JP3534274B2 - 積層圧電体およびその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明の積層圧電体およびそ
の製造方法は、圧電効果により押圧力または変位を生じ
る圧電アクチュエータとその製造方法とに関し、複数個
の電歪効果素子が積層された積層圧電アクチュエータの
技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】積層圧電体の積層された圧電板に挟持さ
れる内部電極と導通するとともに、内部電極を外部の駆
動電源と接続する手段に関する従来技術としては、特開
平５−２１８５１９号公報に、積層圧電体とその製造方
法が開示されている。同公報には、複数の圧電板とその
間に交互に挿置された第１内部電極および第２内部電極
とが積層された圧電ブロックが、複数個積層された積層
圧電体が示されている。各圧電ブロックには、各内部電
極の一端がそれぞれ露出する二つの対向する側面に、そ
れぞれ金属製の外部電極が形成されて各内部電極と導通
している。

【０００３】各外部電極は、銀粉末を主成分とするペー
ストが塗布された上で、焼成されて形成されているが、
隣合う圧電ブロックの両外部電極は互いに直接導通して
いる訳ではない。そこで、積層された全圧電ブロックの
全長にわたって、両外部電極の外側からそれぞれ側面電
極（金属板、スチールウールまたは導電性ゴム）を当接
させることにより、各ブロックの外部電極間の導通を取
っている。

【０００４】この両側面電極は、積層圧電体の全側面を
覆う熱収縮チューブなどに押圧付勢されて、各圧電ブロ
ックの両外部電極との導通をそれぞれ確保している。外
部の駆動電源と導通するリード線は、側面電極に接続さ
れており、側面電極を介して全圧電ブロックの両外部電
極および全内部電極に駆動電圧が印加される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術による
積層圧電体では、各圧電ブロックの両外部電極が直接接
続されておらず、同極の外部電極同士の接続と外部の駆
動電源との接続を、側面電極に依存している。従来技術
の積層圧電体は、側面電極を必要とするがゆえに、次の
ような不都合を有している。

【０００６】第１に、上記積層圧電体は、製造時に側面
電極を形成または組み込むための工程を必要とする。し
たがって、そのぶん製造コストが増大し、側面電極分の
部品管理コストおよび材料コストの増加と相まって、製
品コストの増大を招いている。第２に、積層圧電体の伸
縮作動時に、外部電極と側面電極との間で剪断応力、摩
擦および摩耗が生じ、同時に側面電極に応力が生じて、
導通不良の原因となる可能性があった。すなわち、側面
電極の採用により、導通不良による性能低下や不作動と
いった信頼性の低下の心配が生じていた。

【０００７】第３に、側面電極の厚みの分だけ、わずか
ではあるが積層圧電体の横幅が増加せざるを得なかっ
た。このことは、積層圧電体が、寸法的な余裕がある装
置に組み込まれて使用される場合には問題にならない
が、寸法の制限が厳しい用途に使用される場合には、時
として障害に成りうる。そこで、本発明の積層圧電体
は、その製品コストを低廉化することを主要な解決すべ
き課題とする。あわせて、信頼性の向上と横幅の小型化
を図ることも、付随的な課題としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１構成の積層
圧電体は、厚み方向に積層された複数の圧電板と、該圧
電板の間に交互に挿置された第１内部電極および第２内
部電極と、該第１内部電極に導通し該圧電板の一側面を
覆う第１外部電極と、該第２内部電極に導通し該圧電板
の他の一側面を覆う第２外部電極とを有する複数の圧電
ブロックが、該圧電板の積層方向に積層されている積層
圧電体において、前記第１内部電極は前記圧電板の一側
端を含み残る３側端から間隔を隔てて中央部を覆うよう
に、かつ前記第二内部電極は前記圧電板の他の一側端を
含み残る３側端から間隔を隔てて中央部を覆うように挿
置されており、前記圧電板、前記第１内部電極及び前記
第２内部電極が積層焼結された圧電ブロックの積層方向
の両端面の外周縁部は中央部に対して凹部となり、前記
第１外部電極および前記第２外部電極は、前記圧電ブロ
ックが積層されて隣接する他の前記圧電ブロックと当接
する端面の互いに背向する前記一側端及び前記他の一側
端にある前記凹部を埋めてさらに前記端面の中央部より
突出する第１接続部および第２接続部を有し、該第１接
続部を有する該第１外部電極および該第２接続部を有す
る該第２外部電極はそれぞれ一体的に導電ペーストから
形成されていることを特徴とする。

【０００９】ここで、導電ペーストには、銀、金、銅、
白金、パラジウムまたはその他の導電性物質の粉末を有
機溶媒でペースト状に練ったものを使用することができ
る。同ペーストが塗布されたのち、焼成されると金属皮
膜等の導電性皮膜が形成される。導電性物質としてカー
ボン粉末を使用した場合には、比較的低温（例えば１０
０°Ｃ程度）に加熱することにより、カーボンの固着し
た膜を形成することができる。

【００１０】その外に、上記導電性粉末を樹脂で練って
ペースト状にしたものも、使用できる。熱可塑性樹脂の
場合、昇温してペーストとしての流動性を持たせた導電
ペーストを塗布したのち、常温に冷却して固化させ、導
電性の皮膜を得ることができる。同様に、熱硬化性樹脂
の硬化前の液状の樹脂で上記導電性粉末を練り、塗布し
たのち硬化させることによって、導電性皮膜を形成する
ことが可能である。

【００１１】本発明の第２構成は、上記第１構成におい
て、互いに積層されて隣接する各該圧電ブロックの該第
１接続部および該第２接続部は、それぞれ互いに当接し
て導通していることを特徴とする。

【００１２】本発明の第３構成は、上記第１構成におい
て、前記第１外部電極は、前記第１内部電極に接続して
いる第１金属膜部をもち、前記第２外部電極は、前記第
２内部電極に接続している第２金属膜部をもっているこ
とを特徴とする。本発明の第４構成は、上記第１構成に
おいて、前記第１外部電極および前記第２外部電極は、
前記積層圧電体の積層方向の両端面のうち少なくとも一
方の一部に、それぞれ該各外部電極と連続して前記導電
ペーストから形成されている第１電源接続部および第２
電源接続部を有することを特徴とする。

【００１３】本発明の第５構成は、上記第１構成におい
て、前記第１外部電極および前記第２外部電極にそれぞ
れ導通している少なくとも二本のリード線と、該両リー
ド線が該両外部電極に導通しているそれぞれの導通部分
を両該外部電極に押圧付勢している熱収縮性の絶縁チュ
ーブとを有することを特徴とする。本発明の第６構成
は、上記第１構成において、前記第１外部電極および前
記第２外部電極にそれぞれ導通しているとともに、前記
積層圧電体の一端から一部が突出している金属製の二本
の外部端子と、各該外部端子の他の一部を該第１外部電
極および該第２外部電極にそれぞれ押圧付勢して保持し
ている熱収縮性の絶縁チューブおよび絶縁性ケースのう
ちいずれかとを有することを特徴とする。

【００１４】本発明の第７構成の積層圧電体の製造方法
は、厚み方向に積層された複数の圧電板と、該圧電板の
間に交互に挿置された第１内部電極および第２内部電極
と、該第１内部電極に導通し該圧電板の一側面を覆う第
１外部電極と、該第２内部電極に導通し該圧電板の他の
一側面を覆う第２外部電極とを有する複数の圧電ブロッ
クが、該圧電板の積層方向に積層されている積層圧電体
の製造方法であって、（１）圧電効果を有する複数の前
記圧電板と、該圧電板の間に交互に挿置された前記第１
内部電極および前記第２内部電極とが、厚み方向に積層
されて焼結される積層焼結工程と、（２）該第１内部電
極の一端が露出する前記一側面と、該第２内部電極の一
端が露出する前記他の一側面とが形成される側面形成工
程と、（３）前記の二つの側面と両該側面に連続してい
る積層方向の両端面の一部とに導電ペーストが塗布され
て、該ペーストから該第１外部電極および該第２外部電
極が形成される外部電極形成工程と、（４）以上の工程
で製造された複数の圧電ブロックが、互いに隣接する端
面の一部に形成されている第１外部電極の端面および第
２外部電極の端面がそれぞれ互いに当接する方向で、前
記圧電板の積層方向に積層されるブロック積層工程と、
を有することを特徴とする。

【００１５】本発明の第８構成の積層圧電体の製造方法
は、厚み方向に積層された複数の圧電板と、該圧電板の
間に交互に挿置された第１内部電極および第２内部電極
と、該第１内部電極に導通し該圧電板の一側面を覆う第
１外部電極と、該第２内部電極に導通し該圧電板の他の
一側面を覆う第２外部電極とを有する複数の圧電ブロッ
クが、該圧電板の積層方向に積層されている積層圧電体
の製造方法であって、（１）圧電効果を有する複数の前
記圧電板と、該圧電板の間に交互に挿置された前記第１
内部電極および前記第２内部電極とが、厚み方向に積層
されて焼結される積層焼結工程と、（２）該第１内部電
極の一端が露出する前記一側面と、該第２内部電極の一
端が露出する前記他の一側面とが形成される側面形成工
程と、（３）以上の工程で製造された圧電ブロックが複
数個、互いに隣接する該圧電ブロックの前記の二つの側
面をそれぞれ略同一平面に合わせて、前記圧電板の積層
方向に積層されるブロック積層工程と、（４）前記の二
つの側面に導電ペーストが塗布されて、該ペーストから
該第１外部電極および該第２外部電極がそれぞれ連続し
て一体に形成される外部電極形成工程と、を有すること
を特徴とする。

【００１６】

【作用および発明の効果】本発明の第１構成の積層圧電
体では、各第１内部電極に導通している第１外部電極
と、各第２内部電極に導通している第２外部電極とは、
導電ペーストから形成されている。その結果、各外部電
極が圧電ブロックの端面の互いに背向する一側端及び他
の一側端にある凹部を埋めてさらに端面の中央部より突
出して端面の一部を形成している構成を取ることが可能
になる。それゆえ、容易に隣合う圧電ブロックの対応す
る各外部電極同士で導通を取ることができるので、各圧
電ブロック間の両外部電極の接続手段や駆動電源との接
続手段として、両側面を覆う側面電極などを特別に設け
る必要がない。

【００１７】したがって、本構成によれば、側面電極の
存在による不都合は回避される。すなわち、第１に、側
面電極が無いので、そのぶん製造コストが低下し、部品
管理コストや材料コストも節減される。その結果、製品
コストが下がり、より安価に積層圧電体を提供すること
ができるという効果がある。第２に、側面電極に起因す
る導通不良による性能低下や不作動などの可能性が無く
なり、信頼性が向上するという効果がある。

【００１８】第３に、側面電極による積層圧電体の横幅
の増加がなくなり、わずかながらスリムになったので、
寸法の制限が厳しい用途にも採用することが容易になる
という効果もある。本発明の第２構成では、上記第１構
成においてさらに、各圧電ブロックの端面に形成された
第１接続部および第２接続部が、それぞれ隣接する圧電
ブロックの第１接続部および第２接続部に導通してい
る。それゆえ、製造時に向きを合わせて各圧電ブロック
を積層するだけで、特別な加工や接続手段を要さず、全
圧電ブロックの両外部電極は互いに導通する。また、幾
つでも圧電ブロックを積層することが可能で、積層圧電
体の長さを自由に調整できる。

【００１９】したがって、本構成によれば、製造工程が
容易になり製造コストの低減になるという効果のほかに
も、必要に応じて自由に積層圧電体の長さを調整するこ
とが、大きなコスト増加なしに可能になるという効果が
ある。本発明の第３構成では、上記第１構成においてさ
らに、各外部電極は、それぞれ各内部電極に接続してい
る各金属膜部を有するので、各外部電極のペーストから
形成された部分と各内部電極との導通は、より確実にな
る。

【００２０】したがって、本構成によれば、各外部電極
と各内部電極との間での導通不良による不具合が発生す
ることは防止され、信頼性がいっそう高まるという効果
がある。本発明の第４構成では、上記記第１構成におい
てさらに、積層圧電体の端面の一部に、両外部電極とそ
れぞれ導通する両電源接続部が、各外部電極から連続す
る導電ペーストから形成されている。電源接続部を形成
する工程は、外部電極を形成する工程と同一工程ででき
るので、工数増加にはつながらない。また、積層圧電体
を使用する装置の収容ホルダの内部の端面に一対の駆動
電源端子が設けられていれば、両電源接続部は、両端子
にそれぞれ当接して導通する。

【００２１】したがって、本構成によれば、駆動電源と
の接続手段として、リード線などを接続固定する必要が
なく、駆動電源との導通が確実に取れるので、積層圧電
体がより安価でより信頼性の高いものになるという効果
がある。本発明の第５構成では、上記記第１構成におい
てさらに、二本のリード線が、熱収縮性の絶縁チューブ
により両外部電極に押圧付勢されて、両外部電極にそれ
ぞれ導通している。熱収縮性の絶縁チューブの押圧力に
より、各リード線と各外部電極との導通は確実なものな
り、その信頼性は高い。また、駆動電源との接続手段と
してのリード線の採用は、積層圧電体を使用する在来型
の装置への組み込みに際して、装置側の改修を要さず、
即時適用が可能である。

【００２２】したがって、本構成によれば、廉価性と高
信頼性とを保ちながら、なおかつ在来型の装置への組み
込み（または従来型積層圧電体との付け替え）作業が容
易であるという効果がある。本発明の第６構成では、上
記記第１構成においてさらに、両外部電極にそれぞれ導
通する金属製の二本の外部端子が、熱収縮性の絶縁チュ
ーブまたは絶縁性ケースに保持されている。両外部端子
の一部は、積層圧電体の一端から突出している。それゆ
え、積層圧電体を使用する装置の収容ホルダの一端に、
外部端子の突出部と係合するソケットが設けられていれ
ば、ワンタッチで抜き差し可能であるうえ、駆動電源と
の確実な導通が得られる。

【００２３】したがって、本構成によれば、積層圧電体
を使用する装置への取り付け取り外しが極めて容易にな
るとともに、駆動電源との導通が確実なので信頼性も高
まるという効果がある。本発明の第７構成の積層圧電体
の製造方法では、（１）積層焼結工程、（２）側面形成
工程、（３）外部電極形成工程、（４）ブロック積層工
程の順で製造工程が組まれている。

【００２４】ここで、外部電極形成工程では、内部電極
の一端が露出する二つの側面とこれらに連続している積
層方向の両端面の一部とに、導電ペーストが塗布されて
固化し、同ペーストから第１外部電極および第２外部電
極がそれぞれ形成される。すなわち、両内部電極に導通
する両外部電極が二つの側面に形成され、さらに各外部
電極は、それぞれ接続部として両端面の一部を形成する
にいたる。こうして、複数の内部電極とこれらを挟んで
積層された圧電板とからなる焼結ブロックの内部電極が
露出する側面を覆い、連続して焼結ブロックの両端面の
一部に接続部を形成している第１および第２外部電極が
形成される。以上で、圧電板、内部電極および外部電極
から構成された圧電ブロックが製造される。

【００２５】次のブロック積層工程では、こうして製造
された圧電ブロックが、外部電極の方向を合わせて複数
個積層される。その際、互いに隣接する各圧電ブロック
の両外部電極は、互いに当接する端面の側端の凹部に形
成されているそれぞれの接続部を介して、隣接する圧電
ブロックの両外部電極にそれぞれ導通する。したっが
て、連続して積層された全ての圧電ブロックの第１およ
び第２外部電極は、それぞれ導通するにいたる。

【００２６】したがって、本構成によれば、外部電極と
して必ずしも焼結体に金属の薄膜が形成される必要がな
く、かつ、外部電極同士の導通をとるために側面電極を
設ける必要もなくなる。それゆえ、材料および部品数が
減り、工数も減るので、積層圧電体をより安価に製造す
ることが可能になる。また、側面電極と外部電極との間
での導通不良など、外部電極をもつ構造に起因する不具
合の発生がないので、積層圧電体の信頼性が向上する。
さらに、積層圧電体の横幅が減少してスリムになるとい
う効果もある。

【００２７】すなわち、本構成の製造方法によれば、信
頼性の高いスリムな積層圧電体を、より安価に製造する
ことが可能になるという効果がある。また、積層される
圧電ブロックの個数を調整することにより、希望の長さ
の積層圧電体を大きな製造工程の変更なしに提供するこ
とができるので、製造工程のフレキシビリティが増すと
いう効果もある。

【００２８】本発明の第８構成の積層圧電体の製造方法
では、（１）積層焼結工程、（２）側面形成工程、
（３）ブロック積層工程、（４）外部電極形成工程の順
で製造工程が組まれている。ここで、ブロック積層工程
では、内部電極の端部が露出した側面をもつ積層された
圧電板を有するペレット（焼結ブロック）が複数個、第
１および第２内部電極の方向を揃えて積層される。その
際、第１内部電極の端部が露出する側面は、全てのペレ
ットにわたって略同一平面に揃えられ、第２内部電極の
端部が露出する側面についても同様に揃えられる。しか
るのち、外部電極形成工程で、全焼結ブロックの内部電
極の一端が露出している上記両側面に、導電ペーストが
塗布されて固化することにより、第１外部電極および第
２外部電極がそれぞれ連続して一体に形成される。

【００２９】したがって、本構成によれば、個々のペレ
ットに導電ペーストが塗布されていったん圧電ブロック
が個々に形成される必要はない。逆に、複数個の焼結ブ
ロックが積層された積層体の両側面に、いきなり連続し
た外部電極が形成されるので、導電ペーストの塗布およ
び硬化は一度で済む。それゆえ、よりいっそう安価に積
層圧電体を製造することが可能になるという効果があ
る。また、隣接する焼結ブロックの外部電極同士の導通
も、よりいっそう確実になるという効果もある。

【００３０】すなわち、本構成の製造方法によれば、信
頼性の高いスリムな積層圧電体を、よりいっそう安価に
製造することが可能になるという効果がある。

【００３１】

〔実施例１〕

（実施例１の構成）本発明の実施例１としての積層圧電
体は、図１に示すように、重ねて接合されている４個の
圧電ブロック２と、その両端を挟んで接合されているそ
れぞれ１個のダミーブロック１とから主要部が形成され
ている。

【００３２】圧電ブロック２の各々は、図２に示すよう
に、厚み方向に積層された複数の圧電板６１が積層され
ており、その間には第１内部電極７１および第２内部電
極７２とが交互に挿置されている。圧電板６１は、ＰＺ
Ｔ（セラミック圧電材料のひとつ）からなる薄板状の焼
結体であり、両面から電圧が印加されるとその厚みがわ
ずかに伸縮するピエゾ効果を発揮する。図２中の上下に
互いに隣接する圧電板６１は、図中右または左の端の非
印加部（圧電板６１のうち、内部電極７１，７２から電
圧が印加されない部分）６２で互いに接合している。圧
電板６１は、同図では理解を容易にするために５層しか
図示されていないが、実際には数十層に積層されてい
る。

【００３３】両内部電極７１，７２は、銀７割パラジウ
ム３割の合金（いわゆる銀パラ）製の薄膜である。積層
された圧電板６１の間には、両内部電極７１，７２が交
互に挟持されており、両内部電極７１，７２にはその両
面の圧電板６１を接合する作用もある。圧電板６１およ
び両内部電極７１，７２は、一体に焼結されてペレット
６を形成している。ペレット６の図中左の側面４０に
は、第１内部電極７１の一端がペレット６から露出して
いる。同様に、ペレット６の図中右の側面４０には、第
２内部電極７２の一端がペレット６から露出している。

【００３４】ここで、第２内部電極７２の平面形状は、
図３に平断面図で示すように、圧電板６１の中央部の大
部分を覆っており、第２内部電極７２は、ペレット６の
右側面に露出する一端を除いて三方に所定のギャップを
おいて形成されている。同様に、第１内部電極７１は、
ペレット６の左側面に露出する一端を除いて三方に所定
のギャップをおいて形成されている。

【００３５】そして、ペレット６の左右両側面４０に
は、銅製または銀製の第１外部電極４１および第２外部
電極４２が形成されて、ペレット６の両側面を覆ってお
り、それぞれ圧電ブロック２の左右の各側面を形成して
いる。すなわち、ペレット６の左側面４０には第１外部
電極４１が形成されており、ペレット６の左側面４０に
一端が露出した第１内部電極７１と導通している。同様
に、ペレット６の右側面４０には第２外部電極４２が形
成されており、ペレット６の右側面４０に一端が露出し
た第２内部電極７２と導通している。

【００３６】両外部電極４１，４２は、それぞれペレッ
ト６の両側面４０を覆うとともに、ペレット６の左右両
側面４０と上下両端面（伸縮面）６０とが交わる両端部
に形成された凹部９０をも覆っている。すなわち、両外
部電極４１，４２は、その上下の両端部にあたる第１接
続部４１０および第２接続部４２０で、ペレット６の凹
部９０を埋めるだけではなく、伸縮面６０よりもわずか
に突出してそれぞれ第１接続面９１および第２接続面９
２を形成している。

【００３７】ここで、両接続面９１，９２は、図４に示
すように、圧電ブロック６の積層方向の両端面９の左右
に帯状に形成されており、一方、圧電板６１の中央部に
は直接伸縮面６０を形成する圧電板６１が露出してい
る。したがって、圧電ブロック２は、圧電板６１および
両内部電極７１，７２からなるペレット６と両外部電極
４２とで構成されている。そして、圧電ブロック２の上
下両端面９は、圧電板６１の伸縮面６０（平面）と、そ
の左右両端部で伸縮面６０からわずかに突出している両
接続面９１，９２とから形成されている。

【００３８】ここで、圧電ブロック２の外形寸法は、縦
横各５ｍｍ、積層方向の厚み２ｍｍである。積層方向の
両端面９では、凹部９０は伸縮面６０から５〜１０μｍ
程度へこんでおり、逆に接続面９１，９２は伸縮面６０
から積層方向へ数μｍないし数十μｍ程度突出してい
る。ちなみに、外部電極４２，４１の膜厚は数μｍない
し数十μｍ程度であり、内部電極７１，７２の膜厚は１
μｍ程度である。

【００３９】以上のように構成された圧電ブロック２
が、圧電板６１の積層方向に複数個積層されて、本実施
例の積層圧電体の主要部が形成されている。すなわち、
再び図１に示すように、圧電ブロック２が４個、各外部
電極４１，４２が形成された各側面をそれぞれ同一側面
に揃えて積層されている。隣接する圧電ブロック２は、
伸縮面６０を互いに接合しているとともに、第１接続面
９１は第１接続面９１に、第２接続面９２は第二接続面
９２に互いに当接している。ここで、前述のように各接
続面９１，９２は、圧電ブロック２が単体の状態では伸
縮面６０よりμｍオーダで突出しているが、複数の圧電
ブロック２が積層される過程で圧縮され、伸縮面６０と
ほぼ同じ平面に収まっている。それゆえ、各接続面９
１，９２は弾性反発力をもって互いに押圧しつつ接合し
ているので、振動などで各接続面９１，９２同士が接続
不良を起こすことはない。

【００４０】すなわち、各圧電ブロック２の第１接続部
４１０および第２接続部４２０は、各接続面９１，９２
を介して、それぞれ隣接する圧電ブロック２の第１接続
部４１０および第２接続部４２０に導通している。した
がって、全ての圧電ブロック２の第１外部電極４１は互
いに導通しており、同様に、全ての第２外部電極４２も
互いに導通している。

【００４１】このように積層された４個の圧電ブロック
２の積層体の両端には、それぞれダミーブロック１が積
層されて、積層圧電体の両端面１１，１２を形成してい
る。ダミーブロック１は、絶縁性のセラミックスからな
り、積層圧電体の両端面１１，１２から両外部電極４
１，４２を絶縁している。前述の四つの圧電ブロック２
から構成される積層体の両側面を覆う両外部電極４１，
４２には、それぞれリード線５１，５２が接続されて外
部の駆動電源（図示せず）と導通している。被覆電線で
あるリード線５１，５２の先端からは、裸電線である導
通部分５０がそれぞれ被覆から露出しており、各導通部
分５０は、半田付けで各外部電極４１，４２に接続して
いる。

【００４２】以上のダミーブロック１および圧電ブロッ
ク２の積層体の両端部を除く全体とリード線５１，５２
の導通部分５０を含む一部とは、熱収縮性の絶縁チュー
ブ３によって覆われている。絶縁チューブ３は、両外部
電極４１，４２を含む圧電ブロック２とリード線５１，
５２の導通部分５０とを外部環境から絶縁保護すると同
時に、各導通部分５０をそれぞれ各外部電極４１，４２
に押圧付勢して接続不良を防止している。

【００４３】なお、絶縁チューブ３がリード線５１，５
２の各導通部分５０をそれぞれ各外部電極４１，４２に
押圧付勢しているので、半田付けの必要は必ずしもな
い。 （実施例１の作用）本実施例の積層圧電体は、前述のよ
うに構成されているので、次のような作用を持つ。

【００４４】まず、図２に示すように、互いに隣接する
圧電ブロック２の端面の側端の凹部９０に形成された接
続面９１，９２がそれぞれ互いに当接して導通している
ので、全ての圧電ブロック２の両外部電極４１，４２は
それぞれ互いに導通している。それゆえ従来技術と異な
って、各圧電ブロック２の両外部電極４１，４２をそれ
ぞれ互いに導通する側面電極を設ける必要がない。

【００４５】同様に、外部の駆動電源からのリード線５
１，５２との接続も、側面電極などの接続手段を設ける
必要がなく、直接に接合することが可能となっており、
電気接続に要する構成は極めてシンプルである。したが
って、二本のリード線５１，５２に印加された駆動電圧
は、側面電極等を介することなく直接に（少なくとも）
一つの圧電ブロック２の各外部電極４１，４２に印加さ
れる。各圧電ブロック２の外部電極４１，４２は、それ
ぞれ互いに導通しているので、上記駆動電圧は全ての圧
電ブロック２の外部電極４１，４２に印加される。

【００４６】外部電極４１，４２に印加された駆動電圧
は、それぞれ内部電極７１，７２に伝導されて各圧電板
６１に電界がかかり、圧電板６１が積層方向に伸縮す
る。こうして各圧電ブロック２が積層方向に伸縮するの
で、本実施例の積層圧電体は伸縮してアクチュエータと
しての作用をもつ。 （実施例１の製造方法）前述の本実施例の積層圧電体
は、次のような（１）〜（４）を中心とする工程で製造
することができる。このうち、本実施例の特徴的な工程
は（３）および（４）であり、（１）および（２）の工
程は従来から行われている積層圧電体の製造方法のそれ
と大きな違いはない。 （１）積層焼結工程 本工程では、圧電効果を有する複数の圧電板６１と、圧
電板６１の間に交互に挿置された第１内部電極７１およ
び第２内部電極７２とが、厚み方向に積層されて焼結さ
れる。

【００４７】すなわち、先ず、所定の大きさのＰＺＴ材
料からなる可塑性の縦横５ｍｍ強、板厚０．０４ｍｍ程
度の正方形のシート（のちに焼結されて圧電板６１にな
る）が切り出される。同シートの大部分には、再び図３
に示すように、四辺の三方に適正なギャップをおいて銀
パラジウム合金（以下、銀パラ）の薄膜（厚み１μｍ程
度）が印刷される。銀パラの薄膜は、残る一辺には縁ま
で印刷される。

【００４８】次に、同シートは、銀パラ薄膜の印刷面を
上にして、銀パラ薄膜が縁まで印刷された一辺の向きを
左右両側面に交互に変えながら、数十枚程度の所定枚数
だけ積層される。（上記銀パラ薄膜は、のちに圧電板６
１の間に交互に挿置された第１内部電極７１および第２
内部電極７２になる。）ただし、最後の一枚だけは、上
記一辺の向きを変えること無く上下を反転し、その銀パ
ラ薄膜をその直下のシートの銀パラ薄膜に重ねて積層さ
れる。

【００４９】こうして積層された銀パラ薄膜を挟持した
シートは、積層方向に適正な圧力がかけられて圧着され
る。その際、再び図２に示すように、銀パラ薄膜（内部
電極７１，７２）が半数しか入っていない左右両端部の
上下両端面９には、凹部９０が形成される。一つの圧電
ブロック２につき４か所できる凹部９０は、上下の伸縮
面６０よりも５〜１０μｍ程度凹んでいる。

【００５０】以上のように形成された交互に銀パラ薄膜
を挟持して固められた可塑性のシートは、適正な温度で
焼結されて固化し、内部電極７１，７２を交互に挟持し
ているペレット６になる。 （２）側面形成工程 本工程は、通常ダイシングと呼ばれている。すなわち、
前述の積層時にわずかな不揃いのあるペレット６の左右
両側面を、研削により切りそろえて平面に形成する工程
である。本工程を終了すると、第１内部電極７１の一端
が露出する一側面（左側面）４０と、第２内部電極７２
の一端が露出する他の一側面（右側面）４０とが形成さ
れる。 （３）外部電極形成工程 上記両側面４０とこれらに連続する上下両端面の凹部９
０とに、導電ペーストが１０〜１００μｍ程度の厚みで
塗布される。この導電ペーストは、銀（または銅等）の
粉末を主成分とし、少量の溶剤でぺースト状に練られた
ものである。

【００５１】同ぺーストは、ペレット６に塗布されたの
ち、焼成されて溶剤が除去されるとともに、銀粉が融け
てペレット６の塗布された面に付着し、冷却後には両外
部電極４１，４２として定着する。その際、各外部電極
４１，４２は、それぞれペレット６の各側面４０に露出
した各内部電極７１，７２の端面と融合して、導通が得
られる。

【００５２】本工程の結果、図２〜４に示すように、各
内部電極７１，７２にそれぞれ導通し、両側面４０とと
もに上下両端面９の一部である凹部９０を覆う各外部電
極４１，４２が形成されている圧電ブロック２が製造さ
れる。 （４）ブロック積層工程 本工程では、再び図１に示すように、以上の工程で製造
された複数の圧電ブロック２が４個、各外部電極４１，
４２の形成された側面をそれぞれ同一面に揃え、互いに
隣接する上下の端面９を合わせて積層される。その際、
伸縮面６０（図４参照）には薄く接着剤が塗布されてい
てもよい（接続面９１，９２には付着しないよう留
意）。

【００５３】すると、各圧電ブロック２の左右の側面に
形成された第１外部電極４１は、接続部４１０に形成さ
れた接続面９１で隣接する圧電ブロック２の第１外部電
極４１に導通する。同様に、各圧電ブロック２の左右の
側面に形成された第２外部電極４２は、接続部４２０に
形成された接続面９２で隣接する圧電ブロック２の第２
外部電極４２に導通する。したがって、各圧電ブロック
２の全ての第１外部電極は互いに導通し、全ての第２外
部電極も互いに導通する。

【００５４】なお、各圧電ブロック２が積層される際に
は、同時に上下両端にダミーブロック１も積層されて、
積層方向に圧縮力がかけられる。それゆえ、各圧電ブロ
ック２の上下の端面９の中で数μｍ〜数十μｍ程度突出
していた接続部４１０，４２０は圧縮されて、各接続面
９１，９２は伸縮面６０とほぼ同一平面に収まる。その
結果、圧縮された接続部４１０，４２０の反発力で各接
続面９１，９２はそれぞれ互いに押圧力をもって当接す
るので、各外部電極７１，７２の導通は一層確実なもの
となっている。

【００５５】積層された複数の圧電ブロック２のうち一
つには、先端に裸線の導通部分５０をもつ二本のリード
線５１，５２が、それぞれ外部電極４１，４２に半田付
けにより接続される（半田付けなしでも接続は可能）。
そして、積層されたダミーブロック１および圧電ブロッ
ク２の積層体の両端面１１，１２付近を除く側面全周囲
には、熱収縮性の絶縁チューブ３が被せられて熱せら
れ、収縮して密着する。絶縁チューブ３は、各リード線
５１，５２の導通部分５０および各外部電極４１，４２
を絶縁保護するとともに、導通部分５０を外部電極４
１，４２に押圧付勢して同部分での導通不良を防いでい
る。

【００５６】前述の本実施例の積層圧電体は、以上の工
程を経て製造されている。 （実施例１の効果）本実施例の積層圧電体では、以上詳
述したように、隣合う圧電ブロック２の各外部電極４
１，４２同士でそれぞれ互いに導通が取れている。それ
ゆえ、各圧電ブロック２間の各外部電極２同士の接続手
段や、駆動電源との接続手段として、両側面を覆う側面
電極などを特別に設ける必要がない。したがって、本実
施例の積層圧電体によれば、側面電極の存在による不都
合は回避されている。

【００５７】すなわち、第１に、側面電極が無いので、
そのぶん製造コストが低下し、部品管理コストや材料コ
ストも節減されている。その結果、製品コストが下が
り、より安価に積層圧電体を提供することができるとい
う効果が生じている。第２に、側面電極に起因する導通
不良による性能低下や不作動などの可能性が無くなり、
信頼性が向上するという効果がある。

【００５８】第３に、側面電極による積層圧電体の横幅
の増加がなくなり、わずかながらスリムになったので、
寸法の制限が厳しい用途にも採用することが容易になる
という効果もある。また、各圧電ブロック２の端面９に
形成された第１接続部４１０および第２接続部４２０
が、それぞれ隣接する圧電ブロック２の第１接続部４１
０および第２接続部４２０に導通している。それゆえ、
前述のブロック積層工程で向きを合わせて各圧電ブロッ
ク２を積層するだけで、特別な加工や接続手段を要さ
ず、全圧電ブロック２の両外部電極４１，４２はそれぞ
れ互いに導通する。したがって、組み立て工数は低減さ
れており、コストダウンに貢献がある。

【００５９】さらに、必要に応じて幾つでも圧電ブロッ
ク２を積層することが可能で、積層圧電体の長さ（端面
１１，１２間の距離）を自由に調整できる。積層圧電体
の長さの微調整は、ダミーブロック１の厚みを調整する
ことによって可能である。したがって、必要に応じて自
由に積層圧電体の長さを調整することが、大きなコスト
増加なしに可能になるという効果もある。

【００６０】あわせて、熱収縮性の絶縁チューブ３の押
圧力により、各リード線５１，５２と各外部電極４１，
４２との導通は確実なものなり、その信頼性は高い。ま
た、駆動電源との接続手段としてのリード線５１，５２
の採用は、積層圧電体を使用する在来型の装置への組み
込みに際して、装置側の改修を要さず、即時適用が可能
である。したがって、本実施例の積層圧電体は、廉価性
と高信頼性とを保ちながら、なおかつ在来型の装置への
組み込み（または従来型積層圧電体との付け替え）作業
が容易であるという効果をも生じる。

【００６１】（実施例１の変形態様１）前述の実施例１
としての積層圧電体には、いくつかの変形態様がある。
その一つが本変形態様であって、図５に示すように、圧
電ブロック２’は、実施例１の圧電ブロック２と一部の
相違点を除き、ほぼ同様の構成をしている。圧電ブロッ
ク２’の構成以外では、本変形態様は実施例１と同一の
構成である。

【００６２】実施例１と異なる点は、図６に示すよう
に、第１外部電極４１’は、第１内部電極７１に接続し
ている第１金属膜部４１１をもち、第２外部電極４２’
は、第２内部電極７２に接続している第２金属膜部４２
１をもっている点である。すなわち、金の薄膜がペレッ
ト６の左右各側面に蒸着されて、各金属膜部４１１，４
２１を形成している。蒸着は、側面形成工程のダイシン
グ終了後、外部電極形成工程の最初に行われる。

【００６３】金は非常に導電性に優れ酸化しにくいの
で、各金属膜部４１１，４２１は、それぞれ極めて良好
な導通を各内部電極７１，７２と各外部電極４１’，４
２’との間に確保する作用がある。その結果、各外部電
極４１，４２と各内部電極７１，７２との間での導通不
良による不具合が発生することは防止され、製品の信頼
性がよりいっそう高まるという効果がある。

【００６４】（実施例１の変形態様２）本変形態様の積
層圧電体も、変形態様１と同様に、圧電ブロック２”の
構成以外では本変形態様は実施例１と同一の構成であ
る。圧電ブロック２’のペレット６’は、図７に示すよ
うに、連続した圧電板６１が折り返し部６２’で折り返
されてつづら折りに積層されている。圧電板６１の両面
には、銀の薄膜が上下の伸縮面６０にあたる部分を除い
て、ほぼ全体に定着して両内部電極７１，７２を形成し
ている。両内部電極７１，７２の一部は、それぞれペレ
ット６’の左右の側面に露出しており、その表面を覆っ
て両外部電極４１”，４２”が形成されている。両外部
電極４１”，４２”は、実施例１同様に上下両端に連続
して両接続部４１０，４２０を有し、圧電ブロック２’
の上下両端面９の一部に両接続面９１，９２を形成して
いる。

【００６５】本変形態様の積層圧電体は、連続した一枚
のシートがつづら折りにして積層されている点と、ダイ
シングなしにペレットの左右両側面が形成されている点
等を除いて、基本的には実施例１と同様の製造方法で次
のようにして製造されている。 （１）積層焼結工程および（２）側面形成工程 本工程では、先ず、ＰＺＴの材料からできた可塑性のシ
ートが用意される。同シートの形状は、厚み０．０４ｍ
ｍ、各辺３００ｍｍ程度の長方形である。（必要に応じ
て、厚みおよび各辺の長さは変更できる。） 同シートは、両面のほぼ全体に、銀の薄膜が印刷されて
いる。この印刷は、将来伸縮面６０になる上端付近の片
面および下端付近の反対側の片面には、施されていな
い。（または、銀等の導電性薄膜を全面に形成してお
き、つづら折りにしたのち伸縮面６０から研磨またはエ
ッチング等により除去しても良い。） 上記シートは、治具を用いて所定のピッチ（約５ｍｍ）
で数十回つづら折りにされ、折り巾一定に真っ直ぐに折
り重ねられる。所定の形状に折り重ねられたシートは、
積層方向に圧縮力を加えられて、シート間に気泡等を残
すこと無く稠密に固められる。

【００６６】この状態で積層されたシートの外形形状
は、積層方向の厚み２ｍｍ程度、左右両側面間の幅は５
ｍｍ程度であり、両方向に直交する奥行き（長手方向の
幅）はもとの３００ｍｍを保っている。そこで、奥行き
方向に５ｍｍ間隔で（卑近な表現だが羊羹を切るよう
に）切断されて、縦横各５ｍｍ、厚み２ｍｍの折り固め
られたシートが６０個ほど得られる。

【００６７】同シートは、しかるのちに焼結されてペレ
ット６’になる。図７に示すように、ペレット６’の左
右両側４０’は、それぞれすでに銀の薄膜によって形成
されている各内部電極７１，７２の一部７１’，７２’
によって覆われている。したがって、ペレット６’に
は、ダイシング無しに各内部電極７１，７２の一部７
１’，７２’が露出した左右両側面４０’が自然に形成
されている。

【００６８】（３）外部電極形成工程 第１外部電極４１”および第２外部電極４２”は、実施
例１と同様に導電ペーストから形成され、図７にペレッ
ト６’の正面図または縦断面図を示すように、圧電ブロ
ック２”が製造される。実施例１同様に、圧電ブロック
２”の上下の両端面９の一部には、各外部電極４１”，
４２”の接続部４１０，４２０から接続面９１，９２が
形成されている。

【００６９】（４）ブロック積層工程 本工程と、リード線５１，５２の接続および絶縁チュー
ブ３の被覆とは、実施例１と同様に行われる。本変形態
様の積層圧電体は、以上の工程で製造が可能であり、つ
づら折りにしてダイシングが省略されている分、安価に
製造されうる。また、各内部電極７１，７２が圧電ブロ
ック２”の奥行き方向の全幅に渡って形成されているの
で、圧電板６１の有効面積が実施例１より増加してお
り、本変形態様にはアクチュエータとして発揮する力が
増加するという効果もある。

【００７０】（実施例１の変形態様３）本変形態様の積
層圧電体は、図８に示すように、圧電ブロックの接続部
４１０，４２０が中央部付近まで延長部４１０’，４２
０’を有し、極めて広い接続面９１’，９２’が形成さ
れている。接続面９１’，９２’は、図９に示すよう
に、ペレット６の伸縮面６０の中央部が露出するわずか
なギャップを空けて互いに対向し、圧電ブロックの積層
方向の両端面９の大半を占めている。したがって、本変
形態様では、積層圧電体の発生する力と伸縮変位は、主
として接続面９１’，９２’を介して隣接するブロック
へ伝達される。

【００７１】本変形態様によれば、隣接する圧電ブロッ
クの外部電極４１，４２が、より広い面積の接続面９
１’，９２’でそれぞれ互いに当接するので、隣接する
圧電ブロック間の外部電極４１，４２の導通がよりいっ
そう確実になるという効果がある。その他の構成は、実
施例１のそれと同様で、実施例１の積層圧電体で発揮さ
れる作用効果は、本変形態様の積層圧電体でも同様に発
揮される。

【００７２】（実施例１の変形態様４）本変形態様の積
層圧電体は、図１０に示すように、外部の駆動電源（図
示せず）との接続手段として、実施例１のリード線５
１，５２（図１参照）に代えて、外部端子５１’，５
２’を備えている。また、積層された圧電ブロック２を
保護する手段として、実施例１の絶縁チューブ３に代え
て、絶縁性ケース４が備えられている。

【００７３】すなわち、外部端子５１’，５２’は、導
電性の高い金属製の略長方形の板であって、その上半部
の内側面は第１外部電極４１および第２外部電極４２に
当接し、それぞれ導通している。一方、外部端子５
１’，５２’の下半部は、積層圧電体の下端面１２’か
ら突出している。前述の外部端子５１’，５２’の上半
部は、合成樹脂製の絶縁性ケース４に外側面を押圧付勢
されて、それぞれ第１外部電極４１および第２外部電極
４２に当接している。絶縁性ケース４の下端部には、各
外部端子５１’，５２’を入れる孔が形成されており、
下端部の内側面には、各外部電極４１，４２の上半部を
収容して固定する凹部が形成されている。

【００７４】絶縁性ケース４内には、積層された四個の
圧電ブロック２が収容保護されており、下端の圧電ブロ
ック２の下端面１２は、絶縁性ケース４の底部に当接し
ている。一方、上端の圧電ブロック２の上端面１１’
は、絶縁性ケース４の上端面１１”から少し突出してア
クチュエータとしての伸縮作用面を形成している。この
上端面１１’には、絶縁性のコーティング（図示せず）
が施され、短絡が防止されている。

【００７５】本変形態様の積層圧電体は、以上のように
構成されているので、これを使用する装置の収容ホルダ
の一端に外部端子５１’，５２’の突出部と係合するソ
ケットが設けられていれば、ワンタッチで抜き差し可能
であるうえ、駆動電源との確実な導通が得られる。な
お、上記収容ホルダの一端には、絶縁性ケース４の底面
１２’が当接して、アクチュエータとしての固定点とし
て作用する。

【００７６】したがって、本変形態様の積層圧電体によ
れば、実施例１の効果に加えて、積層圧電体を使用する
装置への取り付け取り外しが極めて容易になるととも
に、駆動電源との導通が確実なので信頼性も高まるとい
う効果がある。 （実施例１の変形態様５）本変形態様の積層圧電体は、
図１１に示すように、一個のダミーブロック１と四個の
圧電ブロック２とが積層されており、側面の大半は熱収
縮性の絶縁チューブ３に覆われている。最下段の圧電ブ
ロック２の下半部は絶縁チューブ３からはみ出して露出
しており、最下段の圧電ブロック２の下端面１２”が積
層圧電体の底面を形成している。したがって、下端面１
２”の左右両端部では、最下段の圧電ブロック２の接続
部４１０，４２０がわずかに突出して、駆動電源と接続
されるようになっている。

【００７７】すなわち、最下段の圧電ブロック２の第１
外部電極４１および第２外部電極４２は、本変形態様の
積層圧電体の下端面１２”の一部に、それぞれ第１電源
接続部４１２および第２電源接続部４２２としての接続
部４１０，４２０を有する。両電源接続部４１２，４２
２は、外部電極４１，４２の一部として連続して導電ペ
ーストから形成された金属薄膜である。

【００７８】積層圧電体を使用する装置の収容ホルダＨ
の内部の端面Ｈ２には、一対の駆動電源端子としての接
続金具Ｃ１，Ｃ２が設けられている。同金具Ｃ１，Ｃ２
は、略Ｌ字状の断面をもつ導電性の金具で、その下半部
はホルダＨの底面に沿って平面をなし、その上半部はホ
ルダＨの壁面にそって若干Ｓ字状に反っている。ホルダ
Ｈに本変形態様の積層圧電体が挿入されると、両接続金
具Ｃ１，Ｃ２の上半部が、それぞれ直接外部電極４１，
４２に当接して導通する。これと同時に、両接続金具Ｃ
１，Ｃ２の下半部が、それぞれ両電源接続部４１２，４
２２に当接して導通をよりいっそう確実にする。

【００７９】したがって、本変形態様の積層圧電体で
は、最下段の圧電ブロック２の両外部電極４１，４２が
両電源接続部４１２，４２２を兼用するので、特別に電
源接続部を形成する工程を要せず、工数低減になる。そ
の結果、本変形態様の積層圧電体によれば、リード線等
の接続手段を積層圧電体に設けることなく、駆動電源と
の導通が確実に取れるので、積層圧電体がよりいっそう
安価でより信頼性の高いものになるという効果もある。

【００８０】〔実施例２〕 （実施例２の構成）本発明の実施例２としての積層圧電
体は、再び図１に示すように、実施例１とほとんど同様
に見える断面形状をしている。すなわち、本実施例の積
層圧電体は、両端のダミーブロック１に挟持されて圧電
ブロック２が４個が積層された積層体を中心に構成され
ている。同積層体の両外部電極４１，４２には、それぞ
れリード線５１，５２が接合されており、上記積層体の
四方の側面および両リード線５１，５２の先端部は、熱
収縮性の絶縁チューブ３で覆われている。

【００８１】本実施例の積層圧電体の構成が実施例１と
異なる点は、４個の圧電ブロック２の全ての両外部電極
４１，４２が、隣接する圧電ブロック２の外部電極４
１，４２にそれぞれ連続している点である。すなわち、
実施例１のように各圧電ブロック２にそれぞれ独立して
外部電極４１，４２が形成されているのではなく、圧電
ブロック２が４個積層された積層体の両側面に、それぞ
れ連続した外部電極４１，４２が一体に形成されてい
る。したがって、互いに隣接する圧電ブロック２の間
に、外部電極４１，４２の接続面９１，９２は存在せ
ず、両者の接続部４１０，４２０が一体になって連続し
ている。

【００８２】（実施例２の作用）本実施例の積層圧電体
では、積層された全ての圧電ブロック２の両外部電極４
１，４２がそれぞれ連続して導通している。したがっ
て、外部電極４１，４２の一部分に電圧が印加される
と、全ての圧電ブロック２の両側面を覆う外部電極４
１，４２全体にそれぞれ電位が伝播する。各外部電極４
１，４２は、それぞれ各内部電極７１，７２に導通して
いるので、圧電板６１に電圧が印加されて各圧電ブロッ
クは伸縮作用を発揮し、積層圧電体はアクチュエータと
して作用する。

【００８３】（実施例２の製造方法）本実施例の積層圧
電体の製造方法では、前半の（１）積層焼結工程および
（２）側面形成工程は実施例１同様であって、後半の
（３）ブロック積層工程および（４）外部電極形成工程
だけが実施例１と異なっている。したがって、ここでは
上記後半の２工程のみについて説明する。

【００８４】（３）ブロック積層工程 本工程では、図１２（ａ）に示す焼結後のペレット６
が、伸縮面６０に少量の接着剤をつけて４個積層され、
積層体を構成する。その際には、図１２（ｂ）に示すよ
うに、同じ内部電極４１，４２の端面が露出した各側面
４０が同一面になるよう方向を合わせて積層される。 （４）外部電極形成工程 図１２（ｃ）に示すように、前述のペレット６の積層体
の両側面４０に導電ペーストが塗布されて焼成され、第
１外部電極４１Ｃおよび第２外部電極４２Ｃがそれぞれ
連続して一体に形成される。両外部電極４１Ｃ，４２Ｃ
は、図１中の外部電極４１，４２がそれぞれ接合面なし
に連続しているものと解釈されたい。導電ペーストが塗
布される際には、適正な圧力が塗布された導電ペースト
にかけられていると、各ペレット６の間の窪み４１
０’，４２０’の中にも導電ペーストが充填され、外部
電極４１，４２の連続性がいっそう確実なものとなる。
なお、上記積層体の上下両端面９の一部には、外部電極
４１，４２の端部が露出して接続面９１，９２を形成し
ている。

【００８５】以上の工程で製造される外部電極４１，４
２つきの積層体の両端にダミーブロック１が接着されて
積層される。そして、二本のリード線５１，５２がそれ
ぞれ外部電極４１Ｃ，４２Ｃに接続され、さらに絶縁チ
ューブ３で被覆されて、本実施例の積層圧電体が完成す
る。 （実施例２の効果）以上詳述した本実施例の積層圧電体
の製造工程によれば、個々のペレット（焼結ブロック）
６に導電ペーストが塗布焼成されて外部電極４１，４２
をもつ圧電ブロック２（図２参照）が個々に形成される
必要がない。

【００８６】逆に、複数個のペレット６が積層された積
層体の両側面４０に、いきなり連続した外部電極４１
Ｃ，４２Ｃが形成されるので、導電ペーストの塗布およ
び硬化は一度に済む。それゆえ、本製造方法によれば、
よりいっそう安価に積層圧電体を製造することが可能に
なるという効果がある。また、隣接する焼結ブロック
（ペレット６）の間で、両外部電極４１Ｃ，４２Ｃがそ
れぞれ連続しているので、導通がよりいっそう確実にな
るという効果もある。

【００８７】すなわち、本実施例の製造方法によれば、
信頼性の高いスリムな積層圧電体をよりいっそう安価に
製造することが可能になるという効果がある。 （実施例２の各種変形態様）本実施例の積層圧電体につ
いても、前述の実施例１に対する変形態様１〜５に相当
する構成の各種変形態様を取りうる。これら変形態様の
作用効果も、実施例１の各種変形態様に相当するものが
発揮される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例１の積層圧電体の全体構成を示す垂直
断面図

【図２】 実施例１の圧電ブロックの構成を示す垂直断
面図

【図３】 実施例１の圧電ブロックの構成を示す水平断
面図（図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図）

【図４】 実施例１の圧電ブロックの端面の形状を示す
平面図

【図５】 変形態様１の圧電ブロックの構成を示す垂直
断面図

【図６】 変形態様１の圧電ブロックの構成を示す水平
断面図（図５中のＶＩ−ＶＩ断面図）

【図７】 変形態様２の圧電ブロックの構成を示す垂直
断面図

【図８】 変形態様３の圧電ブロックの構成を示す垂直
断面図

【図９】 変形態様３の圧電ブロックの端面の形状を示
す平面図

【図１０】変形態様４の積層圧電体の全体構成を示す垂
直断面図

【図１１】変形態様５の積層圧電体の全体構成と取付け
を示す垂直断面図

【図１２】実施例２の積層圧電体の製造方法を示す組図 （ａ）側面形成工程後の圧電ブロックの構成を示す縦断
面図 （ｂ）ブロック積層工程後の積層圧電体の構成を示す縦
断面図 （ｃ）外部電極形成工程後の積層圧電体の構成を示す縦
断面図

【符号の説明】

１：ダミーブロック ２，２’，２”：圧電ブロック ３：絶縁チューブ ４：絶縁ケース ４０：側面 ４１，４１’，４１”：第１外部電極 ４２，４２’，４２”：第２外部電極 ４１０：第１接続部分 ４１１：第１金属膜部 ４
１２：第１電源接続部 ４２０：第２接続部分 ４２１：第２金属膜部 ４
２２：第２電源接続部 ５０：導通部分 ５１，５２：リード線 ５１’，
５２’：外部端子 ６：ペレット ６０：伸縮面 ６１：圧電板 ６２：非印加部 ６２’：折り返し
部 ７１：第１内部電極 ７２：第２内部電極 ９：端面 ９０：凹部 ９１：第１接続面 ９
２：第２接続面

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】厚み方向に積層された複数の圧電板と、該
   圧電板の間に交互に挿置された第１内部電極および第２
   内部電極と、該第１内部電極に導通し該圧電板の一側面
   を覆う第１外部電極と、該第２内部電極に導通し該圧電
   板の他の一側面を覆う第２外部電極とを有する複数の圧
   電ブロックが、該圧電板の積層方向に積層されている積
   層圧電体において、 前記第１内部電極は前記圧電板の一側端を含み残る３側
   端から間隔を隔てて中央部を覆うように、かつ前記第２
   内部電極は前記圧電板の他の一側端を含み残る３側端か
   ら間隔を隔てて中央部を覆うように挿置されており、 前記圧電板、前記第１内部電極及び前記第２内部電極が
   積層焼結された圧電ブロックの積層方向の両端面の外周
   縁部は中央部に対して凹部となり、 前記第１外部電極および前記第２外部電極は、前記圧電
   ブロックが積層されて隣接する他の前記圧電ブロックと
   当接する端面の互いに背向する前記一側端及び前記他の
   一側端にある前記凹部を埋めてさらに前記端面の中央部
   より突出する第１接続部および第２接続部を有し、該第
   １接続部を有する該第１外部電極および該第２接続部を
   有する該第２外部電極はそれぞれ一体的に導電ペースト
   から形成されていることを特徴とする積層圧電体。
2. 【請求項２】互いに積層されて隣接する各前記圧電ブロ
   ックの前記第１接続部および前記第２接続部は、それぞ
   れ互いに当接して導通している請求項１記載の積層圧電
   体。
3. 【請求項３】前記第１外部電極は、前記第１内部電極に
   接続している第１金属膜部をもち、前記第２外部電極
   は、前記第２内部電極に接続している第２金属膜部をも
   っている請求項１記載の積層圧電体。
4. 【請求項４】前記第１金属膜部および前記第２金属膜部
   は金の薄膜よりなることを特徴とする請求項３記載の積
   層圧電体。
5. 【請求項５】前記第１外部電極および前記第２外部電極
   は、前記積層圧電体の積層方向の両端面のうち少なくと
   も一方の一部に、それぞれ該各外部電極と連続して前記
   導電ペーストから形成されている第１電源接続部および
   第２電源接続部を有する請求項１記載の積層圧電体。
6. 【請求項６】前記第１外部電極および前記第２外部電極
   にそれぞれ導通している二本のリード線と、 該両リード線が該両外部電極に導通しているそれぞれの
   導通部分を、両該外部電極に押圧付勢している熱収縮性
   の絶縁チューブと、 を有する請求項１記載の積層圧電体。
7. 【請求項７】前記第１外部電極および前記第２外部電極
   にそれぞれ導通しているとともに、前記積層圧電体の一
   端から一部が突出している金属製の二本の外部端子と、 各該外部端子の他の一部を該第１外部電極および該第２
   外部電極にそれぞれ押圧付勢して保持している熱収縮性
   の絶縁チューブおよび絶縁性ケースのうちいずれかと、 を有する請求項１記載の積層圧電体。
8. 【請求項８】厚み方向に積層された複数の圧電板と、該
   圧電板の間に交互に挿置された第１内部電極および第２
   内部電極と、該第１内部電極に導通し該圧電板の一側面
   を覆う第１外部電極と、該第２内部電極に導通し該圧電
   板の他の一側面を覆う第２外部電極とを有する複数の圧
   電ブロックが、該圧電板の積層方向に積層されている積
   層圧電体の製造方法であって、 （１）圧電効果を有する複数の前記圧電板と、該圧電板
   の間に交互に挿置された前記第１内部電極および前記第
   ２内部電極とが、厚み方向に積層されて焼結される積層
   焼結工程と、 （２）該第１内部電極の一端が露出する前記一側面と、
   該第２内部電極の一端が露出する前記他の一側面とが形
   成される側面形成工程と、 （３）前記の二つの側面と両該側面に連続している積層
   方向の両端面の一部とに導電ペーストが塗布されて、該
   ペーストから該第１外部電極および該第２外部電極が形
   成される外部電極形成工程と、 （４）以上の工程で製造された複数の圧電ブロックが、
   互いに隣接する端面の一部に形成されている第１内部電
   極の端面および第２内部電極の端面がそれぞれ互いに当
   接する方向で、前記圧電板の積層方向に積層されるブロ
   ック積層工程と、 を有することを特徴とする積層圧電体の製造方法。
9. 【請求項９】厚み方向に積層された複数の圧電板と、該
   圧電板の間に交互に挿置された第１内部電極および第２
   内部電極と、該第１内部電極に導通し該圧電板の一側面
   を覆う第１外部電極と、該第２内部電極に導通し該圧電
   板の他の一側面を覆う第２外部電極とを有する複数の圧
   電ブロックが、該圧電板の積層方向に積層されている積
   層圧電体の製造方法であって、 （１）圧電効果を有する複数の前記圧電板と、該圧電板
   の間に交互に挿置された前記第１内部電極および前記第
   ２内部電極とが、厚み方向に積層されて焼結される積層
   焼結工程と、 （２）該第１内部電極の一端が露出する前記一側面と、
   該第２内部電極の一端が露出する前記他の一側面とが形
   成される側面形成工程と、 （３）以上の工程で製造された圧電ブロックが複数個、
   互いに隣接する該圧電ブロックの前記の二つの側面をそ
   れぞれ略同一面に合わせて、前記圧電板の積層方向に積
   層されるブロック積層工程と、 （４）前記の二つの側面に導電ペーストが塗布されて、
   該ペーストから該第１外部電極および該第２外部電極が
   それぞれ連続して一体に形成される外部電極形成工程
   と、 を有することを特徴とする積層圧電体の製造方法。