JP3461782B2 - 樹脂層形成装置、積層体の製造装置、及び樹脂層の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は支持体上に樹脂層を
形成するための樹脂層形成装置、及び樹脂層の製造方法
に関する。また、本発明は、支持体上に樹脂層と金属薄
膜層とからなる積層体を製造するための積層体の製造装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空中で樹脂材料を加熱して蒸発・気化
させて支持体上に付着させ、支持体上に樹脂層を形成す
る方法、及び、これを利用して、樹脂層を積層する工程
と金属薄膜層を積層する工程とを一単位として、これを
周回する支持体上で繰り返すことにより、樹脂層と金属
薄膜層とが交互に積層された積層体を製造する方法が、
例えば欧州特許公開第０８０８６６７号等で知られてい
る。

【０００３】このような樹脂層と金属薄膜層との積層体
の製造方法の一例を図面を用いて説明する。

【０００４】図４は、従来の積層体の製造装置の一例の
概略を模式的に示した断面図である。

【０００５】図４において、９０１は真空槽、９０２は
真空槽９０１内部を所定の真空度に維持する真空ポンプ
である。９０３は真空槽９０１内に設置された、図中の
矢印９０３ａの方向に回転する円筒形状のキャンロー
ラ、９１０は樹脂層形成装置、９２１は樹脂硬化装置、
９２３は金属薄膜形成装置である。

【０００６】樹脂層形成装置９１０は、樹脂層を形成す
るための樹脂材料を蒸発・気化させて、キャンローラ９
１０の外周面に向けて放出する。キャンローラ９１０は
所定の温度に冷却されているから、樹脂材料は冷却され
てキャンローラ９１０の外周面に膜状に堆積する。

【０００７】樹脂材料の気化は以下のようにして行う。

【０００８】液体状態の樹脂材料を、流量調整バルブ９
１１で所定流量に調整して、樹脂材料供給管９１２で樹
脂層形成装置９１０内に供給する。樹脂材料は、樹脂材
料供給管９１２の吐出口から加熱板９１４上に滴下され
る。加熱板９１４，９１５の下面にはそれぞれ加熱ヒー
タ（図示せず）が取り付けられており、これにより加熱
板９１４，９１５は所定の温度に加熱されている。滴下
された液体状態の樹脂材料は加熱板９１４，９１５上を
順に流動しながら加熱されて蒸発する。流動しながら最
終的に蒸発しきれなかった樹脂材料は冷却カップ９１７
に回収される。樹脂層形成装置９１０の内部より真空槽
９０１内の方が低圧に維持されているから、蒸発した樹
脂材料はキャンローラ９０３の外周面に向けて形成され
た開口９１８より放出される。９１９は矢印９１９ａの
方向に移動して開口９１８を開閉する遮蔽板である。

【０００９】堆積した樹脂材料は、必要に応じて樹脂硬
化装置９２１により、電子線又は紫外線等が照射されて
所望の硬度に硬化処理される。

【００１０】その後、金属薄膜形成装置９２３により、
キャンローラ９１０の外周面に向けて形成された開口９
２５を通して金属薄膜層が蒸着などによって形成され
る。９２６は矢印９２６ａの方向に移動して開口９２５
を開閉する遮蔽板である。

【００１１】以上の製造装置９００によれば、開口９１
８，９２５を開いた状態では、周回するキャンローラ９
１０の外周面上に、樹脂層形成装置９１０による樹脂層
と、金属薄膜形成装置９２３による金属薄膜層とが交互
に積層された積層体が製造され、また、開口９２５を遮
蔽した状態では、周回するキャンローラ９１０の外周面
上に、樹脂層形成装置９１０による樹脂層が連続して積
層された積層体が製造される。

【００１２】また、図示していないが、樹脂層形成後、
金属薄膜層形成前に、樹脂層表面にパターニング材料
（例えばオイル）を所定形状に付与すると、パターニン
グ材料上に金属薄膜層が形成されるのを防止できる。従
って、これを利用して所望のパターン形状の金属薄膜層
を形成することが出来る（これをオイルマージン法と呼
ぶ）。

【００１３】このようにして得られた積層体に所定の後
処理をして、コンデンサなどの電子部品を製造すること
ができる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
４に示した製造装置を用いて積層体を製造すると、樹脂
層の形成に関して以下の問題があることが分かった。

【００１５】従来、積層体の製造開始前に樹脂層形成装
置９１０内の加熱板９１４，９１５を所定の温度に加熱
しておき、樹脂層の形成の開始時に流量調整バルブ９１
１を開いて樹脂材料を導入し、遮蔽板９１９を待避させ
て樹脂層を積層していた。ところが、樹脂材料を加熱板
に滴下した直後から、樹脂材料が広がって加熱板上全体
を被覆するまでの間、蒸発量が安定せず、均一な厚みの
樹脂層が得られない。また、樹脂材料を滴下した直後
は、樹脂材料が急激に加熱されて液滴状態で飛散するな
どして平滑な樹脂層表面が得られない。これを防止する
には樹脂層の積層開始に先立って遮蔽板９１９で開口９
１８を閉じた状態で樹脂材料を供給し、蒸発量が安定し
てから遮蔽板９１９を待機させて積層を開始すればよい
が、これでは立ち上がり時間が長くなり、生産性が低下
する。

【００１６】また、繰り返して運転をしていると開口９
１８の周囲部材と遮蔽板９１９の回りに樹脂材料が付着
して、遮蔽板９１９を閉じても開口９１８を完全に密閉
することができず、わずかなすき間が生じやすくなる。
このような状態で上記の樹脂材料の蒸発の安定化作業を
行なうと、開口９１８と遮蔽板９１９とのすき間から蒸
発した樹脂材料が漏れてキャンローラ９１０に付着して
しまう。一方、開口９１８や遮蔽板９１９の回りに付着
した樹脂材料を頻繁に除去していては生産性が低下す
る。

【００１７】更に、樹脂材料の付着により開口９１８を
完全に密閉することができなくなると、積層工程終了後
に遮蔽板９１９を閉じても樹脂材料が漏れてキャンロー
ラ９１０上に形成された積層体に付着する。このため、
積層体を得た後、これを除去する工程が必要となり、作
業が繁雑となり、生産性が低下する。

【００１８】本発明は上記の問題点を解決し、品質が安
定し、生産性よく樹脂層及び積層体を製造することがで
きる製造装置及び製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成とする。

【００２０】本発明の第１の構成に係る樹脂層形成装置
は、開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発装置を有し、
液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、気化させて得
た樹脂材料蒸気を、前記開口から支持体に向けて放出し
て、真空又は減圧下で前記支持体上に樹脂層を形成する
樹脂層形成装置であって、前記蒸発装置内の樹脂材料蒸
気を前記蒸発装置外に排出する排気装置を有することを
特徴とする。

【００２１】かかる構成によれば、排気装置を用いるこ
とにより、加熱体の加熱や樹脂材料供給を継続したまま
樹脂層形成を一時中断でき、その後再開するときには、
樹脂材料蒸気の排出を停止するだけでよく、再開後は中
断前と同じ形成条件を維持できる。この結果、樹脂層の
形成開始直後から樹脂層を安定して形成することができ
る。また、樹脂層の形成終了後も、排気装置を用いて蒸
発装置内の樹脂材料蒸気を蒸発装置外に排出すれば、開
口のすき間から樹脂材料蒸気が支持体側に漏れ出して支
持体上に得られた樹脂層に付着するのを防止できる。更
に、蒸発装置内の樹脂材料蒸気を蒸発装置外に排出する
ことで、開口や開口を開閉する遮蔽装置に樹脂材料が付
着するのを防止でき、装置の清掃作業間隔を長くでき
る。以上により、品質が安定した樹脂層を、生産性よく
製造することができる。

【００２２】また、本発明の第２の構成に係る樹脂層形
成装置は、開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発装置を
有し、液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、気化さ
せて得た樹脂材料蒸気を、前記開口から支持体に向けて
放出して、真空又は減圧下で前記支持体上に樹脂層を形
成する樹脂層形成装置であって、前記加熱体を冷却する
冷却装置を有することを特徴とする。

【００２３】かかる構成によれば、樹脂層の形成直後に
加熱体を冷却装置で速やかに冷却すれば、樹脂材料の蒸
発を急停止させることができるので、開口のすき間から
樹脂材料蒸気が支持体側に漏れ出して支持体上に得られ
た樹脂層上に付着するのを防止できる。また、樹脂層の
形成終了後直ちに加熱体を急冷して樹脂材料の蒸発を抑
えることで、開口や開口を開閉する遮蔽装置に樹脂材料
が付着するのを防止でき、装置の清掃作業間隔を長くで
きる。以上により、樹脂層を生産性よく製造することが
できる。

【００２４】上記第２の樹脂層形成装置において、更
に、前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を前記蒸発装置外に
排出する排気装置を有することが好ましい。かかる構成
によれば、樹脂層の形成終了後、直ちに加熱板を急冷す
るとともに、排気装置を用いて蒸発装置内に残存する樹
脂材料蒸気を排出することができるので、開口のすき間
から樹脂材料蒸気が支持体側に漏れ出して支持体上に得
られた樹脂層上に付着するのをより一層防止できる。ま
た、開口や開口を開閉する遮蔽装置に樹脂材料が付着す
るのを更に防止でき、装置の清掃作業間隔をより長くで
きる。

【００２５】上記第１又は第２の樹脂層形成装置におい
て、前記開口を開閉する遮蔽板を有することが好まし
い。かかる構成によれば、樹脂層形成時以外に樹脂材料
蒸気が開口を通って支持体側に放出されるのを防止でき
る。

【００２６】上記第１又は第２の樹脂層形成装置におい
て、前記加熱体は熱媒体を通すための通路を有すること
が好ましい。かかる構成によれば、加熱体の加熱及び／
又は冷却を該通路に熱媒体を通すことで行なうことがで
きる。また、加熱をこの方法で行なえば、加熱のための
ヒータが不要になる。

【００２７】上記第２の樹脂層形成装置において、前記
加熱体の冷却は熱媒体を用いて行なうことが好ましい。
かかる構成によれば、加熱体の冷却を低コストで容易に
効率よく行なえる。

【００２８】上記第１又は第２の樹脂層形成装置におい
て、前記排気装置は前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を吸
引して排出する吸引装置を有し、更に前記排気装置は前
記蒸発装置と前記吸引装置との間に前記樹脂材料蒸気を
除去する除去装置を備えることが好ましい。かかる構成
によれば、吸引装置に樹脂材料蒸気が付着するのを防止
できるので、吸引装置の清掃作業を軽減できる。

【００２９】上記において、前記除去装置が冷却装置を
有し、前記冷却装置は前記樹脂材料蒸気を冷却し、液化
させて除去することが好ましい。かかる構成によれば、
簡単な方法で樹脂材料蒸気を効率よく、確実に除去する
ことができる。

【００３０】また、上記において、前記冷却装置は熱媒
体を通すための通路を有することが好ましい。かかる構
成によれば、冷却装置の冷却を該通路に熱媒体を通すこ
とで行なうことができる。

【００３１】上記第１又は第２の樹脂層形成装置におい
て、前記蒸発装置及び前記支持体が真空槽内に収納され
ていることが好ましい。かかる構成によれば、極薄で平
滑な樹脂層を支持体上に形成できる。

【００３２】また、前記蒸発装置及び前記支持体が真空
槽内に収納されており、前記排気装置は前記真空槽外に
設置され、前記排気装置は前記蒸発装置内の樹脂材料蒸
気を前記真空槽外に排気することが好ましい。かかる構
成によれば、極薄で平滑な樹脂層を支持体上に形成でき
るとともに、不要な樹脂材料蒸気が真空槽内に入るのを
防止できる。

【００３３】また、本発明に係る積層体の製造装置は、
支持体と、前記支持体上に樹脂層を形成する樹脂層形成
装置と、前記支持体上に金属薄膜層を形成する金属薄膜
形成装置と、前記支持体、前記樹脂層形成装置、及び前
記金属薄膜形成装置を収納する真空槽とを備えた積層体
の製造装置であって、前記樹脂層形成装置が上記第１又
は第２の樹脂層形成装置であることを特徴とする。かか
る構成によれば、樹脂層と金属薄膜層との積層体を、安
定した品質で効率よく製造することができる。

【００３４】上記において、前記支持体が周回すること
により、樹脂層と金属薄膜層との交互積層体を製造して
もよい。かかる構成によれば、小型・高性能のコンデン
サなどの電子部品用の積層体を製造できる。

【００３５】また、本発明の第１の構成に係る樹脂層の
製造方法は、開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発装置
を用い、液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、気化
させて、樹脂材料蒸気を得た後、前記開口から前記樹脂
材料蒸気を支持体に向けて放出して、真空又は減圧下で
前記支持体上に樹脂層を形成する樹脂層の製造方法であ
って、前記開口を閉じて、前記樹脂材料蒸気を前記蒸発
装置外に排出する形成中止工程と、前記樹脂材料蒸気の
前記蒸発装置外への排出を停止するとともに、前記開口
を開き、前記支持体上に樹脂層を形成する形成工程とを
有することを特徴とする。

【００３６】かかる構成によれば、樹脂層を形成しない
中止工程時に蒸発装置内の樹脂材料蒸気を蒸発装置外に
排出するので、開口のすき間から樹脂材料蒸気が支持体
側に漏れ出して支持体やその上に得られた樹脂層上に付
着するのを防止できる。また、樹脂層形成時以外は蒸発
装置内の樹脂材料蒸気を蒸発装置外に排出すれば、開口
や開口を開閉する遮蔽装置に樹脂材料が付着するのを防
止でき、装置の清掃作業間隔を長くできる。以上によ
り、樹脂層を生産性よく製造することができる。

【００３７】上記第１の製造方法において、前記形成中
止工程において前記蒸発装置内で液状の樹脂材料を加
熱、気化させ、その後、前記形成工程に移行することが
できる。かかる構成によれば、樹脂層形成前の形成中止
工程で蒸発装置内の樹脂材料蒸気を蒸発装置外に排出さ
せながら樹脂材料の蒸発を安定化させることができ、樹
脂層の形成開始直後から樹脂層を安定して形成すること
ができる。

【００３８】上記第１の製造方法において、前記形成工
程の後に、前記形成中止工程に移行することもできる。
かかる構成によれば、樹脂層の形成後、蒸発装置内の樹
脂材料蒸気が蒸発装置外に排出されるので、開口のすき
間から樹脂材料蒸気が支持体側に漏れ出して支持体上に
得られた樹脂層上に付着するのを防止できる。

【００３９】上記において、前記形成中止工程において
前記蒸発装置内で液状の樹脂材料を加熱、気化させるこ
ともできる。かかる構成によれば、加熱体の加熱や樹脂
材料供給を継続したまま樹脂層形成を一時中断すること
ができ、その後再開（形成工程に再移行）するとき、樹
脂材料蒸気の排出を停止するだけでよく、また中断前と
同じ形成条件を維持できる。

【００４０】また、上記において、前記形成中止工程で
は前記加熱体を冷却して、前記液状の樹脂材料が気化す
るのを防止することもできる。かかる構成によれば、樹
脂層の形成直後に加熱体を速やかに冷却すれば、樹脂材
料の蒸発を急停止させることができるので、開口のすき
間から樹脂材料蒸気が支持体側に漏れ出して支持体やそ
の上に得られた樹脂層上に付着するのを更に防止でき
る。また、樹脂層の形成終了後直ちに加熱体を急冷して
樹脂材料の蒸発を抑えることで、開口や開口を開閉する
遮蔽装置に樹脂材料が付着するのを一層防止でき、装置
の清掃作業間隔を更に長くできる。

【００４１】上記において、前記加熱体に冷却した熱媒
体を通して前記加熱体を冷却するのが好ましい。かかる
構成によれば、加熱体の冷却を低コストで容易に効率よ
く行なえる。

【００４２】上記第１の製造方法において、前記形成中
止工程において、前記蒸発装置外に設置した吸引装置を
用いて前記樹脂材料蒸気を前記蒸発装置から吸引して排
出し、前記蒸発装置と前記吸引装置との間で前記樹脂材
料蒸気を除去することが好ましい。かかる構成によれ
ば、吸引装置に樹脂材料蒸気が付着するのを防止できる
ので、吸引装置の清掃作業を低減できる。

【００４３】上記において、前記樹脂材料蒸気の除去
を、前記樹脂材料蒸気を冷却し、液化させることにより
行なうことが好ましい。かかる構成によれば、簡単な方
法で樹脂材料蒸気を効率よく、確実に除去することがで
きる。

【００４４】本発明の第２の構成に係る樹脂層の製造方
法は、開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発装置を用
い、液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、気化させ
て、樹脂材料蒸気を得た後、前記開口から前記樹脂材料
蒸気を支持体に向けて放出して、真空又は減圧下で前記
支持体上に樹脂層を形成する樹脂層の製造方法であっ
て、前記樹脂層の積層終了時に前記開口を閉じ、前記加
熱体を急冷することを特徴とする。

【００４５】かかる構成によれば、樹脂層の形成直後に
樹脂材料の蒸発を急停止させることができるので、開口
のすき間から樹脂材料蒸気が支持体側に漏れ出して支持
体上に得られた樹脂層上に付着するのを防止できる。ま
た、樹脂層の形成終了後直ちに加熱体を急冷して樹脂材
料の蒸発を抑えることで、開口や開口を開閉する遮蔽装
置に樹脂材料が付着するのを防止でき、装置の清掃作業
間隔を長くできる。以上により、樹脂層を生産性よく製
造することができる。

【００４６】上記第１の製造方法において、前記加熱体
に冷却した熱媒体を通して前記加熱体を急冷することが
好ましい。かかる構成によれば、加熱体の冷却を低コス
トで容易に効率よく行なえる。

【００４７】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は、本実施
の形態の積層体の製造装置の内部の概略構成を示した断
面図である。図１において、１０１は真空槽であり、そ
の内部空間は隔壁１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃにより
３つの空間１０５，１０７，１０９に分割されている。
１０４，１０６，１０８は、それぞれ空間１０５，１０
７，１０９内部を所定の真空度（例えば０．０３Ｐａ程
度）に維持する真空ポンプである。１１０は真空槽１０
１内に設置された、図中の矢印方向１１０ａに回転する
円筒形状のキャンローラ、１３０はパターニング材料付
与装置、１４０は金属薄膜形成装置、１４５はパターニ
ング材料除去装置、１４７は樹脂硬化装置、１４９は表
面処理装置、２００は樹脂層形成装置である。

【００４８】図２は、図１の製造装置に使用されている
樹脂樹脂層形成装置２００の概略構成を示した断面図で
ある。樹脂層形成装置２００は、樹脂材料を蒸発気化さ
せる蒸発装置２２０と、蒸発装置内の気体を真空槽１０
１外に排出する排気装置２５０とを有している。蒸発装
置２２０は真空槽１０１内に設置され、真空槽１０１外
に設置されたバルブ２４１を介して排気装置２５０に接
続されている。

【００４９】流量調整バルブ２１１で所定流量に調整さ
れた液体状態の樹脂材料は、樹脂材料供給管２１２で樹
脂層形成装置２００の蒸発装置２２０内に供給される。
樹脂材料は、樹脂材料供給管２１２の吐出口から傾斜し
て設置された加熱板２３１上に滴下される。滴下された
液体状態の樹脂材料は同様に傾斜して設置された加熱板
２３２，２３３，２３４上を順に流動しながら加熱され
蒸発する。

【００５０】図３は、加熱板２３１の概略構成を示した
図であり、図３（Ａ）は平面図、図３（Ｂ）は図３
（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向からみた断面図である。
図示したように、加熱板２３１の内部に配管２３１ａが
埋め込まれている。また、加熱板の下面には加熱ヒータ
２３１ｂが取り付けられている。熱媒体は配管２３１ａ
の一端２３１ａ’から導入され、他端２３１ａ”から導
出される。図中２１５は樹脂材料の流動方向を示してい
る。

【００５１】加熱板２３２，２３３，２３４も図３に示
した加熱板２３１と基本的構成は同一であり、各加熱板
の内部には熱媒体が通過する配管２３２ａ，２３３ａ，
２３４ａが埋め込まれ、また、下面には加熱ヒータ２３
２ｂ，２３３ｂ，２３４ｂが取り付けられている。

【００５２】加熱板２３１，２３２，２３３，２３４上
を流動して最終的に蒸発しきれなかった樹脂材料は冷却
カップ２２４に回収される。蒸発した樹脂材料（樹脂材
料蒸気）は隔壁２２５ａ，２２５ｂ，２２５ｃの間を通
過して、キャンローラ１１０の外周面に向けて形成され
た開口２２６より放出される。２２７は移動方向２２７
ａに移動して開口２２６を開閉する遮蔽板である。

【００５３】蒸発装置２２０内の気体は、バルブ２４１
を開くことにより、真空槽１０１外に設置された排気装
置２５０により真空槽１０１の外に排気できるように構
成されている。排気装置２５０は吸引ポンプ２５９を備
え、蒸発装置２２０内の気体を吸引して、排出する。更
に排気装置２５０は、バルブ２４１から吸引ポンプ２５
９の間に、冷却板２５１，２５２、バルブ２５７を有す
る。

【００５４】冷却板２５１，２５２は蒸発装置２２０か
らの高温気体を冷却する。冷却板２５１，２５２はいず
れも金属薄板を円錘面状に成形してなり、その内側壁面
に冷却した熱媒体（冷媒）が通過する配管２５１ａ，２
５１ｂが螺旋状に溶接されている。高温気体は冷却板２
５１，２５２の上面（外側面）上に沿って流動しながら
冷却される。

【００５５】次に、このような構成の樹脂層形成装置２
００を用いた図１の積層体の製造装置１００の運転方法
について説明する。

【００５６】まず、キャンローラ１１０上への積層体の
形成の開始前に、加熱板２３１，２３２，２３３，２３
４をそれぞれヒータ２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，２
３４ｂを用いて加熱し、流量調整バルブ２１１を開いて
樹脂材料供給管２１２より樹脂材料を供給し、樹脂材料
を蒸発させる。このとき、開口２２６は遮蔽板２２７で
塞いでおく。また、バルブ２４１，２５７を開いて吸引
ポンプ２５９を稼働させる。即ち、蒸発した樹脂材料を
全て吸引ポンプ２５９を用いて真空槽１０１外に排出し
ながら、樹脂材料の蒸発を安定化させる。このように、
蒸発装置２２０内で蒸発した樹脂材料を真空槽１０１外
に排出する排気装置２５０を設けたことで、蒸発した樹
脂材料が開口２２６や遮蔽板２２７の周辺に付着した
り、開口から漏れてキャンローラ１１０に付着したりす
るのを防止できる。なお、上記において、加熱板２３
１，２３２，２３３，２３４の加熱を、ヒータ２３１
ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，２３４ｂによる加熱に代えて
又はこれとともに、配管２３１ａ，２３２ａ，２３３
ａ，２３４ａに所定温度に加熱した熱媒体（温媒）を通
すことにより行なってもよい。

【００５７】樹脂材料の蒸発量が安定した後、積層体の
形成を開始する。

【００５８】キャンローラ１１０を回転させ、遮蔽板２
２７を待避させて開口２２６を開くとともに、バルブ２
４１を閉じ、吸引ポンプ２５９の回転を停止させる。樹
脂層形成装置２００内より真空槽内の空間１０９の方が
低圧に維持されているから、樹脂層形成装置２００内で
蒸発した樹脂材料蒸気は開口２２６より放出される。か
くして樹脂材料蒸気はキャンローラ１１０の外周面に付
着して、樹脂層を形成する。

【００５９】積層体の形成の終了時の操作は以下の通り
である。

【００６０】遮蔽板２２７で開口２２６を塞ぐととも
に、バルブ２４１，２５７を開いて吸引ポンプ２５９を
稼働させる。従って、蒸発装置２２０内の樹脂材料蒸気
は全て吸引ポンプ２５９により真空槽１０１外に排出さ
れる。よって、蒸発した樹脂材料が開口２２６や遮蔽板
２２７の周辺に付着したり、開口から漏れてキャンロー
ラ１１０上に形成した積層体に付着したりするのを防止
できる。更に、加熱板２３１，２３２，２３３，２３４
の加熱を停止したり、流量調整バルブ２１１を閉じたり
しなくても樹脂層の積層を中断できるので、再度樹脂層
の積層を開始する場合には、中断前の樹脂層の蒸発条件
をそのまま維持することができ、中断前後で品質のバラ
ツキのない樹脂層を得ることができる。

【００６１】また、開口２２６を閉じ、加熱板２３１，
２３２，２３３，２３４の加熱を停止して積層体の形成
を終了する場合には、配管２３１ａ，２３２ａ，２３３
ａ，２３４ａに冷媒を通して加熱板を急速に冷却しても
よい。これにより、樹脂材料供給管２１２から滴下され
る樹脂材料の蒸発を速やかに停止させることができる。
また、既に蒸発した樹脂材料蒸気を加熱板２３１，２３
２，２３３，２３４上で冷却して液化させることができ
る。よって、蒸発装置２２０内の樹脂材料蒸気の量が減
るので、樹脂材料蒸気が開口２２６や遮蔽板２２７の周
辺に付着したり、開口から漏れてキャンローラ１１０上
に形成した積層体に付着したりするのを防止できる。こ
の場合には、排気装置２５０を稼働させても、稼働させ
なくてもよいが、稼働させた場合には、蒸発装置２２０
内に残存する樹脂材料蒸気を速やかに真空槽１０１外に
排出することができるので好ましい。また、樹脂材料の
蒸発がほぼ停止するから、吸引ポンプ２５９を稼働させ
ても、吸引ポンプ２５９側に流れる樹脂材料蒸気の量を
低減させることができ、吸引ポンプ２５９に樹脂材料が
付着して目詰まりするのを防止できる。

【００６２】また、上記の積層開始前の操作及び終了時
の操作において、排気装置２５０内の配管２５１ａ，２
５１ｂに冷媒を通して冷却板２５１，２５２を冷却して
もよい。これによれば、樹脂材料蒸気は冷却板２５１，
２５２上で冷却されて液化して除去される。よって、吸
引ポンプ２５９側に流れる樹脂材料蒸気の含有量を低減
させることができ、吸引ポンプ２５９に樹脂材料が付着
して目詰まりするのを防止できる。

【００６３】上記において、加熱板２３１，２３２，２
３３，２３４を加熱するために配管２３１ａ，２３２
ａ，２３３ａ，２３４ａに通す温媒の温度は特に制限は
なく、使用する樹脂材料の種類等に応じて選択すること
ができるが、通常１００〜２５０℃、特に１２０〜１７
０℃が好ましい。温媒の温度がこれより高いと樹脂材料
が高温になりすぎて変質することがある。また、樹脂材
料が急激に加熱されて突沸し、液滴が飛散して平滑な樹
脂層表面が形成されない。一方、温媒の温度がこれより
低いと、樹脂材料の蒸発量が減少して生産性に劣る。ま
た、樹脂材料の蒸発量の変動が大きくなって均一な厚み
の樹脂層が形成されない。また、配管２３１ａ，２３２
ａ，２３３ａ，２３４ａに通す温媒の温度をすべて同一
とせず、たとえば配管２３１ａ，２３２ａ，２３３ａ，
２３４ａの順に徐々に高温の温媒を流してもよい。これ
によれば、樹脂材料が加熱板２３１，２３２，２３３，
２３４上を流動するに従い所定の温度まで徐々に昇温さ
せることができ、最初の加熱板２３１の温度を低くでき
るので、加熱板２３１上で樹脂材料が急激に加熱されて
突沸するのを防止できる。

【００６４】また、加熱板２３１，２３２，２３３，２
３４を冷却するために配管２３１ａ，２３２ａ，２３３
ａ，２３４ａに通す冷媒の温度も特に制限はなく、使用
する樹脂材料の種類等に応じて選択することができる
が、通常−５０〜２０℃、特に−２０〜５℃が好まし
い。冷媒の温度がこれより高いと加熱板の冷却効果が少
なく、樹脂材料の蒸発を十分に抑えることができない。
一方、冷媒の温度をこれより低くしても樹脂材料の蒸発
抑制効果は向上しない。

【００６５】また、冷却板２５１，２５２を冷却するた
めに配管２５１ａ，２５１ｂに通す冷媒の温度も特に制
限はなく、使用する樹脂材料の種類等に応じて選択する
ことができるが、通常−５０〜２０℃、特に−２０〜５
℃が好ましい。冷媒の温度がこれより高いと冷却効果が
少なく、樹脂材料を冷却板２５１，２５２上で液化させ
ることが困難になる。一方、冷媒の温度をこれより低く
しても樹脂材料の液化効果は向上しない。

【００６６】配管２３１ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３
４ａに通す温媒・冷媒、及び配管２５１ａ，２５１ｂに
通す冷媒の種類は特に制限はなく、例えば、エタノー
ル、エチレングリコール、代替フロン（フロン２３，化
学式：ＣＨＦ₃）等が使用できる。これらは取り扱いが
容易であり、また熱容量が大きいため速やかに加熱・冷
却することができる。

【００６７】上記のようにして樹脂層形成装置２００内
で蒸発気化された樹脂材料は開口２２６からキャンロー
ラ１１０表面に向けて放出される。キャンローラ１１０
は好ましくは−２０〜４０℃、特に好ましくは−１０〜
１０℃に冷却されているから、樹脂材料は冷却されてキ
ャンローラ１１０の外周面に膜状に堆積する。このよう
な方法によれば、厚みが極めて薄く均一で、ピンホール
等の欠点のない良好な樹脂層が得られる。

【００６８】樹脂材料としては、このように蒸発気化し
た後、堆積して薄膜を形成できるものであれば特に限定
されず、得られる積層体の用途に応じて適宜選択できる
が、反応性モノマー樹脂であるのが好ましい。例えば、
積層体を電子部品材料用途に使用する場合には、アクリ
レート樹脂またはビニル樹脂を主成分とするものが好ま
しく、具体的には、多官能（メタ）アクリレートモノマ
ー、多官能ビニルエーテルモノマーが好ましく、中で
も、シクロペンタジエンジメタノールジアクリレート、
シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテルモノマー
等若しくはこれらの炭化水素基を置換したモノマーが電
気特性、耐熱性、安定性等の点で好ましい。

【００６９】堆積した樹脂材料は、必要に応じて樹脂硬
化装置１４７により所望の硬化度に硬化処理してもい。
硬化処理としては、樹脂材料を重合及び／又は架橋する
処理が例示できる。樹脂硬化装置としては、例えば電子
線照射装置、紫外線照射装置、又は熱硬化装置等を用い
ることができる。硬化処理の程度は、製造する積層体の
要求特性により適宜変更すれば良いが、例えばコンデン
サなどの電子部品用の積層体を製造するのであれば、硬
化度が５０〜９５％、更には５０〜７５％になるまで硬
化処理するのが好ましい。硬化度が上記範囲より小さい
と、後工程において外力等が加わると容易に変形した
り、金属薄膜層の破断又は短絡等を生じてしまう。一
方、硬化度が上記範囲より大きいと、後工程において外
力等が加わると割れるなどの問題が生じることがある。
なお、本発明の硬化度は、赤外分光光度計でＣ＝Ｏ基の
吸光度とＣ＝Ｃ基（１６００ｃｍ^-1）の比をとり、各々
のモノマーと硬化物の比の値をとり、減少分吸光度を１
から引いたものと定義する。

【００７０】本発明において、樹脂層の厚みは特に制限
はないが、１μｍ以下、更に０．７μｍ以下、特に０．
４μｍ以下であることが好ましい。本発明の方法によっ
て得られる積層体の小型化・高性能化の要求に答えるた
めには樹脂層の厚みは薄い方が好ましい。例えば、本発
明の製造方法により得られた積層体をコンデンサに使用
する場合、誘電体層となる樹脂層は薄い方が、コンデン
サの静電容量はその厚みに反比例して大きくなる。

【００７１】形成された樹脂層は、必要に応じて表面処
理装置１４９により表面処理される。例えば、酸素雰囲
気下で放電処理又は紫外線照射処理等を行って、樹脂層
表面を活性化させて金属薄膜層との接着性を向上させる
ことができる。

【００７２】パターニング材料付与装置１３０は、オイ
ルマージンと呼ばれる手法により金属薄膜層にマージン
部を形成することにより所定の形状にパターニングする
ための装置である。樹脂層上に予めパターニング材料を
薄く形成した後に、金属薄膜層を蒸着などによって形成
すると、パターニング材料上には金属薄膜層が形成され
ず、マージン部が形成される。このようにして形成され
た金属薄膜層はマージン部が抜けた状態で形成されてお
り、所望のパターンを持つ金属薄膜層を形成することが
出来る。パターニング材料は、流量調整バルブ１３１で
所定流量に調整されてパターニング材料供給管１３２を
通ってパターニング材料付与装置１３０に導入され、気
化されてキャンローラ１１０の外周面に向けて所定位置
に形成された微細孔から放出される。これによりパター
ニング材料が金属薄膜層を形成する面に予め薄く塗布さ
れる。微細孔のキャンローラ１１０の回転軸方向の配置
（間隔、数）は形成しようとするマージン部の配置に応
じて決定する。また、マージン部の幅は、微細孔の大き
さや吐出量を変化させることで調整できる。このとき、
キャンローラ１１０の回転と同期させてパターニング材
料付与装置１３０をキャンローラ１１０の回転軸と平行
方向に移動させることにより、マージン部の位置が異な
る金属薄膜層を形成することができる。

【００７３】使用するパターニング材料としては、エス
テル系オイル、グリコール系オイル、フッ素系オイル及
び炭化水素系オイルよりなる群から選ばれた少なくとも
一種のオイルであることが好ましい。更に好ましくは、
エステル系オイル、グリコール系オイル、フッ素系オイ
ルであり、特に、フッ素系オイルが好ましい。上記以外
のパターニング材料を使用すると、積層表面の荒れ、樹
脂層や金属薄膜層のピンホール、金属薄膜層の形成境界
部分の不安定化等の問題を生じることがある。

【００７４】パターニング材料を付与した後、金属薄膜
層形成装置１３０により金属薄膜層が形成される。金属
薄膜層の形成方法としては、蒸着、スパッタリング、イ
オンプレーティング等周知の真空プロセス手段が適用で
きるが、本発明では蒸着、特に電子ビーム蒸着が耐湿性
の優れた膜が生産性良く得られる点で好ましい。金属薄
膜層の材料としては、アルミニウム、銅、亜鉛、ニッケ
ル、鉄、コバルト、シリコン、ゲルマニウム若しくはそ
の化合物、若しくはこれらの酸化物、若しくはこれらの
化合物の酸化物などが使用できる。中でも、アルミニウ
ムが接着性と経済性の点で好ましい。なお、金属薄膜層
には、上記以外の他成分を含むものであっても構わな
い。また、金属薄膜層を一種とせず、例えばＡｌ層とＣ
ｕ層の混入とすることによって特性の補完がなされ、使
用条件によっては高性能化が図れる場合もありうる。な
お、金属薄膜の形成を中断する場合は、開口１４１を遮
蔽板１４２で塞ぐ。

【００７５】金属薄膜層の厚みは、得られる積層体の用
途により適宜決定すればよいが、電子部品用途に使用す
る場合は、１００ｎｍ以下、更に１０〜５０ｎｍ、特に
２０〜４０ｎｍであるのが好ましい。また、膜抵抗は、
上限は２０Ω／□以下、さらに１５Ω／□以下、特に１
０Ω／□以下であるのが好ましく、また下限は１Ω／□
以上、さらに２Ω／□以上、特に３Ω／□以上であるの
が好ましい。

【００７６】その後、パターニング材料除去装置１４５
により余剰のパターニング材料が除去される。残存した
パターニング材料は、積層表面の荒れ、樹脂層や金属薄
膜層のピンホール（積層抜け）、金属薄膜層の形成境界
部分の不安定化等の問題を発生させる。パターニング材
料の除去手段は特に制限はなく、パターニング材料の種
類に応じて適宜選択すればよいが、例えば加熱及び／又
は分解により除去することができる。加熱して除去する
方法としては、例えば、光照射や電熱ヒータによる方法
が例示できるが、光照射による方法が装置が簡単であ
り、かつ除去性能も高い。なお、ここで光とは、遠赤外
線及び赤外線を含む。一方、分解して除去する方法とし
ては、プラズマ照射、イオン照射、電子照射などが使用
できる。このとき、プラズマ照射は、酸素プラズマ、ア
ルゴンプラズマ、窒素プラズマ等が使用できるが、この
中でも特に酸素プラズマが好ましい。

【００７７】以上の製造装置１００によれば、開口１４
１，２２６を開いた状態では、周回するキャンローラ１
１０の外周面上に、樹脂層形成装置２００による樹脂層
と、金属薄膜形成装置１４０による金属薄膜層とが交互
に積層された積層体が製造され、また、開口１４１を遮
蔽した状態では、周回するキャンローラ１１０の外周面
上に、樹脂層形成装置２００による樹脂層が連続して積
層された積層体が製造される。また、キャンローラ１１
０の回転と同期させてパターニング材料付与装置１３０
をキャンローラ１１０の回転軸と平行方向に移動させる
ことにより、マージン部の位置が異なる金属薄膜層を形
成することができる。

【００７８】その後、キャンローラ１１０の外周面上に
形成された円筒状積層体を半径方向に切断して取り外
し、平板プレスして、切断・電極形成・外装等の周知の
工程を経て、コンデンサ等の電子部品を製造することが
できる。

【００７９】上記の実施の形態において、樹脂層形成装
置２００内で樹脂材料を加熱・蒸発させる加熱体として
平板状の加熱板２３１，２３２，２３３，２３４を例示
したが、樹脂材料を加熱・蒸発させることができれば、
加熱体の形状はこれに限定されない。例えば、円筒体、
円盤、円錐体、ベルト等の加熱体であってもよく、更に
加熱体が回転・移動等していてもよい。また、加熱体の
数も１つでも複数でもかまわない。

【００８０】また、熱媒体を通す配管２３１ａ，２３２
ａ，２３３ａ，２３４ａは埋込タイプを例示したが、配
管が加熱板の下面に溶接されていてもかまわない。ある
いは、配管状ではなく、加熱面に沿って所定の厚みを有
する面状の空間を形成し、その空間内に熱媒体を通すよ
うにしてもよい。

【００８１】また、加熱板２３１，２３２，２３３，２
３４に設けた配管２３１ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３
４に温媒を通して加熱を行なう場合には、上記の加熱ヒ
ータ２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，２３４ｂを省略し
てもよい。

【００８２】また、排気装置２５０内の冷却板２５１，
２５２は円錐面状のものを例示したが、樹脂材料蒸気を
冷却して液化させることができれば、その形状は特に限
定されない。例えば、冷媒を通す配管にフィンを取り付
けた形状等であってもかまわない。また、その数、大き
さ、配置等も冷却効果などを考慮して決定すればよい。

【００８３】また、加熱板２３１，２３２，２３３，２
３４の加熱・冷却、及び冷却板２５１，２５２の冷却
は、上記のように配管内に熱媒体を流す方法に限定され
ず、これ以外の方法を用いてもよい。例えばペルチェ素
子を用いて加熱・冷却を行なってもよい。

【００８４】また、排気装置２５０内で樹脂材料蒸気を
除去する除去装置として冷却板２５１，２５２を例示し
たが、これに代えて、樹脂材料蒸気を物理的又は化学的
に捕集して除去することができる除去装置（例えばフィ
ルタ等）を用いることもできる。

【００８５】また、上記の実施の形態では、樹脂層形成
装置の適用例としてコンデンサ等の製造に適した積層体
の製造装置を例示したが、本発明の樹脂層形成装置は上
記以外にも適用可能である。例えば、支持体として、周
回する円筒状のキャンローラに代えて、周回するベルト
状支持体・円盤状支持体、一方向に走行する樹脂又は金
属等のシート状支持体であってもよく、これらの上に本
発明の樹脂層形成装置を用いて樹脂層を積層することも
できる。また、上記実施形態の積層体の製造装置におい
て、金属薄膜形成装置、パターニング材料付与装置、パ
ターニング材料除去装置、樹脂硬化装置、表面処理装置
などは積層体の用途等に応じて設ければよく、またこれ
以外の工程を行なう装置を更に有するものであってもよ
い。

【００８６】

【実施例】以下に本発明を実施例を用いて具体的に説明
する。

【００８７】（実施例１−１）図１に示す積層体の製造
装置を用いて積層体を製造した。

【００８８】本実施例は本発明の効果を確認することを
主目的としているため、表面処理装置１４９、パターニ
ング材料付与装置１３０、金属薄膜層形成装置１４０、
及びパターニング材料除去装置１４５は作動させなかっ
た。樹脂層材料としてジシクロペンタジエンジメタノー
ルジアクリレートを用いた。樹脂硬化装置１４７として
紫外線硬化装置を用い、キャンローラ１１０上に堆積さ
せた樹脂層材料を重合し、硬化度が７０％になるまで硬
化させた。

【００８９】樹脂硬化装置１４７の下流側であって、表
面処理装置１４９の上流側に、キャンローラ１１０の外
周面に向けてレーザー光の反射光を利用する非接触測距
装置（図示せず）を設置した。キャンローラ１１０が１
回転するごとにキャンローラ１１０上の樹脂層表面まで
の距離を求め、１層の樹脂層の積層厚みを計測した。

【００９０】樹脂層形成装置としては図２に示す構成の
ものを用いた。開口２２６は、キャンローラ１１０の回
転軸方向の開口幅は２００ｍｍ、キャンローラ１１０の
外周面の走行方向の開口幅は２００ｍｍである。また、
吸引ポンプ２５９としてスクリュウポンプを用いた。

【００９１】真空ポンプ１０４，１０６，１０８を用い
て、空間１０５，１０７，１０９内をいずれも０．０３
Ｐａとし、キャンローラ１１０の外周面を１０℃にまで
冷却した。キャンローラ１１０の直径は５００ｍｍ、外
表面の移動速度は１００ｍ／分とした。

【００９２】積層体の形成に先立って、樹脂材料の蒸発
を安定化させるための作業を行なった。まず、加熱板２
３１，２３２，２３３，２３４をそれぞれヒータ２３１
ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，２３４ｂを用いて１５０℃に
加熱した。また、開口２２６を遮蔽板２２７で閉じ、バ
ルブ２４１，２５７を開いて、吸引ポンプ２５９を稼働
させ、蒸発装置２２０内の気体を真空槽１０１外に排気
した。加熱板の温度が安定した時点で流量調整バルブ２
１１を開き、樹脂材料を樹脂層形成装置２００内に導入
した。目標とする樹脂層１層当たりの積層厚みは０．３
０μｍであり、この目標厚みになるように樹脂材料の供
給量を計算で求め、流量調整バルブ２１１で流量を調整
した。この状態で約５分間放置し、樹脂材料の蒸発を安
定化させた。

【００９３】次いで、バルブ２４１を閉じ、吸引ポンプ
２５９を停止し、同時に開口２２６を開いて樹脂層の形
成を開始した。樹脂層の積層厚みを監視しながらキャン
ローラ１１０を３０００回転させた。

【００９４】その後、開口２２６を閉じ、同時にバルブ
２４１を開き、吸引ポンプ２５９を稼働させ、樹脂硬化
装置１４７を停止させて、樹脂層の積層を中止した。次
いで、キャンローラ１１０の回転を停止させ、真空槽１
０１内を大気圧に戻し、真空槽１０１を開き、キャンロ
ーラ１１０上の積層体を取り出した。なお、真空槽１０
１を開くまでは流量調整バルブ２１１を開き、また加熱
板２３１，２３２，２３３，２３４を１５０℃に加熱し
たままの状態にしておいた。

【００９５】（比較例１−１）以下に示す以外は実施例
１−１と同様にして積層体を得た。

【００９６】即ち、開口２２６を遮蔽板２２７で閉じ、
かつ、バルブ２４１、２５９を閉じ、吸引ポンプ２５９
を停止した状態で、加熱板２３１，２３２，２３３，２
３４をそれぞれヒータ２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，
２３４ｂを用いて１５０℃に加熱した。

【００９７】加熱板の温度が安定した時点で開口２２６
を開き、流量調整バルブ２１１を実施例１−１と同じだ
け開き、樹脂材料を樹脂層形成装置２００内に導入し
て、樹脂層の形成を開始した。樹脂層の積層厚みを監視
しながらキャンローラ１１０を３０００回転させた。

【００９８】その後、開口２２６を閉じ、流量調整バル
ブ２１１を閉じ、加熱板２３１，２３２，２３３，２３
４の加熱を停止し、樹脂硬化装置１４７を停止させて、
樹脂層の積層を中止した。次いで、キャンローラ１１０
の回転を停止させ、真空槽１０１内を大気圧に戻して、
真空槽１０１を開き、キャンローラ１１０上の積層体を
取り出した。

【００９９】（実施例１−２）以下に示す以外は実施例
１−１と同様にして積層体を得た。

【０１００】即ち、開口２２６を遮蔽板２２７で閉じ、
かつ、バルブ２４１、２５９を閉じ、吸引ポンプ２５９
を停止した状態で、加熱板２３１，２３２，２３３，２
３４をそれぞれヒータ２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，
２３４ｂを用いて１５０℃に加熱した。

【０１０１】加熱板の温度が安定した時点で開口２２６
を開き、流量調整バルブ２１１を実施例１−１と同じだ
け開き、樹脂材料を樹脂層形成装置２００内に導入し
て、樹脂層の形成を開始した。樹脂層の積層厚みを監視
しながらキャンローラ１１０を３０００回転させた。

【０１０２】その後、開口２２６を閉じ、流量調整バル
ブ２１１を閉じ、樹脂硬化装置１４７を停止させて、樹
脂層の積層を中止した。同時に、加熱板２３１，２３
２，２３３，２３４の加熱を停止するとともに、配管２
３１ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３４ａに−２０℃のエ
タノールを流して加熱板を急冷した。また、バルブ２４
１，２５７を開き、排気ポンプを稼働させた。次いで、
キャンローラ１１０の回転を停止させ、真空槽１０１内
を大気圧に戻して、真空槽１０１を開き、キャンローラ
１１０上の積層体を取り出した。

【０１０３】［評価１］実施例１−１，１−２、比較例
１−１を以下の点で評価した。

【０１０４】（１）積層開始直後の安定化所要時間 樹脂層の積層開始後の樹脂層の積層厚みの変動量が、目
標厚みである０．３０μｍに対して±１０％以内に安定
化するまでの時間を求めた。

【０１０５】（２）積層終了後の樹脂材料の付着量 樹脂層の積層を終了後にキャンローラ上の積層体表面に
付着した未硬化の液状の樹脂材料の量を求めた。

【０１０６】結果を表１に示す。

【０１０７】

【表１】

【０１０８】実施例１−１と実施例１−２との比較から
明らかなように、樹脂層の積層に先立って、排気装置２
５０を稼働させながら蒸発装置２２０内で樹脂材料の蒸
発量を安定化させておくと、樹脂層の積層開始直後から
所望する積層厚みに近い樹脂層を得ることができる。従
って、品質の安定した積層体を製造することができる。
例えば、パターニング材料付与装置１３０と金属薄膜層
形成装置１４０を用いて帯状に分割された金属薄膜層を
形成し、かかる金属薄膜層と樹脂層との交互積層体を用
いて、金属薄膜層を電極とし、樹脂層を誘電体層とする
コンデンサを製造した場合には、静電容量値のバラツキ
の少ないコンデンサが得られる。

【０１０９】また、実施例１−１と比較例１−１との比
較から明らかなように、樹脂層の積層終了は、開口２２
６を閉じるとともに、排気装置２５０を稼働させること
により、継続して樹脂材料を蒸発させても蒸発装置２２
０内の樹脂材料蒸気が開口２２６と遮蔽板２２７のすき
間から漏れ出すのを確実に防止することができる。従っ
て、得られた積層体に付着した液状の樹脂材料を除去す
る作業が不要となり、生産性が向上する。

【０１１０】上記の実施例１−１のように、積層開始前
から排気装置２５０を稼働させながら蒸発装置２２０に
樹脂材料を供給しておくと、樹脂層の積層開始直後から
安定した厚みの樹脂層を形成することができる。また、
樹脂層の積層を停止する場合にも、排気装置２５０を稼
働させれば、蒸発装置２２０に樹脂材料を供給し続けて
も、キャンローラ１１０側への樹脂材料の漏れ出しを確
実に防止できる。従って、例えば樹脂層の形成を一時中
断後、再び再開するような場合には、排気装置２５０を
稼働させ、かつ、蒸発装置２２０に樹脂材料を供給し続
けながら形成を一時中断すれば、中断前の樹脂層の形成
条件（例えば、流量調整バルブ２１１の開度、加熱板２
３１，２３２，２３３，２３４の加熱温度等）を再開後
もそのまま引き継ぐことができる。

【０１１１】（実施例２−１）図１に示す積層体の製造
装置を用いて積層体を製造した。

【０１１２】本実施例は本発明の効果を確認することを
主目的としているため、表面処理装置１４９、パターニ
ング材料付与装置１３０、金属薄膜層形成装置１４０、
及びパターニング材料除去装置１４５は作動させなかっ
た。樹脂層材料としてジシクロペンタジエンジメタノー
ルジアクリレートを用いた。樹脂硬化装置１４７として
紫外線硬化装置を用い、キャンローラ１１０上に堆積さ
せた樹脂層材料を重合し、硬化度が７０％になるまで硬
化させた。

【０１１３】樹脂層形成装置としては図２に示す構成の
ものを用いた。開口２２６は、キャンローラ１１０の回
転軸方向の開口幅は２００ｍｍ、キャンローラ１１０の
外周面の走行方向の開口幅は２００ｍｍである。また、
吸引ポンプ２５９として油回転ポンプを用いた。

【０１１４】真空ポンプ１０４，１０６，１０８を用い
て、空間１０５，１０７，１０９内をいずれも０．０３
Ｐａとし、キャンローラ１１０の外周面を１０℃にまで
冷却した。キャンローラ１１０の直径は５００ｍｍ、外
表面の移動速度は１００ｍ／分とした。

【０１１５】まず、配管２３１ａ，２３２ａ，２３３
ａ，２３４ａに１５０℃のエチレングリコールを通して
加熱板２３１，２３２，２３３，２３４を加熱した。ま
た、開口２２６を遮蔽板２２７で閉じ、バルブ２４１，
２５７を閉じ、吸引ポンプ２５９を停止させた。

【０１１６】加熱板の温度が安定した時点で開口２２６
を開き、流量調整バルブ２１１を開き、樹脂材料を樹脂
層形成装置２００内に導入し、樹脂層の形成を開始し
た。目標とする樹脂層１層当たりの積層厚みは０．３０
μｍであり、この目標厚みになるように樹脂材料の供給
量を計算で求め、流量調整バルブ２１１で流量を調整し
た。

【０１１７】キャンローラ１１０を３０００回転させた
後、開口２２６を閉じ、樹脂層の積層を中止した。同時
に、樹脂硬化装置１４７を停止するとともに、配管２３
１ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３４ａに−２０℃のエチ
レングリコールを通して加熱板２３１，２３２，２３
３，２３４を急冷した。次いで、キャンローラ１１０の
回転を停止させ、真空槽１０１内を大気圧に戻し、真空
槽１０１を開き、キャンローラ１１０上の積層体を取り
出した。なお、真空槽１０１を開くまでは流量調整バル
ブ２１１を開いたままの状態にしておいた。

【０１１８】（実施例２−２）キャンローラ１１０を３
０００回転させて樹脂層を積層後、開口２２６を閉じる
とともに、バルブ２４１，２５７を開き、吸引ポンプ２
５９を稼働させた以外は実施例２−１と同様にして積層
体を製造した。

【０１１９】（実施例２−３）樹脂層積層後、更に配管
２５１ａ，２５１ｂに−２０℃のエチレングリコールを
通して冷却板２５１，２５２を冷却した以外は実施例２
−２と同様にして積層体を製造した。

【０１２０】（比較例２−１）以下に示す以外は実施例
２−１と同様にして積層体を得た。

【０１２１】即ち、加熱板２３１，２３２，２３３，２
３４を、温媒ではなく、ヒータ２３１ｂ，２３２ｂ，２
３３ｂ，２３４ｂを用いてそれぞれ１５０℃に加熱し
た。また、積層終了後は、加熱板２３１，２３２，２３
３，２３４を冷媒で急冷することなく、ヒータへの給電
を停止するのみとした。

【０１２２】［評価２］実施例２−１，２−２，２−
３、比較例２−１を以下の点で評価した。

【０１２３】（１）積層終了後の樹脂材料の付着量 樹脂層の積層を終了後にキャンローラ上の積層体表面に
付着した未硬化の液状の樹脂材料の量を求めた。

【０１２４】（２）吸引ポンプのメンテナンスサイクル
（実施例２−２，２−３のみ） 実施例２−２，２−３において、キャンローラ１１０を
３０００回転させた後、開口２２６を閉じ、配管２３１
ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３４ａに−２０℃のエチレ
ングリコールを通して加熱板２３１，２３２，２３３，
２３４を急冷し、バルブ２４１，２５７を開いて、吸引
ポンプ２５９を稼働させ（実施例２−３では更に配管２
５１ａ，２５１ｂに−２０℃のエチレングリコールを通
して冷却板２５１，２５２を冷却し）、５分放置した。
その後、配管２３１ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３４ａ
に１５０℃のエチレングリコールを通して加熱板２３
１，２３２，２３３，２３４を加熱した。加熱板の温度
が安定した時点で開口２２６を開き、積層を開始した。
この間、流量調整バルブ２１１は開いたままである。以
下、上記の実施例２−２，２−３と同様に樹脂層を積層
した。このような樹脂層の積層・中断を１サイクルとし
て、吸引ポンプ２５９の排気速度が初期値に対して５％
低下するまでのサイクル数をカウントした。

【０１２５】結果を表２に示す。

【０１２６】

【表２】

【０１２７】実施例２−１と比較例２−１との比較から
明らかなように、樹脂層の積層終了時に排気装置２５０
を稼働させなくても、加熱板２３１，２３２，２３３，
２３４を急冷すれば樹脂材料の蒸発を直ちに停止させる
ことができるので、蒸発装置２２０内の樹脂材料蒸気が
開口２２６と遮蔽板２２７のすき間から漏れ出すのを防
止することができる。従って、得られた積層体への液状
の樹脂材料の付着量を低減することができ、形成工程終
了後に付着した液状の樹脂材料を除去する作業が簡素化
でき、生産性が向上する。

【０１２８】また、実施例２−１と実施例２−２との比
較から明らかなように、樹脂層の積層終了時に、加熱板
２３１，２３２，２３３，２３４の急冷に加えて、更に
排気装置２５０を稼働させることにより、蒸発装置２２
０内の樹脂材料蒸気が開口２２６と遮蔽板２２７のすき
間から漏れ出すのをより一層防止することができる。

【０１２９】更に、実施例２−２と先の実施例１−２と
の比較から明らかなように、樹脂層の積層終了は、加熱
板２３１，２３２，２３３，２３４を急冷し、排気装置
２５０を稼働させることに加えて、更に、樹脂材料の供
給を停止させると（実施例１−２）、蒸発装置２２０内
の樹脂材料蒸気が開口２２６と遮蔽板２２７のすき間か
ら漏れ出すのを更に防止することができる。

【０１３０】また、実施例２−２と実施例２−３との比
較から明らかなように、排気装置２５０を稼働させて蒸
発装置２２０内の樹脂材料蒸気を排気する場合は、吸引
ポンプ２５９の前に冷却体を設置して樹脂材料蒸気を冷
却して液化させて除去すると、吸引ポンプ２５９への樹
脂材料の付着を抑えることができ、吸引ポンプ２５９の
メンテナンス間隔をのばすことができる。よって、生産
性が向上する。

【０１３１】なお、上記に示した各実施例・比較例では
金属薄膜層の形成を行なわなかったが、金属薄膜層と樹
脂層との交互積層体を製造した場合にも、上記と同様の
効果を確認できた。

【０１３２】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、安定し
た品質の樹脂層及び積層体を、生産性よく製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１の積層体の製造装置の
内部の概略構成を示した断面図である。

【図２】 図１の製造装置における樹脂樹脂層形成装置
の概略構成を示した断面図である。

【図３】 図２の樹脂層形成装置の加熱板の概略構成を
示した図であり、図３（Ａ）は平面図、図３（Ｂ）は図
３（Ａ）のＩ−Ｉ線での矢印方向からみた断面図であ
る。

【図４】 従来の積層体の製造装置の一例の概略を模式
的に示した断面図である。

【符号の説明】

１００ 積層体の製造装置 １０１ 真空槽 １０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ 隔壁 １０５，１０７，１０９ 空間 １０４，１０６，１０８ 真空ポンプ １１０ キャンローラ １３０ パターニング材料付与装置 １３１ 流量調整バルブ １３２ パターニング材料供給管 １４０ 金属薄膜形成装置 １４１ 開口 １４２ 遮蔽板 １４５ パターニング材料除去装置 １４７ 樹脂硬化装置 １４９ 表面処理装置 ２００ 樹脂層形成装置 ２１１ 流量調整バルブ ２１２ 樹脂材料供給管 ２２０ 蒸発装置 ２２４ 冷却カップ ２２５ａ，２２５ｂ，２２５ｃ 隔壁 ２２６ 開口 ２２７ 遮蔽板 ２３１，２３２，２３３，２３４ 加熱板 ２３１ａ，２３２ａ，２３３ａ，２３４ａ 配管 ２３１ｂ，２３２ｂ，２３３ｂ，２３４ｂ ヒータ ２４１ バルブ ２５０ 排気装置 ２５１，２５２ 冷却板 ２５１ａ，２５１ｂ 配管 ２５７ バルブ ２５９ 吸引ポンプ ９００ 積層体の製造装置 ９０１ 真空槽 ９０２ 真空ポンプ ９０３ キャンローラ ９１０ 樹脂層形成装置 ９１１ 流量調整バルブ ９１２ 樹脂材料供給管 ９１４，９１５ 加熱板 ９１７ 冷却カップ ９１８ 開口 ９１９ 遮蔽板 ９２１ 樹脂硬化装置 ９２３ 金属薄膜形成装置 ９２５ 開口 ９２６ 遮蔽板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 砂流 伸樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−168560（ＪＰ，Ａ) 特公 平５−5894（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01G 4/18 H01G 4/30 C23C 14/24

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発装
   置を有し、液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、気
   化させて得た樹脂材料蒸気を、前記開口から支持体に向
   けて放出して、真空又は減圧下で前記支持体上に樹脂層
   を形成する樹脂層形成装置であって、 前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を前記蒸発装置外に排出
   する排気装置を更に有し、 前記排気装置は、吸引装置と、前記蒸発装置と前記吸引
   装置との間に設置された除去装置とを備え、 前記樹脂層の形成の終了時に、前記吸引装置は前記蒸発
   装置内の樹脂材料蒸気を前記蒸発装置から吸引し、前記
   除去装置は前記樹脂材料蒸気を冷却し液化させて除去す
   る ことを特徴とする樹脂層形成装置。
2. 【請求項２】 開口と、内部に傾斜して設置された加熱
   体とを備えた蒸発装置を有し、液状の樹脂材料を前記加
   熱体上で流動させながら加熱し、気化させて得た樹脂材
   料蒸気を、前記開口から支持体に向けて放出して、真空
   又は減圧下で前記支持体上に樹脂層を形成する樹脂層形
   成装置であって、前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を前記蒸発装置外に排出
   する排気装置を更に有し、 前記加熱体は内部に熱媒体を通すための通路を有し、 前記樹脂層の形成の終了時に、前記通路に冷媒を通すこ
   とにより前記樹脂材料の蒸発を停止させる ことを特徴と
   する樹脂層形成装置。
3. 【請求項３】 前記排気装置は、吸引装置と、前記蒸発
   装置と前記吸引装置との間に前記樹脂材料蒸気を除去す
   る除去装置とを備える請求項２に記載の樹脂層形成装
   置。
4. 【請求項４】 前記除去装置は、前記樹脂材料蒸気を冷
   却し液化させて除去する請求項３に記載の樹脂層形成装
   置。
5. 【請求項５】 前記開口を開閉する遮蔽板を有する請求
   項１又は２に記載の樹脂層形成装置。
6. 【請求項６】 前記蒸発装置及び前記支持体が真空槽内
   に収納されている請求項１又は２に記載の樹脂層形成装
   置。
7. 【請求項７】 前記蒸発装置及び前記支持体が真空槽内
   に収納されており、前記排気装置は前記真空槽外に設置
   され、前記排気装置は前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を
   前記真空槽外に排気する請求項１又は２に記載の樹脂層
   形成装置。
8. 【請求項８】 支持体と、前記支持体上に樹脂層を形成
   する樹脂層形成装置と、前記支持体上に金属薄膜層を形
   成する金属薄膜形成装置と、前記支持体、前記樹脂層形
   成装置、及び前記金属薄膜形成装置を収納する真空槽と
   を備えた積層体の製造装置であって、前記樹脂層形成装
   置が請求項１又は２に記載の樹脂層形成装置であること
   を特徴とする積層体の製造装置。
9. 【請求項９】 前記支持体が周回することにより、樹脂
   層と金属薄膜層との交互積層体が製造される請求項８に
   記載の積層体の製造装置。
10. 【請求項１０】 開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発
    装置を用い、液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、
    気化させて、樹脂材料蒸気を得た後、前記開口から前記
    樹脂材料蒸気を支持体に向けて放出して、真空又は減圧
    下で前記支持体上に樹脂層を形成する樹脂層の製造方法
    であって、 前記開口を閉じて、前記樹脂材料蒸気を前記蒸発装置外
    に排出する形成中止工程と、 前記樹脂材料蒸気の前記蒸発装置外への排出を停止する
    とともに、前記開口を開き、前記支持体上に樹脂層を形
    成する形成工程とを有し、 前記形成中止工程において、前記蒸発装置外に設置され
    た吸引装置を用いて前記樹脂材料蒸気を前記蒸発装置か
    ら吸引し、前記蒸発装置と前記吸引装置との間で前記樹
    脂材料蒸気を冷却し液化させて除去する ことを特徴とす
    る樹脂層の製造方法。
11. 【請求項１１】 前記形成中止工程において前記蒸発装
    置内で液状の樹脂材料を加熱、気化させ、その後、前記
    形成工程に移行する請求項１０に記載の樹脂層の製造方
    法。
12. 【請求項１２】 前記形成工程の後に、前記形成中止工
    程に移行する請求項１０に記載の樹脂層の製造方法。
13. 【請求項１３】 前記形成中止工程において前記蒸発装
    置内で液状の樹脂材料を加熱、気化させる請求項１２に
    記載の樹脂層の製造方法。
14. 【請求項１４】 前記形成中止工程では前記加熱体を冷
    却して、前記液状の樹脂材料が気化するのを防止する請
    求項１０又は１２に記載の樹脂層の製造方法。
15. 【請求項１５】 前記加熱体に冷却した熱媒体を通して
    前記加熱体を冷却する請求項１４に記載の樹脂層の製造
    方法。
16. 【請求項１６】 開口と、内部に傾斜して設置され、熱
    媒体を通す通路を内部に有する加熱体とを備えた蒸発装
    置を用い、液状の樹脂材料を前記加熱体上で流動させな
    がら加熱し、気化させて、樹脂材料蒸気を得た後、前記
    開口から前記樹脂材料蒸気を支持体に向けて放出して、
    真空又は減圧下で前記支持体上に樹脂層を形成する樹脂
    層の製造方法であって、 前記樹脂層の積層終了時に前記開口を閉じ、前記蒸発装
    置外に設置された吸引装置を用いて前記樹脂材料蒸気を
    前記蒸発装置から吸引し、前記加熱体の前記通路に冷媒
    を通して前記加熱体を急冷することを特徴とする樹脂層
    の製造方法。