JP3460532B2 - 低湿度作業装置 - Google Patents

低湿度作業装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、露点−２０℃以下
の低湿度の作業空間を実現する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】低湿度の作業空間は、たとえばリチウム
イオン電池の製作などのために必要になる。この低湿度
作業空間内で、リチウムなどを含む部材のかしめ作業な
どを行う。リチウムイオンは、過充電でリチウム金属と
なり、これは水蒸気の存在下でＬｉ3Ｎに化学変化して
しまい、したがってその作業空間は、低湿度に保たれな
ければならない。
【０００３】作業者が低湿度作業空間内に入ると、目が
乾燥し、鼻の粘膜および唇がひび割れし、また風邪のビ
ールスに感染しやすくなってしまう。また作業者の発汗
によって低湿度の環境を保つことは困難である。
【０００４】この問題を解決する先行技術は図１５に示
されている。この先行技術は、バキュームグローブボッ
クスと呼ばれ、可撓性を有する２つの手袋（１）が備え
られた気密のハウジング（２）には、内部の作業空間を
見るための透明なガラス板（３）が、開閉自在に気密に
設けられる。ガラス板（３）を開いて、ハウジング
（２）内に作業すべき物品を入れ、その後、ガラス板
（３）を気密に閉じる。そこで真空ポンプ（４）によっ
てハウジング（２）内を強制排気した後、圧力容器
（５）から、乾燥したアルゴンなどの不活性ガスを大気
圧である常圧まで封入する。作業者は、手袋（１）内に
手および前腕を挿入し、ハウジング（２）内に入れてあ
る物品の作業を、低湿度の環境下で、行うことができ
る。
【０００５】図１５に示される先行技術の新たな問題に
ついて述べると、ハウジング（２）内の作業空間にはア
ルゴンなどの不活性ガスが封入されており、そのような
封入ガスが大気放散されないように、また外部の空気が
作業空間に入込まないように、上述のように手袋（１）
が備えられている。したがって作業者は手袋（１）を介
して作業を行わなければならず、作業性が悪い。
【０００６】またハウジング（２）の作業空間内に物品
の出し入れのたびに、その作業空間を強制排気してアル
ゴンなどの不活性ガスを置換する必要があり、作業性が
悪いという問題もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、低湿
度の作業空間内で、良好な作業性で、作業を行うことが
できるようにした改良された低湿度作業装置を提供する
ことである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）作業室
（９）を形成するハウジング（８）であって、作業者の
左右の上肢を挿通することができる操作孔（３０）が形
成される周壁を有し、操作孔の少なくとも上方または側
方の付近は、透光性であるハウジング（８）と、 （ｂ）作業者の上肢を操作孔（３０）に挿通した状態、
および操作孔（３０）から離脱した状態で、操作孔（３
０）を塞ぐシール部材（３７）を有するシール手段と、 （ｃ）除湿装置（１８）であって、作業室からの空気を
除湿する除湿手段（４２）と、除湿された空気を作業室
（９）に戻して循環する循環手段とを有し、作業室
（９）内の空気の露点を−２０℃以下にする除湿装置
（１８）と、 （ｄ）外部の空気を除湿手段（４２）に供給して作業室
（９）を正圧に保つ空気供給手段とを含むことを特徴と
する低湿度作業装置である。
【０００９】本発明に従えば、ハウジング（８）は、低
湿度作業空間である作業室（９）を形成し、作業室
（９）からの空気を除湿手段によって除湿し、こうして
除湿された空気を作業室（９）に戻して循環する。こう
して作業室（９）内を効率よく、低湿度空間とする。こ
の作業室（９）内の空気の露点は、−２０℃以下とさ
れ、たとえば−２０℃〜−７０℃の範囲に定められる。
このような低い露点を有する低湿度環境下では、作業者
が中に入ると、前述のように目が乾燥し、鼻の粘膜およ
び唇が乾燥してひび割れが生じ、さらに風邪のビールス
が感染しやすい状況になる。作業室（９）内には、作業
者の左右の上肢を周壁に形成された操作孔（３０）から
挿入し、作業室（９）内で作業を行うことができる。し
たがって低湿度作業室（９）に、作業者の目が接触する
ことはなく、また鼻の粘膜および唇などが乾燥してひび
割れを生じるおそれはなく、さらにビールスによる感染
の問題もない。
【００１０】また作業室（９）を正圧に保つため、空気
を外部から除湿手段（４２）に供給する。すなわち作業
室（９）は、大気圧よりもわずかに高い圧力、たとえば
０．５〜１０ｍｍＨ2Ｏだけ高い圧力に保たれる。した
がって作業室（９）内に、操作孔（３０）から混入する
空気を最少限におさえることができる。これによって作
業室（９）内の湿度が、常に低く保たれる。
【００１１】操作孔（３０）は、たとえば横に細長く形
成され、左右の上肢を挿通することができる。したがっ
て前述の先行技術に関連して述べたように手袋を、本発
明では用いず、上肢を操作孔（３０）に挿通した状態、
および操作孔（３０）から離脱した状態で、操作孔（３
０）を塞ぐシール手段によってシールする。したがって
作業性が良好である。左右の上肢というのは、作業者の
手だけであってもよく、手および前腕を含んでもよく、
さらに手、前腕および上腕を含んでもよい。挿入孔（３
０）から同時に両上肢を作業室（９）内に挿入すること
ができるので、作業性が極めて良好であるとともに、作
業室（９）内でたとえばかしめ作業などの各種の作業を
行うべき物品および治具等を、その操作孔（３０）から
作業室（９）内に持込み、または取出すことができる。
このことからも、作業性が良好である。しかも上述のよ
うに作業室（９）は、循環する乾燥した空気が循環して
正圧に保たれているので、操作孔（３０）を介する上肢
および物品、治具などの出し入れ時に、外部の空気が作
業室内に混入するのを最少限におさえることができる。
【００１２】作業室（９）内での作業の状態を作業者が
外部から見ることができるようにするために、操作孔
（３０）の少なくとも上方または側方の付近は透光性と
される。
【００１３】また本発明は、前記除湿装置（１８）およ
び空気供給手段は、各冷却手段（４８，５８）を含み、
作業室（９）からの空気および外部から供給される空気
は、それぞれ冷却手段（４８，５８）を介して除湿手段
（４２）に送られることを特徴とする。
【００１４】本発明に従えば、循環される空気および外
部から供給される空気は、冷却手段（４８，５８）によ
って冷却された後、除湿手段（４２）に送られる。これ
によって除湿手段（４２）入口の相対湿度が高くなり、
除湿効率が上昇される。冷却手段（４８，５８）が、循
環される空気および外部から供給される空気に対し、別
々に設けられるのは、それらの空気の露点が異なるため
である。
【００１５】また本発明は、前記冷却手段が、並列に設
けられた２つの蒸発器（４８，５８）を有する圧縮式冷
凍機（４１）であることを特徴とする。
【００１６】本発明に従う冷却手段は、圧縮式冷凍機
（４１）が好ましいがこれに限定されるものではない。
特に作業室（９）が小型で振動、騒音が問題になるとき
は、ペルチェ冷凍機が用いられる。圧縮式冷凍機（４
１）は、比較的小型で効率よく被冷却物（空気）を冷却
できる。また循環空気冷却用と、外部から供給される空
気の冷却用とに２台の圧縮式冷凍機を用いることも可能
であるが、蒸発器のみ並列に２基設け、その他は１台で
兼用することが場所も少なく好ましい。この場合一方の
蒸発器（４８）で循環空気を冷却し、他方の蒸発器（５
８）で外部から供給される空気を冷却する。
【００１７】また本発明は、除湿装置（１８）からの除
湿された空気を作業室（９）に導入する導入孔（１１）
には、除塵用フィルタ（２９）が設けられることを特徴
とする。
【００１８】本発明に従えば、除湿装置（１８）によっ
て除湿された空気は、除塵用フィルタ（２９）を介して
導入孔（１１）から作業室（９）内に導入される。この
除塵用フィルタ（２９）の圧力損失によって、導入孔
（１１）からはほぼ均一な流量分布で、除湿された低湿
度の空気が導入されることができる。したがって作業室
（９）内への導入孔（１１）からの空気の偏流が防がれ
る。こうして除塵用フィルタ（２９）は、その本来の微
細な塵埃を除去するとともに、圧力損失を生じて導入孔
（１１）からの乾燥した低湿度空気の流量を均一にする
働きをも果す。
【００１９】また本発明は、前記導入孔（１１）は、作
業室（９）の上部に形成され、作業室（９）の下部に形
成された排出孔（１４）は、作業室（９）内の空気を取
出して除湿装置（１８）に導くことを特徴とする。
【００２０】本発明に従えば、除湿された空気を作業室
（９）に導入する導入孔（１１）は、作業室（９）の上
部に形成され、作業室（９）の下部には排出孔（１４）
が形成され、作業室（９）内の空気が取出されて除湿装
置（１８）に導かれる。したがって乾燥した空気は作業
室（９）内で上から下に整流した状態で流れる。こうし
て作業室（９）内で空気が澱んだり偏流したりすること
はなく、作業室（９）内全体の空間を、低湿度の環境に
保つことができる。これによって高精度の低湿度作業空
間を形成し、内部の作業を確実に行わせることができる
ようになる。
【００２１】また本発明は、空気供給手段は、作業室
（９）内の空気の圧力を検出する圧力検出手段（８３）
と、外部の空気を吸入するファン（５２）と、圧力検出
手段の出力に応答し、作業室（９）内の空気の圧力が大
気圧よりも高い予め定める値になるように、外部から取
入れる空気の流量を制御する手段とを含むことを特徴と
する。
【００２２】本発明に従えば、作業室（９）内を大気圧
の常圧よりもわずかに高い正圧にして、操作孔（３０）
から外部の空気を吸込むことを防ぐことを確実にするた
めに、作業室（９）内の空気の圧力を、圧力検出手段に
よって検出し、その作業室（９）内の空気の圧力が予め
定める値になるように、空気供給手段からの空気の流量
を制御する。この空気の流量を制御するために、たとえ
ば外部の空気を吸入するファンの回転速度を変化し、ま
たは外部からの空気の流路の途中に、流路制御弁（８
６）を介在し、作業室（９）内の空気の圧力が予め定め
る値未満になったときファンの回転速度を上昇し、また
は流量制御弁（８６）の開度を増大し、空気の圧力が予
め定める値を越えたとき、逆の動作を行わせる。こうし
て作業室（９）内の空気の圧力を、前記予め定める値に
常に一定に、負帰還制御して一定に保つことができる。
【００２３】また本発明は、除湿手段（４２）は、 （ａ）全体の形状がほぼ円柱状である除湿ロータ（６
１）であって、除湿剤を担持した基材から成り、軸線方
向に延びる多数の気体通過孔を有する除湿ロータ（６
１）と、 （ｂ）除湿ロータ（６１）をその軸線まわりに回転駆動
する手段（６３）と、 （ｃ）空気案内手段（６５）であって、除湿ロータ（６
１）の軸線方向両端部で、除湿ロータ（６１）の周方向
に、回転方向に沿って除湿処理部（５４）、再生部（６
７）およびパージ部（６８）をこの順序で仕切って形成
し、作業室（９）からの循環空気および空気供給手段か
らの空気を、除湿処理部（５４）に、除湿ロータ（６
１）の軸線方向一方側から他方側に供給し、再生用空気
を、再生部（６７）に、除湿ロータ（６１）の軸線方向
前記他方側から前記一方側に供給し、再生部（６７）か
らの空気を外部に排出し、除湿ロータ（６１）から作業
室（９）に戻す空気の一部を、パージ部（６８）に、除
湿ロータ（６１）の軸線方向前記他方側から前記一方側
に供給し、パージ部（６８）からの空気を再生用空気の
一部として再生部（６７）に導く空気案内手段と、 （ｄ）再生部（６７）に供給すべき再生用空気を加熱す
る加熱器（７２）とを含むことを特徴とする。
【００２４】本発明に従えば、除湿手段（４２）は、全
体の形状がほぼ円柱状の除湿ロータ（６１）を備え、空
気案内手段によって蒸発器（４８，５８）からの除湿す
べき空気を、除湿ロータ（６１）の周方向の一部を成す
除湿処理部（５４）で、その除湿ロータ（６１）の軸線
方向一方側から他方側に供給する。除湿ロータ（６１）
は、除湿処理部（５４）から、次に、再生部（６７）に
移り、ここで加熱器（７２）によって加熱された再生用
空気が、除湿ロータ（６１）の軸線方向前記他方側から
前記一方側に、すなわち除湿処理部（５４）における空
気の流れ方向とは逆方向に、供給し、これによって除湿
ロータ（６１）の除湿剤によって捕えられた水蒸気また
は水滴を、再生用空気によって放出する。再生部（６
７）を通過して高湿度となった再生用空気は、外部に放
散される。
【００２５】除湿ロータ（６１）が回転して再生部（６
７）から除湿処理部（５４）に移動する間に、周方向に
パージ部（６８）が形成される。このパージ部（６８）
には、作業室（９）に除湿ロータ（６１）の除湿処理部
（５４）から戻される空気の一部を取出して供給し、こ
のパージ部（６８）では、除湿ロータ（６１）の軸線方
向前記他方側から前記一方側に供給さる。すなわち除湿
処理部（５４）における空気の流れと逆方向に、パージ
のための空気が供給される。こうして除湿ロータ（６
１）の再生部（６７）を通過した後の部分内に、残存し
ている再生用空気は、パージ部で乾燥した空気とともに
除湿ロータ（６１）から取出され、この空気は、比較的
湿度が低いので、再び、再生用空気として再生部（６
７）に導かれて、除湿ロータ（６１）の再生のために用
いられる。
【００２６】また本発明は、（ａ）作業室（９）を形成
するハウジング（８）であって、作業者の左右の上肢を
挿通することができる操作孔（３０）が形成される周壁
を有し、作業室（９）の上部に導入孔（１１）が形成さ
れ、作業室（９）の下部に排出孔（１４）が形成され、
操作孔（３０）の少なくとも上方または側方の付近は、
透光性であるハウジング（８）と、 （ｂ）作業者の上肢を操作孔（３０）に挿通した状態、
および操作孔（３０）から離脱した状態で、操作孔（３
０）を塞ぐシール部材（３７）を有するシール手段と、 （ｃ）圧縮式冷凍機（４１）であって、排出孔（１４）
からの空気を冷却する第１の蒸発器（４８）と、第１の
蒸発器（４８）に並列に設けられ、外部から供給される
空気を冷却する第２蒸発器（５８）とを有する圧縮式冷
凍機（４１）と、 （ｄ）除湿手段（４２）であって、 （ｄ１）全体の形状がほぼ円柱状である除湿ロータ（６
１）であって、除湿剤を担持した基材から成り、軸線方
向に延びる多数の気体通過孔を有する除湿ロータ（６
１）と、 （ｄ２）除湿ロータ（６１）をその軸線まわりに回転駆
動する手段（６３）と、 （ｄ３）空気案内手段（６５）であって、除湿ロータ
（６１）の軸線方向両端部で、除湿ロータ（６１）の周
方向に、回転方向に沿って除湿処理部（５４）、再生部
（６７）およびパージ部（６８）をこの順序で仕切って
形成し、第１および第２蒸発器（４８，５８）からの空
気を、除湿処理部（５４）に、除湿ロータ（６１）の軸
線方向一方側から他方側に供給し、外部からの空気を含
む再生用空気を、再生部（６７）に、除湿ロータ（６
１）の軸線方向前記他方側から前記一方側に供給し、再
生部（６７）からの空気を外部に排出し、除湿ロータ
（６１）の除湿処理部（５４）から導入孔（１１）に導
く空気の一部を、パージ部（６８）に、除湿ロータ（６
１）の軸線方向前記他方側から前記一方側に供給し、パ
ージ部（６８）からの空気を再生用空気の一部として再
生部（６７）に導き、作業室（９）内の空気の露点を−
２０℃以下にし、作業室（９）を大気圧よりも０．５〜
１０ｍｍＨ２Ｏだけ高い正圧に保つ空気案内手段（６
５）と、 （ｄ４）再生部（６７）に供給すべき再生用空気を加熱
する加熱器（７２）とを含む除湿手段（４２）とを含む
ことを特徴とする低湿度作業装置である。
【００２７】本発明に従えば、前述の先行技術に関連し
て述べたように手袋を用いず、シール部材（３７）を有
するシール手段が用いられ、このシール手段は、作業者
の上肢を操作孔（３０）に挿通した状態、および操作孔
（３０）から離脱した状態で、操作孔（３０）をシール
部材（３７）によって塞ぐ。このように手袋を用いない
ので作業性がきわめて良好である。しかも操作孔（３
０）から作業室（９）内に、たとえばかしめ作業などの
各種の作業を行うべき物品および治具等を、持込むこと
ができ、または取出すことができ、このことからも、作
業性が良好である。さらに本発明に従えば、圧縮式冷凍
機（４１）の第１および第２蒸発器（４８，５８）によ
って排出孔（１４）からの空気を冷却するとともに外部
から供給される空気を冷却し、除湿手段４２の除湿ロー
タ（６１）を用いて除湿を行うので、作業室（９）を、
大気圧よりも０．５〜１０ｍｍＨ２Ｏだけ高い正圧に保
ちつつ、シール手段から外部に低露点の空気が漏洩して
も、充分な流量で低露点の除湿空気を作業室９に供給す
ることができる。
【００２８】また本発明は、シール部材（３７）は、可
撓性、弾発性を有する材料から成る薄板状に形成される
ことを特徴とする。
【００２９】本発明に従えば、操作孔（３０）はシール
手段によってシールされ、外部供給空気量を少なくする
ことができ、シール部材（３７）は可撓性を有し、弾発
性を有し、たとえば天然ゴム、合成ゴムおよび塩化ビニ
ルなどの合成樹脂材料から成ってもよく、したがって作
業室内の乾燥した低湿度の空気が、大量に外部に漏洩す
るという無駄が抑えられる。
【００３０】また本発明は、前記シール手段が、操作孔
（３０）の上部から垂下され、下端部が操作孔（３０）
の下端部よりも僅かに上方にあり、横に隣接して配置さ
れる縦に細長い可撓性を有するシール部材（３７）から
成ることを特徴とする。
【００３１】本発明に従えば、前記シール手段は、縦に
細長い薄板の短冊状の複数のシール部材（３７）が、横
に隣接して配置され、操作孔（３０）の上部から吊下げ
られて垂下される。したがって操作孔（３０）から作業
者の上肢を挿入しやすく、また作業室（９）内から上肢
を取出しやすく、しかも作業中には、上肢の外周部はシ
ール部材（３７）によって塞がれ、作業室内の乾燥した
低湿度の空気が、大量に外部に漏洩するという無駄が抑
えられる。
【００３２】シール部材（３７）の下端部は、操作孔
（３０）の下端部よりもわずかに、たとえば０．５〜５
ｍｍ程度の間隔をあけて上方にある。これによってシー
ル部材（３７）がその自重で鉛直に垂れ下がっている状
態で、作業室（９）内からの低湿度空気が外部に大量に
漏洩することはなく、また外部から混入する空気を最少
限におさえることができる。もしもシール部材（３７）
の下端部が、操作孔（３０）の下端部よりも下方にある
とすれば、そのシール部材（３７）の下端部は、操作孔
（３０）の下端部付近で作業室（９）側にあり、または
ハウジング（８）外方にある。したがってたとえば隣接
する２つのシール部材（３７）の一方の下端部が操作孔
（３０）の下端部付近で作業室（９）内にあり、他方の
下端部がハウジング（８）外方にあるとすれば、これら
のシール部材（３７）相互間に間隙が生じ、作業室
（９）内の空気が外方に漏れ、また外部の空気が作業室
内に侵入しやすくなる。本発明は、この問題を解決す
る。
【００３３】また本発明は、ハウジング（８）の周壁の
上方付近に、操作孔（３０）の横方向の長さ以上の長さ
を有する横に細長い窓孔（３１）が形成され、この窓孔
（３１）には、透光性材料から成る窓板（３２）が気密
に固定されることを特徴とする。
【００３４】本発明に従えば、ハウジング（８）に窓孔
（３１）が形成される。この窓孔（３１）は、周壁に形
成されて操作孔（３０）の付近であって、その操作孔
（３０）の上方または側方であり、しかも操作孔（３
０）の横方向の長さＬ１以上の長さＬ２を有し、横に細
長く形成される。窓孔（３１）の上下の高さＨ３は、作
業室（３０）の寸法形状に応じて、可能なだけ大きい値
に選ばれてもよい。
【００３５】この窓孔（３１）には、透光性材料、たと
えばアクリル樹脂などの合成樹脂材料またはガラスなど
から成る窓板（３２）が気密に固定される。こうして作
業室（９）内からの低湿度空気が外部に漏洩することは
なく、また外部からの空気が作業室（９）内に混入する
ことはなく、しかも作業者は操作孔（３０）から上肢を
作業室（９）内に挿入した状態で、作業状態を、窓板
（３２）を介して外部で見ることができる。これによっ
て作業性が向上される。
【００３６】ハウジング（８）の材質は特に限定され
ず、透明プラスチックで構成されてもよいが、一般に常
用される金属製またはプラスチック製で、気密に構成さ
れる。これらの材質は遮光性があり、操作孔（３０）の
上方に前記窓孔（３１）が設けられたものが好適に用い
られる。
【００３７】また本発明は、ハウジング（８）は、架台
（３５）上に設けられ、操作孔（３０）の上下の高さＨ
１＝約０．１５〜０．４０ｍであり、操作孔の横の長さ
Ｌ１＝約０．３〜２．０ｍであり、操作孔（３０）の下
端部は、床面から高さＨ２＝約０．５〜１．４ｍであ
り、ハウジング（８）の窓孔（３１）の横の長さＬ２
は、操作孔（３０）の横の長さＬ１とほぼ等しいことを
特徴とする。
【００３８】本発明に従えば、ハウジング（８）は、車
輪（３４）を付した架台上に設けられ、または本発明の
他の考え方によれば、架台は省略されてもよい。
【００３９】操作孔（３０）の上下の高さＨ１、横の長
さＬ１を上述の寸法に選ぶことによって、操作孔（３
０）に、作業者が椅子に座った状態で、または床上に立
った状態で、操作孔（３０）から上肢を作業室内に、作
業しやすい姿勢を保ったままで、挿入することができ
る。
【００４０】さらに操作孔（３０）の下端部の床面から
の高さＨ２を上述の寸法に選び、これによって作業者が
椅子に座った状態または床に立った状態で、自然な状態
で操作孔（３０）から上肢を作業室内に挿入することが
できる。
【００４１】操作孔の横の長さＬ１は、作業者の左右の
上肢を同時に操作孔（３０）から作業室（９）内に挿入
して両手で作業室（９）内で作業を円滑に行うことがで
きる値に、上述のように、定められる。また操作孔（３
０）の横の長さＬ１とハウジング（８）の窓孔（３１）
の横の長さＬ２とは、ほぼ等しく、したがって作業者
は、この操作孔（３０）から左右の上肢を作業室（９）
内に挿入し、その両方の手などを見ながら、上首尾に、
作業状態を見ながら作業を行うことができ、作業性が極
めて良好である。
【００４２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態の
低湿度作業装置（７）の簡略化した系統図である。ハウ
ジング（８）内に形成された作業室（９）内には、その
作業室（９）の上部である天井（１０）の導入孔（１
１）から低湿度空気が矢符（１２）で示されるように導
入される。作業室（９）内を上から下に空気が流れ、そ
の作業室（９）の底部（１３）の排出孔（１４）から、
矢符（１５）で示されるように空気が排出され、通路
（１７）を経て除湿装置（１８）に導かれ、その空気の
除湿が行われる。こうして作業室（９）内では、空気の
露点は、−２０℃以下に保たれる。この作業室（９）内
の空気の露点は、−２０℃〜−７０℃、好ましくは−４
０℃〜−７０℃に保たれる。
【００４３】図２は、図１に示される低湿度作業装置
（７）の一部を、透視した斜視図であり、図３は低湿度
作業装置（７）の全体の正面図であり、図４は低湿度作
業装置（７）の側面図である。これらの図面を参照し
て、ハウジング（８）は、基本的には鋼またはステンレ
ス鋼などの金属製であり、実施の他の形態では、全体が
透光性を有するアクリル樹脂などの合成樹脂材料から成
ってもよく、または遮光性合成樹脂材料から成ってもよ
い。
【００４４】図５は、本発明の実施の他の形態の低湿度
作業装置（７）の簡略化した断面図である。この図５に
示される実施の形態における図１〜図４に示される実施
の形態と対応する部分には、同一の参照符を付す。図５
に示す低温度作業装置（７）は比較的小型であり、作業
室（９）の下部に除湿装置（１８）が設けられている。
作業室（９）および除湿装置（１８）に関する構成は、
図１〜図４の実施の形態および図５の実施の形態のいず
れも類似する。作業室（９）は、天井（１０）と底部
（１３）と、左右の両側壁（１９，２０）と前板（２
１）と背板（２２）とによって形成される。図２に示さ
れる構成では、側壁（１９）は比較的大きく、蓋体（２
３）を気密に着脱可能であり、したがって蓋体（２３）
を開いて作業室（９）内に、比較的大きな作業機械など
を入れて、低湿度環境下で、作業を行うことができる。
前板（２１）は、鉛直に延びる鉛直部（２１ａ）と、上
方になるにつれて背後側に傾斜した傾斜部（２１ｂ）と
から成るけれども、本発明の実施の他の形態では、この
前板（２１）は、鉛直に形成されてもよい。
【００４５】作業室（９）の底部（１３）には、排出孔
（１４）に臨んで底ヘッダ（２４）が形成され、管路
（２５）から除湿装置（１８）に低湿度空気が導かれ
る。
【００４６】除湿装置（１８）で低湿度とされた乾燥し
た空気は、背板（２２）と外壁（２６）との間に形成さ
れた通路（２７）を介して上昇し、天井（１０）の上方
に形成されたヘッダ（２８）に導かれる。ヘッダ（２
８）内の低湿度の空気は、導入孔（１１）に臨んで設け
られる除塵用フィルタ（２９）によって塵埃が除去され
るとともに、そのフィルタ（２９）の圧力損失によっ
て、導入孔（１１）から作業室９内に、空気が均一な流
量分布で、導入されることができる。
【００４７】作業室（９）を形成するハウジング（８）
の天井（１０）、底部（１３）、左右両側壁（１９，２
０）、前板（２１）および背板（２２）は、周壁を構成
する。この前板（２１）の鉛直部（２１ａ）には、横に
細長い大略的に長方形の操作孔（３０）が形成される。
この操作孔（３０）には、操作者の左右の上肢を、同時
に挿入することができる。この上肢は、手だけであって
もよく、または手と前腕とだけであってもよく、さらに
また手と前腕と上腕とであってもよい。
【００４８】操作孔（３０）の近傍でその上方には、前
板（２１）の傾斜部（２１ｂ）に、横に細長い窓孔（３
１）が形成され、この窓孔（３１）は、透光性を有する
窓板（３２）によって気密に塞がれる。窓板（３２）
は、平板状のアクリル樹脂などの合成樹脂製であっても
よく、またはガラス板などであってもよい。
【００４９】操作孔（３０）が示される図３において、
その操作孔（３０）の上下の高さＨ１は、約０．１５〜
０．４０ｍであり、作業者の上肢を挿入離脱することが
容易である。操作孔（３０）の横の長さＬ１は、約０．
３〜２．０ｍであり、作業者の左右の両上肢を操作孔
（３０）に挿入／離脱することができ、またその上肢を
操作孔（３０）に挿通したままで、左右に移動すること
もまた、可能である。
【００５０】操作孔（３０）の下端部（３３）は、床面
から高さＨ２を有し、この高さＨ２は、約０．５〜１．
４ｍである。したがって作業者は、椅子に座った状態
で、上肢を操作孔（３０）に挿入することができ、また
は操作者が床に立った状態で、上肢を操作孔（３０）内
に挿入することが容易である。こうして作業性が向上さ
れる。この作業室（９）を形成するハウジング（８）
は、複数の車輪（３４）を有する架台（３５）上に設け
られ、車輪（３５）は、省略されてもよい。
【００５１】窓孔（３１）の横の長さＨ２は、操作孔
（３０）の横の長さＬ１とほぼ等しい値に選ばれる。操
作孔（３０）と窓孔（３１）とは、水平に平行に並んで
配置される。上述の実施の各形態では、窓孔（３１）
は、操作孔（３０）の付近で、その上方に設けられたけ
れども、本発明の実施の他の形態では、窓孔（３１）
は、操作孔（３０）の左右の一側方または両側方で、そ
の操作孔（３０）の近傍に設けられ、この窓孔（３１）
を前述のように窓板（３２）で塞がれるように構成され
てもよい。
【００５２】図６は操作孔（３０）の拡大した正面図で
あり、図７は図６の切断面線ＶＩＩ−ＶＩＩから見た断
面図である。操作孔（３０）を塞ぐために、シール手段
（３６）が設けられる。このシール手段（３６）は、多
数の薄板状の短冊である多数のシール部材（３７）を含
む。シール部材（３７）は、操作孔（３０）の上部、た
とえば上端部（３８）に固定されて、鉛直下方に吊下げ
られて垂下される。このシール部材（３７）は、横に隣
接し、相互に厚み方向に重なることはなく、かつ横方向
に隙間をほとんど存在させずに、配置される。シール部
材の下端部（３７ａ）は、操作孔（３０）の下端部（３
３）よりも隙間Δｄだけ僅かに上方にある。Δｄは、た
とえば０．５〜５ｍｍであってもよく、これによって作
業室（９）内の低湿度空気が外部に漏洩することが最低
限にされるとともに、シール部材（３７）によって操作
孔（３０）をほぼ全面にわたって確実に塞ぐことができ
る。
【００５３】このシール部材（３７）は、幅Ｗ１が２〜
２０ｍｍであり、好ましくは約１０ｍｍであり、その厚
みＤ１は、１〜３ｍｍであり、特に１〜２ｍｍが好まし
い。シール部材（３７）は、天然ゴムまたはシリコンゴ
ムなどの合成ゴムから成り、あるいは合成樹脂材料から
成ってもよい。このような材料は、可撓性を有し、さら
に弾発性を有する。シール部材（３７）が弾発性を有す
ることによって、操作孔（３０）を、そのシール部材３
７の弾発力によって確実に塞ぎ、作業室（９）の正圧に
よって操作孔（３０）が開いてしまうことが防がれる。
こうして作業室（９）内の低湿度空気が外部に漏洩する
ことが防がれ、無駄がなくなる。本発明の実施の他の形
態では、シール部材（３７）は、可撓性だけを有し、弾
発性を有していなくてもよい。
【００５４】シール部材（３７）は、露点温度が−３０
℃以上と比較的高い場合は操作孔（３０）に設けられて
いなくてもよい。シール手段（３６）は、シール部材
（３７）を有する構造に代えて、他の構造であってもよ
い。
【００５５】再び図１を参照して、除湿装置（１８）は
基本的には、圧縮式冷凍機（４１）と、除湿手段（４
２）と、空気取入れ手段（４３）とを含む。圧縮式冷凍
機（４１）は、冷媒を圧縮する圧縮機（４４）と、圧縮
機（４４）からの冷媒が供給される凝縮器（４５）と、
凝縮器（４５）からの液体の冷媒が管路（４６）を介し
て供給される膨張弁（４７）と、蒸発器（４８）と、蒸
発器（４８）からの冷媒が導かれる管路（４９）とを含
み、管路（４９）からの冷媒は、圧縮機（４４）に戻さ
れて循環される。
【００５６】作業室（９）からの除湿すべき空気は、管
路（２５）から活性炭などのフィルタ（５０）で有害・
有毒ガスが吸着除去され、蒸発器（４８）で冷却され、
管路（５１）から、ファン（５２）を介して、管路（５
３）から除湿手段（４３）の除湿処理部（５４）に導か
れて除湿される。
【００５７】除湿手段（４３）で除湿された後の空気
は、管路（５５）からファン（５６）を経て、管路（５
７）から、ヘッダ（２８）に導かれる。
【００５８】圧縮式冷凍機（４１）にはさらに、外部の
空気を取入れるための空気取入手段（４３）に関連して
設けられるプレクーラである蒸発器（５８）が設けられ
る。この蒸発器（５８）には、凝縮器（４５）から管路
（４６）を経て、膨張弁（５９）が接続され、この膨張
弁（５９）で断熱膨張された冷媒は、蒸発器（５８）に
導かれる。蒸発器（５８）からの冷媒は、管路（４９）
に戻される。プレクーラ（５８）は、外部の空気を冷却
し、ファン（５２）を経て、除湿手段（４２）の上流で
前記作業室（９）からの空気に注入され、これによって
前述のように作業室（９）が正圧に保たれる。
【００５９】図８は、除湿手段（４２）の構成を簡略化
して示す斜視図である。この除湿手段（４２）は、除湿
ロータ（６１）を有する。除湿ロータ（６１）は全体の
形状がほぼ円柱状であり、その軸線（６２）まわりに、
モータ（６３）によって一方向（６４）に回転駆動され
る。
【００６０】図９は除湿ロータ（６１）の一部を拡大し
た正面図である。除湿ロータ（６１）は、除湿剤を担持
した基材から成り、軸線（６２）方向に延びる多数の気
体通過孔を有する。この除湿ロータ（６１）はたとえ
ば、積層した活性炭紙に塩化リチウムを含浸した活性炭
ロータであってもよく、またはセラミック繊維ペーパに
シリカゲルを化学合成結合させたシリカゲルロータなど
であってもよい。
【００６１】空気案内手段（６５）は、図８に示される
ようにケーシング（６６）を有し、除湿ロータ（６１）
の軸線（６２）方向両端部（図８の上下方向の端部）
で、除湿ロータ（６１）の周方向に回転方向（６４）に
沿って前述の除湿処理部（５４）と、さらに再生部（６
７）およびパージ部（６８）がこの順序で、図示を省略
してある仕切り板で仕切られて形成される。
【００６２】図１０は、除湿ロータ（６１）の簡略化し
た正面図である。除湿ロータ（６１）の軸線（６２）に
垂直な平面内における面積比、したがって空気の流量比
は、処理部（５４）：再生部（６７）：パージ部（６
８）＝約５：２：１であってもよい。
【００６３】再生部（６７）には、外部からの再生空気
を、管路（７１）からフィルタ（７０）と電気ヒータな
どの再生用加熱器（７２）とを介して、たとえば約１４
０℃に加熱されて管路（７３）から除湿処理部（５４）
における空気の流過方向とは逆方向（図１および図８の
上から下）に供給されて流下される。除湿ロータ（６
１）からの再生用空気は、管路（７４）からファン（７
５）によって管路（７６）を介して外部に放散される。
【００６４】パージ部（６８）に供給されるパージ用空
気は、ファン（５６）から管路（５７）を経て作業室
（９）に戻す空気の一部が用いられる。このパージ用空
気は、管路（５７）から分岐されて管路（７８）から、
除湿処理部（５４）における空気の流れる方向とは逆方
向（図１および図８の上から下）に供給される。除湿ロ
ータ（６１）からのパージされた空気は、管路（７９）
から、加熱器（７２）の上流側における管路（７１）に
導かれて戻される。
【００６５】図１１は、図１〜図１０に示される本発明
の実施の形態における電気的構成を示すブロック図であ
る。露点検出手段（８１）は、作業室（９）内に設けら
れ、除湿された空気の露点または湿度を検出する。露点
検出手段（８１）は、作業室（９）の上流側であるたと
えばヘッダ（２８）に設けられていてもよく、または作
業室（９）の下流側のヘッダ（２４）などに設けられて
いてもよい。マイクロコンピュータなどによって実現さ
れる処理回路（８２）は、露点検出手段（８１）の出力
に応答し、露点が予め定める値よりも高くなったとき、
除湿ロータ（６１）を駆動するモータ（６３）の回転速
度を上昇し、または再生用空気を加熱する加熱器（７
２）による加熱温度を上昇する。検出された露点が、前
記予め定める温度よりももっと低いときには、モータ
（６３）の回転速度を低下し、または加熱器（７２）に
よる再生用空気の加熱温度を低く制御する。処理回路
（８２）は、モータ（６３）および加熱器（７２）を、
検出された露点温度に依存して、同時に変化させるよう
に制御してもよい。
【００６６】空気取入れ手段（４３）では、管路（７
１）における管路（７９）との接続点よりも上流側で、
フィルタ（７０）を介する空気が管路（８４）によって
分岐され、プレクーラ（５８）に導かれて、ここで冷却
され、管路（８５）で、前記管路（５１）からの循環す
る空気と混合され、ファン（５２）によって吸入され
る。
【００６７】作業室（９）内には、その作業室（９）内
の空気の圧力を検出する圧力検出手段（８５）が設けら
れる。この検出された圧力が、大気圧よりも高い予め定
める値になるように、処理回路（８２）は、ファン（５
２）の回転速度を制御し、外部から吸入される空気の流
量を制御する。たとえば検出された空気の圧力が、前記
予め定める値未満であるとき、ファン（５２）は、回転
速度が上昇するように制御され、また検出された圧力が
前記予め定める値を越えると、ファン（５２）の回転速
度が処理回路（８２）の働きによって低下される。
【００６８】本発明の実施の他の形態では、管路（８
４）の途中に、図１に示される流量制御弁（８６）が介
在されてもよい。この流量制御弁（８６）によって外部
から吸入される空気の流量が、前記検出圧力に応じて、
ファン（５２）と同様にして、制御されるように構成さ
れる。
【００６９】図１２は、本発明の実施の他の形態におけ
る除湿手段（４２ａ）の全体の構成を示すブロック図で
ある。この実施の形態の各構成要素は、前述の図１〜図
１１に示される実施の形態の構成要素に類似し、対応す
る部分には同一の参照符を付す。注目すべきはこの実施
の形態では、複数（この実施の形態では２）の除湿筒
（９１，９２）が設けられる。これらの除湿筒（９１，
９２）内には、シリカゲルなどの除湿剤が充填される。
これらの除湿筒（９１，９２）には、作業室（９）から
の空気が、開閉弁Ｖ２，Ｖ４を介して供給され、除湿さ
れた空気は、開閉弁Ｖ１，Ｖ３を介して、ファン（５
６）から作業室（９）に戻されて循環される。除湿筒
（９１，９２）には、除湿剤を再生するために、再生用
空気が、加熱器（７２）で加熱され、管路（７３）から
開閉弁Ｖ５，Ｖ７を経て供給される。再生後の空気は、
開閉弁Ｖ６，Ｖ８を経て、ファン（７５）で吸引され、
管路（７４）を経て排出される。管路（２５）には、外
部の空気が、管路（８４）を経て、流量制御弁（８６）
から、吸入されて混合され、作業室（９）が大気圧より
も高い予め定める値になるように制御される。
【００７０】開閉弁Ｖ１〜Ｖ８は、予め定める時間毎
に、図１３のタイムチャートに示すように時刻ｔ１〜ｔ
２の期間および時刻ｔ２〜ｔ３の期間毎に繰返して開閉
制御される。こうして一方の除湿筒（９１）で作業室
（９）内の空気の除湿が行われているいるとき、他方の
除湿筒（９２）の除湿剤の再生が行われる。このような
動作が、前記各期間ｔ１〜ｔ２，ｔ２〜ｔ３毎に、交互
に繰返される。図１２および図１３に示される実施の形
態におけるその他の構成は、前述の実施の形態と同様で
ある。
【００７１】図１４は、本発明の実施のさらに他の形態
における低湿度作業装置（７ａ）の簡略化した斜視図で
ある。ハウジング（８）は、直円筒状に形成され、その
内部に作業室（９）が形成される。ハウジング（８）に
は、その外周部に沿って円弧状の細長い操作孔（３０）
が形成される。この操作孔（３０）には、前述の実施の
形態と同様に多数のシール部材（３７）から成るシール
手段（３６）が設けられる。操作孔（３０）の近傍でそ
の上方には作業室（９）を見ることができるための窓孔
（３１）が形成され、その窓孔（３１）は、透光性を有
する窓板（３２）によって塞がれる。窓孔（３１）もま
た、操作孔（３０）と同様にして円弧状に形成される。
その他の構成は、前述の実施の形態と同様である。ハウ
ジング（８）は、さらにその他の形状を有していてもよ
い。
【００７２】
【発明の効果】本発明によれば、ハウジング（８）には
左右の上肢を同時に挿入することができる操作孔（３
０）を周壁に形成し、その操作孔（３０）の少なくとも
上方または側方の付近を透光性とし、これによって操作
孔（３０）から作業室（９）内に上肢とともに作業すべ
き物品および治具などを挿入し、透光性の部分を経て作
業者はハウジングの外部から作業室（９）内を見て、作
業することができ、作業性が良好である。
【００７３】また作業室（９）内の空気を除湿手段（４
２）で除湿剤を用いて水蒸気を吸収し、除湿された空気
を作業室（９）に戻し、こうして空気を循環して用いる
ので、作業室（９）を効率よく低湿度の環境に保つこと
ができる。
【００７４】さらに、除湿手段（４２）の上流に、外部
の空気を吸入して混合し、これによって作業室（９）を
正圧に保つ。したがって作業室（９）内に外部の湿度の
高い空気の混入を最少限におさえ、作業室（９）内を、
常に安定して低湿度の環境下に保つことが確実となる。
本発明によれば、操作孔（３０）にはシール部材が設け
られるので、操作孔（３０）から放出される低湿度空気
を最少限にでき、これによって外部から供給される空気
を最少限にできる。また本発明によれば、圧縮式冷凍機
（４１）の第１および第２蒸発器（４８，５８）によっ
て、排出孔（１４）からの空気および外部から供給され
る空気をそれぞれ冷却し、除湿手段（４２）の除湿ロー
タ（６１）によって除湿するようにしたので、シール手
段からの低湿度の空気が漏洩しても、充分な流量で低湿
度の空気を作業室（９）に供給することができる。
【００７５】こうして、作業室（９）内の空気の露点
を、−２０℃以下、たとえば−２０℃〜−７０℃の範囲
に保つことができるようになり、このような環境下で
は、人間が入込むと、目が乾いたり鼻の粘膜および唇な
どがひび割れを生じたり、さらに風邪のビールスなどに
感染しやすくなるけれども、本発明では、左右の上肢だ
けが作業室内に挿入されるので、このような作業者の人
体への悪影響は生じない。
【００７６】こうして作業室内で、作業を能率よく、良
好な作業性で、作業を行うことができる。
【００７７】本発明によれば、循環空気および外部から
供給される空気は、冷却手段（４８，５８）によって冷
却された後、除湿手段（４２）に送られるので、除湿効
率がさらに上昇される。
【００７８】本発明によれば、冷却手段には圧縮式冷凍
機（４１）の並列に設けられた２つの蒸発器（４８，５
８）が用いられるので、循環空気および外部から供給さ
れる空気が効率よく冷却される。
【００７９】本発明によれば、除塵用フィルタ（２９）
によって、低湿度の空気の除塵を行うことができるとと
もに、そのフィルタ（２９）の圧力損失によって、導入
孔（１１）から作業室（９）内に供給される低湿度空気
の流量分布を、均一にすることができる。これによって
作業室（９）内の湿度分布を均一に保つことができる。
【００８０】本発明によれば、作業室（９）の天井など
の上部に形成された導入孔（１１）からの空気が、作業
室（９）の下部、たとえば作業室（９）の床に形成され
た排出孔（１４）から排出され、こうして均一な流量で
乾燥した空気が作業室（９）内で上から下に整流した状
態で流すことができる。これによって作業室（９）内の
全体を、低湿度状態に保ち、湿度のむらを最少限におさ
えることができる。
【００８１】本発明によれば、圧力検出手段（８３）に
よって検出される作業室（９）内の空気の圧力が、大気
圧よりも高い予め定める値になるように負帰還制御され
るので、その作業室（９）内の空気の圧力を、前記予め
定める正圧に常に保つことができる。したがって作業室
（９）内からの低湿度空気が外部に大量に漏洩してしま
うおそれはなく、また外部からの空気が作業室（９）内
に混入するのを最少限におさえることができる。
【００８２】本発明によれば、除湿手段（４２）は除湿
ロータ（６１）を含み、この除湿ロータ（６１）の回転
に伴って、除湿ロータ（６１）の各部は、除湿処理部
（５４）、再生部（６７）およびパージ部（６８）をこ
の順序で構成し、作業室（９）内の循環空気の除湿を連
続的に行うことができる。
【００８３】パージ部（６８）を設けることによって、
除湿ロータ（６１）が再生部（６７）から直ちに除湿処
理部（５４）に入ることがなく、したがって再生部（６
７）で除湿ロータ（６１）内に入込んだ再生用空気が、
低湿度空気であるパージ部（６８）の空気で置換された
後、除湿処理部（５４）に移動するので、除湿処理部
（５４）からは常に、低湿度空気を得ることができる。
【００８４】本発明によれば、圧縮式冷凍機（４１）の
第１および第２蒸発器（４８，５８）によって、排出孔
（１４）からの空気および外部から供給される空気をそ
れぞれ冷却し、除湿手段（４２）の除湿ロータ（６１）
によって除湿するようにしたので、シール手段からの低
湿度の空気が漏洩しても、充分な流量で低湿度の空気を
作業室（９）に供給することができる。
【００８５】本発明によれば、シール手段のシール部材
（３７）は、可撓性、弾発性を有する材料から成り、薄
板状であるので、作業室（９）から外部に低湿度の空気
が大量に漏洩することを抑えることができる。
【００８６】本発明によれば、操作孔（３０）は、複数
の垂下された短冊状のシール部材（３７）で塞がれるの
で、操作孔（３０）から挿入した上肢の周囲が、吊下げ
られるシール部材（３７）で閉じられる。また、シール
部材（３７）の下端部は、操作孔（３０）の下端部より
もわずかに上方にあり、したがってそのシール部材（３
７）の下端部が操作孔（３０）の下端部よりも作業室
（９）側またはハウジング（８）外方にあることはな
く、これによって隣接するシール部材（３７）間の隙間
がなくなり、操作孔（３０）をできるだけ空隙を無くし
て、塞ぐことができるようになる。これによって操作性
を損なわずに操作孔（３０）がシールされる。
【００８７】本発明によれば、操作孔（３０）の付近
で、その上方または側方に窓孔（３１）が形成され、こ
の窓孔（３１）に透光性材料から成る窓板（３２）が気
密に固定される。したがってハウジング（８）の外部
で、作業者は作業室（９）内を容易に見ることができ
る。
【００８８】本発明によれば、操作孔（３０）の上下の
高さＨ１を上述の寸法に選ぶことによって、操作者は、
その上肢を操作孔（３０）に楽な姿勢で挿入でき、操作
孔（３０）を大きくすることなく、良好な作業性で、作
業室（９）内での作業を続行することができる。また操
作孔（３０）の横の長さＬ１を上述の寸法に選び、これ
によって左右両方の上肢を同時に操作孔（３０）から作
業室（９）内に挿入し、両手で作業を行うことができ、
作業性が良好である。またこのように操作孔（３０）が
横に細長く形成されるので、両手で保持した物品または
治具などを、そのまま操作孔（３０）から作業室（９）
内に挿入し、または取出すことが容易であり、作業性が
良好である。さらに、操作孔（３０）の下端部の床面か
らの高さＨ２を上述の寸法に選び、これによって作業者
は、椅子に座った状態で、または床に立った状態で、操
作孔（３０）から上述のように上昇挿入して安定なしか
も楽な姿勢で、作業を行うことができる。また上述のよ
うに窓孔（３１）の横の長さＬ２と操作孔（３０）の横
の長さＬ１とをほぼ等しくし、作業者の上肢を移動する
範囲で、窓孔（３１）から作業者はハウジング（８）の
外部で作業室（９）内を見ることができ、作業性が良好
である。作業者は、作業室（９）内で作業状態を見るた
めに、頭および目を移動する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態の低湿度作業装置（７）
の簡略化した系統図である。
【図２】図１に示される低湿度作業装置（７）の一部を
透視した斜視図である。
【図３】低湿度作業装置（７）の全体の斜視図である。
【図４】低湿度作業装置（７）の側面図である。
【図５】本発明の実施の他の形態の低湿度作業装置
（７）の簡略化した断面図である。
【図６】操作孔（３０）の拡大した正面図である。
【図７】図６の切断面線ＶＩＩ−ＶＩＩから見た断面図
である。
【図８】除湿手段（４２）の構成を簡略化して示す図で
ある。
【図９】除湿ロータ（６１）の一部の正面図である。
【図１０】除湿ロータ（６１）の簡略化した正面図であ
る。
【図１１】本発明の実施の形態における電気的構成を示
すブロック図である。
【図１２】本発明の実施の他の形態における除湿手段
（４２）の全体の構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施の他の形態におけるタイムチャ
ートである。
【図１４】本発明の実施のさらに他の形態における低温
度作業装置（７ａ）の簡略化した斜視図である。
【図１５】先行技術の斜視図である。
【符号の説明】
７，７ａ 低湿度作業装置 ８ ハウジング ９ 作業室 １１ 導入孔 １４ 排出孔 １７ 通路 １８ 除湿装置 ２９ 除塵用フィルタ ３０ 操作孔 ３１ 窓孔 ３２ 窓板 ３３ 下端部 ３５ 架台 ３６ シール手段 ３７ シール部材 ３８ 上端部 ４１ 圧縮式冷凍機 ４２ 除湿手段 ４３ 空気取入れ手段 ４４ 圧縮機４４ ４５ 凝縮器 ４７ 膨張弁 ４８ 循環空気用蒸発器 ５０ フィルタ ５２ ファン ５４ 除湿処理部 ５６ ファン ５８ 外部供給空気用蒸発器 ５９ 膨張弁 ６１ 除湿ロータ ６２ 軸線 ６３ モータ ６４ 回転方向 ６５ 空気案内手段 ６６ ケーシング ６７ 再生部 ６８ パージ部 ７０ フィルタ ７２ 再生用加熱器 ７５ ファン ８１ 露点検出手段 ８２ 処理回路 ８５ 圧力検出手段 ８６ 流量制御弁 ９１，９２ 除湿筒
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−343819（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−4875（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−188918（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−49294（ＪＰ，Ｕ) 米国特許5228313（ＵＳ，Ａ) 米国特許5937667（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 3/14

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 （ａ）作業室（９）を形成するハウジン
    グ（８）であって、 作業者の左右の上肢を挿通することができる操作孔（３
    ０）が形成される周壁を有し、 操作孔の少なくとも上方または側方の付近は、透光性で
    あるハウジング（８）と、 （ｂ）作業者の上肢を操作孔（３０）に挿通した状態、
    および操作孔（３０）から離脱した状態で、操作孔（３
    ０）を塞ぐシール部材（３７）を有するシール手段と、 （ｃ）除湿装置（１８）であって、 作業室からの空気を除湿する除湿手段（４２）と、 除湿された空気を作業室（９）に戻して循環する循環手
    段とを有し、 作業室（９）内の空気の露点を−２０℃以下にする除湿
    装置（１８）と、 （ｄ）外部の空気を除湿手段（４２）に供給して作業室
    （９）を正圧に保つ空気供給手段とを含むことを特徴と
    する低湿度作業装置。
  2. 【請求項２】 前記除湿装置（１８）および空気供給手
    段は、 各冷却手段（４８，５８）を含み、 作業室（９）からの空気および外部から供給される空気
    は、それぞれ冷却手段（４８，５８）を介して除湿手段
    （４２）に送られることを特徴とする請求項１記載の低
    湿度作業装置。
  3. 【請求項３】 前記冷却手段が、並列に設けられた２つ
    の蒸発器（４８，５８）を有する圧縮式冷凍機（４１）
    であることを特徴とする請求項２記載の低湿度作業装
    置。
  4. 【請求項４】 除湿装置（１８）からの除湿された空気
    を作業室（９）に導入する導入孔（１１）には、除塵用
    フィルタ（２９）が設けられることを特徴とする請求項
    １〜３のうちの１つに記載の低湿度作業装置。
  5. 【請求項５】 前記導入孔（１１）は、作業室（９）の
    上部に形成され、 作業室（９）の下部に形成された排出孔（１４）は、作
    業室（９）内の空気を取出して除湿装置（１８）に導く
    ことを特徴とする請求項４記載の低湿度作業装置。
  6. 【請求項６】 空気供給手段は、 作業室（９）内の空気の圧力を検出する圧力検出手段
    （８３）と、 外部の空気を吸入するファン（５２）と、 圧力検出手段の出力に応答し、作業室（９）内の空気の
    圧力が大気圧よりも高い予め定める値になるように、外
    部から取入れる空気の流量を制御する手段とを含むこと
    を特徴とする請求項１〜５のうちの１つに記載の低湿度
    作業装置。
  7. 【請求項７】 除湿手段（４２）は、 （ａ）全体の形状がほぼ円柱状である除湿ロータ（６
    １）であって、 除湿剤を担持した基材から成り、軸線方向に延びる多数
    の気体通過孔を有する除湿ロータ（６１）と、 （ｂ）除湿ロータ（６１）をその軸線まわりに回転駆動
    する手段（６３）と、 （ｃ）空気案内手段（６５）であって、 除湿ロータ（６１）の軸線方向両端部で、除湿ロータ
    （６１）の周方向に、回転方向に沿って除湿処理部（５
    ４）、再生部（６７）およびパージ部（６８）をこの順
    序で仕切って形成し、 作業室（９）からの循環空気および空気供給手段からの
    空気を、除湿処理部（５４）に、除湿ロータ（６１）の
    軸線方向一方側から他方側に供給し、 再生用空気を、再生部（６７）に、除湿ロータ（６１）
    の軸線方向前記他方側から前記一方側に供給し、再生部
    （６７）からの空気を外部に排出し、 除湿ロータ（６１）から作業室（９）に戻す空気の一部
    を、パージ部（６８）に、除湿ロータ（６１）の軸線方
    向前記他方側から前記一方側に供給し、パージ部（６
    ８）からの空気を再生用空気の一部として再生部（６
    ７）に導く空気案内手段と、 （ｄ）再生部（６７）に供給すべき再生用空気を加熱す
    る加熱器（７２）とを含むことを特徴とする請求項１〜
    ６のうちの１つに記載の低湿度作業装置。
  8. 【請求項８】 （ａ）作業室（９）を形成するハウジン
    グ（８）であって、 作業者の左右の上肢を挿通することができる操作孔（３
    ０）が形成される周壁を有し、 作業室（９）の上部に導入孔（１１）が形成され、 作業室（９）の下部に排出孔（１４）が形成され、 操作孔（３０）の少なくとも上方または側方の付近は、
    透光性であるハウジング（８）と、 （ｂ）作業者の上肢を操作孔（３０）に挿通した状態、
    および操作孔（３０）から離脱した状態で、操作孔（３
    ０）を塞ぐシール部材（３７）を有するシール手段と、 （ｃ）圧縮式冷凍機（４１）であって、 排出孔（１４）からの空気を冷却する第１の蒸発器（４
    ８）と、 第１の蒸発器（４８）に並列に設けられ、外部から供給
    される空気を冷却する第２蒸発器（５８）とを有する圧
    縮式冷凍機（４１）と、 （ｄ）除湿手段（４２）であって、 （ｄ１）全体の形状がほぼ円柱状である除湿ロータ（６
    １）であって、 除湿剤を担持した基材から成り、軸線方向に延びる多数
    の気体通過孔を有する除湿ロータ（６１）と、 （ｄ２）除湿ロータ（６１）をその軸線まわりに回転駆
    動する手段（６３）と、 （ｄ３）空気案内手段（６５）であって、 除湿ロータ（６１）の軸線方向両端部で、除湿ロータ
    （６１）の周方向に、回転方向に沿って除湿処理部（５
    ４）、再生部（６７）およびパージ部（６８）をこの順
    序で仕切って形成し、 第１および第２蒸発器（４８，５８）からの空気を、除
    湿処理部（５４）に、除湿ロータ（６１）の軸線方向一
    方側から他方側に供給し、 外部からの空気を含む再生用空気を、再生部（６７）
    に、除湿ロータ（６１）の軸線方向前記他方側から前記
    一方側に供給し、再生部（６７）からの空気を外部に排
    出し、 除湿ロータ（６１）の除湿処理部（５４）から導入孔
    （１１）に導く空気の一部を、パージ部（６８）に、除
    湿ロータ（６１）の軸線方向前記他方側から前記一方側
    に供給し、パージ部（６８）からの空気を再生用空気の
    一部として再生部（６７）に導き、 作業室（９）内の空気の露点を−２０℃以下にし、 作業室（９）を大気圧よりも０．５〜１０ｍｍＨ２Ｏだ
    け高い正圧に保つ空気案内手段（６５）と、 （ｄ４）再生部（６７）に供給すべき再生用空気を加熱
    する加熱器（７２）とを含む除湿手段（４２）とを含む
    ことを特徴とする低湿度作業装置。
  9. 【請求項９】 シール部材（３７）は、可撓性、弾発性
    を有する材料から成る薄板状に形成されることを特徴と
    する請求項１〜８のうちの１つに記載の低湿度作業装
    置。
  10. 【請求項１０】 前記シール手段が、操作孔（３０）の
    上部から垂下され、下端部が操作孔（３０）の下端部よ
    りも僅かに上方にあり、横に隣接して配置される縦に細
    長い可撓性を有するシール部材（３７）から成ることを
    特徴とする請求項９記載の低湿度作業装置。
  11. 【請求項１１】 ハウジング（８）の周壁の上方付近
    に、操作孔（３０）の横方向の長さ以上の長さを有する
    横に細長い窓孔（３１）が形成され、 この窓孔（３１）には、透光性材料から成る窓板（３
    ２）が気密に固定されることを特徴とする請求項１〜１
    ０のうちの１つに記載の低湿度作業装置。
  12. 【請求項１２】 ハウジング（８）は、架台（３５）上
    に設けられ、 操作孔（３０）の上下の高さＨ１＝約０．１５〜０．４
    ０ｍであり、操作孔の横の長さＬ１＝約０．３〜２．０
    ｍであり、 操作孔（３０）の下端部は、床面から高さＨ２＝約０．
    ５〜１．４ｍであり、 ハウジング（８）の窓孔（３１）の横の長さＬ２は、操
    作孔（３０）の横の長さＬ１とほぼ等しいことを特徴と
    する請求項１１記載の低湿度作業装置。
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