JP3430862B2 - プローブカード - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明はＩＣの検査に使用す
るプローブカードに関する。 【０００２】 【従来の技術】プローブカードの反りまたは複数ある探
針の個別摩耗により、各探針が適正な高さでなく、ＩＣ
ウェハに所望の接触圧力をかけられない場合、問題とな
る探針を位置固定している半田付けをはずして調整修理
する方法をとっていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方法で
は、探針を位置固定している半田付けをはずして調整・
再固定する作業に専門技能が必要で、早急な量産再使用
は困難であった。そこで本発明は、このような問題を解
決するもので、その目的とするところは、簡便な探針調
整機構の搭載により早急な量産再使用を可能とすること
である。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本願発明にかかるプロー
ブカードは、ＩＣウエハの検査に使用するプローブカー
ドにおいて、前記プローブカードの調整手段として前記
プローブカード上に、対向して設けられた穴を有する2
個1組の金具部と、前記金具部の穴を通して保持される
ネジと、を有し、前記金具部にナットが配置されること
を特徴とする 【０００５】 【作用】本発明のプローブカード反り矯正機構の作用に
ついて説明すると、あらかじめ別の方法で接触圧力の過
不足を検出しておいた上で、プローブカード上の２点間
の距離をネジを締め付けたり緩めたりすることよって強
制的に可変させ、適正な状態に矯正または調整する。 【０００６】 【発明の実施の形態】以下本発明をその実施例を示す図
面に基づき詳細する。 【０００７】図１は本発明に係わるプローブカード平面
図、図２はその断面図を示す。１１、２１はプローブカ
ード、１２、２２はプローブカードに設置された探針、
１３、２３はネジ、１４、２４は穴の開いた金具、１
５、２５はナット、１６、２６は水準器または水平ゲー
ジをそれぞれ示す。 【０００８】プローブカード上には穴の開いた金具が２
個１組で対向して固定されており、ネジは２個の金具の
穴を通して保持されているものとする。さらに金具部に
は、ネジの長さを固定するナットがついているものとす
る。 【０００９】ネジを締めると２個の金具の距離が引っ張
られることにより、プローブカードは上に窪んだ状態に
反り、また探針については２個の金具を結ぶ中央付近に
比べ、端にある探針ほどボードの反りに伴って持ち上が
る。逆にネジを緩める方向に回転させ、２個の金具の距
離を引き離すとプローブカードは下に窪んだ状態に反
り、また探針については２個の金具を結ぶ中央付近に比
べ、端にある探針ほどボードの反りに伴って下がる。 【００１０】 【発明の効果】前述の如く本発明のプローブカード反り
矯正機構によれば、複数の探針の相対的な高さを調整す
るために、探針をはずす必要はなくなり、プローブカー
ド上に搭載したネジにより、簡便な方法で高さを調整で
きることが見込まれる。また同じ作用でプローブカード
の反りを矯正することが容易になる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係わるプローブカード平面図である。 【図２】本発明に係わるプローブカード断面図である。 【符号の説明】 １１・・・プローブカード １２・・・探針 １３・・・ネジ １４・・・穴の開いた金具 １５・・・ナット １６・・・水準器または水平ゲージ ２１・・・プローブカード ２２・・・探針 ２３・・・ネジ ２４・・・穴の開いた金具 ２５・・・ナット ２６・・・水準器または水平ゲージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 1/06 - 1/073 H01L 21/66

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 ＩＣウエハの検査に使用するプローブカ
   ードにおいて、 前記プローブカードの調整手段として前記プローブカー
   ド上に、対向して設けられた穴を有する2個1組の金具部
   と、 前記金具部の穴を通して保持されるネジと、 を有し、 前記金具部にナットが配置されることを特徴とするプロ
   ーブカード