JP3175812B2 - 半導体集積回路配線方法 - Google Patents

半導体集積回路配線方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路の配線方
法に関し、特に多層配線構造等の半導体集積回路の配線
技術において、平行配線による信号遅延時間の低減に好
適な配線方法に関する
【0002】
【従来の技術】従来、半導体集積回路の配線パターン設
計にあたり、信号遅延時間を考慮した技術としては、例
えば特開平4−245456号公報に記載されているよ
うに、着目する配線に交差する配線数を制御して、信号
遅延時間のばらつきを低減させるものがある。また、別
の従来技術としては、例えば特開平6−83911号公
報に記載の、平行配線長制約を守るため禁止領域を設定
して配線経路を探索することで、平行配線に伴う信号遅
延時間を低減させるものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記1番目の従来技術
は、交差する配線容量による信号遅延時間を考慮してい
るが、平行配線による信号遅延時間の増加、減少といっ
たばらつきの考慮は行われておらず、このため、交差す
る配線数を調整しても、平行配線による電気容量により
信号遅延時間がばらつくという問題がある。又、上記2
番目の従来技術では、平行配線長の制限により信号遅延
時間は少なくなるが、その方法は禁止領域を設定して単
に平行配線をなくそうとするものであり、チャネルの無
駄使いが発生する問題がある。
【0004】本発明の目的は、限られた配線チャネルを
最も有効に利用して、平行配線による信号遅延時間を最
小に抑える半導体集積回路配線方法技術を提供すること
にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体集積回
路の自動配線設計にあたり、配線対象ネットについて、
最初に配線長の最長のものを所定の配線チャネルに割付
け、該最初に割付けた配線チャネルを基準に最小配線間
隔のN倍ピッチ(Nは2以上の整数)の配線チャネルを
定義し、以下、配線長の長い順に、前記定義したN倍ピ
ッチの配線チャネルを優先的に使用して配線を行うこと
を特徴する。
【0006】また、本発明は、半導体集積回路の自動配
線設計にあたり、配線対象ネットについて、配線長が基
準長を超えているものを、同様に最初に割付ける配線チ
ャネ ルを基準にして定義したN倍ピッチ(Nは2以上の
整数)の配線チャネルを優先的に使用して配線を行うこ
とを特徴する。
【0007】また、本発明は、半導体集積回路の自動配
線設計にあたり、着目する素子の駆動能力に応じて平行
配線長制限値を決定し、該平行配線長制限値以下の平行
配線長に抑えて配線することを特徴とする。
【0008】さらに、本発明は、半導体集積回路の自動
配線設計にあたり、端子間を接続する際に、着目する素
子の出力の駆動能力とその配線に対し他の配線が隣接し
始めるまでの距離とに基づいて平行配線長制限値を決定
し、その制限値以下の平行配線長に抑えて配線すること
を特徴とする。
【0009】
【作用】本発明では、長い配線の割付を通常配線チャネ
ルの倍ピッチ(一般に複数倍ピッチ)の配線チャネルを
優先的に使用して行う。これにより、長い配線同士が通
常配線ピッチで平行に引かれる事を抑えることがある。
また、平行配線長の許容値を素子の駆動能力及びソース
との距離から厳密に計算する。これにより、許容値内の
平行配線長は最大限まで許す事が出来るので、配線チャ
ネルを有効利用でき、配線率の低下を抑えることがあ
る。
【0010】
【実施例】図1に、本発明方法が適用される自動配線設
計システム例の概略ブロック図を示す。図において、配
線仕様ファイル20は配線対象ネット群の配線仕様情報
(信号ピン位置、配線ネット等)を蓄積し、基板情報フ
ァイル30は基板情報(基板の寸法、層数、配線チャネ
ルの形状等)を蓄積している。自動配線設計装置10
は、いわゆる計算機(CPU)であり、配線仕様ファイ
ル20および基板情報ファイル30から配線仕様情報と
基板情報を入力して、配線パターンを自動設計する。配
線パターンファイル40には、自動配線設計装置10で
求まった最適の配線パターン情報が蓄積される。
【0011】自動配線設計装置10内の処理は入力処理
12、配線処理14、出力処理16に大別される。入力
処理12では、配線仕様ファイル20および基板情報フ
ァイル30より、回路素子の端子に割り当てられた配線
に関する論理的な情報、配線チャネルの形状や回路素子
の端子位置(信号ピン位置)などの物理的な情報を入力
して、幹線や支線またはそれらの接続関係など、次の配
線処理14で必要とするデータを生成する。配線処理1
4では、入力処理12で得られたデータを読み込み、例
えばチャネル割当法をベースとして、本発明による平行
配線長制御を含む配線パターン処理を実行する。出力処
理16は、配線処理14で求まった配線パターン情報を
配線パターンファイル40に記憶する。
【0012】チャネル割当法とは、図2(a)に示すよ
うに、50のチャネル領域と呼ばれる矩形領域の上下辺
にある端子51、52の間を接続関係に従って配線する
手法である。ここで、図2(b)に示すように、チャネ
ル領域の広がり方向の配線53を幹線、これに対して垂
直な配線54、55を支線と呼ぶ。図2(b)中、56
は後述の幹線長である。勿論、本発明はチャネル割当法
に限られるものではない。
【0013】次に、本発明の平行配線長制御を含む配線
処理の二、三の実施例について説明する。
【0014】〈実施例1〉 図3に、本発明配線方法の第1の実施例の処理フローチ
ャートを示す。まず、配線対象となる全ネットについ
て、例えば端子同士の座標の差分から幹線の見積もり長
さを求める(ステップ101)。この長さを幹線長と呼
ぶ。本実施例では全ネットとしたが、平行配線長に制限
のないネットが存在する場合、これを取り除く事も当然
可能である。次に、ステップ101で求めた幹線長でネ
ットをソートして(ステップ102)、幹線長の長いも
のより幹線の割付処理を実施する(ステップ104)。
この時、割付を行う配線チャネルは、最初に割付ける配
チャネルを基準にして最小配線間隔(通常ピッチ)の
倍ピッチの配線チャネルを定義し、この倍ピッチの配線
チャネルを優先的に使用する(ステップ105、10
6)。倍ピッチの配線チャネルが使えない時のみ、通常
ピッチの配線チャネルを使用する(ステップ107)。
なお、配線層が複数層ある場合には幹線割付チャネルを
他の層に変更して、ここでも倍ピッチの配線チャネルを
優先的に使用し、その層でも倍ピッチの配線チャネルが
なくなったら通常チャネルを使用する。この幹線の割付
処理を、全ネットについてステップ102でソートした
順に行い、処理を終了とする(ステップ103)。
【0015】上記説明例では、定められた最小配線間隔
(通常ピッチ)の倍ピッチの配線チャネルを優先的に使
用するとしたが、定められた最小配線間隔の複数倍ピッ
チ(一般にN倍ピッチ)の配線チャネルを優先的に使用
することも勿論、可能である。また、多層構造の半導体
集積回路において異層間でも平行配線長制御を行う場
合、幹線を割付る層を例えば最上層と最下層にするな
ど、配線間隔を離して上記幹線割付処理を行うことでも
よい。或いは、平行配線によるディレイへの影響が無視
できるような配線層を選んで、上記幹線割付処理を行う
ことでもよい。
【0016】本実施例によって、長い配線同士が隣接す
る確率は低下して、結果として通常ピッチ間隔の平行配
線長を短くする事が出来る。
【0017】本実施例の具体例を、図4により2次元の
レイアウト図で説明する。図4(a)において、端子20
1と202を接続する場合、まず、例えばチャネル20
4に幹線203を割付ける。以下、このチャネル204
を基準に倍ピッチの配線チャネルを定義する。次に、図
4(b)に示すように、端子210と端子211を接続
するとき、その幹線212はチャネル213に割付を行
う。このチャネル213は先のチャネル204に対して
倍ピッチの配線チャネルである。チャネル204に隣接
するチャネル214は通常チャネルなので使用を控え
る。このように配線する事によって、幹線214と21
2は平行配線であるが、配線間隔が広い(倍ピッチ)た
めディレイ特性に及ぼす影響は少なくなり、要求される
特性を満たす配線レイアウトを可能とする事が出来る。
【0018】〈実施例2〉 図5に、本発明配線方法の第2の実施例の処理フローチ
ャートを示す。まず、配線対象となる全ネットについ
て、それぞれ幹線の見積もり長さを求める(ステップ3
01)。これは、第1の実施例の場合と同じである。ま
た、本実施例では全ネットとしたが、平行配線長に制限
のないネットが存在する場合、これを取り除く事も当然
可能である。次に、ステップ301で求めた幹線長が、
あらかじめ定めた基準長(この基準長はディレイ等の要
求性能により決定される)より長い幹線の場合(ステッ
プ303)、割付を行う配線チャネルは、これも第1の
実施例と同様に最初に割り付ける配線チャネルを基準に
して最小配線間隔(通常ピッチ)の倍ピッチの配線チャ
ネルを定義し、この倍ピッチの配線チャネルを優先的に
使用する(ステップ304、305)。倍ピッチの配線
チャネルが使えない時のみ、通常ピッチの配線チャネル
を使用する(ステップ306)。また、ステップ301
で求めた幹線長が基準長より短い場合も、通常ピッチの
配線チャネルを使用する(ステップ306)。なお、配
線層が複数層ある場合には幹線割付チャネルを他の層に
変更して、ここでも倍ピッチの配線チャネルを優先的に
使用し、その層でも倍ピッチの配線チャネルがなくなっ
たら通常チャネルを使用する。この幹線の割付対象の全
ネットについて行い、処理を終了とする(ステップ30
2)。
【0019】上記説明例では、定められた最小配線間隔
の倍ピッチの配線チャネルを優先的に使用するとした
が、定められた最小配線間隔の複数倍ピッチ(一般にN
ピッチ)の配線チャネルを優先的に使用することも勿
論、可能である。また、多層構造の半導体集積回路にお
いて異層間でも平行配線長制御を行う場合、幹線を割付
る層を例えば最上層と最下層にするなど、配線間隔を離
して上記幹線割付処理を行うことでもよい。或いは、平
行配線によるディレイへの影響が無視できるような配線
層を選んで、上記処理を行うことでもよい。
【0020】第1の実施例の場合と同様に、本実施例に
よって、長い配線同士が隣接する確率は低下して、結果
として通常ピッチ間隔の平行配線長を短くする事が出来
る。
【0021】本実施例の具体例を、図6により2次元の
レイアウト図で説明する。図6(a)において、端子40
1と402を接続する場合、まず、例えばチャネル40
4に幹線403を割付ける。この時、もし幹線403が
基準長より長い場合は以下、このチャネル404を基準
に倍ピッチの配線チャネルを定義する。次に、図6に示
すように、端子410と端子411を接続するとき、そ
の幹線長が基準値より短い場合、幹線412は通常ピッ
チの配線チャネル413に割付を行う。更に、端子41
4と415を接続するとき、その幹線長が基準値より長
い場合、チャネル404に対して倍ピッチの配線チャネ
ルである416に幹線417を割当てる。このように配
線する事によって、幹線403と417は平行配線であ
るが、配線間隔が広い(倍ピッチ)ためディレイ特性に
及ぼす影響は少なくなり、要求される特性を満たす配線
レイアウトを可能とする事が出来る。
【0022】〈実施例3〉 これは、素子の駆動能力あるいは着目する素子の出力
(ソース)とその配線に対して他の配線が隣接し始める
までの距離に応じて平行配線長制限値を決定し、その制
限値以下の平行配線に抑えて配線するものである。図7
は平行配線長制限値とソースからの距離の関係をソース
ゲートの駆動能力別に示したもので、駆動能力はA>B
>Cの関係にあるとしている。
【0023】以下、図8を用いて、本実施例を説明す
る。いま、510を着目ネットとし、配線後の状態で、
該着目ネット510に対し、回路の要求性能から決まる
隣接配線間距離(511)以下で隣接するネット512
が存在するとし、着目ネット510のソース513の駆
動能力、例えば出力電流の大きさでA,B,Cと3段階
で表されるような能力と、同じく、ネット512のソー
ス514の駆動能力がA,B,Cと3段階で決定されて
いるとする。駆動能力をA>B>Cの関係とした時、ソ
ース513の駆動能力がソース514の駆動能力よりも
大きい場合、例えばソース513がAでソース514が
Cの場合、着目ネット510について、その平行配線長
制限値515を大きくし、逆に、ソース513の駆動能
力がソース514の駆動能力よりも小さい場合は、平行
配線長制限値515を小さくする。また、着目ネット5
10に対し、ネット512が隣接し始めるまでの距離5
16が長い場合は、平行配線長制限値515を小さく
し、逆に距離516が短い場合は、平行配線長制限値5
15を大きくする。
【0024】平行配線長制限値515の最大値および最
小値は設計規則等の情報から決定される。ソース514
の駆動能力をある一定値として固定し、ソース513の
駆動能力を前記A,B,Cとした場合、それぞれの駆動
能力に対応した平行配線長制限値515は、図7の50
1、502、503で表され、着目ネット510の平行
配線長制限値515を厳密に決定する事が出来る。ま
た、着目ネット510の平行配線長制限値515は、該
ネット510に対しネット512が隣接し始めるまでの
距離516によっても可変であり、距離516が短けれ
ば長い制限長となる。また、図7に示すように、距離5
16がある値を超えると、平行配線長制限値515は一
定値となる。
【0025】本実施例により平行配線長制限値を超えて
いるネットの検出が出来る。また、平行配線を限界まで
長くする事が出来る。つまり、平行配線長制限値より短
い平行配線長を持つネットは、該制限値を目標値として
配線を改善する事により、チャネルの有効利用が図れ
る。例えば全ての配線が終わっていないとすると、図9
(a)の様に、他のネット520、525や配線対象外
領域521、522によって、配線対象ゲート523、
524間の配線が出来ない場合でも、ネット525の配
線を改善する事により、チャネルに余裕(526で示
す)が出来、図9(b)のごとく523、524間のネ
ット530を容易に配線する事が可能となる。
【0026】以上、本発明を図示の実施例に基づき具体
的に説明したが、本発明は、これら実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々
変更可能であることは勿論である。例えば、実施例1ま
たは2と実施例3とを必要に応じて組み合せて使用して
もよい。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
チャネル割り当て法などで幹線長(配線長)を求めて、
幹線長が基準値を超えるもの、あるいは、求めた幹線長
によりネットをソートし、幹線長の長いものから最小配
線間隔の倍ピッチ(一般には複数倍ピッチ)の配線チャ
ネルを優先的に使用して幹線を割り付けるので、配線チ
ャネルを有効に利用して、長い平行配線が生じる確率を
下げることが出来る。
【0028】また、本発明によれば、配線後に着目ネッ
トのソースの駆動能力とその配線に対し隣接配線間距離
以下で隣接するネットのソースの駆動能力の比較、或い
は着目ネットのソースとその配線に対し隣接配線間距離
以下で隣接するネットが隣接し始めるまでの距離に応じ
て平行配線長制限値を厳密に決定することで、平行配線
長違反ネットの検出および改善が出来る。
【0029】また、本発明によれば、上記平行配線長制
限値より短い平行配線を平行配線長制限値まで伸ばすこ
とによりチャネルの空き領域をつくることが出来るの
で、容易に配線の追加が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明で対象とする自動配線設計システム例の
概略ブロック図である。
【図2】チャネル割当法を説明する図である。
【図3】本発明方法の第1の実施例の処理動作を説明す
るフローチャート図である。
【図4】第1の実施例の具体的処理例を2次元のレイア
ウトで説明する図である。
【図5】本発明方法の第2の実施例の処理動作を説明す
るフローチャート図である。
【図6】第2の実施例の具体的処理例を2次元のレイア
ウトで説明する図である。
【図7】ソースゲートの駆動能力別に、平行配線長制限
値とソースからの距離の関係を示す図である。
【図8】本発明方法の第3の実施例による平行配線長制
限値の決定を説明する図である。
【図9】本発明の第3の実施例による平行配線長改善の
利点を説明する図である。
【符号の説明】 10 自動配線設計装置 12 入力処理 14 配線処理 16 出力処理 20 配線仕様ファイル 30 基板情報ファイル 40 配線パターンファイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 直樹 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社 日立製作所 中央研究所内 (72)発明者 山田 博光 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所 汎用コンピュータ事業部 内 (56)参考文献 特開 平6−302694(JP,A) 特開 昭60−261155(JP,A) 特開 平3−196661(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/82 G06F 17/50 H05K 3/00

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体集積回路の配線方法であって、配
    線対象ネットについて、最初に配線長の最長のものを所
    定の配線チャネルに割付け、該最初に割付けた配線チャ
    ネルを基準に最小配線間隔のN倍ピッチ(Nは2以上の
    整数)の配線チャネルを定義し、以下、配線長の長い順
    に、前記定義したN倍ピッチの配線チャネルを優先的に
    使用して配線を行うことを特徴する半導体集積回路配線
    方法。
  2. 【請求項2】 半導体集積回路の配線方法であって、配
    線対象ネットについて、配線長が基準長を超えている
    意のものを最初に所定の配線チャネルに割付け、該最初
    に割付けた配線チャネルを基準に最小配線間隔のN倍ピ
    ッチ(Nは2以上の整数)の配線チャネルを定義し、以
    下、配線長が基準長を超えているものを順次、前記定義
    したN倍ピッチの配線チャネルを優先的に使用して配線
    を行うことを特徴する半導体集積回路配線方法。
  3. 【請求項3】 半導体集積回路の配線方法であって、素
    子の駆動能力に応じて平行配線長制限値を決定し、該平
    行配線長制限値以下の平行配線長に抑え配線することを
    特徴とする半導体集積回路配線方法。
  4. 【請求項4】 半導体集積回路の配線方法であって、
    子間を接続する際に、着目する素子の出力の駆動能力と
    その配線に対し他の配線が隣接し始めるまでの距離とに
    基づいて平行配線長制限値を決定し、その制限値以下の
    平行配線長に抑えて配線することを特徴とする半導体集
    積回路配線方法。
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