JP3539369B2 - アレイ導波路型光波長合分波器およびその製造方法 - Google Patents

アレイ導波路型光波長合分波器およびその製造方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、選択波長を空間的に分波ないし合波する合分波器に関し、特に、アレイ導波路型光波長合分波器およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、図2に示すように、基板1上に、波長分割多重光信号を入力する複数本の入力導波路2と、波長分割多重光信号を合波して出力する出力導波路3と、所定の導波路長差△Lを有する複数本の導波路からなるアレイ導波路5と、入力導波路2とアレイ導波路5とを接続する入力側スラブ導波路4と、出力導波路3とアレイ導波路5とを接続する出力側スラブ導波路7とを備えるAWG(arrayed waveguide grating)を利用したアレイ導波路型光波長合分波器が知られている。
【0003】
この種のものでは、入力導波路2から入射した光は入力側スラブ導波路4に入り放射し、アレイ導波路5に結合する。しかしその際、スラブ導波路出力部4Aとアレイ導波路入力部5Aの光伝搬のモード形状が一般に違うため入射光すべてが結合することはなく結合損失を生じさせる。
【0004】
そのため、従来、図3に示すようにアレイ導波路5の間隔Lを狭くし、アレイ導波路入力部5Aとスラブ導波路出力部4Aとの光伝搬のモード形状を一致させるように工夫してAWG型合分波器の低損失化を図っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の構成では、スラブ導波路出力部4Aのアレイ導波路間隔L1が狭くなりすぎ、オーバークラッドの埋め込みが非常に困難になり、もし埋め込めない場合、逆に損失が大きくなるという問題がある。
【0006】
そこで、本発明の目的は、上述した従来技術が有する課題を解消し、スラブ導波路出力部のモード形状をアレイ導波路入力部のモード形状にあわせ、アレイ導波路間隔にこだわらず低損失化を達成できるアレイ導波路型光波長合分波器およびその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、基板上に、波長分割多重光信号を入力する複数本の入力導波路と、波長分割多重光信号を合波して出力する出力導波路と、所定の導波路長差を有する複数本の導波路からなるアレイ導波路と、前記入力導波路と前記アレイ導波路とを接続する入力側スラブ導波路と、前記出力導波路と前記アレイ導波路とを接続する出力側スラブ導波路とを備えるアレイ導波路型光波長合分波器において、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路は、伝搬する光のモード形状を前記アレイ導波路のモード形状と略一致させる屈折率分布を有するように形成されていることを特徴とするものである。
【0008】
請求項2記載の発明は、請求項1記載のものにおいて、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、紫外線レーザーにより部分的にコアの屈折率を変化させて所望の屈折率分布を有するように形成されていることを特徴とするものである。
【0009】
請求項3記載の発明は、請求項2記載のものにおいて、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、屈折率を高くしたい部分以外をマスクし、ArFエキシマレーザーまたはKrFエキシマレーザーを照射することにより所望の屈折率変化および屈折率分布を有するように形成されていることを特徴とするものである。
【0010】
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載のものにおいて、前記入力導波路および/または前記出力導波路が、基板上にGe、P或いはB等のフォトリフラクティブ効果を有するドーパントをドープしたコアをそのコアよりも屈折率の小さいクラッドで埋め込んで単一モードのチャネル導波路として形成されていることを特徴とするものである。
【0011】
請求項5記載の発明は、基板上に、波長分割多重光信号を入力する複数本の入力導波路と、波長分割多重光信号を合波して出力する出力導波路と、所定の導波路長差を有する複数本の導波路からなるアレイ導波路と、前記入力導波路と前記アレイ導波路とを接続する入力側スラブ導波路と、前記出力導波路と前記アレイ導波路とを接続する出力側スラブ導波路とを備えるアレイ導波路型光波長合分波器の製造方法において、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路は、伝搬する光のモード形状を前記アレイ導波路のモード形状と略一致させる屈折率分布を有するように形成されることを特徴とするものである。

【0012】
請求項6記載の発明は、請求項5記載のものにおいて、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、紫外線レーザーにより部分的にコアの屈折率を変化させて所望の屈折率分布を有するように形成されることを特徴とするものである。
【0013】
請求項7記載の発明は、請求項6記載のものにおいて、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、屈折率を高くしたい部分以外をマスクし、ArFエキシマレーザーまたはKrFエキシマレーザーを照射することにより所望の屈折率変化および屈折率分布を有するように形成されることを特徴とするものである。
【0014】
請求項8記載の発明は、請求項5〜7のいずれかに記載のものにおいて、前記入力導波路および/または前記出力導波路が、基板上にGe、P或いはB等のフォトリフラクティブ効果を有するドーパントをドープしたコアをそのコアよりも屈折率の小さいクラッドで埋め込んで単一モードのチャネル導波路として形成されることを特徴とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【0016】
図1Aおよび図1Bにおいて、1は石英等からなる基板を示している。この基板1上には、波長分割多重光信号を入力する複数本の入力導波路2と、波長分割多重光信号を合波して出力する出力導波路3と、所定の導波路長差△Lを有する複数本の導波路からなるアレイ導波路5と、入力導波路2とアレイ導波路5とを接続する入力側スラブ導波路4と、出力導波路3とアレイ導波路5とを接続する出力側スラブ導波路7とを備えて構成されている。
【0017】
本実施形態では、入力側スラブ導波路4の出力部4Aに屈折率がほかの部分に比べて高い屈折率変化領域6が形成され、この入力側スラブ導波路4が所望の屈折率分布を有するように形成されている。
【0018】
上記屈折率変化領域6は、入力側スラブ導波路4のそのほかの部分をマスクした上で、屈折率変化領域6の光伝搬のモード形状が、アレイ導波路5のモード形状に略一致するように、例えばArFエキシマレーザーまたはKrFエキシマレーザー等の紫外線レーザーを、入力側スラブ導波路4に照射することで形成される。この屈折率変化領域6が、上記所望の屈折率変化および屈折率分布を有するように、紫外線レーザーの照射時間およびパワーを調整する。
【0019】
つぎに、動作を説明する。
【0020】
図1において、入力導波路2から入力した光は、入力側スラブ導波路4により放射され、ガウス形の光伝搬のモード形状を拡大させながら導波する。ここを伝搬する光は、屈折率がほかの部分に比べて高い屈折率変化領域6に入射すると、位相が変化しその屈折率分布と屈折率差により入力側スラブ導波路4の出力部4Aのモード形状を変形させる。このときのモード形状はアレイ導波路5の入力部5Aのモード形状に一致させ、このアレイ導波路5を進んだ光は、出力側スラブ導波路7に入射し出力導波路3に集光し出力される。
【0021】
本実施形態では、入力側スラブ導波路4の出力部4Aのモード形状を、アレイ導波路5の入力部5Aのモード形状に一致させることにより、AWG型合分波器の損失を低減することができる。
【0022】
スラブ導波路4のモード形状は、紫外線レーザーを照射することによるGe、P或いはB等のフォトリフラクティブ効果を有するドーパントをドープしたコアの屈折率変化を利用し、スラブ導波路内の屈折率分布は紫外線レーザーを照射する際、マスクを用いることで実現するため、簡単な構成で実現することができ、その製造コストの上昇が抑制される。
【0023】
また、アレイ導波路5の間隔L2は、従来の図2に示すものと略同等の比較的広い間隔で形成されている。従って、スラブ導波路出力部4Aのアレイ導波路間隔L3が狭くなりすぎることがなく、オーバークラッドの埋め込みが、従来の図3に示すものと比較して容易になる。
【0024】
以上、一実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は、これに限定されるものでないことは明らかである。
【0025】
例えば、入力側スラブ導波路4に、屈折率がほかの部分に比べて高い屈折率変化領域6を形成した例を示したが、出力側スラブ導波路7にも、上記と同様構成の屈折率変化領域9を形成することが望ましい。
【0026】
また、入力導波路2および/または出力導波路3は、基板1上に矩形状のGe、P或いはB等のフォトリフラクティブ効果を有するドーパントをドープしたコアを、そのコアよりも屈折率の小さいオーバークラッドで埋め込んで単一モードのチャネル導波路として形成することが望ましい。
【0027】
【発明の効果】
本発明では、スラブ導波路出力部のモード形状をアレイ導波路入力部のモード形状にあわせることができるため、アレイ導波路の間隔にこだわらず波長合分波器の結合損失を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】Aは本発明によるアレイ導波路型光波長合分波器の一実施形態を示す平面図、Bはその一部拡大図である。
【図2】Aは従来のアレイ導波路型光波長合分波器を示す平面図、Bはその一部拡大図である。
【図3】Aは従来のアレイ導波路型光波長合分波器を示す平面図、Bはその一部拡大図である。
【符号の説明】
1 基板
2 入力導波路
3 出力導波路
4 入力側スラブ導波路
5 アレイ導波路
6 屈折率変化領域
7 出力側スラブ導波路

Claims (8)

  1. 基板上に、波長分割多重光信号を入力する複数本の入力導波路と、波長分割多重光信号を合波して出力する出力導波路と、所定の導波路長差を有する複数本の導波路からなるアレイ導波路と、前記入力導波路と前記アレイ導波路とを接続する入力側スラブ導波路と、前記出力導波路と前記アレイ導波路とを接続する出力側スラブ導波路とを備えるアレイ導波路型光波長合分波器において、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路は、伝搬する光のモード形状を前記アレイ導波路のモード形状と略一致させる屈折率分布を有するように形成されていることを特徴とするアレイ導波路型光波長合分波器。
  2. 前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、紫外線レーザーにより部分的に屈折率を変化させて所望の屈折率分布を有するように形成されていることを特徴とする請求項1記載のアレイ導波路型光波長合分波器。
  3. 前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、屈折率を高くしたい部分以外をマスクし、ArFエキシマレーザーまたはKrFエキシマレーザーを照射することにより所望の屈折率変化および屈折率分布を有するように形成されていることを特徴とする請求項2記載のアレイ導波路型光波長合分波器。
  4. 前記入力導波路および/または前記出力導波路が、基板上にGe、P或いはB等のフォトリフラクティブ効果を有するドーパントをドープしたコアをそのコアよりも屈折率の小さいクラッドで埋め込んで単一モードのチャネル導波路として形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアレイ導波路型光波長合分波器。
  5. 基板上に、波長分割多重光信号を入力する複数本の入力導波路と、波長分割多重光信号を合波して出力する出力導波路と、所定の導波路長差を有する複数本の導波路からなるアレイ導波路と、前記入力導波路と前記アレイ導波路とを接続する入力側スラブ導波路と、前記出力導波路と前記アレイ導波路とを接続する出力側スラブ導波路とを備えるアレイ導波路型光波長合分波器の製造方法において、前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路は、伝搬する光のモード形状を前記アレイ導波路のモード形状と略一致させる屈折率分布を有するように形成されることを特徴とするアレイ導波路型光波長合分波器の製造方法。
  6. 前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、紫外線レーザーにより部分的に屈折率を変化させて所望の屈折率分布を有するように形成されることを特徴とする請求項5記載のアレイ導波路型光波長合分波器の製造方法。
  7. 前記入力側スラブ導波路および/または前記出力側スラブ導波路が、屈折率を高くしたい部分以外をマスクし、ArFエキシマレーザーまたはKrFエキシマレーザーを照射することにより所望の屈折率変化および屈折率分布を有するように形成されることを特徴とする請求項6記載のアレイ導波路型光波長合分波器の製造方法。
  8. 前記入力導波路および/または前記出力導波路が、基板上にGe、P或いはB等のフォトリフラクティブ効果を有するドーパントをドープしたコアをそのコアよりも屈折率の小さいクラッドで埋め込んで単一モードのチャネル導波路として形成されることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載のアレイ導波路型光波長合分波器の製造方法。
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