JP3426935B2 - 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法Info
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 23
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 17
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 17
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 33
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 21
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 19
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/148—Charge coupled imagers
- H01L27/14806—Structural or functional details thereof
- H01L27/14812—Special geometry or disposition of pixel-elements, address lines or gate-electrodes
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Description
のCCD固体撮像素子及びその固体撮像素子の製造方法
に関する。
子の構成を示す概略図である。フレーム転送方式のCC
D固体撮像素子は、撮像部i、蓄積部s、水平転送部h
及び出力部dを有する。撮像部iは、垂直方向に延在
し、互いに平行に配列された複数のシフトレジスタから
なり、各シフトレジスタの各ビットが受光画素を構成す
る。蓄積部sは、撮像部iのシフトレジスタに連続する
遮光された複数のシフトレジスタからなり、各シフトレ
ジスタの各ビットが蓄積画素を構成する。水平転送部h
は、水平方向に延在する単一のシフトレジスタからな
り、各ビットに蓄積部sのシフトレジスタの出力が接続
される。出力部dは、水平転送部hから転送出力される
電荷を一時的に蓄積する容量及びその容量に蓄積された
電荷を排出するリセットトランジスタを含む。これによ
り、撮像部iの各受光画素に蓄積される情報電荷は、各
画素毎に独立して蓄積部sの蓄積画素へ転送された後、
1行ずつ蓄積部sから水平転送部hへ転送され、さら
に、1画素単位で水平転送部hから出力部dへ転送され
る。そして、出力部dで1画素毎の電荷量が電圧値に変
換され、その電圧値の変化がCCD出力として外部回路
へ供給される。
り、図5(X)、(Y)は、それぞれ図4のX−X線及
びY−Y線の断面図である。これらの図においては、3
相駆動の場合を示している。P型のシリコン基板1の表
面領域に、選択酸化された厚い酸化シリコン膜からなる
チャネル分離領域2が垂直方向に延在して互いに平行に
配置される。これらのチャネル分離領域2の間には、N
型の拡散層3が形成され、情報電荷の転送経路となるチ
ャネル領域が形成される。拡散層3上には、薄い酸化シ
リコン膜からなるゲート絶縁膜4を介して、多結晶シリ
コンからなる複数の転送電極5が、それぞれ一定の距離
を隔てて平行に配置される。転送電極5上には、ゲート
絶縁膜4と同一の層間絶縁膜6が積層され、この層間絶
縁膜6上にチャネル分離領域2に沿ってアルミニウムか
らなる電力供給線8が配置される。この電力供給線8
は、チャネル分離領域2と転送電極5との交点で層間絶
縁膜6に所定の間隔で形成されるコンタクトホール7を
通して転送電極5に接続される。例えば、3相駆動の場
合、転送電極5の2本おきにコンタクトホール7が設け
られ、各電力供給線8が転送電極5に2本おきに接続さ
れる。これにより、電力供給線8から3相の転送クロッ
クφ1〜φ3が転送電極5に印加されることになる。各転
送電極5には、複数の電力供給線8から一定の間隔で電
力が供給されることになるため、画素数の増加に伴って
転送電極5が長くなった場合でも、ほとんど遅延なく転
送電極5の全体に転送クロックφ1〜φ3を印加すること
ができる。このような固体撮像素子は、例えば、実公平
7−51799号公報に開示されている。
ニウムからなる電力供給線8を配置した場合、受光画素
となるチャネル領域へ入射する光が電力供給線8の表面
で不規則に反射し、周辺部の受光画素へ入射するおそれ
がある。このような光の反射は、受光画素内に不要な電
荷を発生させ、画像の乱れや色むらを招く要因となる。
コンとの界面の不飽和結合を水素によって補償する際、
その水素が電力供給線8のアルミニウムに吸着され易く
なるため、界面に十分な量の水素が供給されなくなり、
不飽和結合の補償が不十分となる。さらには、水素をチ
ャネル領域に導入するための熱処理では、アルミニウム
が融解しない程度の低温とする必要があり、界面に十分
な量の水素を供給するためには、長時間の熱処理が必要
となる。
の乱反射を低減しつつ、チャネル領域のシリコン/酸化
シリコン界面の不飽和結合を効率よく補償できるように
することを目的とする。
は、半導体基板と、上記半導体基板の一主面に一方向に
延在して互いに平行に配置される複数のチャネル領域
と、上記半導体基板の一主面上に上記複数のチャネル領
域に交差する方向に延在して互いに平行に配置される複
数の転送電極と、上記複数のチャネル領域の間隙に沿っ
て上記複数の転送電極上に配置され、所定の間隔で上記
複数の転送電極に選択的に接続される複数の電力供給線
と、を備え、上記複数の電力供給線は、高融点金属ある
いは高融点金属を結合させたシリサイドを含むことを特
徴としている。
あるいは高融点金属を結合させたシリサイドとすること
により、電力供給線の表面での光の反射率が低下する。
従って、光の反射に起因する周辺画素への光の漏れ込み
が少なくなる。そして、本発明の固体撮像素子の製造方
法は、半導体基板の一主面に互いに平行な複数の分離領
域を形成すると共に、各分離領域の間にそれぞれチャネ
ル領域を形成する第1の工程と、上記半導体基板の一主
面上に第1の絶縁膜を積層し、この第1の絶縁膜上に上
記複数の分離領域に交差して複数の転送電極を形成する
第2の工程と、上記複数の転送電極を被って第2の絶縁
膜を積層し、この第2の絶縁膜の上記複数の分離領域と
上記複数の転送電極との交点部分にコンタクトホールを
形成する第3の工程と、上記複数の分離領域に沿って上
記第2の絶縁膜上に複数の電力供給線を形成する第4の
工程と、上記複数の電力供給線を被って第3の絶縁膜を
積層した後、熱処理する第5の工程と、を有し、上記電
力供給線は、高融点金属あるいは高融点金属を結合させ
たシリサイドを含み、上記第3の絶縁膜は、窒化シリコ
ン膜を含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
膜を形成した後に熱処理することで、絶縁膜に含まれる
水素がチャネル領域の基板と絶縁膜との界面に供給さ
れ、基板の不飽和結合が補償される。
固体撮像素子の要部を示す断面図であり、それぞれ図5
と同一部分を示している。本発明の固体撮像素子は、シ
リコン基板11から転送電極15までの構成について
は、図5に示す固体撮像素子と同一である。即ち、P型
のシリコン基板11の表面領域に、複数のチャネル分離
領域12が互いに平行に形成され、この分離領域12の
間にN型の拡散層13が形成されると共に、分離領域1
2上に、ゲート絶縁膜14を介して複数の転送電極15
が配置される。尚、チャネル分離領域12については、
厚い酸化膜の他に、高濃度のP型の拡散層、あるいは、
厚い酸化膜と拡散層との組み合わせにより形成すること
が可能である。
コン層18上にシリサイド層19を積層したポリサイド
構造により電力供給線20を形成したことにある。転送
電極15が形成されたシリコン基板11上に、転送電極
15を被って酸化シリコンからなる層間絶縁膜16が積
層される。この層間絶縁膜16の所定箇所にコンタクト
ホール17が設けられ、分離領域12上に積層される多
結晶シリコン層18がコンタクトホール17を通して転
送電極15に接続される。尚、コンタクトホール17の
位置は、図5と同一である。多結晶シリコン層18上に
は、タングステン、モリブデン、チタン等の高融点金属
をシリコンと結合させたシリサイド層19が積層され、
多結晶シリコン及びシリサイドの2層からなる、いわゆ
るポリサイド構造の電力供給線20が形成される。電力
供給線20を構成するシリサイド層19は、アルミニウ
ムに比べて光の反射率が低いため、チャネル領域に入射
する光を反射しにくい。従って、各チャネル領域(受光
画素)には、電力供給線20からの反射光の入射が少な
くなる。
11上には、電力供給線20を被って、酸化シリコンか
らなる絶縁膜21が積層され、この絶縁膜21上にPS
G(Phospho-Silicate Glass)からなる平坦層22が積層
される。そして、平坦層22の表面に、窒化シリコンか
らなる表面保護膜23が形成される。窒化シリコンから
なる表面保護膜23は、多量の水素を含み、チャネル領
域のシリコン/酸化シリコン界面に対する水素の供給源
となる。即ち、表面保護膜23を形成した後に、熱処理
を施すことにより、表面保護膜23(窒化シリコン)に
含まれる水素を移動させ、チャネル領域のシリコン/酸
化シリコン界面に供給する。このとき、ポリサイド構造
の電力供給線20は、アルミニウムに比べて水素の吸着
力が低いため、チャネル領域のシリコン/酸化シリコン
界面への水素の供給を妨げない。また、電力供給線20
は、高融点金属のシリサイドで構成されるため、高温で
の熱処理に耐えることが可能であり、水素導入のための
熱処理の温度を高く設定することが可能になる。従っ
て、チャネル領域のシリコン/酸化シリコン界面に十分
な量の水素が供給されるようになり、チャネル領域の不
飽和結合を確実に補償することができる。
を説明する工程別の断面図である。この図においては、
図1(X)と同一部分を示す。 (a):第1工程 P型のシリコン基板11の表面領域に、選択酸化法によ
り酸化シリコン膜を成長させて複数のチャネル分離領域
12を形成する。このチャネル分離領域12は、互いに
一定の距離を隔てて垂直方向に延在される。そして、各
チャネル分離領域12の間に、リン等のN型の不純物を
注入し、チャネル領域となる拡散層13を形成する。
化し、ゲート絶縁膜14を形成する。この熱酸化処理に
おいては、チャネル分離領域12の表面にも酸化シリコ
ン膜が形成される。続いて、ゲート絶縁膜14上にCV
D法により多結晶シリコンを積層し、多結晶シリコン膜
を形成する。そして、この多結晶シリコ膜を、チャネル
分離領域12を横切る所定の形状にパターニングし、複
数の転送電極15を形成する。
積層し、層間絶縁膜16を形成する。そして、チャネル
分離領域12上で層間絶縁膜16にコンタクトホール1
7を形成する。このコンタクトホール17は、一定の間
隔、例えば、3相駆動の場合には、2列おき(転送電極
15の2本おき)に形成される。
8及びシリサイド層19を積層し、ポリサイド構造の導
電層を形成する。この導電層をパターニングし、転送電
極15に交差してチャネル分離領域12に沿って延在す
る電力供給線20を形成する。
etraethyl orthosilicate)を用いたCVD法により酸化
シリコンを積層し、図1(X)に示すように、電力供給
線20を被う絶縁膜21を積層する。この絶縁膜21上
にCVD法によりPSGを積層し、熱処理してフローす
ることにより平坦層22を形成する。さらに、平坦層2
2の表面にプラズマCVD法により窒化シリコンを積層
し、表面保護膜23を形成する。通常、プラズマCVD
法によって形成された窒化シリコンは、多量の水素を含
み、シリコン基板11に対する水素の供給源となる。そ
して、シリコン基板11全体を熱処理することで表面保
護膜23(窒化シリコン)に含まれる水素を拡散し、シ
リコン基板11の表面に供給する。この水素は、チャネ
ル領域のシリコン/酸化シリコン界面で、不飽和結合を
補償し、界面準位を低下させる。この結果、チャネル領
域に発生する暗電流が低減される。測定によれば、暗電
流に起因する出力電圧は、アルミニウムからなる電力供
給線8の場合と比較して1/2〜1/3程度まで低下し
たことが確認された。
を1層構造とした場合を例示したが、この転送電極15
は、隣どうし互いにオーバーラップする2層構造として
もよい。そして、転送電極15に印加する転送クロック
φ1〜φ3については、3相に限られるものではなく、4
相以上でも採用することができる。この場合、転送電極
と電力供給線との間のコンタクトは、駆動相数に応じて
設定すればよい。
イド層19の単相とすること、あるいは、シリサイド層
19を高融点金属層とすることも可能である。シリサイ
ド層19を高融点金属層とする場合、高融点金属の積層
に続いて熱処理を施すようにすれば、多結晶シリコンと
高融点金属とを結合させることができる。
光の反射を少なくし、チャネル領域への反射光の入射を
低減することができる。従って、再生画面上の画像の乱
れや色むらの発生を抑圧することができる。また、シリ
コン基板に対して効率よく水素を供給できるようにな
り、チャネル領域のシリコン/酸化シリコン界面の不飽
和結合が補償される。これにより、チャネル領域の界面
準位が低下して暗電流が低減される。
面図である。
程別の断面図である。
概略図である。
図である。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 半導体基板と、上記半導体基板の一主面
に一方向に延在して互いに平行に配置され、入射される
光に応答して発生する情報電荷を蓄積する複数のチャネ
ル領域と、これら複数のチャネル領域を電気的に分離す
る複数の分離領域と、上記半導体基板の一主面上に上記
複数のチャネル領域に交差する方向に延在して互いに平
行に配置され、上記複数のチャネル領域中に蓄積される
情報電荷を上記複数のチャネル領域を転送経路として一
方向に転送する複数の転送電極と、これら複数の転送電
極上で上記複数の分離領域に沿って配置され、所定の間
隙で上記複数の転送電極に選択的に接続される複数の電
力供給線と、上記複数の転送電極及び上記複数の電力供
給線を被う絶縁膜と、を備え、上記複数の電力供給線
は、高融点金属あるいは高融点金属を結合させたシリサ
イドを含み、上記絶縁膜を通して入射される光が上記複
数のチャネル領域に入射されることを特徴とする固体撮
像素子。 - 【請求項2】 上記複数の転送電極は、多結晶シリコン
からなり、上記複数の電力供給線は、上記複数の転送電
極に接続される多結晶シリコン層上に高融点金属を結合
させたシリサイド層を積層した2層構造を有することを
特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。 - 【請求項3】 半導体基板の一主面に互いに平行な複数
の分離領域を形成すると共に、各分離領域の間にそれぞ
れチャネル領域を形成する第1の工程と、上記半導体基
板の一主面上に第1の絶縁膜を積層し、この第1の絶縁
膜上に上記複数の分離領域に交差して複数の転送電極を
形成する第2の工程と、上記複数の転送電極を被って第
2の絶縁膜を積層し、この第2の絶縁膜の上記複数の分
離領域と上記複数の転送電極との交点部分にコンタクト
ホールを形成する第3の工程と、上記複数の分離領域に
沿って上記第2の絶縁膜上に複数の電力供給線を形成す
る第4の工程と、上記複数の転送電極及び上記複数の電
力供給線を被って第3の絶縁膜を積層した後、熱処理す
る第5の工程と、を有し、上記電力供給線は、高融点金
属あるいは高融点金属を結合させたシリサイドを含み、
上記第3の絶縁膜は、窒化シリコン膜を含むことを特徴
とする固体撮像素子の製造方法。 - 【請求項4】 前記電力供給線は、多結晶シリコン層上
に高融点金属を結合させたシリサイド層を積層した2層
構造を有することを特徴とする請求項3に記載の固体撮
像素子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28839497A JP3426935B2 (ja) | 1997-10-21 | 1997-10-21 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
TW087112516A TW416147B (en) | 1997-10-21 | 1998-07-30 | Solid state imaging element and method for making the same |
US09/174,027 US6310370B1 (en) | 1997-10-21 | 1998-10-16 | Solid state image sensing device and method of manufacturing the same |
KR10-1998-0043905A KR100488132B1 (ko) | 1997-10-21 | 1998-10-20 | 고체촬상소자및고체촬상소자의제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28839497A JP3426935B2 (ja) | 1997-10-21 | 1997-10-21 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11121733A JPH11121733A (ja) | 1999-04-30 |
JP3426935B2 true JP3426935B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=17729645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28839497A Expired - Fee Related JP3426935B2 (ja) | 1997-10-21 | 1997-10-21 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6310370B1 (ja) |
JP (1) | JP3426935B2 (ja) |
KR (1) | KR100488132B1 (ja) |
TW (1) | TW416147B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4246964B2 (ja) * | 2002-05-27 | 2009-04-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置アレイ |
JP2004319784A (ja) | 2003-04-16 | 2004-11-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
KR102572719B1 (ko) * | 2018-04-03 | 2023-08-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3123068B2 (ja) * | 1990-09-05 | 2001-01-09 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2727770B2 (ja) * | 1991-01-23 | 1998-03-18 | 日本電気株式会社 | 固体撮像装置 |
JPH05275675A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-22 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPH06268192A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP3456000B2 (ja) * | 1993-05-17 | 2003-10-14 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP3355419B2 (ja) | 1993-08-20 | 2002-12-09 | 太洋マシナリー株式会社 | 鋳物砂充填用テーブルの振動装置 |
JP3298259B2 (ja) * | 1993-09-30 | 2002-07-02 | ソニー株式会社 | 電荷転送素子 |
JP3339238B2 (ja) * | 1995-02-14 | 2002-10-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2943714B2 (ja) * | 1996-08-22 | 1999-08-30 | 日本電気株式会社 | 固体撮像装置 |
-
1997
- 1997-10-21 JP JP28839497A patent/JP3426935B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-30 TW TW087112516A patent/TW416147B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-10-16 US US09/174,027 patent/US6310370B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-10-20 KR KR10-1998-0043905A patent/KR100488132B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19990037228A (ko) | 1999-05-25 |
KR100488132B1 (ko) | 2005-06-16 |
JPH11121733A (ja) | 1999-04-30 |
US6310370B1 (en) | 2001-10-30 |
TW416147B (en) | 2000-12-21 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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