JP3503975B2 - パワーユニットの筺体への取付構造 - Google Patents
パワーユニットの筺体への取付構造Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば無線機などの
電子機器において、パワートランジスタなどの電力増幅
を行うためのパワーユニットの筺体への取付構造に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】図４は、典型的な従来技術の取付構造を
有する電子機器４１の分解斜視図である。この電子機器
４１は、コスト削減の目的で、Ａタイプ、たとえば５Ｗ
のパワーユニットとＢタイプ、たとえば１０Ｗのパワー
ユニットとが選択的に取付可能となるように形成されて
いる。すなわち、変調回路などは共用し、終段のパワー
ユニットが各用途に対応して交換されて使用される。 【０００３】前記電子機器４１は、大略的に、筺体４２
に蓋４３と底板４４とがねじ止め固定されて形成された
ケーシング内に無線機本体が組込まれて構成されてい
る。アルミダイキャストなどから成る前記筺体４２は、
前壁４５、後壁４６および側壁４７，４８とから構成さ
れている。 【０００４】電子機器４１にＡタイプのパワーユニット
５３を取付ける際には、取付台５１の取付孔５２に、前
記Ａタイプのパワーユニット５３の取付部５４を挿通し
たビス５５を螺着する。このとき、前記Ａタイプのパワ
ーユニット５３の放熱は前記筺体４２によって行われ
る。 【０００５】一方、電子機器４１にＢタイプのパワーユ
ニット５９を取付ける際には、前記取付台５１の該Ｂタ
イプのパワーユニット５９の切欠部６０に対応した位置
に、ドリルなどで取付孔５６を形成した後、ねじ止め固
定する。このとき放熱対策として、後壁４６に形成され
たねじ孔５７に、放熱板５８に形成された挿通孔５９を
挿通したビス６０を螺着して、該放熱板５８を後壁４６
に固定する。これによって、Ｂタイプのパワーユニット
の使用時における十分な放熱効果を得ることができる。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上述の従来技術では、
Ｂタイプのパワーユニット５９への交換は、取付台５１
に、該Ｂタイプのパワーユニット５９の取付用の切欠部
６０に対応して、ドリルなどで取付孔５６を形成するこ
とによって容易に実現することができる。このＢタイプ
のパワーユニット５９は、たとえば電子部品の専門店で
商業的に簡単に入手することができる。 【０００７】また、放熱板５８が取付られる筺体２の取
付面は平坦であるので、交換されたパワーユニットの送
信出力に対応した放熱板への交換も容易に行うことがで
きる。この放熱板５８もまた、たとえば電子部品の専門
店で簡単に入手することができる。 【０００８】本発明の目的は、比較的小容量のパワーユ
ニットから比較的大容量のパワーユニットへの違法な交
換を防止することができるような、パワーユニットの筺
体への取付構造を提供することである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明は、電力増幅を行
うパワーユニットを筺体へ取付けるための構造におい
て、前記筺体には、比較的小容量のパワーユニットに対
応した第１取付孔を形成し、かつ比較的大容量のパワー
ユニットに対応した凹所または透孔を形成し、前記凹所
または透孔に嵌り込み、かつ前記大容量のパワーユニッ
トに対応した第２取付孔が形成された凸部を有し、前記
筺体に固定可能な放熱部材を備え、前記小容量のパワー
ユニットを使用するときには、該小容量のパワーユニッ
トを前記第１取付孔にねじ止め固定し、大容量のパワー
ユニットを使用するときには、筺体に前記放熱部材を固
定し、これによって前記凹所または透孔に嵌り込んだ凸
部の第２取付孔に該大容量のパワーユニットを固定する
ことを特徴とするパワーユニットの筺体への取付構造で
ある。 【００１０】 【作用】本発明に従えば、たとえば５Ｗの送信出力を持
つ比較的小容量のパワーユニットは、該小容量のパワー
ユニットに対応して、筺体に形成された第１取付孔にね
じ止め固定される。また、たとえば１０Ｗの送信出力を
持つ比較的大容量のパワーユニットは、該大容量のパワ
ーユニットに対応して、筺体に取付けられるべき放熱部
材の、前記筺体に形成された凹所または透孔に嵌り込ん
だ凸部に形成された第２取付孔にねじ止め固定される。 【００１１】したがって、大容量のパワーユニットを筺
体に取付けようとすると、該大容量のパワーユニットの
取付孔に対応する位置には凹所または透孔が形成されて
いるので、専用の放熱部材を用いなければならない。ま
た、前記放熱部材は市販されておらず、たとえ大容量の
パワーユニットを購入して筺体に取付けたとしても、接
地が不充分であるので、充分なパワーを出力することが
できない。したがって、大容量のパワーユニットへの違
法な交換を防止することができる。 【００１２】 【実施例】図１は本発明の第１実施例の取付構造を有す
る無線機１の一部を拡大して示す分解斜視図であり、図
２は前記無線機１の全体の構造を示す分解斜視図であ
る。この無線機１は、コスト削減の目的で、送信信号を
電力増幅するためのパワーユニットには、Ａタイプ、た
とえば５ＷのパワーユニットとＢタイプ、たとえば１０
Ｗのパワーユニットとが選択的に取付可能な構造となっ
ている。すなわち、変調回路などは共用し、終段のパワ
ーユニットのみを各用途に対応して交換するように構成
されている。 【００１３】前記無線機１は、大略的に、たとえばアル
ミダイキャストから成る筺体２の上方と下方とに、それ
ぞれ蓋３と底板４とがねじ止め固定されて形成されたケ
ーシング内に図示しない回路基板等が収納されて構成さ
れる。前記筺体２は、アルミダイキャストなどから成
り、前壁５、後壁６および側壁７，８から構成されてい
る。 【００１４】前記前壁５に形成された切欠部９には、前
面操作パネルと前記回路基板とを接続する接続端子を備
える図示しないコネクタ等が臨み、また前記前壁５の内
方側には、上端と下端とにそれぞれねじ孔１０ａ，１０
ｂを有する取付部材１１が形成される。前記後壁６に
は、第１取付孔１４と凹所１５とを備える取付台１２が
形成されており、前記凹所１５には、第２取付孔１８を
備える放熱部材１６の凸部１７が挿入される。 【００１５】無線機１が前記Ａタイプの５Ｗ機である場
合には、５Ｗのパワーユニット２４が搭載される。５Ｗ
のパワーユニット２４は、端子群２５を備えるパワーユ
ニット本体２６にＧＮＤ端子板２７が取付けられて構成
される。前記第１取付孔１４に前記ＧＮＤ端子板２７に
形成された切欠部２８を挿通したビス２９が螺着され
て、前記５Ｗのパワーユニット２４が前記取付台１２に
取付けられる。この時、５Ｗのパワーユニット２４の放
熱は、後壁６を介して行われる。 【００１６】また、無線機１が前記Ｂタイプの１０Ｗ機
である場合には、１０Ｗのパワーユニット３０が搭載さ
れる。１０Ｗのパワーユニット３０は、前記５Ｗのパワ
ーユニット２３と同様に、端子群３１を備えるパワーユ
ニット本体３２にＧＮＤ端子板３３が取付けられて構成
されており、前記ＧＮＤ端子板３３には切欠部３４が形
成されている。この１０Ｗのパワーユニット３０の放熱
は、良好な熱伝導性を有する金属材料から成る放熱部材
１６を介して行われる。すなわち前記放熱部材１６は、
該放熱部材１６の凸部１７が前記凹所１５に嵌り込み、
さらに後壁６に、挿通孔３６を挿通したビス３７が螺着
されて取付けられる。前記１０Ｗのパワーユニット３０
は、前記凹所１５に嵌り込んだ凸部１７に形成されてい
る第２取付孔１８に、前記切欠部３４を挿通したビス３
５が螺着されて、前記取付台１２に取付けられる。この
ように前記ＧＮＤ端子板２７，３３を、接地されている
筺体２の取付台１２に密着させることによって、前記１
０Ｗのパワーユニット３０は正常な動作を行うことがで
きる。 【００１７】前記端子群２５，３１は、図示しない配線
基板に取付けられるコネクタを共用することができるよ
うに、同一形状で、かつ同一間隔で形成される。これに
よって、使用するパワーユニット２４または３０に拘わ
らず配線基板を共用し、低コスト化を図っている。 【００１８】無線機１に搭載される１０Ｗのパワーユニ
ット３０は、電子部品の専門店などで容易に入手するこ
とができる。しかしながら、５Ｗ機である無線機１に、
違法に１０Ｗのパワーユニット３０を取付けようとして
も、取付台１２の切欠部３４に対応する位置には、凹所
１５が形成されているので、取付けることはできない。
また、前記凹所１５にねじ孔を形成するなどして前記１
０Ｗのパワーユニット３０を固定しようとすると、図３
に示されるように、取付台１２から突出したビス３５に
妨げられて、底板４を筺体２に取付けることができな
い。したがってＧＮＤ端子板３３を筺体２に接地するこ
とができなくなり、前記パワーユニット３０からパワー
が出力されない。 【００１９】このように、１０Ｗのパワーユニット３０
を取付ける際には、前記放熱部材１６は不可欠な構造と
なっているが、該放熱部材１６はメーカーの特注品であ
り、一般に入手することは極めて困難である。したがっ
て、無線機１に搭載されている５Ｗのパワーユニット２
４を１０Ｗのパワーユニット３０へ違法に交換すること
を防止することができる。 【００２０】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、比較的小
容量のパワーユニットは、該小容量のパワーユニットに
対応して筺体に形成された第１取付孔に、また、比較的
大容量のパワーユニットは、該大容量のパワーユニット
に対応して前記筺体に形成された凹所または透孔に嵌り
込んだ放熱部材の凸部に形成された第２取付孔にそれぞ
れねじ止め固定される。 【００２１】したがって、前記大容量のパワーユニット
を筺体に直接取付けようとしても、前記大容量のパワー
ユニットの取付孔に対応する位置には凹所または透孔が
形成されているので、前記放熱部材を用いなければ取付
けることはできない。また、前記放熱部材は市販品では
なく、一般に入手が困難である。さらにまた、ねじ孔を
穿孔するなどして取付けられたとしても、放熱を充分に
行うことができず、パワーユニットは破損してしまう。
このようにして、パワーユニットの違法な交換を防止す
ることができる。
電子機器において、パワートランジスタなどの電力増幅
を行うためのパワーユニットの筺体への取付構造に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】図４は、典型的な従来技術の取付構造を
有する電子機器４１の分解斜視図である。この電子機器
４１は、コスト削減の目的で、Ａタイプ、たとえば５Ｗ
のパワーユニットとＢタイプ、たとえば１０Ｗのパワー
ユニットとが選択的に取付可能となるように形成されて
いる。すなわち、変調回路などは共用し、終段のパワー
ユニットが各用途に対応して交換されて使用される。 【０００３】前記電子機器４１は、大略的に、筺体４２
に蓋４３と底板４４とがねじ止め固定されて形成された
ケーシング内に無線機本体が組込まれて構成されてい
る。アルミダイキャストなどから成る前記筺体４２は、
前壁４５、後壁４６および側壁４７，４８とから構成さ
れている。 【０００４】電子機器４１にＡタイプのパワーユニット
５３を取付ける際には、取付台５１の取付孔５２に、前
記Ａタイプのパワーユニット５３の取付部５４を挿通し
たビス５５を螺着する。このとき、前記Ａタイプのパワ
ーユニット５３の放熱は前記筺体４２によって行われ
る。 【０００５】一方、電子機器４１にＢタイプのパワーユ
ニット５９を取付ける際には、前記取付台５１の該Ｂタ
イプのパワーユニット５９の切欠部６０に対応した位置
に、ドリルなどで取付孔５６を形成した後、ねじ止め固
定する。このとき放熱対策として、後壁４６に形成され
たねじ孔５７に、放熱板５８に形成された挿通孔５９を
挿通したビス６０を螺着して、該放熱板５８を後壁４６
に固定する。これによって、Ｂタイプのパワーユニット
の使用時における十分な放熱効果を得ることができる。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上述の従来技術では、
Ｂタイプのパワーユニット５９への交換は、取付台５１
に、該Ｂタイプのパワーユニット５９の取付用の切欠部
６０に対応して、ドリルなどで取付孔５６を形成するこ
とによって容易に実現することができる。このＢタイプ
のパワーユニット５９は、たとえば電子部品の専門店で
商業的に簡単に入手することができる。 【０００７】また、放熱板５８が取付られる筺体２の取
付面は平坦であるので、交換されたパワーユニットの送
信出力に対応した放熱板への交換も容易に行うことがで
きる。この放熱板５８もまた、たとえば電子部品の専門
店で簡単に入手することができる。 【０００８】本発明の目的は、比較的小容量のパワーユ
ニットから比較的大容量のパワーユニットへの違法な交
換を防止することができるような、パワーユニットの筺
体への取付構造を提供することである。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明は、電力増幅を行
うパワーユニットを筺体へ取付けるための構造におい
て、前記筺体には、比較的小容量のパワーユニットに対
応した第１取付孔を形成し、かつ比較的大容量のパワー
ユニットに対応した凹所または透孔を形成し、前記凹所
または透孔に嵌り込み、かつ前記大容量のパワーユニッ
トに対応した第２取付孔が形成された凸部を有し、前記
筺体に固定可能な放熱部材を備え、前記小容量のパワー
ユニットを使用するときには、該小容量のパワーユニッ
トを前記第１取付孔にねじ止め固定し、大容量のパワー
ユニットを使用するときには、筺体に前記放熱部材を固
定し、これによって前記凹所または透孔に嵌り込んだ凸
部の第２取付孔に該大容量のパワーユニットを固定する
ことを特徴とするパワーユニットの筺体への取付構造で
ある。 【００１０】 【作用】本発明に従えば、たとえば５Ｗの送信出力を持
つ比較的小容量のパワーユニットは、該小容量のパワー
ユニットに対応して、筺体に形成された第１取付孔にね
じ止め固定される。また、たとえば１０Ｗの送信出力を
持つ比較的大容量のパワーユニットは、該大容量のパワ
ーユニットに対応して、筺体に取付けられるべき放熱部
材の、前記筺体に形成された凹所または透孔に嵌り込ん
だ凸部に形成された第２取付孔にねじ止め固定される。 【００１１】したがって、大容量のパワーユニットを筺
体に取付けようとすると、該大容量のパワーユニットの
取付孔に対応する位置には凹所または透孔が形成されて
いるので、専用の放熱部材を用いなければならない。ま
た、前記放熱部材は市販されておらず、たとえ大容量の
パワーユニットを購入して筺体に取付けたとしても、接
地が不充分であるので、充分なパワーを出力することが
できない。したがって、大容量のパワーユニットへの違
法な交換を防止することができる。 【００１２】 【実施例】図１は本発明の第１実施例の取付構造を有す
る無線機１の一部を拡大して示す分解斜視図であり、図
２は前記無線機１の全体の構造を示す分解斜視図であ
る。この無線機１は、コスト削減の目的で、送信信号を
電力増幅するためのパワーユニットには、Ａタイプ、た
とえば５ＷのパワーユニットとＢタイプ、たとえば１０
Ｗのパワーユニットとが選択的に取付可能な構造となっ
ている。すなわち、変調回路などは共用し、終段のパワ
ーユニットのみを各用途に対応して交換するように構成
されている。 【００１３】前記無線機１は、大略的に、たとえばアル
ミダイキャストから成る筺体２の上方と下方とに、それ
ぞれ蓋３と底板４とがねじ止め固定されて形成されたケ
ーシング内に図示しない回路基板等が収納されて構成さ
れる。前記筺体２は、アルミダイキャストなどから成
り、前壁５、後壁６および側壁７，８から構成されてい
る。 【００１４】前記前壁５に形成された切欠部９には、前
面操作パネルと前記回路基板とを接続する接続端子を備
える図示しないコネクタ等が臨み、また前記前壁５の内
方側には、上端と下端とにそれぞれねじ孔１０ａ，１０
ｂを有する取付部材１１が形成される。前記後壁６に
は、第１取付孔１４と凹所１５とを備える取付台１２が
形成されており、前記凹所１５には、第２取付孔１８を
備える放熱部材１６の凸部１７が挿入される。 【００１５】無線機１が前記Ａタイプの５Ｗ機である場
合には、５Ｗのパワーユニット２４が搭載される。５Ｗ
のパワーユニット２４は、端子群２５を備えるパワーユ
ニット本体２６にＧＮＤ端子板２７が取付けられて構成
される。前記第１取付孔１４に前記ＧＮＤ端子板２７に
形成された切欠部２８を挿通したビス２９が螺着され
て、前記５Ｗのパワーユニット２４が前記取付台１２に
取付けられる。この時、５Ｗのパワーユニット２４の放
熱は、後壁６を介して行われる。 【００１６】また、無線機１が前記Ｂタイプの１０Ｗ機
である場合には、１０Ｗのパワーユニット３０が搭載さ
れる。１０Ｗのパワーユニット３０は、前記５Ｗのパワ
ーユニット２３と同様に、端子群３１を備えるパワーユ
ニット本体３２にＧＮＤ端子板３３が取付けられて構成
されており、前記ＧＮＤ端子板３３には切欠部３４が形
成されている。この１０Ｗのパワーユニット３０の放熱
は、良好な熱伝導性を有する金属材料から成る放熱部材
１６を介して行われる。すなわち前記放熱部材１６は、
該放熱部材１６の凸部１７が前記凹所１５に嵌り込み、
さらに後壁６に、挿通孔３６を挿通したビス３７が螺着
されて取付けられる。前記１０Ｗのパワーユニット３０
は、前記凹所１５に嵌り込んだ凸部１７に形成されてい
る第２取付孔１８に、前記切欠部３４を挿通したビス３
５が螺着されて、前記取付台１２に取付けられる。この
ように前記ＧＮＤ端子板２７，３３を、接地されている
筺体２の取付台１２に密着させることによって、前記１
０Ｗのパワーユニット３０は正常な動作を行うことがで
きる。 【００１７】前記端子群２５，３１は、図示しない配線
基板に取付けられるコネクタを共用することができるよ
うに、同一形状で、かつ同一間隔で形成される。これに
よって、使用するパワーユニット２４または３０に拘わ
らず配線基板を共用し、低コスト化を図っている。 【００１８】無線機１に搭載される１０Ｗのパワーユニ
ット３０は、電子部品の専門店などで容易に入手するこ
とができる。しかしながら、５Ｗ機である無線機１に、
違法に１０Ｗのパワーユニット３０を取付けようとして
も、取付台１２の切欠部３４に対応する位置には、凹所
１５が形成されているので、取付けることはできない。
また、前記凹所１５にねじ孔を形成するなどして前記１
０Ｗのパワーユニット３０を固定しようとすると、図３
に示されるように、取付台１２から突出したビス３５に
妨げられて、底板４を筺体２に取付けることができな
い。したがってＧＮＤ端子板３３を筺体２に接地するこ
とができなくなり、前記パワーユニット３０からパワー
が出力されない。 【００１９】このように、１０Ｗのパワーユニット３０
を取付ける際には、前記放熱部材１６は不可欠な構造と
なっているが、該放熱部材１６はメーカーの特注品であ
り、一般に入手することは極めて困難である。したがっ
て、無線機１に搭載されている５Ｗのパワーユニット２
４を１０Ｗのパワーユニット３０へ違法に交換すること
を防止することができる。 【００２０】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、比較的小
容量のパワーユニットは、該小容量のパワーユニットに
対応して筺体に形成された第１取付孔に、また、比較的
大容量のパワーユニットは、該大容量のパワーユニット
に対応して前記筺体に形成された凹所または透孔に嵌り
込んだ放熱部材の凸部に形成された第２取付孔にそれぞ
れねじ止め固定される。 【００２１】したがって、前記大容量のパワーユニット
を筺体に直接取付けようとしても、前記大容量のパワー
ユニットの取付孔に対応する位置には凹所または透孔が
形成されているので、前記放熱部材を用いなければ取付
けることはできない。また、前記放熱部材は市販品では
なく、一般に入手が困難である。さらにまた、ねじ孔を
穿孔するなどして取付けられたとしても、放熱を充分に
行うことができず、パワーユニットは破損してしまう。
このようにして、パワーユニットの違法な交換を防止す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の取付構造を有する無線機１
の一部を拡大して示す分解斜視図である。 【図２】前記無線機１の全体の構造を示す分解斜視図で
ある。 【図３】取付台１２からビス３５が突出した状態を示す
断面図である。 【図４】典型的な従来技術の取付構造を有する電子機器
４１の構造を示す分解斜視図である。 【符号の説明】 １ 無線機 ２ 筺体 ６ 後壁 １２ 取付台 １４ 第１取付孔 １５ 凹所 １６ 放熱部材 １７ 凸部 １８ 第２取付孔 ２４ ５Ｗのパワーユニット ３０ １０Ｗのパワーユニット
の一部を拡大して示す分解斜視図である。 【図２】前記無線機１の全体の構造を示す分解斜視図で
ある。 【図３】取付台１２からビス３５が突出した状態を示す
断面図である。 【図４】典型的な従来技術の取付構造を有する電子機器
４１の構造を示す分解斜視図である。 【符号の説明】 １ 無線機 ２ 筺体 ６ 後壁 １２ 取付台 １４ 第１取付孔 １５ 凹所 １６ 放熱部材 １７ 凸部 １８ 第２取付孔 ２４ ５Ｗのパワーユニット ３０ １０Ｗのパワーユニット
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 電力増幅を行うパワーユニットを筺体へ
取付けるための構造において、 前記筺体には、比較的小容量のパワーユニットに対応し
た第１取付孔を形成し、かつ比較的大容量のパワーユニ
ットに対応した凹所または透孔を形成し、 前記凹所または透孔に嵌り込み、かつ前記大容量のパワ
ーユニットに対応した第２取付孔が形成された凸部を有
し、前記筺体に固定可能な放熱部材を備え、 前記小容量のパワーユニットを使用するときには、該小
容量のパワーユニットを前記第１取付孔にねじ止め固定
し、大容量のパワーユニットを使用するときには、筺体
に前記放熱部材を固定し、これによって前記凹所または
透孔に嵌り込んだ凸部の第２取付孔に該大容量のパワー
ユニットを固定することを特徴とするパワーユニットの
筺体への取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33270693A JP3503975B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | パワーユニットの筺体への取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33270693A JP3503975B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | パワーユニットの筺体への取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07193380A JPH07193380A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3503975B2 true JP3503975B2 (ja) | 2004-03-08 |
Family
ID=18257963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33270693A Expired - Fee Related JP3503975B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | パワーユニットの筺体への取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3503975B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7823597B2 (en) | 2006-11-28 | 2010-11-02 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| US7867337B2 (en) | 2005-12-13 | 2011-01-11 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
| US8623146B2 (en) | 2011-01-20 | 2014-01-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7132958B2 (ja) * | 2020-01-31 | 2022-09-07 | 古河電気工業株式会社 | ベーパーチャンバ |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33270693A patent/JP3503975B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7867337B2 (en) | 2005-12-13 | 2011-01-11 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
| US7823597B2 (en) | 2006-11-28 | 2010-11-02 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| US8623146B2 (en) | 2011-01-20 | 2014-01-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07193380A (ja) | 1995-07-28 |
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