JP3470073B2 - 空気流量計 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
-
- G—PHYSICS
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気流量計に係
り、特に、自動車のエンジン制御等に使用するに好適な
吸入空気流量を測定する空気流量計に関する。
り、特に、自動車のエンジン制御等に使用するに好適な
吸入空気流量を測定する空気流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の空気流量計としては、例えば、特
開平１０−１４８５５６号公報に記載されているよう
に、出力特性調整回路とレシオメトリック変換回路とを
備えたレシオメトリック出力型空気流量計が知られてい
る。また、周波数出力型空気流量計においては、出力特
性調整回路と電圧制御発振回路とを備えたレシオメトリ
ック出力型空気流量計が知られている。
開平１０−１４８５５６号公報に記載されているよう
に、出力特性調整回路とレシオメトリック変換回路とを
備えたレシオメトリック出力型空気流量計が知られてい
る。また、周波数出力型空気流量計においては、出力特
性調整回路と電圧制御発振回路とを備えたレシオメトリ
ック出力型空気流量計が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レシオ
メトリック出力型空気流量計及び周波数出力型空気流量
計のいずれも、それぞれの２つの回路は、独立した内部
基準電源回路を有しており、その精度を確保するため
に、モノリシックＩＣの外部に抵抗を設ける必要があ
り、その結果、内部基準電源出力数に比例した数だけＩ
Ｃに接続端子を設ける必要があるという問題があった。
メトリック出力型空気流量計及び周波数出力型空気流量
計のいずれも、それぞれの２つの回路は、独立した内部
基準電源回路を有しており、その精度を確保するため
に、モノリシックＩＣの外部に抵抗を設ける必要があ
り、その結果、内部基準電源出力数に比例した数だけＩ
Ｃに接続端子を設ける必要があるという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、内部基準電源回路を複数
必要とする流量計において、ＩＣの端子数を少なくして
内部基準電圧の精度を向上させることができる空気流量
計を提供することにある。
必要とする流量計において、ＩＣの端子数を少なくして
内部基準電圧の精度を向上させることができる空気流量
計を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】（１）上記目的を達成す
るために、本発明は、流量検出手段により検出した流量
信号の特性を第１の内部基準電圧を用いて調整して流量
特性信号を出力する特性調整回路と、この特性調整回路
が出力する流量特性信号を第２の内部基準電圧に基づい
てレシオメトリック出力若しくは周波数出力に変換する
変換回路と、上記第１及び第２の内部基準電圧を発生す
る基準電源回路とを有する空気流量計において、上記内
部基準電源回路は、温度に比例する電流を発生する温度
電流発生回路と、この温度電流発生回路の電流を複製す
るカレントミラー回路と、このカレントミラー回路によ
って複製された電流を通電し、上記第１の基準電圧を発
生する第１の基準電圧発生回路と、上記カレントミラー
回路によって複製された別の電流を通電し、上記第２の
基準電圧を発生する第２の基準電圧発生回路とを備える
ようにしたものである。かかる構成により、ＩＣの端子
数を少なくして内部基準電圧の精度を向上し得るものと
なる。
るために、本発明は、流量検出手段により検出した流量
信号の特性を第１の内部基準電圧を用いて調整して流量
特性信号を出力する特性調整回路と、この特性調整回路
が出力する流量特性信号を第２の内部基準電圧に基づい
てレシオメトリック出力若しくは周波数出力に変換する
変換回路と、上記第１及び第２の内部基準電圧を発生す
る基準電源回路とを有する空気流量計において、上記内
部基準電源回路は、温度に比例する電流を発生する温度
電流発生回路と、この温度電流発生回路の電流を複製す
るカレントミラー回路と、このカレントミラー回路によ
って複製された電流を通電し、上記第１の基準電圧を発
生する第１の基準電圧発生回路と、上記カレントミラー
回路によって複製された別の電流を通電し、上記第２の
基準電圧を発生する第２の基準電圧発生回路とを備える
ようにしたものである。かかる構成により、ＩＣの端子
数を少なくして内部基準電圧の精度を向上し得るものと
なる。
【０００６】（２）上記（１）において、好ましくは、
上記温度電流発生回路を構成する抵抗として厚膜抵抗を
用い、上記第１の基準電圧発生回路及び第２の基準電圧
発生回路を構成する抵抗として、それぞれ、モノリシッ
ク抵抗と厚膜抵抗を用いるようにしたものである。かか
る構成により、基準電圧の温度特性の直線性を補正し得
るものとなる。
上記温度電流発生回路を構成する抵抗として厚膜抵抗を
用い、上記第１の基準電圧発生回路及び第２の基準電圧
発生回路を構成する抵抗として、それぞれ、モノリシッ
ク抵抗と厚膜抵抗を用いるようにしたものである。かか
る構成により、基準電圧の温度特性の直線性を補正し得
るものとなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図１を用いて、本発明の第
１の実施形態による空気流量計の構成について説明す
る。本実施形態では、レシオメトリック出力型空気流量
計を例にして説明する。図１は、本発明の第１の実施形
態による空気流量計の構成を示す回路図である。
１の実施形態による空気流量計の構成について説明す
る。本実施形態では、レシオメトリック出力型空気流量
計を例にして説明する。図１は、本発明の第１の実施形
態による空気流量計の構成を示す回路図である。
【０００８】流量検出回路３は、空気流路に配置された
発熱抵抗体１と、定温度制御回路２とから構成される。
発熱抵抗体１は、定温度制御回路２により電流を通電さ
れ、自己発熱することにより加熱制御される。定温度制
御回路２は、発熱抵抗体１の抵抗値を所定の抵抗値に保
つように加熱電流を制御することにより、加熱電流の大
きさから空気流量を検出し、流量検出信号Ｖ２が得られ
る。
発熱抵抗体１と、定温度制御回路２とから構成される。
発熱抵抗体１は、定温度制御回路２により電流を通電さ
れ、自己発熱することにより加熱制御される。定温度制
御回路２は、発熱抵抗体１の抵抗値を所定の抵抗値に保
つように加熱電流を制御することにより、加熱電流の大
きさから空気流量を検出し、流量検出信号Ｖ２が得られ
る。
【０００９】出力特性調整回路４は、以下の式（１）に
基づいて、ゼロ点と増幅率を調整することにより、流量
検出信号Ｖ２の特性を調整して流量計の出力信号を所定
の特性に調整した上で、流量特性信号Ｖ４を生成する。
出力特性調整回路４のゼロ点調整のためには、バンドギ
ャップ基準電源回路６で発生させた内部基準電圧ＥＳを
用いる。
基づいて、ゼロ点と増幅率を調整することにより、流量
検出信号Ｖ２の特性を調整して流量計の出力信号を所定
の特性に調整した上で、流量特性信号Ｖ４を生成する。
出力特性調整回路４のゼロ点調整のためには、バンドギ
ャップ基準電源回路６で発生させた内部基準電圧ＥＳを
用いる。
【００１０】Ｖ４＝Ｋ１×Ｖ２−Ｋ２×ＥＳ …（１）
ここで、Ｋ１は増幅率を調整する定数であり、Ｋ２はゼ
ロ点調整のための定数である。
ロ点調整のための定数である。
【００１１】レシオメトリック変換回路である乗算回路
５は、バンドギャップ基準電源回路６で発生させた内部
基準電圧ＶINTを用いて、流量計の外部に接続されたエ
ンジンコントロールユニットから供給される外部基準電
圧ＶREFと比較して、出力特性調整回路４で作成した流
量特性信号Ｖ４を以下の式（２）に基づいてレシオメト
リック特性に変換し、流量計の出力信号Ｖoutとして出
力する。
５は、バンドギャップ基準電源回路６で発生させた内部
基準電圧ＶINTを用いて、流量計の外部に接続されたエ
ンジンコントロールユニットから供給される外部基準電
圧ＶREFと比較して、出力特性調整回路４で作成した流
量特性信号Ｖ４を以下の式（２）に基づいてレシオメト
リック特性に変換し、流量計の出力信号Ｖoutとして出
力する。
【００１２】
ＶOUT＝Ｋ３×Ｖ４×（ＶREF／ＶINT） …（２）
ここで、Ｋ３は定数である。
【００１３】図示しないエンジンコントロールユニット
は、流量計の信号を用いてエンジンの制御を行うため、
流量計の信号デジタル信号に変換するＡＤ変換器を備え
ている。
は、流量計の信号を用いてエンジンの制御を行うため、
流量計の信号デジタル信号に変換するＡＤ変換器を備え
ている。
【００１４】ここで、式（２）は、式（１）を用いて、
以下の式（３）で表すことができる。
以下の式（３）で表すことができる。
【００１５】
ＶOUT＝（Ｋ１×Ｖ２−Ｋ２×ＥＳ）×Ｋ３×（ＶREF／ＶINT） …（３）
式（３）から明らかなように、内部基準電源ＥＳはゼロ
点を変化させ、内部基準電源ＶINTは増幅率を変化させ
るので、内部基準電圧ＥＳと内部基準電圧ＶINTは、独
立した特性にすると流量計の温度特性を調整するのに都
合がよいものである。
点を変化させ、内部基準電源ＶINTは増幅率を変化させ
るので、内部基準電圧ＥＳと内部基準電圧ＶINTは、独
立した特性にすると流量計の温度特性を調整するのに都
合がよいものである。
【００１６】そこで、本実施形態においては、内部基準
電圧ＥＳ，ＶINTを発生させる手段として、バンドギャ
ップ基準電源回路６を用いることにより、半導体集積回
路を効率よく構成するようにしている。
電圧ＥＳ，ＶINTを発生させる手段として、バンドギャ
ップ基準電源回路６を用いることにより、半導体集積回
路を効率よく構成するようにしている。
【００１７】バンドギャップ基準電源回路６の出力電圧
のばらつきは、構成するトランジスタと抵抗のばらつき
に依存するので、抵抗としてＩＣに集積されたモノリシ
ック抵抗を使用するより、ＩＣを実装する回路基板上に
形成した厚膜抵抗等の外付抵抗を使用した方が、抵抗値
ばらつきが少なく電圧のばらつきが少ないと言う利点が
ある反面、ＩＣ内部のトランジスタと外付抵抗を接続す
るためにＩＣの端子数が増えると言う問題がある。
のばらつきは、構成するトランジスタと抵抗のばらつき
に依存するので、抵抗としてＩＣに集積されたモノリシ
ック抵抗を使用するより、ＩＣを実装する回路基板上に
形成した厚膜抵抗等の外付抵抗を使用した方が、抵抗値
ばらつきが少なく電圧のばらつきが少ないと言う利点が
ある反面、ＩＣ内部のトランジスタと外付抵抗を接続す
るためにＩＣの端子数が増えると言う問題がある。
【００１８】そこで、本実施形態によるバンドギャップ
基準電源回路６では、温度電流発生回路２１を用いて電
流の大きさが絶対温度に比例する温度電流ＩTを発生さ
せるとともに、電流複製回路２２を用いて複製した温度
電流を２つの基準電圧発生回路２３と基準電圧発生回路
２４に供給し、２つの内部基準電圧ＥＳ及びＶINTを発
生させるようにしている。
基準電源回路６では、温度電流発生回路２１を用いて電
流の大きさが絶対温度に比例する温度電流ＩTを発生さ
せるとともに、電流複製回路２２を用いて複製した温度
電流を２つの基準電圧発生回路２３と基準電圧発生回路
２４に供給し、２つの内部基準電圧ＥＳ及びＶINTを発
生させるようにしている。
【００１９】基準電圧発生回路２３，２４は、図示する
ように、ダイオード若しくはトランジスタと抵抗より構
成し、ダイオード接続の順方向電圧効果電圧ＶFの温特
が温度変化に対して負であるので、温度に比例する電流
を通電された抵抗の電圧降下と加算すると、温度変化を
相殺することができ、抵抗値を選定することにより温度
が変化しても出力電圧が変化しない基準電圧を発生させ
ることができる。
ように、ダイオード若しくはトランジスタと抵抗より構
成し、ダイオード接続の順方向電圧効果電圧ＶFの温特
が温度変化に対して負であるので、温度に比例する電流
を通電された抵抗の電圧降下と加算すると、温度変化を
相殺することができ、抵抗値を選定することにより温度
が変化しても出力電圧が変化しない基準電圧を発生させ
ることができる。
【００２０】以上説明したように、本実施形態において
は、基準電源回路を２つ集積するよりも、ＩＣの端子数
を、少なくして、独立に特性の設定が可能な、精度の良
いバンドギャップ基準電源回路を複数構成することがで
きる。
は、基準電源回路を２つ集積するよりも、ＩＣの端子数
を、少なくして、独立に特性の設定が可能な、精度の良
いバンドギャップ基準電源回路を複数構成することがで
きる。
【００２１】次に、図２を用いて、本発明の第２の実施
形態による空気流量計の構成について説明する。実施形
態では、レシオメトリック出力型空気流量計を例にして
説明する。図２は、本発明の第２の実施形態による空気
流量計の構成を示す回路図である。なお、図１と同一符
号は、同一構成を示している。
形態による空気流量計の構成について説明する。実施形
態では、レシオメトリック出力型空気流量計を例にして
説明する。図２は、本発明の第２の実施形態による空気
流量計の構成を示す回路図である。なお、図１と同一符
号は、同一構成を示している。
【００２２】図２において、流量検出回路３，出力特性
調整回路４，乗算回路５は、図１と同様である。バンド
ギャップ基準電源回路６Ａは、温度電流発生回路２１Ａ
と、電流複製回路２２と、基準電圧発生回路２３Ａと、
基準電圧発生回路２４Ａとから構成されている。
調整回路４，乗算回路５は、図１と同様である。バンド
ギャップ基準電源回路６Ａは、温度電流発生回路２１Ａ
と、電流複製回路２２と、基準電圧発生回路２３Ａと、
基準電圧発生回路２４Ａとから構成されている。
【００２３】温度電流発生回路２１Ａは、トランジスタ
２５，２６から構成され、トランジスタ２５のエミッタ
端に端子５０が設けられ、トランジスタ２６のエミッタ
端に端子３７が設けられており、電流の大きさが絶対温
度に比例する温度電流ＩTを発生させる。端子３７に
は、厚膜抵抗のような外付抵抗が接続され、端子５０は
外部の接地電位に接続される。電流複製回路２２は、図
１と同様である。
２５，２６から構成され、トランジスタ２５のエミッタ
端に端子５０が設けられ、トランジスタ２６のエミッタ
端に端子３７が設けられており、電流の大きさが絶対温
度に比例する温度電流ＩTを発生させる。端子３７に
は、厚膜抵抗のような外付抵抗が接続され、端子５０は
外部の接地電位に接続される。電流複製回路２２は、図
１と同様である。
【００２４】基準電圧発生回路２３Ａは、直列接続され
たトランジスタ２８，２９と、抵抗３０，３２とから構
成されている。抵抗３０と抵抗３２の間に、外付抵抗を
接続するための端子３９を設けており、抵抗３０は、モ
ノリシック抵抗であるとともに、抵抗３２は、外付抵抗
である厚膜抵抗である。基準電圧発生回路３２Ａボルテ
ージホロワ３６を介して外部接続用の端子４０に接続さ
れ、出力特性調整回路４に基準電圧ＥＳを供給する。ま
た、基準電圧発生回路２４Ａは、直列接続されたトラン
ジスタ３２，３３と、抵抗３４，３６とから構成されて
いる。抵抗３４と抵抗３６の間に、外付抵抗を接続する
ための端子３８を設けており、抵抗３４は、モノリシッ
ク抵抗であるとともに、抵抗３６は、外付抵抗である厚
膜抵抗である。
たトランジスタ２８，２９と、抵抗３０，３２とから構
成されている。抵抗３０と抵抗３２の間に、外付抵抗を
接続するための端子３９を設けており、抵抗３０は、モ
ノリシック抵抗であるとともに、抵抗３２は、外付抵抗
である厚膜抵抗である。基準電圧発生回路３２Ａボルテ
ージホロワ３６を介して外部接続用の端子４０に接続さ
れ、出力特性調整回路４に基準電圧ＥＳを供給する。ま
た、基準電圧発生回路２４Ａは、直列接続されたトラン
ジスタ３２，３３と、抵抗３４，３６とから構成されて
いる。抵抗３４と抵抗３６の間に、外付抵抗を接続する
ための端子３８を設けており、抵抗３４は、モノリシッ
ク抵抗であるとともに、抵抗３６は、外付抵抗である厚
膜抵抗である。
【００２５】バンドギャップ基準回路６Ａは、大部分が
ＩＣ内部に構成されるとともに、厚膜抵抗等の外付抵抗
と接続するための４個の端子３７，３８，３９，５０を
備えている。したがって、基準電圧発生回路２３Ａ，２
４Ａに用いる抵抗として、外付の厚膜抵抗とＩＣ内部の
モノリシック抵抗を組合わせて使用することができ、基
準電圧の温度特性の直線性を補正することができる。図
３に示す構成では、基準電圧ＥＳとＶINTの直線性の補
正量を、モノリシック抵抗３０と外付抵抗３１の比，及
びモノリシック抵抗３４と外付抵抗３５の比を独立に設
定することができるので、流量計のゼロ点とスパンの温
特に加えて、ゼロ点の温特直線性と、スパンの温特直線
性を各々最適な値に調節することが可能である。
ＩＣ内部に構成されるとともに、厚膜抵抗等の外付抵抗
と接続するための４個の端子３７，３８，３９，５０を
備えている。したがって、基準電圧発生回路２３Ａ，２
４Ａに用いる抵抗として、外付の厚膜抵抗とＩＣ内部の
モノリシック抵抗を組合わせて使用することができ、基
準電圧の温度特性の直線性を補正することができる。図
３に示す構成では、基準電圧ＥＳとＶINTの直線性の補
正量を、モノリシック抵抗３０と外付抵抗３１の比，及
びモノリシック抵抗３４と外付抵抗３５の比を独立に設
定することができるので、流量計のゼロ点とスパンの温
特に加えて、ゼロ点の温特直線性と、スパンの温特直線
性を各々最適な値に調節することが可能である。
【００２６】また、図３に示した例では、ＩＣの内部と
外付抵抗を接続する為の端子３７，３８，３９，５０の
４個の端子と少ない端子数で構成することができるた
め、ＩＣの接続端子数を少なくし、かつ、バンドギャッ
プ基準電源回路の精度を確保することができる。
外付抵抗を接続する為の端子３７，３８，３９，５０の
４個の端子と少ない端子数で構成することができるた
め、ＩＣの接続端子数を少なくし、かつ、バンドギャッ
プ基準電源回路の精度を確保することができる。
【００２７】次に、図３を用いて、本発明の第３の実施
形態による空気流量計の構成について説明する。実施形
態では、周波数出力型空気流量計を例にして説明する。
図３は、本発明の第３の実施形態による空気流量計の構
成を示す回路図である。なお、図１と同一符号は、同一
構成を示している。
形態による空気流量計の構成について説明する。実施形
態では、周波数出力型空気流量計を例にして説明する。
図３は、本発明の第３の実施形態による空気流量計の構
成を示す回路図である。なお、図１と同一符号は、同一
構成を示している。
【００２８】図３において、流量検出回路３，出力特性
調整回路４は、図１と同様である。また、図１に示した
乗算回路５に代えて、ＶＣＯ（電圧制御発振）回路７を
備えている。ＶＣＯ回路７は、出力特性調整回路４の出
力電圧信号Ｖ４を、周波数信号に変換して、周波数出力
型の流量計の出力信号Ｖoutを出力する。
調整回路４は、図１と同様である。また、図１に示した
乗算回路５に代えて、ＶＣＯ（電圧制御発振）回路７を
備えている。ＶＣＯ回路７は、出力特性調整回路４の出
力電圧信号Ｖ４を、周波数信号に変換して、周波数出力
型の流量計の出力信号Ｖoutを出力する。
【００２９】バンドギャップ基準電源回路６は、出力特
性調整回路４の内部基準電圧ＥＳ及びＶＣＯ回路７の内
部基準電圧ＶINTを発生する。バンドギャップ基準電源
回路６は、図１と同様に、温度電流発生回路２１と、電
流複製回路２２と、基準電圧発生回路２３，２４とから
構成されている。温度電流発生回路２１は、電流の大き
さが絶対温度に比例する温度電流ＩTを発生させるとと
もに、電流複製回路２２を用いて複製した温度電流を２
つの基準電圧発生回路２３と基準電圧発生回路２４に供
給し、２つの内部基準電圧ＥＳ及びＶINTを発生する。
性調整回路４の内部基準電圧ＥＳ及びＶＣＯ回路７の内
部基準電圧ＶINTを発生する。バンドギャップ基準電源
回路６は、図１と同様に、温度電流発生回路２１と、電
流複製回路２２と、基準電圧発生回路２３，２４とから
構成されている。温度電流発生回路２１は、電流の大き
さが絶対温度に比例する温度電流ＩTを発生させるとと
もに、電流複製回路２２を用いて複製した温度電流を２
つの基準電圧発生回路２３と基準電圧発生回路２４に供
給し、２つの内部基準電圧ＥＳ及びＶINTを発生する。
【００３０】基準電圧発生回路２３，２４は、図示する
ように、ダイオード若しくはトランジスタと抵抗より構
成し、ダイオード接続の順方向電圧効果電圧ＶFの温特
が温度変化に対して負であるので、温度に比例する電流
を通電された抵抗の電圧降下と加算すると、温度変化を
相殺することができ、抵抗値を選定することにより温度
が変化しても出力電圧が変化しない基準電圧を発生させ
ることができる。
ように、ダイオード若しくはトランジスタと抵抗より構
成し、ダイオード接続の順方向電圧効果電圧ＶFの温特
が温度変化に対して負であるので、温度に比例する電流
を通電された抵抗の電圧降下と加算すると、温度変化を
相殺することができ、抵抗値を選定することにより温度
が変化しても出力電圧が変化しない基準電圧を発生させ
ることができる。
【００３１】以上説明したように、本実施形態において
は、基準電源回路を２つ集積するよりも、ＩＣの端子数
を、少なくして、独立に特性の設定が可能な、精度の良
いバンドギャップ基準電源回路を複数構成することがで
きる。
は、基準電源回路を２つ集積するよりも、ＩＣの端子数
を、少なくして、独立に特性の設定が可能な、精度の良
いバンドギャップ基準電源回路を複数構成することがで
きる。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、内部基準電源回路を複
数必要とする流量計において、ＩＣの端子数を少なくし
て内部基準電圧の精度を向上させることができる。
数必要とする流量計において、ＩＣの端子数を少なくし
て内部基準電圧の精度を向上させることができる。
【図１】本発明の第１の実施形態による空気流量計の構
成を示す回路図である。
成を示す回路図である。
【図２】本発明の第２の実施形態による空気流量計の構
成を示す回路図である。
成を示す回路図である。
【図３】本発明の第３の実施形態による空気流量計の構
成を示す回路図である。
成を示す回路図である。
１…発熱抵抗体
２…定温度制御回路
３…流量検出回路
４…出力特性調整回路
５…乗算回路
６…バンドギャップ基準電源回路
７…ＶＣＯ回路
２１…温度電流発生回路
２２…電流複製回路
２３，２４…基準電圧発生回路
２５，２６，２８，２９，３２，３３…トランジスタ
２７，３１，３５…外付抵抗
３６…ボルテージホロワ
３７，３８，３９，４０，５０…ＩＣ接続端子
Claims (2)
- 【請求項１】流量検出手段により検出した流量信号の特
性を第１の内部基準電圧を用いて調整して流量特性信号
を出力する特性調整回路と、この特性調整回路が出力す
る流量特性信号を第２の内部基準電圧に基づいてレシオ
メトリック出力若しくは周波数出力に変換する変換回路
と、上記第１及び第２の内部基準電圧を発生する基準電
源回路とを有する空気流量計において、 上記内部基準電源回路は、 温度に比例する電流を発生する温度電流発生回路と、 この温度電流発生回路の電流を複製するカレントミラー
回路と、 このカレントミラー回路によって複製された電流を通電
し、上記第１の基準電圧を発生する第１の基準電圧発生
回路と、 上記カレントミラー回路によって複製された別の電流を
通電し、上記第２の基準電圧を発生する第２の基準電圧
発生回路とを備えたことを特徴とする空気流量計。 - 【請求項２】請求項１記載の空気流量計において、 上記温度電流発生回路を構成する抵抗として厚膜抵抗を
用い、上記第１の基準電圧発生回路及び第２の基準電圧
発生回路を構成する抵抗として、それぞれ、モノリシッ
ク抵抗と厚膜抵抗を用いたことを特徴とする空気流量
計。
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