JP3450082B2 - 表面検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、いわゆる製造ラインで
使用する表面検査装置に関し、より詳細には、瓶や缶等
の開口部を有する被検査容器の表面を映像化して検査す
る表面検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液体等を封入するために用いる容
器等を製造する場合、その製造ラインの最終工程におい
ては、完成した容器の中から、良品のみを選別する検査
工程が必要とされる。この検査工程は、完成された容器
に対して、異物の混入、容器の欠損等が製造の際に生じ
ていないかについて行われていた。この検査において
は、大きなものは目視により検査することが可能である
が、容器等の生産本数が多く人間の能力に頼ることが不
可能な場合には、画像処理による表面検査が行われるこ
ととなる。

【０００３】この画像処理による表面検査は、従来、図
８に示すいわゆるロータリー式表面検査装置１００によ
り行われていた。このロータリー式表面検査装置１００
は、回転台等の回転動作や個々の撮像装置の動作を制御
する必要があるが、多数の被検査容器を製造ラインの流
れを停止させずに検査することができる表面検査装置で
ある。

【０００４】当該ロータリー式表面検査装置１００にお
いては、搬送コンベアＨにより搬送されてきた完成した
被検査容器Ｂが、入口スターホイル１０１により回転台
１０２に移送され、回転台１０２による回転中に表面の
検査が行われる。そして、表面検査の終了した被検査容
器Ｂは出口スターホイル１０３により再び搬送コンベア
Ｈに移送され、梱包等の次の段階の処理がなされる。こ
の検査は、通常回転台１００とは切り離され固定された
検査カメラによって容器が通過中に行われていた。

【０００５】しかし、最近発明者等が開発した新たな検
査方式が実施されている。この方式による表面検査は、
より具体的には、初めに、移送された被検査容器Ｂのそ
れぞれに対して検査カメラ、光源等により構成される撮
像装置が被検査容器Ｂの開口部より挿入される。次に、
回転台１０２の回転による被検査容器Ｂの移動に伴い、
当該撮像装置が上下に往復運動することにより被検査容
器Ｂの内面等の表面の検査を行う。このとき、被検査容
器Ｂ自体も回転台１０２による回転に伴い自転するの
で、撮像装置の往復運動と連動して被検査容器Ｂの内面
全体を検査することができる。撮像装置により撮像され
た表面の映像は、映像信号として画像処理部に伝送さ
れ、当該画像処理部において、２値化、微分化等の公知
の画像処理が施されて、表面における異物が検出され
る。これらの異物の検出は、均一な表面に異物がある
と、光源からの照明光が乱反射されるため、画像信号に
輝度の差が生じることを利用している。この輝度の差を
含む映像信号を画像処理することにより、異物等の有無
を判定するのである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同方式
によるロータリー式表面検査装置においては、撮像装置
の往復（上下）動作の範囲（移動距離）が固定されてお
り、高さの異なる被検査容器Ｂに対応して撮像装置の往
復（上下）動作の範囲を可変とすることができないた
め、高さの異なる多品種容器の製造においては、製造ラ
イン全体の効率が悪い場合がある。

【０００７】より具体的には、例えば、図９に示すＰ_B
からＰ_D の範囲において被検査容器Ｂの表面検査が行わ
れるとし、この間に撮像装置は４００mmの範囲で下降し
つつ表面検査を行うとすると、撮像装置は被検査容器Ｂ
がＰ_B からＰ_D に１８０度移動する間に４００mmの下降
運動をすることとなる。このとき、被検査容器Ｂの高さ
が４００mmの場合には、被検査容器Ｂの高さと撮像装置
の移動範囲が一致しているため、図９（ａ）に示すよう
に、Ｐ_B からＰ_D の１８０度の範囲全てにおいて、有効
な表面検査を実施することができる。これに対して、例
えば、被検査容器Ｂの高さが３００mmの場合には、図９
（ｂ）に示すように、撮像装置の下降開始直後の１００
mmは検査対象が存在しないため表面検査が出来ないこと
となる。同様に、被検査容器Ｂの高さが２００mmの場合
には、図９（ｃ）に示すように、撮像装置の下降開始直
後の２００mmは検査対象が存在しないため表面検査が出
来ないこととなる。

【０００８】以上のように、被検査容器Ｂの高さが変化
する場合には、撮像装置の移動範囲のうち、表面検査が
できない範囲が生じるにも拘らず、図９（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）いずれの場合も１８０度移動する時間は
一定であるため、結局表面検査されずに下降するのみの
時間（図９（ｂ）の場合は１００mm下降するまでの移動
範囲に対応する時間であり、図９（ｃ）の場合は２００
mm下降するまでの移動範囲に対応する時間である）が生
じることとなる。すなわち、被検査容器Ｂの高さが変わ
って表面検査されるべき面積が減少しても、検査工程に
要する時間（被検査容器Ｂが回転台１０２に乗っている
時間）は変らないこととなる。

【０００９】このことは、製造ライン全体から見た場合
に、例えば、図１０に示すように、一定量の材料（ガラ
ス、プラスチック等）から高さの異なる被検査容器Ｂを
製造するときには、被検査容器Ｂの直径が一定ならば、
高さが低いほど製造能力（単位時間当たりの製造数）は
多くなり、同時に検査すべき表面積も減少して被検査容
器Ｂ一本あたりの検査時間も減少すべきところが、撮像
装置の移動範囲が一定であるため検査工程に要する時間
は不変となる。

【００１０】よって、結果として図１０におけるＢ又は
Ｃの場合のように検査能力が製造能力に到達せず、検査
工程において被検査容器Ｂが滞ってしまい、検査工程に
要する時間により製造ライン全体の製造能力が決定され
るので、被検査容器Ｂ自体の製造能力は高くなっている
にも拘らず検査工程を含む製造ライン全体の製造能力と
しては一定になってしまうのである。

【００１１】そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、そ
の目的は、被検査容器の種類毎の製造能力の差に対応し
た検査能力を有する表面検査装置を提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、円形軌道上を移動する
ワークボトル等の被検査体の表面を検査する表面検査装
置において、前記円形軌道と同心状に設けられた傾斜カ
ム等の保持部材と、前記保持部材に保持され、前記被検
査体の検査方向に対し、前記被検査体における検査範囲
に対応した距離を移動可能で、前記円形軌道と同心状に
前記被検査体と同期して回転可能な補助アームと、前記
補助アームに設けられた前記被検査体の表面を映像化す
るボアスコープ等の撮像装置と、前記保持部材に形成さ
れ、前記補助アームの回転及び前記被検査体の検査方向
の移動をガイドする傾斜カム等の傾斜部と、前記補助ア
ームの前記被検査体の検査方向の移動距離に対応して前
記撮像装置の撮影枚数を切り換える撮影枚数切り換え手
段と、前記被検査体の検査方向の検査距離に対応して前
記被検査体の円形軌道上の移動速度を切り換える移動速
度切り換え手段と、を備え、前記被検査体における検査
範囲に対応して、前記補助アームが係合する前記傾斜部
上の位置を適時選択するように構成される。

【００１３】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の表面検査装置において、前記傾斜部が形成された前記
保持部材は、前記円形軌道上の検査開始位置における半
径方向の断面が、前記被検査体における検査すべき範囲
の最高部の高さに対応した高さを有し、且つ、その一辺
が前記傾斜部を形成する略三角形であるとともに、前記
傾斜部と前記検査方向に垂直な面との成す傾斜角が、前
記検査開始位置から前記円形軌道上の検査終了位置の間
において連続的に減少し、更に、前記検査終了位置にお
ける前記傾斜角が前記被検査体における検査すべき範囲
の最下部の高さに対応するように構成される。

【００１４】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の表面検査装置において、前記傾斜部が形成された前記
保持部材は、前記円形軌道上の検査開始位置における半
径方向の断面における前記傾斜部と前記検査方向に垂直
な面との成す傾斜角が、前記被検査体における検査すべ
き範囲の最下部の高さに対応しているとともに、前記傾
斜角が前記検査開始位置から前記円形軌道上の検査終了
位置の間において連続的に増加し、更に、前記検査終了
位置における半径方向の前記断面が、前記被検査体にお
ける検査すべき範囲の最高部の高さに対応した高さを有
し、且つ、その一辺が前記傾斜部を形成する略三角形で
あるように構成される。

【００１５】請求項４に記載の発明は、円形軌道上を移
動するワークボトル等の筒状被検査体の表面を検査する
表面検査装置において、前記円形軌道と同心状に設けら
れたカム等の保持部材と、前記保持部材に保持され、前
記被検査体の検査方向に対し、前記被検査体における検
査範囲に対応した距離を移動可能で、前記円形軌道と同
心状に前記被検査体と同期して回転可能且つ伸縮可能な
補助アームと、前記補助アームに設けられた前記被検査
体の表面を映像化するボアスコープ等の撮像装置と、前
記保持部材に形成され、前記補助アームの回転及び前記
被検査体の検査方向の移動をガイドする少なくとも２つ
のカム等のガイド部と、前記補助アームの前記被検査体
の検査方向の移動距離に対応して前記撮像装置の撮影枚
数を切り換える撮影枚数切り換え手段と、前記被検査体
の検査方向の検査距離に対応して前記被検査体の円形軌
道上の移動速度を切り換える移動速度切り換え手段と、
を備え、前記被検査体における検査範囲に対応して、前
記補助アームが係合する前記ガイド部を適時選択するよ
うに構成される。

【００１６】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の表面検査装置において、少なくとも二つの前記ガイド
部は、その前記検査方向の高さが、前記円形軌道上の検
査開始位置において前記被検査体における検査すべき範
囲の最高部の高さに対応して前記ガイド部毎にそれぞれ
異なるとともに、前記検査開始位置から前記円形軌道上
の検査終了位置の間において連続的に減少し、更に、検
査終了位置において前記被検査体における検査すべき範
囲の最下部の高さに対応するように構成される。

【００１７】請求項６に記載の発明は、請求項４に記載
の表面検査装置において、少なくとも二つの前記ガイド
部は、その前記検査方向の高さが、前記円形軌道上の検
査開始位置において前記被検査体における検査すべき範
囲の最下部の高さに対応した高さを有するとともに、前
記検査開始位置から前記円形軌道上の検査終了位置の間
において連続的に増加し、更に、前記検査終了位置にお
いて前記被検査体における検査すべき範囲の最高部の高
さに対応して前記ガイド部毎にそれぞれ異なるように構
成される。

【００１８】

【作用】請求項１に記載の発明によれば、傾斜部が形成
された保持部材は、円形軌道と同心状に設けられ、補助
アームの回転及び被検査体の検査方向の移動をガイドす
る。

【００１９】被検査体の検査の際には、検査すべき被検
査体における検査範囲に対応して、円形軌道上の所定の
検査開始位置における撮像装置の高さが、当該被検査体
における検査開始の高さとなるように、補助アームを伸
縮又は交換すること等により、当該補助アームが係合す
る傾斜部の位置が選択される。

【００２０】これと並行して、撮影枚数切り換え手段
は、補助アームの被検査体の検査方向（上下方向）の移
動距離に対応して撮像装置の撮影枚数を切り換える。更
に、移動速度切り換え手段は、被検査体の高さが異なる
場合にも、円形軌道上の同じ検査開始位置において実際
の検査が開始され、且つ、同じ検査終了位置において検
査が終了するように、被検査体の検査方向の検査距離に
対応して被検査体の円形軌道上の移動速度を切り換え
る。

【００２１】なお、上述の撮影枚数切り換え手段及び移
動速度切り換え手段は、使用者が被検査体の検査方向の
検査距離に対応して手動で切り換えてもよいし、被検査
体の検査方向の検査距離を検出して自動的に切り換える
ようにしてもよい。

【００２２】上述の各部の作用により、高さの低い（検
査範囲の狭い）被検査体（製造能力の高い被検査体）の
場合は、高さの高い被検査体に比して撮像手段の検査方
向の移動距離及び撮影枚数を少なくして被検査体の移動
速度を早くすることができ、被検査体の製造能力に対応
して検査時間を短くすることができる。

【００２３】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の作用に加えて、傾斜部が形成された保持
部材は、円形軌道上の検査開始位置における半径方向の
断面が、被検査体における検査すべき範囲の最高部の高
さに対応した高さを有し、且つ、その一辺が傾斜部を形
成する略三角形であるとともに、傾斜部と検査方向に垂
直な面との成す傾斜角が、円形軌道上の検査開始位置か
ら検査終了位置の間において連続的に減少し、更に、検
査終了位置における傾斜角が被検査体における検査すべ
き範囲の最下部の高さに対応している。

【００２４】ここで、検査開始位置における半径方向の
断面である三角形の頂点の高さは、最も高い高さを有す
る被検査体における検査すべき範囲の最高部の高さに対
応しており、底辺の高さは、最も低い高さを有する被検
査体における検査すべき範囲の最高部の高さに対応して
いる。

【００２５】よって、補助アームの伸縮又は交換等によ
り、円形軌道上の検査開始位置における撮像装置の高さ
を連続的且つ自由に設定できるので、より多種類の高さ
の被検査体に対応して撮像装置の移動距離を短縮し、検
査時間を短くすることができる。

【００２６】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の作用に加えて、傾斜部が形成された保持
部材は、円形軌道上の検査開始位置における半径方向の
断面における傾斜部と検査方向に垂直な面との成す傾斜
角が、被検査体における検査すべき範囲の最下部の高さ
に対応しているとともに、傾斜角が円形軌道上の検査開
始位置から検査終了位置の間において連続的に増加し、
更に、検査終了位置における半径方向の断面が、被検査
体における検査すべき範囲の最高部の高さに対応した高
さを有し、且つ、その一辺が傾斜部を形成する略三角形
とされる。

【００２７】ここで、検査終了位置における半径方向の
断面である三角形の頂点の高さは、最も高い高さを有す
る被検査体における検査すべき範囲の最高部の高さに対
応しており、底辺の高さは、最も低い高さを有する被検
査体における検査すべき範囲の最高部の高さに対応して
いる。

【００２８】よって、補助アームの伸縮又は交換等によ
り、円形軌道上の検査終了位置における撮像装置の高さ
を連続的且つ自由に設定できるので、より多種類の高さ
の被検査体に対応して撮像装置の移動距離を短縮し、検
査時間を短くすることができる。

【００２９】請求項４に記載の発明によれば、ガイド部
が形成された保持部材は、円形軌道と同心状に設けら
れ、補助アームの回転及び被検査体の検査方向の移動を
ガイドする。

【００３０】被検査体の検査の際には、検査すべき被検
査体における検査範囲に対応して、円形軌道上の所定の
検査開始位置における撮像装置の高さが、当該被検査体
における検査開始の高さとなるように、補助アームを伸
縮又は交換すること等により、当該補助アームが係合す
るガイド部が選択される。

【００３１】これと並行して、撮影枚数切り換え手段
は、補助アームの被検査体の検査方向（上下方向）の移
動距離に対応して撮像装置の撮影枚数を切り換える。更
に、移動速度切り換え手段は、被検査体の高さが異なる
場合にも、円形軌道上の同じ検査開始位置において、実
際の検査が開始され、且つ、同じ検査終了位置におい
て、検査が終了するように、被検査体の検査方向の検査
距離に対応して、被検査体の円形軌道上の移動速度を切
り換える。

【００３２】なお、上述の撮影枚数切り換え手段及び移
動速度切り換え手段は、使用者が被検査体の検査方向の
検査距離に対応して手動で切り換えてもよいし、被検査
体の検査方向の検査距離を検出して自動的に切り換える
ようにしてもよい。

【００３３】上述の各部の作用により、高さの低い（検
査範囲の狭い）被検査体（製造能力の高い被検査体）の
場合は、高さの高い被検査体に比して撮像手段の移動距
離及び撮影枚数を少なくして被検査体の移動速度を早く
することができ、被検査体の製造能力に対応して検査時
間を短くすることができる。

【００３４】請求項５に記載の発明によれば、請求項４
に記載の発明の作用に加えて、少なくとも二つのガイド
部は、その検査方向の高さが、円形軌道上の検査開始位
置において被検査体における検査すべき範囲の最高部の
高さに対応してガイド部毎にそれぞれ異なるとともに、
円形軌道上の検査開始位置から検査終了位置の間におい
て連続的に減少し、更に、検査終了位置において被検査
体における検査すべき範囲の最下部の高さに対応してい
る。

【００３５】ここで、検査開始位置におけるガイド部の
高さのうち、最も高いガイド部の高さは、最も高い高さ
を有する被検査体における検査すべき範囲の最高部の高
さに対応しており、最も低いガイド部の高さは、最も低
い高さを有する被検査体における検査すべき範囲の最高
部の高さに対応している。

【００３６】よって、補助アームの伸縮又は交換等によ
り、円形軌道上の検査開始位置における撮像装置の高さ
を被検査体における検査すべき範囲の高さに対応して設
定できるので、多種類の高さの被検査体に対応して撮像
装置の移動距離を短縮し、検査時間を短くすることがで
きる。

【００３７】請求項６に記載の発明によれば、請求項４
に記載の発明の作用に加えて、少なくとも二つのガイド
部は、その検査方向の高さが、円形軌道上の検査開始位
置において被検査体における検査すべき範囲の最下部の
高さに対応した高さを有するとともに、円形軌道上の検
査開始位置から検査終了位置の間において連続的に増加
し、更に、検査終了位置において被検査体における検査
すべき範囲の最高部の高さに対応してガイド部毎にそれ
ぞれ異なっている。

【００３８】ここで、検査終了位置におけるガイド部の
高さのうち、最も高いガイド部の高さは、最も高い高さ
を有する被検査体における検査すべき範囲の最高部の高
さに対応しており、最も低いガイド部の高さは、最も低
い高さを有する被検査体における検査すべき範囲の最高
部の高さに対応している。

【００３９】よって、補助アームの伸縮又は交換等によ
り、検査終了位置における撮像装置の高さを被検査体に
おける検査すべき範囲の高さに対応して設定できるの
で、多種類の高さの被検査体に対応して撮像装置の移動
距離を短縮し、検査時間を短くすることができる。

【００４０】

【実施例】次に本発明に好適な実施例について図面に基
づいて説明する。 （Ｉ）全体構成 始めに、以下の各実施例に係る表面検査装置としてのロ
ータリー式表面検査装置の全体構成について図１を用い
て説明する。

【００４１】図１に示すように、実施例に係るロータリ
ー式表面検査装置Ｓは、製造された被検査体としてのワ
ークボトルＢを搬送する搬送コンベア１０と、搬送コン
ベア１０の搬送速度を後述の回転検査台１５の回転速度
に同期させ、搬送されたワークボトルＢを回転検査台１
５に移送する入口スターホイル１１と、後述の回転検査
台１５を回転させるとともに、使用者が操作する移動速
度切り換え手段としての回転速度切り換え装置Ｒにより
回転数を変化させることが可能な図示しない回転モータ
を内蔵し、且つ、基台カム１２が固定された基台１３
と、ワークボトルＢを支柱１４を中心とした円形軌道上
を搬送する回転検査台１５と、一端にカムフォロワ１６
が設けられ、回転検査台１５の回転に伴い基台カム１２
に沿って上下動することによりワークボトルＢを回転検
査台１５上に載置するシャフト１７と、回転検査台１５
に垂直に固定され、後述のボトルモータ１９及び撮像装
置Ｔの上下動をガイドするガイドバー１８と、回転検査
台１５の回転に伴い、ガイドバー１８に沿って上下動す
ることにより回転検査台１５上に移送されたワークボト
ルＢを把持し、ワークボトルＢ自身を自転させるボトル
モータ１９と、ワークボトルＢに挿入されるボアスコー
プ２０、ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）カメラ２１
及びライト２２を含む撮像装置Ｔを後述のカムＫに沿っ
て上下動させるために撮像装置ＴとカムＫを連接する補
助アーム２３と、支柱１４と同心状に固定され、回転検
査台１５の回転に伴い補助アーム２２の回転及び上下動
をガイドする支柱１４を中心とする円形の保持部材とし
てのカムＫと、ガイドバー１８により撮像装置Ｔ及びボ
トルモータ１９を支持するとともに回転検査台１５の回
転に同期して支柱１４の周りを回転する回転盤２４と、
複数のＣＣＤカメラ２１からの検査映像を集中し、映像
信号の選択を行うカメラセレクタ２５と、検査映像の映
像信号を変調する変調部２６Ａと、これらの変調信号を
混合するミキサ２６Ｂと、ワークボトルＢの高さに対応
して一の撮像装置Ｔにおける検査のための撮影枚数を切
り換えるために使用者が操作する撮影枚数切り換え手段
としての撮影枚数切り換え装置２７と、回転するミキサ
２６Ｂからの変調信号を固定されている復調部３０Ａに
伝送するためのアンテナ部２８と、復調した映像信号に
基づいて不良品であるワークボトルＢを検出する映像処
理部３０Ｂと、ロータリー式表面検査装置Ｓ全体を制御
する制御部２９と、により構成されている。

【００４２】なお、実際には、図１に示すロータリー式
表面検査装置Ｓは、上記の構成の他に、表面検査の終了
したワークボトルＢを次の梱包等の工程に移送するため
の搬送コンベア及び表面検査の終了したワークボトルＢ
を回転検査台１５から当該搬送コンベアに移送するため
の出口スターホイル等を備えているが説明の簡略化のた
めに図１には図示していない。

【００４３】次に、動作の概略を説明する。搬送コンベ
ア１０により搬送されたワークボトルＢは、入口スター
ホイル１１により回転検査台１５の回転速度に同期させ
られ、基台カム１２に沿ったシャフト１７の下降動作に
より回転検査台１５の所定位置に載置される。

【００４４】これと並行して、ボトルモータ１９がガイ
ドバー１８に沿って下降し、ワークボトルＢを把持する
とともに回転（自転）させる。このとき、回転検査台１
５が支柱１４の周りを回転するため、ワークボトルＢも
自転しつつ支柱１４を中心として回転（公転）すること
となる。なお、ワークボトルＢの公転速度は、使用者が
回転速度切り換え装置Ｒを操作することにより、ワーク
ボトルＢにおける検査範囲の距離に対応して変更され
る。

【００４５】次に、ワークボトルＢが自転を開始する
と、カムＫに沿った補助アーム２３の下降動作により撮
像装置Ｔが下降し、ボアスコープ２０がワークボトルＢ
に挿入されてワークボトルＢの表面（内面）検査が開始
される。この際、カムＫに沿って撮像装置Ｔが下降する
とともに、ワークボトルＢが自転するので、ワークボト
ルＢの表面（内面）全体が検査される。更に、この検査
は、ワークボトルＢが支柱１４の周りを約半周（１８０
゜）回転する間に完了される。また、一の撮像装置Ｔに
おける検査のための撮影枚数は、撮影枚数切り換え装置
２７を使用者が切り換えることによりワークボトルＢに
おける検査範囲の距離に対応して切り換えられる。

【００４６】各撮像装置Ｔからの検査映像は、カメラセ
レクタ２５、変調部２６Ａ、ミキサ２６Ｂ及びアンテナ
２８を介して復調部３０Ａ及び映像処理部３０Ｂに伝送
され、ワークボトルＢの表面の異物等が検出され、これ
に基づき、表面検査終了後に外部の排出装置により不良
品としてのワークボトルＢが排出される。

【００４７】なお、上述の構成及び以下の各実施例にお
いては、ワークボトルＢの公転速度及び撮像装置Ｔの撮
影枚数は、それぞれ回転速度切り換え装置Ｒ及び撮影枚
数切り換え装置２７を使用者が操作することにより切り
換えるようにしたが、これに限られるものではなく、ワ
ークボトルＢにおける検査範囲の距離を検出して自動的
に切り換えるようにしてもよい。 （II）第１実施例 次に、請求項１乃至請求項３に記載の発明に対応する第
１の実施例について、図１乃至図４を用いて説明する。

【００４８】始めに、第１実施例のロータリー式表面検
査装置Ｓ₁ の構成について、図２を用いて説明する。な
お、図２においては、説明の簡略化のため、一の撮像装
置Ｔに関連する部分のみを示している。

【００４９】第１実施例においては、図１におけるカム
Ｋが、図２に符号ＫＮで示すように、断面形状が直角三
角形である傾斜カムＫＮとされる。そして、傾斜部とし
ての三角形の一辺（斜辺）上に補助アーム２３が保持さ
れる。

【００５０】次に、傾斜カムＫＮの断面形状と、回転検
査台１５上の検査位置の関係について、図２及び図３を
用いて説明する。なお、図３においては、実際の表面検
査は、図３中符号Ｐ_B の位置から符号Ｐ_D の位置までワ
ークボトルＢが移動する間に行われる。

【００５１】図３に示すように、傾斜カムＫＮの断面
は、検査開始位置である符号Ｐ_B の位置で最も傾斜部の
傾斜が急峻とされ、検査終了位置である符号Ｐ_D の位置
では、傾斜部は水平とされる。そして、符号Ｐ_B の位置
から符号Ｐ_D の位置までの間においては、その傾斜角
（図３中符号α）が単調且つ連続的に減少し、符号Ｐ_D
の位置においては零となるようにされる。但し、符号Ｐ
_D の位置における傾斜角αの値は、本実施例においては
零としているが、これに限られるものではなく、各高さ
のワークボトルＢにおける検査すべき範囲の最下部の高
さに対応していればよい。

【００５２】検査実施時においては、使用者により、検
査すべきワークボトルＢにおける検査すべき範囲の高さ
に対応して補助アーム２３の長さが切り換えられ、傾斜
カムＫＮの傾斜部上の対応する位置（図２又は図３符号
ａ、ｂ又はｃ参照）に係合される。そして、回転検査台
１５の回転に伴い傾斜カムＫＮの傾斜部上の係合された
位置（図２又は図３符号ａ、ｂ又はｃ参照）に沿って支
柱１４を中心に補助アーム２３が回転移動しつつ下降
し、検査が行われる。

【００５３】より具体的には、例えば、高さの高い（撮
像装置Ｔの検査方向（上下方向）の移動距離が長い）ワ
ークボトルＢを検査する場合には、図２又は図３符号ｃ
の位置に補助アーム２３が係合され、回転検査台１５の
回転に伴い傾斜カムＫＮの傾斜部上の符号ｃの位置上を
支柱１４を中心に回転移動しつつ、下降し、検査が行わ
れる。また、高さの低い（撮像装置Ｔの検査方向（上下
方向）の移動距離が短い）ワークボトルＢを検査する場
合には、図２又は図３符号ａの位置に補助アーム２３が
係合され、同様に傾斜カムＫＮの傾斜部上の符号ａの位
置上を支柱１４を中心に回転移動しつつ下降し、検査が
行われる。このとき、ガイドバー１８が回転検査台１５
及び回転盤２４に固定されており、かつ、検査中は補助
アーム２３の長さは一定なので、例えば、補助アーム２
３が符号ｃの位置に係合されたときでも検査中に傾斜部
を滑り落ちることはなく、符号ｃの位置上を移動する。

【００５４】ここで、図３符号Ｐ_D の位置における傾斜
カムＫＮの上面の回転検査台からの高さは、検査終了時
におけるボアスコープ２０の下端の回転検査台１５から
の高さ（ワークボトルＢにおける検査すべき範囲の高さ
に拘らず一定である。）に対応して、ボアスコープ２０
の下端がワークボトルＢの内面底部に接触しないように
設定される。

【００５５】更に、検査開始位置（図３符号Ｐ_B ）にお
ける傾斜角αの大きさは、検査開始位置から検査終了位
置までにおける補助アーム２３の検査方向（上下方向）
の移動距離がそれぞれの（高さの異なる）ワークボトル
Ｂにおける検査すべき距離に対応するように設定され
る。より具体的には、例えば、高さの高いワークボトル
Ｂを検査する場合には、図２又は図３の傾斜カムＫＮ上
の符号ｃの位置における回転に伴う補助アーム２３の検
査方向（上下方向）の移動距離（検査開始位置から検査
終了位置までにおける検査方向（上下方向）の移動距
離）が検査すべきワークボトルＢの検査距離に等しいよ
うに設定される。

【００５６】次に、図３符号Ｐ_D の位置からワークボト
ルＢの排出位置である符号Ｐ_E の位置までの間において
は、ボアスコープ２０をワークボトルＢから取り出すた
めに、撮像装置Ｔを上昇させるべく傾斜カムＫＮの傾斜
角αは漸次増加し、符号Ｐ_Eの位置においてボアスコー
プ２０がワークボトルＢから完全に取りだされるように
される。そして、符号Ｐ_E の位置において、ワークボト
ルＢが出口スターホイル４０に移送され、排出される。

【００５７】ワークボトルＢを排出後の図３符号Ｐ_E の
位置から図３符号Ｐ_B の位置までの間については、次に
ロータリー式表面検査装置Ｓ₁ に導入されるワークボト
ルＢに備えて、撮像装置Ｔの高さを図３符号Ｐ_E の位置
の高さのまま保持すべく、傾斜カムＫＮの傾斜角αの大
きさは変化しない。

【００５８】次に、第１実施例における傾斜カムＫＮと
補助アーム２３との係合位置と回転検査台１５の回転に
伴う補助アーム２３の移動の軌跡について図４を用いて
説明する。なお、図４における符号Ｐ_A 乃至Ｐ_E 及び符
号Ｐ_O は、図３における符号Ｐ_A 乃至Ｐ_E 及び符号Ｐ_O
に対応している。

【００５９】図４に示すように、傾斜カムＫＮ上の符号
ｃの位置に補助アーム２３を係合した場合には、高さの
高いワークボトルＢに対応して撮像装置Ｔの検査方向
（上下方向）の移動距離が最も大きくなっている。ま
た、符号ａの位置に補助アーム２３を係合した場合に
は、高さの低いワークボトルＢに対応して撮像装置Ｔの
移動距離も小さくなっている。このとき、補助アーム２
３の長さは任意に設定できるので、傾斜カムＫＮが保持
できる範囲で補助アーム２３の検査方向の移動距離が任
意に設定できることとなり、傾斜カムＫＮが保持できる
範囲で任意の高さのワークボトルＢに対応して表面検査
を行うことができる。

【００６０】また、図４に示すように、第１実施例のロ
ータリー式表面検査装置Ｓ₁ においては、ワークボトル
Ｂにおける検査すべき範囲の高さに対応して撮像装置Ｔ
の検査方向の移動距離及び撮影枚数が切り換えられる
（撮像枚数に関しては、ワークボトルＢの高さが高いほ
ど多く設定されることとなる）ので、ワークボトルＢに
おける検査すべき範囲の高さに拘らず、図４符号Ｐ_B か
ら図４符号Ｐ_D の間が有効な検査領域とされる。従っ
て、ワークボトルＢの高さが低く、撮影枚数が少なくて
すむ場合には、回転速度切り換え装置Ｒを操作すること
により回転検査台１５の回転速度を増加し、検査時間を
短くすることができる。

【００６１】以上説明したように、第１実施例のロータ
リー式表面検査装置Ｓ₁ によれば、補助アーム２３が係
合するカムＫを傾斜カムＫＮとし、その傾斜角αを検査
範囲において単調且つ連続的に減少するようにしてワー
クボトルＢにおける検査すべき範囲の高さに対応して撮
像装置Ｔの移動距離を切り換えることができようにし、
さらに、ワークボトルＢにおける検査すべき範囲の高さ
に対応して一種類のワークボトルＢに対する撮像装置Ｔ
の撮影枚数及び回転検査台１５の回転速度を切り換える
ようにしたので、高さの低いワークボトルＢ（製造能力
の高いワークボトルＢ）の場合は、高さの高いワークボ
トルＢに比してワークボトルＢの公転（移動）速度を早
くすることができ、ワークボトルＢの製造能力に対応し
て検査時間を短くすることができる。

【００６２】なお、上述の第１実施例においては、撮像
装置Ｔが下降しつつ表面検査を行うこととしたが、これ
に限られるものではなく、検査開始位置Ｐ_B から検査終
了位置Ｐ_D までの間において、傾斜角αを単調且つ連続
的に増加するようにして、撮像装置Ｔが上昇しつつ表面
検査を行うようにしてもよい。この場合には、ワークボ
トルＢが回転検査台１５に載置され、ボトルモータ１９
により把持された後、ボアスコープ２０が当該ワークボ
トルＢにおける検査すべき範囲の最下点まで一旦下降
し、その後検査を開始することとなる。 （III ）第２実施例 次に、請求項４乃至請求項６に記載の発明に対応する第
２の実施例について図５乃至図７を用いて説明する。

【００６３】上述の第１実施例においては、図１におけ
るカムＫが傾斜角αの傾斜部を有する傾斜カムＫＮとさ
れたが、本第２実施例においては、３つのガイド部５０
乃至５２を有する段カムＫＤとされる。

【００６４】また、図５乃至図７において、第１実施例
と同様の部材等については、同様の部材番号を付し、細
部の説明は省略する。始めに、第２実施例のロータリー
式表面検査装置Ｓ₂ の構成について、図５を用いて説明
する。

【００６５】第２実施例においては、図５の段カムＫＤ
上のガイド部５０乃至５２のいずれか一のガイド部に補
助アーム２３が係合される。次に、段カムＫＤの断面形
状と、回転検査台１５上の検査位置の関係について、図
５及び図６を用いて説明する。

【００６６】図６に示すように、段カムＫＤの断面は、
各ガイド部５０乃至５２の回転検査台１５からの高さが
検査開始位置である符号Ｐ_B の位置で最も高くされ、検
査終了位置である符号Ｐ_D の位置では、最も低くされ
る。そして、符号Ｐ_B の位置から符号Ｐ_D の位置までの
間においては、それぞれのガイド部５０乃至５２の高さ
が単調且つ連続的に減少される。更に、符号Ｐ_D の位置
においては、各ガイド部５０乃至５２の高さは同一とさ
れる。但し、符号Ｐ_D の位置における各ガイド部５０乃
至５２の高さは、本実施例においては同一としている
が、これに限られるものではなく、各高さのワークボト
ルＢにおける検査すべき範囲の最下部の高さに対応して
いればよい。

【００６７】検査実施時においては、使用者により、検
査すべきワークボトルＢにおける検査すべき範囲の高さ
に対応して補助アーム２３の長さが切り換えられ、段カ
ムＫＤ上の対応するガイド部５０、５１又は５２のうち
のいずれか一のガイド部に係合される。そして、回転検
査台１５の回転に伴い係合されたガイド部５０、５１又
は５２に沿って支柱１４を中心に補助アーム２３が回転
移動しつつ下降し、検査が行われる。

【００６８】より具体的には、例えば、高さの高いワー
クボトルＢを検査する場合には、ガイド部５２に補助ア
ーム２３が係合され、回転検査台１５の回転に伴いガイ
ド部５２上を支柱１４を中心に回転移動しつつ、下降
し、検査が行われる。また、高さの低いワークボトルＢ
を検査する場合には、ガイド部５０に補助アーム２３が
係合され、同様に段カムＫＤのガイド部５０上を支柱１
４を中心に回転移動しつつ、下降し、検査が行われる。
ここで、図６符号Ｐ_D の位置におけるガイド部５０乃至
５２の回転検査台からの高さは、第１実施例と同様に、
検査終了時におけるボアスコープ２０の下端の回転検査
台１５からの高さ（ワークボトルＢにおける検査すべき
範囲の高さに拘らず一定である。）に対応して、ボアス
コープ２０の下端がワークボトルＢの内面底部に接触し
ないように設定される。更に、検査開始位置（図６符号
Ｐ_B ）における各ガイド部５０乃至５２の回転検査台１
５からの高さは、検査開始位置から検査終了位置までに
おける補助アーム２３の検査方向（上下方向）の移動距
離がそれぞれの（高さの異なる）ワークボトルＢにおけ
る検査すべき距離に対応するように設定される。より具
体的には、例えば、高さの高いワークボトルＢを検査す
る場合には、ガイド部５２の位置における回転に伴う補
助アーム２３の検査方向（上下方向）の移動距離（検査
開始位置から検査終了位置までにおける検査方向（上下
方向）の移動距離）が検査すべきワークボトルＢの検査
距離に等しいように設定される。

【００６９】次に、図６符号Ｐ_D の位置からワークボト
ルＢの排出位置である符号Ｐ_E の位置までの間において
は、ボアスコープ２０をワークボトルＢから取り出すた
めに、撮像装置Ｔを上昇させるべく各ガイド部５０乃至
５２の高さは漸次増加し、符号Ｐ_E の位置においてボア
スコープ２０がワークボトルＢから完全に取り出される
ようにされる。そして、符号Ｐ_E の位置において、ワー
クボトルＢが出口スターホイル４０に移送され、排出さ
れる。

【００７０】ワークボトルＢを排出後の図６符号Ｐ_E の
位置から図６符号Ｐ_B の位置までの間については、次に
ロータリー式表面検査装置Ｓ₂ に導入されるワークボト
ルＢに備えて、撮像装置Ｔの高さを図６符号Ｐ_E の位置
の高さのまま保持すべく、各ガイド部５０乃至５２の高
さは変化しない。

【００７１】次に、第２実施例における段カムＫＤと補
助アーム２３の係合位置と回転検査台１５の回転に伴う
補助アーム２３の移動の軌跡について図７を用いて説明
する。なお、図７における符号Ｐ_A 乃至Ｐ_E 及び符号Ｐ
_O は、図６における符号Ｐ_A乃至Ｐ_E 及び符号Ｐ_O に対
応している。

【００７２】図７に示すように、ガイド部５２に補助ア
ーム２３を係合した場合には、高さの高いワークボトル
Ｂに対応して撮像装置Ｔの検査方向（上下方向）の移動
距離が最も大きくなっている。また、ガイド部５０に補
助アーム２３を係合した場合には、高さの低いワークボ
トルＢに対応して撮像装置Ｔの移動距離も小さくなって
いる。

【００７３】また、図７に示すように、第２実施例のロ
ータリー式表面検査装置Ｓ₂ においては、第１実施例と
同様に、ワークボトルＢにおける検査すべき範囲の高さ
に対応して撮像装置Ｔの検査方向の移動距離及び撮影枚
数が切り換えられる（撮像枚数に関しては第１実施例と
同様である。）ので、ワークボトルＢにおける検査すべ
き範囲の高さに拘らず、図７符号Ｐ_B の位置から図７符
号Ｐ_D の位置までの間が有効な検査領域とされる。従っ
て、ワークボトルＢの高さが低く、撮影枚数が少なくて
すむ場合には、回転速度切り換え装置Ｒを操作すること
により回転検査台１５の回転速度を増加し、検査時間を
短くすることができる。

【００７４】以上説明したように、第２実施例のロータ
リー式表面検査装置Ｓ₂ による場合には、補助アーム２
３が係合するカムＫを段カムＫＤとし、ガイド部５０乃
至５２の高さを検査範囲において単調且つ連続的に減少
するようにしてワークボトルＢにおける検査すべき範囲
の高さに対応して撮像装置Ｔの移動距離を切り換えるこ
とができようにし、さらに、ワークボトルＢにおける検
査すべき範囲の高さに対応して一種類のワークボトルＢ
に対する撮影枚数及び回転検査台１５の回転速度を切り
換えるようにしたので、第１実施例と同様に、高さの低
いワークボトルＢ（製造能力の高いワークボトルＢ）の
場合は、高さの高いワークボトルＢに比してワークボト
ルＢの移動速度を早くすることができ、ワークボトルＢ
の製造能力に対応して検査時間を短くすることができ
る。

【００７５】なお、上述の第２実施例においては、撮像
装置Ｔが下降しつつ表面検査を行うこととしたが、これ
に限られるものではなく、第１実施例と同様に、検査開
始位置Ｐ_B から検査終了位置Ｐ_D までの間において、各
ガイド部５０乃至５２の高さを単調且つ連続的に増加す
るようにして、撮像装置Ｔが上昇しつつ表面検査を行う
ようにしてもよい。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、被検査体における検査すべき範囲の高さ
に対応して、撮像手段の検査方向の移動距離及び撮影枚
数並びに被検査体の移動速度を変化させることができる
ので、被検査体の製造能力に対応して検査時間を短くす
ることができる。

【００７７】従って、製造能力に比して検査能力が低い
ことにより、検査工程において被検査体が滞ることがな
くなり、製造工程全体を効率化、高速化することができ
る。請求項２又は請求項３に記載の発明によれば、請求
項１に記載の発明の効果に加えて、撮像手段の検査方向
の移動距離を連続的且つ自由に設定できるので、より他
種類の高さの被検査体に対応して撮像装置の移動距離を
短縮し、検査時間を短くすることができる。

【００７８】請求項４に記載の発明によれば、被検査体
における検査すべき範囲の高さに対応して、撮像手段の
検査方向の移動距離及び撮影枚数並びに被検査体の移動
速度を変化させることができるので、被検査体の製造能
力に対応して検査時間を短くすることができる。

【００７９】従って、製造能力に比して検査能力が低い
ことにより、検査工程において被検査体が滞ることがな
くなり、製造工程全体を効率化、高速化することができ
る。請求項５及び請求項６に記載の発明によれば、請求
項３に記載の発明の効果に加えて、撮像手段の検査方向
の移動距離及び撮影枚数並びに被検査体の移動速度を、
被検査体における検査すべき範囲の高さに対応して設定
できるので、より他種類の高さの被検査体に対応して撮
像装置の移動距離を短縮し、検査時間を短くすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のロータリー式表面検査装置の説明図で
ある。

【図２】第１実施例のロータリー式表面検査装置の部分
断面図である。

【図３】第１実施例における検査位置と傾斜カムの断面
の関係を示す図である。

【図４】第１実施例における傾斜カムＫＮと補助アーム
２３の係合位置と補助アーム２３の軌跡との関係を示す
図であり、（ａ）は傾斜カムＫＮ上の符号ｃの位置に補
助アーム２３を係合させた場合の軌跡であり、（ｂ）は
傾斜カムＫＮ上の符号ｂの位置に補助アーム２３を係合
させた場合の軌跡であり、（ｃ）は傾斜カムＫＮ上の符
号ａの位置に補助アーム２３を係合させた場合の軌跡で
あり、（ｄ）は回転検査台上の各位置における傾斜カム
ＫＮの断面図である。

【図５】第２実施例のロータリー式表面検査装置の部分
断面図である。

【図６】第２実施例における検査位置と段カムの断面の
関係を示す図である。

【図７】第２実施例における段カムＫＤと補助アーム２
３の係合位置と補助アーム２３の軌跡との関係を示す図
であり、（ａ）はガイド部５２に補助アーム２３を係合
させた場合の軌跡であり、（ｂ）はガイド部５１に補助
アーム２３を係合させた場合の軌跡であり、（ｃ）はガ
イド部５０に補助アーム２３を係合させた場合の軌跡で
あり、（ｄ）は回転検査台上の各位置における段カムＫ
Ｄの断面図である。

【図８】ロータリー式表面検査装置の構成を示す図であ
る。

【図９】高さの異なる被検査容器に対する表面検査の有
効範囲を示す図である。

【図１０】従来技術における高さの異なる被検査容器に
対する製造能力と、検査能力との関係を示す表図であ
る。

【符号の説明】

１０、Ｈ…搬送コンベア １１、１０１…入口スターホイル １２…基台カム １３…基台 １４…支柱 １５…回転検査台 １６…カムフォロア １７…シャフト １８…ガイドバー １９…ボトルモータ ２０…ボアスコープ ２１…ＣＣＤカメラ ２２…ライト ２３…補助アーム ２４…回転盤 ２５…カメラセレクタ ２６Ａ…変調部 ２６Ｂ…ミキサ ２７…撮影枚数切換装置 ２８…アンテナ部 ２９…制御部 ３０Ａ…復調部 ３０Ｂ…映像処理部 ３１…回転モータ ４０、１０３…出口スターホイル ５０、５１、５２…ガイド部 １０２…回転台 Ｂ…ワークボトル（被検査容器） Ｋ…カム ＫＮ…傾斜カム ＫＤ…段カム Ｒ…回転速度切換装置 Ｔ…撮像装置 １００、Ｓ、Ｓ₁ 、Ｓ₂ …ロータリー式表面検査装置 ａ、ｂ、ｃ…傾斜カム上の補助アームの係合位置 α…傾斜角

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円形軌道上を移動する被検査体の表面を
   検査する表面検査装置において、 前記円形軌道と同心状に設けられた保持部材と、 前記保持部材に保持され、前記被検査体の検査方向に対
   し、前記被検査体における検査範囲に対応した距離を移
   動可能で、前記円形軌道と同心状に前記被検査体と同期
   して回転可能な補助アームと、 前記補助アームに設けられた前記被検査体の表面を映像
   化する撮像装置と、 前記保持部材に形成され、前記補助アームの回転及び前
   記被検査体の検査方向の移動をガイドする傾斜部と、 前記補助アームの前記被検査体の検査方向の移動距離に
   対応して前記撮像装置の撮影枚数を切り換える撮影枚数
   切り換え手段と、 前記被検査体の検査方向の検査距離に対応して前記被検
   査体の円形軌道上の移動速度を切り換える移動速度切り
   換え手段と、を備え、 前記被検査体における検査範囲に対応して、前記補助ア
   ームが係合する前記傾斜部上の位置を選択することを特
   徴とする表面検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の表面検査装置におい
   て、 前記傾斜部が形成された前記保持部材は、前記円形軌道
   上の検査開始位置における半径方向の断面が、前記被検
   査体における検査すべき範囲の最高部の高さに対応した
   高さを有し、且つ、その一辺が前記傾斜部を形成する略
   三角形であるとともに、前記傾斜部と前記検査方向に垂
   直な面との成す傾斜角が、前記検査開始位置から前記円
   形軌道上の検査終了位置の間において連続的に減少し、
   更に、前記検査終了位置における前記傾斜角が前記被検
   査体における検査すべき範囲の最下部の高さに対応して
   いることを特徴とする表面検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の表面検査装置におい
   て、 前記傾斜部が形成された前記保持部材は、前記円形軌道
   上の検査開始位置における半径方向の断面における前記
   傾斜部と前記検査方向に垂直な面との成す傾斜角が、前
   記被検査体における検査すべき範囲の最下部の高さに対
   応しているとともに、前記傾斜角が前記検査開始位置か
   ら前記円形軌道上の検査終了位置の間において連続的に
   増加し、更に、前記検査終了位置における半径方向の前
   記断面が、前記被検査体における検査すべき範囲の最高
   部の高さに対応した高さを有し、且つ、その一辺が前記
   傾斜部を形成する略三角形であることを特徴とする表面
   検査装置。
4. 【請求項４】 円形軌道上を移動する被検査体の表面を
   検査する表面検査装置において、 前記円形軌道と同心状に設けられた保持部材と、 前記保持部材に保持され、前記被検査体の検査方向に対
   し、前記被検査体における検査範囲に対応した距離を移
   動可能で、前記円形軌道と同心状に前記被検査体と同期
   して回転可能な補助アームと、 前記補助アームに設けられた前記被検査体の表面を映像
   化する撮像装置と、 前記保持部材に形成され、前記補助アームの回転及び前
   記被検査体の検査方向の移動をガイドする少なくとも２
   つのガイド部と、 前記補助アームの前記被検査体の検査方向の移動距離に
   対応して前記撮像装置の撮影枚数を切り換える撮影枚数
   切り換え手段と、 前記被検査体の検査方向の検査距離に対応して前記被検
   査体の円形軌道上の移動速度を切り換える移動速度切り
   換え手段と、を備え、 前記被検査体における検査範囲に対応して、前記補助ア
   ームが係合する前記ガイド部を選択することを特徴とす
   る表面検査装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の表面検査装置におい
   て、 少なくとも二つの前記ガイド部は、その前記検査方向の
   高さが、前記円形軌道上の検査開始位置において前記被
   検査体における検査すべき範囲の最高部の高さに対応し
   て前記ガイド部毎にそれぞれ異なるとともに、前記検査
   開始位置から前記円形軌道上の検査終了位置の間におい
   て連続的に減少し、更に、検査終了位置において前記被
   検査体における検査すべき範囲の最下部の高さに対応し
   ていることを特徴とする表面検査装置。
6. 【請求項６】 請求項４に記載の表面検査装置におい
   て、 少なくとも二つの前記ガイド部は、その前記検査方向の
   高さが、前記円形軌道上の検査開始位置において前記被
   検査体における検査すべき範囲の最下部の高さに対応し
   た高さを有するとともに、前記検査開始位置から前記円
   形軌道上の検査終了位置の間において連続的に増加し、
   更に、前記検査終了位置において前記被検査体における
   検査すべき範囲の最高部の高さに対応して前記ガイド部
   毎にそれぞれ異なっていることを特徴とする表面検査装
   置。