JP2001174653A - アレイ導波路格子 - Google Patents

アレイ導波路格子

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JP2001174653A JP36279299A JP36279299A JP2001174653A JP 2001174653 A JP2001174653 A JP 2001174653A JP 36279299 A JP36279299 A JP 36279299A JP 36279299 A JP36279299 A JP 36279299A JP 2001174653 A JP2001174653 A JP 2001174653A
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wavelength
waveguides
awg
grating
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Hiroyuki Kato
弘之 加藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで、高い波長アイソレーションを実
現するAWGを提供する。 【解決手段】 単心ポートである入出力導波路21から
入射された波長多重光が、それぞれ波長成分ごとに分波
される多心ポートである入出力導波路22の各導波路ご
とに等間隔で導波路の屈折率変調を生じさせたブラッグ
グレーティングを形成させる。その中心波長は、各導波
路に分波される波長成分のサイドロープの短波側になる
ように調整する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アレイ導波路格子
に係わり、例えば波長多重伝送方式による伝送システム
に好適なアレイ導波路格子に関する。
【0002】
【従来の技術】将来の長距離・大容量光通信システムの
中核となる光伝送技術の1つとして、互いに異なる波長
を有する複数の光信号を多重化し、光ファイバを利用し
て同時に複数のチャネルとして伝送することで、伝送容
量を増やす波長分割多重(Wavelength Division Multip
lex:以下、WDMと略す。)方式が注目されている。
この複数の波長成分を有する光信号の多重および分割を
行うWDM方式では、非常に狭い波長間隔の光信号の合
波および分波を行う光波長合分波器が、通信システムの
性能を左右する。このような光波長合分波器として平面
基板上に形成された平面光波回路としてのアレイ導波路
格子(Arrayed-Waveguide Grating:以下、AWGと略
す。)がある。AWGは、WDM方式における光波長合
分波器だけでなく、波長ルータ、多波長レーザ用波長選
択素子のような光通信デバイスへの応用が期待されてい
る。
【0003】図9は、このようなAWGを適用した光信
号中継システムの構成の概要を表わしたものである。こ
の光信号中継システムでは、互いに異なる波長成分を有
する波長多重光が伝送される光伝送路10が、光増幅器
11に接続されている。光増幅器11の出力端には、光
サーキュレータ12が接続され、この光サーキュレータ
12にはAWG13と光増幅器14とが接続されてい
る。AWG13の出力端には、光伝送路151〜154
接続され、それぞれ光反射ミラー161〜164で終端さ
れている。光サーキュレータ12は、光増幅器11から
AWG13の方向に光信号を伝送させるとともに、AW
G13から光増幅器14の方向に光信号を伝送させる。
AWG13は、狭帯域の光透過性を有し、高密度の波長
多重光信号の分波および合波を行う。
【0004】このような構成の光信号中継システムで
は、光伝送路10を伝送する波長多重光は、光増幅器1
1によって増幅され、光サーキュレータ12を介してA
WG13に入力される。AWG13は、この波長多重光
をλ1〜λ4の各波長成分に分波し、それぞれ光伝送路1
1〜154に出力させる。この際、AWG13の光透過
性によるフィルタ機能で、光増幅器11の自然放出光雑
音とλ1〜λ4の波長成分光以外は、除去される。光伝送
路151〜154を伝送されるλ1〜λ4の波長成分は、そ
れぞれ光反射ミラー161〜164によって反射されて、
伝送路151〜154を逆方向に伝送され、再びAWG1
3に入力される。AWG13は、これらλ1〜λ4の波長
成分光を合波し、光サーキュレータ12に出力する。光
サーキュレータ12に入力された合波光は、光増幅器1
4の方向に伝送され、ここで増幅後、出力される。
【0005】このようなAWGに関する技術は、例えば
特開平11−46030号公報「光信号中継増幅装置お
よび光レベル調整装置」に開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平1
1−46030号公報に開示されたAWGにより構成し
た光合分波器では、依然として各導波路間で安定して高
いアイソレーションを確保することが困難であるという
問題がある。高いアイソレーションを備えさせるために
は、低い歩留まりに伴なうコスト高は避けられず、低コ
ストで伝送系を構築する場合、波長多重光の伝送特性の
劣化が生じる。したがって、低コストで伝送系を構築す
る場合には、外部に光フィルタを取り付ける等して伝送
特性の改善を図ることが行われていたため、装置の大型
化を招くのみならず、ある程度のコストの増加を避けら
れないといった問題を受け入れざるを得なかった。ま
た、ファイバーグレーティングにより構成した光合分波
器では、波長成分ごとにサーキュレータ等の付加装置を
必要とし、結果的に装置の大型化とコスト高を招くとい
った問題がある。
【0007】そこで本発明の目的は、低コストで、高い
波長アイソレーションを実現するAWGを提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、(イ)互いに異なる波長成分を有する波長多重光が
伝送される第1の導波路と、(ロ)波長多重光の各波長
成分に対応して設けられ、各波長成分の信号光のサイド
ロープの短波側を反射波長とするブラッググレーティン
グが形成された第2の導波路と、(ハ)それぞれ伝送さ
れる信号間に互いに位相差を発生させる複数の導波路か
らなるアレイ導波路と、(ニ)第1の導波路とアレイ導
波路の各導波路とを結合するための第1のスラブ導波路
と、(ホ)アレイ導波路によって発生した位相差に対応
してアレイ導波路の各導波路と第2の導波路とを結合す
るための第2のスラブ導波路とをアレイ導波路格子に具
備させる。
【0009】すなわち請求項1記載の発明では、いわゆ
るAWGの多心ポートである第2の導波路に、各波長成
分の信号光のサイドロープの短波側を反射波長とするブ
ラッググレーティングを形成するようにした。
【0010】請求項2記載の発明では、請求項1記載の
アレイ導波路格子で、第2の導波路は、少なくとも各波
長成分の信号光のサイドロープの短波側および長波側を
反射波長とする複数のブラッググレーティングが形成さ
れていることを特徴としている。
【0011】すなわち請求項2記載の発明では、いわゆ
るAWGの多心ポートである第2の導波路に、各波長成
分の信号光のサイドロープの短波側および長波側を反射
波長とするブラッググレーティングを形成するようにし
たので、各波長成分ごとの信号光の短波側および長波側
の反射による損失を大きくすることができ、高い波長ア
イソレーションを確保できる。
【0012】請求項3記載の発明では、請求項2記載の
アレイ導波路格子で、第1および第2の導波路、アレイ
導波路、第1および第2のスラブ導波路は石英導波路で
あって、その導波路のコアにゲルマニウムが高濃度でド
ープされているなどして、導波路のコア、及びクラッド
間の屈折率差が比較的大きなものになっていることを特
徴としている。
【0013】すなわち請求項3記載の発明では、ゲルマ
ニウムがドープされた石英導波路によってAWGを構成
し、多心ポートである第2の導波路に、各波長成分の信
号光のサイドロープの短波側および長波側を反射波長と
するブラッググレーティングを形成するようにしたの
で、放射モードによる損失を短波側にシフトさせること
ができ、低コストで優れた波長アイソレーションを確保
したAWGを提供することができる。
【0014】請求項4記載の発明では、請求項1〜請求
項3記載のアレイ導波路格子で、第1および第2の導波
路、アレイ導波路、第1および第2のスラブ導波路が形
成された基板表面の温度を検知する温度検知手段と、基
板の温度を調整する温度調整手段と、この温度検知手段
の検知結果に基づいて温度調整手段により基板の温度を
制御する温度制御手段とを具備することを特徴としてい
る。
【0015】すなわち請求項4記載の発明では、温度検
知手段と温度調整手段とを備え、いわゆるAWGを構成
する各導波路が形成された基板の温度を一定制御するよ
うにしたので、AWGおよびブラッググレーティングの
温度依存性を解消して、任意の環境温度でも低コスト
で、かつ高いアイソレーションを確保することができる
ようになる。
【0016】請求項5記載の発明では、請求項1〜請求
項4記載のアレイ導波路格子で、第2の導波路は、チャ
ープをかけたグレーティングが形成されているものであ
ることを特徴としている。
【0017】すなわち請求項5記載の発明では、いわゆ
るAWGの多心ポートである第2の導波路に、チャープ
をかけたグレーティングを形成するようにしたので、帯
域幅を拡大して、各波長成分の短波側もしくは長波側の
余分な信号成分を幅広く除去することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
【0019】
【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【0020】第1の実施例
【0021】図1は、本発明の第1の実施例におけるA
WGの外観を表わしたものである。第1の実施例におけ
るAWGは、シリコン基板20上に石英導波路層を形成
したものであり、入出力導波路21、22と、第1およ
び第2のスラブ導波路23、24と、アレイ導波路25
とが形成されている。
【0022】図2は、図1に示したAWGの平面構成の
概要を表わしたものである。ただし、図1に示したAW
Gと同一部分には同一符号を付している。第1の実施例
におけるAWGは、等間隔に配設された長さの異なる複
数の導波路を有し、各導波路間の位相のずれにより回折
格子と同様の分散性を発生させる。第1および第2のス
ラブ導波路23、24は、それぞれ入出力導波路21、
22の導波路端を曲率中心とする扇形形状であり、導波
路の軸を曲率中心に向けることで集光機能を備えさせる
ことができる。入出力導波路21は単心ポートであり、
入出力導波路22は多心ポートである。
【0023】このようなAWGでは、単心ポートである
入出力導波路21から入力された波長多重光信号は、第
1のスラブ導波路23を介してアレイ導波路25で位相
ずれが生じ、多心ポートである入出力導波路22の各導
波路には第2のスラブ導波路24からあらかじめ決めら
れた波長成分λ1〜λNに分波された波長成分光がそれぞ
れ出力される。また、これとは逆に、多心ポートである
入出力導波路22の各導波路に入力された波長成分λ1
〜λNの波長成分光は、第2のスラブ導波路24、アレ
イ導波路25および第1のスラブ導波路23を介して、
単心ポートである入出力導波路21からこれら波長成分
λ1〜λNが合波された波長多重光が出力される。このよ
うにAWGは、信号の分波および合波機能を有するが、
以下では分波機能についてのみ説明する。
【0024】第1の実施例におけるAWGの特徴とする
ところは、多心ポートである入出力導波路22の各導波
路について、破線部26において、等間隔で導波路の屈
折率変調を生じさせるブラッググレーティングが形成さ
れている点にある。
【0025】図3は、図2に示したAWGの破線部26
を拡大して表わしたものである。多心ポートである入出
力導波路25は、複数の導波路301〜30Nからなり、
各導波路ごとに等間隔でブラッググレーティングが形成
されている。ここでは、各導波路を屈折率の高い部分と
低い部分とを形成することで、グレーティングを形成し
ている。図3では、屈折率の高い部分を斜線部として示
している。一般に、各導波路301〜30Nは、互いに異
なる波長成分の波長成分光が伝送されるとともに、それ
ぞれブラッググレーティング間隔が異なる。第1の実施
例におけるAGでは、各導波路ごとにブラッググレーテ
ィングを形成することで、そのグレーティング間隔によ
って決まる特定波長成分のみを反射させる。
【0026】グレーティング間隔をP、グレーティング
の実効屈折率をNeffとすると、ブラッググレーティ
ングの反射波長λrは、次式で表わすことができる。
【0027】 λr=2×Neff×P ・・・(1)
【0028】さらに各導波路で形成されたブラッググレ
ーティングの中心波長は、各導波路に分波された波長成
分のサイドロープの短波側になるように調整されてい
る。したがって、各導波路の波長成分光は、そのサイド
ロープの短波側で十分損失が小さくなり、受信感度を向
上させることができる。例えば、ブラッググレーティン
グの中心波長は、各導波路の波長成分光の波長より0.
8[nm]短い波長とし、各波長信号光の損失を0.5
デシベル([dB])以下となるように調整される。
【0029】図4は、ブラッググレーティングの中心波
長の調整により受信感度が向上する原理を説明するため
のものである同図(a)、(b)は、縦軸を光信号パワ
ーP、横軸を波長成分([nm])として示す。ここ
で、同図(a)に示すように、ある導波路上に、波長成
分λ1〜λNの全範囲においてほぼ同じ強度の波長多重光
が伝送されているものとすると、その導波路に(1)式
にしたがって波長成分λ Xを反射波長とするブラッググ
レーティングが形成されている場合、同図(b)に示す
ようにλXのみが反射されることになる。
【0030】同図(c)は、ある導波路に波長成分λY
を有する波長成分光が伝送されている場合における、ブ
ラッググレーティングによる効果を表わしたものであ
る。すなわち、同図(c)に示すように上述したAWG
の多心ポートである入出力導波路22のうちの特定の導
波路に波長成分λYを有する波長成分光40が伝送され
ている場合、高い波長アイソレーションを備えていない
ため、実際には波長成分λXを有する波長成分光41も
伝送されることになる。そこで、反射波長をλXとする
ブラッググレーティングをこの導波路に形成させること
で、同図(c)に示す波長成分λXを有する波長成分光
41を除去することができる。したがって、これまで波
長成分λYの波長成分光の振幅42を検出する必要があ
ったが、ブラッググレーティングによりその短波側が除
去され、受信側では振幅43を検出すれば良いので、受
信感度を著しく向上させることができる。
【0031】以下、第1の実施例におけるAWGの動作
について説明する。ここでは、伝送路を伝搬する波長多
重光は、波長成分λ1〜λ8を有し、それぞれ0.8[n
m]間隔の波長成分光の多重光であるものとする。
【0032】波長成分λ1〜λ8を有する波長多重光が単
心ポートである入出力導波路21に入射されると、第1
のスラブ導波路23、アレイ導波路25および第2のス
ラブ導波路24を経て、互いに異なる位相差が生じるこ
とによって多光束干渉作用により波長成分λ1〜λ8ごと
に分波される。これら各波長成分の分波光は、波長ごと
に対応した多心ポートである入出力導波路22の各導波
路に結合する。多心ポートである入出力導波路22の各
導波路は、ブラッググレーティングが形成され、図3お
よび図4で説明したようにそれぞれブラッググレーティ
ングの中心波長が各分波光の波長成分の短波側におい
て、各分波光の損失が十分小さくなるように調整されて
いる。したがって、各分波光の短波側は、ブラッググレ
ーティングで反射され、従来のように十分な波長アイソ
レーションを確保できないことによる分波光のサイドロ
ーブの短波側が、多心ポートである入出力導波路22か
ら外部に結合することがなくなる。
【0033】各導波路に形成されたブラッググレーティ
ングによって反射された反射波長光は、第2のスラブ導
波路24、アレイ導波路25および第1のスラブ導波路
23を経て単心ポートである入出力導波路21に結合す
ることになるが、この際も同様の損失をともなうことに
なるため、反射減衰量による劣化は無視できる。
【0034】図5は、各導波路にブラッググレーティン
グが形成されていない場合の波長アイソレーションの様
子を表わしたものである。横軸は波長([nm])、縦
軸は損失([dB])を示す。すなわち、波長成分15
45.3[nm]付近の分波光の0.8[nm]短波側
では、20dB程度であることを示す。
【0035】図6は、各導波路にブラッググレーティン
グが形成されている場合の波長アイソレーションの様子
を表わしたものである。横軸は波長([nm])、縦軸
は損失([dB])を示す。すなわち、波長成分154
5.3[nm]付近の分波光の0.8[nm]短波側で
は、ブラッググレーティングにより反射されるため、4
0dB以上の波長アイソレーションが確保されることを
示している。
【0036】このように第1の実施例におけるAWGで
は、単心ポートである入出力導波路21から入射された
波長多重光が、それぞれ波長成分ごとに分波される多心
ポートである入出力導波路22の各導波路ごとに等間隔
で導波路の屈折率変調を生じさせたブラッググレーティ
ングを形成させる。その中心波長は、各導波路に分波さ
れる波長成分のサイドロープの短波側になるように調整
する。これにより、AWGによって分波される各波長成
分光のアイソレーションを向上させることができる。さ
らに、ブラッググレーティングの形成は、高いアイソレ
ーションを有するAWGを製造するのに比べて容易であ
るため、安価で高いアイソレーションを有するAWGを
提供することができる。
【0037】第2の実施例
【0038】第1の実施例におけるAWGでは、多心ポ
ートである入出力導波路ごとに1つの反射波長を有する
ブラッググレーティングを形成して、その導波路を伝送
する波長成分光のサイドロープの短波側の損失を小さく
するようにしていたが、これに限定されるものではな
い。第2の実施例におけるAWGでは、多心ポートであ
る入出力導波路ごとに中心波長の異なる2種類のブラッ
ググレーティングを形成することによって、その導波路
を伝送する波長成分光のサイドロープの短波側および長
波側の損失を小さくする。
【0039】図7は、第2の実施例におけるAWGの構
成の概要を表わしたものである。同図(a)は、第2の
実施例におけるAWGの平面構成の概要を示す。同図
(b)は、第2の実施例におけるAWGの多心ポートで
ある入出力導波路に形成されたブラッググレーティング
の構成の概要を示す。同図(a)に示すように、第2の
実施例におけるAWGは、第1の実施例と同様にシリコ
ン基板50上に石英導波路層を形成したものであり、入
出力導波路51、52と、第1および第2のスラブ導波
路53、54と、アレイ導波路55とからなる。多心ポ
ートである入出力導波路52の破線で囲んだ部分56に
は、各導波路ごとに中心波長の異なる2種類のブラッグ
グレーティングが形成されている。すなわち、多心ポー
トである入出力導波路52を構成する導波路571、5
2、573、・・・それぞれについて、ブラッググレー
ティング部581、582を有している。ブラッググレー
ティング部581、582は、それぞれ第2のスラブ導波
路54から送出される波長成分光のサイドロープの短波
側および長波側を反射波長となるように調整されてい
る。例えば、ブラッググレーティングの中心波長は、各
導波路を伝送される波長成分光の“+0.8[nm]”
および“−0.8[nm]”に調整され、波長成分光の
損失は0.5dB以下になるように調整される。
【0040】ところで、ブラッググレーティングの透過
光は、その中心波長の短波側に放射モードによる損失を
ともなう。したがって、第2の実施例におけるAWGの
多心ポートである入出力導波路52の各導波路上に現わ
れる波長成分光のサイドロープの長波側を反射波長とす
るブラッググレーティングを形成する場合、信号光その
ものを損失させてしまうことが考えられる。この場合、
導波路のコアの屈折率を高くして、光信号の閉じ込める
度合いを高めることによって、放射モードによる損失を
短波側にシフトさせることができるため、第2の実施例
におけるAWGの導波路ではコアとクラッドの屈折率差
を2パーセントとなるように調整する。
【0041】通常、導波路のコアにゲルマニウムをドー
プすることによってコアの屈折率を高めることができる
ので、高濃度でゲルマニウムをドープさせたコアを有す
る導波路からなるAWGに、その導波路を伝送する波長
成分光のサイドロープの短波側および長波側を反射波長
とする2つのブラッググレーティングを形成することに
よって、短波側および長波側で高い波長アイソレーショ
ンを有するAWGを実現することができる。
【0042】第3の実施例
【0043】シリコン基板上に形成された導波路の屈折
率は温度依存性を有するため、AWGの分岐波長、及び
ブラッググレーティングの反射波長が温度に伴って、約
0.01nm/℃の割合でシフトしてしまい、結果とし
て波長アイソレーションについても温度に依存する。し
たがって、第1または第2の実施例におけるAWGであ
っても温度に依存して、高い波長アイソレーションを維
持できない場合がある。そこで、第3の実施例における
AWGは、シリコン基板に温度検知素子を設け、フィー
ドバック制御により温度制御により、周囲の環境温度に
かかわらず、常に最適な波長アイソレーション特性を有
することができるようになっている。
【0044】図8は、第3の実施例におけるAWGの外
観を表わしたものである。第3の実施例におけるAWG
は、シリコン基板60上に石英導波路層を形成したもの
であり、入出力導波路61、62と、第1および第2の
スラブ導波路63、64と、アレイ導波路65とが形成
されている。この基板60上に形成された石英導波路層
により構成されたAWGは、第1または第2の実施例に
おけるAWGと同様のものである。さらに基板60上に
はサーミスタや熱電対といった温度検知素子66が配置
され、AWGが形成される基板の温度を検知することが
できるようになっている。さらにまた、基板60のAW
Gが形成されていない下側の面には、ペルチェモジュー
ルや電気ヒータといった温度調整素子67が取り付けら
れている。温度検知素子66および温度調整素子67
は、それぞれ図示しない温度管理装置に接続されてお
り、温度検知素子66の検知結果が一定になるように温
度調整素子67で基板60の温度を調整する。
【0045】このように第3の実施例におけるAWGで
は、温度検知素子66によりAWGが形成される基板6
0の表面の温度を検知し、基板60のAWGが形成され
ない面に取り付けられた温度調整素子67により、その
検知結果に基づいて基板60の表面の温度を一定に保つ
ようにしたので、AWGおよびブラッググレーティング
の温度依存性を解消して、任意の環境温度でも低コスト
で、かつ高いアイソレーションを確保することができる
ようになる。
【0046】なお、第1〜第3の実施例におけるAWG
では、多心ポートの各導波路にブラッググレーティング
を形成するものとして説明したが、これに限定されるも
のではない。例えば帯域幅を拡大するようなチャープを
かけたグレーティングを形成するようにしても、同様の
効果を得ることができる。
【0047】なお、第3の実施例におけるAWGでは、
多心ポートの各波長成分光の短波側および長波側を反射
波長とする2種類のブラッググレーティングを形成する
ものとして説明したが、これに限定されるものではな
い。例えば、3種類以上のブラッググレーティングを形
成することによって、他の波長成分を除去することで、
さらに高い波長アイソレーションを実現することができ
る。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
によれば、AWGの多心ポートである第2の導波路に、
各波長成分の信号光のサイドロープの短波側を反射波長
とするブラッググレーティングを形成するようにしたの
で、安価で高いアイソレーションを確保することができ
る。
【0049】また請求項2記載の発明によれば、AWG
の多心ポートである第2の導波路に、各波長成分の信号
光のサイドロープの短波側および長波側を反射波長とす
るブラッググレーティングを形成するようにしたので、
さらに高いアイソレーションを確保することができる。
【0050】さらに請求項3記載の発明によれば、ゲル
マニウムがドープされた石英導波路によってAWGを構
成し、多心ポートである第2の導波路に、各波長成分の
信号光のサイドロープの短波側および長波側を反射波長
とするブラッググレーティングを形成するようにしたの
で、放射モードによる損失を短波側にシフトさせて光信
号の劣化を回避することができ、低コストで優れた波長
アイソレーションを確保したAWGを提供することがで
きる。
【0051】さらにまた請求項4記載の発明によれば、
AWGを構成する各導波路が形成された基板の温度を一
定制御するようにしたので、AWGおよびブラッググレ
ーティングの温度依存性を解消して、任意の環境温度で
も低コストで、かつ高いアイソレーションを確保するこ
とができるようになる。
【0052】さらに請求項5記載の発明によれば、多心
ポートを構成する各導波路にチャープをかけたグレーテ
ィングを形成するようにしたので、帯域幅を拡大して、
各波長成分の短波側もしくは長波側の余分な信号成分を
幅広く除去することができるので、より高い波長アイソ
レーションを確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例におけるAWGの外観を示す斜視
図である。
【図2】第1の実施例におけるAWGの平面構成を示す
平面図である。
【図3】第1の実施例における多心ポートに形成された
ブラッググレーティングを示す平面図である。
【図4】第1の実施例におけるグレーティングによる波
長アイソレーションを向上させる原理を説明するための
説明図である。
【図5】各導波路にブラッググレーティングが形成され
ていない場合の波長アイソレーションの様子を示す特性
図である。
【図6】各導波路にブラッググレーティングが形成され
ている場合の波長アイソレーションの様子を示す特性図
である。
【図7】第2の実施例におけるAWGの平面構成を示す
平面図である。
【図8】第3の実施例におけるAWGの外観を示す斜視
図である。
【図9】従来のAWGを適用した光信号中継システムの
構成の概要を示す構成図である。
【符号の説明】
20 シリコン基板 21 入出力導波路(単心ポート) 22 入出力導波路(多心ポート) 23 第1のスラブ導波路 24 第2のスラブ導波路 25 アレイ導波路 26 破線部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに異なる波長成分を有する波長多重
    光が伝送される第1の導波路と、 前記波長多重光の各波長成分に対応して設けられ、各波
    長成分の信号光のサイドロープの短波側を反射波長とす
    るブラッググレーティングが形成された第2の導波路
    と、 それぞれ伝送される信号間に互いに位相差を発生させる
    複数の導波路からなるアレイ導波路と、 前記第1の導波路と前記アレイ導波路の各導波路とを結
    合するための第1のスラブ導波路と、 前記アレイ導波路によって発生した位相差に対応して前
    記アレイ導波路の各導波路と前記第2の導波路とを結合
    するための第2のスラブ導波路とを具備することを特徴
    とするアレイ導波路格子。
  2. 【請求項2】 前記第2の導波路は、少なくとも各波長
    成分の信号光のサイドロープの短波側および長波側を反
    射波長とする複数のブラッググレーティングが形成され
    ていることを特徴とする請求項1記載のアレイ導波路格
    子。
  3. 【請求項3】 前記第1および第2の導波路、アレイ導
    波路、第1および第2のスラブ導波路は石英導波路であ
    って、その導波路のコアにゲルマニウムがドープされて
    いるものであることを特徴とする請求項2記載のアレイ
    導波路格子。
  4. 【請求項4】 前記第1および第2の導波路、アレイ導
    波路、第1および第2のスラブ導波路が形成された基板
    表面の温度を検知する温度検知手段と、前記基板の温度
    を調整する温度調整手段と、この温度検知手段の検知結
    果に基づいて前記温度調整手段により前記基板の温度を
    制御する温度制御手段とを具備することを特徴とする請
    求項1〜請求項3記載のアレイ導波路格子。
  5. 【請求項5】 前記第2の導波路は、チャープをかけた
    グレーティングが形成されているものであることを特徴
    とする請求項1〜請求項4記載のアレイ導波路格子。
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