JP3417312B2 - 反射型液晶表示装置 - Google Patents
反射型液晶表示装置Info
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射面が液晶セル
内に配置された反射型液晶表示装置に関するものであ
る。
内に配置された反射型液晶表示装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】インターネットの急速な発展にともな
い、「いつでもどこでも」、必要な情報アクセス・発信
が簡単にできるインフラが整いつつある。現時点では、
インタフェース機器の主役は携帯情報端末（以下ＰＤＡ
（Personal Digital Assistant）と称す）である。
い、「いつでもどこでも」、必要な情報アクセス・発信
が簡単にできるインフラが整いつつある。現時点では、
インタフェース機器の主役は携帯情報端末（以下ＰＤＡ
（Personal Digital Assistant）と称す）である。
【０００３】モバイル用途が前提となるＰＤＡの分野で
は、薄くて、軽い、低電力のディスプレイが求められて
おり、それにもっとも合致するシーズが、バックライト
を必要としない反射型液晶表示装置（以下反射型ＬＣＤ
と称す）である。実際に現在製品化されているＰＤＡの
大半が反射型ＬＣＤを採用している。ＰＤＡは、ハンド
ヘルド・コンピュータ、ノート型パーソナルコンピュー
タ、ネットワーク・コンピュータ、あるいはデジタルカ
メラなどの映像機器と機能融合するとともに、高速通
信、携帯端末用ＯＳといったインフラストラクチャー整
備とあいまって、新たなビジネス環境として提案されて
いるモバイルオフィスの主役となるモバイル・ビジネス
・ツールとして、巨大マーケットを築くと期待される。
は、薄くて、軽い、低電力のディスプレイが求められて
おり、それにもっとも合致するシーズが、バックライト
を必要としない反射型液晶表示装置（以下反射型ＬＣＤ
と称す）である。実際に現在製品化されているＰＤＡの
大半が反射型ＬＣＤを採用している。ＰＤＡは、ハンド
ヘルド・コンピュータ、ノート型パーソナルコンピュー
タ、ネットワーク・コンピュータ、あるいはデジタルカ
メラなどの映像機器と機能融合するとともに、高速通
信、携帯端末用ＯＳといったインフラストラクチャー整
備とあいまって、新たなビジネス環境として提案されて
いるモバイルオフィスの主役となるモバイル・ビジネス
・ツールとして、巨大マーケットを築くと期待される。
【０００４】ところで、現時点では白黒表示の反射型Ｌ
ＣＤが使われているが、情報量の増大に伴って、カラー
反射型ＬＣＤも市場から強く求められており、研究開発
も活発に行われている。今後、カラー反射型ＬＣＤは、
モバイル・ビジネス・ツールのキーデバイスとして、大
きな需要を期待できる装置である。これまでにも反射型
ＬＣＤについてさまざまな方式の装置の研究開発がなさ
れている。明るい表示を実現する有力な手段として、従
来の２枚偏光板方式に代わって１枚偏光板方式が提案さ
れている。また、ＬＣＤの方式としてはアクティブマト
リックス方式と単純マトリックス方式とがあり、性能を
重視するならば前者であり、コストを重視するならば後
者というように使い分けられるものと考えられる。
ＣＤが使われているが、情報量の増大に伴って、カラー
反射型ＬＣＤも市場から強く求められており、研究開発
も活発に行われている。今後、カラー反射型ＬＣＤは、
モバイル・ビジネス・ツールのキーデバイスとして、大
きな需要を期待できる装置である。これまでにも反射型
ＬＣＤについてさまざまな方式の装置の研究開発がなさ
れている。明るい表示を実現する有力な手段として、従
来の２枚偏光板方式に代わって１枚偏光板方式が提案さ
れている。また、ＬＣＤの方式としてはアクティブマト
リックス方式と単純マトリックス方式とがあり、性能を
重視するならば前者であり、コストを重視するならば後
者というように使い分けられるものと考えられる。
【０００５】１枚偏光板方式反射型ＬＣＤの構成は、た
とえば以下の文献に示されている。 （１） 白黒反射型ＬＣＤについては、“I.Fukuda, M.K
itamura, Y.Kotani：ASIA DISPLAY'95、pp.881-884(199
5)” （２）カラー反射型ＬＣＤについては、“H.Yamaguchi,
S.Fujita, N.Naito,H.Mizuno, T.Otani, T.Sekine, T.
Ogawa, N.Wakita：SID97 DIGEST、 pp.647-650(1997)” 図１０は従来の典型的な１枚偏光板方式カラー反射型Ｌ
ＣＤの構造を示す。
とえば以下の文献に示されている。 （１） 白黒反射型ＬＣＤについては、“I.Fukuda, M.K
itamura, Y.Kotani：ASIA DISPLAY'95、pp.881-884(199
5)” （２）カラー反射型ＬＣＤについては、“H.Yamaguchi,
S.Fujita, N.Naito,H.Mizuno, T.Otani, T.Sekine, T.
Ogawa, N.Wakita：SID97 DIGEST、 pp.647-650(1997)” 図１０は従来の典型的な１枚偏光板方式カラー反射型Ｌ
ＣＤの構造を示す。
【０００６】基板２０１の上に、ストライプ状の反射電
極２０７ａ〜２０７ｆが形成されている。基板２０１と
透明基板２０８との間には、液晶層２０６が挟持されて
いる。液晶層２０６としてはＴＮ液晶あるいはＳＴＮ液
晶が用いられる。一般的に、アクティブマトリックス方
式ではＴＮ液晶が、単純マトリックス方式ではＳＴＮ液
晶が用いられることが多い。
極２０７ａ〜２０７ｆが形成されている。基板２０１と
透明基板２０８との間には、液晶層２０６が挟持されて
いる。液晶層２０６としてはＴＮ液晶あるいはＳＴＮ液
晶が用いられる。一般的に、アクティブマトリックス方
式ではＴＮ液晶が、単純マトリックス方式ではＳＴＮ液
晶が用いられることが多い。
【０００７】透明基板２０８の、基板２０１側の面上に
は、反射電極２０７ａ〜２０７ｆに対応させてカラーフ
ィルタ２０３ａ〜２０３ｆが形成され、さらに保護層２
０４を介して反射電極２０７ａ〜２０７ｆの配列方向と
は直交する方向にストライプ状の透明電極２０５が形成
されている。透明基板２０８の外側の面上に、散乱板２
０９、位相板２１０および偏光板２１１がこの順に貼り
合わされている。
は、反射電極２０７ａ〜２０７ｆに対応させてカラーフ
ィルタ２０３ａ〜２０３ｆが形成され、さらに保護層２
０４を介して反射電極２０７ａ〜２０７ｆの配列方向と
は直交する方向にストライプ状の透明電極２０５が形成
されている。透明基板２０８の外側の面上に、散乱板２
０９、位相板２１０および偏光板２１１がこの順に貼り
合わされている。
【０００８】この１枚偏光板方式反射型ＬＣＤは、２枚
偏光板方式の装置に比べて、ＬＣＤへの入射光の偏光板
通過回数が４回から２回に減少するので、明るい表示が
可能になる。また、液晶セルに反射電極２０７ａ〜２０
７ｆを内蔵できることから、視差の少ない表示が得られ
る。とりわけ、カラーフィルタとの組合せによるカラー
反射型ＬＣＤの場合には、入射光と出射光が異なる色領
域を通過する確率が最小化されるので、この点からも色
純度の高い明るい表示が可能となる。
偏光板方式の装置に比べて、ＬＣＤへの入射光の偏光板
通過回数が４回から２回に減少するので、明るい表示が
可能になる。また、液晶セルに反射電極２０７ａ〜２０
７ｆを内蔵できることから、視差の少ない表示が得られ
る。とりわけ、カラーフィルタとの組合せによるカラー
反射型ＬＣＤの場合には、入射光と出射光が異なる色領
域を通過する確率が最小化されるので、この点からも色
純度の高い明るい表示が可能となる。
【０００９】液晶の良好な配向を得るためには平坦な電
極面を必要とする。しかし、平坦な反射電極は鏡面性が
強く、特定方向以外の反射輝度がきわめて低くなり、こ
のままでは直視タイプの反射型ＬＣＤを実現することが
できない。このような課題を回避するため、散乱板２０
９を光の伝搬行路中に配置した構造が提案されている。
散乱反射板を裏面に配置する２枚偏光板方式の反射型Ｌ
ＣＤに比較して、１枚偏光板方式では、散乱と反射が機
能分離されて光学系が構成される。
極面を必要とする。しかし、平坦な反射電極は鏡面性が
強く、特定方向以外の反射輝度がきわめて低くなり、こ
のままでは直視タイプの反射型ＬＣＤを実現することが
できない。このような課題を回避するため、散乱板２０
９を光の伝搬行路中に配置した構造が提案されている。
散乱反射板を裏面に配置する２枚偏光板方式の反射型Ｌ
ＣＤに比較して、１枚偏光板方式では、散乱と反射が機
能分離されて光学系が構成される。
【００１０】ところで、一般に反射電極２０７ａ〜２０
７ｆにはアルミニウム（Ａｌ）が広く用いられている。
なぜならば、Ａｌは、比較的安価な材料で、しかも波長
依存性の少ない高い反射特性を示すからである。
７ｆにはアルミニウム（Ａｌ）が広く用いられている。
なぜならば、Ａｌは、比較的安価な材料で、しかも波長
依存性の少ない高い反射特性を示すからである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしこのような従来
の反射型ＬＣＤでは、次のような問題点がある。反射電
極２０７ａ〜２０７ｆが露出した状態で検査工程などを
通るので、電極表面に傷が付きやすく、そのため取り扱
いが困難である。反射電極２０７ａ〜２０７ｆが露出し
ているため、酸、アルカリまたは溶剤に対する耐性が不
充分で、液晶セル組立工程での薬品による腐食が懸念さ
れる。
の反射型ＬＣＤでは、次のような問題点がある。反射電
極２０７ａ〜２０７ｆが露出した状態で検査工程などを
通るので、電極表面に傷が付きやすく、そのため取り扱
いが困難である。反射電極２０７ａ〜２０７ｆが露出し
ているため、酸、アルカリまたは溶剤に対する耐性が不
充分で、液晶セル組立工程での薬品による腐食が懸念さ
れる。
【００１２】反射電極２０７ａ〜２０７ｆが液晶と接す
るために、耐腐食性、とりわけ湿中負荷での信頼性が確
保しにくい。とくにこれらの問題は反射電極としてAlを
用いた場合に顕著である。本発明は比較的簡単な構成に
より、プロセサビリティと信頼性に優れ、しかも視差が
少なく明るい反射型ＬＣＤを提供することを目的とす
る。
るために、耐腐食性、とりわけ湿中負荷での信頼性が確
保しにくい。とくにこれらの問題は反射電極としてAlを
用いた場合に顕著である。本発明は比較的簡単な構成に
より、プロセサビリティと信頼性に優れ、しかも視差が
少なく明るい反射型ＬＣＤを提供することを目的とす
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の反射型ＬＣＤ
は、基板と透明基板との間に挟持された液晶層、基板の
液晶層側の面上に順に形成された第１の透明電極、電気
絶縁性の分離層および反射膜、ならびに、透明基板の液
晶層側の面上に形成された第２の透明電極を備え反射膜
と第１の透明電極とが電気絶縁性の分離層によって電気
的および物理的に分離された構造とした。
は、基板と透明基板との間に挟持された液晶層、基板の
液晶層側の面上に順に形成された第１の透明電極、電気
絶縁性の分離層および反射膜、ならびに、透明基板の液
晶層側の面上に形成された第２の透明電極を備え反射膜
と第１の透明電極とが電気絶縁性の分離層によって電気
的および物理的に分離された構造とした。
【００１４】この構造とすることで、反射膜の表面が分
離層で被覆され保護されるので、反射面を液晶セル内に
配置し１枚偏光板方式の特徴を保ったまま、プロセサビ
リティと信頼性に優れ、視差が少なく明るい反射型ＬＣ
Ｄを得ることができる。具体的には、第１、第２の透明
電極は、透明電極群であったり、単一の透明電極であっ
たり、さらには、アクティブマトリックスアレーに組み
込まれた画素電極の集合であったりする。また、反射膜
の表面にさらに絶縁層を形成することによって耐溶剤
性、耐腐食性がより向上する。この絶縁層は反射膜の表
面層を陽極酸化することによって形成することができ
る。反射膜の主成分としてはＡｌを挙げることができ
る。また、絶縁層は、反射膜の表面にスパッタリング法
によって絶縁性薄膜を形成して構成することもできる。
離層で被覆され保護されるので、反射面を液晶セル内に
配置し１枚偏光板方式の特徴を保ったまま、プロセサビ
リティと信頼性に優れ、視差が少なく明るい反射型ＬＣ
Ｄを得ることができる。具体的には、第１、第２の透明
電極は、透明電極群であったり、単一の透明電極であっ
たり、さらには、アクティブマトリックスアレーに組み
込まれた画素電極の集合であったりする。また、反射膜
の表面にさらに絶縁層を形成することによって耐溶剤
性、耐腐食性がより向上する。この絶縁層は反射膜の表
面層を陽極酸化することによって形成することができ
る。反射膜の主成分としてはＡｌを挙げることができ
る。また、絶縁層は、反射膜の表面にスパッタリング法
によって絶縁性薄膜を形成して構成することもできる。
【００１５】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明の第１の
実施の形態における反射型ＬＣＤについて、図１の断面
図を参照しながら説明する。ガラス等の基板１０１上
の、表示部にほぼ対応する領域に、反射膜１０２が形成
されている。反射膜１０２にはたとえばＡｌを使用す
る。
実施の形態における反射型ＬＣＤについて、図１の断面
図を参照しながら説明する。ガラス等の基板１０１上
の、表示部にほぼ対応する領域に、反射膜１０２が形成
されている。反射膜１０２にはたとえばＡｌを使用す
る。
【００１６】反射膜１０２の上に電気絶縁性の分離層１
２０が形成され、その上にストライプ状に複数の第１の
透明電極１０５が所定のピッチで平行に形成されてい
る。第１の透明電極１０５にはたとえばＩＴＯ（Indium
Tin Oxide）が用いられる。このとき、反射膜１０２と
第１の透明電極１０５とが電気的および物理的に絶縁状
態となるように、分離層１２０を形成する。ＩＴＯがＡ
ｌと電気的に接触していると、ウェットエッチング法に
よってパターニングする際に、電気化学反応によって腐
食されることがある。上述した構成によれば、ＩＴＯの
腐食が抑制される。なお、分離層１２０としては、透光
性が良好で絶縁性の樹脂、具体的にはアクリル系樹脂が
使用される。
２０が形成され、その上にストライプ状に複数の第１の
透明電極１０５が所定のピッチで平行に形成されてい
る。第１の透明電極１０５にはたとえばＩＴＯ（Indium
Tin Oxide）が用いられる。このとき、反射膜１０２と
第１の透明電極１０５とが電気的および物理的に絶縁状
態となるように、分離層１２０を形成する。ＩＴＯがＡ
ｌと電気的に接触していると、ウェットエッチング法に
よってパターニングする際に、電気化学反応によって腐
食されることがある。上述した構成によれば、ＩＴＯの
腐食が抑制される。なお、分離層１２０としては、透光
性が良好で絶縁性の樹脂、具体的にはアクリル系樹脂が
使用される。
【００１７】ガラス等からなる透明基板１０８が基板１
０１と平行に配置され、それらの間隔がスペーサ（図示
せず）で所定の寸法となるよう規制されている。そし
て、基板１０１と透明基板１０８の周縁部分の間隙が樹
脂材料などで封止され、これら基板１０１、１０８間に
液晶層１０６が保持されている。液晶層１０６にはＳＴ
Ｎ液晶を用い、その封入には公知の方法を使用すること
ができる。
０１と平行に配置され、それらの間隔がスペーサ（図示
せず）で所定の寸法となるよう規制されている。そし
て、基板１０１と透明基板１０８の周縁部分の間隙が樹
脂材料などで封止され、これら基板１０１、１０８間に
液晶層１０６が保持されている。液晶層１０６にはＳＴ
Ｎ液晶を用い、その封入には公知の方法を使用すること
ができる。
【００１８】透明基板１０８の、基板１０１側の面上に
は、第１の透明電極１０５の配列方向と直交する方向
に、ストライプ状の第２の透明電極１０７ａ〜１０７ｆ
が所定のピッチで平行に形成されている。これら第２の
透明電極１０７ａ〜１０７ｆにはＩＴＯが使用される。
透明基板１０８の外側の面上に散乱板１０９、位相板１
１０および偏光板１１１が順次貼り合わせされ、積層構
造とする。
は、第１の透明電極１０５の配列方向と直交する方向
に、ストライプ状の第２の透明電極１０７ａ〜１０７ｆ
が所定のピッチで平行に形成されている。これら第２の
透明電極１０７ａ〜１０７ｆにはＩＴＯが使用される。
透明基板１０８の外側の面上に散乱板１０９、位相板１
１０および偏光板１１１が順次貼り合わせされ、積層構
造とする。
【００１９】このように構成された反射型ＬＣＤでは、
第１の透明電極１０５と第２の透明電極１０７ａ〜１０
７ｆとの間に印加する電圧によって液晶を駆動する、い
わゆる単純マトリックス駆動である。この構成による
と、反射膜１０２の表面が分離層１２０によって覆われ
ているため、従来の反射電極に見られたような組立の途
中における傷付きが発生しにくく、反射膜１０２の検査
や取り扱いが容易である。
第１の透明電極１０５と第２の透明電極１０７ａ〜１０
７ｆとの間に印加する電圧によって液晶を駆動する、い
わゆる単純マトリックス駆動である。この構成による
と、反射膜１０２の表面が分離層１２０によって覆われ
ているため、従来の反射電極に見られたような組立の途
中における傷付きが発生しにくく、反射膜１０２の検査
や取り扱いが容易である。
【００２０】また、反射膜１０２として酸またはアルカ
リに対する耐性が弱いＡｌを採用した場合でも、分離層
１２０によって覆われているために、液晶セル組立プロ
セスでの耐薬品性が良好である。さらに湿中負荷通電試
験の信頼性を確保することができる。反射膜１０２が液
晶セル内に配置されているため、１枚偏光板方式の特徴
が保たれ、視差の少ない高輝度のモノクロ反射型ＬＣＤ
を実現することができる。
リに対する耐性が弱いＡｌを採用した場合でも、分離層
１２０によって覆われているために、液晶セル組立プロ
セスでの耐薬品性が良好である。さらに湿中負荷通電試
験の信頼性を確保することができる。反射膜１０２が液
晶セル内に配置されているため、１枚偏光板方式の特徴
が保たれ、視差の少ない高輝度のモノクロ反射型ＬＣＤ
を実現することができる。
【００２１】（実施の形態２）本発明の第２の実施の形
態における反射型ＬＣＤについて、図２の断面図を参照
しながら説明する。図２において、図１に示した第１の
実施の形態における構成要素と同様の作用をする要素に
は同じ符号を付した。本実施の形態が第１の実施の形態
ともっとも異なるところは、基板１０１上に反射膜１０
２が形成され、さらにその上に透明電極１０７ａ〜１０
７ｆに対応するように電気絶縁性のストライプ状カラー
フィルタ１０３ａ〜１０３ｆが形成され、かつ、これら
が電気絶縁性の保護層１０４で覆われて、その上にスト
ライプ状の第１の透明電極１０５が形成されていること
にある。
態における反射型ＬＣＤについて、図２の断面図を参照
しながら説明する。図２において、図１に示した第１の
実施の形態における構成要素と同様の作用をする要素に
は同じ符号を付した。本実施の形態が第１の実施の形態
ともっとも異なるところは、基板１０１上に反射膜１０
２が形成され、さらにその上に透明電極１０７ａ〜１０
７ｆに対応するように電気絶縁性のストライプ状カラー
フィルタ１０３ａ〜１０３ｆが形成され、かつ、これら
が電気絶縁性の保護層１０４で覆われて、その上にスト
ライプ状の第１の透明電極１０５が形成されていること
にある。
【００２２】図２に示すように、第１の実施の形態にお
ける分離層１２０の役割を、本実施の形態では、カラー
フィルタ１０３ａ〜１０３ｆと保護層１０４とが担って
いる。これによって、ＩＴＯからなる透明電極１０５が
パターニング時の電気化学反応によって腐食することを
防止できる。保護層１０４には、透光性が良好で絶縁性
の樹脂、具体的にはアクリル系樹脂が使用される。
ける分離層１２０の役割を、本実施の形態では、カラー
フィルタ１０３ａ〜１０３ｆと保護層１０４とが担って
いる。これによって、ＩＴＯからなる透明電極１０５が
パターニング時の電気化学反応によって腐食することを
防止できる。保護層１０４には、透光性が良好で絶縁性
の樹脂、具体的にはアクリル系樹脂が使用される。
【００２３】基板１０１と対向する透明基板１０８との
間には、液晶層１０６が挟持されている。液晶層１０６
にはＳＴＮ液晶が用いられる。この反射型ＬＣＤでは、
第１の透明電極１０５と第２の透明電極１０７ａ〜１０
７ｆとの間に印加する電圧により、液晶を駆動すること
ができる。このように反射膜１０２がカラーフィルタ１
０３ａ〜１０３ｆと保護層１０４とで覆われているの
で、従来の反射電極に見られたような組立の途中におけ
る傷付きが生じにくく、その検査や取り扱いが容易であ
る。
間には、液晶層１０６が挟持されている。液晶層１０６
にはＳＴＮ液晶が用いられる。この反射型ＬＣＤでは、
第１の透明電極１０５と第２の透明電極１０７ａ〜１０
７ｆとの間に印加する電圧により、液晶を駆動すること
ができる。このように反射膜１０２がカラーフィルタ１
０３ａ〜１０３ｆと保護層１０４とで覆われているの
で、従来の反射電極に見られたような組立の途中におけ
る傷付きが生じにくく、その検査や取り扱いが容易であ
る。
【００２４】また本実施の形態では、カラーフィルタ１
０３ａ〜１０３ｆと保護層１０４とが分離層の役割を兼
ねているので、分離層を作るための製造工程を必要とし
ないという利点がある。さらに、反射膜１０２の構成材
料として酸またはアルカリに対する耐性が弱いＡｌを使
用した場合でも、液晶セル組立プロセスでの耐薬品性が
良好であり、湿中負荷の信頼性も確保できるものであ
る。
０３ａ〜１０３ｆと保護層１０４とが分離層の役割を兼
ねているので、分離層を作るための製造工程を必要とし
ないという利点がある。さらに、反射膜１０２の構成材
料として酸またはアルカリに対する耐性が弱いＡｌを使
用した場合でも、液晶セル組立プロセスでの耐薬品性が
良好であり、湿中負荷の信頼性も確保できるものであ
る。
【００２５】一方、反射面がセル内に配置されるため、
１枚偏光板方式の特徴が保たれ、視差の少ない高輝度、
高色純度のカラー反射型ＬＣＤを実現することができ
る。 （実施の形態３）本発明の第３の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図３の断面図を参照しながら説明
する。図３において、図１および図２に示した第１、第
２の実施の形態における構成要素と同様の機能をもつ要
素には同じ符号を付した。
１枚偏光板方式の特徴が保たれ、視差の少ない高輝度、
高色純度のカラー反射型ＬＣＤを実現することができ
る。 （実施の形態３）本発明の第３の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図３の断面図を参照しながら説明
する。図３において、図１および図２に示した第１、第
２の実施の形態における構成要素と同様の機能をもつ要
素には同じ符号を付した。
【００２６】本実施の形態が第２の実施の形態ともっと
も異なるところは、反射膜１０２の上に新たな絶縁層１
１２が設けられていることである。すなわち、図３に示
すように、反射膜１０２とカラーフィルタ１０３ａ〜１
０３ｆとの間に絶縁層１１２を配置することによって、
反射膜１０２の表面を絶縁層１１２で覆っている。具体
的には、絶縁層１１２の構成材料として、好ましくはス
パッタリング法による酸化タンタル（ＴａＯX）が用い
られる。これにより、反射膜１０２の耐薬品性・耐腐食
性をさらに高めることができる。
も異なるところは、反射膜１０２の上に新たな絶縁層１
１２が設けられていることである。すなわち、図３に示
すように、反射膜１０２とカラーフィルタ１０３ａ〜１
０３ｆとの間に絶縁層１１２を配置することによって、
反射膜１０２の表面を絶縁層１１２で覆っている。具体
的には、絶縁層１１２の構成材料として、好ましくはス
パッタリング法による酸化タンタル（ＴａＯX）が用い
られる。これにより、反射膜１０２の耐薬品性・耐腐食
性をさらに高めることができる。
【００２７】（実施の形態４）本発明の第４の実施の形
態における反射型ＬＣＤについて、図３の断面図を参照
しながら説明する。本実施の形態は第３の実施の形態と
は絶縁層１１２の組成が異なるものである。本実施の形
態では、Ａｌ蒸着膜からなる反射膜１０２の表面領域を
陽極酸化することによって、絶縁層１１２が形成されて
いる。すなわち、基板１０１上の所定領域に所定パター
ンの反射膜１０２を形成したのち、シュウ酸アンモニウ
ムとエチレングリコールとの混合液中において、反射膜
１０２を一方の電極として陽極酸化することによって、
酸化アルミニウム（ＡｌＯX）薄膜を形成する。
態における反射型ＬＣＤについて、図３の断面図を参照
しながら説明する。本実施の形態は第３の実施の形態と
は絶縁層１１２の組成が異なるものである。本実施の形
態では、Ａｌ蒸着膜からなる反射膜１０２の表面領域を
陽極酸化することによって、絶縁層１１２が形成されて
いる。すなわち、基板１０１上の所定領域に所定パター
ンの反射膜１０２を形成したのち、シュウ酸アンモニウ
ムとエチレングリコールとの混合液中において、反射膜
１０２を一方の電極として陽極酸化することによって、
酸化アルミニウム（ＡｌＯX）薄膜を形成する。
【００２８】陽極酸化法で形成されたＡｌＯXからなる
絶縁層は、ピンホール確率がきわめて低く、溶剤や水分
に対する遮蔽効果が飛躍的に高まる。したがって、第２
の実施の形態に記載した絶縁層の場合よりさらに反射膜
の耐薬品性・耐腐食性を向上させることができる。 （実施の形態５）本発明の第５の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図４の断面図を参照しながら説明
する。図４において、図１に示した第１の実施の形態に
おける構成要素と同様の作用をする要素には同じ符号を
付した。
絶縁層は、ピンホール確率がきわめて低く、溶剤や水分
に対する遮蔽効果が飛躍的に高まる。したがって、第２
の実施の形態に記載した絶縁層の場合よりさらに反射膜
の耐薬品性・耐腐食性を向上させることができる。 （実施の形態５）本発明の第５の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図４の断面図を参照しながら説明
する。図４において、図１に示した第１の実施の形態に
おける構成要素と同様の作用をする要素には同じ符号を
付した。
【００２９】本実施の形態が第２〜第４の実施の形態と
もっとも異なるところは、透明基板１０８側にカラーフ
ィルタ１１３ａ〜１１３ｆが設けられたことにある。図
４に示すように、基板１０１の一方の主面上の表示部に
ほぼ対応する領域に、Ａｌからなる反射膜１０２が形成
されている。反射膜１０２上に電気絶縁性の分離層１２
０が形成され、その上にストライプ状に複数の第１の透
明電極１０５ａ〜１０５ｆが等ピッチで形成されてい
る。これら透明電極１０５ａ〜１０５ｆにはＩＴＯが用
いられる。
もっとも異なるところは、透明基板１０８側にカラーフ
ィルタ１１３ａ〜１１３ｆが設けられたことにある。図
４に示すように、基板１０１の一方の主面上の表示部に
ほぼ対応する領域に、Ａｌからなる反射膜１０２が形成
されている。反射膜１０２上に電気絶縁性の分離層１２
０が形成され、その上にストライプ状に複数の第１の透
明電極１０５ａ〜１０５ｆが等ピッチで形成されてい
る。これら透明電極１０５ａ〜１０５ｆにはＩＴＯが用
いられる。
【００３０】反射膜１０２と第１の透明電極１０５ａ〜
１０５ｆとを電気的に絶縁しているので、第１の透明電
極１０５ａ〜１０５ｆをパターニングする際の電気化学
反応によって、この電極１０５ａ〜１０５ｆが腐食して
しまうことを抑制できる。分離層１２０としては、透光
性が良好で絶縁性の樹脂、具体的にはたとえばアクリル
系樹脂が使用される。
１０５ｆとを電気的に絶縁しているので、第１の透明電
極１０５ａ〜１０５ｆをパターニングする際の電気化学
反応によって、この電極１０５ａ〜１０５ｆが腐食して
しまうことを抑制できる。分離層１２０としては、透光
性が良好で絶縁性の樹脂、具体的にはたとえばアクリル
系樹脂が使用される。
【００３１】基板１０１と対向する透明基板１０８との
間に、液晶層１０６が封止保持されている。液晶層１０
６にはＳＴＮ液晶が用いられる。透明基板１０８の、基
板１０１側の主面上に、透明電極１０５ａ〜１０５ｆに
対応させてストライプ状の複数のカラーフィルタ１１３
ａ〜１１３ｆを平行に形成され、さらにこれを保護層１
１４で覆われている。そして、保護層１１４上に、第１
の透明電極１０５ａ〜１０５ｆと直交する方向に、スト
ライプ状の複数の第２の透明電極１０７が等ピッチで形
成されている。
間に、液晶層１０６が封止保持されている。液晶層１０
６にはＳＴＮ液晶が用いられる。透明基板１０８の、基
板１０１側の主面上に、透明電極１０５ａ〜１０５ｆに
対応させてストライプ状の複数のカラーフィルタ１１３
ａ〜１１３ｆを平行に形成され、さらにこれを保護層１
１４で覆われている。そして、保護層１１４上に、第１
の透明電極１０５ａ〜１０５ｆと直交する方向に、スト
ライプ状の複数の第２の透明電極１０７が等ピッチで形
成されている。
【００３２】カラーフィルタ１１３ａ〜１１３ｆの各隣
接ストライプ間に必要に応じて光吸収性の絶縁層を配し
て、ブラックマトリックス構造とすることで、画像のコ
ントラストを高めることができる。透明基板１０８の、
カラーフィルタ１１３ａ〜１１３ｆ付設面とは反対側の
主面上に、散乱板１０９、位相板１１０、および偏光板
１１１がこの順に重ね貼り合わされている。
接ストライプ間に必要に応じて光吸収性の絶縁層を配し
て、ブラックマトリックス構造とすることで、画像のコ
ントラストを高めることができる。透明基板１０８の、
カラーフィルタ１１３ａ〜１１３ｆ付設面とは反対側の
主面上に、散乱板１０９、位相板１１０、および偏光板
１１１がこの順に重ね貼り合わされている。
【００３３】この構造の反射型ＬＣＤでは、第１の透明
電極１０５ａ〜１０５ｆと複数の第２の透明電極１０７
との間に電圧を印加することにより、液晶を駆動するこ
とができる。この構成によっても、１枚偏光板方式の特
徴が保たれ、耐薬品性、耐腐食性に優れ、視差の少ない
高輝度のカラー反射型ＬＣＤを実現することができる。
電極１０５ａ〜１０５ｆと複数の第２の透明電極１０７
との間に電圧を印加することにより、液晶を駆動するこ
とができる。この構成によっても、１枚偏光板方式の特
徴が保たれ、耐薬品性、耐腐食性に優れ、視差の少ない
高輝度のカラー反射型ＬＣＤを実現することができる。
【００３４】以上の各実施の形態では、第１、第２の透
明電極をストライプ状とし、平面視した状態では互いに
直交するように配置して表示部に対応する領域を構成し
た、いわゆる単純マトリックス方式を例示したが、第１
あるいは第２の透明電極の面が前記表示部の全面にわた
ってフラットな単一の透明電極である、いわゆるセグメ
ント表示方式であっても同様の効果を得ることができ
る。
明電極をストライプ状とし、平面視した状態では互いに
直交するように配置して表示部に対応する領域を構成し
た、いわゆる単純マトリックス方式を例示したが、第１
あるいは第２の透明電極の面が前記表示部の全面にわた
ってフラットな単一の透明電極である、いわゆるセグメ
ント表示方式であっても同様の効果を得ることができ
る。
【００３５】（実施の形態６）本発明の第６の実施の形
態における反射型ＬＣＤについて、図５の断面図と図６
の平面図とを参照しながら説明する。なお、図５は図６
の破線Ａ−Ａに沿った断面図である。図５および図６に
おいて、図４に示した第５の実施の形態における構成要
素と同様の作用をする要素には同じ符号を付した。
態における反射型ＬＣＤについて、図５の断面図と図６
の平面図とを参照しながら説明する。なお、図５は図６
の破線Ａ−Ａに沿った断面図である。図５および図６に
おいて、図４に示した第５の実施の形態における構成要
素と同様の作用をする要素には同じ符号を付した。
【００３６】本実施の形態では、基板１０１の上に、ア
クティブマトリックスアレーを形成したものについて説
明する。アクティブマトリックスアレーとは、画素がマ
トリックス状に配置され、能動素子であるスイッチを介
して各画素がアドレス線に接続されているものである。
これを用いたＬＣＤでは、各画素に供給される電圧がス
イッチで独立に制御されるので、単純マトリックス方式
に比べてクロストークなどの画質低下がない高品質の表
示が可能である。カラーＬＣＤではより色純度の高い表
示が可能となる。
クティブマトリックスアレーを形成したものについて説
明する。アクティブマトリックスアレーとは、画素がマ
トリックス状に配置され、能動素子であるスイッチを介
して各画素がアドレス線に接続されているものである。
これを用いたＬＣＤでは、各画素に供給される電圧がス
イッチで独立に制御されるので、単純マトリックス方式
に比べてクロストークなどの画質低下がない高品質の表
示が可能である。カラーＬＣＤではより色純度の高い表
示が可能となる。
【００３７】ここでは、能動素子としてＴＦＴを用いた
ものを示す。すなわち、図６に示すように、基板１０１
の上に複数の画素電極としての第１の透明電極１０５ａ
〜１０５ｃがマトリックス状に配置され、第１の透明電
極１０５ａ〜１０５ｃに対応するＴＦＴ１３７ａ〜１３
７ｃが接続されている。第１の透明電極１０５ａ〜１０
５ｃの構成材料にはＩＴＯが用いられる。
ものを示す。すなわち、図６に示すように、基板１０１
の上に複数の画素電極としての第１の透明電極１０５ａ
〜１０５ｃがマトリックス状に配置され、第１の透明電
極１０５ａ〜１０５ｃに対応するＴＦＴ１３７ａ〜１３
７ｃが接続されている。第１の透明電極１０５ａ〜１０
５ｃの構成材料にはＩＴＯが用いられる。
【００３８】ＴＦＴ１３７ａ〜１３７ｃは、図５に示す
ように、Ａｌ合金からなるゲート電極１３２ａ〜１３２
ｃ（図面にＧと記す）と、その上に形成された窒化シリ
コンからなるゲート絶縁膜１３３と、水素化アモルファ
スシリコンからなる半導体膜１３４ａ等と、Ｍｏ合金を
含むソース電極１３５ａ〜１３５ｃ（図面にＳと記す）
およびドレイン電極１３６ａ等（図面にＤと記す）とで
構成されている。半導体膜１３４ａ等とソース電極およ
びドレイン電極との間には、電気的な接触をよくするた
めに、Ｐを含んだアモルファスシリコンよりなるｎ型不
純物ドープ層を介在させることもある。ドレイン電極１
３６は第１の透明電極１０５に接続されている。各行の
ゲート電極１３２ａ〜１３２ｃは互いに接続されてゲー
トアドレス線が構成され、各列のソース電極１３５ａ〜
１３５ｃが互いに接続されてソースアドレス線を構成し
ている。
ように、Ａｌ合金からなるゲート電極１３２ａ〜１３２
ｃ（図面にＧと記す）と、その上に形成された窒化シリ
コンからなるゲート絶縁膜１３３と、水素化アモルファ
スシリコンからなる半導体膜１３４ａ等と、Ｍｏ合金を
含むソース電極１３５ａ〜１３５ｃ（図面にＳと記す）
およびドレイン電極１３６ａ等（図面にＤと記す）とで
構成されている。半導体膜１３４ａ等とソース電極およ
びドレイン電極との間には、電気的な接触をよくするた
めに、Ｐを含んだアモルファスシリコンよりなるｎ型不
純物ドープ層を介在させることもある。ドレイン電極１
３６は第１の透明電極１０５に接続されている。各行の
ゲート電極１３２ａ〜１３２ｃは互いに接続されてゲー
トアドレス線が構成され、各列のソース電極１３５ａ〜
１３５ｃが互いに接続されてソースアドレス線を構成し
ている。
【００３９】図５および図６に示すように、各第１の透
明電極１０５ａ〜１０５ｃに対応する領域には、Ａｌか
らなる反射膜１０２ａ〜１０２ｃが形成されている。反
射膜１０２ａ〜１０２ｃの上にゲート絶縁膜１３３を形
成し、さらにその上に第１の透明電極１０５ａ〜１０５
ｃが形成されている。したがって第１の透明電極１０５
ａ〜１０５ｃと反射膜１０２ａ〜１０２ｃとは、ゲート
絶縁膜１３３によって電気的にも物理的にも分離されて
いる。
明電極１０５ａ〜１０５ｃに対応する領域には、Ａｌか
らなる反射膜１０２ａ〜１０２ｃが形成されている。反
射膜１０２ａ〜１０２ｃの上にゲート絶縁膜１３３を形
成し、さらにその上に第１の透明電極１０５ａ〜１０５
ｃが形成されている。したがって第１の透明電極１０５
ａ〜１０５ｃと反射膜１０２ａ〜１０２ｃとは、ゲート
絶縁膜１３３によって電気的にも物理的にも分離されて
いる。
【００４０】この例では、反射膜１０２ａ〜１０２ｃと
ゲート電極１３２ａ〜１３２ｃとが同一のレベルに配置
され、かつ同材料で形成されている。このようにするこ
とで、製造工程を増やすことなく反射型ＬＣＤを作製で
きるという利点がある。基板１０１と対向する透明基板
１０８との間には、液晶層１０６が配置されている。液
晶層１０６にはアクティブマトリックスアレーに適した
ＴＮ液晶が用いられる。
ゲート電極１３２ａ〜１３２ｃとが同一のレベルに配置
され、かつ同材料で形成されている。このようにするこ
とで、製造工程を増やすことなく反射型ＬＣＤを作製で
きるという利点がある。基板１０１と対向する透明基板
１０８との間には、液晶層１０６が配置されている。液
晶層１０６にはアクティブマトリックスアレーに適した
ＴＮ液晶が用いられる。
【００４１】透明基板１０８の、基板１０１側の面上に
は、第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃに対応させてそ
れと等ピッチでストライプ状のカラーフィルタ１１３ａ
〜１１３ｃを形成し、カラーフィルタ１１３ａ〜１１３
ｃ間には光を遮断するためのブラックマトリックス膜１
３１ａ〜１３１ｃが形成されている。その上に第２の透
明電極１０７が形成されている。
は、第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃに対応させてそ
れと等ピッチでストライプ状のカラーフィルタ１１３ａ
〜１１３ｃを形成し、カラーフィルタ１１３ａ〜１１３
ｃ間には光を遮断するためのブラックマトリックス膜１
３１ａ〜１３１ｃが形成されている。その上に第２の透
明電極１０７が形成されている。
【００４２】本実施の形態においては、表示領域全域に
わたって第２の透明電極１０７が均一に形成されてい
る。なお、表面の平滑性を向上させるために、カラーフ
ィルタ１１３ａ〜１１３ｃと第２の透明電極１０７との
間に、さらに保護層を設けてもよい。透明基板１０８
の、基板１０１とは反対側の面上には、散乱板１０９、
位相板１１０、および偏光板１１１が順次貼り合わされ
ている。ＴＮ液晶を用いる場合には、位相板１１０は必
須の要素ではないが、ＬＣＤの視野角を広げる効果があ
るので用いた方がよい。
わたって第２の透明電極１０７が均一に形成されてい
る。なお、表面の平滑性を向上させるために、カラーフ
ィルタ１１３ａ〜１１３ｃと第２の透明電極１０７との
間に、さらに保護層を設けてもよい。透明基板１０８
の、基板１０１とは反対側の面上には、散乱板１０９、
位相板１１０、および偏光板１１１が順次貼り合わされ
ている。ＴＮ液晶を用いる場合には、位相板１１０は必
須の要素ではないが、ＬＣＤの視野角を広げる効果があ
るので用いた方がよい。
【００４３】このように構成された反射型ＬＣＤでは、
第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃと第２の透明電極１
０７との間に印加する電圧により、液晶を駆動すること
ができる。特に本実施の形態では、画像パターンに忠実
な電圧を液晶に加えることができる。すなわち、ゲート
電極の電圧がＨＩＧＨの期間にＴＦＴのソース・ドレイ
ン間が導通になってソース電圧が画素電極すなわち第１
の透明電極１０５ａ〜１０５ｃに伝達され、ゲート電圧
がＬＯＷになるとソース・ドレイン間が遮断されて、直
前に第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃに伝達された電
圧がそのまま保持される。したがってよく知られている
ように、ゲート電極およびソース電極に供給する電圧を
外部の駆動回路から適切に制御することによって、表示
したい画像パターンに正確に対応した電圧を各画素電極
に供給することができる。
第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃと第２の透明電極１
０７との間に印加する電圧により、液晶を駆動すること
ができる。特に本実施の形態では、画像パターンに忠実
な電圧を液晶に加えることができる。すなわち、ゲート
電極の電圧がＨＩＧＨの期間にＴＦＴのソース・ドレイ
ン間が導通になってソース電圧が画素電極すなわち第１
の透明電極１０５ａ〜１０５ｃに伝達され、ゲート電圧
がＬＯＷになるとソース・ドレイン間が遮断されて、直
前に第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃに伝達された電
圧がそのまま保持される。したがってよく知られている
ように、ゲート電極およびソース電極に供給する電圧を
外部の駆動回路から適切に制御することによって、表示
したい画像パターンに正確に対応した電圧を各画素電極
に供給することができる。
【００４４】この構成によると、従来のＬＣＤの反射電
極に見られたような組立の途中における傷付きが生じに
くく、その検査や取り扱いが容易である。また、反射膜
１０２ａ〜１０２ｃを酸またはアルカリに対する耐性が
弱いＡｌを使用して形成した場合であっても、液晶セル
組立プロセスでの耐薬品性が良好であり、さらに湿中負
荷の信頼性を確保できる。
極に見られたような組立の途中における傷付きが生じに
くく、その検査や取り扱いが容易である。また、反射膜
１０２ａ〜１０２ｃを酸またはアルカリに対する耐性が
弱いＡｌを使用して形成した場合であっても、液晶セル
組立プロセスでの耐薬品性が良好であり、さらに湿中負
荷の信頼性を確保できる。
【００４５】そして、１枚偏光板方式の特徴を保ったま
まアクティブマトリックスによるさらなる高品質表示が
実現できる。 （実施の形態７）本発明の第７の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図７の断面図を参照しながら説明
する。図７において、図５に示した第６の実施の形態に
おける構成要素と同様の作用をする要素には同じ符号を
付した。
まアクティブマトリックスによるさらなる高品質表示が
実現できる。 （実施の形態７）本発明の第７の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図７の断面図を参照しながら説明
する。図７において、図５に示した第６の実施の形態に
おける構成要素と同様の作用をする要素には同じ符号を
付した。
【００４６】本実施の形態も、基板１０１の上にアクテ
ィブマトリックスアレーを形成する。アクティブマトリ
ックスアレーの構成と働きは、第６の実施の形態におけ
るそれと同じである。第６の実施の形態と異なるところ
は、反射膜１０２ａ〜１０２ｃの上に新たに層間絶縁膜
１３８を設け、さらにその上の、ゲート電極１３２ａ〜
１３２ｃを反射膜１０２ａ〜１０２ｃ直上の領域を除い
た領域に、ゲート電極１３２ａ〜１３２ｃを選択的に形
成したことにある。このように反射膜１０２ａ〜１０２
ｃとゲート電極１３２ａ〜１３２ｃとの間に層間絶縁膜
１３８を介在させたので、アクティブマトリックスの構
成要素であるゲート電極１３２ａ〜１３２ｃおよび反射
膜１０２ａ〜１０２ｃの材料を独立に選択することがで
きる。これにより、それぞれの機能を発揮するための最
適の材料を用いることができ、より高性能の反射型ＬＣ
Ｄを作ることができる。
ィブマトリックスアレーを形成する。アクティブマトリ
ックスアレーの構成と働きは、第６の実施の形態におけ
るそれと同じである。第６の実施の形態と異なるところ
は、反射膜１０２ａ〜１０２ｃの上に新たに層間絶縁膜
１３８を設け、さらにその上の、ゲート電極１３２ａ〜
１３２ｃを反射膜１０２ａ〜１０２ｃ直上の領域を除い
た領域に、ゲート電極１３２ａ〜１３２ｃを選択的に形
成したことにある。このように反射膜１０２ａ〜１０２
ｃとゲート電極１３２ａ〜１３２ｃとの間に層間絶縁膜
１３８を介在させたので、アクティブマトリックスの構
成要素であるゲート電極１３２ａ〜１３２ｃおよび反射
膜１０２ａ〜１０２ｃの材料を独立に選択することがで
きる。これにより、それぞれの機能を発揮するための最
適の材料を用いることができ、より高性能の反射型ＬＣ
Ｄを作ることができる。
【００４７】また図７では反射膜１０２ａ〜１０２ｃを
絵素毎に分離した構成を示しているが、工程を簡略化す
るために、反射膜を表示領域全体にわたって均一に作製
してもよい。これ以外のＬＣＤの構成要素である透明基
板、および液晶層等の配置は上述した例と同じであるの
で、説明を省略する。
絵素毎に分離した構成を示しているが、工程を簡略化す
るために、反射膜を表示領域全体にわたって均一に作製
してもよい。これ以外のＬＣＤの構成要素である透明基
板、および液晶層等の配置は上述した例と同じであるの
で、説明を省略する。
【００４８】この構成によると、反射膜１０２ａ〜１０
２ｃが層間絶縁膜１３８とゲート絶縁膜１３３とによっ
て二重に覆われているため、反射膜１０２ａ〜１０２ｃ
の保護の効果が高い。また表示品位をより高めることが
できる。 （実施の形態８）本発明の第８の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図８の断面図を参照しながら説明
する。図８において、図５に示した第６の実施の形態に
おける構成要素と同様の作用をする要素には同じ符号を
付した。
２ｃが層間絶縁膜１３８とゲート絶縁膜１３３とによっ
て二重に覆われているため、反射膜１０２ａ〜１０２ｃ
の保護の効果が高い。また表示品位をより高めることが
できる。 （実施の形態８）本発明の第８の実施の形態における反
射型ＬＣＤについて、図８の断面図を参照しながら説明
する。図８において、図５に示した第６の実施の形態に
おける構成要素と同様の作用をする要素には同じ符号を
付した。
【００４９】本実施の形態においても、基板１０１の上
にアクティブマトリックスアレーを形成する。その構成
は第６の実施の形態と同様であるが、本実施の形態で
は、さらにその上に重ねてカラーフィルタ１０３ａ〜１
０３ｃとブラックマトリックス膜１３１ａ〜１３１ｃを
形成した、いわゆるＣＦＯＡ（Color Filter on Arra
y）構造であるところがもっとも異なっている。そし
て、そのカラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃ上に画素電
極すなわち第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃが形成さ
れている。第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃとドレイ
ン電極１３６ａ等が、カラーフィルタ１０３ａ〜１０３
ｃを貫通して開けられたコンタクト窓を通して接続され
ている。なお、表面の平滑性を向上させるため、および
分離層としての効果を高めるためにカラーフィルタ１０
３ａ〜１０３ｃと第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃと
の間にさらに保護層を設けてもよい。
にアクティブマトリックスアレーを形成する。その構成
は第６の実施の形態と同様であるが、本実施の形態で
は、さらにその上に重ねてカラーフィルタ１０３ａ〜１
０３ｃとブラックマトリックス膜１３１ａ〜１３１ｃを
形成した、いわゆるＣＦＯＡ（Color Filter on Arra
y）構造であるところがもっとも異なっている。そし
て、そのカラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃ上に画素電
極すなわち第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃが形成さ
れている。第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃとドレイ
ン電極１３６ａ等が、カラーフィルタ１０３ａ〜１０３
ｃを貫通して開けられたコンタクト窓を通して接続され
ている。なお、表面の平滑性を向上させるため、および
分離層としての効果を高めるためにカラーフィルタ１０
３ａ〜１０３ｃと第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃと
の間にさらに保護層を設けてもよい。
【００５０】図８に示すように、各画素電極すなわち第
１の透明電極１０５に対応する領域には、Ａｌからなる
反射膜１０２ａ〜１０２ｃが形成されている。反射膜１
０２ａ〜１０２ｃの上にゲート絶縁膜１３３が形成さ
れ、その上にカラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃとブラ
ックマトリックス膜１３１ａ〜１３１ｃが形成され、さ
らにその上に第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃが配置
されて、第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃと反射膜１
０２ａ〜１０２ｃとが電気的にも物理的にも完全に分離
されている。
１の透明電極１０５に対応する領域には、Ａｌからなる
反射膜１０２ａ〜１０２ｃが形成されている。反射膜１
０２ａ〜１０２ｃの上にゲート絶縁膜１３３が形成さ
れ、その上にカラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃとブラ
ックマトリックス膜１３１ａ〜１３１ｃが形成され、さ
らにその上に第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃが配置
されて、第１の透明電極１０５ａ〜１０５ｃと反射膜１
０２ａ〜１０２ｃとが電気的にも物理的にも完全に分離
されている。
【００５１】さらに、基板１０１と対向する透明基板１
０８との間に、液晶層１０６が挟持されている。液晶層
１０６にはＴＮ液晶が用いられる。透明基板１０８の、
基板１０１側の面上には、第２の透明電極１０７が表示
領域の全体にわたって均一に形成されている。透明基板
１０８の、基板１０１とは反対側の面上には、散乱板１
０９、位相板１１０、および偏光板１１１が順次重ねて
貼り合わされている。
０８との間に、液晶層１０６が挟持されている。液晶層
１０６にはＴＮ液晶が用いられる。透明基板１０８の、
基板１０１側の面上には、第２の透明電極１０７が表示
領域の全体にわたって均一に形成されている。透明基板
１０８の、基板１０１とは反対側の面上には、散乱板１
０９、位相板１１０、および偏光板１１１が順次重ねて
貼り合わされている。
【００５２】このように構成された反射型ＬＣＤでは、
反射膜１０２ａ〜１０２ｃを含む基板１０１の上にカラ
ーフィルタが配置されているので、視差による画質の低
下が全くなく、かつアクティブマトリックスによる正確
な電圧供給がされるので、より品質の優れた表示が実現
できる。勿論、耐薬品性、信頼性も高いことはいうまで
もない。
反射膜１０２ａ〜１０２ｃを含む基板１０１の上にカラ
ーフィルタが配置されているので、視差による画質の低
下が全くなく、かつアクティブマトリックスによる正確
な電圧供給がされるので、より品質の優れた表示が実現
できる。勿論、耐薬品性、信頼性も高いことはいうまで
もない。
【００５３】（実施の形態９）本発明の第９の実施の形
態における反射型ＬＣＤについて、図９の断面図を参照
しながら説明する。図９において、図８に示した第８の
実施の形態における構成要素と同様の作用をする要素に
は同じ符号を付した。本実施の形態では、透明基板側に
アクティブマトリックスアレーを形成した場合について
述べる。
態における反射型ＬＣＤについて、図９の断面図を参照
しながら説明する。図９において、図８に示した第８の
実施の形態における構成要素と同様の作用をする要素に
は同じ符号を付した。本実施の形態では、透明基板側に
アクティブマトリックスアレーを形成した場合について
述べる。
【００５４】まず基板１０１の上に、表示部に対応する
領域にＡｌからなる反射膜１０２が形成されている。つ
いで反射膜１０２の上にストライプ状のカラーフィルタ
１０３ａ〜１０３ｃとブラックマトリックス膜１３１ａ
〜１３１ｃとが交互に位置するよう選択的に形成され、
その上に第１の透明電極１０５が表示領域の全体にわた
って均一に形成されている。第１の透明電極１０５を形
成する前に、必要に応じてカラーフィルタ１０３ａ〜１
０３ｃを保護層で覆っておいてもよい。
領域にＡｌからなる反射膜１０２が形成されている。つ
いで反射膜１０２の上にストライプ状のカラーフィルタ
１０３ａ〜１０３ｃとブラックマトリックス膜１３１ａ
〜１３１ｃとが交互に位置するよう選択的に形成され、
その上に第１の透明電極１０５が表示領域の全体にわた
って均一に形成されている。第１の透明電極１０５を形
成する前に、必要に応じてカラーフィルタ１０３ａ〜１
０３ｃを保護層で覆っておいてもよい。
【００５５】反射膜１０２と第１の透明電極１０５と
が、カラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃとブラックマト
リックス膜１３１ａ〜１３１ｃにより電気的に絶縁され
る。これにより、パターニング時の電気化学反応による
透明電極１０５の腐食を防止することができる。基板１
０１と対向する透明基板１０８との間に、液晶層１０６
が挟持されている。液晶層１０６にはアクティブマトリ
ックスに適したＴＮ液晶が用いられる。
が、カラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃとブラックマト
リックス膜１３１ａ〜１３１ｃにより電気的に絶縁され
る。これにより、パターニング時の電気化学反応による
透明電極１０５の腐食を防止することができる。基板１
０１と対向する透明基板１０８との間に、液晶層１０６
が挟持されている。液晶層１０６にはアクティブマトリ
ックスに適したＴＮ液晶が用いられる。
【００５６】本実施の形態が第６の実施の形態と相違す
る点は、アクティブマトリックスアレーが透明基板１０
８側に形成され、カラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃが
基板１０１側に設けられたところにある。アクティブマ
トリックスアレーが、第６の実施の形態と同様であり、
図９に示すようにゲート電極１３２ａ〜１３２ｃ、ゲー
ト絶縁膜１３３、水素化アモルファスシリコンからなる
半導体膜１３４ａ〜１３４ｃ、ソース電極１３５ａ〜１
３５ｃ、および、ドレイン電極１３６ａ〜１３６ｃで構
成されている。そして、各ＴＦＴ１３７ａ〜１３７ｃの
各ドレイン電極１３６ａ〜１３６ｃには、画素電極であ
る第２の透明電極１０７ａ〜１０７ｃが接続されてい
る。第２の透明電極１０７ａ〜１０７ｃが、基板１０１
上のカラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃに対応する位置
に配置されている。
る点は、アクティブマトリックスアレーが透明基板１０
８側に形成され、カラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃが
基板１０１側に設けられたところにある。アクティブマ
トリックスアレーが、第６の実施の形態と同様であり、
図９に示すようにゲート電極１３２ａ〜１３２ｃ、ゲー
ト絶縁膜１３３、水素化アモルファスシリコンからなる
半導体膜１３４ａ〜１３４ｃ、ソース電極１３５ａ〜１
３５ｃ、および、ドレイン電極１３６ａ〜１３６ｃで構
成されている。そして、各ＴＦＴ１３７ａ〜１３７ｃの
各ドレイン電極１３６ａ〜１３６ｃには、画素電極であ
る第２の透明電極１０７ａ〜１０７ｃが接続されてい
る。第２の透明電極１０７ａ〜１０７ｃが、基板１０１
上のカラーフィルタ１０３ａ〜１０３ｃに対応する位置
に配置されている。
【００５７】透明基板１０８の、基板１０１側とは反対
側の面には、散乱板１０９、位相板１１０、および偏光
板１１１がこの順序で重ねて貼り合わされている。この
構成においても、これまでの実施の形態と同様に、１枚
偏光板方式の特徴が保たれ、アクティブマトリックスな
らではの高画質、高輝度、高色純度という特徴を備え、
しかもプロセサビリティ、耐薬品性、信頼性に優れたカ
ラー反射型ＬＣＤを実現することができる。
側の面には、散乱板１０９、位相板１１０、および偏光
板１１１がこの順序で重ねて貼り合わされている。この
構成においても、これまでの実施の形態と同様に、１枚
偏光板方式の特徴が保たれ、アクティブマトリックスな
らではの高画質、高輝度、高色純度という特徴を備え、
しかもプロセサビリティ、耐薬品性、信頼性に優れたカ
ラー反射型ＬＣＤを実現することができる。
【００５８】なお、以上の各実施の形態において、アク
ティブマトリックスアレーの能動素子としてアモルファ
スシリコンＴＦＴを用いたものを示したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、ポリシリコンＴＦＴであ
ってもよい。また、ＴＦＴの構造としてゲート電極が半
導体膜の下方に位置するボトムゲート型を示したが、ゲ
ートが半導体膜の上方に位置するトップゲート型あるい
はコプレーナ型であってもよい。さらに、能動素子とし
てはＭＩＭ（Metal-Insulator-Metal）などのダイオー
ドでもよいことはいうまでもない。
ティブマトリックスアレーの能動素子としてアモルファ
スシリコンＴＦＴを用いたものを示したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、ポリシリコンＴＦＴであ
ってもよい。また、ＴＦＴの構造としてゲート電極が半
導体膜の下方に位置するボトムゲート型を示したが、ゲ
ートが半導体膜の上方に位置するトップゲート型あるい
はコプレーナ型であってもよい。さらに、能動素子とし
てはＭＩＭ（Metal-Insulator-Metal）などのダイオー
ドでもよいことはいうまでもない。
【００５９】
【発明の効果】以上のように本発明の反射型ＬＣＤで
は、対向させて配置した基板と透明基板との間に液晶層
が配置され、基板の内側面上には第１の透明電極、分離
層またはその機能を担うカラーフィルタまたはゲート絶
縁膜、および反射膜が形成されている。透明基板の内側
面上には第２の透明電極が配置され、反射膜と第１の透
明電極とが互いに電気的、物理的に分離されている。こ
のように反射膜で構成される反射面をセル内に配置した
ことで、本発明のＬＣＤは１枚偏光板方式の特徴を保持
する。そして、反射膜を保護層で覆っているため、従来
の構造のＬＣＤに見られたような、組立の途中における
反射電極表面の傷付きが発生するというおそれがなくな
り、その検査や取り扱いが容易でなるだけでなく、耐薬
品性、信頼性にも優れる。さらにアクティブマトリック
スと組合せることにより、従来に比べて高輝度で表示品
位の優れた反射型ＬＣＤを実現することができる。
は、対向させて配置した基板と透明基板との間に液晶層
が配置され、基板の内側面上には第１の透明電極、分離
層またはその機能を担うカラーフィルタまたはゲート絶
縁膜、および反射膜が形成されている。透明基板の内側
面上には第２の透明電極が配置され、反射膜と第１の透
明電極とが互いに電気的、物理的に分離されている。こ
のように反射膜で構成される反射面をセル内に配置した
ことで、本発明のＬＣＤは１枚偏光板方式の特徴を保持
する。そして、反射膜を保護層で覆っているため、従来
の構造のＬＣＤに見られたような、組立の途中における
反射電極表面の傷付きが発生するというおそれがなくな
り、その検査や取り扱いが容易でなるだけでなく、耐薬
品性、信頼性にも優れる。さらにアクティブマトリック
スと組合せることにより、従来に比べて高輝度で表示品
位の優れた反射型ＬＣＤを実現することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄの断面図
Ｄの断面図
【図２】本発明の第２の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄの断面図
Ｄの断面図
【図３】本発明の第３、第４の実施の形態における反射
型ＬＣＤの断面図
型ＬＣＤの断面図
【図４】本発明の第５の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄの断面図
Ｄの断面図
【図５】本発明の第６の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄの断面図
Ｄの断面図
【図６】本発明の第６の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄのアクティブマトリックスアレーの平面図
Ｄのアクティブマトリックスアレーの平面図
【図７】図７は本発明の第７の実施の形態における反射
型ＬＣＤの断面図
型ＬＣＤの断面図
【図８】本発明の第８の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄの断面図
Ｄの断面図
【図９】本発明の第９の実施の形態における反射型ＬＣ
Ｄの断面図
Ｄの断面図
【図１０】従来の反射型ＬＣＤの断面図
１０１ 基板
１０２ａ〜１０２ｃ 反射膜
１０３ａ〜１０３ｆ カラーフィルタ
１０４ 保護層
１０５ａ〜１０５ｆ 第１の透明電極
１０６ 液晶層
１０７ａ〜１０７ｆ 第２の透明電極
１０８ 透明基板
１０９ 散乱板
１１０ 位相板
１１１ 偏光板
１１２ 絶縁層
１１３ａ〜１１３ｆ カラーフィルタ
１１４ 保護層
１２０ 分離層
１３１ａ〜１３１ｃ ブラックマトリックス
１３２ａ〜１３２ｃ ゲート電極
１３３ ゲート絶縁膜
１３４ａ 半導体膜
１３５ａ〜１３５ｃ ソース電極
１３６ａ ドレイン電極
１３７ａ〜１３７ｃ ＴＦＴ
１３８ 層間絶縁膜
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平６−18874（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−220532（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−185082（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−258217（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−133199（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−197860（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−197863（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−133425（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−31824（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−6026（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02F 1/1335
G02F 1/1343
Claims (5)
- 【請求項１】基板、透明基板、前記基板と前記透明基板
との間に挟持された液晶層、前記液晶層と前記基板との
間に前記液晶層側から順に形成された第１の透明電極と
アクティブマトリクスアレーと反射膜、および、前記透
明基板と前記液晶層との間に含まれる第２の透明電極を
備え、前記反射膜と前記第１の透明電極とが前記アクテ
ィブマトリクスアレーによって電気的および物理的に互
いに分離されていることを特徴とする反射型液晶表示装
置。 - 【請求項２】基板、透明基板、前記基板と前記透明基板
との間に挟持された液晶層、前記液晶層と前記基板との
間に前記液晶層側から順に形成された第１の透明電極と
複数のカラーフィルタと反射膜、および、前記液晶層と
透明基板との間に液晶層側から順に配置された第２の透
明電極とアクティブマトリックスアレーを備え、前記反
射膜と前記第１の透明電極とが前記カラーフィルタによ
って電気的および物理的に互いに分離されていることを
特徴とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項３】アクティブマトリックスアレーは、ゲート
電極、ゲート絶縁膜、および半導体膜を備え、前記反射
膜と前記第１の透明電極とが前記ゲート絶縁膜によって
電気的および物理的に分離されていることを特徴とする
請求項１記載の反射型液晶表示装置。 - 【請求項４】ゲート電極および反射膜は同一の材料で同
一のレベルに形成されていることを特徴とする請求項３
記載の反射型液晶表示装置。 - 【請求項５】反射膜は、層間絶縁膜を挟んで前記ゲート
電極と異なるレベルに形成されていることを特徴とする
請求項３記載の反射型液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26257998A JP3417312B2 (ja) | 1997-09-17 | 1998-09-17 | 反射型液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25120197 | 1997-09-17 | ||
| JP9-251201 | 1997-09-17 | ||
| JP26257998A JP3417312B2 (ja) | 1997-09-17 | 1998-09-17 | 反射型液晶表示装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002165795A Division JP2003075830A (ja) | 1997-09-17 | 2002-06-06 | 反射型液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160698A JPH11160698A (ja) | 1999-06-18 |
| JP3417312B2 true JP3417312B2 (ja) | 2003-06-16 |
Family
ID=17219200
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26257998A Expired - Lifetime JP3417312B2 (ja) | 1997-09-17 | 1998-09-17 | 反射型液晶表示装置 |
| JP2002165795A Pending JP2003075830A (ja) | 1997-09-17 | 2002-06-06 | 反射型液晶表示装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002165795A Pending JP2003075830A (ja) | 1997-09-17 | 2002-06-06 | 反射型液晶表示装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6122027A (ja) |
| EP (1) | EP0903613B1 (ja) |
| JP (2) | JP3417312B2 (ja) |
| KR (1) | KR19990029903A (ja) |
| CN (1) | CN1198248C (ja) |
| DE (1) | DE69810408T2 (ja) |
| TW (1) | TW546512B (ja) |
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| WO1999053369A1 (fr) * | 1998-04-08 | 1999-10-21 | Seiko Epson Corporation | Afficheur a cristaux liquides et dispositif electronique |
| JP3085530B2 (ja) * | 1998-11-18 | 2000-09-11 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
| TW548484B (en) * | 1999-07-16 | 2003-08-21 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display device, electronic apparatus and substrate for liquid crystal device |
| EP1156359A4 (en) * | 1999-11-24 | 2004-03-31 | Citizen Watch Co Ltd | LIQUID CRYSTAL DISPLAY |
| JP4717231B2 (ja) * | 2001-02-26 | 2011-07-06 | オプトレックス株式会社 | 反射型液晶表示パネル用マザー基板 |
| KR100790352B1 (ko) * | 2001-05-22 | 2008-01-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 반사형과 반사투과형 액정표시장치와 그 제조방법 |
| JP2003090997A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-03-28 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタ基板及び電気光学装置、カラーフィルタ基板の製造方法及び電気光学装置の製造方法並びに電子機器 |
| JP3873827B2 (ja) * | 2001-07-26 | 2007-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置及び電子機器 |
| JP3610967B2 (ja) * | 2001-07-27 | 2005-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、カラーフィルタ基板及び電子機器 |
| TW574533B (en) * | 2001-10-23 | 2004-02-01 | Au Optronics Corp | Liquid crystal display device structure |
| TWI227340B (en) * | 2002-02-25 | 2005-02-01 | Himax Tech Inc | Color filter and liquid crystal display |
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| JP4087620B2 (ja) * | 2002-03-01 | 2008-05-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
| JP4237442B2 (ja) * | 2002-03-01 | 2009-03-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半透過型液晶表示装置 |
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| KR101007719B1 (ko) * | 2003-07-31 | 2011-01-13 | 삼성전자주식회사 | 컬러필터기판 및 이를 갖는 액정표시장치 |
| JP4428330B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2010-03-10 | エプソンイメージングデバイス株式会社 | 電気光学装置、および電子機器 |
| JP2007140565A (ja) * | 2007-02-23 | 2007-06-07 | Kyocera Corp | 液晶表示装置 |
| TWI613489B (zh) | 2008-12-03 | 2018-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 液晶顯示裝置 |
| JP2011002855A (ja) * | 2010-09-22 | 2011-01-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置 |
| TWI490830B (zh) * | 2011-03-22 | 2015-07-01 | 群創光電股份有限公司 | 顯示模組及應用其之顯示器 |
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| WO2017195323A1 (ja) * | 2016-05-12 | 2017-11-16 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
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| KR20210054154A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-13 | 현대위아 주식회사 | 공작기계용 도어 |
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