JP3545531B2 - 処理装置および処理方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理液の蒸気を用いて被処理体を処理する装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という）表面のパーティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去するために洗浄システムが使用されている。その中でもウェハを処理槽内の洗浄液に浸漬して洗浄を行うウエット型の洗浄システムは、ウェハに付着したパーティクルを効果的に除去できる長所がある。
【０００３】
この従来のウエット型の洗浄システムは、連続バッチ処理を可能とするため、例えば２５枚のウェハをキャリア単位で装置内にロードするローダと、このローダによってロードされたキャリア２個分の５０枚のウェハを一括して搬送する搬送手段と、この搬送手段によって搬送される５０枚のウェハをバッチ式に洗浄、乾燥するように配列されたユニットとしての処理槽を備え、さらに各処理槽によって洗浄、乾燥されたウェハをアンロードするアンローダとを備えた、ウエットステーションと呼ばれ、広く使用されている。このウエットステーションの各処理槽では、アンモニア処理、フッ酸処理、硫酸処理、塩酸処理などの各種薬液処理と、純水などによる水洗処理とが交互に行われ、更に最終的に、乾燥処理が行われる。
【０００４】
ここで、ウェハの乾燥処理を行う処理槽として、親水性の高いＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］蒸気をウェハの表面に供給しつつ槽下部から排水して乾燥を行うクローズド方式の処理槽は、ＩＰＡの揮発を利用してウェハの表面から純水の膜を取り除くことができ、ウォーターマークを残さずに乾燥できる利点があることから、広く普及している。そして、このクローズド方式の処理槽は、ＩＰＡ液供給源から供給されたＩＰＡ液を蒸気発生室内で加熱してＩＰＡ蒸気を発生させ、そのＩＰＡ蒸気を洗浄システムの処理槽に導入しながら処理槽内に収納したウェハを乾燥させるように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、以上のようなウェハの乾燥を行う処理槽では、乾燥時においては処理槽内はすべてＩＰＡ蒸気に置換され、更に最終的にＮ２ガスなどの不活性ガスに処理槽内雰囲気がパージされて、乾燥処理が終了する。そして、こうして処理槽内の不活性雰囲気に保持されたウェハは、適当な時期に搬送装置によって処理槽から取り出され、キャリアに装填されて搬出される。
【０００６】
しかしながら、従来の洗浄システムにおいては、かようなＩＰＡ蒸気下で行われるウェハの乾燥を短時間で終えることができない場合があった。かかる場合、ウェハの表面が充分に乾燥しきっていない状態でウェハを処理槽から取り出したのでは、ウェハの表面にパーティクルが付着しやすくなってしまう。このため、従来の洗浄システムにおいては、ウェハの乾燥に相当の時間が必要であり、スループットの向上をはかり難かった。
【０００７】
従って本発明の目的は、以上のように処理槽内にＩＰＡ液の如き処理液の蒸気を導入しながら被処理体を処理する際に、その処理時間を短縮化することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明は，処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理装置において，処理液の蒸気を作る蒸気発生室と，この蒸気発生室で作り出した処理液の蒸気を処理槽内に導入する回路と，該回路に装着されたヒータと，処理槽内を排気する排気手段を設け，前記排気手段によって排気される雰囲気中に混入した有機物質を捕捉するトラップ機構を備えることを特徴としている。この処理装置において，処理液を処理槽内に導入する回路を更に備えていても良い。
また本発明は，処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理装置において，処理液の蒸気を作る蒸気発生室と，この蒸気発生室で作り出した処理液の蒸気を処理槽内に導入する回路と，該回路に装着されたヒータと，処理槽内を排気する排気手段を設け，前記蒸気発生室は，底部にヒータを備える蒸気発生室本体をケーシングの内部に配置した構成を備え，前記蒸気発生室本体には，処理液を蒸気発生室本体に供給する回路と，処理液の蒸気を処理槽に導入する回路が接続され，前記蒸気発生室本体から処理槽に処理液を導入する回路を更に備えることを特徴としている。
前記蒸気発生室は，蒸気発生室本体の内部上方にて処理液の蒸気を凝縮させる冷却手段が設けられていても良い。また，前記ケーシングの内部は，Ｎ２パージガスによって置換されても良い。
【０００９】
そして，本発明は，処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理方法において，処理槽において被処理体を洗浄液に浸漬させて洗浄処理し，洗浄処理後，処理槽に処理液もしくは処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成し，処理液の層を形成後，処理槽に処理液の蒸気を導入しながら，処理槽内の洗浄液を排水し，排水後，処理槽内を排気することを特徴としている。この処理方法において，例えば前記処理槽において被処理体を洗浄液に浸漬させて洗浄処理するに際し，温水洗浄液を処理槽に供給して被処理体を加熱し，加熱後，処理槽に処理液もしくは処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成する。また，前記温水洗浄液の温度が処理液の沸点よりも低い場合は，処理槽に処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成しても良い。また，前記処理液の蒸気を供給しながら処理槽内を排気しても良いし，前記処理液の蒸気の供給を終了した後，処理槽内を排気しても良い。また，前記処理槽内の洗浄液を排水後，処理槽内を不活性雰囲気に置換し，その後，処理槽内を排気しても良い。また，前記処理槽内の洗浄液を排水後，処理槽内を不活性雰囲気に置換しながら，処理槽内を排気しても良い。更に，前記洗浄液の液面に形成された処理液の層が通過する際に，被処理体の保持箇所を途中で変えてやることが好ましい。
【００１１】
本発明にあっては，処理槽内を排気することにより，処理槽内の雰囲気を大気圧よりも減圧した状態にする。これにより，処理槽内に収納した被処理体の表面に付着した処理液の蒸気圧を相対的に高めて，乾燥を早めることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、被処理体の一例としてのウェハＷの表面に、処理液としてのＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］蒸気を供給しながら乾燥処理を行うものについて説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる処理槽１９を備えた洗浄システム１の斜視図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ断面矢視図である。
【００１４】
この洗浄システム１は、キャリアＣ単位で搬入された洗浄前のウェハＷをキャリアＣから整列した状態で取り出す動作を行う搬入・ロード部２と、この搬入・ロード部２からロードされた複数枚数の（例えば、キャリアＣ２個分の５０枚の）ウェハＷを一括してバッチ式に洗浄、乾燥する処理部３と、この処理部３で洗浄、乾燥されたウェハＷをキャリアＣに装填してキャリアＣ単位で搬出する搬出・アンロード部４の三つの箇所に大別することができる。
【００１５】
搬入・ロード部２には、洗浄前のウェハＷを例えば２５枚収納したキャリアＣを搬入して載置させる搬入部５と、この搬入部５の所定位置に送られたキャリアＣを、隣接するローダ６へ一度に適宜数（例えば２個）ずつ移送するための移送装置７が設けられている。
【００１６】
この実施の形態においては、処理部３には、搬入・ロード部２側から搬出・アンロード部４側の順に、後述する搬送装置３０のウェハチャック３６を洗浄および乾燥するための処理槽１１、洗浄液を用いてウェハＷを洗浄する処理槽１２、この処理槽１２で洗浄されたウェハＷをリンス洗浄する処理槽１３、１４、洗浄液を用いてウェハＷを洗浄する処理槽１５、この処理槽１５で洗浄されたウェハＷをリンス洗浄する処理槽１６、１７、搬送装置３２のウェハチャック３８を洗浄および乾燥するための処理槽１８、および、各洗浄槽１２〜１７で洗浄されたウェハＷを乾燥させるための処理槽１９が配列されている。
【００１７】
そして、処理槽１１と処理槽１８では、例えば純水などを用いてウェハチャック３６とウェハチャック３８の洗浄をそれぞれ行い、更に、ウェハチャック３６とウェハチャック３８の乾燥も行う。また、処理槽１２と処理槽１５では、互いに種類の異なる洗浄液による洗浄を行うのが一般的である。その一例として、処理槽１２では、例えばアンモニア水過水の如きアルカリ系洗浄液（ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ）を用いたいわゆるＳＣ１洗浄を行って、ウェハＷ表面に付着している有機汚染物、パーティクル等の不純物質を除去する。また、処理槽１５では、例えば塩酸過水（ＨＣｌ＋Ｈ２Ｏ２）を用いたいわゆるＳＣ２洗浄を行って、この酸系洗浄により金属イオンの除去、ウェハＷ表面の安定化を図る。また、処理槽１３、１４、および処理槽１６、１７では、例えば純水の如き洗浄水を用いてウェハＷのリンス洗浄を行う。更にまた、処理槽１９では、この実施の形態においては、後述するように希フッ酸（ＨＦ／Ｈ２Ｏ）を用いたいわゆるＨＦ洗浄とリンス洗浄を行い、更にその洗浄後に親水性の高いＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］蒸気をウェハＷの表面に供給しつつ槽下部から排水することにより、ＩＰＡの揮発を利用してウェハＷの表面から純水の膜を取り除き、ウォーターマークを残すことのない乾燥を行うように構成されている。
【００１８】
但し、ウェハチャック３６とウェハチャック３８の洗浄と乾燥を行う処理槽１１と処理槽１８およびウェハＷの洗浄と乾燥を行う処理槽１９を除く各処理槽１２〜１７の配列、組合わせはウェハＷに対する洗浄の種類によって任意に組み合わせることができ、場合によってはある処理槽を省略したり、逆に他の処理槽を付加してもよい。例えば、硫酸過水（Ｈ２ＳＯ４＋Ｈ２Ｏ２）洗浄を行う処理槽などが組み合わされる場合もある。
【００１９】
搬出・アンロード部４には、先に説明した搬入・ロード部２のローダ６と同様の構成を有するアンローダ２０、搬入部５と同様の構成を有する搬出部２１、および、移送装置７と同様の構成を有する移送装置（図示せず）がそれぞれ設けられている。
【００２０】
そして、処理部３の前面側（図１における手前側）には、搬入・ロード部２側から搬出・アンロード部４側の順に、三つの搬送装置３０、３１、３２が配列されており、これら各搬送装置３０、３１、３２は、何れもガイド３３に沿って洗浄システム１の長手方向にスライド移動自在に構成されている。各搬送装置３０、３１、３２は、それぞれ対応するウェハチャック３６、３７、３８を備えていて、各搬送装置３０、３１、３２はそのウェハチャック３６、３７、３８によって所定枚数のウェハＷ（例えばキャリアＣ二個分の５０枚のウェハＷ）を一括して把持することが可能である。これらの内、搬入・ロード部２側に位置する搬送装置３０は、そのウェハチャック３６で所定枚数のウェハＷを保持してガイド３３に沿ってスライド移動することにより、搬入・ロード部２のローダ６から取り出したウェハＷを、処理部３において処理槽１２、１３、１４の順に一括して搬送する。また、中央に位置する搬送装置３１は、そのウェハチャック３７で所定枚数のウェハＷを保持してガイド３３に沿ってスライド移動することにより、処理部３において処理槽１４、１５、１６、１７の順にウェハＷを一括して搬送する。また、搬出・アンロード部４側に位置する搬送装置３２は、そのウェハチャック３８で所定枚数のウェハＷを保持してガイド３３に沿ってスライド移動することにより、処理部３において処理槽１７、１９の順にウェハＷを一括して搬送し、更に、処理槽１９から搬出・アンロード部４のアンローダ２０にウェハＷを一括して搬送する。
【００２１】
ここで、以上の搬送装置３０、３１、３２は何れも概ね同様の構成を備えているので、例えば処理槽１７、１９と搬出・アンロード部４のアンローダ２０の間でウェハＷを搬送する搬送装置３２を例にして説明すると、搬送装置３２のウェハチャック３８は、図３に示すように、例えばキャリアＣ二つ分としての５０枚のウェハＷを一括して把持する左右一対の把持部材４１ａ、４１ｂを備えている。これら把持部材４１ａ、４１ｂは左右対称形であり、各把持部材４１ａ、４１ｂが一対の回動軸４２ａ、４２ｂによって搬送装置３２の支持部４３に支持されることにより、把持部材４１ａ、４１ｂが左右対称に回動して開脚、閉脚するように構成されている。支持部４３は、駆動機構４４によって上下方向（図３においてＺ方向）に昇降する。また、駆動機構４４自体も、先に図１に示したガイド３３に沿って処理部３の長手方向（図３においてＸ方向）に沿ってスライド移動する。なお、図示はしないが、ウェハチャック３８全体は支持部４３に内蔵された図示しない駆動機構によって前後方向（図３においてＹ方向）に移動でき、更に、支持部４３自体も水平面内においてその角度を微調整できるように構成されている。
【００２２】
回動軸４２ａ、４２ｂには把持部材４１ａ、４１ｂの各上端部が固着され、また、これら各把持部材４１ａ、４１ｂの下端部には、上下２段に石英製の把持棒４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂが平行に渡されている。これら各把持棒４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂの表面には、ウェハＷの周縁部が挿入される把持溝が例えば５０本形成されている。そして、前述したように、回転軸４２ａ、４２ｂの回動に伴って把持部材４１ａ、４１ｂを閉脚させることにより、例えば５０枚のウェハＷの周縁部を各把持棒４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂの把持溝にそれぞれ嵌入させ、各ウェハＷ同士を所定の等間隔に保ちつつ立てた状態で整列させて一括把持するようになっている。そして、こうして複数枚のウェハＷを一括して把持した状態で支持部４３が駆動機構４４によって上下方向（図３においてＺ方向）に昇降し、駆動機構４４自体が先に図１に示したガイド３３に沿って処理部３の長手方向（図３においてＸ方向）に沿ってスライド移動することにより、処理槽１７、１９および搬出・アンロード部４のアンローダ２０の間でウェハＷを搬送するように構成されている。
【００２３】
なお、搬送装置３２について代表して説明したが、その他の搬送装置３０、３１およびそれらのウェハチャック３６、３７も、搬送装置３２およびウェハチャック３８と概ね同一の構成を有しており、同様に例えば５０枚のウェハＷを一括して把持し、搬送するように構成されている。
【００２４】
一方、ウェハチャック３６とウェハチャック３８の洗浄と乾燥を行う処理槽１１と処理槽１８を除く他の各処理槽１２〜１７、１９の底部には、各槽内でウェハＷを同士を所定の等間隔に保ちつつ立てた状態で整列させて保持するための保持具となるボート５０がそれぞれ設置されている。ここで、各処理槽１２〜１７、１９の底部には、何れも概ね同一の構造を有するボート５０が設けられているので、図３を基にして処理槽１９に設置されているボート５０について代表して説明すると、このボート５０は、処理槽１９内に垂設された前後一対の支持体５１、５２の下端に渡って水平に取り付けられた三本の平行な保持棒５３、５４、５５を備えている。これら保持棒５３、５４、５５の内、中央の保持棒５４の高さが最も低く、左右の保持棒５３、５５は保持棒５４を中心に対称の位置に、かつ、保持棒５４よりも高い位置に配置されている。これら保持棒５３、保持棒５４、および保持棒５５の表面には、ウェハＷの周縁部が挿入される保持溝がそれぞれ５０個ずつ形成されている。
【００２５】
そして、前述のウェハチャック３８によって一括して把持された５０枚のウェハＷは、搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の下降に伴って処理槽１９内に挿入され、５０枚のウェハＷの下端がボート５０の保持棒５３、５４、５５の保持溝にそれぞれ嵌入すると、搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の下降が停止するように構成されている。こうして、５０枚のウェハＷはボート５０の保持棒５３、５４、５５の保持溝によって互いに所定の間隔を保ちつつ一括して保持された状態となる。そして、ウェハチャック３８は回動軸４２ａ、４２ｂの回動により把持部材４１ａ、４１ｂを開脚し、ウェハＷの把持状態を開放する。こうして、把持部材４１ａ、４１ｂの間で把持していた５０枚のウェハＷを一括して離した後、搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の上昇に伴って処理槽１９上方にウェハチャック３８が退避する。その後、処理槽１９内においてボート５０上に受け渡されたウェハＷに対する所定の処理が行われるように構成されている。
【００２６】
また、後述するように処理槽１９における所定の処理が終了すると、再び搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の下降に伴ってウェハチャック３８が処理槽３２内に挿入される。そして、回動軸４２ａ、４２ｂの回動により把持部材４１ａ、４１ｂが閉じられてボート５０の保持棒５３、５４、５５上に保持された５０枚のウェハＷを一括して把持する。その後、支持部４３が上昇することによってウェハチャック３８が処理槽１９内から上方に退避し、それに伴って５０枚のウェハＷは一括して処理槽４２から取り出される。そして、搬送装置３２の駆動機構４４自体が先に図１に示したガイド３３に沿って処理部３の長手方向（図３においてＸ方向）に沿ってスライド移動して、処理槽１９から取り出したウェハＷを次の搬出・アンロード部４のアンローダ２０にまで搬送するように構成されている。
【００２７】
なお、処理槽１９以外の各処理槽１２〜１７にも、以上に説明したボート５０と同様のものが設置されており、上記と同様に、各処理槽１２〜１７においても、５０枚のウェハＷを一括して保持できるように構成されている。そして、所定枚数のウェハＷを一括して保持することにより、搬送装置３０により搬入・ロード部２のローダ６から処理槽１２、１３、１４の順に搬送し、搬送装置３１により処理槽１４、１５、１６、１７の順に搬送し、搬送装置３２により処理槽１７、１９、および搬出・アンロード部４のアンローダ２０の順に搬送する。
【００２８】
次に、本発明の実施の形態にかかる処理槽１９は、ウェハＷに対して所定の洗浄と乾燥を行うものとして次のように構成されている。即ち、この処理槽１９は上面が開口した略箱型をなしており、図２に示した処理槽１９の周囲には、次に説明するように、処理槽１９の底部から連続的に供給される洗浄液のオーバーフロー分を受容する外槽６０が設けられている。
【００２９】
即ち、図４に示すように、処理槽１９から溢れ出て、処理槽１９周囲の外槽６０によってオーバーフロー分として受容された洗浄液は、外槽６０の底部に接続されている回路６１から排出されるように構成されている。また、処理槽１９の底面６２には、例えば室温以上で８０℃以下程度に温度調節された温水や、冷水（例えば室温程度の如き通常の温度の純水）、その他、フッ化水素溶液（希フッ酸）などの洗浄液を適宜選択的に供給可能な回路６３が接続されている。後述する洗浄液循環機構８５によってこの回路６３より槽内に導入された洗浄液が、槽底部のボート５０と底面６２との間に介装された整流手段６４を介して、乱流を生じることなく均等にウェハＷの周囲に供給されるように構成されている。
【００３０】
そして、この整流手段６４は、処理槽１９の底面６２とボート５０によって保持されている所定枚数のウェハＷを上下に区画するように水平に配設される整流板６５と、整流板６５の下方に配置される拡散板６６とから構成されている。整流板６５には複数のスリット６７とそれらスリット６７の両側に位置する複数の小孔６８が穿設されており、回路６３より槽内に導入された洗浄液は、まず拡散板６６の裏面に衝突し、その拡散板６６の周縁部より整流板６５の裏面全体に拡散され、その後、整流板６５のスリット６７と小孔６８を通過して、上記ボート５０により保持されたウェハＷの周囲に洗浄液が供給されるので、乱流を生じることなく均等な流速でウェハＷを包み込み、ウェハＷ全体をむら無く均等に洗浄することができる。
【００３１】
図２に示されるように、処理槽１９の上面開口部は、洗浄システム１の処理部３内部に上下に適当な間隔をもって配置された仕切り板６９、７０で形成されるケース７３内に配置されている。このケース７３の上面（仕切り板６９）は蓋体７１によって閉鎖自在に構成されており、この蓋体７１を閉じた場合は、処理槽１９はケース７３内の密閉雰囲気におかれた状態となる。また、ケース７３の上方には、フィルタを備えたファンフィルタユニットやファンユニットなどの空調機７２が設置されており、清浄化された空気のダウンフローがケース７３内の処理槽１９に向けて形成されている。
【００３２】
図５に示すように、このケース７３の底部には回路７５が設けられており、この回路７５はトラップ機構７６と回路７７を介して排気手段７８に接続されている。排気手段７８は、例えば吸引ポンプなどで構成されており、その稼働によって、ケース７３内の雰囲気を回路７５、７７を介して吸引排気することにより、ケース７３内を減圧雰囲気にする。なお、ケース７３内から排気される雰囲気中に混入した例えばＩＰＡ蒸気などの有機物質は、回路７５、７７の間に設けられたトラップ機構７６で捕捉され、トラップ機構７６底部の回路７９から廃棄（ＤＲＡＩＮ）される。
【００３３】
ケース７３の側面には回路８０が接続されており、図示しないＮ２ガス供給源からこの回路８０を介してケース７３内にＮ２ガスを供給することにより、ケース７３内を不活性雰囲気にできるようになっている。なお、不活性ガスとして、Ｎ２ガス以外の例えばＡｒガスなどをケース７３内に供給しても良い。
【００３４】
一方、処理槽１９に対して洗浄液を供給するための洗浄液循環機構８５は、図５に示すように、ケース７３の外側において、処理槽１９周囲の外槽６０に接続された回路６１と処理槽１９底面に接続された回路６４の間に配置されている。この洗浄液循環機構８５には、希フッ酸供給源８６、純水供給源８７、および温水供給源８８から各洗浄液が供給されるようになっている。即ち、希フッ酸供給源８６からは、洗浄液としての希フッ酸（ＤＨＦ）が供給され、純水供給源８７からは例えば常温程度の水温の純水（リンス洗浄液）が供給され、更に温水供給源８８からは例えば室温以上８０℃以下程度に水温が調節された温水が供給される。また、この洗浄液循環機構８５は、処理槽１９内に充填されている各洗浄液を廃棄（ＤＲＡＩＮ）するための回路９０も備えている。この回路９０は、前述のトラップ機構７６を経て回路７９に接続されている。
【００３５】
そして、図４において示した如き処理槽１９内のボート５０上に保持したウェハＷを、先ず希フッ酸を用いてＨＦ洗浄するに際しては、図５に示す洗浄液循環機構８５に希フッ酸供給源８６から洗浄液としての希フッ酸を供給する。そして、その洗浄液（希フッ酸）を洗浄液循環機構８５によって回路６４を介して処理槽１９の底部に連続的に供給し、その洗浄液の上昇流を処理槽１９内に形成させる。また、処理槽１９から溢れ出た洗浄液は、処理槽１９周囲の外槽６０に受容した後、回路６１から再び洗浄液循環機構８５に戻す。洗浄液循環機構８５はこうして戻された洗浄液を濾過して清浄化し、更に温度や濃度等を所定のものに調整した後、再びその洗浄液を回路６４を介して処理槽１９の底部に供給する。こうして、処理槽１９内に洗浄液（希フッ酸）が循環供給されて、ウェハＷのＨＦ洗浄が行われるようになっている。
【００３６】
次に、ＨＦ洗浄が終了し、リンス洗浄を行う場合は、まだ処理槽１９内に洗浄液としての希フッ酸が充填されている状態で、洗浄液循環機構８５に純水供給源８７からリンス洗浄液としての純水の供給を開始する。そして、そのリンス洗浄液（純水）を回路６４を介して処理槽１９の底部に供給しつつ、処理槽１９内に充填されていた希フッ酸を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させ、溢れ出た希フッ酸は回路６１から洗浄液循環機構８５に戻して回路９０および回路７９を経て廃棄する。こうして、しばらくの間純水供給源８７からリンス洗浄液を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより、処理槽１９内の洗浄液を純水に置換する。なお、洗浄液が希フッ酸から純水に置換されたことは、例えば回路６１中において洗浄液の比抵抗を計測することにより検知することが可能である。
【００３７】
またリンス洗浄が終了した場合は、次に、洗浄液循環機構８５に温水供給源８８から例えば室温以上８０℃以下程度に水温が調節された温水の供給を開始する。そして、その温水を回路６４を介して処理槽１９の底部に供給しつつ、処理槽１９内に充填されていたリンス洗浄液（例えば常温程度の水温の純水）を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させ、溢れ出たリンス洗浄液は回路６１から洗浄液循環機構８５に戻して回路９０および回路７９を経て廃棄する。こうして、しばらくの間温水供給源８８から温水を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより、処理槽１９内の洗浄液を温水に置換した後、回路９０、７９からの廃棄を停止する。こうして、処理槽１９内に温水が循環供給されて、ウェハＷは室温以上８０℃以下程度に加熱された状態となる。なお、洗浄液が温水に置換されたことは、例えば回路６１中において水温を計測することにより検知することが可能である。
【００３８】
更に、この洗浄液循環機構８５は、以上のようにして処理槽１９内に充填した温水を処理槽１９底部の回路６４から洗浄液循環機構８５に戻し、その温水を回路９０、７９から廃棄することによって、処理槽１９内の温水を排水することもできるように構成されている。
【００３９】
また、図５に示すように、処理槽１９の周囲に設けられている外槽６０の側壁面には、回路９５が接続されており、後に詳しく説明するＩＰＡ蒸気発生室９６で作り出された処理液としてのＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］の蒸気がこの回路９５を介して処理槽１９内に導入されるようになっている。この回路９５の周りには、ＩＰＡ蒸気が処理槽１９内に導入される前に凝縮することを防ぐために例えばテープヒータなどのヒータ９７が装着されており、回路９５内の温度は約８０℃に維持されている。
【００４０】
ＩＰＡ蒸気発生室９６には、ＩＰＡ液供給源９８からＩＰＡ液が供給されている。ＩＰＡ液供給源９８は、例えばキャニスタ容器などに充填されているＩＰＡ液をＩＰＡ蒸気発生室９６に回路９９を介して圧送するように構成されている。ＩＰＡ蒸気発生室９６は、こうして供給されたＩＰＡ液を約８０℃以上（例えば１２０℃）にまで加熱することにより、ＩＰＡ蒸気を作り出し、そのＩＰＡ蒸気を回路９５を介してケース７３内の処理槽１９内に導入する。
【００４１】
また、処理槽１９の上部には回路１００が接続されており、この回路１００は処理槽１９の内壁に接触した状態で開口するように設けられている。そして、ＩＰＡ蒸気発生室９６内の下方から取り出したＩＰＡ液をこの回路１００を介して処理槽１９内に導入し、そのＩＰＡ液を処理槽１９の内壁上部に伝わらせながら供給できるように構成されている。
【００４２】
その他、ＩＰＡ蒸気は引火性が高いので、以上に説明したケース７３およびＩＰＡ蒸気発生室９６の内部には、消火手段としてのＣＯ２消火器１０１によりＣＯ２ガスを供給できるように構成されている。また、処理槽１９の全体の処理工程は、操作パネル１０２での入力に従ってコントローラ１０３により制御されている。
【００４３】
次に、ＩＰＡ蒸気発生室９６は、図６に示すように、ケーシング１１０の内部に蒸気発生室本体１１１を配置した構成を備えており、前述の回路９５、回路９９、および回路１００は何れもこの蒸気発生室本体１１１に接続されている。回路９９の途中には、ＩＰＡ液供給源９８から蒸気発生室本体１１１へ供給されるＩＰＡ液の供給を制御するための弁１１２と、蒸気発生室本体１１１へ供給する途中でＩＰＡ液中の不純物を濾過除去するためのフィルタ１１３が設けられている。そして、蒸気発生室本体１１１の底部にはヒータ１１５が配設されており、ＩＰＡ液供給源９８から回路９９を介して蒸気発生室本体１１１内に供給されたＩＰＡ液を、このヒータ１１５によりＩＰＡ液の沸点である約８０℃以上の温度（例えば１２０℃程度）にまで加熱するように構成されている。このヒータ１１５による加熱時には、蒸気発生室本体１１１内の上方にはＩＰＡ蒸気が充満し、蒸気発生室本体１１１内の圧力はＩＰＡ蒸気の蒸気圧で大気圧よりも高い状態となる。
【００４４】
処理槽１９の外槽６０側壁面に接続されている回路９５は蒸気発生室本体１１１の上面に開口しており、また、この回路９５の途中には弁１１７が設けられている。そして、先に説明したヒータ１１５の加熱によって蒸気発生室本体１１１内の圧力をＩＰＡ蒸気の蒸気圧で大気圧よりも高くした状態でこの弁１１７を開放することにより、その蒸気圧でＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入することができる。この場合、回路９５の周りには図５で示したヒータ９７が装着してあって回路９５内の温度は約８０℃に維持されているので、ＩＰＡ蒸気が処理槽１９内に導入される前に回路９５中で凝縮する心配がない。
【００４５】
前述の処理槽１９の内壁上部に接続されている回路１００は、蒸気発生室本体１１１の内部の下方に溜められたＩＰＡ液の液面下において開口しており、この回路１００の途中には弁１２０が設けられている。また、蒸気発生室本体１１１内には弁１２１を備えた回路１２２を介して図示しないＮ２加圧ガス供給源からのＮ２加圧ガスを供給できるようになっている。従って、回路１００の弁１２０を開放した状態で回路１２２の弁１２１を開放して蒸気発生室本体１１１内にＮ２加圧ガスを供給することにより、蒸気発生室本体１１１の内部下方に溜められているＩＰＡ液を回路１００を介して処理槽１９内に導入することができる。また、ＩＰＡ蒸気の圧力を利用してＩＰＡ液を回路１００を介して処理槽１９内に導入することも可能である。この場合、前述したように回路１００は処理槽１９の内壁上部に接触した状態で開口しているので、回路１００から処理槽１９内に導入したＩＰＡ液を処理槽１９の内壁に伝えながら流下させることができる。
【００４６】
その他、蒸気発生室本体１１１の上面には温度センサ１２５が設けられると共に、回路１２６、１２７がそれぞれ接続されている。温度センサ１２５は、例えば熱電対とすることができる。この温度センサ１２５によって蒸気発生室本体１１１内の上方に充満しているＩＰＡ蒸気の温度を測定し、その温度を図５で説明したコントローラ１０３に入力する。
【００４７】
回路１２６は大気圧雰囲気中にて開口しており、また、回路１２６の途中には弁１２８が設けられている。この弁１２８を開放することにより、蒸気発生室本体１１１内の雰囲気を大気圧に開放することができる。
【００４８】
回路１２７は弁１３０を介してトラップパイプ１３１の上端に接続されている。トラップパイプ１３１の周囲には冷却用のウォータージャケット１３２が装着してあり、弁１３０を解放すると、蒸気発生室本体１１１内のＩＰＡ蒸気が回路１２７からトラップパイプ１３１内に流入し、ウォータージャケット１３２の冷熱で冷却されてＩＰＡ液に凝縮するようになっている。また、トラップパイプ１３１の下端は、弁１３３を備える回路１３４を介して蒸気発生室本体１１１の下方に接続されている。従って、ウォータージャケット１３２の冷熱で凝縮したＩＰＡ液は、弁１３３の開放によって蒸気発生室本体１１１の下方に戻される。
【００４９】
蒸気発生室本体１１１の周囲は、例えばシリコンスポンジの如き断熱材１３５によって覆われており、蒸気発生室本体１１１内で発生したＩＰＡ蒸気を保温することにより、ＩＰＡ蒸気が凝縮するのを防いでいる。
【００５０】
蒸気発生室本体１１１の側方には、前述のＩＰＡ液供給源９８から回路９９を介して蒸気発生室本体１１１内に供給されたＩＰＡ液の液面高さを示すレベルゲージ１３６が設けられている。そして、このレベルゲージ１３６に現れる液面をセンサ１３７によって測定することにより、蒸気発生室本体１１１内に溜められているＩＰＡ液の液面高さを検出し、その液面高さを図５で説明したコントローラ１０３に入力するようになっている。
【００５１】
そして、蒸気発生室本体１１１およびトラップパイプ１３１を包んでいるケーシング１１０の内部は、回路１３８を介して供給されたＮ２パージガスによって置換され、ケーシング１１０内は不活性雰囲気に保たれている。
【００５２】
さて、図１の洗浄システム１全体においては、図示しない搬送ロボットが未だ洗浄されていないウェハＷを例えば２５枚ずつ収納したキャリアＣを搬入・ロード部２の搬入部５に載置する。そして、この搬入部５に載置されたキャリアＣを移送装置７によって隣接するローダ６へ移送する。ローダ６では、例えばキャリアＣ二個分の５０枚のウェハＷをキャリアＣから取り出し、更にオリフラ合わせした状態で５０枚のウェハＷを整列待機させる。
【００５３】
続いて、既に処理槽１１において洗浄および乾燥処理された搬送装置３０のウェハチャック３６が、ローダ６に整列している待機状態のウェハＷの上方に移動し、その整列されたウェハＷをウェハチャック３６により５０枚単位で一括して把持する。そして、それらウェハＷを先ず処理槽１２、１３、１４に順次搬送する。こうして、処理槽１２では、例えばアンモニア水過水の如きアルカリ系洗浄液（ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ）を用いたいわゆるＳＣ１洗浄を行い、ウェハＷ表面に付着している有機汚染物、パーティクル等の不純物質を除去する。また、処理槽１３、１４では、例えば純水の如き洗浄水を用いてウェハＷのリンス洗浄を行う。
【００５４】
ＳＣ１洗浄とリンス洗浄を終了すると、次の搬送装置３１のウェハチャック３７が処理槽１４内に下降し、処理槽１４底部のボート上に保持された５０枚のウェハＷを一括して把持して上昇する。そして、それらウェハＷを一括して次の処理槽１５、１６、１７へ順次搬送する。こうして、処理槽１５では、例えば塩酸過水（ＨＣｌ＋Ｈ２Ｏ２）を用いたいわゆるＳＣ２洗浄を行い、金属イオンの除去、ウェハＷ表面の安定化を図る。また、処理槽１６、１７では、例えば純水の如き洗浄水を用いてウェハＷのリンス洗浄を行う。
【００５５】
ＳＣ２洗浄とリンス洗浄を終了すると、次の搬送装置３２のウェハチャック３８が処理槽１７内に下降し、処理槽１７底部のボート上に保持された５０枚のウェハＷを一括して把持して上昇する。こうして処理槽１７から取り出したウェハＷを一括して次の処理槽１９と搬出・アンロード部４のアンローダ２０へ順次搬送する。
【００５６】
ここで、本発明の実施の形態にかかる処理槽１９においては、以下に説明する工程に従ってウェハＷの洗浄、乾燥処理が行われる。
【００５７】
先ず、ウェハＷが搬入される前においては、処理槽１９には所定の濃度に設定された希フッ酸（ＨＦ／Ｈ２Ｏ）のごとき洗浄液が予め充填されており、また、図５で説明した洗浄液循環機構８５によって回路６４を介して処理槽１９の底部に洗浄液が連続的に循環供給されることにより、処理槽１９内には洗浄液の上昇流が形成された状態になっている。そして、処理槽１９の上方（ケース７３の上方）には、処理槽１７から取り出した５０枚のウェハＷを一括把持した搬送装置３２のウェハチャック３８が待機した状態になっている。
【００５８】
そして、図２に示した蓋体７１が開放されてケース７３の上面が開口すると、ウェハチャック３８が下降を開始し、ウェハチャック３８によって把持された５０枚のウェハＷを処理槽１９内に挿入して、それらウェハＷを処理槽１９底部のボート５０上に保持させる。その後、ウェハチャック３８は開脚してウェハＷの把持状態を開放した後上昇し、処理槽１９上方に退避する。このウェハチャック３８の退避後、蓋体７１が再び閉められて処理槽１９はケース７３内の密閉雰囲気におかれた状態となる。そして、図７（１）に示すようにして、処理槽１９内においてウェハＷを洗浄液（希フッ酸）１５０に浸漬させた状態でＨＦ洗浄が開始する。
【００５９】
次に、所定のレシピ（設定濃度／設定時間）に従うウェハＷのＨＦ洗浄が終了すると、図５に示す洗浄液循環機構８５は処理槽１９の底部からの洗浄液（希フッ酸）の循環供給を中止する。そして、純水供給源８７から供給されたリンス洗浄液としての純水を処理槽１９の底部に供給し、希フッ酸を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させて洗浄液循環機構８５に戻した後、回路９０、７９から廃棄する。こうして、しばらくの間純水供給源８７からリンス洗浄液を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより、処理槽１９内の洗浄液を純水に置換し、置換後、回路９０、７９からの廃棄を停止する。なお、洗浄液が希フッ酸から純水に置換されたことは、例えば洗浄液の比抵抗を計測して検知することができる。そして、図７（２）に示すようにして、処理槽１９内においてウェハＷを純水洗浄液１５１中に浸漬させてウェハＷをリンス洗浄する。
【００６０】
そして、リンス洗浄を終了すると、洗浄液循環機構８５は処理槽１９の底部からのリンス洗浄液（純水）の循環供給を中止する。そして、温水供給源８８から供給された温水洗浄液としての温水（室温以上８０℃以下程度に水温が調節された温水）を処理槽１９の底部に供給し、リンス洗浄液を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させて洗浄液循環機構８５に戻した後、回路９０、７９から廃棄する。こうして、しばらくの間温水供給源８８から温水洗浄液を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより処理槽１９内の洗浄液を温水に置換し、図７（３）に示すようにして、処理槽１９内においてウェハＷを温水洗浄液１５２中に浸漬させてウェハＷを加熱する。そして、ウェハＷを加熱後、洗浄液循環機構８５は処理槽１９の底部からの温水洗浄液の供給を中止する。
【００６１】
次に、図６に示したＩＰＡ蒸気発生室９６の蒸気発生室本体１１１においてヒータ１１５で所定の温度（例えばＩＰＡの沸点である約８０℃）に加熱したＩＰＡ液を回路１００を介して蒸気発生室本体１１１内の下方から取り出し、そのＩＰＡ液を処理槽１９内に導入して処理槽１９の内壁上部に伝わらせながら吐き出す。こうして、図７（４）に示すように、処理槽１９内においてウェハＷを温水洗浄液１５２中に浸漬させながら、温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の層を適当な厚さで浮遊させた状態で形成する。
【００６２】
なお、この温水洗浄液１５２の液面に形成されるＩＰＡ液１５３の浮遊層は、回路１００から処理槽１９内にＩＰＡ液を導入する代わりに、図６に示したＩＰＡ蒸気発生室９６の蒸気発生室本体１１１で作り出したＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入することによっても形成することもできる。即ち、処理槽１９内に溜められている温水洗浄液１５２の温度がＩＰＡ液の沸点である約８０℃よりも低い場合は、回路９５からＩＰＡ蒸気を処理槽１９内に導入すれば、その蒸気が処理槽１９内の温水洗浄液１５２の液面に触れた際に凝縮するので、同様に図７（４）に示したように、温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の浮遊層を形成することができる。
【００６３】
こうして回路１００を介して処理槽１９内にＩＰＡ液を導入することにより温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の浮遊層を形成した後、図６に示すＩＰＡ蒸気発生室９６の蒸気発生室本体１１１において作り出したＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入し始める。あるいは、既に回路９５からＩＰＡ蒸気を処理槽１９内に導入して処理槽１９内の温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の浮遊層を形成した場合は、更に蒸気発生室本体１１１において作り出したＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入し続ける。なお、このように処理槽１９内にＩＰＡ蒸気を導入する場合は、ＩＰＡ蒸気発生室本体１１１においてヒータ１１５でＩＰＡ液を約８０℃以上（例えば１２０℃）に加熱し、ＩＰＡ蒸気発生室８６内のＩＰＡ液を沸騰させてＩＰＡ蒸気発生室本体１１１内を大気圧よりも高くした状態で弁１１７を開放し、蒸気圧によってＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入する。
【００６４】
そして、処理槽１９内にＩＰＡ蒸気を導入している状態を保ちながら、処理槽１９内の温水洗浄液を図５に示した回路６４から洗浄液循環機構８５に少しずつ戻して回路９０、７９から廃棄し、処理槽１９内の温水洗浄液１５２を徐々に排水する。この排水工程の途中においては、処理槽１９内には、図７（５）に示すように、下方に温水洗浄液１５２の液層が位置し、上方にＩＰＡ蒸気１５４の気層が位置し、それらの間にＩＰＡ液１５３の液層が位置した状態となる。こうして、処理槽１９内においてウェハＷの表面の温水洗浄液１５２を直接気体に触れさせずに、ウェハＷ表面の温水洗浄液を揮発性の高いＩＰＡ液１５３に置換しながら徐々に排水する。
【００６５】
こうして、温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の層を形成させた状態で処理槽１９内の温水洗浄液１５２をゆっくりと排水することにより、ウェハＷの表面全体にＩＰＡ液１５３の層を通過させて、ウェハＷ表面に付着していた洗浄液（純水）を揮発性の高いＩＰＡ液１５３に置換することが可能となる。なお、ボート５０によって保持されているウェハＷの周縁部に付着している洗浄液（純水）もＩＰＡ液に完全に置換できるように、ＩＰＡ液１５３の層が通過する際に、ボート５０によるウェハＷの保持箇所を途中で変えてやることが望ましい。
【００６６】
そして、図７（６）の乾燥工程−１に示すように、処理槽１９内から温水洗浄液１５２を完全に排水し、温水洗浄液１５２上に浮遊していたＩＰＡ液１５３の液層も完全に排水した後においても、更に処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を導入し続ける。そして、処理槽１９内をよりＩＰＡ蒸気１５４雰囲気にして水分を排出する。こうして、所定の間、処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を導入したら、回路９５の弁１１７を閉じ、処理槽１９内へのＩＰＡ蒸気の導入を終了する。
【００６７】
乾燥工程−１を終了すると、次に、図５に示した回路８０を介して図示しないＮ２ガス供給源からケース７３内にＮ２ガスを供給し、処理槽１９内のＩＰＡ蒸気を一掃（ＰＵＲＧＥ）する。これにより、処理槽１９内雰囲気はＮ２ガスに置換されて不活性雰囲気となる。こうして、図７（７）の乾燥工程−２においては不活性雰囲気下で乾燥を行い、ウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液を完全に蒸発させて取り除く。処理槽１９内雰囲気がＮ２ガスに置換されると、図示しないＮ２ガス供給源からのＮ２ガスの供給は終了する。かくして、表面にウォーターマークを残すことなく乾燥されたウェハＷが、不活性雰囲気となった処理槽１９内に収納された状態となる。この場合、ケース７３内に供給するＮ２ガスは、例えば約８０℃程度に加熱されていることが望ましい。
【００６８】
そして、以上に説明した図７（６）の乾燥工程−１や図７（７）の乾燥工程−２においては、ケース７３内を排気して処理槽１９内の雰囲気を大気圧よりも減圧した状態にすることにより、ウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液の乾燥を早めることができるようになる。即ち、例えば図７（６）に示す乾燥工程−１において、処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を供給してウェハＷを乾燥する処理を行いながら、図５に示した排気手段７８を稼働し、ケース７３内の雰囲気を回路７５、７７を介して排気する。すると、ケース７３内におかれている処理槽１９は減圧雰囲気となり、これにより処理槽１９内に収納しているウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液の蒸気圧が相対的に高くなって、ＩＰＡ液の乾燥を早めることができるようになる。
【００６９】
一方、このように排気手段７８を稼働してケース７３内の雰囲気を排気した場合は、ケース７３底部から回路７５に排気される雰囲気中にＩＰＡ蒸気などの有機物質が混入することになる。しかし、回路７５に混入した有機物質は、回路７５、７７の間に設けたトラップ機構７６で捕捉されてトラップ機構７６底部の回路７９から廃棄（ＤＲＡＩＮ）されるので、排気手段７８側には入り込む心配がない。
【００７０】
なお、以上は図７（６）の乾燥工程−１において処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を供給している際に処理槽１９内を減圧雰囲気にする例について説明したが、その他、図７（６）の乾燥工程−１において処理槽１９内へのＩＰＡ蒸気１５４の供給を終了した後にケース７３内の排気を行っても良く、また、図７（７）の乾燥工程−２において回路８０からケース７３内にＮ２ガスを導入しているときにケース７３内を排気して処理槽１９内を減圧雰囲気にするようにしても良く、更にまた、処理槽１９へのＮ２ガスの導入を終了した後に、ケース７３内を廃棄して処理槽１９内を減圧雰囲気にしても良い。何れにしても、図７（６）の乾燥工程−１および図７（７）の乾燥工程−２の間の適当な時期に排気手段７８を稼働して処理槽１９内を減圧雰囲気にすることにより、ウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液の乾燥を早めることができるようになる。
【００７１】
かくして、処理槽１９におけるウェハＷの洗浄および乾燥が終了すると、図２に示した蓋体７１が再び開放されてケース７３の上面が開口し、既に処理槽１８において洗浄および乾燥処理されて、処理槽１９の上方に待機していたウェハチャック３８が下降を開始する。そして、ウェハチャック３８は処理槽１９底部のボート５０上に保持されていた５０枚のウェハＷを一括して把持し、そのウェハＷを処理槽１９から取り出して、次の搬出・アンロード部４のアンローダ２０に搬出する。かくして、この洗浄システムによる一連の洗浄、乾燥が終了したウェハＷは、キャリアＣに装填された状態で搬出・アンロード部４の搬出部２１から、例えば図示しないロボットにより搬出されることになる。
【００７２】
なお、この実施の形態で説明した処理槽１９のようにＩＰＡなどの引火性の高い処理液を用いる場合は、先に図５において説明したように、ケース７３およびＩＰＡ蒸気発生室９６の内部にＣＯ２ガスを供給して消火を行うようなＣＯ２消火器１０１を設置すると良い。この場合、図６に示した温度センサ１２５の周辺のみにＣＯ２ガスを供給する構成としても良い。
【００７３】
また、処理槽１９の全体の処理工程を、図５に示したコントローラ１０３によって制御する例について説明したが、例えばＩＰＡ蒸気発生室９６の制御を行う各制御部や、処理槽１９やその他の各洗浄槽１１〜１７の制御を行う各制御部、搬入・ロード部２と搬出・アンロード部４の制御を行う各制御部などをそれぞれ個別に設け、それらの各制御部をマスターコンピュータで制御するように構成しておけば、マスターコンピュータが故障しても、それぞれの各制御部で制御することによって、洗浄システム１の運転を継続できるので、安全性を確保できる。
【００７４】
なお、この実施の形態においては、処理槽１９へのウェハＷの搬入と、処理槽１９からのウェハＷの搬出を一つの搬送装置３２によって行う例を説明した。その場合、処理槽１９へウェハＷを搬入した際にウェハチャック３８に洗浄液が付着するので、処理槽１９内で洗浄および乾燥されたウェハＷを搬出する際には、ウェハチャック３８を洗浄槽１８にて洗浄、乾燥することが必要である。そこで、処理槽１９へウェハＷを搬入する搬送装置と、処理槽１９からウェハＷを搬出する搬送装置をそれぞれ別個に設けるようにしても良い。そうすれば、処理槽１９からウェハＷを搬出する搬送装置のウェハチャックは常に清潔かつ乾燥した状態を保つことができるので、ウェハチャックの洗浄と乾燥を行う処理槽を省略できるようになる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、処理槽内の雰囲気を減圧状態にすることにより、被処理体の表面に付着した処理液を迅速に乾燥させることができる。従って、本発明によれば、処理時間を短縮でき、スループットの向上をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる処理槽を備えた洗浄システムの斜視図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面矢視図である。
【図３】搬送装置の斜視図である。
【図４】処理槽の斜視図である。
【図５】洗浄液循環機構の説明図である。
【図６】ＩＰＡ蒸気発生室の説明図である。
【図７】処理槽における洗浄、乾燥の処理工程説明図である。
【符号の説明】
Ｗ ウェハ
１９ 処理槽
７５ 回路
７６ トラップ機構
７７ 回路
７８ 排気手段
８５ 処理液循環機構
９６ ＩＰＡ蒸気発生室
９８ ＩＰＡ液供給源
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理液の蒸気を用いて被処理体を処理する装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という）表面のパーティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去するために洗浄システムが使用されている。その中でもウェハを処理槽内の洗浄液に浸漬して洗浄を行うウエット型の洗浄システムは、ウェハに付着したパーティクルを効果的に除去できる長所がある。
【０００３】
この従来のウエット型の洗浄システムは、連続バッチ処理を可能とするため、例えば２５枚のウェハをキャリア単位で装置内にロードするローダと、このローダによってロードされたキャリア２個分の５０枚のウェハを一括して搬送する搬送手段と、この搬送手段によって搬送される５０枚のウェハをバッチ式に洗浄、乾燥するように配列されたユニットとしての処理槽を備え、さらに各処理槽によって洗浄、乾燥されたウェハをアンロードするアンローダとを備えた、ウエットステーションと呼ばれ、広く使用されている。このウエットステーションの各処理槽では、アンモニア処理、フッ酸処理、硫酸処理、塩酸処理などの各種薬液処理と、純水などによる水洗処理とが交互に行われ、更に最終的に、乾燥処理が行われる。
【０００４】
ここで、ウェハの乾燥処理を行う処理槽として、親水性の高いＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］蒸気をウェハの表面に供給しつつ槽下部から排水して乾燥を行うクローズド方式の処理槽は、ＩＰＡの揮発を利用してウェハの表面から純水の膜を取り除くことができ、ウォーターマークを残さずに乾燥できる利点があることから、広く普及している。そして、このクローズド方式の処理槽は、ＩＰＡ液供給源から供給されたＩＰＡ液を蒸気発生室内で加熱してＩＰＡ蒸気を発生させ、そのＩＰＡ蒸気を洗浄システムの処理槽に導入しながら処理槽内に収納したウェハを乾燥させるように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、以上のようなウェハの乾燥を行う処理槽では、乾燥時においては処理槽内はすべてＩＰＡ蒸気に置換され、更に最終的にＮ２ガスなどの不活性ガスに処理槽内雰囲気がパージされて、乾燥処理が終了する。そして、こうして処理槽内の不活性雰囲気に保持されたウェハは、適当な時期に搬送装置によって処理槽から取り出され、キャリアに装填されて搬出される。
【０００６】
しかしながら、従来の洗浄システムにおいては、かようなＩＰＡ蒸気下で行われるウェハの乾燥を短時間で終えることができない場合があった。かかる場合、ウェハの表面が充分に乾燥しきっていない状態でウェハを処理槽から取り出したのでは、ウェハの表面にパーティクルが付着しやすくなってしまう。このため、従来の洗浄システムにおいては、ウェハの乾燥に相当の時間が必要であり、スループットの向上をはかり難かった。
【０００７】
従って本発明の目的は、以上のように処理槽内にＩＰＡ液の如き処理液の蒸気を導入しながら被処理体を処理する際に、その処理時間を短縮化することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明は，処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理装置において，処理液の蒸気を作る蒸気発生室と，この蒸気発生室で作り出した処理液の蒸気を処理槽内に導入する回路と，該回路に装着されたヒータと，処理槽内を排気する排気手段を設け，前記排気手段によって排気される雰囲気中に混入した有機物質を捕捉するトラップ機構を備えることを特徴としている。この処理装置において，処理液を処理槽内に導入する回路を更に備えていても良い。
また本発明は，処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理装置において，処理液の蒸気を作る蒸気発生室と，この蒸気発生室で作り出した処理液の蒸気を処理槽内に導入する回路と，該回路に装着されたヒータと，処理槽内を排気する排気手段を設け，前記蒸気発生室は，底部にヒータを備える蒸気発生室本体をケーシングの内部に配置した構成を備え，前記蒸気発生室本体には，処理液を蒸気発生室本体に供給する回路と，処理液の蒸気を処理槽に導入する回路が接続され，前記蒸気発生室本体から処理槽に処理液を導入する回路を更に備えることを特徴としている。
前記蒸気発生室は，蒸気発生室本体の内部上方にて処理液の蒸気を凝縮させる冷却手段が設けられていても良い。また，前記ケーシングの内部は，Ｎ２パージガスによって置換されても良い。
【０００９】
そして，本発明は，処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理方法において，処理槽において被処理体を洗浄液に浸漬させて洗浄処理し，洗浄処理後，処理槽に処理液もしくは処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成し，処理液の層を形成後，処理槽に処理液の蒸気を導入しながら，処理槽内の洗浄液を排水し，排水後，処理槽内を排気することを特徴としている。この処理方法において，例えば前記処理槽において被処理体を洗浄液に浸漬させて洗浄処理するに際し，温水洗浄液を処理槽に供給して被処理体を加熱し，加熱後，処理槽に処理液もしくは処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成する。また，前記温水洗浄液の温度が処理液の沸点よりも低い場合は，処理槽に処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成しても良い。また，前記処理液の蒸気を供給しながら処理槽内を排気しても良いし，前記処理液の蒸気の供給を終了した後，処理槽内を排気しても良い。また，前記処理槽内の洗浄液を排水後，処理槽内を不活性雰囲気に置換し，その後，処理槽内を排気しても良い。また，前記処理槽内の洗浄液を排水後，処理槽内を不活性雰囲気に置換しながら，処理槽内を排気しても良い。更に，前記洗浄液の液面に形成された処理液の層が通過する際に，被処理体の保持箇所を途中で変えてやることが好ましい。
【００１１】
本発明にあっては，処理槽内を排気することにより，処理槽内の雰囲気を大気圧よりも減圧した状態にする。これにより，処理槽内に収納した被処理体の表面に付着した処理液の蒸気圧を相対的に高めて，乾燥を早めることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、被処理体の一例としてのウェハＷの表面に、処理液としてのＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］蒸気を供給しながら乾燥処理を行うものについて説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる処理槽１９を備えた洗浄システム１の斜視図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ断面矢視図である。
【００１４】
この洗浄システム１は、キャリアＣ単位で搬入された洗浄前のウェハＷをキャリアＣから整列した状態で取り出す動作を行う搬入・ロード部２と、この搬入・ロード部２からロードされた複数枚数の（例えば、キャリアＣ２個分の５０枚の）ウェハＷを一括してバッチ式に洗浄、乾燥する処理部３と、この処理部３で洗浄、乾燥されたウェハＷをキャリアＣに装填してキャリアＣ単位で搬出する搬出・アンロード部４の三つの箇所に大別することができる。
【００１５】
搬入・ロード部２には、洗浄前のウェハＷを例えば２５枚収納したキャリアＣを搬入して載置させる搬入部５と、この搬入部５の所定位置に送られたキャリアＣを、隣接するローダ６へ一度に適宜数（例えば２個）ずつ移送するための移送装置７が設けられている。
【００１６】
この実施の形態においては、処理部３には、搬入・ロード部２側から搬出・アンロード部４側の順に、後述する搬送装置３０のウェハチャック３６を洗浄および乾燥するための処理槽１１、洗浄液を用いてウェハＷを洗浄する処理槽１２、この処理槽１２で洗浄されたウェハＷをリンス洗浄する処理槽１３、１４、洗浄液を用いてウェハＷを洗浄する処理槽１５、この処理槽１５で洗浄されたウェハＷをリンス洗浄する処理槽１６、１７、搬送装置３２のウェハチャック３８を洗浄および乾燥するための処理槽１８、および、各洗浄槽１２〜１７で洗浄されたウェハＷを乾燥させるための処理槽１９が配列されている。
【００１７】
そして、処理槽１１と処理槽１８では、例えば純水などを用いてウェハチャック３６とウェハチャック３８の洗浄をそれぞれ行い、更に、ウェハチャック３６とウェハチャック３８の乾燥も行う。また、処理槽１２と処理槽１５では、互いに種類の異なる洗浄液による洗浄を行うのが一般的である。その一例として、処理槽１２では、例えばアンモニア水過水の如きアルカリ系洗浄液（ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ）を用いたいわゆるＳＣ１洗浄を行って、ウェハＷ表面に付着している有機汚染物、パーティクル等の不純物質を除去する。また、処理槽１５では、例えば塩酸過水（ＨＣｌ＋Ｈ２Ｏ２）を用いたいわゆるＳＣ２洗浄を行って、この酸系洗浄により金属イオンの除去、ウェハＷ表面の安定化を図る。また、処理槽１３、１４、および処理槽１６、１７では、例えば純水の如き洗浄水を用いてウェハＷのリンス洗浄を行う。更にまた、処理槽１９では、この実施の形態においては、後述するように希フッ酸（ＨＦ／Ｈ２Ｏ）を用いたいわゆるＨＦ洗浄とリンス洗浄を行い、更にその洗浄後に親水性の高いＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］蒸気をウェハＷの表面に供給しつつ槽下部から排水することにより、ＩＰＡの揮発を利用してウェハＷの表面から純水の膜を取り除き、ウォーターマークを残すことのない乾燥を行うように構成されている。
【００１８】
但し、ウェハチャック３６とウェハチャック３８の洗浄と乾燥を行う処理槽１１と処理槽１８およびウェハＷの洗浄と乾燥を行う処理槽１９を除く各処理槽１２〜１７の配列、組合わせはウェハＷに対する洗浄の種類によって任意に組み合わせることができ、場合によってはある処理槽を省略したり、逆に他の処理槽を付加してもよい。例えば、硫酸過水（Ｈ２ＳＯ４＋Ｈ２Ｏ２）洗浄を行う処理槽などが組み合わされる場合もある。
【００１９】
搬出・アンロード部４には、先に説明した搬入・ロード部２のローダ６と同様の構成を有するアンローダ２０、搬入部５と同様の構成を有する搬出部２１、および、移送装置７と同様の構成を有する移送装置（図示せず）がそれぞれ設けられている。
【００２０】
そして、処理部３の前面側（図１における手前側）には、搬入・ロード部２側から搬出・アンロード部４側の順に、三つの搬送装置３０、３１、３２が配列されており、これら各搬送装置３０、３１、３２は、何れもガイド３３に沿って洗浄システム１の長手方向にスライド移動自在に構成されている。各搬送装置３０、３１、３２は、それぞれ対応するウェハチャック３６、３７、３８を備えていて、各搬送装置３０、３１、３２はそのウェハチャック３６、３７、３８によって所定枚数のウェハＷ（例えばキャリアＣ二個分の５０枚のウェハＷ）を一括して把持することが可能である。これらの内、搬入・ロード部２側に位置する搬送装置３０は、そのウェハチャック３６で所定枚数のウェハＷを保持してガイド３３に沿ってスライド移動することにより、搬入・ロード部２のローダ６から取り出したウェハＷを、処理部３において処理槽１２、１３、１４の順に一括して搬送する。また、中央に位置する搬送装置３１は、そのウェハチャック３７で所定枚数のウェハＷを保持してガイド３３に沿ってスライド移動することにより、処理部３において処理槽１４、１５、１６、１７の順にウェハＷを一括して搬送する。また、搬出・アンロード部４側に位置する搬送装置３２は、そのウェハチャック３８で所定枚数のウェハＷを保持してガイド３３に沿ってスライド移動することにより、処理部３において処理槽１７、１９の順にウェハＷを一括して搬送し、更に、処理槽１９から搬出・アンロード部４のアンローダ２０にウェハＷを一括して搬送する。
【００２１】
ここで、以上の搬送装置３０、３１、３２は何れも概ね同様の構成を備えているので、例えば処理槽１７、１９と搬出・アンロード部４のアンローダ２０の間でウェハＷを搬送する搬送装置３２を例にして説明すると、搬送装置３２のウェハチャック３８は、図３に示すように、例えばキャリアＣ二つ分としての５０枚のウェハＷを一括して把持する左右一対の把持部材４１ａ、４１ｂを備えている。これら把持部材４１ａ、４１ｂは左右対称形であり、各把持部材４１ａ、４１ｂが一対の回動軸４２ａ、４２ｂによって搬送装置３２の支持部４３に支持されることにより、把持部材４１ａ、４１ｂが左右対称に回動して開脚、閉脚するように構成されている。支持部４３は、駆動機構４４によって上下方向（図３においてＺ方向）に昇降する。また、駆動機構４４自体も、先に図１に示したガイド３３に沿って処理部３の長手方向（図３においてＸ方向）に沿ってスライド移動する。なお、図示はしないが、ウェハチャック３８全体は支持部４３に内蔵された図示しない駆動機構によって前後方向（図３においてＹ方向）に移動でき、更に、支持部４３自体も水平面内においてその角度を微調整できるように構成されている。
【００２２】
回動軸４２ａ、４２ｂには把持部材４１ａ、４１ｂの各上端部が固着され、また、これら各把持部材４１ａ、４１ｂの下端部には、上下２段に石英製の把持棒４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂが平行に渡されている。これら各把持棒４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂの表面には、ウェハＷの周縁部が挿入される把持溝が例えば５０本形成されている。そして、前述したように、回転軸４２ａ、４２ｂの回動に伴って把持部材４１ａ、４１ｂを閉脚させることにより、例えば５０枚のウェハＷの周縁部を各把持棒４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂの把持溝にそれぞれ嵌入させ、各ウェハＷ同士を所定の等間隔に保ちつつ立てた状態で整列させて一括把持するようになっている。そして、こうして複数枚のウェハＷを一括して把持した状態で支持部４３が駆動機構４４によって上下方向（図３においてＺ方向）に昇降し、駆動機構４４自体が先に図１に示したガイド３３に沿って処理部３の長手方向（図３においてＸ方向）に沿ってスライド移動することにより、処理槽１７、１９および搬出・アンロード部４のアンローダ２０の間でウェハＷを搬送するように構成されている。
【００２３】
なお、搬送装置３２について代表して説明したが、その他の搬送装置３０、３１およびそれらのウェハチャック３６、３７も、搬送装置３２およびウェハチャック３８と概ね同一の構成を有しており、同様に例えば５０枚のウェハＷを一括して把持し、搬送するように構成されている。
【００２４】
一方、ウェハチャック３６とウェハチャック３８の洗浄と乾燥を行う処理槽１１と処理槽１８を除く他の各処理槽１２〜１７、１９の底部には、各槽内でウェハＷを同士を所定の等間隔に保ちつつ立てた状態で整列させて保持するための保持具となるボート５０がそれぞれ設置されている。ここで、各処理槽１２〜１７、１９の底部には、何れも概ね同一の構造を有するボート５０が設けられているので、図３を基にして処理槽１９に設置されているボート５０について代表して説明すると、このボート５０は、処理槽１９内に垂設された前後一対の支持体５１、５２の下端に渡って水平に取り付けられた三本の平行な保持棒５３、５４、５５を備えている。これら保持棒５３、５４、５５の内、中央の保持棒５４の高さが最も低く、左右の保持棒５３、５５は保持棒５４を中心に対称の位置に、かつ、保持棒５４よりも高い位置に配置されている。これら保持棒５３、保持棒５４、および保持棒５５の表面には、ウェハＷの周縁部が挿入される保持溝がそれぞれ５０個ずつ形成されている。
【００２５】
そして、前述のウェハチャック３８によって一括して把持された５０枚のウェハＷは、搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の下降に伴って処理槽１９内に挿入され、５０枚のウェハＷの下端がボート５０の保持棒５３、５４、５５の保持溝にそれぞれ嵌入すると、搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の下降が停止するように構成されている。こうして、５０枚のウェハＷはボート５０の保持棒５３、５４、５５の保持溝によって互いに所定の間隔を保ちつつ一括して保持された状態となる。そして、ウェハチャック３８は回動軸４２ａ、４２ｂの回動により把持部材４１ａ、４１ｂを開脚し、ウェハＷの把持状態を開放する。こうして、把持部材４１ａ、４１ｂの間で把持していた５０枚のウェハＷを一括して離した後、搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の上昇に伴って処理槽１９上方にウェハチャック３８が退避する。その後、処理槽１９内においてボート５０上に受け渡されたウェハＷに対する所定の処理が行われるように構成されている。
【００２６】
また、後述するように処理槽１９における所定の処理が終了すると、再び搬送装置３２の駆動機構４４による支持部４３の下降に伴ってウェハチャック３８が処理槽３２内に挿入される。そして、回動軸４２ａ、４２ｂの回動により把持部材４１ａ、４１ｂが閉じられてボート５０の保持棒５３、５４、５５上に保持された５０枚のウェハＷを一括して把持する。その後、支持部４３が上昇することによってウェハチャック３８が処理槽１９内から上方に退避し、それに伴って５０枚のウェハＷは一括して処理槽４２から取り出される。そして、搬送装置３２の駆動機構４４自体が先に図１に示したガイド３３に沿って処理部３の長手方向（図３においてＸ方向）に沿ってスライド移動して、処理槽１９から取り出したウェハＷを次の搬出・アンロード部４のアンローダ２０にまで搬送するように構成されている。
【００２７】
なお、処理槽１９以外の各処理槽１２〜１７にも、以上に説明したボート５０と同様のものが設置されており、上記と同様に、各処理槽１２〜１７においても、５０枚のウェハＷを一括して保持できるように構成されている。そして、所定枚数のウェハＷを一括して保持することにより、搬送装置３０により搬入・ロード部２のローダ６から処理槽１２、１３、１４の順に搬送し、搬送装置３１により処理槽１４、１５、１６、１７の順に搬送し、搬送装置３２により処理槽１７、１９、および搬出・アンロード部４のアンローダ２０の順に搬送する。
【００２８】
次に、本発明の実施の形態にかかる処理槽１９は、ウェハＷに対して所定の洗浄と乾燥を行うものとして次のように構成されている。即ち、この処理槽１９は上面が開口した略箱型をなしており、図２に示した処理槽１９の周囲には、次に説明するように、処理槽１９の底部から連続的に供給される洗浄液のオーバーフロー分を受容する外槽６０が設けられている。
【００２９】
即ち、図４に示すように、処理槽１９から溢れ出て、処理槽１９周囲の外槽６０によってオーバーフロー分として受容された洗浄液は、外槽６０の底部に接続されている回路６１から排出されるように構成されている。また、処理槽１９の底面６２には、例えば室温以上で８０℃以下程度に温度調節された温水や、冷水（例えば室温程度の如き通常の温度の純水）、その他、フッ化水素溶液（希フッ酸）などの洗浄液を適宜選択的に供給可能な回路６３が接続されている。後述する洗浄液循環機構８５によってこの回路６３より槽内に導入された洗浄液が、槽底部のボート５０と底面６２との間に介装された整流手段６４を介して、乱流を生じることなく均等にウェハＷの周囲に供給されるように構成されている。
【００３０】
そして、この整流手段６４は、処理槽１９の底面６２とボート５０によって保持されている所定枚数のウェハＷを上下に区画するように水平に配設される整流板６５と、整流板６５の下方に配置される拡散板６６とから構成されている。整流板６５には複数のスリット６７とそれらスリット６７の両側に位置する複数の小孔６８が穿設されており、回路６３より槽内に導入された洗浄液は、まず拡散板６６の裏面に衝突し、その拡散板６６の周縁部より整流板６５の裏面全体に拡散され、その後、整流板６５のスリット６７と小孔６８を通過して、上記ボート５０により保持されたウェハＷの周囲に洗浄液が供給されるので、乱流を生じることなく均等な流速でウェハＷを包み込み、ウェハＷ全体をむら無く均等に洗浄することができる。
【００３１】
図２に示されるように、処理槽１９の上面開口部は、洗浄システム１の処理部３内部に上下に適当な間隔をもって配置された仕切り板６９、７０で形成されるケース７３内に配置されている。このケース７３の上面（仕切り板６９）は蓋体７１によって閉鎖自在に構成されており、この蓋体７１を閉じた場合は、処理槽１９はケース７３内の密閉雰囲気におかれた状態となる。また、ケース７３の上方には、フィルタを備えたファンフィルタユニットやファンユニットなどの空調機７２が設置されており、清浄化された空気のダウンフローがケース７３内の処理槽１９に向けて形成されている。
【００３２】
図５に示すように、このケース７３の底部には回路７５が設けられており、この回路７５はトラップ機構７６と回路７７を介して排気手段７８に接続されている。排気手段７８は、例えば吸引ポンプなどで構成されており、その稼働によって、ケース７３内の雰囲気を回路７５、７７を介して吸引排気することにより、ケース７３内を減圧雰囲気にする。なお、ケース７３内から排気される雰囲気中に混入した例えばＩＰＡ蒸気などの有機物質は、回路７５、７７の間に設けられたトラップ機構７６で捕捉され、トラップ機構７６底部の回路７９から廃棄（ＤＲＡＩＮ）される。
【００３３】
ケース７３の側面には回路８０が接続されており、図示しないＮ２ガス供給源からこの回路８０を介してケース７３内にＮ２ガスを供給することにより、ケース７３内を不活性雰囲気にできるようになっている。なお、不活性ガスとして、Ｎ２ガス以外の例えばＡｒガスなどをケース７３内に供給しても良い。
【００３４】
一方、処理槽１９に対して洗浄液を供給するための洗浄液循環機構８５は、図５に示すように、ケース７３の外側において、処理槽１９周囲の外槽６０に接続された回路６１と処理槽１９底面に接続された回路６４の間に配置されている。この洗浄液循環機構８５には、希フッ酸供給源８６、純水供給源８７、および温水供給源８８から各洗浄液が供給されるようになっている。即ち、希フッ酸供給源８６からは、洗浄液としての希フッ酸（ＤＨＦ）が供給され、純水供給源８７からは例えば常温程度の水温の純水（リンス洗浄液）が供給され、更に温水供給源８８からは例えば室温以上８０℃以下程度に水温が調節された温水が供給される。また、この洗浄液循環機構８５は、処理槽１９内に充填されている各洗浄液を廃棄（ＤＲＡＩＮ）するための回路９０も備えている。この回路９０は、前述のトラップ機構７６を経て回路７９に接続されている。
【００３５】
そして、図４において示した如き処理槽１９内のボート５０上に保持したウェハＷを、先ず希フッ酸を用いてＨＦ洗浄するに際しては、図５に示す洗浄液循環機構８５に希フッ酸供給源８６から洗浄液としての希フッ酸を供給する。そして、その洗浄液（希フッ酸）を洗浄液循環機構８５によって回路６４を介して処理槽１９の底部に連続的に供給し、その洗浄液の上昇流を処理槽１９内に形成させる。また、処理槽１９から溢れ出た洗浄液は、処理槽１９周囲の外槽６０に受容した後、回路６１から再び洗浄液循環機構８５に戻す。洗浄液循環機構８５はこうして戻された洗浄液を濾過して清浄化し、更に温度や濃度等を所定のものに調整した後、再びその洗浄液を回路６４を介して処理槽１９の底部に供給する。こうして、処理槽１９内に洗浄液（希フッ酸）が循環供給されて、ウェハＷのＨＦ洗浄が行われるようになっている。
【００３６】
次に、ＨＦ洗浄が終了し、リンス洗浄を行う場合は、まだ処理槽１９内に洗浄液としての希フッ酸が充填されている状態で、洗浄液循環機構８５に純水供給源８７からリンス洗浄液としての純水の供給を開始する。そして、そのリンス洗浄液（純水）を回路６４を介して処理槽１９の底部に供給しつつ、処理槽１９内に充填されていた希フッ酸を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させ、溢れ出た希フッ酸は回路６１から洗浄液循環機構８５に戻して回路９０および回路７９を経て廃棄する。こうして、しばらくの間純水供給源８７からリンス洗浄液を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより、処理槽１９内の洗浄液を純水に置換する。なお、洗浄液が希フッ酸から純水に置換されたことは、例えば回路６１中において洗浄液の比抵抗を計測することにより検知することが可能である。
【００３７】
またリンス洗浄が終了した場合は、次に、洗浄液循環機構８５に温水供給源８８から例えば室温以上８０℃以下程度に水温が調節された温水の供給を開始する。そして、その温水を回路６４を介して処理槽１９の底部に供給しつつ、処理槽１９内に充填されていたリンス洗浄液（例えば常温程度の水温の純水）を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させ、溢れ出たリンス洗浄液は回路６１から洗浄液循環機構８５に戻して回路９０および回路７９を経て廃棄する。こうして、しばらくの間温水供給源８８から温水を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより、処理槽１９内の洗浄液を温水に置換した後、回路９０、７９からの廃棄を停止する。こうして、処理槽１９内に温水が循環供給されて、ウェハＷは室温以上８０℃以下程度に加熱された状態となる。なお、洗浄液が温水に置換されたことは、例えば回路６１中において水温を計測することにより検知することが可能である。
【００３８】
更に、この洗浄液循環機構８５は、以上のようにして処理槽１９内に充填した温水を処理槽１９底部の回路６４から洗浄液循環機構８５に戻し、その温水を回路９０、７９から廃棄することによって、処理槽１９内の温水を排水することもできるように構成されている。
【００３９】
また、図５に示すように、処理槽１９の周囲に設けられている外槽６０の側壁面には、回路９５が接続されており、後に詳しく説明するＩＰＡ蒸気発生室９６で作り出された処理液としてのＩＰＡ［イソプロピルアルコール：（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ］の蒸気がこの回路９５を介して処理槽１９内に導入されるようになっている。この回路９５の周りには、ＩＰＡ蒸気が処理槽１９内に導入される前に凝縮することを防ぐために例えばテープヒータなどのヒータ９７が装着されており、回路９５内の温度は約８０℃に維持されている。
【００４０】
ＩＰＡ蒸気発生室９６には、ＩＰＡ液供給源９８からＩＰＡ液が供給されている。ＩＰＡ液供給源９８は、例えばキャニスタ容器などに充填されているＩＰＡ液をＩＰＡ蒸気発生室９６に回路９９を介して圧送するように構成されている。ＩＰＡ蒸気発生室９６は、こうして供給されたＩＰＡ液を約８０℃以上（例えば１２０℃）にまで加熱することにより、ＩＰＡ蒸気を作り出し、そのＩＰＡ蒸気を回路９５を介してケース７３内の処理槽１９内に導入する。
【００４１】
また、処理槽１９の上部には回路１００が接続されており、この回路１００は処理槽１９の内壁に接触した状態で開口するように設けられている。そして、ＩＰＡ蒸気発生室９６内の下方から取り出したＩＰＡ液をこの回路１００を介して処理槽１９内に導入し、そのＩＰＡ液を処理槽１９の内壁上部に伝わらせながら供給できるように構成されている。
【００４２】
その他、ＩＰＡ蒸気は引火性が高いので、以上に説明したケース７３およびＩＰＡ蒸気発生室９６の内部には、消火手段としてのＣＯ２消火器１０１によりＣＯ２ガスを供給できるように構成されている。また、処理槽１９の全体の処理工程は、操作パネル１０２での入力に従ってコントローラ１０３により制御されている。
【００４３】
次に、ＩＰＡ蒸気発生室９６は、図６に示すように、ケーシング１１０の内部に蒸気発生室本体１１１を配置した構成を備えており、前述の回路９５、回路９９、および回路１００は何れもこの蒸気発生室本体１１１に接続されている。回路９９の途中には、ＩＰＡ液供給源９８から蒸気発生室本体１１１へ供給されるＩＰＡ液の供給を制御するための弁１１２と、蒸気発生室本体１１１へ供給する途中でＩＰＡ液中の不純物を濾過除去するためのフィルタ１１３が設けられている。そして、蒸気発生室本体１１１の底部にはヒータ１１５が配設されており、ＩＰＡ液供給源９８から回路９９を介して蒸気発生室本体１１１内に供給されたＩＰＡ液を、このヒータ１１５によりＩＰＡ液の沸点である約８０℃以上の温度（例えば１２０℃程度）にまで加熱するように構成されている。このヒータ１１５による加熱時には、蒸気発生室本体１１１内の上方にはＩＰＡ蒸気が充満し、蒸気発生室本体１１１内の圧力はＩＰＡ蒸気の蒸気圧で大気圧よりも高い状態となる。
【００４４】
処理槽１９の外槽６０側壁面に接続されている回路９５は蒸気発生室本体１１１の上面に開口しており、また、この回路９５の途中には弁１１７が設けられている。そして、先に説明したヒータ１１５の加熱によって蒸気発生室本体１１１内の圧力をＩＰＡ蒸気の蒸気圧で大気圧よりも高くした状態でこの弁１１７を開放することにより、その蒸気圧でＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入することができる。この場合、回路９５の周りには図５で示したヒータ９７が装着してあって回路９５内の温度は約８０℃に維持されているので、ＩＰＡ蒸気が処理槽１９内に導入される前に回路９５中で凝縮する心配がない。
【００４５】
前述の処理槽１９の内壁上部に接続されている回路１００は、蒸気発生室本体１１１の内部の下方に溜められたＩＰＡ液の液面下において開口しており、この回路１００の途中には弁１２０が設けられている。また、蒸気発生室本体１１１内には弁１２１を備えた回路１２２を介して図示しないＮ２加圧ガス供給源からのＮ２加圧ガスを供給できるようになっている。従って、回路１００の弁１２０を開放した状態で回路１２２の弁１２１を開放して蒸気発生室本体１１１内にＮ２加圧ガスを供給することにより、蒸気発生室本体１１１の内部下方に溜められているＩＰＡ液を回路１００を介して処理槽１９内に導入することができる。また、ＩＰＡ蒸気の圧力を利用してＩＰＡ液を回路１００を介して処理槽１９内に導入することも可能である。この場合、前述したように回路１００は処理槽１９の内壁上部に接触した状態で開口しているので、回路１００から処理槽１９内に導入したＩＰＡ液を処理槽１９の内壁に伝えながら流下させることができる。
【００４６】
その他、蒸気発生室本体１１１の上面には温度センサ１２５が設けられると共に、回路１２６、１２７がそれぞれ接続されている。温度センサ１２５は、例えば熱電対とすることができる。この温度センサ１２５によって蒸気発生室本体１１１内の上方に充満しているＩＰＡ蒸気の温度を測定し、その温度を図５で説明したコントローラ１０３に入力する。
【００４７】
回路１２６は大気圧雰囲気中にて開口しており、また、回路１２６の途中には弁１２８が設けられている。この弁１２８を開放することにより、蒸気発生室本体１１１内の雰囲気を大気圧に開放することができる。
【００４８】
回路１２７は弁１３０を介してトラップパイプ１３１の上端に接続されている。トラップパイプ１３１の周囲には冷却用のウォータージャケット１３２が装着してあり、弁１３０を解放すると、蒸気発生室本体１１１内のＩＰＡ蒸気が回路１２７からトラップパイプ１３１内に流入し、ウォータージャケット１３２の冷熱で冷却されてＩＰＡ液に凝縮するようになっている。また、トラップパイプ１３１の下端は、弁１３３を備える回路１３４を介して蒸気発生室本体１１１の下方に接続されている。従って、ウォータージャケット１３２の冷熱で凝縮したＩＰＡ液は、弁１３３の開放によって蒸気発生室本体１１１の下方に戻される。
【００４９】
蒸気発生室本体１１１の周囲は、例えばシリコンスポンジの如き断熱材１３５によって覆われており、蒸気発生室本体１１１内で発生したＩＰＡ蒸気を保温することにより、ＩＰＡ蒸気が凝縮するのを防いでいる。
【００５０】
蒸気発生室本体１１１の側方には、前述のＩＰＡ液供給源９８から回路９９を介して蒸気発生室本体１１１内に供給されたＩＰＡ液の液面高さを示すレベルゲージ１３６が設けられている。そして、このレベルゲージ１３６に現れる液面をセンサ１３７によって測定することにより、蒸気発生室本体１１１内に溜められているＩＰＡ液の液面高さを検出し、その液面高さを図５で説明したコントローラ１０３に入力するようになっている。
【００５１】
そして、蒸気発生室本体１１１およびトラップパイプ１３１を包んでいるケーシング１１０の内部は、回路１３８を介して供給されたＮ２パージガスによって置換され、ケーシング１１０内は不活性雰囲気に保たれている。
【００５２】
さて、図１の洗浄システム１全体においては、図示しない搬送ロボットが未だ洗浄されていないウェハＷを例えば２５枚ずつ収納したキャリアＣを搬入・ロード部２の搬入部５に載置する。そして、この搬入部５に載置されたキャリアＣを移送装置７によって隣接するローダ６へ移送する。ローダ６では、例えばキャリアＣ二個分の５０枚のウェハＷをキャリアＣから取り出し、更にオリフラ合わせした状態で５０枚のウェハＷを整列待機させる。
【００５３】
続いて、既に処理槽１１において洗浄および乾燥処理された搬送装置３０のウェハチャック３６が、ローダ６に整列している待機状態のウェハＷの上方に移動し、その整列されたウェハＷをウェハチャック３６により５０枚単位で一括して把持する。そして、それらウェハＷを先ず処理槽１２、１３、１４に順次搬送する。こうして、処理槽１２では、例えばアンモニア水過水の如きアルカリ系洗浄液（ＮＨ４ＯＨ／Ｈ２Ｏ２／Ｈ２Ｏ）を用いたいわゆるＳＣ１洗浄を行い、ウェハＷ表面に付着している有機汚染物、パーティクル等の不純物質を除去する。また、処理槽１３、１４では、例えば純水の如き洗浄水を用いてウェハＷのリンス洗浄を行う。
【００５４】
ＳＣ１洗浄とリンス洗浄を終了すると、次の搬送装置３１のウェハチャック３７が処理槽１４内に下降し、処理槽１４底部のボート上に保持された５０枚のウェハＷを一括して把持して上昇する。そして、それらウェハＷを一括して次の処理槽１５、１６、１７へ順次搬送する。こうして、処理槽１５では、例えば塩酸過水（ＨＣｌ＋Ｈ２Ｏ２）を用いたいわゆるＳＣ２洗浄を行い、金属イオンの除去、ウェハＷ表面の安定化を図る。また、処理槽１６、１７では、例えば純水の如き洗浄水を用いてウェハＷのリンス洗浄を行う。
【００５５】
ＳＣ２洗浄とリンス洗浄を終了すると、次の搬送装置３２のウェハチャック３８が処理槽１７内に下降し、処理槽１７底部のボート上に保持された５０枚のウェハＷを一括して把持して上昇する。こうして処理槽１７から取り出したウェハＷを一括して次の処理槽１９と搬出・アンロード部４のアンローダ２０へ順次搬送する。
【００５６】
ここで、本発明の実施の形態にかかる処理槽１９においては、以下に説明する工程に従ってウェハＷの洗浄、乾燥処理が行われる。
【００５７】
先ず、ウェハＷが搬入される前においては、処理槽１９には所定の濃度に設定された希フッ酸（ＨＦ／Ｈ２Ｏ）のごとき洗浄液が予め充填されており、また、図５で説明した洗浄液循環機構８５によって回路６４を介して処理槽１９の底部に洗浄液が連続的に循環供給されることにより、処理槽１９内には洗浄液の上昇流が形成された状態になっている。そして、処理槽１９の上方（ケース７３の上方）には、処理槽１７から取り出した５０枚のウェハＷを一括把持した搬送装置３２のウェハチャック３８が待機した状態になっている。
【００５８】
そして、図２に示した蓋体７１が開放されてケース７３の上面が開口すると、ウェハチャック３８が下降を開始し、ウェハチャック３８によって把持された５０枚のウェハＷを処理槽１９内に挿入して、それらウェハＷを処理槽１９底部のボート５０上に保持させる。その後、ウェハチャック３８は開脚してウェハＷの把持状態を開放した後上昇し、処理槽１９上方に退避する。このウェハチャック３８の退避後、蓋体７１が再び閉められて処理槽１９はケース７３内の密閉雰囲気におかれた状態となる。そして、図７（１）に示すようにして、処理槽１９内においてウェハＷを洗浄液（希フッ酸）１５０に浸漬させた状態でＨＦ洗浄が開始する。
【００５９】
次に、所定のレシピ（設定濃度／設定時間）に従うウェハＷのＨＦ洗浄が終了すると、図５に示す洗浄液循環機構８５は処理槽１９の底部からの洗浄液（希フッ酸）の循環供給を中止する。そして、純水供給源８７から供給されたリンス洗浄液としての純水を処理槽１９の底部に供給し、希フッ酸を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させて洗浄液循環機構８５に戻した後、回路９０、７９から廃棄する。こうして、しばらくの間純水供給源８７からリンス洗浄液を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより、処理槽１９内の洗浄液を純水に置換し、置換後、回路９０、７９からの廃棄を停止する。なお、洗浄液が希フッ酸から純水に置換されたことは、例えば洗浄液の比抵抗を計測して検知することができる。そして、図７（２）に示すようにして、処理槽１９内においてウェハＷを純水洗浄液１５１中に浸漬させてウェハＷをリンス洗浄する。
【００６０】
そして、リンス洗浄を終了すると、洗浄液循環機構８５は処理槽１９の底部からのリンス洗浄液（純水）の循環供給を中止する。そして、温水供給源８８から供給された温水洗浄液としての温水（室温以上８０℃以下程度に水温が調節された温水）を処理槽１９の底部に供給し、リンス洗浄液を処理槽１９上部から外槽６０に溢れ出させて洗浄液循環機構８５に戻した後、回路９０、７９から廃棄する。こうして、しばらくの間温水供給源８８から温水洗浄液を供給しながら回路９０、７９から廃棄を行うことにより処理槽１９内の洗浄液を温水に置換し、図７（３）に示すようにして、処理槽１９内においてウェハＷを温水洗浄液１５２中に浸漬させてウェハＷを加熱する。そして、ウェハＷを加熱後、洗浄液循環機構８５は処理槽１９の底部からの温水洗浄液の供給を中止する。
【００６１】
次に、図６に示したＩＰＡ蒸気発生室９６の蒸気発生室本体１１１においてヒータ１１５で所定の温度（例えばＩＰＡの沸点である約８０℃）に加熱したＩＰＡ液を回路１００を介して蒸気発生室本体１１１内の下方から取り出し、そのＩＰＡ液を処理槽１９内に導入して処理槽１９の内壁上部に伝わらせながら吐き出す。こうして、図７（４）に示すように、処理槽１９内においてウェハＷを温水洗浄液１５２中に浸漬させながら、温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の層を適当な厚さで浮遊させた状態で形成する。
【００６２】
なお、この温水洗浄液１５２の液面に形成されるＩＰＡ液１５３の浮遊層は、回路１００から処理槽１９内にＩＰＡ液を導入する代わりに、図６に示したＩＰＡ蒸気発生室９６の蒸気発生室本体１１１で作り出したＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入することによっても形成することもできる。即ち、処理槽１９内に溜められている温水洗浄液１５２の温度がＩＰＡ液の沸点である約８０℃よりも低い場合は、回路９５からＩＰＡ蒸気を処理槽１９内に導入すれば、その蒸気が処理槽１９内の温水洗浄液１５２の液面に触れた際に凝縮するので、同様に図７（４）に示したように、温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の浮遊層を形成することができる。
【００６３】
こうして回路１００を介して処理槽１９内にＩＰＡ液を導入することにより温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の浮遊層を形成した後、図６に示すＩＰＡ蒸気発生室９６の蒸気発生室本体１１１において作り出したＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入し始める。あるいは、既に回路９５からＩＰＡ蒸気を処理槽１９内に導入して処理槽１９内の温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の浮遊層を形成した場合は、更に蒸気発生室本体１１１において作り出したＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入し続ける。なお、このように処理槽１９内にＩＰＡ蒸気を導入する場合は、ＩＰＡ蒸気発生室本体１１１においてヒータ１１５でＩＰＡ液を約８０℃以上（例えば１２０℃）に加熱し、ＩＰＡ蒸気発生室８６内のＩＰＡ液を沸騰させてＩＰＡ蒸気発生室本体１１１内を大気圧よりも高くした状態で弁１１７を開放し、蒸気圧によってＩＰＡ蒸気を回路９５から処理槽１９内に導入する。
【００６４】
そして、処理槽１９内にＩＰＡ蒸気を導入している状態を保ちながら、処理槽１９内の温水洗浄液を図５に示した回路６４から洗浄液循環機構８５に少しずつ戻して回路９０、７９から廃棄し、処理槽１９内の温水洗浄液１５２を徐々に排水する。この排水工程の途中においては、処理槽１９内には、図７（５）に示すように、下方に温水洗浄液１５２の液層が位置し、上方にＩＰＡ蒸気１５４の気層が位置し、それらの間にＩＰＡ液１５３の液層が位置した状態となる。こうして、処理槽１９内においてウェハＷの表面の温水洗浄液１５２を直接気体に触れさせずに、ウェハＷ表面の温水洗浄液を揮発性の高いＩＰＡ液１５３に置換しながら徐々に排水する。
【００６５】
こうして、温水洗浄液１５２の液面にＩＰＡ液１５３の層を形成させた状態で処理槽１９内の温水洗浄液１５２をゆっくりと排水することにより、ウェハＷの表面全体にＩＰＡ液１５３の層を通過させて、ウェハＷ表面に付着していた洗浄液（純水）を揮発性の高いＩＰＡ液１５３に置換することが可能となる。なお、ボート５０によって保持されているウェハＷの周縁部に付着している洗浄液（純水）もＩＰＡ液に完全に置換できるように、ＩＰＡ液１５３の層が通過する際に、ボート５０によるウェハＷの保持箇所を途中で変えてやることが望ましい。
【００６６】
そして、図７（６）の乾燥工程−１に示すように、処理槽１９内から温水洗浄液１５２を完全に排水し、温水洗浄液１５２上に浮遊していたＩＰＡ液１５３の液層も完全に排水した後においても、更に処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を導入し続ける。そして、処理槽１９内をよりＩＰＡ蒸気１５４雰囲気にして水分を排出する。こうして、所定の間、処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を導入したら、回路９５の弁１１７を閉じ、処理槽１９内へのＩＰＡ蒸気の導入を終了する。
【００６７】
乾燥工程−１を終了すると、次に、図５に示した回路８０を介して図示しないＮ２ガス供給源からケース７３内にＮ２ガスを供給し、処理槽１９内のＩＰＡ蒸気を一掃（ＰＵＲＧＥ）する。これにより、処理槽１９内雰囲気はＮ２ガスに置換されて不活性雰囲気となる。こうして、図７（７）の乾燥工程−２においては不活性雰囲気下で乾燥を行い、ウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液を完全に蒸発させて取り除く。処理槽１９内雰囲気がＮ２ガスに置換されると、図示しないＮ２ガス供給源からのＮ２ガスの供給は終了する。かくして、表面にウォーターマークを残すことなく乾燥されたウェハＷが、不活性雰囲気となった処理槽１９内に収納された状態となる。この場合、ケース７３内に供給するＮ２ガスは、例えば約８０℃程度に加熱されていることが望ましい。
【００６８】
そして、以上に説明した図７（６）の乾燥工程−１や図７（７）の乾燥工程−２においては、ケース７３内を排気して処理槽１９内の雰囲気を大気圧よりも減圧した状態にすることにより、ウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液の乾燥を早めることができるようになる。即ち、例えば図７（６）に示す乾燥工程−１において、処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を供給してウェハＷを乾燥する処理を行いながら、図５に示した排気手段７８を稼働し、ケース７３内の雰囲気を回路７５、７７を介して排気する。すると、ケース７３内におかれている処理槽１９は減圧雰囲気となり、これにより処理槽１９内に収納しているウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液の蒸気圧が相対的に高くなって、ＩＰＡ液の乾燥を早めることができるようになる。
【００６９】
一方、このように排気手段７８を稼働してケース７３内の雰囲気を排気した場合は、ケース７３底部から回路７５に排気される雰囲気中にＩＰＡ蒸気などの有機物質が混入することになる。しかし、回路７５に混入した有機物質は、回路７５、７７の間に設けたトラップ機構７６で捕捉されてトラップ機構７６底部の回路７９から廃棄（ＤＲＡＩＮ）されるので、排気手段７８側には入り込む心配がない。
【００７０】
なお、以上は図７（６）の乾燥工程−１において処理槽１９内にＩＰＡ蒸気１５４を供給している際に処理槽１９内を減圧雰囲気にする例について説明したが、その他、図７（６）の乾燥工程−１において処理槽１９内へのＩＰＡ蒸気１５４の供給を終了した後にケース７３内の排気を行っても良く、また、図７（７）の乾燥工程−２において回路８０からケース７３内にＮ２ガスを導入しているときにケース７３内を排気して処理槽１９内を減圧雰囲気にするようにしても良く、更にまた、処理槽１９へのＮ２ガスの導入を終了した後に、ケース７３内を廃棄して処理槽１９内を減圧雰囲気にしても良い。何れにしても、図７（６）の乾燥工程−１および図７（７）の乾燥工程−２の間の適当な時期に排気手段７８を稼働して処理槽１９内を減圧雰囲気にすることにより、ウェハＷの表面に付着したＩＰＡ液の乾燥を早めることができるようになる。
【００７１】
かくして、処理槽１９におけるウェハＷの洗浄および乾燥が終了すると、図２に示した蓋体７１が再び開放されてケース７３の上面が開口し、既に処理槽１８において洗浄および乾燥処理されて、処理槽１９の上方に待機していたウェハチャック３８が下降を開始する。そして、ウェハチャック３８は処理槽１９底部のボート５０上に保持されていた５０枚のウェハＷを一括して把持し、そのウェハＷを処理槽１９から取り出して、次の搬出・アンロード部４のアンローダ２０に搬出する。かくして、この洗浄システムによる一連の洗浄、乾燥が終了したウェハＷは、キャリアＣに装填された状態で搬出・アンロード部４の搬出部２１から、例えば図示しないロボットにより搬出されることになる。
【００７２】
なお、この実施の形態で説明した処理槽１９のようにＩＰＡなどの引火性の高い処理液を用いる場合は、先に図５において説明したように、ケース７３およびＩＰＡ蒸気発生室９６の内部にＣＯ２ガスを供給して消火を行うようなＣＯ２消火器１０１を設置すると良い。この場合、図６に示した温度センサ１２５の周辺のみにＣＯ２ガスを供給する構成としても良い。
【００７３】
また、処理槽１９の全体の処理工程を、図５に示したコントローラ１０３によって制御する例について説明したが、例えばＩＰＡ蒸気発生室９６の制御を行う各制御部や、処理槽１９やその他の各洗浄槽１１〜１７の制御を行う各制御部、搬入・ロード部２と搬出・アンロード部４の制御を行う各制御部などをそれぞれ個別に設け、それらの各制御部をマスターコンピュータで制御するように構成しておけば、マスターコンピュータが故障しても、それぞれの各制御部で制御することによって、洗浄システム１の運転を継続できるので、安全性を確保できる。
【００７４】
なお、この実施の形態においては、処理槽１９へのウェハＷの搬入と、処理槽１９からのウェハＷの搬出を一つの搬送装置３２によって行う例を説明した。その場合、処理槽１９へウェハＷを搬入した際にウェハチャック３８に洗浄液が付着するので、処理槽１９内で洗浄および乾燥されたウェハＷを搬出する際には、ウェハチャック３８を洗浄槽１８にて洗浄、乾燥することが必要である。そこで、処理槽１９へウェハＷを搬入する搬送装置と、処理槽１９からウェハＷを搬出する搬送装置をそれぞれ別個に設けるようにしても良い。そうすれば、処理槽１９からウェハＷを搬出する搬送装置のウェハチャックは常に清潔かつ乾燥した状態を保つことができるので、ウェハチャックの洗浄と乾燥を行う処理槽を省略できるようになる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、処理槽内の雰囲気を減圧状態にすることにより、被処理体の表面に付着した処理液を迅速に乾燥させることができる。従って、本発明によれば、処理時間を短縮でき、スループットの向上をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる処理槽を備えた洗浄システムの斜視図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面矢視図である。
【図３】搬送装置の斜視図である。
【図４】処理槽の斜視図である。
【図５】洗浄液循環機構の説明図である。
【図６】ＩＰＡ蒸気発生室の説明図である。
【図７】処理槽における洗浄、乾燥の処理工程説明図である。
【符号の説明】
Ｗ ウェハ
１９ 処理槽
７５ 回路
７６ トラップ機構
７７ 回路
７８ 排気手段
８５ 処理液循環機構
９６ ＩＰＡ蒸気発生室
９８ ＩＰＡ液供給源
Claims (12)
- 処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理装置において，
処理液の蒸気を作る蒸気発生室と，この蒸気発生室で作り出した処理液の蒸気を処理槽内に導入する回路と，該回路に装着されたヒータと，処理槽内を排気する排気手段を設け，前記排気手段によって排気される雰囲気中に混入した有機物質を捕捉するトラップ機構を備えることを特徴とする処理装置。 - 処理液を処理槽内に導入する回路を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
- 処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理装置において，
処理液の蒸気を作る蒸気発生室と，この蒸気発生室で作り出した処理液の蒸気を処理槽内に導入する回路と，該回路に装着されたヒータと，処理槽内を排気する排気手段を設け，前記蒸気発生室は，底部にヒータを備える蒸気発生室本体をケーシングの内部に配置した構成を備え，前記蒸気発生室本体には，処理液を蒸気発生室本体に供給する回路と，処理液の蒸気を処理槽に導入する回路が接続され，前記蒸気発生室本体から処理槽に処理液を導入する回路を更に備えることを特徴とする処理装置。 - 前記ケーシングの内部は，Ｎ ２ パージガスによって置換されることを特徴とする請求項３に記載の処理装置。
- 処理液の蒸気を処理槽内に導入して処理槽内に収納した被処理体を処理する処理方法において，
処理槽において被処理体を洗浄液に浸漬させて洗浄処理し，
洗浄処理後，処理槽に処理液もしくは処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成し，
処理液の層を形成後，処理槽に処理液の蒸気を導入しながら，処理槽内の洗浄液を排水し，
排水後，処理槽内を排気することを特徴とする処理方法。 - 前記処理槽において被処理体を洗浄液に浸漬させて洗浄処理 するに際し，温水洗浄液を処理槽に供給して被処理体を加熱し，
加熱後，処理槽に処理液もしくは処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成することを特徴とする請求項５に記載の処理方法。 - 前記温水洗浄液の温度が処理液の沸点よりも低い場合は，処理槽に処理液の蒸気を導入して洗浄液の液面に処理液の層を浮遊させて形成することを特徴とする請求項６に記載の処理方法。
- 前記処理液の蒸気を供給しながら処理槽内を排気することを特徴とする請求項５，６又は７のいずれかに記載の処理方法。
- 前記処理液の蒸気の供給を終了した後，処理槽内を排気することを特徴とする請求項５，６又は７のいずれかに記載の処理方法。
- 前記処理槽内の洗浄液を排水後，処理槽内を不活性雰囲気に置換し，その後，処理槽内を排気することを特徴とする請求項５，６，７，８又は９のいずれかに記載の処理方法。
- 前記処理槽内の洗浄液を排水後，処理槽内を不活性雰囲気に置換しながら，処理槽内を排気することを特徴とする請求項５，６，７，８又は９のいずれかに記載の処理方法。
- 前記洗浄液の液面に形成された処理液の層が通過する際に，被処理体の保持箇所を途中で変えてやることを特徴とする請求項５，６，７，８，９，１０又は１１のいずれかに記載の処理方法。
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