JP3404512B2 - 圧電磁器トランスとその製造方法並びにその駆動方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、圧電性材料を用
いて入力電圧を高電圧に変換するもので、冷陰極管点灯
用高圧電源、電子集塵器用高圧電源、テレビ用高圧電源
等に用いられる圧電磁器トランスとその製造方法並びに
その駆動方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、圧電磁器トランスが電子機器のト
ランスとして注目されている。これは、マルチメディア
機器、携帯端末などが普及し、これらの機器が構成素子
の小型化・薄型化を要求していることによる。この圧電
磁器トランスは、「巻線が無いため小型化・薄型化が容
易であること」、「セラミックスであるため不燃化が図
れること」、「巻線が存在せず、また、共振状態で使用
されるため、電磁誘導によるノイズが少ないこと」、
「高電圧を発生させるトランスとしては変換効率が高い
こと」等の数々の特長を持つ。さらに、電磁トランスで
は損失が増大して実用に適さない高周波領域でトランス
の駆動を行った場合でも、損失の増加が生じず、また、
駆動周波数に比例して、体積当たりの電送可能な電力密
度が増加するといった長所をもっている。

【０００３】ここで、従来の代表的な圧電磁器トランス
であるローゼン型圧電磁器トランスの構造を図８を基に
して説明する。ローゼン型圧電磁器トランスでは、圧電
磁器板１の上面の半分に電極１１が形成され、圧電磁器
板１の下面の半分に、電極１１と対向するように電極２
１が形成されている。また、圧電磁器板１の電極１１お
よび電極２１が形成されていない一側面には、電極１２
が形成されている。また、回路に接続する端子３１は電
極１１に、端子３２は電極２１に、端子４１は電極１２
に接続されている。そして、圧電磁器板１の電極１１，
２１が位置した領域ａ部分は図中矢印のように圧電磁器
板１の厚み方向に分極されており、電極１１と電極２１
間は、低インピーダンス部が形成されている。また、圧
電磁器板１のｂで示される部分は、図中矢印のように圧
電磁器板１の面方向に分極されており、電極２１と電極
１２の間では、高インピーダンス部が形成されている。

【０００４】このローゼン型圧電磁器トランスから高電
圧を取り出す場合、ａで示す低インピーダンス部を入力
部として用い、ｂに示す高インピーダンス部を出力部と
して用いる。このローゼン型圧電磁器トランスの動作原
理は、入力部の電極１１と２１の間に交流電圧が印加さ
れると、入力部ａでは電気機械結合係数ｋ_３１をもって
横効果（３１）振動モードにより長さ縦振動が励振さ
れ、この振動により圧電磁器板１全体が振動させられ
る。出力部ｂでは電気機械結合係数ｋ_３３をもって縦効
果（３３）振動モードにより交流電圧が発生し、出力部
を構成する電極１２，２１の間から交流電圧が取り出さ
れる。この時の、ローゼン型圧電磁器トランスの入力電
圧と出力電圧の関係は式（１）で与えられることが知ら
れている。

【０００５】 Ｖ_ｏｕｔ／Ｖ_ｉｎ∝ｋ_３１・ｋ_３３・Ｑ_ｍ・Ｌ／ｔ （１） Ｖ_ｏｕｔ：出力電圧 Ｖ_ｉｎ：入力電圧 ｋ_３１：横効果（３１）振動モードの電気機械結合係数 ｋ_３３：縦効果（３３）振動モードの電気機械結合係数 Ｑ_ｍ：機械的品質係数 Ｌ：出力部の分極方向長さ ｔ：圧電磁器トランスの厚み

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ここで、ローゼン型圧
電磁器トランスで用いられる長さ縦振動の共振周波数
は、ローゼン型圧電磁器トランスの長さに反比例する。
このため、高周波帯域で駆動を行おうとすると、ローゼ
ン型圧電磁器トランスの長さを短くすることが必要とな
る。一方、トランスから取り出すことのできる電力は、
トランスの大きさに比例する。そのため、高周波帯域で
駆動を行い、且つ大電力を電送しようとすると、ローゼ
ン型圧電磁器トランスの長さを短くして、幅方向を広く
する方法が考えられる。しかし、電気機械結合係数ｋ
_３１、ｋ_３３には形状依存性があり、幅／長さの値が
０．３以上になるとｋ_３１、ｋ_３３の値が低下しはじめ
るため、幅をむやみに広くすることはできず、実用的な
適用周波数は最高でも２００ＫＨｚ程度までであった。

【０００７】以上より、ローゼン型圧電磁器トランスで
は、高周波帯域における駆動と大電力の電送という互い
に相反する機能を両立させることが困難であった。さら
に、チタン酸ジルコン酸鉛等の一般的な圧電磁器材料で
は、厚みすべり（１５）振動モードの電気機械結合係数
ｋ_１５＞縦効果（３３）振動モードの電気機械結合係数
ｋ_３３＞横効果（３１）振動モードの電気機械結合係数
ｋ_３１であり、ローゼン型圧電磁器トランスでは、最も
電気機械結合係数の小さな振動モードを用いざるを得な
いため、電気エネルギーが機械振動エネルギーに変換さ
れる効率が悪く、従って、トランスとしての効率も悪い
という欠点があった。

【０００８】この発明は、圧電磁器トランスの大型化に
より大電力電送が可能であり、かつ数百ｋＨｚ〜数ＭＨ
ｚ以上の高周波帯で使用することが可能な圧電磁器トラ
ンスとその製造方法並びにその駆動方法を提供すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の圧電磁器トラ
ンスは、圧電磁器板と、１対または複数対の入力電極対
と、１対または複数対の出力電極対とを有し、前記圧電
磁器板は板状に形成され、その板の厚み方向と垂直方向
に一様に分極されており、前記入力電極対は、前記圧電
磁器板の上面と下面の対向する位置に設置されており、
前記出力電極対は、前記圧電磁器板の上面または下面も
しくは両面の前記入力電極の側方で、前記圧電磁器板の
上面と下面の少なくとも一方の同一面上で一対の出力を
形成し、前記入力電極と平行になるように並べて設置さ
れている。

【００１０】そして、前記入力電極対に前記圧電磁器板
の厚みすべり（１５）振動モードの共振周波数近傍の周
波数の交流電圧を印加することで、厚みすべり（１５）
振動モードの圧電逆効果によって前記圧電磁器板に振動
を励振させ、前記振動を前記圧電磁器板の縦効果（３
３）振動モードの圧電効果によって前記出力電極対から
交流電圧を出力させるものである。

【００１１】またこの発明の圧電磁器トランスの製造方
法は、入力電極対と、出力電極対とを有し、板状に形成
された前記圧電磁器板を厚み方向と垂直方向に一様に分
極させ、前記入力電極対を、前記圧電磁器板の上面と下
面の対向する位置に形成するとともに、前記出力電極対
を、前記圧電磁器板の上面もしくは下面の前記入力電極
の側方で、前記圧電磁器板の上面と下面の少なくとも一
方の同一面上で一対の出力を形成するとともに、前記入
力電極と平行になるように形成するものである。そし
て、前記入力電極対に、前記圧電磁器板の厚みすべり
（１５）振動モードの共振周波数近傍の周波数の交流電
圧を印加可能にし、厚みすべり（１５）振動モードの圧
電逆効果によって前記圧電磁器板に振動を励振可能にす
るものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面に基づいて説明する。図１〜図４ははこの発明
の圧電磁器トランスの実施形態を示す。ここでは、入力
電極対を２対と出力電極対を２対設置したものを示す。

【００１３】まず、圧電磁器板１は図中矢印で示される
ように板厚方向に対して垂直な方向に分極されている。
圧電磁器板１の上面には、２個の入力電極１１１，１１
４が圧電磁器板１の分極方向の始端と終端に設置され、
圧電磁器板１の下面には、入力電極１１１，１１４と対
向する位置に、入力電極１２１，１２４が設置されてい
る。入力電極１１１，１２１は１組の入力電極対を構成
し、また、入力電極１１４，１２４はもう一組の入力電
極対を構成している。

【００１４】また、圧電磁器板１の上面には一対の出力
電極１１２，１１３が、入力電極１１１，１１４の内側
でその入力電極１１１，１１４と平行に並べて設置され
ており、上面の出力電極１１２，１１３と対向する位置
には、もう１対の出力電極１２２，１２３が設置されて
いる。入力電極１１１，１１４，１２１，１２４の各幅
は、出力が所望の電力となるように設定する。

【００１５】この実施形態の圧電磁器トランスの電極と
端子の結線方法を、図２に示す。入力電極１１１，１２
４は入力端子１３１に、入力電極１１４，１２１は入力
端子１３２に接続されている。出力電極１１２は、出力
端子１４１に、出力電極１１３は出力端子１４２に、出
力電極１２２は出力端子１５１に、出力電極１２３は出
力端子１５２にそれぞれ接続されている。また、出力端
子１４１，１４２、および出力端子１５１，１５２を、
それぞれ１対の出力としている。

【００１６】なお、この実施形態では、２組の入力電極
対と２組の出力電極対を備えているが、入力電極対と出
力電極対がそれぞれ１組ずつ、入力電極対が１組と出力
電極対が２組、入力電極対が２組と出力電極対が１組と
いう組み合わせで使用しても良い。

【００１７】次に、この実施形態の圧電磁器トランスの
入力端子１３１，１３２の間に圧電磁器板１の厚みすべ
り（１５）振動モードの共振周波数近傍の周波数の交流
電圧を印加した場合の動作作用を、以下に説明する。先
ず、図３のＡ点の交流電圧−Ｖが印加された時点で、図
４（Ａ）に示すように、一方の１対の入力電極１１１，
１２１と他方の１対の入力電極１１４，１２４間の圧電
磁器板１の領域ｄ，ｅには、厚みすべり（１５）振動モ
ードの応力Ｆ_１、Ｆ_２、Ｆ_３およびＦ_４が各電極１１
１，１１４，１２１，１２４側で発生する。このとき、
図４（Ａ）のように、圧電磁器板１の上面の入力電極１
１１，１１４間の領域ｃには、圧縮方向に力が作用し、
領域ｃの下面の入力電極１２１，１２４間には、伸長方
向の力が作用する。これにより、図４（Ａ）に示すよう
に、圧電磁器板１の領域ｃには、上面側が圧縮し、下面
側が伸長する変位が生じる。

【００１８】これにより、１対の出力電極１１２，１１
３が圧電磁器板１の上面の領域ｃの両端部に設置されて
いるため、圧縮の縦効果（３３）振動モードによって出
力電圧を発生し、もう１対の出力電極１２２，１２３
は、領域ｃの下面に設置されているため、伸長の縦効果
（３３）振動モードにより出力電圧が発生する。この
時、上面の出力電極１１２，１１３の対と下面の出力電
極１２２，１２３の対では、それぞれ逆の極性を持つ電
圧が発生する。

【００１９】次に、図３のＢ点の交流電圧０Ｖの時点で
は、図４（Ｂ）に示すように、圧電磁器板１には応力が
発生せず、上面側も下面側も変位しなくなる。

【００２０】さらに、図３のＣ点の交流電圧＋Ｖが圧電
磁器板１の入力電極１１１，１２１間及び入力電極１１
４，１２４間に印加された時点では、図４（Ｃ）に示す
ように、一方の対の入力電極１１１，１２１と他方の対
の入力電極１１４，１２４間の圧電磁器板１の領域ｄ，
ｅには、厚みすべり（１５）振動モードの応力Ｆ_１’，
Ｆ_２’，Ｆ_３’およびＦ_４’が各電極１１１，１１４，
１２１，１２４側で発生し、図４（Ｃ）のように、図４
（Ａ）とは逆の方向に圧電磁器板１の上面側および下面
側が変位する。このため、それぞれの出力電極１１２，
１１３，１２２，１２３の各対からは図４（Ａ）とは逆
の電圧が発生する。

【００２１】この実施形態の圧電磁器トランスは、入力
電極１１１，１１４，１２１，１２４では交流電圧から
機械振動への変換に電気機械結合係数の中で最も大きな
厚みすべり（１５）振動モードの電気機械結合係数ｋ
_１５を用い、出力電極１１２，１１３，１２２，１２３
では機械振動から交流電圧への変換に厚みすべり（１
５）振動モードの次に大きな値を持つ縦効果（３３）振
動モードの電気機械結合係数ｋ_３３を用いているため、
従来のローゼン型圧電磁器トランスよりも効率良くエネ
ルギー電送を行うことを可能としている。

【００２２】この実施形態の圧電磁器トランスを駆動す
るために用いられる厚みすべり（１５）振動モードの共
振周波数は、式（２）で与えられる。

【００２３】 ｆｐ＝｛１／（２・ｔ）｝・（Ｃ^Ｄ _４４／ρ）^１／２ （２） ｆｐ：厚みすべり（１５）振動モードの共振周波数 ρ ：圧電磁器板の密度 Ｃ^Ｄ _４４：弾性定数 ｔ ：圧電磁器板厚さ 式（２）によれば、圧電磁器トランスの厚みすべり（１
５）振動モードの共振周波数は、圧電磁器板の長さや幅
の大きさには依存せず、唯一厚みだけに依存する。この
ため、厚みすべり（１５）振動モードで駆動されるこの
発明の圧電磁器トランスで大電力を取り出す場合には、
単に長さや幅を大きくすれば良く、この場合において
も、従来のローゼン型圧電磁器トランスのように共振周
波数が低下してしまうといった現象が見られない。

【００２４】この実施形態の圧電磁器トランスでは、従
来のローゼン型圧電磁器トランスでは困難であった、高
周波帯域での駆動と大電力の取り出しを両立させること
が可能である。

【００２５】

【実施例】以下、この発明の圧電磁器トランスとして、
図１に示す圧電磁器トランスの一実施例について説明す
る。この実施例の圧電磁器板１の材料には、チタン酸ジ
ルコン酸鉛（ＰｂＴｉＯ_３−ＰｂＺｒＯ_３）系圧電磁器
材料を用いた。ただし、この圧電磁器材料は、チタン酸
ジルコン酸鉛系圧電磁器材料に限定する必要はなく、厚
みすべり（１５）振動モードの電気機械結合係数ｋ_１５
のおよび縦効果（３３）振動モードの電気機械結合係数
ｋ_３３の値が大きなものが好ましく、上記以外の他の材
料を用いてもかまわない。例えば、チタン酸バリウム等
も用いることができる。

【００２６】この実施例の圧電磁器トランスの製造方法
は、まず、圧電磁器材料粉末にバインダーを混合し、直
径４０ｍｍ、厚さ３ｍｍの大きさにプレス成形を行っ
た。プレス成形された圧電磁器材料粉末を６００℃、１
時間（昇温速度１００℃／１時間）で脱バインダー処理
を行った後、１２００℃、２時間で焼成を行った。焼成
された圧電磁器板を切断および研磨し、長さ１２ｍｍ、
幅１０ｍｍ、厚さ２ｍｍの圧電磁器板１を形成した。こ
こでは、圧電磁器板１は圧電磁器材料粉末をプレス成形
・焼成を行うことで作製したが、この方法に限らず、例
えば、ドクターブレード法等を用いて、圧電磁器材料の
グリーンシートを形成し焼成を行う方法で圧電磁器板を
作製してもかまわない。

【００２７】次に、圧電磁器板１の長手方向の両端部の
側面に、Ａｇ−ガラス系の導電性ペーストを塗布した
後、焼成を行い、Ａｇ電極を焼き付けた。そして、この
Ａｇ電極を焼き付けた圧電磁器板を１２０℃の絶縁油に
浸し、２８ｋＶ（約２．８ｋＶ／ｍｍ）の電圧をＡｇ電
極に加えることで、圧電磁器板の板の厚み方向と垂直方
向に一様に分極させる分極処理を施した。分極処理後、
長手方向の両側面に焼き付けたＡｇ電極を研磨し、除去
した。なお、ここではＡｇ−ガラス系の導電性ペースト
を用いて圧電磁器板１の対向する側面に電極を形成した
が、Ａｇペーストに限定されること無く、導電性材料で
あれば電極形成には何を用いてもかまわない。

【００２８】この後、スパッタ法を用いて、圧電磁器板
１の上面および下面にＡｕ薄膜の電極を形成した。電極
は、図１に示したように、圧電磁器板１の上面には、電
極１１１〜１１４を、下面に電極１２１〜１２４を形成
した。

【００２９】なお今回は、電極にＡｕ薄膜をスパッタ法
を用いて形成したが、Ａｕ薄膜に限定されること無く、
導電性材料であれば他の金属薄膜や、導電性塗料でも良
く、電極形成には何を用いてもかまわない。

【００３０】この実施例の圧電磁器トランスの使用方法
は、図２に示す様に、電極１１１，１２４に入力端子１
３２を、電極１１４，１２１に入力端子１３１を接続
し、また、電極１１２を出力端子１４１に、電極１１３
を出力端子１４２に、電極１２２を出力端子１５１に、
電極１２３を出力端子１５２にそれぞれ接続する。

【００３１】そして、この実施例の圧電磁器トランスの
入力端子１３１，１３２の間でインピーダンスの周波数
特性を測定したところ、約５３０ｋＨｚで厚みすべり
（１５）振動モードの共振が測定された。

【００３２】この実施例の圧電磁器トランスの動作を確
認するために、図５に示すように、この圧電磁器トラン
スの入力端子１３１，１３２の間に約５３０ｋＨｚ、５
Ｖｐ−ｐの交流電圧（正弦波）を入力し、出力端子１４
１，１４２の間に１０ｋΩの負荷抵抗５１を接続し、同
じく、出力端子１５１，１５２の間にも１０ｋΩの負荷
抵抗５２を接続し、負荷抵抗５１，５２の両端に発生す
る電圧をオシロスコープで測定した。その結果、図６に
示した様に、ほぼ、同じ値で逆の極性の電圧波形６１，
６２が得られた。

【００３３】さらに、この実施例の圧電磁器トランスの
入力端子１３１，１３２の間に約５３０ｋＨｚ、４．５
Ｖｐ−ｐの交流電圧（正弦波）を入力し、出力端子１４
１，１４２の間に負荷抵抗を接続し、前記負荷抵抗を可
変させて、出力電圧を測定したところ、図７に示したよ
うな、出力電圧および出力電力の負荷抵抗に対する特性
が得られた。また、この圧電磁器トランスの入力端子１
３１，１３２の間に約５３０ｋＨｚ、３７．６Ｖｐ−ｐ
の交流電圧（正弦波）を入力し、出力端子１４１，１４
２の間に１５ｋΩ負荷抵抗を接続したところ、３２８Ｖ
ｐ−ｐの出力電圧が得られ、この時の出力電力は０．９
０Ｗであった。

【００３４】

【発明の効果】この本発明の圧電磁器トランスは、厚み
すべり（１５）振動モードを用いて圧電磁器板を励振さ
せて、この振動を圧電磁器板の縦効果（３３）振動モー
ドの圧電効果によって出力電極対から出力電圧を取り出
すため、数百ｋＨｚ〜数ＭＨｚ以上の高周波帯で使用す
ることが可能となる。また、厚みすべり（１５）振動モ
ードの共振周波数は、圧電磁器トランスの厚みだけで決
定され長さや幅の影響を受けないことから、従来のロー
ゼン型圧電磁器トランスでは困難であった、高周波帯域
での駆動と大電力の取り出しを両立させることが可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態の圧電磁器トランスを示
す斜視図である。

【図２】この実施形態の圧電磁器トランスの結線図であ
る。

【図３】この実施形態の圧電磁器トランスに入力する交
流電圧を示すグラフである。

【図４】この実施形態の圧電磁器トランスが厚みすべり
（１５）振動モードで図３の入力電圧により駆動された
際の圧電磁器板に生じる変位を示す模式図である。

【図５】この発明の圧電磁器トランスの一実施例の入力
および負荷の結線図である。

【図６】図５の圧電磁器トランスの結線例の入力および
負荷を接続した場合に、負荷の両端に生じる電圧波形で
ある。

【図７】この実施例の圧電磁器トランスの負荷抵抗−出
力電圧・電力特性である。

【図８】従来のローゼン型圧電磁器トランスを示す斜視
図である。

【符号の説明】

１ 圧電磁器板 ５１，５２ 負荷抵抗 １１１，１１４，１２１，１２４ 入力電極 １１２，１１３，１２１，１２３ 出力電極 １３１，１３２ 入力端子 １４１，１４２，１５１，１５２ 出力端子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 角崎 雅博 富山県富山市高田383番地 富山県工業 技術センター機械電子研究所内 (72)発明者 谷野 克巳 富山県高岡市二上町150番地 富山県工 業技術センター企画管理部内 (72)発明者 堀井 一宏 富山県富山市上赤江町１丁目６番43号 コーセル株式会社内 (72)発明者 柳川 新 富山県富山市月岡町３丁目６番地 立山 科学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平11−154768（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 41/107 H01L 41/22

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電磁器板と、入力電極対と、出力電極
   対とを有した圧電磁器トランスにおいて、 前記圧電磁器板は板状に形成され、その板の厚み方向と
   垂直方向に一様に分極され、 前記入力電極対は、前記圧電磁器板の上面と下面の対向
   する位置に設置され、 前記出力電極対は、前記圧電磁器板の上面と下面の少な
   くとも一方の前記入力電極の側方で、前記圧電磁器板の
   上面と下面の少なくとも一方の同一面上で一対の出力を
   形成し、前記入力電極と平行になるように並べて設置さ
   れ、 前記圧電磁器板の厚みすべり振動モードの圧電逆効果に
   よって前記圧電磁器板に振動を励振させ、この振動を前
   記圧電磁器板の縦効果振動モードの圧電効果によって前
   記出力電極対から交流電圧を取り出し可能に形成された
   ことを特徴とする圧電磁器トランス。
2. 【請求項２】 前記入力電極対は、２対の入力電極から
   なり、前記出力電極対も２対の出力電極からなり、 一方の前記入力電極対は、前記圧電磁器板の分極方向の
   始端側の上面と下面の対向する位置に設置され、 他方の前記入力電極対は、前記圧電磁器板の分極方向の
   終端側の上面と下面の対向する位置に設置され、 一方の前記出力電極対は、前記圧電磁器板の上面の前記
   各入力電極の内側に前記入力電極と平行に各々並べて設
   置され、 他方の前記出力電極対は、前記圧電磁器板の下面の前記
   各入力電極の内側に前記入力電極と平行に各々並べて設
   置されたことを特徴とする請求項１記載の圧電磁器トラ
   ンス。
3. 【請求項３】 圧電磁器板と、入力電極対と、出力電極
   対とを有した圧電磁器トランスの製造方法において、 圧電性材料を焼成して上記圧電磁器板を形成し、 板状に形成された前記圧電磁器板を厚み方向と垂直の面
   方向に一様に分極し、前記入力電極対を、前記圧電磁器
   板の上面と下面の対向する位置に形成するとともに、 前記出力電極対を、前記圧電磁器板の上面もしくは下面
   の前記入力電極の側方で、前記圧電磁器板の上面と下面
   の少なくとも一方の同一面上で一対の出力を形成すると
   ともに、前記入力電極と平行になるように形成し、 前記入力電極対に、前記圧電磁器板の厚みすべり振動モ
   ードの共振周波数近傍の周波数の交流電圧を印加可能に
   し、厚みすべり振動モードの圧電逆効果によって前記圧
   電磁器板に振動を励振可能に形成する圧電磁器トランス
   の製造方法。
4. 【請求項４】 圧電磁器板と、入力電極対と、出力電極
   対とを有した圧電磁器トランスの駆動方法において、 厚み方向と垂直方向に一様に分極され板状に形成された
   前記圧電磁器板を用い、 前記入力電極対を、前記圧電磁器板の上面と下面の対向
   する位置に設置し、 前記出力電極対を、前記圧電磁器板の上面もしくは下面
   の前記入力電極の側方で、前記圧電磁器板の上面と下面
   の少なくとも一方の同一面上で一対の出力を形成すると
   ともに、前記入力電極と平行になるように設け、 前記入力電極対に、前記圧電磁器板の厚みすべり振動モ
   ードの共振周波数近傍の周波数の交流電圧を印加するこ
   とにより、厚みすべり振動モードの圧電逆効果によって
   前記圧電磁器板に振動を励振させ、この振動を前記圧電
   磁器板の縦効果振動モードの圧電効果によって前記出力
   電極対から交流電圧として取り出す圧電磁器トランスの
   駆動方法。