JP3439580B2 - シリコン酸化膜の形成方法および形成装置 - Google Patents
シリコン酸化膜の形成方法および形成装置Info
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
方法に係り、特に、熱酸化処理を用いてシリコン基板の
表面にシリコン酸化膜を形成するための方法に関する。
方法に係り、特に、熱酸化処理を用いてシリコン基板の
表面にシリコン酸化膜を形成するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＭＯＳ（金属−酸化膜−半導体構造）ト
ランジスタ等の半導体装置を構成するゲート酸化膜とし
ては、従来より、シリコン基板を熱酸化することで形成
したシリコン酸化膜（ＳｉＯ2 ）が用いられているが、
最近のＭＯＳ構造素子の微細化、高集積化に伴い、この
シリコン酸化膜の薄膜化が進行している。例えば、０．
３５μｍプロセス技術を用いた６４ＭＤＲＡＭにおいて
は１００Å、０．２５μｍプロセス技術を用いた２５６
ＭＤＲＡＭにおいては８０Åという膜厚の酸化膜が用い
られる。さらに、高性能化を目指すＣＭＯＳロジック素
子においては、ＤＲＡＭよりも一世代早い薄膜化が要求
され、０．２５μｍプロセス技術を用いたＣＭＯＳロジ
ック素子では実に６０Åという薄膜が用いられる。この
ような極薄のシリコン酸化膜では、膜中に存在するある
種の欠陥（構造欠陥）の影響が無視できなくなるため、
従来の厚い酸化膜では見られなかった問題が発生し、素
子の信頼性を確保することが困難になっている。
ランジスタ等の半導体装置を構成するゲート酸化膜とし
ては、従来より、シリコン基板を熱酸化することで形成
したシリコン酸化膜（ＳｉＯ2 ）が用いられているが、
最近のＭＯＳ構造素子の微細化、高集積化に伴い、この
シリコン酸化膜の薄膜化が進行している。例えば、０．
３５μｍプロセス技術を用いた６４ＭＤＲＡＭにおいて
は１００Å、０．２５μｍプロセス技術を用いた２５６
ＭＤＲＡＭにおいては８０Åという膜厚の酸化膜が用い
られる。さらに、高性能化を目指すＣＭＯＳロジック素
子においては、ＤＲＡＭよりも一世代早い薄膜化が要求
され、０．２５μｍプロセス技術を用いたＣＭＯＳロジ
ック素子では実に６０Åという薄膜が用いられる。この
ような極薄のシリコン酸化膜では、膜中に存在するある
種の欠陥（構造欠陥）の影響が無視できなくなるため、
従来の厚い酸化膜では見られなかった問題が発生し、素
子の信頼性を確保することが困難になっている。
【０００３】以下、このようなシリコン酸化膜中の構造
欠陥について説明する。シリコン酸化膜はＳｉ−Ｏ4 正
四面体構造（テトラヘドラ）の短距離秩序をもったアモ
ルファス構造を有する。構造欠陥とは、この短距離秩序
が破壊され四面体構造からずれたことを意味する。この
構造欠陥部では架橋酸素原子の化学結合が切断され、シ
リコンダングリングボンド、Ｓｉ−Ｓｉ結合、あるいは
Ｓｉ−Ｏ−Ｈ結合等の不完全な結合が存在する。こうし
たダングリングボンド等は、電子のトラップサイトとな
り、特性の経時変化を引き起こして信頼性を低下させる
原因となっている。このような構造欠陥の生成原因は明
らかではないが、酸化前のシリコン酸化膜の表面の欠陥
や不純物等が初期酸化過程においてシリコン酸化膜中に
取り込まれる結果、シリコン酸化膜中の構造欠陥になる
と考えられている。
欠陥について説明する。シリコン酸化膜はＳｉ−Ｏ4 正
四面体構造（テトラヘドラ）の短距離秩序をもったアモ
ルファス構造を有する。構造欠陥とは、この短距離秩序
が破壊され四面体構造からずれたことを意味する。この
構造欠陥部では架橋酸素原子の化学結合が切断され、シ
リコンダングリングボンド、Ｓｉ−Ｓｉ結合、あるいは
Ｓｉ−Ｏ−Ｈ結合等の不完全な結合が存在する。こうし
たダングリングボンド等は、電子のトラップサイトとな
り、特性の経時変化を引き起こして信頼性を低下させる
原因となっている。このような構造欠陥の生成原因は明
らかではないが、酸化前のシリコン酸化膜の表面の欠陥
や不純物等が初期酸化過程においてシリコン酸化膜中に
取り込まれる結果、シリコン酸化膜中の構造欠陥になる
と考えられている。
【０００４】したがって、高品質のシリコン酸化膜を形
成するためには、酸化前の洗浄工程および初期酸化が極
めて重要になってくる。従来は、洗浄後のシリコン基板
をそのまま高温酸化性雰囲気中に曝すとシリコンの表面
が粗れて特性を劣化させるため、洗浄の最終工程におい
て溶液酸化を行って本酸化前のシリコン表面に保護酸化
膜を形成し、しかるのち熱酸化による本酸化を行うとい
う方法がとられていた。
成するためには、酸化前の洗浄工程および初期酸化が極
めて重要になってくる。従来は、洗浄後のシリコン基板
をそのまま高温酸化性雰囲気中に曝すとシリコンの表面
が粗れて特性を劣化させるため、洗浄の最終工程におい
て溶液酸化を行って本酸化前のシリコン表面に保護酸化
膜を形成し、しかるのち熱酸化による本酸化を行うとい
う方法がとられていた。
【０００５】しかしながら、溶液酸化による保護酸化膜
の結合状態は不安定であり、本酸化後もこのような構造
はシリコン酸化膜中に残存するため、シリコン酸化膜を
より薄膜化する場合には、特性への影響が無視できな
い。
の結合状態は不安定であり、本酸化後もこのような構造
はシリコン酸化膜中に残存するため、シリコン酸化膜を
より薄膜化する場合には、特性への影響が無視できな
い。
【０００６】このような問題を解決するため、以下のよ
うな保護酸化膜の改質方法が提案されている。 （１）特開平６−２９１１１２号公報に開示されている
ように、溶液酸化膜を非酸化性雰囲気中で熱処理して安
定な結合状態に改質した後に、通常の酸化性雰囲気中に
おいて酸化膜を形成する方法である。 （２）特開平６−２４４１７４号公報に開示されている
ように、オゾンを含有する純水中で結合状態が安定な保
護酸化膜を形成する方法である。 （３）特開平６−２１６１１７号公報に開示されている
ように、Ｆｅ（鉄）またはＦｅＯX （酸化鉄）を含んだ
溶液中で保護酸化膜を形成することにより、シリコンの
水素化合物を含まない保護酸化膜を形成す方法である。 （４）特開平３−２４８４２６号公報に開示されている
ように、溶液酸化膜に紫外光またはエックス線を照射し
て溶液酸化膜の膜質を改善する方法である。
うな保護酸化膜の改質方法が提案されている。 （１）特開平６−２９１１１２号公報に開示されている
ように、溶液酸化膜を非酸化性雰囲気中で熱処理して安
定な結合状態に改質した後に、通常の酸化性雰囲気中に
おいて酸化膜を形成する方法である。 （２）特開平６−２４４１７４号公報に開示されている
ように、オゾンを含有する純水中で結合状態が安定な保
護酸化膜を形成する方法である。 （３）特開平６−２１６１１７号公報に開示されている
ように、Ｆｅ（鉄）またはＦｅＯX （酸化鉄）を含んだ
溶液中で保護酸化膜を形成することにより、シリコンの
水素化合物を含まない保護酸化膜を形成す方法である。 （４）特開平３−２４８４２６号公報に開示されている
ように、溶液酸化膜に紫外光またはエックス線を照射し
て溶液酸化膜の膜質を改善する方法である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来提案
されている手法は、本酸化前に保護酸化膜の改質を行っ
たり、保護酸化膜の形成の際にできるだけ良質の膜を形
成しようとする手法である。しかしながら、これらの方
法には以下のような問題があった。すなわち、シリコン
酸化膜において、その電気的特性に影響を与える欠陥
は、キャリアのトラップサイトとなるＳｉ−Ｈ結合やＳ
ｉ−ＯＨ結合等の水素結合である。溶液酸化により形成
したシリコン酸化膜には、この種の欠陥が取り込まれや
すく、溶液酸化膜に上記の（１）〜（４）の手法による
処理を施したとしても、完全にこれらの欠陥をなくすこ
とは困難であった。また、溶液酸化では、その酸化過程
において、大気中からの炭化物等による汚染を完全にな
くすことは困難であった。このため、溶液酸化によって
形成したシリコン酸化膜を初期酸化膜として用いること
は好ましくない。
されている手法は、本酸化前に保護酸化膜の改質を行っ
たり、保護酸化膜の形成の際にできるだけ良質の膜を形
成しようとする手法である。しかしながら、これらの方
法には以下のような問題があった。すなわち、シリコン
酸化膜において、その電気的特性に影響を与える欠陥
は、キャリアのトラップサイトとなるＳｉ−Ｈ結合やＳ
ｉ−ＯＨ結合等の水素結合である。溶液酸化により形成
したシリコン酸化膜には、この種の欠陥が取り込まれや
すく、溶液酸化膜に上記の（１）〜（４）の手法による
処理を施したとしても、完全にこれらの欠陥をなくすこ
とは困難であった。また、溶液酸化では、その酸化過程
において、大気中からの炭化物等による汚染を完全にな
くすことは困難であった。このため、溶液酸化によって
形成したシリコン酸化膜を初期酸化膜として用いること
は好ましくない。
【０００８】または保護酸化膜を熱処理する方法は、プ
ロセスの低温化を妨げるという点からも問題である。さ
らに、保護酸化膜の改質に紫外光やエックス線を利用す
る方法は、装置が大掛かりになる点、および紫外光やエ
ックス線の照射によりシリコン酸化膜中に放射損傷が発
生するという点で問題がある。このように、溶液酸化膜
を処理した後にこれをシリコン酸化膜の初期酸化層とし
て用いるという従来提案されている手法はいずれも不十
分なものであった。
ロセスの低温化を妨げるという点からも問題である。さ
らに、保護酸化膜の改質に紫外光やエックス線を利用す
る方法は、装置が大掛かりになる点、および紫外光やエ
ックス線の照射によりシリコン酸化膜中に放射損傷が発
生するという点で問題がある。このように、溶液酸化膜
を処理した後にこれをシリコン酸化膜の初期酸化層とし
て用いるという従来提案されている手法はいずれも不十
分なものであった。
【０００９】そこで、本発明の目的は、構造欠陥の少な
い初期酸化膜の形成によって高品質のシリコン酸化膜の
形成を可能にするシリコン酸化膜の形成方法、およびそ
の方法を実現するためのシリコン酸化膜形成装置を提供
することにある。
い初期酸化膜の形成によって高品質のシリコン酸化膜の
形成を可能にするシリコン酸化膜の形成方法、およびそ
の方法を実現するためのシリコン酸化膜形成装置を提供
することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、シリコン基板を薬品により洗浄する洗浄工程の最終
工程において、酸化性の薬品によりシリコン基板の表面
を酸化する洗浄工程と、洗浄後のシリコン基板を圧力１
０-9Ｔｏｒｒ以下の雰囲気において温度８００ないし１
０００°Ｃで熱処理する熱処理工程と、熱処理後のシリ
コン基板の表面に、圧力１０-6ないし１０-7Ｔｏｒｒの
酸素プラズマ雰囲気において、酸化膜を形成する初期酸
化膜形成工程と、初期酸化膜形成後のシリコン基板上
に、通常の熱酸化法により酸化膜を形成する本酸化工程
とを行うことで前記目的を達成する。
は、シリコン基板を薬品により洗浄する洗浄工程の最終
工程において、酸化性の薬品によりシリコン基板の表面
を酸化する洗浄工程と、洗浄後のシリコン基板を圧力１
０-9Ｔｏｒｒ以下の雰囲気において温度８００ないし１
０００°Ｃで熱処理する熱処理工程と、熱処理後のシリ
コン基板の表面に、圧力１０-6ないし１０-7Ｔｏｒｒの
酸素プラズマ雰囲気において、酸化膜を形成する初期酸
化膜形成工程と、初期酸化膜形成後のシリコン基板上
に、通常の熱酸化法により酸化膜を形成する本酸化工程
とを行うことで前記目的を達成する。
【００１１】この発明では、薬品による洗浄の最終工程
において、酸化性の薬品によるシリコン基板表面の酸化
処理を行って溶液酸化膜を形成することでシリコン基板
表面が安定化する。そして、この溶液酸化膜を次の熱処
理工程において除去してから、改めて初期酸化膜を形成
し、さらに本酸化工程を行うことにより、欠陥の少ない
シリコン酸化膜を形成する。
において、酸化性の薬品によるシリコン基板表面の酸化
処理を行って溶液酸化膜を形成することでシリコン基板
表面が安定化する。そして、この溶液酸化膜を次の熱処
理工程において除去してから、改めて初期酸化膜を形成
し、さらに本酸化工程を行うことにより、欠陥の少ない
シリコン酸化膜を形成する。
【００１２】請求項２記載の発明では、シリコン基板を
薬品により洗浄する洗浄工程の最終工程において、洗浄
工程中にシリコン基板の表面に形成された自然酸化膜を
フッ酸水溶液により除去する洗浄工程と、洗浄後のシリ
コン基板を圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の雰囲気において温
度７００以上で熱処理する熱処理工程と、熱処理後のシ
リコン基板の表面に、圧力１０-6ないし１０-7Ｔｏｒｒ
の酸素プラズマ雰囲気において、酸化膜を形成する初期
酸化膜形成工程と、初期酸化膜形成後のシリコン基板上
に通常の熱酸化法により酸化膜を形成する本酸化工程と
を行うことで前記目的を達成する。
薬品により洗浄する洗浄工程の最終工程において、洗浄
工程中にシリコン基板の表面に形成された自然酸化膜を
フッ酸水溶液により除去する洗浄工程と、洗浄後のシリ
コン基板を圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の雰囲気において温
度７００以上で熱処理する熱処理工程と、熱処理後のシ
リコン基板の表面に、圧力１０-6ないし１０-7Ｔｏｒｒ
の酸素プラズマ雰囲気において、酸化膜を形成する初期
酸化膜形成工程と、初期酸化膜形成後のシリコン基板上
に通常の熱酸化法により酸化膜を形成する本酸化工程と
を行うことで前記目的を達成する。
【００１３】この発明では、薬品による洗浄の最終工程
において、洗浄工程中にシリコン基板の表面に形成され
た自然酸化膜をフッ酸水溶液により除去することで、Ｓ
ｉ−Ｈ結合による表面終端層が形成されてシリコン基板
表面が安定化する。そして、この表面終端層を次の熱処
理工程において除去してから、改めて初期酸化膜を形成
し、さらに本酸化工程を行うことにより、欠陥の少ない
シリコン酸化膜を形成する。
において、洗浄工程中にシリコン基板の表面に形成され
た自然酸化膜をフッ酸水溶液により除去することで、Ｓ
ｉ−Ｈ結合による表面終端層が形成されてシリコン基板
表面が安定化する。そして、この表面終端層を次の熱処
理工程において除去してから、改めて初期酸化膜を形成
し、さらに本酸化工程を行うことにより、欠陥の少ない
シリコン酸化膜を形成する。
【００１４】請求項３記載の発明では、シリコン基板を
１０００°Ｃまで加熱可能な加熱装置と酸素プラズマを
供給するための酸素プラズマ発生装置とを有する第１の
酸化膜形成炉と、大気圧下の酸素雰囲気でシリコン基板
の熱酸化を行うための第２の酸化膜形成炉と、前記第１
の酸化膜形成炉と前記第２の酸化膜形成炉との間に設け
られ、両炉間の雰囲気を切り離すことができる仕切り弁
と、前記第１の酸化膜形成炉と前記第２の酸化膜形成炉
との間でシリコン基板を搬送する搬送装置と、前記第１
の酸化膜形成炉、前記第２の酸化膜形成炉、仕切り弁お
よび搬送装置を内部に収容し、内部を１０-9Ｔｏｒｒ以
下の高真空雰囲気に排気可能な金属性真空チャンバとを
具備させることで前記目的を達成する。
１０００°Ｃまで加熱可能な加熱装置と酸素プラズマを
供給するための酸素プラズマ発生装置とを有する第１の
酸化膜形成炉と、大気圧下の酸素雰囲気でシリコン基板
の熱酸化を行うための第２の酸化膜形成炉と、前記第１
の酸化膜形成炉と前記第２の酸化膜形成炉との間に設け
られ、両炉間の雰囲気を切り離すことができる仕切り弁
と、前記第１の酸化膜形成炉と前記第２の酸化膜形成炉
との間でシリコン基板を搬送する搬送装置と、前記第１
の酸化膜形成炉、前記第２の酸化膜形成炉、仕切り弁お
よび搬送装置を内部に収容し、内部を１０-9Ｔｏｒｒ以
下の高真空雰囲気に排気可能な金属性真空チャンバとを
具備させることで前記目的を達成する。
【００１５】この発明では、第１の酸化膜形成炉では、
シリコン基板上に形成された溶液酸化膜または表面終端
層の除去と初期酸化膜の形成とが行われ、第２の酸化膜
形成炉では、本酸化処理が行われて欠陥の少ないシリコ
ン酸化膜が形成される。
シリコン基板上に形成された溶液酸化膜または表面終端
層の除去と初期酸化膜の形成とが行われ、第２の酸化膜
形成炉では、本酸化処理が行われて欠陥の少ないシリコ
ン酸化膜が形成される。
【００１６】
【実施の形態】以下、図１ないし図３を参照して、本発
明の好適な実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発
明の一実施の形態に係るシリコン酸化膜の形成方法を表
す図である。この方法では、まず、シリコン基板１０１
（図１（ａ））に対し、通常行われているような酸化性
の薬品による洗浄を行う。例えば、酸化アンモニウムと
過酸化水素水と純水との混合溶液による洗浄、塩酸と過
酸化水素水と純水との混合溶液による洗浄、フッ酸によ
る酸化膜除去という一連の薬品洗浄を行った後、シリコ
ン基板１０１を過酸化水素水に浸漬する。この洗浄工程
により、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板１０１
の表面には、溶液酸化膜１０２が形成される。この溶液
酸化膜１０２は、シリコン基板１０１の表面状態を安定
化させるために形成するものであり、これがそのまま初
期酸化膜として用いられるのではなく、次の工程で除去
されるべきものである。
明の好適な実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発
明の一実施の形態に係るシリコン酸化膜の形成方法を表
す図である。この方法では、まず、シリコン基板１０１
（図１（ａ））に対し、通常行われているような酸化性
の薬品による洗浄を行う。例えば、酸化アンモニウムと
過酸化水素水と純水との混合溶液による洗浄、塩酸と過
酸化水素水と純水との混合溶液による洗浄、フッ酸によ
る酸化膜除去という一連の薬品洗浄を行った後、シリコ
ン基板１０１を過酸化水素水に浸漬する。この洗浄工程
により、同図（ｂ）に示すように、シリコン基板１０１
の表面には、溶液酸化膜１０２が形成される。この溶液
酸化膜１０２は、シリコン基板１０１の表面状態を安定
化させるために形成するものであり、これがそのまま初
期酸化膜として用いられるのではなく、次の工程で除去
されるべきものである。
【００１７】次に、同図（ｃ）に示すように、表面に溶
液酸化膜１０２が形成されたシリコン基板１０１を、圧
力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気において８００な
いし１０００°Ｃという温度条件下（望ましくは１００
０°Ｃ）で熱処理することにより、溶液酸化膜１０２を
除去する。この溶液酸化膜１０２の除去は、溶液酸化膜
１０２がＳｉＯとなって気相中に脱離することによって
行われる。続いて、圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰
囲気に維持したまま温度を下げ、その後温度を一定に保
つ。このときの一定温度は、３００°Ｃ以下とするのが
好適である。そして、この状態で、シリコン基板１０１
を酸素プラズマに曝す。これにより、同図（ｄ）に示す
ように、シリコン基板１０１の表面に初期酸化膜１０３
が形成される。次に、表面に初期酸化膜１０３が形成さ
れたシリコン基板１０１を大気圧の酸素雰囲気下におい
てＲＴＡ処理をし、本酸化を行う。これにより、同図
（ｅ）に示すように、シリコン酸化膜１０４が形成され
る。
液酸化膜１０２が形成されたシリコン基板１０１を、圧
力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気において８００な
いし１０００°Ｃという温度条件下（望ましくは１００
０°Ｃ）で熱処理することにより、溶液酸化膜１０２を
除去する。この溶液酸化膜１０２の除去は、溶液酸化膜
１０２がＳｉＯとなって気相中に脱離することによって
行われる。続いて、圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰
囲気に維持したまま温度を下げ、その後温度を一定に保
つ。このときの一定温度は、３００°Ｃ以下とするのが
好適である。そして、この状態で、シリコン基板１０１
を酸素プラズマに曝す。これにより、同図（ｄ）に示す
ように、シリコン基板１０１の表面に初期酸化膜１０３
が形成される。次に、表面に初期酸化膜１０３が形成さ
れたシリコン基板１０１を大気圧の酸素雰囲気下におい
てＲＴＡ処理をし、本酸化を行う。これにより、同図
（ｅ）に示すように、シリコン酸化膜１０４が形成され
る。
【００１８】図２は、本発明の他の実施の形態に係るシ
リコン酸化膜の形成方法を表す図である。この方法で
は、まず、シリコン基板２０１（図２（ａ））に対し、
例えば、酸化アンモニウムと過酸化水素水と純水との混
合溶液による洗浄、塩酸と過酸化水素水と純水との混合
溶液による洗浄のような、通常行われている一連の酸化
性の薬品による洗浄を行う。
リコン酸化膜の形成方法を表す図である。この方法で
は、まず、シリコン基板２０１（図２（ａ））に対し、
例えば、酸化アンモニウムと過酸化水素水と純水との混
合溶液による洗浄、塩酸と過酸化水素水と純水との混合
溶液による洗浄のような、通常行われている一連の酸化
性の薬品による洗浄を行う。
【００１９】次に、フッ酸による酸化膜除去を行う。但
し、純水によるリンスは行わず、そのまま乾燥させる。
この洗浄工程により、シリコン基板２０１の表面には、
同図（ｂ）に示すようなＳｉ−Ｈ結合による表面終端層
２０２が形成される。この表面終端層２０２は、シリコ
ン基板２０１の表面状態を安定化させるために形成する
ものであり、これがそのまま初期酸化膜として用いられ
るのではなく、次の工程で除去されるべきものである。
し、純水によるリンスは行わず、そのまま乾燥させる。
この洗浄工程により、シリコン基板２０１の表面には、
同図（ｂ）に示すようなＳｉ−Ｈ結合による表面終端層
２０２が形成される。この表面終端層２０２は、シリコ
ン基板２０１の表面状態を安定化させるために形成する
ものであり、これがそのまま初期酸化膜として用いられ
るのではなく、次の工程で除去されるべきものである。
【００２０】次に、同図（ｃ）に示すように、Ｓｉ−Ｈ
結合による表面終端層２０２が形成されたシリコン基板
２０１を、圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気にお
いて７００°Ｃ以上という温度条件下で熱処理すること
により、表面終端層２０２を除去する。この表面終端層
２０２の除去は、Ｓｉ−Ｈ結合による表面終端層２０２
の水素原子が気相中に脱離することにより行われる。な
お、熱処理温度をより高温にすると、より短時間で表面
終端層２０２を除去できるが、７００°Ｃでも表面終端
層２０２の除去は可能である。
結合による表面終端層２０２が形成されたシリコン基板
２０１を、圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気にお
いて７００°Ｃ以上という温度条件下で熱処理すること
により、表面終端層２０２を除去する。この表面終端層
２０２の除去は、Ｓｉ−Ｈ結合による表面終端層２０２
の水素原子が気相中に脱離することにより行われる。な
お、熱処理温度をより高温にすると、より短時間で表面
終端層２０２を除去できるが、７００°Ｃでも表面終端
層２０２の除去は可能である。
【００２１】そして、圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空
雰囲気に維持したまま温度を下げ、その後温度を一定に
保つ。このときの一定温度は、３００°Ｃ以下とするの
が好適である。そして、この状態で、シリコン基板２０
１を酸素プラズマに曝す。これにより、同図（ｄ）に示
すように、シリコン基板２０１の表面に初期酸化膜２０
３が形成される。続いて、表面に初期酸化膜２０３が形
成されたシリコン基板２０１を大気圧の酸素雰囲気下に
おいてＲＴＡ処理をし、本酸化を行う。これにより、同
図（ｅ）に示すように、シリコン酸化膜２０４が形成さ
れる。このように、本実施の形態では、シリコン基板表
面の安定化のための終端物質（表面終端層２０２）の除
去を図１の場合よりも低い温度での熱処理によって行う
ことが可能である。
雰囲気に維持したまま温度を下げ、その後温度を一定に
保つ。このときの一定温度は、３００°Ｃ以下とするの
が好適である。そして、この状態で、シリコン基板２０
１を酸素プラズマに曝す。これにより、同図（ｄ）に示
すように、シリコン基板２０１の表面に初期酸化膜２０
３が形成される。続いて、表面に初期酸化膜２０３が形
成されたシリコン基板２０１を大気圧の酸素雰囲気下に
おいてＲＴＡ処理をし、本酸化を行う。これにより、同
図（ｅ）に示すように、シリコン酸化膜２０４が形成さ
れる。このように、本実施の形態では、シリコン基板表
面の安定化のための終端物質（表面終端層２０２）の除
去を図１の場合よりも低い温度での熱処理によって行う
ことが可能である。
【００２２】次に、図３を参照して本発明の一実施の形
態に係るシリコン酸化膜形成装置について説明する。こ
の図に示すように、この装置は、熱処理工程および初期
酸化膜形成工程を行うための第１の炉３０１と、本酸化
工程を行うための第２の炉３０２と、シリコン基板３１
１（３１２）を大気に曝すことなく第１の炉３０１から
第２の炉３０２へと搬送するための搬送装置３０３と、
第１の炉３０１と第２の炉３０２との間に設けられ、両
炉間の雰囲気を切り離すことができる仕切り弁３０４と
を備えている。
態に係るシリコン酸化膜形成装置について説明する。こ
の図に示すように、この装置は、熱処理工程および初期
酸化膜形成工程を行うための第１の炉３０１と、本酸化
工程を行うための第２の炉３０２と、シリコン基板３１
１（３１２）を大気に曝すことなく第１の炉３０１から
第２の炉３０２へと搬送するための搬送装置３０３と、
第１の炉３０１と第２の炉３０２との間に設けられ、両
炉間の雰囲気を切り離すことができる仕切り弁３０４と
を備えている。
【００２３】第１の炉３０１は、熱処理工程を行うため
に圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気を保持可能な
金属性の真空チャンバ３０５と、真空チャンバ３０５の
内部を１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気可能な高真空
ポンプ３０６と、シリコン基板３１１を１０００°Ｃま
で加熱することができる加熱装置３０７と、初期酸化工
程に用いられる酸素プラズマ発生装置３０８とを備えて
いる。酸素プラズマ発生装置３０８は、酸素ガスの導入
路中においてコイルへの高周波電力の印加等により酸素
ガスの放電を発生させ、酸素プラズマを供給する装置で
ある。一方、第２の炉３０２は、酸素ガス供給系３０９
とランプアニール装置３１０とを備えたＲＴＡ炉として
構成されている。
に圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気を保持可能な
金属性の真空チャンバ３０５と、真空チャンバ３０５の
内部を１０-9Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気可能な高真空
ポンプ３０６と、シリコン基板３１１を１０００°Ｃま
で加熱することができる加熱装置３０７と、初期酸化工
程に用いられる酸素プラズマ発生装置３０８とを備えて
いる。酸素プラズマ発生装置３０８は、酸素ガスの導入
路中においてコイルへの高周波電力の印加等により酸素
ガスの放電を発生させ、酸素プラズマを供給する装置で
ある。一方、第２の炉３０２は、酸素ガス供給系３０９
とランプアニール装置３１０とを備えたＲＴＡ炉として
構成されている。
【００２４】以上のような構成のシリコン酸化膜形成装
置の動作を説明する。ここでは、図１に基づいて説明し
た方法でシリコン酸化膜を形成する場合について説明す
るが、図２の方法の場合も同様である。まず、上記した
ような酸化性の薬品による洗浄によって表面に溶液酸化
膜が形成されたシリコン基板３０１を、真空チャンバ３
０５で構成される第１の炉３０１内に配置し、その内部
を高真空ポンプ３０６によって圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下
の高真空雰囲気に排気する。そして、加熱装置３０７に
よってシリコン基板３１１を８００ないし１０００°Ｃ
という温度条件下（望ましくは１０００°Ｃ）で熱処理
する。これにより、シリコン基板３１１から溶液酸化膜
が除去される（図１（ｂ），（ｃ））。
置の動作を説明する。ここでは、図１に基づいて説明し
た方法でシリコン酸化膜を形成する場合について説明す
るが、図２の方法の場合も同様である。まず、上記した
ような酸化性の薬品による洗浄によって表面に溶液酸化
膜が形成されたシリコン基板３０１を、真空チャンバ３
０５で構成される第１の炉３０１内に配置し、その内部
を高真空ポンプ３０６によって圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下
の高真空雰囲気に排気する。そして、加熱装置３０７に
よってシリコン基板３１１を８００ないし１０００°Ｃ
という温度条件下（望ましくは１０００°Ｃ）で熱処理
する。これにより、シリコン基板３１１から溶液酸化膜
が除去される（図１（ｂ），（ｃ））。
【００２５】次に、真空チャンバ３０５内を圧力１０-9
Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気に維持したまま温度を３０
０°Ｃ以下に下げて一定温度を保ち、この状態で、酸素
プラズマ発生装置３０８によって真空チャンバ３０５内
に酸素プラズマを供給する。これにより、シリコン基板
３０１の表面に初期酸化膜が形成される（図１
（ｄ））。
Ｔｏｒｒ以下の高真空雰囲気に維持したまま温度を３０
０°Ｃ以下に下げて一定温度を保ち、この状態で、酸素
プラズマ発生装置３０８によって真空チャンバ３０５内
に酸素プラズマを供給する。これにより、シリコン基板
３０１の表面に初期酸化膜が形成される（図１
（ｄ））。
【００２６】次に、真空チャンバ３０５内を大気圧に戻
して仕切り弁３０４を開き、搬送装置３０３によって第
１の炉３０１のシリコン基板３１１を第２の炉３０２に
搬送する。そして、仕切り弁３０４を閉じた後、酸素ガ
ス供給系３０９によって第２の炉３０２内に酸素を導入
して大気圧とし、ランプアニール装置３１０によってシ
リコン基板３１２を加熱するＲＴＡ処理を行い、本酸化
を行う。これにより、シリコン基板３１１上にシリコン
酸化膜が形成される（図１（ｅ））。なお、第２の炉３
０２は、ＲＴＡ炉でなく通常の電気炉によって構成する
ことも可能である。
して仕切り弁３０４を開き、搬送装置３０３によって第
１の炉３０１のシリコン基板３１１を第２の炉３０２に
搬送する。そして、仕切り弁３０４を閉じた後、酸素ガ
ス供給系３０９によって第２の炉３０２内に酸素を導入
して大気圧とし、ランプアニール装置３１０によってシ
リコン基板３１２を加熱するＲＴＡ処理を行い、本酸化
を行う。これにより、シリコン基板３１１上にシリコン
酸化膜が形成される（図１（ｅ））。なお、第２の炉３
０２は、ＲＴＡ炉でなく通常の電気炉によって構成する
ことも可能である。
【００２７】ところで、シリコン基板上の薄いシリコン
酸化膜は、Ｘ線光電分光法（ＸＰＳ）のＳｉ−２ｐスペ
クトルによってシリコン原子の結合状態を調べることで
評価されることが多い。このＳｉ−２ｐスペクトルで
は、シリコン基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜
中のＳｉからのピークという２つのピークが観測され
る。これらの２つのピークの位置が異なっているのは、
シリコン基板中とシリコン酸化膜中とでは、Ｓｉの結合
状態が異なっているためである。この場合の両ピーク間
のシフト量は、シリコン酸化膜中のシリコン原子が完全
にＳｉＯ2 になっている状態において約４〜４．３ｅＶ
であるといわれている。
酸化膜は、Ｘ線光電分光法（ＸＰＳ）のＳｉ−２ｐスペ
クトルによってシリコン原子の結合状態を調べることで
評価されることが多い。このＳｉ−２ｐスペクトルで
は、シリコン基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜
中のＳｉからのピークという２つのピークが観測され
る。これらの２つのピークの位置が異なっているのは、
シリコン基板中とシリコン酸化膜中とでは、Ｓｉの結合
状態が異なっているためである。この場合の両ピーク間
のシフト量は、シリコン酸化膜中のシリコン原子が完全
にＳｉＯ2 になっている状態において約４〜４．３ｅＶ
であるといわれている。
【００２８】しかしながら、実際には、シリコン酸化膜
中のシリコン原子は完全なＳｉＯ2にはなっておらず、
欠陥を有するため、ＸＰＳスペクトルは、シリコン基板
のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉからのピ
ークの間の領域にも強度をもっている。特に、シリコン
基板とシリコン酸化膜との界面付近となる初期酸化膜を
ＸＰＳ計測した場合、通常シリコン基板のＳｉからのピ
ークが出現する位置にはピークが出現せず、通常シリコ
ン基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉか
らのピークの間の領域となる位置に、シリコン酸化膜中
のＳｉからのピークが出現する。このピークの位置によ
り、初期酸化膜の評価を行うことができる。すなわち、
初期酸化膜のＳｉからのピークが、完全なＳｉＯ2 膜中
のＳｉにより発生するピーク位置に近いほど、その初期
酸化膜は完全なＳｉＯ2 膜に近いことを示している。
中のシリコン原子は完全なＳｉＯ2にはなっておらず、
欠陥を有するため、ＸＰＳスペクトルは、シリコン基板
のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉからのピ
ークの間の領域にも強度をもっている。特に、シリコン
基板とシリコン酸化膜との界面付近となる初期酸化膜を
ＸＰＳ計測した場合、通常シリコン基板のＳｉからのピ
ークが出現する位置にはピークが出現せず、通常シリコ
ン基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉか
らのピークの間の領域となる位置に、シリコン酸化膜中
のＳｉからのピークが出現する。このピークの位置によ
り、初期酸化膜の評価を行うことができる。すなわち、
初期酸化膜のＳｉからのピークが、完全なＳｉＯ2 膜中
のＳｉにより発生するピーク位置に近いほど、その初期
酸化膜は完全なＳｉＯ2 膜に近いことを示している。
【００２９】そこで、上記した本実施の形態にかかる方
法（図１、図２）によってシリコン基板上に形成された
初期酸化膜を、このＸＰＳによって分析したところ、こ
の初期酸化膜は従来法により形成された初期酸化膜より
も欠陥が少ないことが明らかとなった。すなわち、シリ
コン基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉ
からのピークの間のシフト量として、３．７〜３．８ｅ
Ｖという結果が得られた。
法（図１、図２）によってシリコン基板上に形成された
初期酸化膜を、このＸＰＳによって分析したところ、こ
の初期酸化膜は従来法により形成された初期酸化膜より
も欠陥が少ないことが明らかとなった。すなわち、シリ
コン基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉ
からのピークの間のシフト量として、３．７〜３．８ｅ
Ｖという結果が得られた。
【００３０】一方、従来の方法に従い、薬品洗浄の最終
工程において過酸化水素水により形成した初期酸化膜
を、同一膜厚という条件下で計測したところ、シリコン
基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉから
のピークの間のシフト量として、３．０ｅＶという結果
が得られた。これは、本実施の形態によって得られる初
期酸化膜が従来方法による初期酸化膜よりも完全なＳｉ
Ｏ2 膜に近いことを示している。したがって、初期酸化
後における本酸化工程を行った後においても、シリコン
酸化膜中におけるシリコン原子の未結合手やＳｉ−Ｈ結
合が少ない高品質のシリコン酸化膜が得られることにな
る。
工程において過酸化水素水により形成した初期酸化膜
を、同一膜厚という条件下で計測したところ、シリコン
基板のＳｉからのピークとシリコン酸化膜中のＳｉから
のピークの間のシフト量として、３．０ｅＶという結果
が得られた。これは、本実施の形態によって得られる初
期酸化膜が従来方法による初期酸化膜よりも完全なＳｉ
Ｏ2 膜に近いことを示している。したがって、初期酸化
後における本酸化工程を行った後においても、シリコン
酸化膜中におけるシリコン原子の未結合手やＳｉ−Ｈ結
合が少ない高品質のシリコン酸化膜が得られることにな
る。
【００３１】
【発明の効果】本発明に係るシリコン酸化膜の形成方法
および形成装置によれば、薬品による洗浄の最終工程に
おいて、溶液酸化膜またはＳｉ−Ｈ結合による表面終端
層を形成してシリコン基板表面を安定化させるととも
に、この溶液酸化膜または表面終端層を次の熱処理工程
において除去してから、改めて初期酸化膜を形成し、し
かるのち本酸化工程を行うようにしたので、従来提案さ
れている溶液酸化膜を処理して初期酸化膜とする方法等
に比べて、清浄かつ欠陥の少ない初期酸化膜を得ること
ができる。このため、その後の本酸化工程によって形成
されるシリコン酸化膜が従来よりも高品質のものにな
り、素子としての特性を向上させることができるという
効果がある。
および形成装置によれば、薬品による洗浄の最終工程に
おいて、溶液酸化膜またはＳｉ−Ｈ結合による表面終端
層を形成してシリコン基板表面を安定化させるととも
に、この溶液酸化膜または表面終端層を次の熱処理工程
において除去してから、改めて初期酸化膜を形成し、し
かるのち本酸化工程を行うようにしたので、従来提案さ
れている溶液酸化膜を処理して初期酸化膜とする方法等
に比べて、清浄かつ欠陥の少ない初期酸化膜を得ること
ができる。このため、その後の本酸化工程によって形成
されるシリコン酸化膜が従来よりも高品質のものにな
り、素子としての特性を向上させることができるという
効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態に係るシリコン酸化膜の
形成方法を表す工程図である。
形成方法を表す工程図である。
【図２】本発明の他の実施の形態に係るシリコン酸化膜
の形成方法を表す工程図である。
の形成方法を表す工程図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るシリコン酸化膜形
成装置の構成を表す図である。
成装置の構成を表す図である。
１０１，２０１，３１１ シリコン基板
１０２ 溶液酸化膜
１０３，２０３ 初期酸化膜
１０４，２０４ シリコン酸化膜
２０２ （Ｓｉ−Ｈ結合による）表面終端層
３０１ 第１の炉
３０２ 第２の炉
３０３ 搬送装置
３０４ 仕切り弁
３０５ 真空チャンバ
３０６ 高真空ポンプ
３０７ 加熱装置
３０８ 酸素プラズマ発生装置
３０９ 酸素ガス供給系
３１０ ランプアニール装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−343394（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−308070（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−124140（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−147266（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−45606（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−92329（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/304
H01L 21/316
Claims (3)
- 【請求項１】 シリコン基板を薬品により洗浄する洗浄
工程の最終工程において、 酸化性の薬品によりシリコン基板の表面を酸化する洗浄
工程と、 洗浄後のシリコン基板を圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の雰囲
気において温度８００ないし１０００°Ｃで熱処理する
熱処理工程と、 熱処理後のシリコン基板の表面に、圧力１０-6ないし１
０-7Ｔｏｒｒの酸素プラズマ雰囲気において、酸化膜を
形成する初期酸化膜形成工程と、 初期酸化膜形成後のシリコン基板上に、通常の熱酸化法
により酸化膜を形成する本酸化工程とを行うことを特徴
とするシリコン酸化膜の形成方法。 - 【請求項２】 シリコン基板を薬品により洗浄する洗浄
工程の最終工程において、 洗浄工程中にシリコン基板の表面に形成された自然酸化
膜をフッ酸水溶液により除去する洗浄工程と、 洗浄後のシリコン基板を圧力１０-9Ｔｏｒｒ以下の雰囲
気において温度７００以上で熱処理する熱処理工程と、 熱処理後のシリコン基板の表面に、圧力１０-6ないし１
０-7Ｔｏｒｒの酸素プラズマ雰囲気において、酸化膜を
形成する初期酸化膜形成工程と、 初期酸化膜形成後のシリコン基板上に、通常の熱酸化法
により酸化膜を形成する本酸化工程とを行うことを特徴
とするシリコン酸化膜の形成方法。 - 【請求項３】 シリコン基板を１０００°Ｃまで加熱可
能な加熱装置と酸素プラズマを供給するための酸素プラ
ズマ発生装置とを有する第１の酸化膜形成炉と、 大気圧下の酸素雰囲気でシリコン基板の熱酸化を行うた
めの第２の酸化膜形成炉と、 前記第１の酸化膜形成炉と前記第２の酸化膜形成炉との
間に設けられ、両炉間の雰囲気を切り離すことができる
仕切り弁と、 前記第１の酸化膜形成炉と前記第２の酸化膜形成炉との
間でシリコン基板を搬送する搬送装置と、 前記第１の酸化膜形成炉、前記第２の酸化膜形成炉、仕
切り弁および搬送装置を内部に収容し、内部を１０-9Ｔ
ｏｒｒ以下の高真空雰囲気に排気可能な金属性真空チャ
ンバとを備えたことを特徴とするシリコン酸化膜形成装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27359195A JP3439580B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | シリコン酸化膜の形成方法および形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27359195A JP3439580B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | シリコン酸化膜の形成方法および形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0992639A JPH0992639A (ja) | 1997-04-04 |
| JP3439580B2 true JP3439580B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=17529925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27359195A Expired - Fee Related JP3439580B2 (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | シリコン酸化膜の形成方法および形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3439580B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6146541A (en) * | 1997-05-02 | 2000-11-14 | Motorola, Inc. | Method of manufacturing a semiconductor device that uses a calibration standard |
| JP5166297B2 (ja) * | 2009-01-21 | 2013-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 酸化珪素膜の形成方法、半導体メモリ装置の製造方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
| JP5330027B2 (ja) * | 2009-02-25 | 2013-10-30 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置、及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-09-26 JP JP27359195A patent/JP3439580B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0992639A (ja) | 1997-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |