JP3502233B2 - ヒーター制御装置 - Google Patents
ヒーター制御装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、間欠的に回転され
るインデックステーブル上に複数のヒーターが設けられ
て、各ヒーターが順次、ステーションに停止するように
なった加熱装置において、各ヒーターが所定ステーショ
ンに停止された際に、そのヒーターを所定の設定温度に
なるように制御するヒーター制御装置に関する。
るインデックステーブル上に複数のヒーターが設けられ
て、各ヒーターが順次、ステーションに停止するように
なった加熱装置において、各ヒーターが所定ステーショ
ンに停止された際に、そのヒーターを所定の設定温度に
なるように制御するヒーター制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップを適当な部品（ワーク）上
に連続的にボンディングするために、間欠的に回転する
インデックステーブル上に複数のヒーターが設けられた
加熱装置が使用されている。このような加熱装置の概略
構成を図７に示す。この加熱装置は、間欠的に回転する
インデックステーブル７１上に、６つのヒーター７２が
周方向に等しい間隔をあけて配置されており、各ヒータ
ー７２は、インデックステーブル７１が１周する間に、
６つのステーションに停止するようになっている。そし
て、各ステーションでは、ヒーター７２上へのワークの
搭載、ヒーター７２の加熱によるワークの加熱、ヒータ
ー７２によって加熱されているワーク上への半導体チッ
プの搭載、半導体チップのボンディング、半導体チップ
がボンディングされたワークの冷却、および、そのワー
クの搬出が、それぞれ、順番に実施されるようになって
いる。
に連続的にボンディングするために、間欠的に回転する
インデックステーブル上に複数のヒーターが設けられた
加熱装置が使用されている。このような加熱装置の概略
構成を図７に示す。この加熱装置は、間欠的に回転する
インデックステーブル７１上に、６つのヒーター７２が
周方向に等しい間隔をあけて配置されており、各ヒータ
ー７２は、インデックステーブル７１が１周する間に、
６つのステーションに停止するようになっている。そし
て、各ステーションでは、ヒーター７２上へのワークの
搭載、ヒーター７２の加熱によるワークの加熱、ヒータ
ー７２によって加熱されているワーク上への半導体チッ
プの搭載、半導体チップのボンディング、半導体チップ
がボンディングされたワークの冷却、および、そのワー
クの搬出が、それぞれ、順番に実施されるようになって
いる。
【０００３】各ヒーター７２が加熱される加熱ステーシ
ョンでは、加熱ステーションに位置する各ヒーター７２
が、それぞれ、ヒーター制御装置７５によって温度制御
されるようになっている。各ヒーター７２とヒーター制
御装置７５とは、インデックステーブル７１と一体とな
って回転するスリップリング７３と、加熱ステーション
に固定的に配置されたブラシ７４とによって導電状態に
なり、加熱ステーションに位置するヒーター７２に、ヒ
ーター制御装置７５からの電流が供給されるようになっ
ている。
ョンでは、加熱ステーションに位置する各ヒーター７２
が、それぞれ、ヒーター制御装置７５によって温度制御
されるようになっている。各ヒーター７２とヒーター制
御装置７５とは、インデックステーブル７１と一体とな
って回転するスリップリング７３と、加熱ステーション
に固定的に配置されたブラシ７４とによって導電状態に
なり、加熱ステーションに位置するヒーター７２に、ヒ
ーター制御装置７５からの電流が供給されるようになっ
ている。
【０００４】各ヒーター７２には、各ヒーター７２によ
る加熱温度を検出する熱電対７６がそれぞれ設けられて
おり、熱電対７６によって検出されるヒーター７２の温
度が、スリップリング７３およびブラシ７４を介して、
ヒーター制御回路７５に与えられている。
る加熱温度を検出する熱電対７６がそれぞれ設けられて
おり、熱電対７６によって検出されるヒーター７２の温
度が、スリップリング７３およびブラシ７４を介して、
ヒーター制御回路７５に与えられている。
【０００５】ヒーター制御回路７５には、ヒーター７２
に設けられた熱電対７６の出力が、スリップリング７３
およびブラシ７４を介して与えられる温度検出部７５ａ
が設けられており、この温度検出部７５ａからは、熱電
対７６によって検出されるヒーター７２の温度に対応し
た電気信号が温度制御部７５ｂに出力されるようになっ
ている。温度制御部７５ｂには、加熱ステーションにて
加熱されるヒーター７２の温度が予め設定されており、
温度制御部７５ｂからは、その設定温度と、熱電対７６
によって検出されるヒーター７２の実際の温度との差に
対応した信号が、電流制御部７５ｃに与えられている。
電流制御部７５ｃは、直流電圧電源から供給される直流
電流を、温度制御部７５ｂからの出力信号に基づいて制
御して、ブラシ７４およびスリップリング７３を介し
て、ヒーター７２に供給するようになっている。
に設けられた熱電対７６の出力が、スリップリング７３
およびブラシ７４を介して与えられる温度検出部７５ａ
が設けられており、この温度検出部７５ａからは、熱電
対７６によって検出されるヒーター７２の温度に対応し
た電気信号が温度制御部７５ｂに出力されるようになっ
ている。温度制御部７５ｂには、加熱ステーションにて
加熱されるヒーター７２の温度が予め設定されており、
温度制御部７５ｂからは、その設定温度と、熱電対７６
によって検出されるヒーター７２の実際の温度との差に
対応した信号が、電流制御部７５ｃに与えられている。
電流制御部７５ｃは、直流電圧電源から供給される直流
電流を、温度制御部７５ｂからの出力信号に基づいて制
御して、ブラシ７４およびスリップリング７３を介し
て、ヒーター７２に供給するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このようなヒーター制
御装置７５の構成では、インデックステーブル７１に設
けられた各ヒーター７２の温度を熱電対７６によって検
出して、熱電対７６から出力される電気信号が、スリッ
プリング７３およびブラシ７４を介して温度検出部７５
ａに与えられているために、スリップリング７３とブラ
シ７４とが摺接することによって発生する熱起電力によ
って、熱電対７６から出力される電気信号が変化するお
それがある。その結果、ヒーター７２における実際の加
熱温度を正確に得られず、従って、ヒーターの加熱温度
を設定温度に制御することができなくなるおそれがあ
る。
御装置７５の構成では、インデックステーブル７１に設
けられた各ヒーター７２の温度を熱電対７６によって検
出して、熱電対７６から出力される電気信号が、スリッ
プリング７３およびブラシ７４を介して温度検出部７５
ａに与えられているために、スリップリング７３とブラ
シ７４とが摺接することによって発生する熱起電力によ
って、熱電対７６から出力される電気信号が変化するお
それがある。その結果、ヒーター７２における実際の加
熱温度を正確に得られず、従って、ヒーターの加熱温度
を設定温度に制御することができなくなるおそれがあ
る。
【０００７】また、各ヒーター７２に対応して設けられ
る熱電対７６は、回転するインデックステーブル７１に
配置しなければならず、従って、各熱電対７６は、イン
デックステーブル７１とともに回転するスリップリング
７３に電気的に接続する必要がある。スリップリング７
３は、各ヒーター７２とも電気的に接続されているため
に、スリップリング７３には、各熱電対７６との接続用
の電極をさらに設ける必要があり、スリップリング７３
の構造が複雑になるという問題もある。
る熱電対７６は、回転するインデックステーブル７１に
配置しなければならず、従って、各熱電対７６は、イン
デックステーブル７１とともに回転するスリップリング
７３に電気的に接続する必要がある。スリップリング７
３は、各ヒーター７２とも電気的に接続されているため
に、スリップリング７３には、各熱電対７６との接続用
の電極をさらに設ける必要があり、スリップリング７３
の構造が複雑になるという問題もある。
【０００８】さらに、インデックステーブル７１には、
複数のヒーター７２が設けられているものの、各ヒータ
ー７２の抵抗値は、同一の仕様であっても、必ずしも一
致せず、従って、各ヒーター７２を、加熱ステーション
においてヒーター制御装置７５によって、順番に、同様
に制御しても、各ヒーター７２毎に加熱温度が変動し、
一定の温度に制御することができないおそれがある。
複数のヒーター７２が設けられているものの、各ヒータ
ー７２の抵抗値は、同一の仕様であっても、必ずしも一
致せず、従って、各ヒーター７２を、加熱ステーション
においてヒーター制御装置７５によって、順番に、同様
に制御しても、各ヒーター７２毎に加熱温度が変動し、
一定の温度に制御することができないおそれがある。
【０００９】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、間欠的に回転するインデックステ
ーブルに設けられた複数のヒーターの温度を、正確に検
出することができ、従って、各ヒーターを所定の温度に
精緻に制御することができるヒーター制御装置を提供す
ることにある。本発明の他の目的は、加熱装置の構成を
簡略化することができるヒーター制御装置を提供するこ
とにある。本発明のさらに他の目的は、インデックステ
ーブルに設けられる複数のヒーターの抵抗特性がそれぞ
れ異なっているような場合にも、各ヒーターを、順番
に、所定の温度に制御することができるヒーター制御装
置を提供することにある。
であり、その目的は、間欠的に回転するインデックステ
ーブルに設けられた複数のヒーターの温度を、正確に検
出することができ、従って、各ヒーターを所定の温度に
精緻に制御することができるヒーター制御装置を提供す
ることにある。本発明の他の目的は、加熱装置の構成を
簡略化することができるヒーター制御装置を提供するこ
とにある。本発明のさらに他の目的は、インデックステ
ーブルに設けられる複数のヒーターの抵抗特性がそれぞ
れ異なっているような場合にも、各ヒーターを、順番
に、所定の温度に制御することができるヒーター制御装
置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のヒーター制御装
置は、間欠的に回転するインデックステーブル上に、複
数のヒーターが周方向に間隔をあけて配置されており、
各ヒーターが、インデックステーブルの周方向に間隔を
あけて設定された複数のステーションにて順次停止され
るようになった加熱装置のヒーター制御装置であって、
昇温工程を前記複数のステーションに分割して実施する
とともに、一つの分割昇温工程に対応した所定のステー
ションに停止される各ヒーターに対して、各ヒーターが
当該分割昇温工程として予め設定されている温度に加熱
されるように制御する温度制御部を具備することを特徴
とする。
置は、間欠的に回転するインデックステーブル上に、複
数のヒーターが周方向に間隔をあけて配置されており、
各ヒーターが、インデックステーブルの周方向に間隔を
あけて設定された複数のステーションにて順次停止され
るようになった加熱装置のヒーター制御装置であって、
昇温工程を前記複数のステーションに分割して実施する
とともに、一つの分割昇温工程に対応した所定のステー
ションに停止される各ヒーターに対して、各ヒーターが
当該分割昇温工程として予め設定されている温度に加熱
されるように制御する温度制御部を具備することを特徴
とする。
【００１１】 また、本発明のヒーター制御装置は、各
ヒーターの加熱温度が分割昇温工程ごとに予め設定され
ている設定温度になるように、各分割昇温工程ごとの各
ヒーターの設定電流値を演算により求める演算部と、求
めた各分割昇温工程ごとの各ヒーターの設定電流値を記
憶する記憶部と、ヒーターに供給された電流値を検出す
る電流検出部とをさらに具備し、前記温度制御部は、各
分割昇温工程に対応した各ステーションに位置している
ヒーターを判断し、前記電流検出部による前記ヒータの
検出電流値と前記記憶部に記憶されている該当するヒー
ターの設定電流値とに基づいて当該ヒーターに対する供
給電流を制御することを特徴とする。
ヒーターの加熱温度が分割昇温工程ごとに予め設定され
ている設定温度になるように、各分割昇温工程ごとの各
ヒーターの設定電流値を演算により求める演算部と、求
めた各分割昇温工程ごとの各ヒーターの設定電流値を記
憶する記憶部と、ヒーターに供給された電流値を検出す
る電流検出部とをさらに具備し、前記温度制御部は、各
分割昇温工程に対応した各ステーションに位置している
ヒーターを判断し、前記電流検出部による前記ヒータの
検出電流値と前記記憶部に記憶されている該当するヒー
ターの設定電流値とに基づいて当該ヒーターに対する供
給電流を制御することを特徴とする。
【００１２】 前記記憶部には、インデックステーブル
に設けられた各ヒーターの０℃における抵抗値が予め記
憶されており、前記演算部は、設定された抵抗値に基づ
いて、各ヒーターが設定温度に加熱された際の抵抗値を
演算するとともに、演算された抵抗値に基づいて各ヒー
ターに対する前記設定電流値をそれぞれ演算するように
なっている。
に設けられた各ヒーターの０℃における抵抗値が予め記
憶されており、前記演算部は、設定された抵抗値に基づ
いて、各ヒーターが設定温度に加熱された際の抵抗値を
演算するとともに、演算された抵抗値に基づいて各ヒー
ターに対する前記設定電流値をそれぞれ演算するように
なっている。
【００１３】 前記演算部は、前記電流検出部によって
検出される電流値に基づいてヒーターの実際の加熱温度
を演算し表示部に表示するようになっている。
検出される電流値に基づいてヒーターの実際の加熱温度
を演算し表示部に表示するようになっている。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】図１（ａ）は、本発明のヒーター制御装置
が設けられたインデックステーブルの平面図、図１
（ｂ）は、その正面図である。本発明のヒーター制御装
置は、半導体チップを所定部品（ワーク）上にボンディ
ングする際に使用される加熱装置に設けられている。こ
の加熱装置は、水平状に配置されたインデックステーブ
ル１１を有しており、このインデックステーブル１１
が、その下方に配置された駆動装置１３（図１（ｂ）参
照）によって、１／６周ずつ間欠的に回転されるように
なっている。
が設けられたインデックステーブルの平面図、図１
（ｂ）は、その正面図である。本発明のヒーター制御装
置は、半導体チップを所定部品（ワーク）上にボンディ
ングする際に使用される加熱装置に設けられている。こ
の加熱装置は、水平状に配置されたインデックステーブ
ル１１を有しており、このインデックステーブル１１
が、その下方に配置された駆動装置１３（図１（ｂ）参
照）によって、１／６周ずつ間欠的に回転されるように
なっている。
【００１６】 インデックステーブル１１の上面には、
平板状をした６つのヒーター１２が、周方向に等しい間
隔をあけて配置されている。各ヒーター１２は、インデ
ックステーブル１１の放射方向に沿った長方形状をして
おり、各ヒーター１２上に、加熱すべきワークが搭載さ
れるようになっている。各ヒーター１２は、インデック
ステーブル１１が間欠的に回転されることにより、順
次、インデックステーブル１１の周方向に間隔をあけて
設定された第１〜第６の６つのステーションＳＴ１〜Ｓ
Ｔ６に、順番に停止されるようになっている。
平板状をした６つのヒーター１２が、周方向に等しい間
隔をあけて配置されている。各ヒーター１２は、インデ
ックステーブル１１の放射方向に沿った長方形状をして
おり、各ヒーター１２上に、加熱すべきワークが搭載さ
れるようになっている。各ヒーター１２は、インデック
ステーブル１１が間欠的に回転されることにより、順
次、インデックステーブル１１の周方向に間隔をあけて
設定された第１〜第６の６つのステーションＳＴ１〜Ｓ
Ｔ６に、順番に停止されるようになっている。
【００１７】インデックステーブル１１が間欠的に回転
されることによって第１ステーションＳＴ１に停止され
た各ヒーター１２には、加熱対象のワークが搭載される
ようになっている。このワークには、半田等の合金また
は金属の接合材が貼り付けられている。第２ステーショ
ンＳＴ２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーション
ＳＴ４に停止された各ヒーター１２は、それぞれ所定温
度に加熱されるようになっており、第２ステーションＳ
Ｔ２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーションＳＴ
４に停止した各ヒーター１２は、それらの各ステーショ
ンＳＴ２〜ＳＴ４に配置された本発明のヒーター制御装
置４０から供給される電流が、インデックステーブル１
１の下方に設けられたコンタクト３０を介してそれぞれ
供給されて加熱されるようになっている。
されることによって第１ステーションＳＴ１に停止され
た各ヒーター１２には、加熱対象のワークが搭載される
ようになっている。このワークには、半田等の合金また
は金属の接合材が貼り付けられている。第２ステーショ
ンＳＴ２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーション
ＳＴ４に停止された各ヒーター１２は、それぞれ所定温
度に加熱されるようになっており、第２ステーションＳ
Ｔ２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーションＳＴ
４に停止した各ヒーター１２は、それらの各ステーショ
ンＳＴ２〜ＳＴ４に配置された本発明のヒーター制御装
置４０から供給される電流が、インデックステーブル１
１の下方に設けられたコンタクト３０を介してそれぞれ
供給されて加熱されるようになっている。
【００１８】 第２ステーションＳＴ２では、ヒーター
１２が、第２ステーションＳＴ２に設けられたヒーター
制御装置４０によって所定温度に加熱されて、ヒーター
１２上に搭載されたワークが予備加熱されるようになっ
ている。第３ステーションＳＴ３では、ヒーター１２上
にて予備加熱されたワーク上に半導体チップが搭載され
るとともに、ヒーター１２が、第３ステーションＳＴ３
に設けられたヒーター制御装置４０により、第２ステー
ションＳＴ２における加熱温度よりもさらに高温に加熱
されて、ワークが半導体チップとともに加熱される。さ
らに、第４ステーションでは、第４ステーションＳＴ４
に設けられたヒーター制御装置４０によって、ヒーター
１２が、第３ステーションＳＴ３における加熱温度より
もさらに高温に加熱されて、ワークが半導体チップとと
もに加熱される。すなわち、本発明のヒーター制御装置
は、半導体チップを所定部品（ワーク）上にボンディン
グする際の昇温工程を、第２ないし第４ステーションＳ
Ｔ２，ＳＴ３，ＳＴ４の３つのステーションに分割して
実施する構成となっている。
１２が、第２ステーションＳＴ２に設けられたヒーター
制御装置４０によって所定温度に加熱されて、ヒーター
１２上に搭載されたワークが予備加熱されるようになっ
ている。第３ステーションＳＴ３では、ヒーター１２上
にて予備加熱されたワーク上に半導体チップが搭載され
るとともに、ヒーター１２が、第３ステーションＳＴ３
に設けられたヒーター制御装置４０により、第２ステー
ションＳＴ２における加熱温度よりもさらに高温に加熱
されて、ワークが半導体チップとともに加熱される。さ
らに、第４ステーションでは、第４ステーションＳＴ４
に設けられたヒーター制御装置４０によって、ヒーター
１２が、第３ステーションＳＴ３における加熱温度より
もさらに高温に加熱されて、ワークが半導体チップとと
もに加熱される。すなわち、本発明のヒーター制御装置
は、半導体チップを所定部品（ワーク）上にボンディン
グする際の昇温工程を、第２ないし第４ステーションＳ
Ｔ２，ＳＴ３，ＳＴ４の３つのステーションに分割して
実施する構成となっている。
【００１９】第５ステーションＳＴ５および第６ステー
ションＳＴ６では、それぞれのステーションＳＴ５およ
びＳＴ６に停止された各ヒーター１２には電流が供給さ
れず、従って、各ヒーター１２は加熱されることなく、
各ヒーター１２上のワークが冷却される。これにより、
半導体チップがワークにボンディングされる。そして、
ワークが搭載されたヒーター１２が第１ステーションＳ
Ｔ１に移動することにより、半導体チップがボンディン
グされたワークが、ヒーター１２上から搬出されるとと
もに、新たなワークがヒーター１２上に搭載される。
ションＳＴ６では、それぞれのステーションＳＴ５およ
びＳＴ６に停止された各ヒーター１２には電流が供給さ
れず、従って、各ヒーター１２は加熱されることなく、
各ヒーター１２上のワークが冷却される。これにより、
半導体チップがワークにボンディングされる。そして、
ワークが搭載されたヒーター１２が第１ステーションＳ
Ｔ１に移動することにより、半導体チップがボンディン
グされたワークが、ヒーター１２上から搬出されるとと
もに、新たなワークがヒーター１２上に搭載される。
【００２０】図２（ａ）は、インデックステーブル１１
の下方に設けられたコンタクト３０の概略平面図、図２
（ｂ）は、その概略正面図である。コンタクト３０は、
インデックステーブル１１と一体となって回転する円筒
状になった絶縁性の円筒体３１と、円筒体３１の外周面
に各ヒーター１２にそれぞれ対応して上下各一対が設け
られた１２個の可動電極部３２と、第２ステーションＳ
Ｔ２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーションＳＴ
４にそれぞれ配置された上下一対の固定電極部３３とを
有している。円筒体３１の外周面に設けられた上下一対
の可動電極部３２は、インデックステーブル１１上に設
けられた各ヒーター１２に、それぞれ電気的に接続され
ている。
の下方に設けられたコンタクト３０の概略平面図、図２
（ｂ）は、その概略正面図である。コンタクト３０は、
インデックステーブル１１と一体となって回転する円筒
状になった絶縁性の円筒体３１と、円筒体３１の外周面
に各ヒーター１２にそれぞれ対応して上下各一対が設け
られた１２個の可動電極部３２と、第２ステーションＳ
Ｔ２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーションＳＴ
４にそれぞれ配置された上下一対の固定電極部３３とを
有している。円筒体３１の外周面に設けられた上下一対
の可動電極部３２は、インデックステーブル１１上に設
けられた各ヒーター１２に、それぞれ電気的に接続され
ている。
【００２１】第２ステーションＳＴ２、第３ステーショ
ンＳＴ３、第４ステーションＳＴ４にそれぞれ設けられ
た各一対の固定電極部３３は、第２ステーションＳＴ
２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーションＳＴ４
にそれぞれ設けられたヒーター制御回路４０に接続され
ており、各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４にそれぞれ停止
される各一対の可動電極部３２にそれぞれ電気的に接続
されるようになっている。これにより、各ステーション
ＳＴ２〜ＳＴ４に設けられた各ヒーター制御装置４０
と、各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に停止された各ヒー
ター１２とが導電状態になる。そして、第２〜第４の各
ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に停止された各ヒーター１
２が、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に設
けられたヒーター制御装置４０から供給される電流によ
って、それぞれ加熱される。
ンＳＴ３、第４ステーションＳＴ４にそれぞれ設けられ
た各一対の固定電極部３３は、第２ステーションＳＴ
２、第３ステーションＳＴ３、第４ステーションＳＴ４
にそれぞれ設けられたヒーター制御回路４０に接続され
ており、各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４にそれぞれ停止
される各一対の可動電極部３２にそれぞれ電気的に接続
されるようになっている。これにより、各ステーション
ＳＴ２〜ＳＴ４に設けられた各ヒーター制御装置４０
と、各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に停止された各ヒー
ター１２とが導電状態になる。そして、第２〜第４の各
ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に停止された各ヒーター１
２が、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に設
けられたヒーター制御装置４０から供給される電流によ
って、それぞれ加熱される。
【００２２】図３は、第１〜第６の各ステーションＳＴ
１〜ＳＴ６における１つのヒーター１２の温度状態を示
すグラフである。ヒーター１２は、第２ステーションＳ
Ｔ２において、所定の温度Ｔ１にまで加熱されると、第
３ステーションＳＴ３では、第２ステーションＳＴ２で
の加熱温度Ｔ２よりも高い温度Ｔ２にまで加熱され、さ
らに、第４ステーションＳＴ４では、第３ステーション
ＳＴ３での加熱温度Ｔ３よりもさらに高い温度Ｔ３にま
で加熱される。そして、第５ステーションＳＴ５および
第６ステーションＳＴ６では、ヒーター１２は加熱され
ることなく冷却され、ヒーター１２の温度が順次低下す
る。
１〜ＳＴ６における１つのヒーター１２の温度状態を示
すグラフである。ヒーター１２は、第２ステーションＳ
Ｔ２において、所定の温度Ｔ１にまで加熱されると、第
３ステーションＳＴ３では、第２ステーションＳＴ２で
の加熱温度Ｔ２よりも高い温度Ｔ２にまで加熱され、さ
らに、第４ステーションＳＴ４では、第３ステーション
ＳＴ３での加熱温度Ｔ３よりもさらに高い温度Ｔ３にま
で加熱される。そして、第５ステーションＳＴ５および
第６ステーションＳＴ６では、ヒーター１２は加熱され
ることなく冷却され、ヒーター１２の温度が順次低下す
る。
【００２３】図４は、インデックステーブル１１に設け
られた各ヒーター１２の制御系のブロック図である。第
２ステーションＳＴ２、第３ステーションＳＴ３、第４
ステーションＳＴ４に配置された各一対の固定電極部３
３は、それぞれ同様の構成になったヒーター制御装置４
０にそれぞれ接続されている。各ヒーター制御装置４０
には、直流電圧の電源５１から供給される所定電圧の直
流電流を制御する電流制御部４１が設けられている。電
流制御部４１は、図５に示すように、電源５１から各制
御回路４０に入力される所定電圧Ｖの電流を、一定周期
でオン状態になるパルス信号のヒーター加熱電流とし
て、一方の固定電極部３３に出力し、第２〜第４の各ス
テーションＳＴ２〜ＳＴ４に位置する一方の可動電極部
３２を介して、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜Ｓ
Ｔ４に停止している各ヒーター１２をそれぞれ加熱する
ようになっている。電流制御部４１は、温度制御部４３
からの出力信号に基づいて、出力されるヒーター加熱電
流のオン時間とオフ時間との割合（デューティ比）を変
更するようになっており、これにより、ヒーター１２に
供給される電流値が変更されて、ヒーター１２の加熱温
度が変更される。
られた各ヒーター１２の制御系のブロック図である。第
２ステーションＳＴ２、第３ステーションＳＴ３、第４
ステーションＳＴ４に配置された各一対の固定電極部３
３は、それぞれ同様の構成になったヒーター制御装置４
０にそれぞれ接続されている。各ヒーター制御装置４０
には、直流電圧の電源５１から供給される所定電圧の直
流電流を制御する電流制御部４１が設けられている。電
流制御部４１は、図５に示すように、電源５１から各制
御回路４０に入力される所定電圧Ｖの電流を、一定周期
でオン状態になるパルス信号のヒーター加熱電流とし
て、一方の固定電極部３３に出力し、第２〜第４の各ス
テーションＳＴ２〜ＳＴ４に位置する一方の可動電極部
３２を介して、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜Ｓ
Ｔ４に停止している各ヒーター１２をそれぞれ加熱する
ようになっている。電流制御部４１は、温度制御部４３
からの出力信号に基づいて、出力されるヒーター加熱電
流のオン時間とオフ時間との割合（デューティ比）を変
更するようになっており、これにより、ヒーター１２に
供給される電流値が変更されて、ヒーター１２の加熱温
度が変更される。
【００２４】電流制御部４１からパルス信号としてヒー
ター１２に供給されたヒーター加熱電流は、ヒーター１
２を通って、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ
４に位置する他方の可動電極部３２およびその可動電極
部３２に接触した固定電極部３３を介して、ヒーター制
御装置４０の電流検出部４２に与えられている。
ター１２に供給されたヒーター加熱電流は、ヒーター１
２を通って、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ
４に位置する他方の可動電極部３２およびその可動電極
部３２に接触した固定電極部３３を介して、ヒーター制
御装置４０の電流検出部４２に与えられている。
【００２５】各ヒーター制御装置４０の電流検出部４２
は、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４にそれ
ぞれ停止した各ヒーター１２を流れる電流のピーク値、
すなわちピーク電流値Ｉｐを検出するようになってい
る。電流検出部４２にて検出されるピーク電流値Ｉｐ
は、各ヒーター制御装置４０に設けられた温度制御部４
３にそれぞれ出力されるとともに、アナログ／デジタル
（Ａ／Ｄ）変換器５２によってそれぞれデジタル信号に
変換されて、演算記憶部として設けられたコンピュータ
ー６０のＣＰＵ６１に出力されている。
は、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４にそれ
ぞれ停止した各ヒーター１２を流れる電流のピーク値、
すなわちピーク電流値Ｉｐを検出するようになってい
る。電流検出部４２にて検出されるピーク電流値Ｉｐ
は、各ヒーター制御装置４０に設けられた温度制御部４
３にそれぞれ出力されるとともに、アナログ／デジタル
（Ａ／Ｄ）変換器５２によってそれぞれデジタル信号に
変換されて、演算記憶部として設けられたコンピュータ
ー６０のＣＰＵ６１に出力されている。
【００２６】コンピューター６０は、ＣＰＵ６１に対し
てデーターを入力する入力部６２と、入力部６２にて入
力されたデーターあるいはＣＰＵ６１での演算結果を記
憶する記憶部６３と、第２〜第４の各ステーションＳＴ
２〜ＳＴ４に位置する各ヒーター１２による実際の加熱
温度を表示する表示部６４とによって構成されている。
コンピューター６０のＣＰＵ６１には、第２〜第４の各
ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に位置する各ヒーター１２
の設定温度Ｔ１〜Ｔ３が、予め、入力部６２によって入
力されており、ＣＰＵ６１は、各設定温度Ｔ１〜Ｔ３に
基づいて、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４
に位置する各ヒーター１２を、それぞれ所定の設定温度
Ｔ１〜Ｔ３に加熱するために必要な設定電流値Ｉｓを予
め演算して、演算された各設定電流値Ｉｓを、記憶部６
３にそれぞれ記憶させるようになっている。そして、Ｃ
ＰＵ６１は、インデックステーブル１１の回転に同期し
て、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に対応
して記憶部６３に記憶された各設定電流値Ｉｓを読み出
して、その設定電流値Ｉｓに対応したデジタル信号を、
デジタル／アナログ（Ｄ／Ａ）変換器５３に出力する。
Ｄ／Ａ変換器５３にてアナログ信号に変換された信号
は、各ヒーター制御装置４０の温度制御部４３にそれぞ
れ与えられている。
てデーターを入力する入力部６２と、入力部６２にて入
力されたデーターあるいはＣＰＵ６１での演算結果を記
憶する記憶部６３と、第２〜第４の各ステーションＳＴ
２〜ＳＴ４に位置する各ヒーター１２による実際の加熱
温度を表示する表示部６４とによって構成されている。
コンピューター６０のＣＰＵ６１には、第２〜第４の各
ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に位置する各ヒーター１２
の設定温度Ｔ１〜Ｔ３が、予め、入力部６２によって入
力されており、ＣＰＵ６１は、各設定温度Ｔ１〜Ｔ３に
基づいて、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４
に位置する各ヒーター１２を、それぞれ所定の設定温度
Ｔ１〜Ｔ３に加熱するために必要な設定電流値Ｉｓを予
め演算して、演算された各設定電流値Ｉｓを、記憶部６
３にそれぞれ記憶させるようになっている。そして、Ｃ
ＰＵ６１は、インデックステーブル１１の回転に同期し
て、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４に対応
して記憶部６３に記憶された各設定電流値Ｉｓを読み出
して、その設定電流値Ｉｓに対応したデジタル信号を、
デジタル／アナログ（Ｄ／Ａ）変換器５３に出力する。
Ｄ／Ａ変換器５３にてアナログ信号に変換された信号
は、各ヒーター制御装置４０の温度制御部４３にそれぞ
れ与えられている。
【００２７】第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ
４に設けられた各ヒーター制御装置４０における温度制
御部４３は、ＣＰＵ６１からそれぞれ出力される設定電
流値Ｉｓと、電流検出部４２にて検出されるピーク電流
値Ｉｐとを比較して、各ヒーター１２のピーク電流値Ｉ
ｐと設定電流値Ｉｓとの差に対応した所定信号を電流制
御部４１に出力する。そして、電流制御部４１は、温度
制御部４３から出力される信号に基づいて、出力される
ヒーター加熱電流のデューティ比を変更するようになっ
ている。
４に設けられた各ヒーター制御装置４０における温度制
御部４３は、ＣＰＵ６１からそれぞれ出力される設定電
流値Ｉｓと、電流検出部４２にて検出されるピーク電流
値Ｉｐとを比較して、各ヒーター１２のピーク電流値Ｉ
ｐと設定電流値Ｉｓとの差に対応した所定信号を電流制
御部４１に出力する。そして、電流制御部４１は、温度
制御部４３から出力される信号に基づいて、出力される
ヒーター加熱電流のデューティ比を変更するようになっ
ている。
【００２８】ＣＰＵ６１は、設定温度に対応した設定電
流値Ｉｓを演算する際に、インデックステーブル１１に
設けられた各ヒーター１２の抵抗特性に基づいて、設定
電流値Ｉｓを補正するようになっている。すなわち、イ
ンデックステーブル１１に設けられた６つのヒーター１
２は、同一の仕様であっても、それぞれの抵抗値は必ず
しも一致していない。このように、各ヒーター１２の抵
抗特性が異なっていると、第２〜第４の各ステーション
ＳＴ２〜ＳＴ４において、各ヒーター１２をそれぞれ設
定温度Ｔ１〜Ｔ３に加熱するために必要な電流値が、各
ヒーター１２毎に異なるおそれがある。
流値Ｉｓを演算する際に、インデックステーブル１１に
設けられた各ヒーター１２の抵抗特性に基づいて、設定
電流値Ｉｓを補正するようになっている。すなわち、イ
ンデックステーブル１１に設けられた６つのヒーター１
２は、同一の仕様であっても、それぞれの抵抗値は必ず
しも一致していない。このように、各ヒーター１２の抵
抗特性が異なっていると、第２〜第４の各ステーション
ＳＴ２〜ＳＴ４において、各ヒーター１２をそれぞれ設
定温度Ｔ１〜Ｔ３に加熱するために必要な電流値が、各
ヒーター１２毎に異なるおそれがある。
【００２９】例えば、各ヒーター１２の０℃における抵
抗値をＲｏ、各ヒーター１２の抵抗温度係数をαとする
と、ヒーター１２を設定温度Ｔまで加熱したときのヒー
ター１２の抵抗値Ｒは、次式（１）で表される。
抗値をＲｏ、各ヒーター１２の抵抗温度係数をαとする
と、ヒーター１２を設定温度Ｔまで加熱したときのヒー
ター１２の抵抗値Ｒは、次式（１）で表される。
【００３０】Ｒ＝Ｒｏ（１＋αＴ） …（１）
従って、各ヒーター１２の０℃における抵抗値Ｒｏが、
各ヒーター１２毎に異なっていると、設定温度Ｔにおけ
る抵抗値Ｒも、各ヒーター１２毎にそれぞれ異なること
になる。
各ヒーター１２毎に異なっていると、設定温度Ｔにおけ
る抵抗値Ｒも、各ヒーター１２毎にそれぞれ異なること
になる。
【００３１】 ヒーター１２の設定温度Ｔに対応する電
流値（設定電流値）Ｉｓは、ヒーター１２に印加される
直流電圧をＶとすると、次式（２）で表される。
流値（設定電流値）Ｉｓは、ヒーター１２に印加される
直流電圧をＶとすると、次式（２）で表される。
【００３２】 Ｉｓ＝Ｖ／Ｒ…（２）
従って、設定温度Ｔにおけるヒーター１２の抵抗Ｒが、
各ヒーター１２毎に異なれば、ヒーター１２の設定温度
に対応する設定電流値Ｉｓも異なることになる。
各ヒーター１２毎に異なれば、ヒーター１２の設定温度
に対応する設定電流値Ｉｓも異なることになる。
【００３３】式（１）および式（２）により、設定電流
値Ｉｓは次式（３）で表される。
値Ｉｓは次式（３）で表される。
【００３４】Ｉｓ＝Ｖ／｛Ｒｏ（１＋αＴ）｝…（３）
このように、０℃における抵抗値Ｒｏのヒーター１２の
設定温度Ｔに対応する設定電流値Ｉｓは、式（３）に基
づいて求められる。
設定温度Ｔに対応する設定電流値Ｉｓは、式（３）に基
づいて求められる。
【００３５】コンピューター６０のＣＰＵ６１は、第２
〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４において、各ヒ
ーター１２を設定温度Ｔ１〜Ｔ３に加熱するために必要
な設定電流値Ｉｓを、各ヒーター１２の０℃における抵
抗値Ｒｏに基づいて、それぞれ演算するようになってい
る。
〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４において、各ヒ
ーター１２を設定温度Ｔ１〜Ｔ３に加熱するために必要
な設定電流値Ｉｓを、各ヒーター１２の０℃における抵
抗値Ｒｏに基づいて、それぞれ演算するようになってい
る。
【００３６】コンピューター６０のＣＰＵ６１には、イ
ンデックステーブル１１に設けられた６つのヒーター１
２のそれぞれの０℃における抵抗値Ｒｏが、予め、入力
部６２から入力されて、記憶部６３にて記憶されてい
る。そして、第２〜第４の各ステーションでの各ヒータ
ー１２の加熱温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３がそれぞれ設定され
ると、各設定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３と、全てのヒーター
１２の０℃における抵抗値Ｒｏとに基づいて、各ヒータ
ー１２を各設定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３に加熱するために
必要な設定電流値Ｉｓが、前述の式（３）に基づいて、
各ヒーター１２毎に演算される。
ンデックステーブル１１に設けられた６つのヒーター１
２のそれぞれの０℃における抵抗値Ｒｏが、予め、入力
部６２から入力されて、記憶部６３にて記憶されてい
る。そして、第２〜第４の各ステーションでの各ヒータ
ー１２の加熱温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３がそれぞれ設定され
ると、各設定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３と、全てのヒーター
１２の０℃における抵抗値Ｒｏとに基づいて、各ヒータ
ー１２を各設定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３に加熱するために
必要な設定電流値Ｉｓが、前述の式（３）に基づいて、
各ヒーター１２毎に演算される。
【００３７】 ０℃における抵抗値Ｒｏのヒーター１２
の設定温度Ｔに対応する設定電流Ｉｓを、Ｉｓ（Ｔ，Ｒ
ｏ）として表すものとし、インデックステーブル１１の
回転方向に沿って順番に配置されたＮｏ１〜Ｎｏ６の各
ヒーター１２の０℃における抵抗値を、それぞれ、Ｒｏ
１、Ｒｏ２、Ｒｏ３、Ｒｏ４、Ｒｏ５、Ｒｏ６とする
と、第２、第３、第４の各ステーションＳＴ２、ＳＴ
３、ＳＴ４毎に設定される設定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３に
対する各ヒーター１２の設定電流は、Ｉｓ（Ｔｎ，Ｒｏ
ｍ）で表される。ただし、ｎは１〜３の整数、ｍは１〜
６の整数である。
の設定温度Ｔに対応する設定電流Ｉｓを、Ｉｓ（Ｔ，Ｒ
ｏ）として表すものとし、インデックステーブル１１の
回転方向に沿って順番に配置されたＮｏ１〜Ｎｏ６の各
ヒーター１２の０℃における抵抗値を、それぞれ、Ｒｏ
１、Ｒｏ２、Ｒｏ３、Ｒｏ４、Ｒｏ５、Ｒｏ６とする
と、第２、第３、第４の各ステーションＳＴ２、ＳＴ
３、ＳＴ４毎に設定される設定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３に
対する各ヒーター１２の設定電流は、Ｉｓ（Ｔｎ，Ｒｏ
ｍ）で表される。ただし、ｎは１〜３の整数、ｍは１〜
６の整数である。
【００３８】 ＣＰＵ６１は、Ｉｓ（Ｔｎ，Ｒｏｍ）
（ただし、ｎは１〜３の整数、ｍは１〜６の整数）をそ
れぞれ演算すると、記憶部６３に、インデックステーブ
ル１１が回転する毎に、第２、第３、第４の各ステーシ
ョンＳＴ２、ＳＴ３、ＳＴ４にそれぞれ停止される３つ
のヒーター１２の設定電流Ｉｓを１組として、図６に示
す表として記憶するようになっている。すなわち、Ｎｏ
１のヒーターが第１ステーションＳＴ１に停止されたイ
ンデックス番号２（ＩＤＮｏ．２）の状況では、第２ス
テーションＳＴ２にＮｏ６ヒーター、第３ステーション
ＳＴ３にＮｏ５ヒーター、第４ステーションＳＴ４にＮ
ｏ４ヒーターがそれぞれ位置されていることから、これ
ら３つのヒーター１２の設定電流Ｉｓを１組として記憶
されている。そして、インデックステーブル１１が１／
６周にわたって回転されたインデックス番号３（ＩＤＮ
ｏ．３）の状況では、第２ステーションＳＴ２にＮｏ１
ヒーター、第３ステーションＳＴ３にＮｏ６ヒーター、
第４ステーションＳＴ４にＮｏ５ヒーターがそれぞれ位
置されていることから、これら３つのヒーター１２の設
定電流Ｉｓが１組として記憶されている。
（ただし、ｎは１〜３の整数、ｍは１〜６の整数）をそ
れぞれ演算すると、記憶部６３に、インデックステーブ
ル１１が回転する毎に、第２、第３、第４の各ステーシ
ョンＳＴ２、ＳＴ３、ＳＴ４にそれぞれ停止される３つ
のヒーター１２の設定電流Ｉｓを１組として、図６に示
す表として記憶するようになっている。すなわち、Ｎｏ
１のヒーターが第１ステーションＳＴ１に停止されたイ
ンデックス番号２（ＩＤＮｏ．２）の状況では、第２ス
テーションＳＴ２にＮｏ６ヒーター、第３ステーション
ＳＴ３にＮｏ５ヒーター、第４ステーションＳＴ４にＮ
ｏ４ヒーターがそれぞれ位置されていることから、これ
ら３つのヒーター１２の設定電流Ｉｓを１組として記憶
されている。そして、インデックステーブル１１が１／
６周にわたって回転されたインデックス番号３（ＩＤＮ
ｏ．３）の状況では、第２ステーションＳＴ２にＮｏ１
ヒーター、第３ステーションＳＴ３にＮｏ６ヒーター、
第４ステーションＳＴ４にＮｏ５ヒーターがそれぞれ位
置されていることから、これら３つのヒーター１２の設
定電流Ｉｓが１組として記憶されている。
【００３９】以下、同様にして、インデックス番号６
（ＩＤＮｏ．６）までのそれぞれの状況に対応して、第
２、第３、第４の各ステーションにそれぞれ位置する３
つのヒーター１２の設定電流値Ｉｓを１組としてそれぞ
れ記憶されている。
（ＩＤＮｏ．６）までのそれぞれの状況に対応して、第
２、第３、第４の各ステーションにそれぞれ位置する３
つのヒーター１２の設定電流値Ｉｓを１組としてそれぞ
れ記憶されている。
【００４０】また、コンピューター６０のＣＰＵ６１
は、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４にて、
加熱されているヒーター１２の実際の温度をそれぞれ演
算して、表示部６３にて表示するようになっている。す
なわち、各ヒーター制御装置４０の電流検出部４２によ
ってそれぞれ検出されたピーク電流値Ｉｐは、Ａ／Ｄ変
換器５２によって変換されてコンピューター６０のＣＰ
Ｕ６１に入力されると、ＣＰＵ６１は、前述した式
（１）により得られる次式（４）に基づいて、ヒーター
１２の実際の温度Ｔを演算する。
は、第２〜第４の各ステーションＳＴ２〜ＳＴ４にて、
加熱されているヒーター１２の実際の温度をそれぞれ演
算して、表示部６３にて表示するようになっている。す
なわち、各ヒーター制御装置４０の電流検出部４２によ
ってそれぞれ検出されたピーク電流値Ｉｐは、Ａ／Ｄ変
換器５２によって変換されてコンピューター６０のＣＰ
Ｕ６１に入力されると、ＣＰＵ６１は、前述した式
（１）により得られる次式（４）に基づいて、ヒーター
１２の実際の温度Ｔを演算する。
【００４１】
Ｔ＝Ｖ／（α・Ｒｏ・Ｉｓ）−１／α …（４）
このようにして得られる第２〜第４の各ステーションＳ
Ｔ２〜ＳＴ４での各ヒーター１２のそれぞれの実際の温
度Ｔが、表示部６３によって表示される。
Ｔ２〜ＳＴ４での各ヒーター１２のそれぞれの実際の温
度Ｔが、表示部６３によって表示される。
【００４２】なお、上記実施の形態では、インデックス
テーブルの各ヒーター１２と、第２〜第４の各ステーシ
ョンＳＴ２〜ＳＴ４に設けられた各ヒーター制御装置４
０とを、コンタクト３０によって、導電状態とする構成
であったが、スリップリングとブラシを使用して各ヒー
ター１２と、各ヒーター制御装置４０とを導電状態にす
るようにしてもよい。
テーブルの各ヒーター１２と、第２〜第４の各ステーシ
ョンＳＴ２〜ＳＴ４に設けられた各ヒーター制御装置４
０とを、コンタクト３０によって、導電状態とする構成
であったが、スリップリングとブラシを使用して各ヒー
ター１２と、各ヒーター制御装置４０とを導電状態にす
るようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】本発明のヒーター制御装置は、このよう
に、間欠的に回転するインデックステーブルに設けられ
た各ヒーターの温度を、そのヒーターを流れる電流に基
づいて検出するようになっているために、各ヒーターの
温度を正確に検出することができる。従って、ヒーター
を所定の加熱温度に正確に成業することができる。しか
も、温度センサーを設ける必要がないために、加熱装置
を簡潔な構造にすることができる。また、各ヒーターの
抵抗特性に基づいて、ヒーターを設定温度に加熱するた
めに必要な電流値を補正することにより、各ヒーターの
加熱温度を精緻に制御することができる。
に、間欠的に回転するインデックステーブルに設けられ
た各ヒーターの温度を、そのヒーターを流れる電流に基
づいて検出するようになっているために、各ヒーターの
温度を正確に検出することができる。従って、ヒーター
を所定の加熱温度に正確に成業することができる。しか
も、温度センサーを設ける必要がないために、加熱装置
を簡潔な構造にすることができる。また、各ヒーターの
抵抗特性に基づいて、ヒーターを設定温度に加熱するた
めに必要な電流値を補正することにより、各ヒーターの
加熱温度を精緻に制御することができる。
【図１】（ａ）は、本発明のヒート制御装置が設けられ
た加熱装置の一例を示す概略平面図、（ｂ）は、その概
略正面図である。
た加熱装置の一例を示す概略平面図、（ｂ）は、その概
略正面図である。
【図２】（ａ）は、その加熱装置に設けられたコンタク
トの平断面図、（ｂ）は、その一部破断正面図である。
トの平断面図、（ｂ）は、その一部破断正面図である。
【図３】その加熱装置に設けられたヒーターの各ステー
ションにおける温度状態を示すグラフである。
ションにおける温度状態を示すグラフである。
【図４】その加熱装置の制御系のブロック図である。
【図５】本発明のヒーター制御装置に設けられた電力制
御部の動作説明のためのグラフである。
御部の動作説明のためのグラフである。
【図６】本発明のヒーター制御装置に設けられたコンピ
ューターに記憶されるデーターの一例を示す表である。
ューターに記憶されるデーターの一例を示す表である。
【図７】従来のヒーター制御装置の概略構成図である。
１１ インデックステーブル
１２ ヒーター
１３ 駆動装置
３０ コンタクト
３２ 可動電極
３３ 固定電極
４０ ヒーター制御装置
４１ 電流制御部
４２ 電流検出部
４３ 温度制御部
６０ コンピューター
６１ ＣＰＵ
６２ 入力部
６３ 記憶部
６４ 表示部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−220531（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−13150（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−127729（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05B 3/00
Claims (4)
- 【請求項１】 間欠的に回転するインデックステーブル
上に、複数のヒーターが周方向に間隔をあけて配置され
ており、各ヒーターが、インデックステーブルの周方向
に間隔をあけて設定された複数のステーションにて順次
停止されるようになった加熱装置のヒーター制御装置で
あって、 昇温工程を前記複数のステーションに分割して実施する
とともに、 一つの分割昇温工程に対応した所定のステーションに停
止される各ヒーターに対して、各ヒーターが当該分割昇
温工程として予め設定されている温度に加熱されるよう
に 制御する温度制御部を具備することを特徴とするヒー
ター制御装置。 - 【請求項２】 各ヒーターの加熱温度が分割昇温工程ご
とに予め設定されている設定温度になるように、各分割
昇温工程ごとの各ヒーターの設定電流値を演算により求
める演算部と、 求めた各分割昇温工程ごとの各ヒーターの設定電流値を
記憶する記憶部と、 ヒーターに供給された電流値を検出する電流検出部とを
さらに具備し、 前記温度制御部は、各分割昇温工程に対応した各ステー
ションに位置しているヒーターを判断し、前記電流検出
部による前記ヒータの検出電流値と前記記憶部に記憶さ
れている該当するヒーターの設定電流値とに基づいて当
該ヒーターに対する供給電流を制御することを特徴とす
る 請求項１に記載のヒーター制御装置。 - 【請求項３】 前記記憶部には、インデックステーブル
に設けられた各ヒーターの０℃における抵抗値が予め記
憶されており、前記演算部は、設定された抵抗値に基づ
いて、各ヒーターが設定温度に加熱された際の抵抗値を
演算するとともに、演算された抵抗値に基づいて各ヒー
ターに対する前記設定電流値をそれぞれ演算することを
特徴とする請求項２に記載のヒーター制御装置。 - 【請求項４】 前記演算部は、前記電流検出部によって
検出される電流値に基づいてヒーターの実際の加熱温度
を演算し表示部に表示することを特徴とする請求項２に
記載のヒーター制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05506097A JP3502233B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | ヒーター制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05506097A JP3502233B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | ヒーター制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10255958A JPH10255958A (ja) | 1998-09-25 |
| JP3502233B2 true JP3502233B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=12988149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05506097A Expired - Fee Related JP3502233B2 (ja) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | ヒーター制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3502233B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040003333A (ko) * | 2002-07-02 | 2004-01-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 히터전류 모니터링장치 |
| WO2013033402A1 (en) * | 2011-08-30 | 2013-03-07 | Watlow Electric Manufacturing Company | Method of manufacturing a high definition heater system |
| US8809747B2 (en) * | 2012-04-13 | 2014-08-19 | Lam Research Corporation | Current peak spreading schemes for multiplexed heated array |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP05506097A patent/JP3502233B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10255958A (ja) | 1998-09-25 |
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