JP3408234B2 - 半導体集積回路およびそれを備えたデジタルカメラ - Google Patents

半導体集積回路およびそれを備えたデジタルカメラ

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    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体集積回路
およびそれを備えたデジタルカメラに関し、より特定的
には、CPUなどの大規模マクロセル部を含む半導体集
積回路およびそれを備えたデジタルカメラに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、一つの半導体基板上に、CPUな
どの大規模マクロセル部を核として、その周辺に目的と
するシステム(たとえば、デジタルカメラ)の仕様に応
じた論理回路を形成する半導体集積回路が知られてい
る。また、上記のような半導体集積回路を形成する際に
用いられる一つの方法として、従来、CAD(Comp
uter Aided Design)を使用して特定
用途向けのデバイスを簡単に実現するASIC(App
licationSpecific Integrat
ed Circuit)が知られている。このASIC
の設計手法として、ゲートアレイ、スタンダードセルお
よびエンベデッドアレイの各方式が、セミカスタムLS
Iを効率よく設計するものとして従来から知られてい
る。
【0003】ゲートアレイ方式は、トランジスタをアレ
イ状に敷き詰めた基本セルを配列しておき、この基本セ
ルに配線を施して論理回路を形成する方式である。この
ゲートアレイ方式では、製造工程が配線工程だけで済む
ので、設計完了からサンプル試作までの期間であるTA
T(Turn Around Time)が短くなると
いう長所がある。
【0004】しかしながら、このゲートアレイ方式で
は、CPUやメモリなどの大規模なマクロセル部を構成
することができないという短所がある。その一方、その
ような大規模マクロセル部を容易に実現する手法とし
て、スタンダードセル方式がある。スタンダードセル方
式は、最適設計した検証済みの論理回路セルやマクロセ
ル部をCADの設計データベースに予め登録しておき、
この論理回路セルやマクロセル部をCADを使用して任
意に組み合わせて構成する方式である。このスタンダー
ドセル方式では、トランジスタ形成工程から品種固有の
マスクを使うため、設計が完了するまで製造が開始でき
ないという欠点がある。このため、スタンダードセル方
式では、ゲートアレイ方式に比べてTATが長くなると
いう不都合がある。
【0005】そこで、ゲートアレイのランダムロジック
部に、スタンダードセルのマクロセル部を埋め込んだ構
造を有するエンベデッドアレイ方式が提案されている。
このエンベデッドアレイ方式は、ゲートアレイ方式とス
タンダードセル方式との両方の長所を取り入れたもので
ある。すなわち、このエンベデッドアレイは、ランダム
ロジック部のゲート数や、内蔵するマクロセル部の種類
を決定した後、直ちにウェーハの製造を開始して配線工
程の前まで製造を進めておく。この状態で、論理設計の
完成を待つ。論理シミュレーション終了後は、ランダム
ロジック部に配線を施すだけで完成する。
【0006】つまり、このエンベデッドアレイ方式で
は、スタンダードセルのマクロセル部は予め登録されて
いるので、マクロセル部以外の部分が設計対象となる。
このため、スタンダードセルの各マクロセル部をトラン
ジスタ単位のレベルまで具体化する必要がないので、ス
タンダードセルに対してTATを短縮することができ
る。また、ランダムロジック部の回路を変更する場合は
配線工程のみで対応することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のエンベ
デッドアレイ方式では、半導体集積回路全体の配置配線
を行う際に、マクロセル部は、マクロセル部に接続する
入出力ポートや電源ポートと、マクロセル部の大きさを
表す境界情報とのみをパターン情報として持つブラック
ボックスとして扱われる。すなわち、従来のエンベデッ
ドアレイ方式では、データ量を少なくするために、マク
ロセル部の内部の詳細情報を考慮せずに、マクロセル部
の大きさを表す境界情報のみに基づいて、ランダムロジ
ック部の配線設計を行っていた。そのため、ランダムロ
ジック部に配線を施す際に、スタンダードセルのマクロ
セル部上に配線を設けると、マクロセル部内の内部配線
と接触して短絡する恐れがある。
【0008】このため、従来では、図12に示すよう
に、ランダムロジック部151に配線を施す際に、マク
ロセル部153を、ランダムロジック部151の配線1
52の禁止領域とすることによって、配線152がマク
ロセル部153を迂回するように設ける必要があった。
その結果、従来では、マクロセル部153の周辺での配
線効率が下がり、高集積化の障害となるという問題点が
あった。また、配線152の配線長が長くなって配線容
量が増加し、その結果、回路動作の高速化が阻害される
という問題点もあった。
【0009】この発明の一つの目的は、高集積化および
高速化が可能な半導体集積回路を提供することである。
この発明のもう一つの目的は、半導体集積回路のロジッ
ク部の配線長を短くして配線容量を低減することであ
る。この発明のさらにもう一つの目的は、上記したよう
な半導体集積回路を備えるデジタルカメラを提供するこ
とである。
【0010】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明の一の局面における半導体集積回路は、マクロセル部
と、マクロセル部の周辺に形成されたロジック部とを備
えている。そして、マクロセル部は、ロジック部内の配
線を設けるためのロジック配線領域を含む。この一の局
面による半導体集積回路では、マクロセル部がロジック
部内の配線を設けるためのロジック配線領域を含むよう
に構成することによって、ロジック部内の配線をマクロ
セル部内に設けることができる。これにより、ロジック
部の配線がマクロセル部を迂回しなければならない確率
を低下させることができる。それにより、ロジック部の
配線の配線長が短くなって配線容量を低減することがで
きるとともに、マクロセル部周辺で配線が混雑するのを
防止することができる。その結果、回路動作の高速化を
図ることができるとともに、半導体集積回路の高集積化
を図ることができる。
【0011】この一の局面による半導体集積回路におい
て、好ましくは、マクロセル部のロジック配線領域は、
マクロセル部の内部配線が実質的に存在しない領域を含
む。このようにすれば、マクロセル部のロジック配線領
域にロジック部の配線を設けた場合に、ロジック部の配
線とマクロセル部の内部配線とが接触することがない。
なお、マクロセル部のロジック配線領域は、ロジック配
線を設けるために支障のない程度にマクロセル部の内部
配線が設けられた領域を含むようにしてもよい。このよ
うにしても、マクロセル部のロジック配線領域にロジッ
ク部の配線を設けることができる。
【0012】また、この一の局面による半導体集積回路
において、好ましくは、マクロセル部のロジック配線領
域は、マクロセル部の周縁部に設けられている。ここ
で、マクロセル部の内部配線は、周縁部よりも中央部側
の方が混雑する傾向にあるので、このようにロジック配
線領域をマクロセル部の周縁部に設けるようにすれば、
マクロセル部の設計が容易になる。この場合、好ましく
は、ロジック配線領域は、マクロセル部のコーナー部、
上縁部および下縁部に設けられている。また、ロジック
配線領域は、マクロセル部の周縁部に沿って周縁部の全
域に設けられていてもよい。また、ロジック配線領域
は、マクロセル部のコーナー部および両側縁部に設けら
れていてもよい。
【0013】また、この一の局面による半導体集積回路
において、マクロセル部のロジック配線領域は、マクロ
セル部の中央部に帯状に設けられていてもよい。また、
この一の局面による半導体集積回路において、好ましく
は、マクロセル部およびロジック部は、それぞれ、多層
配線構造を有し、ロジック配線領域は、マクロセル部の
少なくとも1つの層に設けられている。このようにマク
ロセル部を多層配線構造にすれば、マクロセル部内に、
容易にロジック配線領域を設けることができる。この場
合、好ましくは、ロジック配線領域は、マクロセル部の
複数の層に渡って設けられている。
【0014】また、この一の局面による半導体集積回路
において、好ましくは、マクロセル部およびロジック部
は、それぞれ、多層配線構造を有し、ロジック配線領域
は、マクロセル部の所定の層のほぼ全域に渡って設けら
れている。このように、多層配線構造にすることを前提
として、ロジック配線領域を、マクロセル部の所定の層
のほぼ全域に渡って設けることが可能となる。これによ
り、ロジック部の配線がマクロセル部を迂回しなければ
ならない確率をほぼ0にすることができる。それによ
り、ロジック部の配線の総配線長が短くなって配線容量
をより低減することができるとともに、マクロセル部周
辺で配線が混雑するのをより有効に防止することができ
る。その結果、回路動作をより高速化することができる
とともに、半導体集積回路をより高集積化することがで
きる。
【0015】また、この一の局面による半導体集積回路
において、好ましくは、マクロセル部およびロジック部
は、それぞれ、多層配線構造を有し、マクロセル部のロ
ジック配線領域に設けられるロジック部の配線と、マク
ロセル部の内部配線とは、同一の層から形成されてい
る。このようにすれば、マクロセル部のロジック配線領
域に設けられるロジック部の配線と、マクロセル部の内
部配線とを同時に形成することができるので、製造プロ
セスを簡略化することができる。
【0016】また、この一の局面による半導体集積回路
において、好ましくは、マクロセル部およびロジック部
は、それぞれ、多層配線構造を有し、マクロセル部のロ
ジック配線領域に設けられるロジック部の配線の下地面
と、マクロセル部のロジック配線領域の上面とは、ほぼ
同じ高さを有する。このようにすれば、マクロセル部の
ロジック配線領域に設けられるロジック部の配線と、マ
クロセル部のロジック配線領域との間に段差が発生する
のを有効に防止することができる。その結果、ロジック
部の配線をマクロセル部のロジック配線領域に無理なく
通過させることができる。
【0017】この発明の他の局面によるデジタルカメラ
は、マクロセル部と、マクロセル部の周辺に形成された
ロジック部とを含む半導体集積回路を備えている。そし
て、マクロセル部は、ロジック部内の配線を設けるため
のロジック配線領域を含む。このように構成すれば、ロ
ジック部内の配線をマクロセル部のロジック配線領域に
設けることができる。これにより、ロジック部の配線が
マクロセル部を迂回する確率を低下させることができ
る。それにより、配線長が短くなって配線容量を低減す
ることができるとともに、マクロセル部周辺で配線が混
雑するのを防止することができる。その結果、回路動作
の高速化と、半導体集積回路の高集積化とを図ることが
可能なデジタルカメラを提供することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。 (第1実施形態)図1および図2を参照して、本発明の
第1実施形態による半導体集積回路1では、大規模マク
ロセル部2と、ランダムロジック部3とを備えている。
マクロセル部2は、スタンダードセル方式で設計したR
ISC−CPU、CISC−CPU、RAM、ROMな
どを構成する。ランダムロジック部3は、マクロセル部
2の周辺に設けられており、ゲートアレイ方式(マスタ
スライス方式を含む)によって設計されたものである。
すなわち、半導体集積回路1は、1つの半導体基板上に
おいて、ゲートアレイのランダムロジック部3に、スタ
ンダードセルのマクロセル部2を組み込んだエンベデッ
ドアレイ方式による特定用途向けのASICである。
【0019】マクロセル部2は、図2に示すように、基
本的には、5層の内部配線5a、5b、5c、5dおよ
び5eを有している。各内部配線5a〜5eは、それぞ
れ、層間絶縁膜4a、4b、4c、4dおよび4eによ
って絶縁されている。また、4層目の内部配線5dおよ
び5層目の内部配線5eをマクロセル部2内の中央側に
集約させることによって、4層目および5層目における
マクロセル部2の四隅(隅角部)、上縁部および下縁部
に内部配線5が存在しない領域6(以下、内部非配線領
域6という)を形成している。すなわち、マクロセル部
2は、1層目〜5層目の内部配線領域7と、4層目およ
び5層目の四隅(隅角部)、上縁部および下縁部に位置
する内部非配線領域6とによって構成されている。そし
て、内部配線領域7において内部配線5a〜5eを接続
して論理を完成させることによって、マクロセルとして
の機能を実現させている。
【0020】ランダムロジック部3は、各種信号処理機
能を実現するため、たとえば、図3に示すような基本セ
ル8を、たとえば図4に示すような配列・配向で敷き詰
める。そして、各基本セル8上の各トランジスタ9を1
層目の金属配線10aおよび2層目の金属配線10bを
用いて接続することにより、たとえば、フリップフロッ
プ回路、インバータ、バッファ、NAND回路、NOR
回路、AND回路、OR回路、AND−NOR回路、O
R−NAND回路、排他的論理和回路(Exclusi
ve−OR回路)、排他的否定論理和回路(Exclu
sive−NOR回路)、マルチプレクサ、加算器(A
dder)、半加算器(Half−Adder)、レコ
ーダ、ラッチ回路などの各種論理回路を形成している。
【0021】また、ランダムロジック部3は、マクロセ
ル部2と同一プロセスで形成されている。すなわち、ラ
ンダムロジック部3は、マクロセル部2の内部配線領域
7と同様、5層の金属配線構造を有する。ここで、第1
実施形態では、上記のように、マクロセル部の4層目お
よび5層目に内部非配線領域6が設けられている。そし
て、図2に示す断面では、マクロセル部2の4層目の内
部非配線領域6に、ランダムロジック部3の4層目の金
属配線10dを設けている。なお、図1に示す金属配線
のうち、縦方向の金属配線は4層目配線10dによって
形成されており、横方向の金属配線は5層目の金属配線
10eによって形成されている。したがって、図1に示
す100−100線に沿った断面では、図2に示すよう
に、マクロセル部2の非内部配線領域6には、4層目の
縦方向の金属配線10dが現れる。
【0022】次に、上記のような構成を有する第1実施
形態の半導体集積回路1の設計手法について説明する。
エンベデッドアレイでは、各種の機能を実現するための
セル(マクロセル部2やランダムロジック部3の基本セ
ル8など)が、CAD設計データベース上に登録されて
いる。
【0023】半導体集積回路1の設計フローでは、仕様
設計→機能設計→論理設計→回路設計→レイアウト設計
の順序で各設計工程が行われる。仕様設計では、論理L
SIの具体的な用途、価格、目標性能、内蔵機能、従来
品種との互換性といった要素について実現可能性を吟味
する。そして、これらの要素間の整合性を考慮しつつ外
部仕様としてまとめる。
【0024】機能設計では、まず、データの流れと制御
の考え方とを主要ハードウェアと共に表現した機能ブロ
ック図を作成する。そして、この機能ブロック図に基づ
いてハードウェア技術言語を用いて全機能を詳細に記述
した詳細機能記述を作成する。続いて、詳細機能記述を
機能シミュレータにかけて機能検証を行う。論理設計で
は、機能ブロック図および詳細機能記述を具体的なハー
ドウェアに変換してロジック図(ネットリスト)を作成
する。
【0025】レイアウト設計では、まず、ネットリスト
に表現された論理をパターン設計が可能なレベルまで具
体化する回路設計を行って回路図を作成する。そして、
この回路図に基づいてパターン設計を行ってパターン図
を作成する。続いて、そのパターン図に基づいて、回路
図を構成する各素子や素子間を接続する配線を半導体基
板上に具体化するためのマスクを作成する。
【0026】第1実施形態では、このレイアウト設計に
おいて、CADを駆使することによって、マクロセル部
2およびランダムロジック部3のレイアウトを決定す
る。このレイアウト結果を基にして、マスタウェーハの
マスクを作成する。そして、このマスクを用いて通常の
ウェーハプロセスでマスタウェーハを製造する。ここ
で、第1実施形態では、マクロセル部2自体のレイアウ
ト設計の際に、内部非配線領域6を予め設けてもよい
し、マクロセル部2のレイアウト設計の後に、そのマク
ロセル部2の中から内部非配線領域6を見つけだすよう
にしてもよい。その後、この内部非配線領域6の情報に
基づいて、ランダムロジック部3のレイアウト設計を行
う。
【0027】すなわち、マクロセル部2のレイアウト結
果とネットリストとを用い、CADを駆使して、残った
ランダムロジック部3の自動配置配線を行う。このと
き、マクロセル部2における内部配線領域7を、ランダ
ムロジック部3の金属配線10dおよび10eの禁止領
域として設定し、マクロセル部2における内部非配線領
域6を、ランダムロジック部3の金属配線10dおよび
10eの禁止領域として設定しない。これにより、4層
目および5層目の内部非配線領域6に、4層目および5
層目の金属配線10dおよび10eを設けることができ
る。
【0028】そして、この結果を基にマスクを作成す
る。このマスクを用いて、マスタウェーハ上に実際に金
属配線10dおよび10eを形成する。その結果、4層
目および5層目の金属配線10dおよび10eは、図1
に示すように、マクロセル部2を迂回することなく内部
非配線領域6を通過するように設けられる。なお、内部
非配線領域6は、内部配線5が全く存在しないことが望
ましいが、金属配線10dおよび10eが設けられるの
に邪魔にならない程度に内部配線5dおよび5eが存在
していてもよい。
【0029】上記第1実施形態では、ランダムロジック
部3の4層目の金属配線10dおよび5層目の金属配線
10eを、マクロセル部2の内部非配線領域6に設ける
ことができるので、金属配線10dおよび10eがマク
ロセル部2を迂回しなければならない確率が低くなる。
それにより、金属配線10dおよび10eの総配線長が
短くなって配線容量が小さくなるとともに、マクロセル
部2周辺での金属配線10dおよび10eの混雑が緩和
される。その結果、回路動作の高速化が可能となるとと
もに、半導体集積回路1の高集積化が可能となる。
【0030】また、マクロセル部2とランダムロジック
部3とを同一のプロセスによって形成することにより、
各層ごとに両者間の段差がほとんどなくなる。つまり、
マクロセル部2とランダムロジック部3とが同一のプロ
セスによって形成されるので、マクロセル部2の内部非
配線領域6の層間絶縁膜4dおよび4eの上面と、ラン
ダムロジック部3の金属配線10dおよび10eの下地
面である層間絶縁膜4dおよび4eの上面とが同じ高さ
で形成される。その結果、4層目の金属配線10dおよ
び5層目の金属配線10eを、それぞれ、内部非配線領
域6の層間絶縁膜4dおよび4eの上面上に無理なく設
けることができる。
【0031】また、上記第1実施形態では、マクロセル
部2およびランダムロジック部3を5層の多層配線構造
に構成することによって、マクロセル部2の配線の余裕
度を高めることができる。これにより、マクロセル部2
内に容易に内部非配線領域6を形成することができる。 (第2実施形態)次に、図5および図6を参照して、第
2実施形態について説明する。この第2実施形態では、
上記した第1実施形態と異なり、マクロセル部12の4
層目および5層目の内部非配線領域16を、マクロセル
部12の全域に渡って設けている。つまり、この第2実
施形態では、マクロセル部12に配線の禁止領域を設け
ていない。以下、詳細に説明する。
【0032】この第2実施形態による半導体集積回路1
1は、マクロセル部12と、そのマクロセル部12の周
辺に設けられたランダムロジック部13とを備えてい
る。マクロセル部12およびランダムロジック部13の
基板表面には、トランジスタ19が形成されている。そ
のトランジスタ19を1層目の金属配線20aおよび2
層目の金属配線20bにより接続することによって、各
種論理回路を形成している。また、マクロセル部12の
内部配線領域17は、1層目、2層目および3層目に形
成されている。マクロセル部12の内部配線領域17の
1層目、2層目および3層目には、それぞれ、内部配線
15a、15bおよび15cが設けられている。
【0033】また、マクロセル部12の4層目および5
層目は、全て内部非配線領域16になっており、内部配
線は存在しない。ランダムロジック部13には、5層の
金属配線20a〜20eが形成されている。その5層の
金属配線20a〜20eは、それぞれ、層間絶縁膜14
a、14b、14c、14dおよび14eによって絶縁
されている。ここで、図5に示した金属配線のうち、縦
方向の金属配線は4層目の金属配線20dによって形成
されており、横方向の金属配線は、5層目の金属配線2
0eによって形成されている。したがって、図5の20
0−200線に沿って切断した図6の断面では、マクロ
セル部12の4層目の内部非配線領域16に、ランダム
ロジック部13の4層目の金属配線20dが形成された
構造となる。
【0034】第2実施形態では、上記のように、マクロ
セル部12の内部非配線領域16を、マクロセル部12
の4層目および5層目の全域に渡って設けることによっ
て、ランダムロジック部13の金属配線20dおよび2
0eがマクロセル部12を迂回する必要が全くなくな
る。それにより、ランダムロジック部13の金属配線2
0dおよび20eの総配線長を第1実施形態よりもさら
に短くすることができるので、配線容量をより低減する
ことができる。その結果、回路動作をより高速化するこ
とができる。また、ランダムロジック部13の金属配線
20dおよび20eがマクロセル部12を迂回する必要
がないので、マクロセル部12周辺での配線の混雑を第
1実施形態よりもさらに有効に防止することができる。
その結果、半導体集積回路をより高集積化することがで
きる。
【0035】また、第2実施形態では、5層の多層配線
構造に構成することによって、マクロセル部12の1層
目から3層目を内部配線領域17に設定し、マクロセル
部12の4層目および5層目の全域を内部非配線領域1
6として設定することができる。 (第3実施形態)図7を参照して、次に、第3実施形態
について説明する。この第3実施形態では、上記した第
1実施形態または第2実施形態のマクロセル部およびラ
ンダムロジック部を含むASIC部を備えたデジタルカ
メラについて説明する。
【0036】図7を参照して、まず、このデジタルカメ
ラのASIC部150は、カメラ信号処理部61と、M
JPEG部62と、ビデオ出力部63と、ビデオD/A
変換器64と、シグナルバス65と、RISC部66
と、バスブリッジ67と、SDRAMコントロール部6
8と、PCMCIAコントロール部69と、CPUバス
70と、オーディオD/A・A/D変換器71と、DM
Aコントロール部72と、SIO/PIO部73と、U
ART/IrDA部74と、DRAMコントロール部7
5とを備えている。
【0037】ここで、上記したASIC部150のう
ち、RISC部66が、第1実施形態または第2実施形
態に示したマクロセル部に相当する。また、ASIC部
150のうち、RISC部66以外の部分が、第1実施
形態または第2実施形態に示したランダムロジック部に
相当する。図7に示したデジタルカメラでは、ASIC
部150の外部に、CCD50と、SDRAM51と、
PCカードソケット52と、DRAM53と、フラッシ
ュメモリ54とが設けられている。
【0038】上記のような構成を有するデジタルカメラ
の撮影時の動作について以下に説明する。デジタルカメ
ラの写る仕組み(信号の流れ)としては、撮影時は、C
CD50からの映像がカメラ信号処理部61で電気信号
に変換される。このカメラ信号処理部61では、撮影し
た画像がきれいに見えるように輪郭を強調したり、色の
バランスを調整したり、焦点を合わせたりするなどの処
理が行われる。そして、このような処理が施された画像
データは、外付けのSDRAM51に蓄積される。ま
た、この画像データはNTSCエンコーダを通して液晶
モニタに表示される。
【0039】デジタルカメラのシャッターが押される
と、画像データは、MJPEG部62にも転送されて圧
縮される。この圧縮符号データは、RISC部(マクロ
セル部)66に送られて静止画ファイルに変換された
後、フラッシュメモリ54に記憶される。動画再生で
は、QVGAの画像を1秒間に15枚高速処理すること
で動画を再現する。再生時には、これと逆の経路で静止
画や動画が液晶に映し出される。これら全体の制御と音
声処理とが、32ビットRISC−CPUを含むRIS
C部66によってリアルタイムで処理される。動画と一
緒に再生される音声は、マイクから受けた音声がRIS
C部66でデータ処理されて、画像データと一緒に1つ
のファイルに記録される。これらの動作をワンチップL
SI(ASIC部150)の中で全て行っており、この
ASIC部150は、デジタルカメラの頭脳の役割を果
たしている。
【0040】第3実施形態によるデジタルカメラでは、
ASIC部150に、第1または第2実施形態の構成を
適用することによって、RISC部66以外の部分の配
線をRISC部(マクロセル部)66に設けることがで
きる。これにより、RISC部66以外の部分の配線が
RISC部66を迂回しなければならない確率を低下ま
たは0にすることができる。それにより、RISC部6
6以外の部分の配線の総配線長が短くなって配線容量を
低減することができるとともに、RISC部(マクロセ
ル部)66周辺で配線が混雑するのを防止することがで
きる。その結果、回路動作の高速化と半導体集積回路の
高集積化とを図ることが可能なデジタルカメラを提供す
ることができる。
【0041】なお、今回開示された実施形態はすべての
点で例示であって、制限的なものではないと考えられる
べきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明
ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請
求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が
含まれる。たとえば、上記第1実施形態では、マクロセ
ル部2の内部非配線領域6を図1に示した領域に設けた
が、本発明はこれに限らず、内部非配線領域6をマクロ
セル部2の他の領域に設定しても同様の効果を得ること
ができる。
【0042】具体的には、図8に示すように、内部非配
線領域6aを、マクロセル部2の上縁部および下縁部に
それぞれ一定の幅で帯状に形成するようにしてもよい。
また、図9に示すように、内部非配線領域6bを、マク
ロセル部2の両側縁部に一定の幅で延びるように形成し
てもよい。また、図10に示すように、内部非配線領域
6cを、マクロセル部2の周縁部の全域に渡って設ける
ようにしてもよい。さらに、図11に示すように、内部
非配線領域6dを、マクロセル部2の中央部に一定の幅
で帯状に形成するようにしてもよい。ただし、マクロセ
ル部2の内部配線は、周縁部よりも中央部側の方が混雑
する傾向にあるので、図1に示した第1実施形態や図8
〜図10に示した変形例のように、内部非配線領域をマ
クロセル部の周縁部や隅角部に設ける方がマクロセル部
自身の設計が容易となるという利点がある。
【0043】また、上記第1実施形態および第2実施形
態では、内部非配線領域をマクロセル部の4層目および
5層目に形成するようにしたが、本発明はこれに限ら
ず、他の層に内部非配線領域を形成してもよい。たとえ
ば、内部非配線領域を、3層目のみに形成もよいし、2
層目および3層目に形成してもよいし、3層目および4
層目に形成してもよい。
【0044】また、上記第1および第2実施形態では、
内部非配線領域を2層に渡って設けるようにしたが、本
発明はこれに限らず、マクロセル部の3層以上に渡って
内部非配線領域を設けるようにしてもよい。このように
すれば、マクロセル部の周辺での金属配線の混雑をより
いっそう緩和することができる。また、上記実施形態で
は、マクロセル部およびランダムロジック部を5層構造
にしたが、本発明はこれに限らず、5層以外の配線構造
にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態による半導体集積回路の
概略構成を示した平面図である。
【図2】図1に示した第1実施形態の半導体集積回路の
100−100線に沿った断面図である。
【図3】図1に示した第1実施形態によるランダムロジ
ック部の基本セルの概略構成を示した平面図である。
【図4】図3に示したランダムロジック部の基本セルの
配列構造を説明するための概略図である。
【図5】本発明の第2実施形態による半導体集積回路を
示した平面図である。
【図6】図5に示した第2実施形態の半導体集積回路の
200−200線に沿った断面図である。
【図7】第1実施形態または第2実施形態の半導体集積
回路を備えた第3実施形態のデジタルカメラの構成を示
したブロック図である。
【図8】図1に示した第1実施形態による半導体集積回
路の変形例の概略構成を示した平面図である。
【図9】図1に示した第1実施形態による半導体集積回
路の変形例の概略構成を示した平面図である。
【図10】図1に示した第1実施形態による半導体集積
回路の変形例の概略構成を示した平面図である。
【図11】図1に示した第1実施形態による半導体集積
回路の変形例の概略構成を示した平面図である。
【図12】従来の半導体集積回路の概略構成を示した平
面図である。
【符号の説明】
1,11 半導体集積回路 2,12 マクロセル部 3,13 ランダムロジック部 4a〜4e 層間絶縁膜 5a〜5e,15a〜15c 内部配線 6,16 内部非配線領域 7,17 内部配線領域 8 基本セル 9,19 トランジスタ 10a〜10e,20a〜20e 金属配線 66 RISC部 150 ASIC部

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マクロセル部と、前記マクロセル部の周
    辺に形成されたロジック部とを備え、前記マクロセル部
    は、前記ロジック部内の配線を設けるためのロジック配
    線領域を含み、前記マクロセル部のロジック配線領域
    は、前記マクロセル部の周縁部に設けられていることを
    特徴とした半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記ロジック配線領域は、前記マクロセ
    ル部のコーナー部、上縁部および下縁部に設けられてい
    ることを特徴とした請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記ロジック配線領域は、前記マクロセ
    ル部の周縁部に沿って前記周縁部の全域に設けられてい
    ることを特徴とした請求項1に記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記ロジック配線領域は、前記マクロセ
    ル部のコーナー部および両側縁部に設けられていること
    を特徴とした請求項1に記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記マクロセル部および前記ロジック部
    は、それぞれ、多層配線構造を有し、前記ロジック配線
    領域は、前記マクロセル部の少なくとも1つの層に形成
    されていることを特徴とした請求項1乃至4のいずれか
    1項に記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 前記ロジック配線領域は、前記マクロセ
    ル部の複数の層に渡って設けられていることを特徴とし
    請求項5に記載の半導体集積回路。
  7. 【請求項7】 前記マクロセル部および前記ロジック部
    は、それぞれ、多層配線構造を有し、前記ロジック配線
    領域は、前記マクロセル部の所定の層のほぼ全域に渡っ
    て設けられていることを特徴とした請求項1乃至6のい
    ずれか1項に記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記マクロセル部および前記ロジック部
    は、それぞれ、多層配線構造を有し、前記マクロセル部
    のロジック配線領域に設けられる前記ロジック部の配線
    と、前記マクロセル部の内部配線とは、同一の層から形
    成されていることを特徴とした請求項1乃至6のいずれ
    か1項に記載の半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 前記マクロセル部および前記ロジック部
    は、それぞれ、多層配線構造を有し、前記マクロセル部
    のロジック配線領域に設けられる前記ロジック部の配線
    の下地面と、前記マクロセル部のロジック配線領域の上
    面とは、ほぼ同じ高さを有することを特徴とした請求項
    1乃至8のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至9のいずれか1項に記載
    の半導体集積回路を備えたことを特徴とするデジタルカ
    メラ。
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