JP3436877B2 - 磁気ディスク加工装置 - Google Patents
磁気ディスク加工装置Info
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- JP3436877B2 JP3436877B2 JP4419498A JP4419498A JP3436877B2 JP 3436877 B2 JP3436877 B2 JP 3436877B2 JP 4419498 A JP4419498 A JP 4419498A JP 4419498 A JP4419498 A JP 4419498A JP 3436877 B2 JP3436877 B2 JP 3436877B2
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- magnetic disk
- tape
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- tapes
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスクの研磨
装置、クリーニング装置等の磁気ディスク加工装置に関
する。 【０００２】 【従来の技術】磁気ディスクの製造工程には、磁気ディ
スクを研磨する工程と、研磨によって研磨粉等のパーテ
ィクルが再付着するので、クリーニングする工程とがあ
る。従来、このような加工工程の加工装置は、コットン
やポリエステル、ナイロン等の合成繊維で織られたテー
プや不織布等の通気性の有る加工用テープを使用し、こ
の加工用テープをローラで磁気ディスクに圧接させて加
工を行う。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ロー
ラで通気性の有る加工用テープを磁気ディスクに接触さ
せるので、ローラを磁気ディスクに対して平行に、かつ
圧力が均一になるように接触させるための調整が非常に
大変で、多大の調整時間を要すると共に、微妙な加工条
件を満足させることができない。またローラの質量が大
きいので、磁気ディスクの面振れに対してのローラの追
従性が問題となっている。 【０００４】本発明の課題は、微妙な調整を短時間に行
うことができると共に微妙な加工条件を満足させること
ができる磁気ディスク加工装置を提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、磁気ディスクをチャックして回転す
るスピンドルと、前記磁気ディスクに対応して設けられ
た通気性の有る加工用テープと、この加工用テープに対
応して設けられたエアーバリア用テープと、このエアー
バリア用テープにエアーを吹き付けるエアーノズルとを
備え、エアーノズルよりエアーを前記エアーバリア用テ
ープに吹き付け、該エアーバリア用テープを介して加工
用テープを磁気ディスクに圧接させることを特徴とす
る。 【０００６】 【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。回転駆動されるスピンドル１に
は、磁気ディスク２がチャックされる。図示しない駆動
手段で移動させられる移動体３には、磁気ディスク２の
両面に相対してエアーノズル４Ａ、４Ｂが固定されてお
り、エアーノズル４Ａ、４Ｂは図示しないエアー供給源
に接続されている。エアーノズル４Ａ、４Ｂの上下に
は、エアーノズル４Ａ、４Ｂより吹き出すエアー５を通
さないＰＥＴ等のエアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂを巻
き付けた供給リール７Ａ、７Ｂと、エアーバリア用テー
プ６Ａ、６Ｂを巻き取る巻取りリール８Ａ、８Ｂが配設
されている。また供給リール７Ａ、７Ｂ及び巻取りリー
ル８Ａ、８Ｂの上下には、布テープ等の加工用テープ９
Ａ、９Ｂを巻き付けた供給リール１０Ａ、１０Ｂと、加
工用テープ９Ａ、９Ｂを巻き取る巻取りリール１１Ａ、
１１Ｂが配設されている。ここで、エアーバリア用テー
プ６Ａ、６Ｂはエアーノズル４Ａ、４Ｂ側に配設され、
加工用テープ９Ａ、９Ｂは磁気ディスク２側に配設され
ている。 【０００７】供給リール７Ａ、７Ｂ及び巻取りリール８
Ａ、８Ｂは、移動体３に固定されたリール軸１５Ａ、１
５Ｂ及び１６Ａ、１６Ｂに回転自在に支承されている。
供給リール１０Ａ、１０Ｂ及び巻取りリール１１Ａ、１
１Ｂも同様に、移動体３に固定されたリール軸１７Ａ、
１７Ｂ及び１８Ａ、１８Ｂに回転自在に支承されてい
る。エアーノズル４Ａ、４Ｂの上下には、エアーバリア
用テープ６Ａ、６Ｂをエアーノズル４Ａ、４Ｂの部分に
案内するガイドローラ１９Ａ、１９Ｂ及び２０Ａ、２０
Ｂと、加工用テープ９Ａ、９Ｂをエアーノズル４Ａ、４
Ｂの部分に案内するガイドローラ２１Ａ、２１Ｂ及び２
２Ａ、２２Ｂとが配設されている。 【０００８】また供給リール７Ａ、７Ｂ及び１０Ａ、１
０Ｂからガイドローラ１９Ａ、１９Ｂ及び２１Ａ、２１
Ｂにエアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂ及び加工用テープ
９Ａ、９Ｂを導く複数個のガイドローラが配設されてい
る。また同様に、ガイドローラ２０Ａ、２０Ｂ及び２２
Ａ、２２Ｂから巻取りリール８Ａ、８Ｂ及び１１Ａ、１
１Ｂにエアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂ及び加工用テー
プ９Ａ、９Ｂを導く複数個のガイドローラが配設されて
いる。これらのガイドローラ１９Ａ〜２２Ａ等、１９Ｂ
〜２２Ｂ等は、移動体３に固定されたローラ軸２５に回
転自在に支承されている。 【０００９】次に作用について説明する。磁気ディスク
２をスピンドル１にチャックして回転させる。そして、
エアーノズル４Ａ、４Ｂに図示しないエアー源よりエア
ー５を供給すると共に、巻取りリール８Ａ、８Ｂ及び１
１Ａ、１１Ｂを図示しない駆動手段により回転させ、ま
た移動体３を矢印Ａ方向（図２参照）に移動させる。 【００１０】エアーノズル４Ａ、４Ｂにエアーを供給す
ると、エアーノズル４Ａ、４Ｂより吹き出すエアー５
は、エアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂを介して加工用テ
ープ９Ａ、９Ｂを磁気ディスク２に圧接させる。これに
より、磁気ディスク２の回転に従って加工される。また
巻取りリール１１Ａ、１１Ｂの回転によって供給リール
１０Ａ、１０Ｂより新しい加工用テープ９Ａ、９Ｂの部
分がエアーノズル４Ａ、４Ｂのエアー吹き出し口部分に
供給されて巻取りリール１１Ａ、１１Ｂに巻き取られ
る。また移動体３が移動すると、該移動体３と共にエア
ーノズル４Ａ、４Ｂ、エアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂ
及び加工用テープ９Ａ、９Ｂも移動し、磁気ディスク２
の全面が加工用テープ９Ａ、９Ｂによって加工される。 【００１１】このように、エアー５を通さないエアーバ
リア用テープ６Ａ、６Ｂにエアーノズル４Ａ、４Ｂによ
ってエアー５を吹き付け、エアーバリア用テープ６Ａ、
６Ｂを介して加工用テープ９Ａ、９Ｂを磁気ディスク２
に圧接し加工するので、エアー５の流量のコントロール
を行うことにより、微妙な調整を簡単に行うことができ
る。また工場に常設されているエアー供給源を用いるこ
とができるので、設備費が増大することもなく、工程も
増加しない。 【００１２】 【発明の効果】本発明によれば、磁気ディスクをチャッ
クして回転するスピンドルと、前記磁気ディスクに対応
して設けられた通気性の有る加工用テープと、この加工
用テープに対応して設けられたエアーバリア用テープ
と、このエアーバリア用テープにエアーを吹き付けるエ
アーノズルとを備え、エアーノズルよりエアーを前記エ
アーバリア用テープに吹き付け、該エアーバリア用テー
プを介して加工用テープを磁気ディスクに圧接させる構
成よりなるので、微妙な調整を短時間に行うことができ
ると共に微妙な加工条件を満足させることができる。
装置、クリーニング装置等の磁気ディスク加工装置に関
する。 【０００２】 【従来の技術】磁気ディスクの製造工程には、磁気ディ
スクを研磨する工程と、研磨によって研磨粉等のパーテ
ィクルが再付着するので、クリーニングする工程とがあ
る。従来、このような加工工程の加工装置は、コットン
やポリエステル、ナイロン等の合成繊維で織られたテー
プや不織布等の通気性の有る加工用テープを使用し、こ
の加工用テープをローラで磁気ディスクに圧接させて加
工を行う。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ロー
ラで通気性の有る加工用テープを磁気ディスクに接触さ
せるので、ローラを磁気ディスクに対して平行に、かつ
圧力が均一になるように接触させるための調整が非常に
大変で、多大の調整時間を要すると共に、微妙な加工条
件を満足させることができない。またローラの質量が大
きいので、磁気ディスクの面振れに対してのローラの追
従性が問題となっている。 【０００４】本発明の課題は、微妙な調整を短時間に行
うことができると共に微妙な加工条件を満足させること
ができる磁気ディスク加工装置を提供することにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、磁気ディスクをチャックして回転す
るスピンドルと、前記磁気ディスクに対応して設けられ
た通気性の有る加工用テープと、この加工用テープに対
応して設けられたエアーバリア用テープと、このエアー
バリア用テープにエアーを吹き付けるエアーノズルとを
備え、エアーノズルよりエアーを前記エアーバリア用テ
ープに吹き付け、該エアーバリア用テープを介して加工
用テープを磁気ディスクに圧接させることを特徴とす
る。 【０００６】 【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。回転駆動されるスピンドル１に
は、磁気ディスク２がチャックされる。図示しない駆動
手段で移動させられる移動体３には、磁気ディスク２の
両面に相対してエアーノズル４Ａ、４Ｂが固定されてお
り、エアーノズル４Ａ、４Ｂは図示しないエアー供給源
に接続されている。エアーノズル４Ａ、４Ｂの上下に
は、エアーノズル４Ａ、４Ｂより吹き出すエアー５を通
さないＰＥＴ等のエアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂを巻
き付けた供給リール７Ａ、７Ｂと、エアーバリア用テー
プ６Ａ、６Ｂを巻き取る巻取りリール８Ａ、８Ｂが配設
されている。また供給リール７Ａ、７Ｂ及び巻取りリー
ル８Ａ、８Ｂの上下には、布テープ等の加工用テープ９
Ａ、９Ｂを巻き付けた供給リール１０Ａ、１０Ｂと、加
工用テープ９Ａ、９Ｂを巻き取る巻取りリール１１Ａ、
１１Ｂが配設されている。ここで、エアーバリア用テー
プ６Ａ、６Ｂはエアーノズル４Ａ、４Ｂ側に配設され、
加工用テープ９Ａ、９Ｂは磁気ディスク２側に配設され
ている。 【０００７】供給リール７Ａ、７Ｂ及び巻取りリール８
Ａ、８Ｂは、移動体３に固定されたリール軸１５Ａ、１
５Ｂ及び１６Ａ、１６Ｂに回転自在に支承されている。
供給リール１０Ａ、１０Ｂ及び巻取りリール１１Ａ、１
１Ｂも同様に、移動体３に固定されたリール軸１７Ａ、
１７Ｂ及び１８Ａ、１８Ｂに回転自在に支承されてい
る。エアーノズル４Ａ、４Ｂの上下には、エアーバリア
用テープ６Ａ、６Ｂをエアーノズル４Ａ、４Ｂの部分に
案内するガイドローラ１９Ａ、１９Ｂ及び２０Ａ、２０
Ｂと、加工用テープ９Ａ、９Ｂをエアーノズル４Ａ、４
Ｂの部分に案内するガイドローラ２１Ａ、２１Ｂ及び２
２Ａ、２２Ｂとが配設されている。 【０００８】また供給リール７Ａ、７Ｂ及び１０Ａ、１
０Ｂからガイドローラ１９Ａ、１９Ｂ及び２１Ａ、２１
Ｂにエアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂ及び加工用テープ
９Ａ、９Ｂを導く複数個のガイドローラが配設されてい
る。また同様に、ガイドローラ２０Ａ、２０Ｂ及び２２
Ａ、２２Ｂから巻取りリール８Ａ、８Ｂ及び１１Ａ、１
１Ｂにエアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂ及び加工用テー
プ９Ａ、９Ｂを導く複数個のガイドローラが配設されて
いる。これらのガイドローラ１９Ａ〜２２Ａ等、１９Ｂ
〜２２Ｂ等は、移動体３に固定されたローラ軸２５に回
転自在に支承されている。 【０００９】次に作用について説明する。磁気ディスク
２をスピンドル１にチャックして回転させる。そして、
エアーノズル４Ａ、４Ｂに図示しないエアー源よりエア
ー５を供給すると共に、巻取りリール８Ａ、８Ｂ及び１
１Ａ、１１Ｂを図示しない駆動手段により回転させ、ま
た移動体３を矢印Ａ方向（図２参照）に移動させる。 【００１０】エアーノズル４Ａ、４Ｂにエアーを供給す
ると、エアーノズル４Ａ、４Ｂより吹き出すエアー５
は、エアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂを介して加工用テ
ープ９Ａ、９Ｂを磁気ディスク２に圧接させる。これに
より、磁気ディスク２の回転に従って加工される。また
巻取りリール１１Ａ、１１Ｂの回転によって供給リール
１０Ａ、１０Ｂより新しい加工用テープ９Ａ、９Ｂの部
分がエアーノズル４Ａ、４Ｂのエアー吹き出し口部分に
供給されて巻取りリール１１Ａ、１１Ｂに巻き取られ
る。また移動体３が移動すると、該移動体３と共にエア
ーノズル４Ａ、４Ｂ、エアーバリア用テープ６Ａ、６Ｂ
及び加工用テープ９Ａ、９Ｂも移動し、磁気ディスク２
の全面が加工用テープ９Ａ、９Ｂによって加工される。 【００１１】このように、エアー５を通さないエアーバ
リア用テープ６Ａ、６Ｂにエアーノズル４Ａ、４Ｂによ
ってエアー５を吹き付け、エアーバリア用テープ６Ａ、
６Ｂを介して加工用テープ９Ａ、９Ｂを磁気ディスク２
に圧接し加工するので、エアー５の流量のコントロール
を行うことにより、微妙な調整を簡単に行うことができ
る。また工場に常設されているエアー供給源を用いるこ
とができるので、設備費が増大することもなく、工程も
増加しない。 【００１２】 【発明の効果】本発明によれば、磁気ディスクをチャッ
クして回転するスピンドルと、前記磁気ディスクに対応
して設けられた通気性の有る加工用テープと、この加工
用テープに対応して設けられたエアーバリア用テープ
と、このエアーバリア用テープにエアーを吹き付けるエ
アーノズルとを備え、エアーノズルよりエアーを前記エ
アーバリア用テープに吹き付け、該エアーバリア用テー
プを介して加工用テープを磁気ディスクに圧接させる構
成よりなるので、微妙な調整を短時間に行うことができ
ると共に微妙な加工条件を満足させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ディスク加工装置の一実施の形態
を示す正面図である。 【図２】図１の一部破断で示す右側面図である。 【図３】図１の要部拡大正面図である。 【符号の説明】 １ スピンドル ２ 磁気ディスク ４Ａ、４Ｂ エアーノズル ５ エアー ６Ａ、６Ｂ エアーバリア用テープ ９Ａ、９Ｂ 加工用テープ
を示す正面図である。 【図２】図１の一部破断で示す右側面図である。 【図３】図１の要部拡大正面図である。 【符号の説明】 １ スピンドル ２ 磁気ディスク ４Ａ、４Ｂ エアーノズル ５ エアー ６Ａ、６Ｂ エアーバリア用テープ ９Ａ、９Ｂ 加工用テープ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−134627（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−1323（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−199347（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−7227（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−66223（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−305563（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−34657（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−153723（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 5/84
B24B 21/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 磁気ディスクをチャックして回転するス
ピンドルと、前記磁気ディスクに対応して設けられた通
気性の有る加工用テープと、この加工用テープに対応し
て設けられたエアーバリア用テープと、このエアーバリ
ア用テープにエアーを吹き付けるエアーノズルとを備
え、エアーノズルよりエアーを前記エアーバリア用テー
プに吹き付け、該エアーバリア用テープを介して加工用
テープを磁気ディスクに圧接させることを特徴とする磁
気ディスク加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4419498A JP3436877B2 (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 磁気ディスク加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4419498A JP3436877B2 (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 磁気ディスク加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11232644A JPH11232644A (ja) | 1999-08-27 |
| JP3436877B2 true JP3436877B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=12684775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4419498A Expired - Lifetime JP3436877B2 (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 磁気ディスク加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3436877B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5886602B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2016-03-16 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置および研磨方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166223A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH0624681B2 (ja) * | 1986-02-27 | 1994-04-06 | 富士写真フイルム株式会社 | バ−ニツシユ装置 |
| JPS63153723A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-27 | Y A Shii Kk | 磁気デイスク研磨装置 |
| JPS6434657A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-06 | Fujitsu Ltd | Gaseous pressure type polishing device |
| DE3800196A1 (de) * | 1988-01-07 | 1989-07-20 | Basf Ag | Verfahren zum bearbeiten der oberflaeche magnetischer aufzeichnungstraeger |
| JPH031323A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-08 | Canon Inc | 磁気ディスクのバーニッシュ方法およびその装置 |
| JPH04134627A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の研磨方法およびその研磨装置 |
| JPH05305563A (ja) * | 1992-05-06 | 1993-11-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ディスクの研磨方法および研磨装置 |
-
1998
- 1998-02-12 JP JP4419498A patent/JP3436877B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11232644A (ja) | 1999-08-27 |
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