JPS63153723A - 磁気デイスク研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ラッピングテープを磁気ディスク表面に圧接
せしめ、磁気ディスク表面を均一に研磨するための磁気
ディスク研磨装置に関する。

［従来の技術］ 従来、磁気ディスク研磨装置として、例えば特開昭６０
−１０６０２９号公報（以下公知例１という）及び特開
昭６１−１４６４６５号公報（以下公知例２という）に
示すものが知られている。

ところで、かかる磁気ディスク研磨装置においては、ラ
ッピングテープを如何に均一に磁気ディスク表面に圧接
せしめるかが重要な要素となっている。

前記公知例１は、ラッピングテープを磁気ディスク表面
に圧接せしめるための加圧子をジンバル構造によって支
持させている。即ち、加圧子を、その中心を支点として
揺動自在に、かつ板ばねを介して支持させている。

前記公知例２は、ラッピングテープが巻き付けられたロ
ーラに対向してエア吹き出しノズルを配置し、エア吹き
出しノズルより吹き出すエアによって磁気ディスク表面
をラッピングテープに圧接させている。

［発明が解決しようとする問題点］ 前記公知例１は、研磨のために磁気ディスクを回転させ
ると、磁気ディスクの回転方向の力によって加圧子がわ
ずかに傾き、またその傾きは不安定な状態であり、ラフ
ピングテープが磁気ディスクに均一に圧接しなく、均一
な仕上げ面が得られないという問題点があった。この現
象は、磁気ディスクの全面を研磨するために、加圧子を
磁気ディスクの半径方向に移動させても生じる。

前記公知例２は、磁気ディスクの一方側にラッピングテ
ープが巻き付けられたローラを配設し、他方側にエア吹
き出しノズルを配設するので、片面しか研磨できない、
また中心部がチャック手段で保持された磁気ディスクを
エアで吹き上げるので、エア吹き上げ部分のチャック側
の方は上方に持ち上げられにくく、均一な研磨が行えな
いという問題点があった。

本発明の目的は、均一に研磨が可能な磁気ディスク研磨
装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、チー２ピングテープが磁気デ
ィスクに圧接するようにチー２ピングテープに気体を吹
き付ける気体吹き付けノズルを設けることにより解決さ
れる。

［作用］ ラッピングテープに気体を吹き付けてラフピングテープ
を磁気ディスクに圧接させるので、磁気ディスクを回転
させても、またラッピングテープを磁気ディスクの半径
方向に移動させても、ラフピングテープは磁気ディスク
に均一に圧接する。

また気体吹き付けノズルはラッピングテープ側に配設さ
れているので、磁気ディスクの片面は勿論のこと、両面
も研磨させることができる。

【実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。

架台１上にはスピンドルホルダー２が固定されており、
スピンドルホルダー２には図示しないモータにより回転
駆動されるスピンドル３が回転自在に支承されている。

スピンドル３は上端に周知のチャック手段４を備えてお
り、磁気ディスク５をチャックすることができる。

また架台１上には支持台１０が固定されており、この支
持台１０の上面には水平に伸びたガイドレール１１が固
定されている。支持台１０上には該支持台１０のガイド
レール１１に沿って摺動可能に移動台１２が載置されて
いる。移動台１２上には中間板１３が固定されており、
この中間板１３の前記チャック手段４側には垂直に配設
された支持板１４が固定されている。

支持板１４のほぼ中央には相対向して前記磁気ディスク
５の上下に気体吹き付けノズル２０Ａ、２０Ｂが固定さ
れている。気体吹き付けノズル２０Ａ、２０Ｂには、磁
気ディスク５に対向した側に磁気ディスク５の半径方向
に沿ってスリット状の気体吹き出し口２０ａが設けられ
ている。また気体吹き出し口２０ａに対応した内部には
気体室２０ｂが設けられ、更に気体吹き付けノズル２０
Ａ、２０Ｂに取付けられた配管２１と前記気体室２０ｂ
とは気体通路２０ｃで連通されている。

気体吹き付けノズル２０Ａ、２０Ｂの両側には、ラッピ
ングテープ２２Ａ、２２Ｂを気体吹き付けノズル２０Ａ
、２０Ｂの気体吹き出し口２０ａの部分に案内するガイ
ドローラ２３Ａ、２３Ｂ、２４Ａ、２４Ｂが配設されて
いる。ガイドローラ２３Ａ、２３Ｂ、２４Ａ、２４Ｂは
、支持板１４に固定されたローラ支持軸２５に回転自在
に支承されている。前記ガイドローラ２３Ａ、２３Ｂ、
２４Ａ、２４Ｂの外側には、ラフピングテープ２２Ａ、
２２Ｂを巻き付けた供給リール２６Ａ、２６Ｂとラフピ
ングテープ２２Ａ、２２Ｂを巻き取る巻取リリール２７
Ａ、２７Ｂが配設されている。

供給リール２６Ａ、２６Ｂは、２個のリールプレート３
０．３１と、リールプレート３０．３１間に配設された
紙管３２とからなる。一方のリールプレート３０は回転
筒３３に固定され、他方のリールブレー）３１は回転筒
３３に螺合されたつまみ３４で紙管３２に圧接されて回
転筒３３に固定されている。回転筒３３は、支持板１４
に固定されたリール支持軸３５に回転自在に支承されて
いる。前記回転筒３３のリールプレート３０側にはばね
受３６が嵌挿され、また前記リール支持軸３５にもばね
′受３７が螺合されており、両ばね受３６．３７間には
ラフピングテープ２２Ａ、２２Ｂを供給リール２６Ａ、
２６Ｂに巻き取る方向に作用するように巻かれたバック
テンション用ばね３８が配設されている。

巻取リリール２７Ａ、２７Ｂも前記供給リール２６Ａ、
２６Ｂと同様に、２個のリールプレート４０．４１と、
リールプレート４０．４１間に配設された紙管４２とか
らなる。一方のリールプレー）４０は回転軸４３に固定
され、他方のリールプレー）４１は回転軸４３に螺合さ
れたつまみ４４で紙管４２に圧接されて回転軸４３に固
定されている０回転軸４３は、支持板１４に固定された
ホルダー４５に回転自在に支承されており、他端側には
歯車４６が固定されている。

前記支持板１４の前記巻取リリール２７Ａ、２７Ｂと反
対側には、支柱５０を介してモータ支持板５１が固定さ
れており、モータ支持板５１にはモータ５２が固定され
ている。モータ５２の出力軸には歯車５３が固定されて
おり、歯車５３は下方の巻取りリール２６Ｂ側の歯車４
６に直接噛合している。また歯車５３は中間歯車５４を
介して上方の巻取リ−ル２６Ｂ側の歯車４６に噛合して
いる。

前記移動台１２の側方には移動台１２の移動方向と平行
に送りねじ６０が配設され、この送りねじ６０は架台１
上に固定されたブラケッ）６１．６２に回転自在に支承
されている。送りねじ６０の一端にはモータ６３の出力
軸が連結され、モータ６３は支持板１４に固定されたブ
ラケット６４に固定されている。また送りねじ６０のね
じ部にはめねじ６５が螺合しており、このめねじ６５と
前記移動台１２には連結板６６が固定されている。連結
板６６の送りねじ６０と反対側の下面にはストッパ板６
７が固定されており、架台ｌ上に固定されたブラケット
６８に螺合されたストッパ゛ねじ６９が前記ストッパ板
６７に対向して配設されている。即ち、ストッパ板６７
がストッパねじ６９に当接することにより磁気ディスク
５の中心方向の気体吹き付けノズル２０Ａ、２０Ｂの動
きが規制される。

次に作用について説明する。磁気ディスク５をスピンド
ル３にチャック手段４によって保持し回転させる。そし
て、図示の状態で、図示しない気体供給源より気体、例
えばエアを配管２２に供給すると共に、モータ５２．６
３を始動させる。

配管２２に気体を供給すると、気体は気体吹き　。

付けノズル２０Ａ、２０Ｂの気体通路２０ｃ、気体室２
０ｂを通って気体吹き出し口２０ａよりラッピングテー
プ２２Ａ、２２Ｂに吹き付けられる。これにより、ラッ
ピングテープ２２Ａ、２２Ｂは磁気ディスク５に圧接さ
せられ、磁気ディスク５の回転に従って磁気ディスク５
の上下面が研磨される。この場合、気体吹き付けノズル
２０Ａ、２０Ｂの気体吹き出し口２０ａの周りを、気体
吹き出し口２０ａのスリットに沿って若干高い突出部２
０ｄに形成すると、突出部２０ｄの周りが真空状態とな
り、気体吹き出し口２０ａより吹き出した気体が気体吹
き付けノズル２０Ａ、２０Ｂの面に沿って流れ易く、ラ
フピングテープ２２Ａ、２２Ｂは磁気ディスク５により
均一に当るようになる。

またモータ５２が始動すると、歯車５３．５４．４６を
介して回転軸４３が回転し１巻取リ−ルプレー、２７Ｂ
が矢印Ｃ方向に回転する。これによってラッピングテー
プ２２Ａ、２２Ｂは供給リール２６Ａ、２６Ｂより新し
いラッピングテープ２２Ａ、２２Ｂの部分が気体吹き付
けノズル２０Ａ、２０Ｂの気体吹き出し口２０ａの部分
に供給されて巻取リリール２７Ａ、２７Ｂに巻き取られ
る。

またモータ６３が始動すると、送りねじ６０が回転し、
めねじ６５、連結板６６が矢印り方向に移動する。これ
により、移動台１２は支持台１０に固定されたガイドレ
ール１１に沿って連結板６６と共に移動する。移動台１
２には支持板１４が固定されているので、移動台１２と
共に支持板１４も移動し、気体吹き付けノズル２０Ａ、
２０Ｂ、供給リール２６Ａ、２６Ｂ、巻取リリール２７
Ａ、２７Ｂ、ガイドローラ２３Ａ、２３Ｂ、２４Ａ、２
４Ｂ及びラッピングテープ２２Ａ、２２Ｂは磁気ディス
ク５から遠ざかる半径方向に移動する。これによって磁
気ディスク５の全面がラッピングテープ２２Ａ、２２Ｂ
によって研磨される。

［発明の効果］ 、　　以上の説明から明らかなように、本発明によれば
、ラフピングテープに気体を吹き付けてラフピングテー
プを磁気ディスクに圧接、させるので、磁気ディスクを
回転させても、またラフピングテープを磁気ディスクの
半径方向に移動させても、ラッピングテープは磁気ディ
スクに均一に圧接する。また気体吹き付けノズルはラフ
ピングテープ側に配役寄れているので、磁気ディスクの
片面は勿論のこと１両面も研磨させることができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は正面図、第２図
は一部断面平面図、第３図は右側面図である。 ４：チャック手段、　　　　５：磁気ディスク、２０Ａ
、２０Ｂ：気体吹き付けノズル、２２Ａ、２２Ｂ＝ラツ
ピングテープ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気ディスクをチャックして回転するチャック手段と、
   このチャック手段にチャックされた磁気ディスク表面上
   に対応して配置されたラッピングテープとを備えた磁気
   ディスク研磨装置において、前記ラッピングテープが前
   記磁気ディスクに圧接するように前記ラッピングテープ
   に気体を吹き付ける気体吹き付けノズルを設けたことを
   特徴とする磁気ディスク研磨装置。