくとも1層の厚膜ペーストを付着して物品Cを形成する工程であって、該厚膜ペーストが抵抗体ペーストまたは導体ペーストから選択される工程と、
D.物品Cを焼成して、少なくとも1つの焼成ペースト面を有する物品Dを形成する工程と、
E.物品Dの焼成ペースト面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含む方法を対象とする。ここで、工程Bと工程Cとの間に、物品Aの焼成されたアンダープリントの上に少なくとも1つの誘電体ペーストを付着し、それを焼成して物品Bを形成し、および工程Cにおいて付着される厚膜ペーストが導体ペーストであってもよい。この誘電体ペーストは酸化剤を含んでもよい。あるいはまた、前記金属基板と、前記導体ペーストの粒子とが同一の金属を有し、および金、銀、銅およびニッケルからなる群から選択されてもよい。また、工程Eにおいて形成される物品に封止材を提供する工程をさらに含むことを特徴とする。
【0007】
本発明はさらに、厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程:
A.可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Aを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
B.工程Aの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Bを形成する工程と、
C.物品Bの焼成されたアンダープリント上に少なくとも1層の熱硬化性厚膜導体を付着して物品Cを形成する工程と、
D.物品Cを硬化させて、少なくとも1つの硬化導体面を有する物品Dを形成する工程と、
E.物品Dの硬化導体面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含む方法を対象とする。
【0009】
尚、本発明においては、次いで、従来の印刷/エッチング処理を使用して導体をパターニングすれば、上記方法は完了となる。
【0010】
全てのペーストが焼成工程で同じ炉プロフィルを使用する限り、原則的に、抵抗器ペーストとコンデンサペーストを一緒に印刷することができ、複数のグレードの抵抗器ペースト、複数のグレードのコンデンサペーストを一緒に印刷することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明は、既存のセラミック厚膜技術を利用して抵抗器、コンデンサなどの埋込み受動部品を有機PWBおよびその他の有機層上に形成することを可能にする、改良式のプロセスである。この改良式プロセスは、アンダープリントを形成するペーストを利用する。このアンダープリントは受動部品を印刷する前に金属箔に付着される。用語「ペースト」は、電子材料業界で従来から使用されている語であり、厚膜組成物を指す。アンダープリントは接着性を大幅に増大させる。アンダープリントは金属箔および有機層によく接着することが分かっている。一般的には、アンダープリント中の金属を金属箔中の金属に一致させる。例えば銅箔を使用する場合には、銅ペーストをアンダープリントとして利用する。その他の適用例としては、銀、金およびニッケル箔を、アンダープリントとして使用する同種の金属ペーストと組み合わせる。
【0012】
好ましい系は、銅箔に、アンダープリントとして使用する銅ペーストを組み合わせたものである。銅ペーストは、オープンコーティングとして箔の表面全体に印刷してもよいし、または選択した領域上に印刷してもよい。選択領域上に印刷したほうが経済的である。領域は、印刷/エッチングプロセスによって選択することもできる。銅箔を使用するときに箔の全面をコーティングする利点は、酸素ドープ焼成雰囲気を使用したときに銅ペースト中のガラスが銅箔の酸化的腐食を遅らせることである。
【0013】
銀箔は、銅箔に代わるものである。銀は空気焼成に対して安定なため、銀箔には、より優れた電気的特性を有する空気焼成抵抗器が使用できるという利点がある。銀の欠点は、値段が高いことと移動しやすいことであり、また、業界標準ではないエッチング化学作用が必要になる。
【0014】
特許請求する諸方法の実施形態を、第1の金属終端として銀ペーストを、第2の金属終端として金ペーストを使用して詳細に説明する。例示のために銀および金の金属を使用するが、本発明はこれらの金属に限定されない。銀ペーストアンダープリントを銀箔に付着し、次いで銀箔の融点よりも低い温度で乾燥、焼成する。アンダープリントを付着した銀箔上に抵抗器ペーストをスクリーン印刷によってパターニングし、次いで、銀の融点よりも低い一般に850℃で乾燥、焼成する。次いで焼成した抵抗器/箔を裏返し、これを、少なくとも部分的に1層または数層の接着剤からなるプリント配線板(PWB)などの有機層に積層する。これによって抵抗器は接着剤中に沈み込み、終端をエッチングするのに適した平らな面が形成される。次いでE.I.du Pont de Nemours and Company社製のRiston(登録商標)などのフォトレジストを銀箔上に積層する。次いでこのフォトレジストをUV光で露光し、抵抗器および銀終端、ならびに任意選択でその他の回路トレースのパターンを生成する。
【0015】
次いで露光したフォトレジストを現像し、こうして露出させた銀を、シアン化物、王水またはその他の適当なエッチング剤を使用してエッチングして、抵抗終端(および任意選択で回路トレース)を生成する。次いでフォトレジストを剥がし、所望の回路を残す。任意選択でこの回路を、例えば硬化性エポキシ封止材を用いて封入してもよい。
【0016】
抵抗器構造にコンデンサを追加する場合には、抵抗器ペーストの焼成およびPWBへの積層の前に、少なくとも1層の誘電体ペースト(通常は空気焼成が可能な高K誘電体)を抵抗器ペースト上にパターニングおよび印刷する。これによって抵抗器ペーストと同じ平面に誘電体(コンデンサ)を配置することができる。次いで誘電体ペーストを乾燥し、抵抗器と一緒に焼成する。次いで焼成した誘電体パターン上に第2の電極材料(例えば金ペースト)を印刷し、電極材料が、誘電体パターンの一面から銀アンダープリントおよびことによると銀箔(アンダープリントをパターンとして付着した場合)上に達するようにパターニングして、より複雑な構造を形成する。次いでこの構造を低温(<400℃)で焼成して、第1の電極を形成する銀アンダープリントおよび/または銀箔上に第2の電極を焼結させる。ただし、銀アンダープリントおよび/または銀箔ならびに金プリントが互いの中に拡散しないような十分に低い温度であってはならない。あるいは第2の電極に熱硬化性厚膜銀ペーストを使用し、厚膜銀ペーストを焼成する代わりに硬化させてもよい。
【0017】
次いで、焼成したコンデンサおよび抵抗器を含む銀箔を裏返し、積層後に、受動部品がPWB上の接着剤層の中に埋め込まれるようにする。次いで銀箔上にフォトレジストを積層し、電極および終端を画定するパターンを露光する。コンデンサの頂部電極は、銀のエッチング剤でエッチングされない金属からなっていなければならない。こうすると銀電極および両終端を、印刷/エッチングプロセス中に形成することができる。頂部電極は、先に説明したように先にスクリーン印刷したものである。
【0018】
異なる焼成条件を必要とする材料を適当な順番に配列することによって、または同じ焼成プロフィルを有するプロセスと適合する抵抗器ペーストとコンデンサペーストをマッチングすることによって、抵抗器とコンデンサの両方を含む単一の層を製作することができる。
【0019】
抵抗器なしでコンデンサだけを使用する場合には、抵抗器の層を導入する工程を以上の説明から省く。
【0020】
図1から図3は、本発明の方法に基づいて製作された埋込み受動部品を示す図である。本発明の最も一般的な実施形態を示し、以下に詳細に説明する。
【0021】
図1について、
(a)金属箔(102)上に付着し、次いで金属箔の軟化点よりも低い温度で焼成した導電性ペーストアンダープリント(106)上に、受動部品として知られる厚膜抵抗器またはコンデンサ(101)を印刷する。
(b)一方の面を接着剤層(104)でコーティングしたプリント配線板(PWB)(103)である。
(c)焼成した金属箔の印刷面とPWBの接着剤層の面とを積層する。
【0022】
図2について、
(d)受動部品が内向きに積層されている。すなわち積層プロセスの間に受動部品が接着剤層中に埋め込まれる。これによって感光性膜を付着するための比較的に平らな面が得られる。
(e)次いで感光性膜(105)を金属箔上に積層する。
(f)この膜を化学線でイメージ通りに露光して露光された領域を画定する。
【0023】
図3について、
(g)膜の露光していない領域を除去することによって現像し、金属箔を露出させる。
(h)次いで金属箔をエッチングする。
(i)回路と受動部品が同じ平面に実現されている。
【0024】
先に述べたように以上のプロセスを両面構造に適用することができる。
【0025】
本発明の主な構成要素を以下に説明する。
【0026】
箔
金属箔は当業界で使用可能な箔である。好ましい箔は、厚さ約0.01〜100μ、好ましくは2〜75μ、最も好ましくは15〜40μの銅、銀、金、アルミニウム、ニッケルまたは鉄箔である。
【0027】
厚膜組成物
ペーストとして知られる厚膜組成物は、アンダープリントおよび受動部品として利用される。抵抗器組成物は市販されており、RuO2、LaB4、SnO2、またはTaNベースの厚膜抵抗器ペーストであることが好ましい。コンデンサ厚膜組成物は市販されており、チタン酸バリウムまたは酸化チタン厚膜ペーストであることが好ましい。厚膜ペーストは一般に、細かくしたガラスまたは金属粒子、あるいはその他の特殊機能タイプの粒子(「固形物」と称する)を、可塑剤、分散剤、有機溶媒の混合物に溶かしたポリマー中に分散させたものからなる。受動部品用の好ましいペーストは、当業界で周知の抵抗器ペーストであり、市販のものであるが、所望の抵抗を得るためにはブレンディングが必要となる場合もある。コンデンサペーストも市販されているが、銅系上に印刷する好ましいペーストは、窒素雰囲気中で良好なバーンアウトを示す有機ビヒクル、およびこの誘電体粉末混合物中に混合された硝酸バリウム粉末などの酸化成分を有する。
【0028】
固形物は、遊星形ミキサーを使用した機械混合によって実質上不活性な液体媒質(ビヒクル)と混合し、次いで3ロールミル上で分散させて、スクリーン印刷に適したコンシステンシおよびレオロジを有するペースト状組成物を形成する。このペースト状組成物を従来の方法で、従来のセラミック基板上に「厚膜」として印刷する。
【0029】
実質上不活性な液体でありさえすればビヒクルとして使用することができる。増粘剤および/または安定化剤および/またはその他の一般的な添加剤を用いて、またはこれらを用いずに、さまざまな有機液体をビヒクルとして使用することができる。使用することができる有機液体の例には、脂肪族アルコール;脂肪族アルコールのエステル、例えば酢酸エステルおよびプロピオン酸エステル;パイン油、テルピネオールなどのテルペン類;低級アルコールのポリメタクリル酸エステルなどの樹脂溶液;パイン油、エチレングリコールモノアセタートのモノブチルエーテルなどの溶媒に溶かしたエチルセルロース溶液;およびジブチルカルビトールなどがある。好ましいビヒクルは、エチルセルロース樹脂、およびEastman Chemical社の特許エステル/アルコールであるテキサノール(texanol)溶媒(実施例参照)に基づく。代替として、α−、β−、およびγ−テルピネオール(一般にβ−およびγ−テルピネオールを8〜15%を含む85〜92%α−テルピネオール)も、厚膜インク用の溶媒として使用したときに優れた特性を有する。ただしバーンアウト特性はテキサノールよりも劣る。ビヒクルはさらに、基板に付着した後の速硬化を促進するために揮発性液体を含むことができる。
【0030】
分散中のビヒクルと固形物の比はかなり変化させることが可能で、分散を適用する方法および使用するビヒクルの種類によって決まる。上述したように、良好な被覆面積を達成するためには通常、分散が固体50〜91%およびビヒクル50〜9%を含む。もちろん、その有利な特性に影響を及ぼさないその他の材料を追加して本発明の組成物を変更することができる。このような調合物は当技術分野の技術範囲に十分に含まれる。
【0031】
これらのペーストは、3ロールミル上で調製すると都合がよい。ブルックフィールド(Brookfield)HBT粘度計でずり速度を低、中、高として測定したペーストの粘度は、一般に以下の範囲にある。
【0032】
【表1】
【0033】
有機層
本発明で使用する好ましい有機層は、プリント回路板業界で利用されるタイプのボードである。これらは一般に、高圧ラミネートから製作される。定義によればラミネートは、熱硬化性樹脂を用いて加熱加圧下で一体に接着された複数の繊維質材料層からなる。ラミネートはしばしば、フェノールまたはエポキシ樹脂を用いて接着された電気グレード(electrical−grade)紙、またはエポキシ樹脂系を用いて接着された連続フィラメントガラス布である。より具体的に例を挙げると以下のようなものがある。
【0034】
フェノール樹脂を含浸させた高品質電気紙(electrical paper)から作られるXXXPC。
【0035】
難燃性を除けばXXXPCグレードと同様のFR−2。
【0036】
FR−3は自己消炎性ペーパーエポキシである。
【0037】
G−10は、エポキシ樹脂を用いて接着されたガラス布のシートから作られた高品質ラミネートである。
【0038】
FR−4は、自己消炎特性が追加されている点を除けばG−10によく似ている。G−11は、ガラス布−エポキシである。現在のところFR−4が多くの適用に対して好ましい基板材料である。
【0039】
FR‐5は、G−11を修正して耐炎性を持たせたものである。
【0040】
接着剤
接着剤は、電気絶縁性でなければならない。エポキシ、樹脂、アクリル、またはセラミックタイプの接着剤を使用することができる。付着する接着剤の好ましい厚さは約0.04から約0.2ミリメートルである。好ましい接着剤は、市販されているVialux(登録商標)、Pyralux(登録商標)およびPyralux WA(登録商標)である。
【0041】
実際の例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。ただしこれらの実際の例によって本発明の範囲が限定されるわけではない。
【0042】
(実施例)
以下の実施例中の値は全て組成物全量に対する質量%で与えられる。
【0043】
組成物
銅ペーストアンダープリントの組成は以下の通りである:
テキサノール 15.00%
エチルセルロース 0.75%
ガラスA 0.60%
銅 83.50%
リン酸塩湿潤剤 0.15%
ガラスAの組成:
シリカ 9.4%
B2O3 12.2%
酸化鉛 65.9%
酸化カドミウム 6.7%
フッ化ナトリウム 3.2%
酸化アルミニウム 0.2%
【0044】
ペーストは、厚膜ペースト調合および製造の当業者に周知の技術で調製した。ガラスは、ガラス製造の当業者に周知の標準技術を使用して融解しフリット化した。スクリーン印刷は、標準スクリーン(ステンレス鋼メッシュ、325から500メッシュスクリーン)を使用して実施した。銅箔上の焼成膜の厚さは10ミクロン未満、一般に8から9ミクロンであった。
【0045】
【表2】
【0046】
材料は、塗料工業で一般に使用されているCowlesなどの高せん断高速ミキサー中で混合した。この方法でアルミナは十分に分散し、追加のロールミリングは使用しなかった。
【0047】
プロセスフロー
接着剤層を用いる部品のプロセスと接着剤層を用いない部品のプロセスは、非常によく似ている。実施例1〜6は、比較を目的としたものであり、銅ペーストアンダープリントを用いない場合を示す。実施例7〜12は本発明の例であり、銅ペーストアンダープリントを用いた場合を示す。部品は、230〜280メッシュのスクリーンを使用して印刷し、80℃で乾燥し、公称「30分」の炉プロフィル(温度900度で10分ピーク、バーンアウトランプ最大20分)で焼成した。非加熱ゾーンでさらに25分放置し、トンネル窯炉中の総滞留時間を55分とする。
【0048】
【表3】
【0049】
【表4】
【0050】
【表5】
【0051】
上表で、星印の付いた値は、終端接点が明らかにダメージを受けた抵抗器からとったものである。アンダープリントのないボード(実施例1〜6)の値は、終端の接着が不十分なことが原因で望ましくない値となった。アンダープリント層を用いずに処理した抵抗器の性能は、その他の点でも劣っていた。第1に、これらの高オーム抵抗器では銅への接着が非常に不十分であった。抵抗器が、このプロセスの間にランダムに銅箔から外れると、このことは、取扱い中に明らかになった。さらに接着が不十分であることが、Cuアンダープリントのない抵抗器では抵抗値の変動を大きくし、実施例13ではコンデンサの散逸率を大きくした。
【0052】
実施例13
アンダープリントを有する銅箔上に誘電体ペーストを、2回の印刷/乾燥/焼成の作用順序を使用して印刷した。これは2層の誘電層を形成してピンホールの影響を最小限に抑えるためである。部品は、400メッシュのスクリーンを使用して印刷し、80℃で乾燥させ、公称「30分」の炉プロフィル(温度900度で10分ピーク、バーンアウトランプ最大20分)で焼成した。非加熱ゾーンでさらに25分放置し、トンネル窯炉中の総滞留時間を55分とする。
【0053】
アンダープリントを付着した銅箔上に誘電体を印刷し、焼成した後、誘電体上に低温銀ペーストを印刷し、誘電材料の縁からリード線を延ばした。銅は、銀リード線のエッチングに影響を及ぼさないため、銅をそれからエッチングした後にそれにアクセスすることができる。銀ペーストは、炉中で200℃10分間焼成する。焼成が終わると、材料を積層、印刷、エッチングすることができる。通常は、銀リード線の一部分の上に銅パッドを残し、接続点とする。
【0054】
誘電体ペーストの組成は以下の通りである:
酸化ジルコニウム粉末 4.10%
ガラス「A」 6.10%
エチルセルロース 0.83%
Eastman社製テキサノール 17.63%
チタン酸バリウム粉末 69.20%
硝酸バリウム粉末 0.84%
リン酸塩湿潤剤 0.40%
ガラス「A」の組成は以下の通りである:
酸化ゲルマニウム 21.5%
四酸化鉛 78.5%
【0055】
テキサノールは、Eastman社の特許エステル/アルコール、エチルセルロースは、Hercules社の「T−200」グレード、リン酸塩湿潤剤は、AKZO社のトリデシルホスフェートである。粉末は、厚膜インク調合分野の技術者に周知のプロセスで粉砕する。ガラスも一般に使用される手順を使用して調製する。処方の有機および無機部分を混合し、ロールミルで摩砕して、スクリーン印刷に適した粘度の厚膜印刷インクを製造する。
【0056】
銀ペーストの組成は次の通りである:
5ミクロン銀フレーク 48.2%
1〜2ミクロン銀 26.8%
0.6から0.8ミクロン銀 3.6%
エチルセルロース樹脂 1.4%
テキサノール 20.0%
エチルセルロースはHercules社のT−200グレード、テキサノールはEastman社のアルコール/エステル溶剤である。銀ペーストは、厚膜技術の調合技術者に周知の手法を使用して調製した。
【0057】
このように準備した部品を、PWB製造分野の技術者に周知のプロセスを使用して裏返し、積層し、フォトレジストでコーティングし、露光し、現像し、エッチングし、剥離した。
【0058】
以下に、これらの材料を用いて製作したコンデンサの電気特性を示す。
【0059】
静電容量は約150nF/in2(約23nF/cm2)、標準偏差は<10%、Dfは、1KHzから100KHzで約0.9から約1.7%、IRは>5×109オーム、破壊電圧は約300Vである。
【0060】
【発明の効果】
本発明によれば、現在のサーメット厚膜技術を用いて受動部品を形成する方法を利用することにより、低コストで有機基板上に埋込み部品を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、金属箔上に付着され、焼成された導電性ペーストアンダープリント上に、受動部品が印刷された状態を示す図であり、(b)は、一方の面が接着剤層でコーティングされたプリント配線板(PWB)を示す図であり、(c)は、焼成した金属箔の印刷面とPWBの接着剤層の面とを積層する工程を示す図である。
【図2】(d)は、積層プロセスの間に受動部品が接着剤層中に埋め込まれた状態を示す図であり、(e)は、感光性膜が金属箔上に積層された状態を示す図であり、(f)は、感光性膜を化学線でイメージ通りに露光して露光された領域を画定する工程を示す図である。
【図3】(g)は、膜の露光していない領域を除去することによって現像され、金属箔が露出された状態を示す図であり、(h)は、金属箔がエッチングされた状態を示す図であり、(i)は、回路と受動部品が同じ平面に実現されている状態を示す図である。
【符号の説明】
101 受動部品(厚膜抵抗器またはコンデンサ)
102 金属箔
103 プリント配線板(PWB)
104 接着剤層
105 感光性膜
106 導電性ペーストアンダープリント
Claims (6)
- 厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程:
A.可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Aを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
B.工程Aの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Bを形成する工程と、
C.物品Bの焼成されたアンダープリント上に少なくとも1層の厚膜ペーストを付着して物品Cを形成する工程であって、該厚膜ペーストが抵抗体ペーストまたは導体ペーストから選択される工程と、
D.物品Cを焼成して、少なくとも1つの焼成ペースト面を有する物品Dを形成する工程と、
E.物品Dの焼成ペースト面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 工程Bと工程Cとの間に、物品Aの焼成されたアンダープリントの上に少なくとも1つの誘電体ペーストを付着し、それを焼成して物品Bを形成し、および工程Cにおいて付着される厚膜ペーストが導体ペーストであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程:
A.可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Aを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
B.工程Aの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Bを形成する工程と、
C.物品Bの焼成されたアンダープリント上に少なくとも1層の熱硬化性厚膜導体を付着して物品Cを形成する工程と、
D.物品Cを硬化させて、少なくとも1つの硬化導体面を有する物品Dを形成する工程と、
E.物品Dの硬化導体面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記金属基板と、前記導体ペーストの粒子とが同一の金属を有し、および金、銀、銅およびニッケルからなる群から選択されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 誘電体ペーストが酸化剤を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 工程Eにおいて形成される物品に封止材を提供する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
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---|---|---|---|---|
US6338809B1 (en) | 1997-02-24 | 2002-01-15 | Superior Micropowders Llc | Aerosol method and apparatus, particulate products, and electronic devices made therefrom |
US6621012B2 (en) * | 2001-02-01 | 2003-09-16 | International Business Machines Corporation | Insertion of electrical component within a via of a printed circuit board |
US6576489B2 (en) * | 2001-05-07 | 2003-06-10 | Applied Materials, Inc. | Methods of forming microstructure devices |
EP1261241A1 (en) * | 2001-05-17 | 2002-11-27 | Shipley Co. L.L.C. | Resistor and printed wiring board embedding those resistor |
US6696906B1 (en) * | 2001-05-30 | 2004-02-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Low dielectric loss signal line having a conductive trace supported by filaments |
TW518616B (en) * | 2001-06-01 | 2003-01-21 | Phoenix Prec Technology Corp | Method of manufacturing multi-layer circuit board with embedded passive device |
JP4515477B2 (ja) * | 2001-06-05 | 2010-07-28 | 大日本印刷株式会社 | 受動素子を備えた配線板の製造方法 |
EP1265466A3 (en) * | 2001-06-05 | 2004-07-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for fabrication wiring board provided with passive element and wiring board provided with passive element |
US7629017B2 (en) | 2001-10-05 | 2009-12-08 | Cabot Corporation | Methods for the deposition of conductive electronic features |
US6951666B2 (en) * | 2001-10-05 | 2005-10-04 | Cabot Corporation | Precursor compositions for the deposition of electrically conductive features |
US20030108664A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-06-12 | Kodas Toivo T. | Methods and compositions for the formation of recessed electrical features on a substrate |
US7083850B2 (en) * | 2001-10-18 | 2006-08-01 | Honeywell International Inc. | Electrically conductive thermal interface |
JP4763237B2 (ja) | 2001-10-19 | 2011-08-31 | キャボット コーポレイション | 基板上に導電性電子部品を製造する方法 |
US6860000B2 (en) * | 2002-02-15 | 2005-03-01 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method to embed thick film components |
US20040108134A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-06-10 | Borland William J. | Printed wiring boards having low inductance embedded capacitors and methods of making same |
US20040099999A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-05-27 | Borland William J. | Co-fired capacitor and method for forming ceramic capacitors for use in printed wiring boards |
US20050063135A1 (en) * | 2003-09-18 | 2005-03-24 | Borland William J. | High tolerance embedded capacitors |
US6897761B2 (en) * | 2002-12-04 | 2005-05-24 | Cts Corporation | Ball grid array resistor network |
EP1570713A1 (en) * | 2002-12-13 | 2005-09-07 | E.I. du Pont de Nemours and Company | Printed wiring boards having low inductance embedded capacitors and methods of making same |
US20040231885A1 (en) * | 2003-03-07 | 2004-11-25 | Borland William J. | Printed wiring boards having capacitors and methods of making thereof |
US7274100B2 (en) * | 2003-06-23 | 2007-09-25 | International Rectifier Corporation | Battery protection circuit with integrated passive components |
JP4047243B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2008-02-13 | 株式会社日立製作所 | 有機・無機酸化物混合体薄膜、それを用いた受動素子内蔵電子基板及び有機・無機酸化物混合体薄膜の製造方法 |
US7042331B2 (en) * | 2003-08-12 | 2006-05-09 | Delphi Technologies, Inc. | Fabrication of thick film electrical components |
US7178229B2 (en) * | 2003-11-20 | 2007-02-20 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of making interlayer panels |
TWI265534B (en) * | 2003-12-31 | 2006-11-01 | Polytronics Technology Corp | Over-current protection apparatus |
US7688569B2 (en) * | 2004-03-16 | 2010-03-30 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick-film dielectric and conductive compositions |
EP1578179A3 (en) | 2004-03-16 | 2006-05-03 | E.I. du Pont de Nemours and Company | Thick-film dielectric and conductive compositions |
US20050204864A1 (en) * | 2004-03-16 | 2005-09-22 | Borland William J | Thick-film dielectric and conductive compositions |
US20050208706A1 (en) * | 2004-03-17 | 2005-09-22 | Blazek Roy J | Method of creating multi-layered monolithic circuit structure containing integral buried and trimmed components |
US20070019789A1 (en) * | 2004-03-29 | 2007-01-25 | Jmar Research, Inc. | Systems and methods for achieving a required spot says for nanoscale surface analysis using soft x-rays |
US7100277B2 (en) * | 2004-07-01 | 2006-09-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Methods of forming printed circuit boards having embedded thick film capacitors |
TWI251455B (en) * | 2004-07-06 | 2006-03-11 | Advanced Semiconductor Eng | A manufacturing method of a multi-layer circuit board with embedded passive components |
US7342804B2 (en) * | 2004-08-09 | 2008-03-11 | Cts Corporation | Ball grid array resistor capacitor network |
US20060120015A1 (en) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Borland William J | Thick-film capacitors, embedding thick-film capacitors inside printed circuit boards, and methods of forming such capacitors and printed circuit boards |
US20060141225A1 (en) * | 2004-12-28 | 2006-06-29 | Borland William J | Oxygen doped firing of barium titanate on copper foil |
US20080289866A1 (en) * | 2004-12-28 | 2008-11-27 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Wiring Board and Wiring Board Manufacturing Method |
US8167393B2 (en) | 2005-01-14 | 2012-05-01 | Cabot Corporation | Printable electronic features on non-uniform substrate and processes for making same |
US8334464B2 (en) | 2005-01-14 | 2012-12-18 | Cabot Corporation | Optimized multi-layer printing of electronics and displays |
US8383014B2 (en) | 2010-06-15 | 2013-02-26 | Cabot Corporation | Metal nanoparticle compositions |
US7824466B2 (en) | 2005-01-14 | 2010-11-02 | Cabot Corporation | Production of metal nanoparticles |
US20060189113A1 (en) | 2005-01-14 | 2006-08-24 | Cabot Corporation | Metal nanoparticle compositions |
US7741189B2 (en) * | 2005-06-20 | 2010-06-22 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Electrodes, inner layers, capacitors, electronic devices and methods of making thereof |
US20060282999A1 (en) * | 2005-06-20 | 2006-12-21 | Diptarka Majumdar | Electrodes, inner layers, capacitors and printed wiring boards and methods of making thereof - part II |
US7456459B2 (en) * | 2005-10-21 | 2008-11-25 | Georgia Tech Research Corporation | Design of low inductance embedded capacitor layer connections |
US7705423B2 (en) | 2005-10-21 | 2010-04-27 | Georgia Tech Research Corporation | Device having an array of embedded capacitors for power delivery and decoupling of high speed input/output circuitry of an integrated circuit |
US7504706B2 (en) * | 2005-10-21 | 2009-03-17 | E. I. Du Pont De Nemours | Packaging having an array of embedded capacitors for power delivery and decoupling in the mid-frequency range and methods of forming thereof |
US7531416B2 (en) * | 2005-12-21 | 2009-05-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick film capacitors on ceramic interconnect substrates |
US20070210426A1 (en) * | 2006-03-07 | 2007-09-13 | Gerber Mark A | Gold-bumped interposer for vertically integrated semiconductor system |
US20070236859A1 (en) * | 2006-04-10 | 2007-10-11 | Borland William J | Organic encapsulant compositions for protection of electronic components |
US20070244267A1 (en) * | 2006-04-10 | 2007-10-18 | Dueber Thomas E | Hydrophobic crosslinkable compositions for electronic applications |
US20070291440A1 (en) * | 2006-06-15 | 2007-12-20 | Dueber Thomas E | Organic encapsulant compositions based on heterocyclic polymers for protection of electronic components |
EP2102268A2 (en) * | 2006-12-12 | 2009-09-23 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Crystalline encapsulants |
CN101617573A (zh) * | 2006-12-12 | 2009-12-30 | E.I.内穆尔杜邦公司 | 复合有机包封材料 |
US20080160173A1 (en) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Nokia Corporation | Component Moulding Process |
JP4702904B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2011-06-15 | イビデン株式会社 | プリント配線板及びそのプリント配線板の製造方法 |
US8357753B2 (en) | 2007-07-18 | 2013-01-22 | Cda Processing Limited Liability Company | Screen-printable encapsulants based on polyhydroxyamides that thermally convert to polybenzoxazoles |
US8270145B2 (en) | 2007-12-04 | 2012-09-18 | Cda Processing Limited Liability Company | Screen-printable encapsulants based on soluble polybenzoxazoles |
JP6595575B2 (ja) | 2014-07-11 | 2019-10-23 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 低温硬化してエレクトロニクス用途の熱伝導経路を形成する流動性組成物およびそれに関連する方法 |
TWI600354B (zh) * | 2014-09-03 | 2017-09-21 | 光頡科技股份有限公司 | 具高彎折力之微電阻結構及其製造方法 |
WO2017188446A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | シャープ株式会社 | 導電性ペースト、電極接続構造、及び、電極接続構造の製造方法 |
TWI713424B (zh) * | 2018-10-15 | 2020-12-11 | 鼎展電子股份有限公司 | 銅箔電阻與具有該銅箔電阻的電路板結構 |
US20220119315A1 (en) * | 2020-02-05 | 2022-04-21 | Ferro Corporation | M7 LTCC-Silver System And Related Dielectric Compositions For High Frequency Applications |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1130057A (fr) * | 1954-05-04 | 1957-01-30 | Norton And Gregory Ltd | Perfectionnements apportés aux circuits et éléments électriques obtenus par impression |
GB1258660A (ja) * | 1969-12-19 | 1971-12-30 | ||
US4180608A (en) * | 1977-01-07 | 1979-12-25 | Del Joseph A | Process for making multi-layer printed circuit boards, and the article resulting therefrom |
JPS5469768A (en) * | 1977-11-14 | 1979-06-05 | Nitto Electric Ind Co | Printing circuit substrate with resistance |
DE3322382A1 (de) * | 1983-06-22 | 1985-01-10 | Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt | Verfahren zur herstellung von gedruckten schaltungen |
US4724040A (en) * | 1986-01-14 | 1988-02-09 | Asahi Chemical Research Laboratory Co., Ltd. | Method for producing electric circuits on a base boad |
JPH0265194A (ja) * | 1988-08-30 | 1990-03-05 | Ibiden Co Ltd | 厚膜素子を有するプリント配線板の製造方法 |
JPH02153589A (ja) | 1988-12-05 | 1990-06-13 | Ibiden Co Ltd | 厚膜素子付プリント配線板 |
JP2707903B2 (ja) | 1992-01-28 | 1998-02-04 | 日本電気株式会社 | 多層プリント配線板の製造方法 |
JPH0722741A (ja) * | 1993-07-01 | 1995-01-24 | Japan Gore Tex Inc | カバーレイフィルム及びカバーレイフィルム被覆回路基板 |
US5362534A (en) * | 1993-08-23 | 1994-11-08 | Parlex Corporation | Multiple layer printed circuit boards and method of manufacture |
JP3372636B2 (ja) * | 1994-03-16 | 2003-02-04 | アルプス電気株式会社 | 抵抗基板の製造方法 |
US5652055A (en) * | 1994-07-20 | 1997-07-29 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Matched low dielectric constant, dimensionally stable adhesive sheet |
IT235724Y1 (it) | 1995-11-06 | 2000-07-12 | Siv Soc Italiana Vetro | Guarnizione perfezionata particolarmente adatta ad essere applicatasu vetro per veicoli |
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