JPS61182311A - セラミツク音叉振動子 - Google Patents
セラミツク音叉振動子Info
- Publication number
- JPS61182311A JPS61182311A JP2245785A JP2245785A JPS61182311A JP S61182311 A JPS61182311 A JP S61182311A JP 2245785 A JP2245785 A JP 2245785A JP 2245785 A JP2245785 A JP 2245785A JP S61182311 A JPS61182311 A JP S61182311A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- electric field
- layer
- arm
- fork vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の産業上の利用分野）
本発明はフィルタ発振子などに使用される圧電材料を積
層してなるセラミック音叉振動子に関するものである。
層してなるセラミック音叉振動子に関するものである。
（従来技術及びその問題点）
第５図に従来知られている圧電素子を利用した音叉の概
略図を示す。図中６は圧電磁器板であり、その表裏面に
はＡｇ −Ｐｄなどを用いた電極７ｔｌ−形成し圧電振
動子をなす。該振動子は導電性接眉剤を介してエリンバ
など恒弾性金属でできた音叉アーム５の側面に固定され
る。
略図を示す。図中６は圧電磁器板であり、その表裏面に
はＡｇ −Ｐｄなどを用いた電極７ｔｌ−形成し圧電振
動子をなす。該振動子は導電性接眉剤を介してエリンバ
など恒弾性金属でできた音叉アーム５の側面に固定され
る。
音叉の動作は外部電極リード８から交流電界を印加する
と前記圧電振動子は圧電横効果によシ伸縮運動を行ない
これに励振されてアーム５が同相で面垂直振動するもの
である。尚第５図中の太い矢印は圧電素子の分極方向、
細い矢印はアーム変位方向を各々示す。
と前記圧電振動子は圧電横効果によシ伸縮運動を行ない
これに励振されてアーム５が同相で面垂直振動するもの
である。尚第５図中の太い矢印は圧電素子の分極方向、
細い矢印はアーム変位方向を各々示す。
しかし、かかる構造を有する音叉振動子においては容量
比は少なくとも１００程度あシ従ってフィルタとしての
性能は帯域幅の狭いものになってしまう。
比は少なくとも１００程度あシ従ってフィルタとしての
性能は帯域幅の狭いものになってしまう。
（発明の目的）
本発明はかかる従来音叉の欠点を除去した低容比の、従
ってフィルタとして使用する場合には帯域幅の広い発振
子として利用する場合は共振抵抗の小さい音叉振動子を
提供することにある。
ってフィルタとして使用する場合には帯域幅の広い発振
子として利用する場合は共振抵抗の小さい音叉振動子を
提供することにある。
（発明の構成）
すなわち本発明は圧電材料よりなるコ字形状音叉振動子
において、該音叉振動子の両アーム部には複数の内部電
極がアームの長さ方向に所定の間隔をおいて該内部電極
の三つの端部がアームの表面に露出するように積層され
ておシ、内部電極ではさまれた隣接する圧電材料層は互
いに逆向きに分極されておシ、各内部電極は一層おきに
各々前記アーム部の異なる面で外部電極と接続されてい
る構造を備えたことを特徴とするセラミック音叉振動子
である〇 （構成の詳細な説明） 第１図（ａｌｔ （ｂｌは本発明による音叉の構成例全
示したものである０内部電極１にはさまれた圧電材料層
は、分極方向が一層ごとに向き合うように、即ち内部電
極が互い違いに正電極、負電極となるように並列接続し
である。
において、該音叉振動子の両アーム部には複数の内部電
極がアームの長さ方向に所定の間隔をおいて該内部電極
の三つの端部がアームの表面に露出するように積層され
ておシ、内部電極ではさまれた隣接する圧電材料層は互
いに逆向きに分極されておシ、各内部電極は一層おきに
各々前記アーム部の異なる面で外部電極と接続されてい
る構造を備えたことを特徴とするセラミック音叉振動子
である〇 （構成の詳細な説明） 第１図（ａｌｔ （ｂｌは本発明による音叉の構成例全
示したものである０内部電極１にはさまれた圧電材料層
は、分極方向が一層ごとに向き合うように、即ち内部電
極が互い違いに正電極、負電極となるように並列接続し
である。
該音叉振動子に、分極方向と平向に直流電界を印加する
と内部電極１間にはさまれた圧電磁器層は、圧電縦効果
により変位（伸び）を生ずる。
と内部電極１間にはさまれた圧電磁器層は、圧電縦効果
により変位（伸び）を生ずる。
（逆方向に電界印加の場合は縮み）一方、同一アーム内
で隣シ合せる電界のかからない部分では長さはもとのま
まであるため音叉面と垂直方向に曲げ変位が発生する。
で隣シ合せる電界のかからない部分では長さはもとのま
まであるため音叉面と垂直方向に曲げ変位が発生する。
（第１図（ｂ）の矢印は変位方向を示す）
ここで加える電界を交流電界とし１周波数を適当に選べ
ば音叉アームが面垂直振動するものである。但し、左右
アームの変位方向は異なるように電極リードを結線する
。
ば音叉アームが面垂直振動するものである。但し、左右
アームの変位方向は異なるように電極リードを結線する
。
このように構成される音叉振動子は縦効果縦振動の結合
係数に３３ｔ”介して電気・機械エネルギー変換をし、
しかもに’３３は横効果の結果係数に３１に比べて約３
程度度大きいため従来のもの小さな容量比が実現される
。従って帯域幅も従来のものより広くなる。また、積層
体構造のため、従来の単板やバイモルフ型の圧電磁器板
を利用した音叉振動子よシも低い電圧で駆動が可能にな
る。
係数に３３ｔ”介して電気・機械エネルギー変換をし、
しかもに’３３は横効果の結果係数に３１に比べて約３
程度度大きいため従来のもの小さな容量比が実現される
。従って帯域幅も従来のものより広くなる。また、積層
体構造のため、従来の単板やバイモルフ型の圧電磁器板
を利用した音叉振動子よシも低い電圧で駆動が可能にな
る。
（実施例）
第１図（ａｌ、 （ｂ）に本発明による音叉の一例を示
す。
す。
まず、ジルコンチタン酸鉛系のセラミックスの仮焼粉末
を準備し、少量の有機バインダ及び可塑剤と共に有機溶
剤中に分散させ泥漿を作る。これをドクターブレード容
器に入れて有機フィルム上にキャスティングして厚さ３
０〜１００μｍ程度のグリーンシートを得る０このグリ
ーンシートｔ−有機フィルム上から剥し取シ、適当な大
きさに切断する。この内一部には片面にＡｇ −Ｐｄペ
ースト膜を印刷する。これを第２図に示すように所望の
枚数だけダミ一層、内部電極層ダミ一層の順に積み重ね
１００℃程度で熱プレスして密着させた後、焼結する。
を準備し、少量の有機バインダ及び可塑剤と共に有機溶
剤中に分散させ泥漿を作る。これをドクターブレード容
器に入れて有機フィルム上にキャスティングして厚さ３
０〜１００μｍ程度のグリーンシートを得る０このグリ
ーンシートｔ−有機フィルム上から剥し取シ、適当な大
きさに切断する。この内一部には片面にＡｇ −Ｐｄペ
ースト膜を印刷する。これを第２図に示すように所望の
枚数だけダミ一層、内部電極層ダミ一層の順に積み重ね
１００℃程度で熱プレスして密着させた後、焼結する。
焼結後積層体ブロックをコ字形状にするために不要部分
（第３図中破線部分）金剤シ取シ所望の厚みを持つよう
に、第３図中の一点鎖線部で切断する。このとき、内部
電極のアーム５の厚み方向の長さはアームの厚さの半分
以下であることが望ましい。
（第３図中破線部分）金剤シ取シ所望の厚みを持つよう
に、第３図中の一点鎖線部で切断する。このとき、内部
電極のアーム５の厚み方向の長さはアームの厚さの半分
以下であることが望ましい。
ここで音叉のアーム部表面に内部電極が露出しているの
で、これを一層おきに並列接続する。そのためには第４
図に示すように一方の側面の内部電極に一層おきに絶縁
ペーストラ塗布する。反対側の側面の内部電極には上記
とは互い違いになるように絶縁ペーストを塗布する。こ
のペーストラ焼きつけた上にＡｇの導電膜を形成する。
で、これを一層おきに並列接続する。そのためには第４
図に示すように一方の側面の内部電極に一層おきに絶縁
ペーストラ塗布する。反対側の側面の内部電極には上記
とは互い違いになるように絶縁ペーストを塗布する。こ
のペーストラ焼きつけた上にＡｇの導電膜を形成する。
このようにして得られた音叉振動子に用いられたセラミ
ックスの電気機械結合係数に３３は７０％と高い値を示
しており制動容量は０．１μＦ容量比は１０程度となる
。この容量比の値は従来の音叉のそれの１０分の１以下
となった。
ックスの電気機械結合係数に３３は７０％と高い値を示
しており制動容量は０．１μＦ容量比は１０程度となる
。この容量比の値は従来の音叉のそれの１０分の１以下
となった。
（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、低電圧駆動が可能で
極めて容量比の小さい音叉振動子が得られる。
極めて容量比の小さい音叉振動子が得られる。
第１図（ａｌｔ （ｂ）は本発明のセラミ、り音叉振動
子の一例を示す図、第２図はセラミック音叉振動子の製
造法を示す図、第３図は本発明の製造工程途中の積層体
を示す図、第４図は内部電極と外部電極との接続状態を
示す模式図、第５図は従来の音叉振動子の一例を示す図
口 図中、１は内部電極、２は外部電極、３はダミ一層、４
は絶縁層、５は音叉アーム、６は圧電磁器板、７は電極
、８は電極リードである。
子の一例を示す図、第２図はセラミック音叉振動子の製
造法を示す図、第３図は本発明の製造工程途中の積層体
を示す図、第４図は内部電極と外部電極との接続状態を
示す模式図、第５図は従来の音叉振動子の一例を示す図
口 図中、１は内部電極、２は外部電極、３はダミ一層、４
は絶縁層、５は音叉アーム、６は圧電磁器板、７は電極
、８は電極リードである。
Claims (1)
- 圧電材料よりなるコ字形状音叉振動子において、該音叉
振動子の両アーム部には複数の内部電極がアームの長さ
方向に所定の間隔をおいて該内部電極の三つの端部がア
ームの表面に露出するように積層されており、内部電極
ではさまれた隣接する圧電材料層は互いに逆向きに分極
されており、各内部電極は一層おきに各々前記アーム部
の異なる面で外部電極と接続されている構造を備えたこ
とを特徴とするセラミック音叉振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2245785A JPS61182311A (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | セラミツク音叉振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2245785A JPS61182311A (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | セラミツク音叉振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61182311A true JPS61182311A (ja) | 1986-08-15 |
Family
ID=12083239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2245785A Pending JPS61182311A (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | セラミツク音叉振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61182311A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0539133A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-19 | Kyocera Corp | 画像記録装置の給排紙機構 |
-
1985
- 1985-02-07 JP JP2245785A patent/JPS61182311A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0539133A (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-19 | Kyocera Corp | 画像記録装置の給排紙機構 |
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