JP3463269B2 - Mosfet回路 - Google Patents

Mosfet回路

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JP3463269B2
JP3463269B2 JP09885996A JP9885996A JP3463269B2 JP 3463269 B2 JP3463269 B2 JP 3463269B2 JP 09885996 A JP09885996 A JP 09885996A JP 9885996 A JP9885996 A JP 9885996A JP 3463269 B2 JP3463269 B2 JP 3463269B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、低電圧から高電圧
までの広い電源電圧範囲において、高速動作および低消
費電力を実現できるMOSFETに係り、特に、SOI
(Silicon On Insulator)集積回路に好適なMOSFE
T、およびそれを用いたCMOS論理回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の低電圧のCMOS論理回路とし
て、特開平6−29834号に記載されている回路があ
る。このCMOS論理回路は、図1に示すように、低し
きい値電圧(例えば、0.2V)と高しきい値電圧(例
えば、0.6V)の複数のMOSFETを用いることに
より、乾電池電源(約1V)で動作可能としたものであ
る。すなわち、遮断時のリーク電流は多くなるが高速動
作が可能な低しきい値電圧のMOSFETと、動作速度
は遅いが遮断時のリーク電流が小さくなる高しきい値電
圧のMOSFETを巧みに組み合せた回路である。
【0003】具体的には、高電位電源(VDD)線1、
低電位電源(VSS)線2(通常では接地電位となるの
で、図1では接地している。)に加えて、高電位疑似電
源(VDDv)線41、低電位疑似電源(VDDs)線
51を設け、その両疑似電源線41,51の間に、低し
きい値電圧のpチャネル型MOSFET・M11やnチ
ャネル型MOSFET・M12等で構成した低しきい値
CMOS論理回路群3を接続し、高電位疑似電源線41
と高電位電源線1との間に高しきい値電圧のpチャネル
MOSFET・M13を接続し、さらに低電位疑似電源
線51と低電位電源線2との間に高しき値電圧のnチャ
ネル型MOSFET・M14を接続して構成したもので
ある。4はMOSFET・M13と高電位疑似電源線4
1からなる高電位側電源制御回路、5はMOSFET・
M14と低電位疑似電源線51とからなる低電位側電源
制御回路である。
【0004】この回路では、CMOS論理回路群3の論
理回路が低しきい値電圧のMOSFET・M11,M1
2等で構成されているので、低電源電圧でも高速動作を
実現する。また、その低しきい値電圧のCMOS論理回
路群3に電流を供給する経路に高しきい値電圧のpチャ
ネル型MOSFET・M13と高しきい値電圧のnチャ
ネル型MOSFET・M14を設けることにより、待機
時(スリープ信号SLが「H」レベルであるとき)のC
MOS論理回路群3のリーク電流を削減し省電力化を図
っている。なお、*SLはスリープ信号SLの反転信号
である。
【0005】さらに、特願平6−334640号で提案
された回路は、上記説明した図1に示した回路を改良し
たものであり、図2に示すように、高電位側、低電位側
の電源制御回路4,5を構成するMOSFET・M1
3,M14のバックゲート電極(基板)端子をゲート端
子に接続したものである。
【0006】バックゲート端子をゲート端子に接続する
ことによって可変しきい値電圧のMOSFETが実現さ
れる。これは、バックゲート効果(MOSFETにおい
て、バックゲートに電圧を印加すると、しきい値電圧が
変化する現象)により、動作時のMOSFET・M1
3、M14のしきい値電圧が小さくなるためである。こ
のため、この図2に示す回路では、電源電圧のさらなる
低電圧が可能となる。
【0007】これらの回路では、低しきい値のCMOS
論理回路群3に対して、高電位電源側と低電位電源側の
両方に疑似電源線41,51、および高しきい値電圧の
MOSFET・M13,M14を設けているが、高電位
電源側または低電圧電源側の一方のみに疑似電源線や高
しきい値電圧のMOSFETを設ける構成もとられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、同一集積回
路を低電圧電源ばかりでなく、広範囲の電源電圧で使用
する場合がある。例えば、上記した1V以下の低電圧か
ら3Vないし5Vまで使用する場合がある。
【0009】図2に示した回路のうち、制御用の高しき
い値電圧のnチャネル型MOSFET・M14について
考える。以下の説明は他方のMOSFET・M13につ
いても同様である。nチャネル型のMOSFET・M1
4では、そのバックゲート領域(バルクMOS構造にお
ける基板またはウエル)部分がp型半導体であることか
ら、バックゲート領域とソースSの間に寄生ダイオード
D3が構成され、図2に示したMOSFET・M14
(図3(A))の等価回路は、図3(B)に示すような
回路になる。
【0010】ここで、そのMOSFET・M14のゲー
ト・ソース間電圧Vgsが大きくなり、その電圧Vgs
が寄生ダイオードD3の順方向電圧Vf(順方向に電圧
を印加し、これを上昇させたとき電流が流れ出すときの
電圧で、約0.8V)を越えたとき、その寄生ダイオー
ドD3が導通する。このため、ゲート端子→バックゲー
ト端子→寄生ダイオードD3の経路ができ、ゲート電流
が著しく増大する。
【0011】したがって、図2の制御用のMOSFET
・M14がオン状態のとき、*SL=Vgs=VDD
(電源電圧)であるから、本回路はVDD≧Vfでは低
しきい値CMOS論理回路群3への電流供給ができな
い。
【0012】一方、図4は、MOSFETのしきい値電
圧に近い1V以下の電源電圧で高速動作させることがで
きるCMOS回路の例を示す。これは、T. Andoh, et.
al.,“Design Methodology for Low-Voltage MOSFET
s”, IEDM Technical Digest, pp.79-82, 1994 による
ものである。
【0013】図4の回路はpチャネルMOSFET・M
3とnチャネルMOSFET・M4から構成したCMO
Sインバータであるが、それぞれのMOSFET・M
3,M4のゲート端子とバックゲート端子とを共通接続
したものである。14は信号入力端子、15は信号出力
端子である。
【0014】pチャネルMOSFET・M3について
は、信号入力端子14に接続されるゲート端子がロウレ
ベル電圧(接地電圧に等しい)となった場合、そのゲー
ト端子に接続されたバックゲート端子の電圧も低下し、
バックゲート領域(n型半導体)とソース領域(p型半
導体)との間が順方向にバイアスされる。
【0015】nチャネルMOSFET・M4について
は、信号入力端子4に接続されるゲート端子がハイレベ
ル電圧(電源電圧VDDに等しい)となった場合、その
ゲート端子に接続されたバックゲート端子の電圧も上昇
し、バックゲート領域(p型半導体)とソース領域(n
型半導体)の間が順方向にバイアスされる。
【0016】MOSFETにおいては、pチャネル型で
もnチャネル型でも、バックゲート領域とソース領域と
が順方向バイアスされた場合、バックゲート領域の空乏
層幅が小さくなる。MOSFETのしきい値電圧は、ゲ
ート容量COXと空乏層の電荷密度QB との比で決まり、
空乏層幅が小さくなるほどQB が小さくなるため、しき
い値電圧が小さくなる。pチャネルではしきい値電圧の
絶対値が小さくなる。
【0017】このため、図4に示したCMOSインバー
タでは、信号入力端子14がハイレベル電圧となったと
き、すなわちnチャネルMOSFET・M4がオン状態
となったとき、そのnチャネルトランジスタM4のみの
しきい値電圧が小さくなり、ロウレベル電圧になったと
き、すなわちpチャネルMOSFET・M3がオン状態
のとき、そのpチャネルMOSFET・M3のみのしき
い値電圧が小さくなる。しきい値電圧が小さくなると、
一層電流駆動能力が増加するので、元のしきい値電圧に
近い1V以下の電源電圧でも、高速動作を行うことがで
きるのである。
【0018】しかしながら、この図4に示した回路は、
次のような問題がある。図4のCMOSインバータを3
段チェーン接続した図5に示す回路について考える。ロ
ウレベル電圧(L)、ハイレベル電圧(H)が図5に示
すような状態になっているとすると、#3のインバータ
の入力端子がロウレベルになっており、これをゲートと
するpチャネルMOSFET・M33についてゲート端
子は接地電位に等しく、ソース端子は電源電圧VDDに
等しい。
【0019】したがって、そのpチャネルMOSFET
・M33に、ソース端子(p型半導体)をアノード、バ
ックゲート端子(n型半導体)をカソードとする順方向
寄生ダイオードがそこに生じる。一方、前段の#2のイ
ンバータのnチャネルMOSFET・M42はゲート電
圧が電源電圧VDDとなるため、オン状態となってい
る。
【0020】したがって、図5の破線で示すように、電
源端子→オンしたpチャネルMOSFET・M33のソ
ース(p型半導体)→同トランジスタM33のバックゲ
ート端子(n型半導体)→オンしたnチャネルMOSF
ET・M42のドレイン→同トランジスタM42のソー
ス→接地という経路で、電源端子から接地端子へ通じる
短絡電流が発生する。
【0021】同様にして、電源端子→オンしたpチャネ
ルMOSFET・M31のソース→同トランジスタM3
1のドレイン→オンしたnチャネルMOSFET・M4
2のバックゲート端子(p型半導体)→同トランジスタ
M42のソース(n型半導体)→接地という経路で、短
絡電流が発生する。
【0022】pn接合ダイオードの順方向電流は印加電
圧に応じて指数関数的に増大するため、順方向電流が急
速に増大する順方向電圧Vf(例えば、0.8V)以上
の電源電圧に対しては、図5に示した構成のCMOS回
路では著しいリーク電流を生じて回路が動作しなくな
る。よって、図5に示す回路は、使用する電源電圧の値
が上記した順方向電圧Vf以下に制限されるという問題
がある。
【0023】本発明は以上のような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、回路の電源電圧が、ソース領域と
バックゲート領域との間に寄生する寄生ダイオードの順
方向電圧以下でも、以上でもその寄生ダイオードに大電
流を流すことがなく、上記した問題を解決したMOSF
ET回路を提供することである。
【0024】また、広い電源電圧範囲において高速動作
と低消費電力を実現したCMOS回路を提供することで
ある。
【0025】
【課題を解決するための手段】本発明は、第1のしきい
値電圧を有する第1のMOSFETと、前記第1のしき
い値電圧以下の第2のしきい値電圧を有する第2のMO
SFETであって、そのゲート電極および第1の主電流
電極が、前記第1のMOSFETのバックゲート電極に
接続され、第2の主電流電極が外部から供給される信号
に接続された第2のMOSFETとを具備することを特
徴とする。
【0026】上記MOSFET回路において、前記第1
の主電流電極は、ソース電極であり、前記第2の主電流
電極は、ドレイン電極であることを特徴とする。
【0027】上記MOSFET回路において、前記第1
のMOSFETのゲート電極と、前記第2のMOSFE
Tの第2の主電流電極とが接続されたことを特徴とす
る。
【0028】上記MOSFET回路において、前記第2
のしきい値電圧は、前記第1のしきい値電圧より低いこ
とを特徴とする。
【0029】上記MOSFET回路において、前記第2
のしきい値電圧は、前記第1のしきい値電圧と等しいこ
とを特徴とする。
【0030】本発明は、直列接続された負荷トランジス
タおよび駆動トランジスタを有するCMOS論理回路に
おいて、前記駆動トランジスタおよび前記負荷トランジ
スタの一方は、第1のMOSFET回路を備え、該第1
のMOSFET回路は、第1のしきい値電圧を有する第
1のMOSFETであって、前記駆動トランジスタおよ
び前記負荷トランジスタの他方と直列接続された第1の
MOSFETと、前記第1のしきい値電圧より低い第2
のしきい値電圧を有し、そのゲート電極および第1の主
電流電極が、前記第1のMOSFETのバックゲート電
極に接続され、第2の主電流電極が前記第1のMOSF
ETのゲート電極に接続された第2のMOSFETとを
具備することを特徴とする。
【0031】上記論理回路において、前記駆動トランジ
スタおよび負荷トランジスタの他方はMOSFETであ
り、前記CMOS論理回路はCMOSインバータである
ことを特徴とする。
【0032】上記CMOS論理回路において、前記負荷
トランジスタは直列接続されたM個(Mは1より大きい
整数)のMOSFETを有し、前記駆動トランジスタは
並列接続されたM個の前記第1のMOSFET回路を有
し、前記CMOS論理回路は、NOR回路であることを
特徴とする。
【0033】上記CMOS論理回路において、前記負荷
トランジスタは、並列接続されたM個(Mは1より大き
い整数)のMOSFETを有し、前記駆動トランジスタ
は、直列接続されたM個の前記第1のMOSFET回路
を有し、前記CMOS論理回路は、NAND回路である
ことを特徴とする。
【0034】上記CMOS論理回路において、駆動トラ
ンジスタおよび負荷トランジスタの他方は、第2のMO
SFET回路を有し、該第2のMOSFET回路は、第
3のしきい値電圧を有する第3のMOSFETであっ
て、前記第1のMOSFET回路と直列接続された第3
のMOSFETと、前記第3のしきい値電圧より低い第
4のしきい値電圧を有する第4のMOSFETであっ
て、そのゲート電極および第1の主電流電極が、前記第
3のMOSFETのバックゲート電極に接続され、第2
の主電流電極が前記第3のMOSFETのゲート電極に
接続された第4のMOSFETとを具備することを特徴
とする。
【0035】上記CMOS論理回路は、CMOSインバ
ータであることを特徴とする。
【0036】上記CMOS論理回路において、前記駆動
トランジスタは、並列接続されたM個(Mは1より大き
い整数)の前記MOSFET回路を含み、前記負荷トラ
ンジスタは、直列接続されたM個の前記第2のMOSF
ET回路を含み、前記CMOS論理回路はNOR回路で
あることを特徴とする。
【0037】上記CMOS論理回路において、前記駆動
トランジスタは、直列接続されたM個(Mは1より大き
い整数)の第1のMOSFET回路を含み、前記負荷ト
ランジスタは、並列接続されたM個の第2のMOSFE
T回路を含み、前記CMOS論理回路はNAND回路で
あることを特徴とするCMOS論理回路。
【0038】本発明は、交互に縦続接続された第1のC
MOSインバータと第2のCMOSインバータとを有す
るバッファ回路において、前記第1のCMOSインバー
タの負荷トランジスタは、第1のしきい値電圧を有する
第1のMOSFETであって、前記第1のCMOSイン
バータの駆動トランジスタと直列接続された第1のMO
SFETと、前記第1のしきい値電圧よりも低い第2の
しきい値電圧を有する第2のMOSFETであって、そ
のゲート電極および第1の主電流電極が、前記第1のM
OSFETのバックゲートに接続され、第2の主電流電
極が前記第1のMOSFETのゲート電極に接続された
第2のMOSFETとを具備し、前記第2のCMOSイ
ンバータの駆動トランジスタは、第3のしきい値電圧を
有する第3のMOSFETであって、前記第2のCMO
Sインバータの負荷トランジスタと直列接続された第3
のMOSFETと、前記第3のしきい値電圧よりも低い
第4のしきい値電圧を有する第4のMOSFETであっ
て、そのゲート電極および第1の主電流電極が、前記第
3のMOSFETのバックゲート電極に接続され、第2
の主電流電極が前記第3のMOSFETのゲート電極に
接続された第4のMOSFETとを具備することを特徴
とする。
【0039】本発明は、第1のしきい値電圧より低いし
きい値電圧を有するMOSFETを含む低しきい値CM
OS論理回路と、この低しきい値CMOS論理回路の電
力供給端と電源との間に接続された少なくとも1つのス
イッチ回路とを有するCMOS論理回路において、前記
スイッチ回路は、前記第1のしきい値電圧を有する第1
のMOSFETであって、前記電源と前記低しきい値C
MOS論理回路の電力供給端との間に接続された第1の
MOSFETと、前記第1のしきい値電圧よりも低い第
2のしきい値電圧を有する第2のMOSFETであっ
て、そのゲート電極および第1の主電流電極が、前記第
1のMOSFETのバックゲート電極に接続され、第2
の主電流電極が前記第1のMOSFETのゲート電極に
接続された第2のMOSFETとを具備することを特徴
とする。
【0040】上記CMOS論理回路において、前記スイ
ッチ回路は、前記電源の高電位端子と前記低しきい値C
MOS論理回路の高電位電力供給端との間に接続された
ことを特徴とする。
【0041】上記CMOS論理回路において、前記スイ
ッチ回路は、前記電源の低電位端子と前記低しきい値C
MOS論理回路の低電位電力供給端との間に接続された
ことを特徴とする。
【0042】上記CMOS論理回路において、前記スイ
ッチ回路は、さらに、前記電源の低電位端子と前記低し
きい値CMOS論理回路の低電位電力供給端との間に接
続されたことを特徴とするCMOS論理回路。
【0043】本発明は、CMOS論理回路は、外部から
のスリープ信号によって、スリープ状態あるいは動作状
態に切り替えられるCMOS論理回路であって、その非
反転スリープ信号入力端に接続された第1のバッファ
と、反転スリープ信号入力端に接続された第2のバッフ
ァとを、さらに具備し、前記第1のバッファは、交互に
縦続接続された第1のCMOSインバータと第2のCM
OSインバータとを有し、前記第1のCMOSインバー
タの負荷トランジスタは、前記第1のしきい値電圧を有
する第1のMOSFETであって、前記第1のCMOS
インバータの駆動トランジスタと直列接続された第1の
MOSFETと、前記第1のしきい値電圧よりも低い第
2のしきい値電圧を有する第2のMOSFETであっ
て、そのゲート電極および第1の主電流電極が、前記第
1のMOSFETのバックゲート電極に接続され、第2
の主電流電極が前記第1のMOSFETのゲート電極に
接続された第2のMOSFETとを具備し、前記第2の
CMOSインバータの駆動トランジスタは、第3のしき
い値電圧を有する第3のMOSFETであって、前記第
2のCMOSインバータの負荷トランジスタと直列接続
された第3のMOSFETと、前記第3のしきい値電圧
よりも低い第4しきい値電圧を有する第4のMOSFE
Tであって、そのゲート電極および第1の主電流電極
が、前記第3のMOSFETのバックゲート電極に接続
され、第2の主電流電極が前記第3のMOSFETのゲ
ート電極に接続された第4のMOSFETとを具備し、
前記第2のバッファは、交互に縦続接続された前記第2
のCMOSインバータと前記第1のCMOSインバータ
とを具備することを特徴とするCMOS論理回路。
【0044】本発明は、CMOS論理回路は、外部から
のスリープ信号によって、スリープ状態あるいは動作状
態に切り替えられるCMOS論理回路であって、その非
反転スリープ信号入力端に接続されたバッファを、さら
に具備し、前記バッファは、交互に縦続接続された第1
のCMOSインバータと第2のCMOSインバータとを
有し、前記第1のCMOSインバータの負荷トランジス
タは、前記第1のしきい値電圧を有する第1のMOSF
ETであって、前記第1のCMOSインバータの駆動ト
ランジスタと直列接続された第1のMOSFETと、前
記第1のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧を
有する第2のMOSFETであって、そのゲート電極お
よび第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETのバ
ックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記第
1のMOSFETのゲート電極に接続された第2のMO
SFETとを具備し、前記第2のCMOSインバータの
駆動トランジスタは、第3のしきい値電圧を有する第3
のMOSFETであって、前記第2のCMOSインバー
タの負荷トランジスタと直列接続された第3のMOSF
ETと、前記第3のしきい値電圧よりも低い第4のしき
い値電圧を有する第4のMOSFETであって、そのゲ
ート電極および第1の主電流電極が、前記第3のMOS
FETのバックゲート電極に接続され、第2の主電流電
極が前記第3のMOSFETのゲート電極に接続された
第4のMOSFETとを具備することを特徴とする。
【0045】本発明は、CMOS論理回路は、外部から
のスリープ信号によって、スリープ状態あるいは動作状
態に切り替えられるCMOS論理回路であって、その反
転スリープ信号入力端に接続されたバッファを、さらに
具備し、前記バッファは、交互に縦続接続された第1の
CMOSインバータと第2のCMOSインバータとを有
し、前記第1のCMOSインバータの駆動トランジスタ
は、第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETで
あって、前記第1のCMOSインバータの負荷トランジ
スタと直列接続された第1のMOSFETと、前記第1
のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧を有する
第2のMOSFETであって、そのゲート電極および第
1の主電流電極が、前記第1のMOSFETのバックゲ
ート電極に接続され、第2の主電流電極が前記第1のM
OSFETのゲート電極に接続された第2のMOSFE
Tとを具備し、前記第2のCMOSインバータの負荷ト
ランジスタは、第3のしきい値電圧を有する第3のMO
SFETであって、前記第2のCMOSインバータの駆
動トランジスタと直列接続された第3のMOSFET
と、前記第3のしきい値電圧よりも低い第4のしきい値
電圧を有する第4のMOSFETであって、そのゲート
電極および第1の主電流電極が、前記第3のMOSFE
Tのバックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が
前記第3のMOSFETのゲート電極に接続された第4
のMOSFETとを具備することを特徴とする。
【0046】本発明は、M(Mは1以上の整数)組の駆
動トランジスタおよび負荷トランジスタを含み、外部か
らの制御信号に応答して、動作状態を切り替える内部C
MOS論理回路と、前記駆動トランジスタおよび前記負
荷トランジスタの一方を構成する第1のMOSFET回
路に共通接続された第1のMOSFETであって、ゲー
ト電極と第1の主電流電極とが前記第1のMOSFET
回路のバックゲート電極に接続され、第2の主電流電極
が前記制御信号に接続された、前記第1のMOSFET
回路と同じチャネル型の第1のMOSFETとを具備す
ることを特徴とするCMOS論理回路。
【0047】上記CMOS論理回路は、さらに、前記駆
動トランジスタおよび前記負荷トランジスタの他方を構
成する第2のMOSFET回路に共通接続された第2の
MOSFETであって、ゲート電極と第1の主電流電極
とが前記第2のMOSFET回路のバックゲート電極に
接続され、第2の主電流電極が前記制御信号の反転信号
に接続された、前記第2のMOSFET回路と同じチャ
ネル型の第2のMOSFETを具備することを特徴とす
るCMOS論理回路。
【0048】上記CMOS論理回路において、前記第1
および第2のMOSFETのしきい値電圧が、前記内部
CMOS論理回路に含まれるMOSFETのしきい値電
圧よりも小さいことを特徴とする。
【0049】上記内部CMOS論理回路は、1またはそ
れ以上のCMOSインバータを含むことを特徴とする。
【0050】上記内部CMOS論理回路は、トランスフ
ァゲートを含むことを特徴とする。
【0051】上記内部CMOS論理回路は、メモリセル
を含み、前記制御信号は、ワード線信号であることを特
徴とする。
【0052】上記CMOS論理回路において、前記制御
信号は、前記内部CMOS論理回路を、スリープ状態ま
たは動作状態に切り替えるスリープ信号であることをと
特徴とする。
【0053】上記CMOS論理回路の各MOSFET
は、SOI(Semiconductor On Insulator)基板上に形成
したSOIFETであることを特徴とする。
【0054】上記CMOS論理回路において、低しきい
値MOSFETのボディ部が完全空乏状態となるよう
に、前記ボディ部の不純物濃度を調整したことを特徴と
する。上記CMOS論理回路において、高しきい値MO
SFETのボディ部が部分空乏状態となるように、前記
ボディ部の不純物濃度を調整したことを特徴とする。
【0055】本発明によれば、第1のMOSFETのゲ
ート端子とバックゲート端子との間に接続された第2の
MOSFETが逆方向ダイオードとして機能して、ゲー
ト端子からバックゲート端子方向へ流れる電流が阻止さ
れる。この結果、電源電圧が第1のMOSFETのソー
ス端子とバックゲート端子との間に寄生する寄生ダイオ
ードの順方向電圧Vfを越えても、寄生ダイオードに大
電流を流すことはなく高い電源電圧を使用できる。ま
た、第1のMOSFETは可変しきい値電圧となり、オ
ン状態でのしきい値電圧が低くなって高速動作が可能と
なる。以上から電源電圧範囲が広い、高速なMOSFE
Tを提供することができる。
【0056】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)図6(A)および(B)は本発明
の第1の実施の形態を示すMOSFET回路である。ま
ず、図6(A)は高しきい値電圧のnチャネル型MOS
FET・M1と、そのMOSFET・M1のゲート端子
Gにドレイン端子Dが、バックゲート端子(基板)にソ
ース端子Sおよびゲート端子Gが接続される低しきい値
電圧のnチャネル型MOSFET・M2とで構成したn
チャネル型MOSFET回路112である。
【0057】また、図6(B)は高しきい値電圧のpチ
ャネル型MOSFET・M3と、そのMOSFET・M
3のゲート端子Gにドレイン端子Dが、バックゲート端
子にソース端子Sおよびゲート端子Gが接続される低し
きい値電圧のpチャネル型MOSFET・M4とで構成
したpチャネル型MOSFET回路111である。
【0058】上記した低しきい値電圧のMOSFET・
M2,M4のチャネル幅については、高しきい値電圧の
MOSFET・M1,M3のチャネル幅の1/100程
度あればよい。これは、以下に説明するように、単にダ
イオードとして機能すればよいからである。また、極め
て小面積であるから、MOSFET・M2,M4を付加
することによるチップ面積の増大は極めて少ない。
【0059】図6(A)に示したnチャネル型MOSF
ET回路112では、これを、図7(A)に示すよう
に、ドレイン端子Dに電源電圧VDDを印加し、ゲート
端子Gに入力電圧Vinを印加し、ソース端子Sを接地
したとき、図7(B)に示すような等価回路となる。
【0060】前述したように、エンハンスメントのnチ
ャネル型のMOSFETでは、そのバックゲート領域が
p型半導体であることから、高しきい値電圧のトランジ
スタM1のバックゲート端子とソース端子Sの間に寄生
ダイオードD3が構成される。また、低しきい値電圧の
トランジスタM2はドレインD(またはソースS)とゲ
ート端子G側をアノード、ソース端子S(またはドレイ
ン端子D)側をカソードとして働くダイオードD1とし
て機能する。
【0061】ダイオードD3の順方向電圧Vfは約0.
8Vであり、低しきい値電圧のMOSFET・M2によ
るダイオードD1のVfはそのトランジスタM2のしき
い値電圧(約0.2V)である。
【0062】次に、このMOSFET回路112の動作
を説明する。
【0063】(1)入力電圧Vin(Vgs)=VDD
のとき 本回路112はオン状態となる。このときは、図7
(C)に示すような回路になり、ダイオードD3の順方
向電流i3は、ダイオードD1のリーク電流によって規
制される。すなわち、図8に示すように、ダイオードD
3のアノード電位Vbは、ダイオードD1の暗電流によ
って限定され、0.8V以上に昇ることはできない。す
なわち、バックゲート端子の電圧Vbは正となるが、ダ
イオードD1の暗電流によってクランプされるため、ダ
イオードD3のVfを越えることはなく、0<Vb≦
0.8Vである。このようにバックゲート端子の電圧V
bが正であるから、高しきい値電圧のMOSFET・M
1のしきい値電圧が小さくなるようにバックゲート効果
が働く。したがって、オン抵抗は低下する。
【0064】また、ゲート端子からバックゲート端子へ
の電流は逆方向接続されたダイオードD1で阻止される
ので、VDD>0.8Vとしたとき、ダイオードD3が
オンすることによる、MOSFET・M1のゲート端子
G→バックゲード端子→ソース端子3の経路を流れる大
電流が発生することはない。
【0065】(2)入力電圧Vin(Vgs)=0のと
き 本回路112はオフ状態となる。このときは、等価的に
図7(D)に示すような回路になり、ダイオードD1お
よびダイオードD2の双方ともオフとなって、バックゲ
ート端子の電圧Vb=0となる。したがって、高しきい
値電圧のMOSFET・M1はバックゲート効果が生じ
ないので、そのしきい値電圧は高くなる。
【0066】以上のことから、VDD>0.8Vの電源
電圧でも、MOSFET・M1を可変バイアス化、つま
り入力電圧Vin=0のとき高しきい値電圧、Vin=
VDDのとき低しきい値電圧となる可変しきい値を実現
できる。
【0067】図9(A)および(B)はSOI型集積回
路上に図6(A)に示したnチャネルMOSFET回路
112を構成した実施の形態を示す図である。この図9
(A)は平面図、図9(B)は(A)のA−A断面図で
ある。高しきい値電圧のnチャネルMOSFET・M1
の21はドレイン、22はソース、23はゲート、24
はゲート23の下方のボディ部、25はバックゲート端
子である。ボディ部とはSOI構造のMOSFETにお
けるp型領域(nチャネルMOSFETの場合)、また
はn型領域(pチャネルMOSFETの場合)のことで
あり、バルク構造におけるバックゲート領域に相当する
ものである。低しきい値電圧のnチャネルMOSFET
・M2の26はソース、27はドレイン、28はゲー
ト、29はゲート28の下方のボディ部である。30は
配線、31はシリコン基板、32は埋込み酸化膜、33
はコンタクトホールである。
【0068】高しきい値電圧のMOSFET・M1のボ
ディ部24は、バックゲート端子25から低しきい値電
圧MOSFET・M2のゲート28やソース26に配線
30で接続されるが、低しきい値電圧のMOSFET・
M2のボディ部29はフローティングとし、バックゲー
ト端子には接続しない。SOI型構造のMOSFETで
は、バルク構造のものと異なって、各MOSFET独立
にウエルを設けなくても、ボディ部をフローティングに
できるという特徴がある。
【0069】このようにしてボディ部をフローティング
状態にすると、ボディ部の電位が上昇してしきい値電圧
が低下する。したがって、SOI型構造のMOSFET
では、プロセス上で特別なしきい値調整用マスクを使用
しなくても、ボディ部へのバイアスの有無によって、高
しきい値のMOSFETと低しきい値のMOSFETを
実現できる。
【0070】これとは独立に、ボディ部の不純物濃度を
調整すれば、そのFETのしきい値電圧を、高い精度で
調整できる。図10は、この関係を示す。すなわち、不
純物濃度を減らすと、空乏層幅Wが増加し、チャネルを
形成するのに必要な電圧が低下し、しきい値電圧が低下
する。
【0071】図11(A)は、不純物濃度を減少して、
空乏層幅Wを広げ、ボディ部24Aを完全空乏層とした
状態を示す。この状態では、しきい値電圧が低くなる。
一方、図11(B)は、不純物濃度を増加して、空乏層
幅Wを減らし、ボディ部24Bを部分空乏層とした状態
を示す。この状態では、しきい値電圧が高くなる。
【0072】したがって、低しきい値電圧MOSFET
・M2のボディ部29は、図11(A)に示す完全空乏
状態とし、高しきい値電圧MOSFET・M1のボディ
部24は、図11Bに示す部分空乏状態とする。低しき
い値電圧のMOSFET・M2を完全空乏型とすること
によって、その相互インダクタンスの上昇、あるいはゲ
ート容量の低減によって、速度性能が急激に向上する。
【0073】図12は、図6(A)に示すnチャネル型
MOSFETをバルク構造で実現したもである。バルク
型MOSFETは、p型シリコン基板中に、n+ 埋込み
層およびpウエルを形成し、このpウエルの中に、MO
SFET・M1およびM2のバックゲート領域を形成し
ている。
【0074】図13(A)〜(D)は、本実施の形態の
実験結果を示すグラフであり、図13(A)および
(B)は、従来のMOSFETの構成、およびその電流
特性をそれぞれ示し、図13(C)および(D)は、本
発明によるMOSFETの構成、およびその電流特性を
それぞれ示している。
【0075】図13(A)および(B)に示すように、
ゲート端子とバックゲート端子を直接接続した従来のn
チャネルMOSFET・Maにおいては、バックゲート
電位が電源電圧VDDの上昇に比例して上昇し、リーク
電流Ileakが指数関数的に増加する。一方、図13
(C)および(D)に示すように、nチャネルMOSF
ET・Maのゲート端子とバックゲート端子とを、ゲー
ト・ソースを共通接続した整流用の低しきい値のnチャ
ネルMOSFET・Mbを介して接続した本発明の回路
では、整流用のMOSFET・Mbが逆方向バイアアス
されるため電流の増加を阻止でき、リーク電流の上昇を
抑制できる。電源電圧が1Vの場合、本発明の回路構成
では、従来の回路構成に比べてこのリーク電流を4桁以
上削減できる。
【0076】図14(A)および(B)は、本実施の形
態の変形例を示す回路図である。図14(A)のMOS
FETは、図6(A)のMOSFETのゲート端子の他
に、制御端子を設け、MOSFET・M1のゲート電極
をゲート端子に接続し、MOSFET・M2のゲートを
制御端子に接続している。このように、ゲート端子と制
御端子とを分離することによって、外部からの制御信号
によって、MOSFET・M1の動作状態を制御するこ
とができる。その実例については後述する。
【0077】(第2の実施の形態)図15(A)および
(B)は、本発明の第2の実施の形態を示すCMOSイ
ンバータ回路122,121の回路図である。図15
(A)は、pチャネル型の低しきい値電圧MOSFET
・M5を負荷トランジスタとし、図6(A)に示したn
チャネル型MOSFET回路112を駆動トランジスタ
としたCMOSインバータ回路122を示している。ま
た、図15(B)は、図6(B)に示したpチャネル型
MOSFET回路111を負荷トランジスタとし、nチ
ャネル型の定しきい値電圧のMOSFET・M6を駆動
トランジスタとしたCMOSインバータ回路121を示
している。
【0078】図16(A)および(B)はこの第2の実
施の形態の発展例を示すもので、図16(A)は2入力
NOR回路123を、図16(B)は2入力NAND回
路124を示すものである。この図16(A)は、低し
きい値電圧のpチャネル型MOSFET・M7およびM
8をシリーズ接続して負荷トランジスタとし、図6
(A)に示したnチャネル型のMOSFET回路112
を2個並列接続して駆動トランジスタとした2入力NO
R回路123を示している。また、図16(B)は、低
しきい値電圧のpチャネル型MOSFET・M9および
M10を並列接続して負荷トランジスタとし、図6
(A)に示したnチャネル型のMOSFET回路112
を2個直列接続して駆動トランジスタとした2入力NA
ND回路124を示している。
【0079】以上の第2の実施の形態では、図6(A)
に示したnチャネル型MOSFET回路112および図
6(B)に示したpチャネル型MOSFET回路111
を使用しているので、VDD>0.8Vの電源でも、M
OSFET・M1,M2を可変バイアス化して可変しき
い値電圧を実現でき、低消費電力化を高い電源電圧領域
でも実現できる。
【0080】なお、この図15(A)〜図16(B)に
おいて、低しきい値電圧のMOSFET・M5〜M10
は、高しきい値電圧のMOSFETに置換することがで
きる。
【0081】(第3の実施の形態)図17,図18
(A)および(B)は図6(A)および(B)に示した
MOSFET回路111および112のみを使用して構
成した本発明による第3の実施の形態の回路を示す図で
ある。図17は、nチャネル型MOSFET回路112
を駆動トランジスタとし、pチャネル型MOSFET回
路111を負荷トランジスタとしたCMOSインバータ
回路131を示す。図18(A)はpチャネル型MOS
FET回路111を2個直列接続して負荷トランジスタ
とし、nチャネル型MOSFET回路112を2個並列
接続して駆動トランジスタとした2入力NOR回路13
2を示す。また、図18(B)は、pチャネル型MOS
FET回路111を2個並列接続して負荷トランジスタ
とし、nチャネル型MOSFET回路112を2個直列
接続して駆動トランジスタとした2入力NAND回路1
33を示す。これらの2入力NOR回路132およびN
AND回路133は、前述の図16(A)および(B)
のNOR回路123およびNAND回路124のMOS
FET・M7とM8およびM9とM10をpチャネル型
MOS回路111に置換したものでもある。
【0082】この第3の実施の形態でも、第2の実施の
形態と同様に、VDD>0.8Vの電源でも、MOSF
ETを可変バイアス化して可変しきい値電圧を実現で
き、低消費電力化を高電源電圧領域でも実現できる。こ
のように図15(A)〜図18(B)の構成では、広い
電源電圧範囲にわたって、高速・低消費電力のCMOS
論理回路を実現できる。
【0083】(第4の実施の形態)図19(A)および
(B)は本発明の第4の実施の形態を示す図であり、図
15(A)に示したCMOSインバータ回路122と図
15(B)に示したCMOSインバータ回路121を交
互に4段縦続接続してバッファ回路141,142を構
成したものである。図19(A)と(B)との違いは、
最終段がCMOSインバータ回路121か122かの違
いである。
【0084】前述した図15(A)のインバータ回路1
22では、入力電圧Vinが「H」レベルで出力電圧V
outが「L」レベルのとき、低しきい値電圧のMOS
FET・M5がオフ、図15(B)のインバータ回路1
21では、入力電圧Vinが「L」レベルで出力電圧V
outが「H」レベルのとき、低しきい値電圧のMOS
FET・M6がオフになる。これらの低しきい値電圧M
OSFET・M5,M6がオフする場合、抵抗値が十分
には高くないのでリーク電流が大きくなる。
【0085】一方、図15(A)に示したCMOSイン
バータ回路122では、入力電圧Vinが「L」レベル
で出力電圧Voutが「H」レベルのとき、nチャネル
型MOSFET回路112がオフ、図15(B)に示し
たCMOインバータ回路111では、入力電圧Vinが
「H」レベルで出力電圧Voutが「L」レベルのと
き、pチャネルMOSFET回路111がオフとなる。
これらの回路112,111のオフの抵抗値は十分大き
いので、リーク電流が小さくなる。
【0086】以上のことから、図19(A)のバッファ
回路141は、入出力端子が「H」レベルのときに全て
のゲート回路のリーク電流が小さくなるので、このとき
全体として静止電流が小さくなり、「L」レベルのとき
はこの逆で静止電流が大きくなる。逆に、図19(B)
のバッファ回路142は、入出力端子が「L」レベルの
ときに全てのゲート回路のリーク電流が小さくなるの
で、このとき全体として静止電流が小さくなり、「H」
レベルのときはこの逆で静止電流が大きくなる。
【0087】このように、バッファ回路141および1
42では、2値のうちの特定の論理状態において、デバ
イスのリーク電流によるスリープ時の電流を小さくでき
る。以上は簡単な回路についての例であり、バリエーシ
ョンは多数あり得る。例えば、図15(A)および
(B)に示した回路121および122を交互に4段以
上の偶数段接続して構成したバッファ回路や、奇数段接
続して構成したインバータ回路等である。
【0088】(第5の実施の形態)図20,図21
(A)および(B)は第5の実施の形態を示す回路図で
ある。まず、図20は、図2で説明したCMOS論理回
路の高電位側電源制御回路4を図6(B)に示したpチ
ャネル型MOSFET回路111に置換し、低電位側電
源制御回路5を図6(A)に示したnチャネル型MOS
FET回路112に置換したCMOS論理回路151で
ある。
【0089】このCMOS論理回路151では、電源電
圧VDDが0.8V(正確にはダイオードD3の順方向
電圧Vf)までは、図2と同じ動作となる。電源電圧V
DDが0.8Vを越えると、MOSFET回路112,
111内の高しきい値電圧のMOSFET・M1,M3
のバックゲート電圧が低しきい値電圧のMOSFET・
M2,M4でクランプされるため、ゲート電流の増大が
なく、また動作時のしきい値電圧を低下させて低インピ
ーダンス化が図られ、高速動作の妨げとならない。すな
わち、図2に示した回路のメリットを広い電源電圧範囲
にわたって受けることができる。
【0090】なお、図20のCMOS論理回路151で
は、高電位側、低電位側の両方の電源制御回路に図6
(A)および(B)のMOSFET回路112,111
を用いたが、図21(A)のCMOS論理回路152に
示すように、高電位側にのみpチャネル型MOSFET
回路111を接続し、また図21(B)のCMOS論理
回路153に示すように、低電位側にのみnチャネル型
MOSFET回路112を接続し、電源制御回路を接続
しない側の電源端子を電源VDDまたは接地に接続した
構成をとっても、ほぼ同様の作用効果を得ることができ
ることは明らかである。
【0091】(第6の実施の形態)図22(A)〜
(C)は本発明の第6の実施の形態を示す回路である。
図22(A)は、図20に示したCMOS論理回路15
1のSL信号の入力端子に図19(A)に示したバッフ
ァ回路141を接続し、*SL信号の入力端子に図19
(B)に示したバッファ回路142を接続したものであ
る。図22(B)は図21(A)に示したCMOS論理
回路152のSL信号の入力端子に図19(A)に示し
たバッファ回路141を接続し、図22(C)は図12
(B)に示したCMOS論理回路153の*SL信号の
入力端子に図19(B)に示したバッファ回路142を
接続したものである。
【0092】この図22(A)〜(C)の回路では、S
L信号が「H」レベル、*SL信号が「L」レベル、つ
まり低しきい値電圧のCMOS論理回路群3が待機(ス
リープ)状態のとき、バッファ回路141,142の静
止電流が小さくなる。
【0093】このように、低しきい値電圧のCMOS論
理回路群3が待機状態にあるとき、これらの回路の静止
電流が小さいので、消費電力削減に有効である。特に、
動作時間に対して待機状態となる時間の比率が大きい場
合には、回路全体としての消費電力削減に有効である。
この図22(A)〜(C)に示す回路により、1V以下
から3ないし5Vまでの広範囲の電源電圧で、動作時の
高速化と待機時の低消費電力化を同時に満足できるとい
う大きな利点がある。
【0094】図20〜図22(C)の構成では、広い電
源電圧範囲にわたって高速・低消費電力のマルチスレシ
ョルドCMOS論理回路を実現できる。特に図22
(A)〜(C)の構成では、待機状態でのリーク電流が
小さいので待機状態での消費電力が低減し、動作状態よ
り待機状態の時間が大きい場合に有用である。
【0095】図20、図21(A),(B)、図22
(A)〜(C)の回路を、SOI型のMOSFETで構
成し、CMOS論理回路3を構成する多数の低しきい値
MOSFETのボディ部をフローティング状態とするこ
とも可能である。これによって、バックゲート端子が不
要となる。SOI構造のMOSFETにおいては、バッ
クゲート端子は各MOSFETごとに取り出さねばなら
ず、また図9から分かるようにバックゲート端子はある
程度の面積を必要とするため、回路全体としてバックゲ
ート端子に要するチップ面積は無視できない。このた
め、バックゲート端子が不要になるとチップ面積を大幅
に減少でき、高集積化が可能となる。ボディ部をフロー
ティング状態としたNMOSFET(PMOSFET)
では、ドレインからボディ部へ正孔(電子)が流入し
て、ボディ部の電位が上がる(下がる)。このため、し
きい値電圧が下がり、CMOS論理回路のMOSFET
の低電圧化を図ることができる。
【0096】(第7の実施の形態)図23は本発明の第
7の実施の形態を示すMOSFET回路の回路図であ
る。201は制御信号Cが入力する第1の制御入力端
子、202はその制御信号Cと相補関係にある制御信号
*Cが入力する第2の制御入力端子、203はCMOS
インバータをn段にチェーン接続した内部CMOS回
路、204は信号入力端子、205は信号出力端子であ
る。
【0097】ここでは、内部CMOS回路203の負荷
トランジスタを構成するpチャネルMOSFET・M3
1〜M3nのすべてのバックゲート端子を、ゲートとソ
ースを共通接続したpチャネルMOSFET・M1(第
1の整流用素子)を介して、第1の制御入力端子201
に接続している。同様に、CMOSインバータ群203
の駆動トランジスタを構成するnチャネルMOSFET
・M41〜M4nのすべてのバックゲート端子を、ゲー
トとソースを共通接続したnチャネルMOSFET・M
2(第2の整流用素子)を介して、第2の制御端子20
2に接続している。
【0098】ゲートとソースを共通接続したpチャネル
MOSFET・M1は、ドレイン→ゲート・ソースの方
向に順方向電流が流れるので、ドレイン端子がアノード
となり、ゲート・ソース端子がカソードとなるダイオー
ドとして機能する。このダイオードの順方向電圧Vfは
そのMOSFET・M1のしきい値電圧である。
【0099】ゲートとソースを共通接続したnチャネル
MOSFET・M2は、ゲート・ソース→ドレインの方
向に順方向電流が流れるので、ゲート・ソース端子がア
ノードとなり、ドレイン端子がカソードとなるダイオー
ドとして機能する。このダイオードの順方向電圧Vfは
そのMOSFET・M2のしきい値電圧である。
【0100】次に動作を説明する。まず、第1の制御入
力端子201に印加する制御信号Cがローレベル電圧の
とき、整流用素子としてのpチャネルMOSFET・M
1は逆バイアスされるが、そのリーク電流により、一種
の定電圧ダイオードとして働き、内部CMOS回路20
3のpチャネルMOSFET・M31〜M3nのバック
ゲート電圧が低下するので、それらのトランジスタM3
1〜M3nのしきい値電圧が小さくなる。
【0101】またこのとき、第2の制御入力端子202
に印加する制御信号*Cはハイレベル電圧であるので、
整流用素子としてのnチャネルMOSFET・M2も逆
バイアスされるが、そのリーク電流により、一種の定電
圧ダイオードとして働き、内部CMOS回路203を構
成するnチャネルMOSFET・M41〜M4nのバッ
クゲート電圧が上昇し、それらのトランジスタM41〜
M4nのしきい値電圧も小さくなる。
【0102】以上のようにしきい値電圧が小さくなる
と、MOSFETの元のしきい値電圧近傍の定電源電圧
でも高速動作させることが可能となる。
【0103】このとき、各トランジスタでは、バックゲ
ート端子とソース端子との間が順方向にバイアスされ短
絡電流のパスが生じるが、整流用のMOSFET・M
1,M2が逆バイアスされるので、流れるのはリーク電
流であり、短絡電流は阻止される。特に、従来例と比較
して、ダイオードD3のVf(0.8V)以上の電源電
圧に対してその電流は著しく削減される。
【0104】この整流用のトランジスタM1,M2を流
れるリーク電流の電流値は小さいので、pチャネルMO
SFET・M31〜M3nのバックゲート電位の大きな
低下、nチャネルMOSFET・M41〜M4nのバッ
クゲート電位の大きな上昇は防止される。
【0105】次に、制御入力端子201の制御信号Cが
ハイレベル電圧、制御入力端子202の制御信号*Cが
ローレベル電圧のとき、整流用のMOSFET・M1,
M2が順方向にバイアスされ、pチャネルMOSFET
・M31〜M3nのバックゲート端子は高電位に、nチ
ャネルMOSFET・M41〜M4nのバックゲート端
子は低電位になる。しかし、それらMOSFET・M3
1〜M3n,M41〜M4nのソースとバックゲートと
は同一電位となり、しきい値電圧の減少や短絡電流が発
生することはない。
【0106】以上から、図24に示すように、制御信号
Cをローレベル電圧、制御信号*Cをハイレベル電圧に
設定したとき、各トランジスタのしきい値電圧が低しき
い値電圧に変化するので、このモードを動作モードとす
ると、低電源電圧を使用することができ、また同時に高
速動作が可能となる。また上記と逆に、制御信号Cをハ
イレベル電圧、制御信号*Cをローレベル電圧に設定し
たとき、各トランジスタが元の高しきい値電圧となるの
で、このときをスリープモード(動作を休止させるモー
ド)にすれば、各トランジスタのソース・ドレイン間を
流れるリーク電流が小さくなり低消費電力を図ることが
できるようになる。
【0107】なお、図23のMOSFET回路におい
て、整流用のpチャネルMOSFET・M1は内部CM
OS回路203のpチャネルMOSFET・M31〜M
3nに共通に使用し、また整流用のnチャネルMOSF
ET・M2は内部CMOS回路203のnチャネルMO
SFET・M41〜M4nに共通し使用しているが、内
部CMOS回路203の1個のMOSFETごとに整流
用MOSFETを接続しても、また内部CMOS回路2
03の複数個のMOSFETごとに整流用MOSFET
を接続しても良い。
【0108】また、図23のMOSFET回路では、内
部CMOS回路203の中のpチャネルMOSFET・
M31〜M3nとnチャネルMOSFET・M41〜M
4nの両方のチャネルのMOSFETのバックゲート端
子に整流用のMOSFETを接続しているが、一方のチ
ャネルのMOSFETのバックゲート端子のみに整流用
のMOSFETを接続し、他方のチャネルのMOSFE
Tのバックゲート端子には固定電圧を印加させる(pチ
ャネルMOSFETのバックゲート端子には接地電位を
印加し、nチャネルMOSFETのバックゲート端子に
は電源電圧を印加する)、またはフローティングとして
も良い。これらの場合は制御信号としては相補信号は必
要ない。
【0109】さらに、図23のMOSFET回路では、
内部CMOS回路203をCMOSインバータをn段に
チェーン接続して構成したが、この内部CMOS回路2
03は、このようなCMOSインバータのみで構成され
る回路に限られるものではない。
【0110】(第8の実施の形態)図25は本発明の第
8の実施の形態を示すMOSFET回路の回路図であ
る。ここでは、内部CMOS回路203を構成するMO
SFET・M31〜M3n、M41〜M4nのしきい値
電圧よりも小さいしきい値電圧(低しきい値電圧)のp
チャネルMOSFET・M5、nチャネルMOSFET
・M6を整流用のトランジスタとして、そのゲート・ソ
ースを共通接続している。例えば、内部CMOS回路2
03を構成するMOSFET・M31〜M3n、M41
〜M4nのしきい値電圧を0.6Vとするとき、整流用
のMOSFET・M5,M6のしきい値電圧を0.2V
とする。
【0111】このように、整流用のMOSFET・M
5,M6として低しきい値電圧のトランジスタのものを
使用すると、所望のリーク電流を小面積で実現できる利
点がある。低しきい値電圧のMOSFETはもともとリ
ーク電流が大きいからである。
【0112】(第9の実施の形態)図26は本発明の第
9の実施の形態を示すMOSFET回路の回路図であ
る。これは、内部CMOS回路203を、pチャネルM
OSFET・M31,M32、nチャネルMOSFET
・M41,M42で構成される2段接続のインバータ
と、pチャネルMOSFET・M33、nチャネルMO
SFET・M43で構成されるトランスファゲートとを
ループ接続してラッチ回路206としたものである。そ
して、このラッチ回路206のpチャネルMOSFET
・M31〜M33のバックゲート端子を整流用のMOS
FET・M5を介して第1の制御端子201に接続し、
nチャネルMOSFET・M41〜M43のバックゲー
ト端子を整流用のMOSFET・M6を介して第2の制
御端子202に接続したものである。
【0113】この図26に示すMOSFET回路では、
トランスファゲートを構成するpチャネルMOSFET
・M33とnチャネルMOSFET・M43の導通時の
しきい値電圧が遮断時のそれより小さくなるので、その
トランスファゲートのオン抵抗を低減させることができ
るため、元のしきい値電圧近傍の低電源電圧でも確実な
記憶動作を行わせることができる。
【0114】(第10の実施の形態)図27は本発明の
第10の実施の形態を示すMOSFET回路の回路図で
ある。これは、内部CMOS回路203を、pチャネル
MOSFET・M71,M72、nチャネルMOSFE
T・M81,M82、トランスファゲートとしてのnチ
ャネルMOSFET・M91,M92で構成したメモリ
セル207としたものである。そして、そのうちのnチ
ャネルMOSFET・M81,M82,M91,M92
のバックゲート端子を制御ワード線209に接続し、こ
の制御ワード線209を整流用のnチャネルMOSFE
T・M10を介してワード線208に接続したものであ
る。210はビット線、211は反転ビット線である。
【0115】このような構成のため、ワード線208で
選択されたメモリセル207のnチャネルMOSFET
のしきい値電圧が小さくなるので、当該MOSFETの
等価的な抵抗を小さくでき、MOSFETのオン抵抗が
上昇する低電源電圧時でも確実にメモリセル207の読
み出し動作および書き込み動作を行わせることができ
る。
【0116】なお、図27の構成では、メモリセル20
7のトランスファゲートにnチャネルMOSFET・M
91,M92を使用したが、そのトランスファゲートに
pチャネルMOSFETを使用するときは、ワード線2
08とpチャネルMOSFETのバックゲート端子を整
流用のMOSFETを介して接続すれば良い。また、相
補型の制御ワード線を用いることも可能であり、このと
きは図23,図25に示したものと類似の内容になる。
【0117】図28はMOSFETのバックゲート端子
とソース端子との間に順方向バイアスを印加した時にそ
のバックゲートとソースの間を流れるリーク電流Ile
akの削減効果を示した図である。図から明らかなよう
に、本発明では、リーク電流Ileakの大幅な改善が
みられる。
【0118】以上説明した回路構成は、上述したような
SOI(Silicon On Insulator)型基板上に作成すると有
効である。SOI型基板上に構成されたMOSFETは
バックゲート領域が独立しているため、バックゲート端
子の電位を自由に設定できるので有効である。
【0119】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内部CMOS回路中のMOSFETのバックゲート端子
を第2のMOSFET(整流用素子)を介して制御端子
に接続しているので、制御端子に印加する制御信号によ
って、そのトランジスタのバックゲート領域とソース領
域とを順方向バイアスさせるときは整流用素子が逆方向
バイアスされる。
【0120】このため、バックゲート端子に印加する制
御信号によって整流用素子が逆方向バイアスされるとき
は、そこを流れるリーク電流によりMOSFETが順方
向バイアスされてそのしきい値電圧が小さくなり、駆動
能力が向上するので低電源電圧を使用できると共に高速
動作も可能となり、この状態は動作モードとして好適で
ある。このときバックゲートを流れる電流は整流用素子
によって制限されるので、電源電圧がバックゲート領域
とソース領域の順方向電圧Vfよりも大きくなっても電
流の急増はない。
【0121】逆に、バックゲート端子に印加する制御信
号によって整流用素子が順方向バイアスされるときは、
そこを流れる電流によりMOSFETが逆方向バイアス
されるのでしきい値電圧は低減せず、そのMOSFET
のリーク電流を低減でき、低消費電力を図ることがで
き、この状態はスリープモードとして好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のCMOS論理回路の構成例を示す回路図
である。
【図2】図1に示したCMOS論理回路を発展させた、
従来のCMOS論理回路の構成例を示す回路図である。
【図3】(A)および(B)は、図2に示すnチャネル
型MOSFET・M14の動作を説明する回路図であ
り、(A)はMOSFET・M14の単独回路図、
(B)は等価回路図である。
【図4】従来のCMOSインバータの回路図である。
【図5】図4のインバータを3段縦続接続した構成を示
す回路図である。
【図6】(A)および(B)は、本発明によるMOSF
ETの第1実施例を示す回路図であり、(A)はnチャ
ネル型MOSFET、(B)はpチャネル型MOSFE
Tを示す。
【図7】(A)〜(D)は、図6(A)に示すnチャネ
ル型MOSFET112の動作説明図である。
【図8】nチャネル型MOSFET112における、バ
ックゲート電圧のクランプ動作を説明するためのグラフ
である。
【図9】(A)および(B)は、SOI構造のpチャネ
ル型MOSFET111の構造を示す図であり、(A)
は上面図、(B)は図9AのA−A線断面図である。
【図10】nチャネル型MOSFET112のボディ部
のキャリア密度としきい値電圧との関係を示すグラフで
ある。
【図11】(A)は、実施例1の低しきい値電圧SOI
MOSFETのボディ部の空乏層幅Wを説明するため
の概略断面図、(B)は、実施例1の高しきい値電圧S
OI MOSFETのボディ部の空乏層幅Wを説明する
ための概略断面図である。
【図12】(A)および(B)は、バルク構造のpチャ
ネル型MOSFET111の構造を示す図であり、
(A)は上面図、(B)は(A)のA−A線断面図であ
る。
【図13】(A)〜(D)は、実施例1のMOSFET
の特性を従来例と対比して示す回路図およびグラフであ
る。
【図14】(A)および(B)は、実施例1の変形例を
示す回路図である。
【図15】(A)および(B)は、本発明の第2実施例
によるCMOSインバータを示す回路図であり、(A)
は、第1実施例のMOSFETを駆動トランジスタとし
て用いたインバータを示し、(B)は、第1実施例のM
OSFETを負荷トランジスタとして用いたインバータ
を示す。
【図16】(A)および(B)は、本発明の第2実施例
の変形例を示すブロック図であり、(A)はNOR回
路、(B)はNAND回路を示す。
【図17】本発明の第3実施例によるCMOSインバー
タを示す回路図である。
【図18】(A)および(B)は、本発明の第3実施例
によるCMOS論理回路を示すブロック図であり、
(A)はNOR回路、(B)はNAND回路を示す。
【図19】(A)および(B)は、本発明の第4実施例
によるバッファ回路を示す回路図である。
【図20】本発明の第5実施例によるCMOS論理回路
を示す回路図である。
【図21】(A)および(B)は、第5実施例の変形例
の構成を示す回路図である。
【図22】(A)〜(C)は、本発明の第6実施例によ
るCMOS論理回路を示すブロック図である。
【図23】本発明の第7実施例によるCMOS論理回路
を示す回路図である。
【図24】第7実施例によるCMOS論理回路の動作モ
ードの説明図である。
【図25】本発明の第8実施例によるCMOS論理回路
の回路図である。
【図26】本発明の第9実施例によるCMOS論理回路
の回路図である。
【図27】本発明の第10実施例によるCMOS論理回
路の回路図である。
【図28】第10実施例におけるリーク電流の削減効果
を示すグラフである。
【符号の説明】
1 高電位電源線 2 低電位電源線 3 CMOS論理回路 4 高電位側電源制御回路 5 低電位側電源制御回路 21 ドレイン 22 ソース 23 ゲート 24 ボディ部 25 バックゲート端子 26 ソース 27 ドレイン 28 ゲート 29 ボディ部 30 配線 31 シリコン基板 32 埋め込み酸化膜 33 コンタクトホール 41 高電位疑似電源線 51 低電位疑似電源線 111 pチャネル型MOSFET回路 112 nチャネル型MOSFET回路 121 CMOSインバータ 122 CMOSインバータ 123 NOR回路 124 NAND回路 131 CMOSインバータ 132 NOR回路 133 NAND回路 141 バッファ回路 142 バッファ回路 151 CMOS論理回路 152 CMOS論理回路 153 CMOS論理回路 201 制御入力端子 202 制御入力端子 203 内部CMOS回路 204 信号入力端子 205 信号出力端子 206 ラッチ回路 207 メモリセル 208 ワード線 209 制御ワード 210 ビット線 211 反転ビット線 M1〜M4 MOSFET M11〜M14 MOSFET M31〜M33 MOSFET M41〜M43 MOSFET
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−58614(JP,A) 特開 昭62−15924(JP,A) 特開 平8−17183(JP,A) 特開 平6−29834(JP,A) 特開 平7−182869(JP,A) 米国特許4906587(US,A) 米国特許5160855(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03K 19/0948 H01L 21/8238 H01L 27/092 H03K 17/687 H03K 19/017

Claims (31)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のしきい値電圧を有する第1のMO
    SFETと、 前記第1のしきい値電圧以下の第2のしきい値電圧を有
    する第2のMOSFETであって、そのゲート電極およ
    び第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETのバッ
    クゲート電極に接続され、第2の主電流電極が外部から
    供給される信号に接続された第2のMOSFETとを具
    備することを特徴とするMOSFET回路。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のMOSFET回路にお
    いて、前記第1の主電流電極は、ソース電極であり、前
    記第2の主電流電極は、ドレイン電極であることを特徴
    とするMOSFET回路。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載のMOSFET回路にお
    いて、前記第1のMOSFETのゲート電極と、前記第
    2のMOSFETの第2の主電流電極とが接続されたこ
    とを特徴とするMOSFET回路。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載のMOSFET回路にお
    いて、前記第2のしきい値電圧は、前記第1のしきい値
    電圧より低いことを特徴とするMOSFET回路。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載のMOSFET回路にお
    いて、前記第2のしきい値電圧は、前記第1のしきい値
    電圧と等しいことを特徴とするMOSFET回路。
  6. 【請求項6】 直列接続された負荷トランジスタおよび
    駆動トランジスタを有するCMOS論理回路において、
    前記駆動トランジスタおよび前記負荷トランジスタの一
    方は、第1のMOSFET回路を備え、該第1のMOS
    FET回路は、 第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETであっ
    て、前記駆動トランジスタおよび前記負荷トランジスタ
    の他方と直列接続された第1のMOSFETと、 前記第1のしきい値電圧より低い第2のしきい値電圧を
    有し、そのゲート電極および第1の主電流電極が、前記
    第1のMOSFETのバックゲート電極に接続され、第
    2の主電流電極が前記第1のMOSFETのゲート電極
    に接続された第2のMOSFETとを具備することを特
    徴とするCMOS論理回路。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載のCMOS論理回路にお
    いて、前記駆動トランジスタおよび負荷トランジスタの
    他方はMOSFETであり、前記CMOS論理回路はC
    MOSインバータであることを特徴とするCMOS論理
    回路。
  8. 【請求項8】 請求項6に記載のCMOS論理回路にお
    いて、前記負荷トランジスタは直列接続されたM個(M
    は1より大きい整数)のMOSFETを有し、前記駆動
    トランジスタは並列接続されたM個の前記第1のMOS
    FET回路を有し、前記CMOS論理回路は、NOR回
    路であることを特徴とするCMOS論理回路。
  9. 【請求項9】 請求項6に記載のCMOS論理回路にお
    いて、前記負荷トランジスタは、並列接続されたM個
    (Mは1より大きい整数)のMOSFETを有し、前記
    駆動トランジスタは、直列接続されたM個の前記第1の
    MOSFET回路を有し、前記CMOS論理回路は、N
    AND回路であることを特徴とするCMOS論理回路。
  10. 【請求項10】 請求項6に記載のCMOS論理回路に
    おいて、 前記駆動トランジスタおよび負荷トランジスタの他方
    は、第2のMOSFET回路を有し、該第2のMOSF
    ET回路は、 第3のしきい値電圧を有する第3のMOSFETであっ
    て、前記第1のMOSFET回路と直列接続された第3
    のMOSFETと、 前記第3のしきい値電圧より低い第4のしきい値電圧を
    有する第4のMOSFETであって、そのゲート電極お
    よび第1の主電流電極が、前記第3のMOSFETのバ
    ックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記第
    3のMOSFETのゲート電極に接続された第4のMO
    SFETとを具備することを特徴とするCMOS論理回
    路。
  11. 【請求項11】 請求項10に記載の前記CMOS論理
    回路は、CMOSインバータであることを特徴とするC
    MOS論理回路。
  12. 【請求項12】 請求項10に記載のCMOS論理回路
    において、前記駆動トランジスタは、並列接続されたM
    個(Mは1より大きい整数)の前記MOSFET回路を
    含み、前記負荷トランジスタは、直列接続されたM個の
    前記第2のMOSFET回路を含み、前記CMOS論理
    回路はNOR回路であることを特徴とするCMOS論理
    回路。
  13. 【請求項13】 請求項10に記載のCMOS論理回路
    において、前記駆動トランジスタは、直列接続されたM
    個(Mは1より大きい整数)の第1のMOSFET回路
    を含み、前記負荷トランジスタは、並列接続されたM個
    の第2のMOSFET回路を含み、前記CMOS論理回
    路はNAND回路であることを特徴とするCMOS論理
    回路。
  14. 【請求項14】 交互に縦続接続された第1のCMOS
    インバータと第2のCMOSインバータとを有するバッ
    ファ回路において、 前記第1のCMOSインバータの負荷トランジスタは、 第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETであっ
    て、前記第1のCMOSインバータの駆動トランジスタ
    と直列接続された第1のMOSFETと、 前記第1のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧
    を有する第2のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第1のMOSFETのゲート電極に接続された第2のM
    OSFETとを具備し、 前記第2のCMOSインバータの駆動トランジスタは、 第3のしきい値電圧を有する第3のMOSFETであっ
    て、前記第2のCMOSインバータの負荷トランジスタ
    と直列接続された第3のMOSFETと、 前記第3のしきい値電圧よりも低い第4のしきい値電圧
    を有する第4のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第3のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第3のMOSFETのゲート電極に接続された第4のM
    OSFETとを具備することを特徴とするバッファ回
    路。
  15. 【請求項15】 第1のしきい値電圧より低いしきい値
    電圧を有するMOSFETを含む低しきい値CMOS論
    理回路と、この低しきい値CMOS論理回路の電力供給
    端と電源との間に接続された少なくとも1つのスイッチ
    回路とを有するCMOS論理回路において、 前記スイッチ回路は、 前記第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETで
    あって、前記電源と前記低しきい値CMOS論理回路の
    電力供給端との間に接続された第1のMOSFETと、 前記第1のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧
    を有する第2のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第1のMOSFETのゲート電極に接続された第2のM
    OSFETとを具備することを特徴とするCMOS論理
    回路。
  16. 【請求項16】 請求項15に記載のCMOS論理回路
    において、前記スイッチ回路は、前記電源の高電位端子
    と前記低しきい値CMOS論理回路の高電位電力供給端
    との間に接続されたことを特徴とするCMOS論理回
    路。
  17. 【請求項17】 請求項15に記載のCMOS論理回路
    において、前記スイッチ回路は、前記電源の低電位端子
    と前記低しきい値CMOS論理回路の低電位電力供給端
    との間に接続されたことを特徴とするCMOS論理回
    路。
  18. 【請求項18】 請求項16に記載のCMOS論理回路
    において、前記スイッチ回路は、さらに、前記電源の低
    電位端子と前記低しきい値CMOS論理回路の低電位電
    力供給端との間に接続されたことを特徴とするCMOS
    論理回路。
  19. 【請求項19】 請求項15に記載のCMOS論理回路
    は、外部からのスリープ信号によって、スリープ状態あ
    るいは動作状態に切り替えられるCMOS論理回路であ
    って、その非反転スリープ信号入力端に接続された第1
    のバッファと、反転スリープ信号入力端に接続された第
    2のバッファとを、さらに具備し、 前記第1のバッファは、交互に縦続接続された第1のC
    MOSインバータと第2のCMOSインバータとを有
    し、 前記第1のCMOSインバータの負荷トランジスタは、 前記第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETで
    あって、前記第1のCMOSインバータの駆動トランジ
    スタと直列接続された第1のMOSFETと、 前記第1のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧
    を有する第2のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第1のMOSFETのゲート電極に接続された第2のM
    OSFETとを具備し、 前記第2のCMOSインバータの駆動トランジスタは、 第3のしきい値電圧を有する第3のMOSFETであっ
    て、前記第2のCMOSインバータの負荷トランジスタ
    と直列接続された第3のMOSFETと、 前記第3のしきい値電圧よりも低い第4しきい値電圧を
    有する第4のMOSFETであって、そのゲート電極お
    よび第1の主電流電極が、前記第3のMOSFETのバ
    ックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記第
    3のMOSFETのゲート電極に接続された第4のMO
    SFETとを具備し、 前記第2のバッファは、交互に縦続接続された前記第2
    のCMOSインバータと前記第1のCMOSインバータ
    とを具備することを特徴とするCMOS論理回路。
  20. 【請求項20】 請求項15に記載のCMOS論理回路
    は、外部からのスリープ信号によって、スリープ状態あ
    るいは動作状態に切り替えられるCMOS論理回路であ
    って、その非反転スリープ信号入力端に接続されたバッ
    ファを、さらに具備し、 前記バッファは、交互に縦続接続された第1のCMOS
    インバータと第2のCMOSインバータとを有し、 前記第1のCMOSインバータの負荷トランジスタは、 前記第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETで
    あって、前記第1のCMOSインバータの駆動トランジ
    スタと直列接続された第1のMOSFETと、 前記第1のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧
    を有する第2のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第1のMOSFETのゲート電極に接続された第2のM
    OSFETとを具備し、 前記第2のCMOSインバータの駆動トランジスタは、 第3のしきい値電圧を有する第3のMOSFETであっ
    て、前記第2のCMOSインバータの負荷トランジスタ
    と直列接続された第3のMOSFETと、 前記第3のしきい値電圧よりも低い第4のしきい値電圧
    を有する第4のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第3のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第3のMOSFETのゲート電極に接続された第4のM
    OSFETとを具備することを特徴とするCMOS論理
    回路。
  21. 【請求項21】 請求項15に記載のCMOS論理回路
    は、外部からのスリープ信号によって、スリープ状態あ
    るいは動作状態に切り替えられるCMOS論理回路であ
    って、その反転スリープ信号入力端に接続されたバッフ
    ァを、さらに具備し、 前記バッファは、交互に縦続接続された第1のCMOS
    インバータと第2のCMOSインバータとを有し、 前記第1のCMOSインバータの駆動トランジスタは、 第1のしきい値電圧を有する第1のMOSFETであっ
    て、前記第1のCMOSインバータの負荷トランジスタ
    と直列接続された第1のMOSFETと、 前記第1のしきい値電圧よりも低い第2のしきい値電圧
    を有する第2のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第1のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第1のMOSFETのゲート電極に接続された第2のM
    OSFETとを具備し、 前記第2のCMOSインバータの負荷トランジスタは、 第3のしきい値電圧を有する第3のMOSFETであっ
    て、前記第2のCMOSインバータの駆動トランジスタ
    と直列接続された第3のMOSFETと、 前記第3のしきい値電圧よりも低い第4のしきい値電圧
    を有する第4のMOSFETであって、そのゲート電極
    および第1の主電流電極が、前記第3のMOSFETの
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    第3のMOSFETのゲート電極に接続された第4のM
    OSFETとを具備することを特徴とするCMOS論理
    回路。
  22. 【請求項22】 M(Mは1以上の整数)組の駆動トラ
    ンジスタおよび負荷トランジスタを含み、外部からの制
    御信号に応答して、動作状態を切り替える内部CMOS
    論理回路と、 前記駆動トランジスタおよび前記負荷トランジスタの一
    方を構成する第1のMOSFET回路に共通接続された
    第1のMOSFETであって、ゲート電極と第1の主電
    流電極とが前記第1のMOSFET回路のバックゲート
    電極に接続され、第2の主電流電極が前記制御信号に接
    続された、前記第1のMOSFET回路と同じチャネル
    型の第1のMOSFETとを具備することを特徴とする
    CMOS論理回路。
  23. 【請求項23】 請求項22に記載のCMOS論理回路
    は、さらに、前記駆動トランジスタおよび前記負荷トラ
    ンジスタの他方を構成する第2のMOSFET回路に共
    通接続された第2のMOSFETであって、ゲート電極
    と第1の主電流電極とが前記第2のMOSFET回路の
    バックゲート電極に接続され、第2の主電流電極が前記
    制御信号の反転信号に接続された、前記第2のMOSF
    ET回路と同じチャネル型の第2のMOSFETを具備
    することを特徴とするCMOS論理回路。
  24. 【請求項24】 請求項23に記載のCMOS論理回路
    において、前記第1および第2のMOSFETのしきい
    値電圧が、前記内部CMOS論理回路に含まれるMOS
    FETのしきい値電圧よりも小さいことを特徴とするC
    MOS論理回路。
  25. 【請求項25】 請求項22に記載の前記内部CMOS
    論理回路は、1またはそれ以上のCMOSインバータを
    含むことを特徴とするCMOS論理回路。
  26. 【請求項26】 請求項22に記載の前記内部CMOS
    論理回路は、トランスファゲートを含むことを特徴とす
    るCMOS論理回路。
  27. 【請求項27】 請求項22に記載の前記内部CMOS
    論理回路は、メモリセルを含み、前記制御信号は、ワー
    ド線信号であることを特徴とするCMOS論理回路。
  28. 【請求項28】 請求項22に記載のCMOS論理回路
    において、前記制御信号は、前記内部CMOS論理回路
    を、スリープ状態または動作状態に切り替えるスリープ
    信号であることをと特徴とするCMOS論理回路。
  29. 【請求項29】 請求項1から28のいずれかの項に記
    載のCMOS論理回路の各MOSFETは、SOI(Sem
    iconductor On Insulator)基板上に形成したSOIFE
    Tであることを特徴とするCMOS論理回路。
  30. 【請求項30】 請求項29に記載のCMOS論理回路
    において、低しきい値MOSFETのボディ部が完全空
    乏状態となるように、前記ボディ部の不純物濃度を調整
    したことを特徴とするCMOS論理回路。
  31. 【請求項31】 請求項29に記載のCMOS論理回路
    において、高しきい値MOSFETのボディ部が部分空
    乏状態となるように、前記ボディ部の不純物濃度を調整
    したことを特徴とするCMOS論理回路。
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