JP3472066B2 - 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 - Google Patents
露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法Info
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- JP3472066B2 JP3472066B2 JP6398497A JP6398497A JP3472066B2 JP 3472066 B2 JP3472066 B2 JP 3472066B2 JP 6398497 A JP6398497 A JP 6398497A JP 6398497 A JP6398497 A JP 6398497A JP 3472066 B2 JP3472066 B2 JP 3472066B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置お
よび該露光装置を通信ネットワークで複数結合した半導
体生産システム、並びに該システムによる半導体製造方
法に関するものである。
よび該露光装置を通信ネットワークで複数結合した半導
体生産システム、並びに該システムによる半導体製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体生産システムにおいては、
通信ネットワークで結合した複数の露光装置と、各々の
露光装置における露光作業の種類を決定して、その露光
作業の開始要求を行うコンピュータ装置を有しており、
これから行なおうとする作業の内容を指示した露光作業
情報（ジョブと呼ばれる）は半導体を露光しようとする
当該半導体露光装置上に存在する必要があった。このた
め複数の半導体露光装置を利用する場合、すべての半導
体露光装置が、必要となる可能性のあるすべての露光作
業情報を露光装置内の記憶領域にもつ必要があった。
通信ネットワークで結合した複数の露光装置と、各々の
露光装置における露光作業の種類を決定して、その露光
作業の開始要求を行うコンピュータ装置を有しており、
これから行なおうとする作業の内容を指示した露光作業
情報（ジョブと呼ばれる）は半導体を露光しようとする
当該半導体露光装置上に存在する必要があった。このた
め複数の半導体露光装置を利用する場合、すべての半導
体露光装置が、必要となる可能性のあるすべての露光作
業情報を露光装置内の記憶領域にもつ必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体生産システムは上記のように構成されていたの
で、必要となる可能性のあるすべての露光作業情報を調
べて、収集する必要があり、露光作業情報の維持管理が
煩雑になるという欠点があった。
半導体生産システムは上記のように構成されていたの
で、必要となる可能性のあるすべての露光作業情報を調
べて、収集する必要があり、露光作業情報の維持管理が
煩雑になるという欠点があった。
【０００４】また、まったく使用されていない露光作業
情報を記憶領域にもつ可能性が生じるため、記憶領域の
容量も大きくする必要があり不経済であった。
情報を記憶領域にもつ可能性が生じるため、記憶領域の
容量も大きくする必要があり不経済であった。
【０００５】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、半導体露光に必要な露光作業情報を任意の装置間
で転送できるようにして露光作業情報の維持管理の煩雑
さを減らすことことが可能な半導体露光装置および該露
光装置を通信ネットワークで複数結合した半導体生産シ
ステム、並びに該システムによる半導体製造方法を提供
することにある。
決し、半導体露光に必要な露光作業情報を任意の装置間
で転送できるようにして露光作業情報の維持管理の煩雑
さを減らすことことが可能な半導体露光装置および該露
光装置を通信ネットワークで複数結合した半導体生産シ
ステム、並びに該システムによる半導体製造方法を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の露光装置は、露光作業情報を記憶する記憶
手段と、露光作業の開始要求に応じ、要求された前記露
光作業の開始に必要な露光作業情報に基づいて前記露光
作業を開始する手段とを有し、他の露光装置または情報
処理装置と通信ネットワークを介して接続された露光装
置において、要求された前記露光作業の開始に必要な露
光作業情報を前記記憶手段が記憶していないときは、前
記他の露光装置または前記情報処理装置へ、要求された
前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を有している
か否かの問合せを行ない、さらに前記他の露光装置また
は前記情報処理装置から前記問合せに対して肯定的応答
を受取ったときは、要求された前記露光作業の開始に必
要な露光作業情報を前記他の露光装置または前記情報処
理装置から得ることを特徴とする。通常、この露光装置
は、他の露光装置から所定の露光作業情報を有している
か否かの問合せを受取ったときは、前記所定の露光作業
情報を前記記憶手段が記憶しているか否かを判定し、そ
の判定結果に基づいた応答を前記他の露光装置へ送信す
る。そして、前記記憶手段が前記所定の露光作業情報を
記憶している、と判定したときは、前記他の露光装置へ
肯定的応答とともに前記所定の露光作業情報を送信す
る。
め、本発明の露光装置は、露光作業情報を記憶する記憶
手段と、露光作業の開始要求に応じ、要求された前記露
光作業の開始に必要な露光作業情報に基づいて前記露光
作業を開始する手段とを有し、他の露光装置または情報
処理装置と通信ネットワークを介して接続された露光装
置において、要求された前記露光作業の開始に必要な露
光作業情報を前記記憶手段が記憶していないときは、前
記他の露光装置または前記情報処理装置へ、要求された
前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を有している
か否かの問合せを行ない、さらに前記他の露光装置また
は前記情報処理装置から前記問合せに対して肯定的応答
を受取ったときは、要求された前記露光作業の開始に必
要な露光作業情報を前記他の露光装置または前記情報処
理装置から得ることを特徴とする。通常、この露光装置
は、他の露光装置から所定の露光作業情報を有している
か否かの問合せを受取ったときは、前記所定の露光作業
情報を前記記憶手段が記憶しているか否かを判定し、そ
の判定結果に基づいた応答を前記他の露光装置へ送信す
る。そして、前記記憶手段が前記所定の露光作業情報を
記憶している、と判定したときは、前記他の露光装置へ
肯定的応答とともに前記所定の露光作業情報を送信す
る。
【０００７】また、本発明の半導体生産システムは、上
述の露光装置と情報処理装置とを有することを特徴とす
る。また、前記露光装置は、前記情報処理装置から前記
露光作業の開始要求を受取ることができる。
述の露光装置と情報処理装置とを有することを特徴とす
る。また、前記露光装置は、前記情報処理装置から前記
露光作業の開始要求を受取ることができる。
【０００８】この半導体生産システムにおいて、通常、
作業開始要求を受けた露光装置は、前記他の露光装置ま
たは前記情報処理装置から、要求された露光作業の開始
に必要な露光作業情報を有しているか否かの問合せに対
して肯定的応答を受取ったとき、前記情報処理装置へ、
要求された前記露光作業の開始が可能であることを送信
する。
作業開始要求を受けた露光装置は、前記他の露光装置ま
たは前記情報処理装置から、要求された露光作業の開始
に必要な露光作業情報を有しているか否かの問合せに対
して肯定的応答を受取ったとき、前記情報処理装置へ、
要求された前記露光作業の開始が可能であることを送信
する。
【０００９】さらに、本発明の半導体製造方法は、露光
作業の開始要求に応じ、要求された前記露光作業の開始
に必要な露光作業情報に基づいて前記露光作業を開始す
る露光装置を用いて行なう半導体製造方法において、要
求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を前
記露光装置が有していないときは、通信ネットワークを
介してその露光装置に接続された他の露光装置または情
報処理装置へ、要求された前記露光作業の開始に必要な
露光作業情報を有しているか否かの問合せを行ない、さ
らに前記露光装置が他の露光装置または前記情報処理手
段から前記問合せに対して肯定的応答を受取ったとき
は、前記他の露光装置または前記情報処理装置から、要
求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を得
ることを特徴とする。
作業の開始要求に応じ、要求された前記露光作業の開始
に必要な露光作業情報に基づいて前記露光作業を開始す
る露光装置を用いて行なう半導体製造方法において、要
求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を前
記露光装置が有していないときは、通信ネットワークを
介してその露光装置に接続された他の露光装置または情
報処理装置へ、要求された前記露光作業の開始に必要な
露光作業情報を有しているか否かの問合せを行ない、さ
らに前記露光装置が他の露光装置または前記情報処理手
段から前記問合せに対して肯定的応答を受取ったとき
は、前記他の露光装置または前記情報処理装置から、要
求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を得
ることを特徴とする。
【００１０】本発明は、露光作業情報を記憶する記憶手
段と、記憶された前記露光作業情報に基づいて露光作業
を開始する手段とを有し、他の露光装置と通信ネットワ
ークを介して接続された露光装置において、前記他の露
光装置から所定の露光作業情報を有しているか否かの問
合せを受取ったときは、前記記憶手段に前記所定の露光
作業情報が記憶されているか否かを判定し、前記他の露
光装置へその判定結果を送信し、さらに前記記憶手段に
前記所定の露光作業情報が記憶されていると判定したと
きは、前記他の露光装置へ前記所定の露光作業情報を送
信することを特徴とする。
段と、記憶された前記露光作業情報に基づいて露光作業
を開始する手段とを有し、他の露光装置と通信ネットワ
ークを介して接続された露光装置において、前記他の露
光装置から所定の露光作業情報を有しているか否かの問
合せを受取ったときは、前記記憶手段に前記所定の露光
作業情報が記憶されているか否かを判定し、前記他の露
光装置へその判定結果を送信し、さらに前記記憶手段に
前記所定の露光作業情報が記憶されていると判定したと
きは、前記他の露光装置へ前記所定の露光作業情報を送
信することを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記の構成により、露光作業に必要な露光作業
情報が自露光装置内にない場合でも、生産システムを構
成するいずれかの装置内に該当する露光作業情報が存在
する場合には、オペレーター等が該当する露光作業情報
の存在を検索することなく、露光作業開始の可否を判断
することができる。また、他の装置から該当する露光作
業情報を取得することによって、生産システムを構成す
るどの装置内に露光作業情報があっても露光作業を開始
することができる。
情報が自露光装置内にない場合でも、生産システムを構
成するいずれかの装置内に該当する露光作業情報が存在
する場合には、オペレーター等が該当する露光作業情報
の存在を検索することなく、露光作業開始の可否を判断
することができる。また、他の装置から該当する露光作
業情報を取得することによって、生産システムを構成す
るどの装置内に露光作業情報があっても露光作業を開始
することができる。
【００１２】本発明は、さらに、露光装置が露光作業を
開始するのに必要な露光作業情報を記憶する記憶手段を
有し、前記露光装置と通信ネットワークを介して接続さ
れた情報処理装置において、前記露光装置から所定の露
光作業情報を有しているか否かの問合せを受取ったとき
は、前記記憶手段に前記所定の露光作業情報が記憶され
ているか否かを判定し、前記露光装置へその判定結果を
送信し、さらに前記記憶手段に前記所定の露光作業情報
が記憶されていると判定したときは、前記露光装置へ前
記所定の露光作業情報を送信することを特徴とする情報
処理装置を含むものである。
開始するのに必要な露光作業情報を記憶する記憶手段を
有し、前記露光装置と通信ネットワークを介して接続さ
れた情報処理装置において、前記露光装置から所定の露
光作業情報を有しているか否かの問合せを受取ったとき
は、前記記憶手段に前記所定の露光作業情報が記憶され
ているか否かを判定し、前記露光装置へその判定結果を
送信し、さらに前記記憶手段に前記所定の露光作業情報
が記憶されていると判定したときは、前記露光装置へ前
記所定の露光作業情報を送信することを特徴とする情報
処理装置を含むものである。
【００１３】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の一実施例に係る半導体生産システ
ムの要部構成を示すブロック図であり、同図において、
１０および２０は半導体露光装置、３０は生産システム
を管理するホストコンピュータである。
する。図１は本発明の一実施例に係る半導体生産システ
ムの要部構成を示すブロック図であり、同図において、
１０および２０は半導体露光装置、３０は生産システム
を管理するホストコンピュータである。
【００１４】半導体露光装置１０は通信制御プログラム
１１、機器制御プログラム１２、露光作業情報管理プロ
グラム１３、記憶装置１４を備え、通信制御プログラム
１１によってネットワーク４０を介して他の半導体露光
装置２０およびホストコンピュータ３０と通信する。こ
こで、機器制御プログラム１２は半導体露光に必要な機
器（不図示）の制御を行なう。また、記憶装置１４には
露光作業に必要な露光作業情報（ジョブとよばれる）が
記憶されている。
１１、機器制御プログラム１２、露光作業情報管理プロ
グラム１３、記憶装置１４を備え、通信制御プログラム
１１によってネットワーク４０を介して他の半導体露光
装置２０およびホストコンピュータ３０と通信する。こ
こで、機器制御プログラム１２は半導体露光に必要な機
器（不図示）の制御を行なう。また、記憶装置１４には
露光作業に必要な露光作業情報（ジョブとよばれる）が
記憶されている。
【００１５】露光作業情報管理プログラム１３は露光作
業に必要なジョブの有無のチェックおよび記憶装置１４
との間での入出力の管理を行なう。また露光作業情報管
理プログラム１３は他装置への露光作業情報の問合せを
行なう機能をもつと同時に、他装置からの露光作業情報
の問合せに応答する機能をもつ。半導体露光装置２０の
構成も同様である。
業に必要なジョブの有無のチェックおよび記憶装置１４
との間での入出力の管理を行なう。また露光作業情報管
理プログラム１３は他装置への露光作業情報の問合せを
行なう機能をもつと同時に、他装置からの露光作業情報
の問合せに応答する機能をもつ。半導体露光装置２０の
構成も同様である。
【００１６】ホストコンピュータ３０は通信制御プログ
ラム３１、生産管理プログラム３２、露光情報管理プロ
グラム３３および記憶装置３４を備える。これらプログ
ラム３１および３３の機能は、半導体露光装置１０にお
けるプログラム１１および１３と同様である。
ラム３１、生産管理プログラム３２、露光情報管理プロ
グラム３３および記憶装置３４を備える。これらプログ
ラム３１および３３の機能は、半導体露光装置１０にお
けるプログラム１１および１３と同様である。
【００１７】生産管理プログラム３２はネットワーク４
０で結合されている半導体露光装置１０、２０に対して
露光作業の開始を指示するとともに、それらが使用すべ
き露光作業情報の種類を指定する。
０で結合されている半導体露光装置１０、２０に対して
露光作業の開始を指示するとともに、それらが使用すべ
き露光作業情報の種類を指定する。
【００１８】このメッセージを受けると、半導体露光装
置１０の露光作業情報管理プログラム１３は、記憶装置
１４内にジョブＣという名称の露光作業情報が存在する
かどうかを調べる。存在するとすればその露光作業情報
を用いて露光作業を開始するが、本例においてはジョブ
Ｃという名称の露光作業情報が記憶装置１４内に存在し
ない。そこで露光作業情報管理プログラム１３は、図３
に示すフローチャートにしたがって露光作業情報の問合
せを行なう。なお、本実施例においては、最初にホスト
コンピュータ３０に問い合せ、次いで半導体露光装置２
０に問合せを行なうものとする。
置１０の露光作業情報管理プログラム１３は、記憶装置
１４内にジョブＣという名称の露光作業情報が存在する
かどうかを調べる。存在するとすればその露光作業情報
を用いて露光作業を開始するが、本例においてはジョブ
Ｃという名称の露光作業情報が記憶装置１４内に存在し
ない。そこで露光作業情報管理プログラム１３は、図３
に示すフローチャートにしたがって露光作業情報の問合
せを行なう。なお、本実施例においては、最初にホスト
コンピュータ３０に問い合せ、次いで半導体露光装置２
０に問合せを行なうものとする。
【００１９】この問合せを開始すると、露光作業情報管
理プログラム１３は、まず、問合せを行なう装置として
ホストコンピュータ３０を選び（ステップＳ１）、ホス
トコンピュータ３０に対してメッセージ５１を送信して
露光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。この問合せに応じ、ホストコンピュータ３０の露
光作業情報管理プログラム３３は、記憶装置３４の中に
ジョブＣが存在するか否かを調べる。本例においては記
憶装置３４の中にジョブＣは存在しない。そのためホス
トコンピュータ３０は半導体露光装置１０に対して否定
応答メッセージ５２を送る。
理プログラム１３は、まず、問合せを行なう装置として
ホストコンピュータ３０を選び（ステップＳ１）、ホス
トコンピュータ３０に対してメッセージ５１を送信して
露光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。この問合せに応じ、ホストコンピュータ３０の露
光作業情報管理プログラム３３は、記憶装置３４の中に
ジョブＣが存在するか否かを調べる。本例においては記
憶装置３４の中にジョブＣは存在しない。そのためホス
トコンピュータ３０は半導体露光装置１０に対して否定
応答メッセージ５２を送る。
【００２０】否定応答メッセージ５２を受け取った半導
体露光装置１０はそれが肯定応答でないことを判定し
（ステップＳ３）、すべての装置に対して問合せを行っ
たか否かの判定（ステップＳ４）について、まだすべて
の装置に対して問合せを行なっていないと判定し、次に
問合せを行なう装置として半導体露光装置２０を選び
（ステップＳ１）、そして、メッセージ５１によって露
光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。このメッセージを受け取ると、半導体露光装置２
０の露光作業情報管理プログラム２３は、記憶装置２４
の中にジョブＣが存在するか否かを調べる。本例におい
ては記憶装置２４の中にジョブＣが存在する。そのため
半導体露光装置２０は半導体露光装置１０に対して肯定
応答メッセージ５３を送る。肯定応答メッセージ５３を
受け取った半導体露光装置１０はそれが肯定応答である
と判定し（ステップＳ３）、ホスト３０に対して露光作
業を開始できる旨のメッセージ５４を送り（ステップＳ
７）、そして、露光作業情報の問合せ処理を終了する。
体露光装置１０はそれが肯定応答でないことを判定し
（ステップＳ３）、すべての装置に対して問合せを行っ
たか否かの判定（ステップＳ４）について、まだすべて
の装置に対して問合せを行なっていないと判定し、次に
問合せを行なう装置として半導体露光装置２０を選び
（ステップＳ１）、そして、メッセージ５１によって露
光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。このメッセージを受け取ると、半導体露光装置２
０の露光作業情報管理プログラム２３は、記憶装置２４
の中にジョブＣが存在するか否かを調べる。本例におい
ては記憶装置２４の中にジョブＣが存在する。そのため
半導体露光装置２０は半導体露光装置１０に対して肯定
応答メッセージ５３を送る。肯定応答メッセージ５３を
受け取った半導体露光装置１０はそれが肯定応答である
と判定し（ステップＳ３）、ホスト３０に対して露光作
業を開始できる旨のメッセージ５４を送り（ステップＳ
７）、そして、露光作業情報の問合せ処理を終了する。
【００２１】もしここでジョブＣが見つからなかった場
合には、必要な露光作業情報が生産システム内に存在し
ないものと判断し（ステップＳ５）、ホストコンピュー
タ３０に対して露光作業を開始できない旨のメッセージ
５５を送信し（ステップＳ６）、露光作業情報の問合せ
処理を終了する。なお、露光作業情報の問合せの順序は
任意であり、あらかじめ定めておいた順序にしたがって
問合せを行なえばよい。露光作業情報を得るコストが小
さいところから順番に問合せを行ない、露光作業情報が
存在する旨の応答を最初に得た装置から露光作業情報を
受け取るようにするのが最も経済的である。
合には、必要な露光作業情報が生産システム内に存在し
ないものと判断し（ステップＳ５）、ホストコンピュー
タ３０に対して露光作業を開始できない旨のメッセージ
５５を送信し（ステップＳ６）、露光作業情報の問合せ
処理を終了する。なお、露光作業情報の問合せの順序は
任意であり、あらかじめ定めておいた順序にしたがって
問合せを行なえばよい。露光作業情報を得るコストが小
さいところから順番に問合せを行ない、露光作業情報が
存在する旨の応答を最初に得た装置から露光作業情報を
受け取るようにするのが最も経済的である。
【００２２】本実施例においては露光作業情報自体の転
送については述べていないが、メッセージ５６のよう
な、露光作業情報が存在する旨の肯定メッセージととも
に、露光作業情報自体を含むメッセージを送信してもよ
い。また、すべての装置に問合せを行ない、求める露光
作業情報をもつ装置のうち露光作業情報を得るのに要す
るコストが最小になる装置に対し、あらためて露光作業
情報を要求してもよい。
送については述べていないが、メッセージ５６のよう
な、露光作業情報が存在する旨の肯定メッセージととも
に、露光作業情報自体を含むメッセージを送信してもよ
い。また、すべての装置に問合せを行ない、求める露光
作業情報をもつ装置のうち露光作業情報を得るのに要す
るコストが最小になる装置に対し、あらためて露光作業
情報を要求してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば通
信ネットワークに結ばれた複数の半導体露光装置の利用
において、すべての半導体露光装置が必要となる可能性
のあるすべての露光作業情報をもつ必要がなくなり、露
光作業情報の維持管理が容易になる効果がある。
信ネットワークに結ばれた複数の半導体露光装置の利用
において、すべての半導体露光装置が必要となる可能性
のあるすべての露光作業情報をもつ必要がなくなり、露
光作業情報の維持管理が容易になる効果がある。
【図１】 本発明の一実施例に係る半導体生産システム
の要部構成を示すブロック図である。
の要部構成を示すブロック図である。
【図２】 装置間のメッセージの内容を示す図である。
【図３】 露光作業情報の問合せ処理を示すフローチャ
ートである。
ートである。
１０，２０：半導体露光装置、１１，２１，３１：通信
制御プログラム、１２，２２：機器制御プログラム、１
３，２３，３３：露光作業情報管理プログラム、１４，
２４，３４：記憶装置、１５，１６，２５，３５，３
６：露光作業情報、３０：ホストコンピュータ、３２：
生産管理プログラム、４０：ネットワーク、５０：露光
作業開始メッセージ、５１：問合せメッセージ、５２：
否定メッセージ、５３：肯定メッセージ、５４，５６：
開始可能メッセージ、５５：開始不可メッセージ。
制御プログラム、１２，２２：機器制御プログラム、１
３，２３，３３：露光作業情報管理プログラム、１４，
２４，３４：記憶装置、１５，１６，２５，３５，３
６：露光作業情報、３０：ホストコンピュータ、３２：
生産管理プログラム、４０：ネットワーク、５０：露光
作業開始メッセージ、５１：問合せメッセージ、５２：
否定メッセージ、５３：肯定メッセージ、５４，５６：
開始可能メッセージ、５５：開始不可メッセージ。
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/027
Claims (9)
- 【請求項１】 露光作業情報を記憶する記憶手段と、露
光作業の開始要求に応じ、要求された前記露光作業の開
始に必要な露光作業情報に基づいて前記露光作業を開始
する手段とを有し、他の露光装置または情報処理装置と
通信ネットワークを介して接続された露光装置におい
て、 要求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を
前記記憶手段が記憶していないときは、前記他の露光装
置または前記情報処理装置へ、要求された前記露光作業
の開始に必要な露光作業情報を有しているか否かの問合
せを行ない、 さらに前記他の露光装置または前記情報処理装置から前
記問合せに対して肯定的応答を受取ったときは、要求さ
れた前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を前記他
の露光装置または前記情報処理装置から得ることを特徴
とする露光装置。 - 【請求項２】 前記他の露光装置から所定の露光作業情
報を有しているか否かの問合せを受取ったときは、前記
所定の露光作業情報を前記記憶手段が記憶しているか否
かを判定し、その判定結果に基づいた応答を前記他の露
光装置へ送信することを特徴とする請求項１に記載の露
光装置。 - 【請求項３】 前記記憶手段が前記所定の露光作業情報
を記憶している、と判定したときは、前記他の露光装置
へ肯定的応答とともに前記所定の露光作業情報を送信す
ることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の露光装
置と前記情報処理装置とを有することを特徴とする半導
体生産システム。 - 【請求項５】 前記露光装置は、前記情報処理装置から
前記露光作業の開始要求を受取ることを特徴とする請求
項４に記載の半導体生産システム。 - 【請求項６】 前記露光装置は、前記他の露光装置また
は前記情報処理装置から、要求された前記露光作業の開
始に必要な露光作業情報を有しているか否かの問合せに
対して肯定的応答を受取ったとき、前記情報処理装置
へ、要求された前記露光作業の開始が可能であることを
送信することを特徴とする請求項５に記載の半導体生産
システム。 - 【請求項７】 露光作業の開始要求に応じ、要求された
前記露光作業の開始に必要な露光作業情報に基づいて前
記露光作業を開始する露光装置を用いて行なう半導体製
造方法において、 要求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情報を
前記露光装置が有していないときは、通信ネットワーク
を介して前記露光装置に接続された他の露光装置または
情報処理装置へ、要求された前記露光作業の開始に必要
な露光作業情報を有しているか否かの問合せを行ない、 さらに前記露光装置が前記他の露光装置または前記情報
処理手段から前記問合せに対して肯定的応答を受取った
ときは、前記他の露光装置または前記情報処理装置か
ら、要求された前記露光作業の開始に必要な露光作業情
報を得ることを特徴とする半導体製造方法。 - 【請求項８】 露光作業情報を記憶する記憶手段と、記
憶された前記露光作業情報に基づいて露光作業を開始す
る手段とを有し、他の露光装置と通信ネットワークを介
して接続された露光装置において、 前記他の露光装置から所定の露光作業情報を有している
か否かの問合せを受取ったときは、前記記憶手段に前記
所定の露光作業情報が記憶されているか否かを判定し、
前記他の露光装置へその判定結果を送信し、 さらに前記記憶手段に前記所定の露光作業情報が記憶さ
れていると判定したときは、前記他の露光装置へ前記所
定の露光作業情報を送信することを特徴とする露光装
置。 - 【請求項９】 露光装置が露光作業を開始するのに必要
な露光作業情報を記憶する記憶手段を有し、前記露光装
置と通信ネットワークを介して接続された情報処理装置
において、 前記露光装置から所定の露光作業情報を有しているか否
かの問合せを受取ったときは、前記記憶手段に前記所定
の露光作業情報が記憶されているか否かを判定し、前記
露光装置へその判定結果を送信し、 さらに前記記憶手段に前記所定の露光作業情報が記憶さ
れていると判定したときは、前記露光装置へ前記所定の
露光作業情報を送信することを特徴とする情報処理装
置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6398497A JP3472066B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 |
| TW087102644A TW376542B (en) | 1997-03-04 | 1998-02-24 | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
| DE69838154T DE69838154T2 (de) | 1997-03-04 | 1998-02-25 | Belichtungseinheit, Belichtungssystem und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
| EP98301384A EP0863439B1 (en) | 1997-03-04 | 1998-02-25 | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
| US09/034,019 US6185474B1 (en) | 1997-03-04 | 1998-03-02 | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
| KR1019980007071A KR19980079878A (ko) | 1997-03-04 | 1998-03-04 | 노광장치, 노광시스템 및 디바이스제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6398497A JP3472066B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10247616A JPH10247616A (ja) | 1998-09-14 |
| JP3472066B2 true JP3472066B2 (ja) | 2003-12-02 |
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ID=13245071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6398497A Expired - Fee Related JP3472066B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3472066B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4532660B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
| JP5318308B2 (ja) | 2001-08-16 | 2013-10-16 | ゲットナー・ファンデーション・エルエルシー | 半導体基板の生産システム |
| JP4961717B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2012-06-27 | 株式会社ニコン | デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、測定検査装置及び測定検査方法、並びにデバイス製造方法 |
-
1997
- 1997-03-04 JP JP6398497A patent/JP3472066B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10247616A (ja) | 1998-09-14 |
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