JP3394198B2 - フィルム貼付方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフィルム貼付方法に
係わり、特に、半導体基板やプリント配線基板などの基
板表面にレジスト膜などのフィルムを貼り付ける方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種方法としては、フィルムと
してベースフィルム、レジストフィルムなどの貼り付け
たいフィルム本体（以下、レジストフィルムで説明）、
カバーフィルムの三層構造としたもの（以下、一体化フ
ィルムと略記）をベースフィルムが外周側、カバーフィ
ルムが内周側になるように巻回したフィルムロールを用
い、フィルムロールから繰り出した一体化フィルムから
カバーフィルムを剥離し、搬送路上を一定間隔をもって
搬送されて来る各基板の寸法に合わせて二層となったレ
ジストフィルムとベースフィルムを幅方向に切断してレ
ジストフィルムが基板表面側になるようにして１対の圧
着ロール間を通して基板毎に貼り付ける枚葉法がある。

【０００３】枚葉法では、基板搬送方向でのフィルム先
端を基板先端部に位置決めすることが困難でしかも位置
合わせ時に気泡を形成しやすく、また、フィルム後端部
は自由端になり気泡が取り込まれやすいために、端部処
理のために装置構成が複雑になる問題があった。

【０００４】そこで、装置構成を簡略化するものとして
連続法が提案されている。その方法としては、枚葉法と
同様にフィルムロールを用い、フィルムロールから繰り
出した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離した後
に、搬送路上を一定間隔をもって搬送されて来る複数の
基板の基板間に相当する部位のレジストフィルムにカバ
ーフィルムを設ける基板間処理をしてからベースフィル
ムを切断しないままレジストフィルムが基板表面側にな
るようにして１対の圧着ロール間を通して各基板に貼り
付けてからベースフィルムを剥離する第一の連続法（特
開平６−７３３４３号公報参照）、あるいはフィルムロ
ールから繰り出した一体化フィルムからカバーフィルム
のうち、搬送路上を一定間隔をもって搬送されて来る複
数の基板の基板間に相当する部位を幅方向に切断して基
板間相当部位のカバーフィルムは残し基板相当部のカバ
ーフィルムを剥離する基板間処理をしてからベースフィ
ルムを切断しないままレジストフィルムが基板表面側に
なるようにして１対の圧着ロール間を通して各基板に貼
り付けてからベースフィルムを剥離する第二の連続法
（特開平９−１７４７９７号公報参照）などがある。

【０００５】なお、これら両連続法での基板間処理は、
基板の片側にレジストフィルムを貼り付ける場合に、レ
ジストフィルムで圧着ロールが汚れないようにするため
のものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記第一の連続法で
は、ベースフィルムと同様にレジストフィルムは切断さ
れていないので、ベースフィルムを連続して剥離する際
にレジストフィルムの切断箇所が基板の寸法に一致しな
い恐れがある。

【０００７】また、第二の連続法では、貼り付ける前に
切断処理をしており、切断処理ではカッタがフィルムを
切削するためにダストを生じ周囲に飛散する結果、貼り
付け前の露出した基板表面を汚染する問題がある。

【０００８】そして、近年、高精細（微細）化のために
一体化フィルムが薄くなっており、レジストフィルムは
切断してもベースフィルムは切断しないようにすること
は難しく、レジストフィルム切断の際にベースフィルム
も切断してしまうことがあり、枚葉法に較べた場合の連
続法の長所を活かすことができない。

【０００９】それゆえ本発明の目的は、一体化フィルム
が薄くても切断しないで、基板を汚染することなくフィ
ルム本体を基板に正確に貼り付けることができるフィル
ム貼付方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の特徴とするところは、フィルムロールから繰り出し
た一体化フィルムのうち少なくとも貼り付けたいフィル
ム本体に対し、搬送路上を間隔をもって搬送されて来る
複数の基板の基板間に相当する部位について幅方向にミ
シン目を設けることにある。

【００１１】ミシン目の形成については、カバーフィル
ムを剥離しないでカバーフィルムを通してフィルム本体
に設けること、カバーフィルムを剥離して直接フィルム
本体に設けること、カバーフィルムの有無に係わらずベ
ースフィルムに至るまで設けること、また、ベースフィ
ルム側からフィルム本体に、さらにはカバーフィルムま
で設けることなどがある。

【００１２】ミシン目はルーレット或いは歯車などをフ
ィルム本体の幅方向に移動させてその時の回転で形成す
るが、各フィルムに歯先を押し付けているだけであり切
削加工を伴うものではないので、ミシン目の形成中にダ
ストは殆ど発生しない。特にカバーフィルムを通してミ
シン目を形成する場合は、フィルム本体はカバーフィル
ムで覆われているからダストは発生しない。

【００１３】ミシン目の形成により貼り付けたいフィル
ム本体は連続しているが、フィルム本体の長手方向ある
いは幅方向に張力を加えることで、ミシン目に沿ってフ
ィルム本体は容易に切断できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図に示す実施形態に基い
て、本発明方法を説明する。図１は、本発明方法の一実
施形態を具現化するフィルム貼付装置の概略図である。
図１において、各基板１は間隔Ｌ１をもって搬送路を構
成する搬送ロール２上を搬送される。３（３ａ、３ｂ）
はフィルムＦのロールであり、ベースフィルム４（４
ａ、４ｂ）、レジストフィルム（フィルム本体）５（５
ａ、５ｂ）およびカバーフィルム６（６ａ、６ｂ）の三
層構造を持つ。７（７ａ、７ｂ）はミシン目形成ユニッ
トであり、受台８（８ａ、８ｂ）、１対のフィルムクラ
ンパ９（９ａ、９ｂ）及び１対のミシン目カッタ１０
（１０ａ、１０ｂ）から構成されている。（以下の説明
においても同様に、搬送ロール２の上側にあるものにつ
いては引用符号に添字ａを付け、下側のものには添字ｂ
を付け、総称するときには添字を省略する。） 各ミシン目カッタ１０の間隔Ｌ２は各基板１の間隔Ｌ１
より広く設定されている。ミシン目カッタ１０は図２の
よう円盤状で一定間隔毎に歯ｔに切欠きｓを有するルー
レットあるいは薄手の歯車であり、受台８と１対のフィ
ルムクランパ９でフィルムＦを挟んでおいて、ミシン目
カッタ１０をフィルムＦに押し付けつつフィルムＦの幅
方向（図１の紙面に垂直な方向）に移動させると、ミシ
ン目カッタ１０は回転し歯ｔがフィルムＦに喰い込んで
ミシン目Ｍが形成される。この場合、各ミシン目カッタ
１０の間隔Ｌ２の中に各基板１の間隔Ｌ１が位置するよ
うに各ミシン目カッタ１０によってミシン目Ｍがフィル
ムＦに形成される。

【００１５】１対のミシン目カッタ１０は、図１におい
て右から左へのフィルムＦの繰出方向について、上流側
に位置するものと下流側のもので図２に示すように歯ｔ
の長さＬｔと切欠きｓの長さＬｓを変えておく。する
と、図３に示すようにミシン目Ｍの長さは異なったもの
となり、図３で左右方向にフィルムＦを引っ張った場合
に切欠きｓの長さＬｓの短い方のミシン目カッタ１０で
形成されたミシン目Ｍが揃って切り離される。

【００１６】１１は、ロール１２のところで他のフィル
ムＦから剥離されたカバーフィルム６を回収する巻取ロ
ールである。１３は方向転換ロール、１４は圧着ロール
である。圧着ロール１４を矢印Ａで示すように基板１の
搬送方向Ｂに対し垂直な方向に移動させる機構が設けら
れているが、図が煩雑化するので、省略した。

【００１７】レジストフィルム５を基板１に貼り付ける
準備として、フィルムロール３からフィルムＦの先端を
繰り出し、ミシン目形成ユニット７の受台８と１対のフ
ィルムクランパ９及び１対のミシン目カッタ１０との間
を通してから、カバーフィルム６はロール１２のところ
で剥離して巻取ロール１１に巻き付けておき、残りのレ
ジストフィルム５とベースフィルム４を方向転換ロール
１３のところで圧着ロール１４に向けて、圧着ロール１
４間を通し、レジストフィルム５同士が対向する形とし
て矢印Ｂで示す搬送方向の下流側に伸延させておく。

【００１８】次に、基板１へのレジストフィルム５の貼
り付けについて説明する。先ず、フィルムＦをロール３
から繰り出し上記したようにミシン目形成ユニット７で
フィルムＦにミシン目Ｍを形成する。ミシン目Ｍ形成時
にフィルムＦの移動を停止させてもよいが、ミシン目形
成ユニット７をフィルムＦの移動速度に合わせて移動さ
せながらミシン目Ｍを形成すると、基板への貼り付け枚
数は向上する。ミシン目Ｍ形成後にカバーフィルム６を
剥離する。フィルムＦの移動速度と基板１の搬送速度を
揃え、図３に示すように、上流側ミシン目Ｍが基板１の
先端部より僅か上流の位置になるようにして、圧着ロー
ル１４を基板１の方向に移動させ、加圧して基板１の上
下各主面にフィルム５ａ、５ｂを貼り付ける。基板１の
後端が圧着ロール１４の位置になったら圧着ロール１４
を基板１から離す方向に移動させ１枚の基板１に対する
貼り付けは終了する。

【００１９】基板１の後端近傍のフィルムＦには次のミ
シン目Ｍが形成されている、即ち、基板１の搬送方向Ｂ
での長さに対応させて、ミシン目ＭがフィルムＦに形成
される。

【００２０】貼り付けが済んだ基板１は、搬送路の下流
において基板同士を搬送方向あるいは搬送方向の斜めに
引っ張ると、歯ｔの長さＬｔの長い方のミシン目Ｍ（図
３で云えば左側のミシン目Ｍ）のところでフィルムＦが
切れて、互いに分離する。カバーフィルム４は使用時に
基板１から剥離する。

【００２１】圧着ロール１４は次の基板１が搬送されて
きたら、再び基板１側に移動させて、次のフィルムＦの
貼り付けを実施する。

【００２２】上記の実施形態では、フィルムＦを切断し
ていないので、ダストを発生しないし、ミシン目Ｍを形
成した後でカバーフィルム６を連続で剥離できる。ミシ
ン目Ｍの箇所で確実にフィルムＦは基板の寸法に一致さ
せて切断できる。ミシン目Ｍはレジストフィルム５のみ
ならずベースフィルム４に届くまで形成しても構わない
から、フィルムＦの薄さを意識する必要はない。フィル
ムＦは連続しているので、枚葉式のように基板端部に対
する格段の位置合せを必要としないので、この方法を実
施する装置構成は簡単なものでよいし、端部に気泡を作
ることもない。

【００２３】基板１の先端や後端にレジストフィルム５
が貼り付くことを防止したい場合は、貼り付きを阻止し
たい基板１の部分にレジストフィルム５に対して非粘着
性の物質を塗布しておくか、レジストフィルム５に非粘
着性の物質を塗布しておくか、基板１間に保護フィルム
を差し渡しておけばよい。

【００２４】次に、図４により本発明方法の他の実施形
態について説明する。図４で図１に示したもののうち同
一物あるいは相当物には同一引用符号を付けた。図４に
示すフィルム貼付装置で図１に示すフィルム貼付装置と
の差は、基板１の上面にフイルムＦを貼り付ける構成と
なっている。なお、片側のみに貼り付けるので、添字は
省略した。

【００２５】また、図１に示すフィルム貼付装置との差
は、ミシン目形成ユニット７がフイルムＦを挟んで受台
８とフィルムクランパ９及びミシン目カッタ１０の位置
が上下反転していることである。さらなる差は、ミシン
目Ｍ間のレジストフィルム５を剥離してベースフィルム
５を露出させるレジスト剥離機構１５をロール１２の下
流に備えていることである。

【００２６】このレジスト剥離機構１５は、ロール１６
に巻き掛けた粘着テープ１７をミシン目Ｍ間のレジスト
フィルム５に貼り付けつつミシン目形成ユニット７と同
様にフイルムＦの幅方向に移動して、ミシン目Ｍに沿っ
てミシン目Ｍ間のレジストフィルム５を剥ぎとってい
く。

【００２７】この剥ぎ取りは、ミシン目Ｍが形成されて
いるので、簡単に実施できる。剥ぎ取りを円滑に進める
ためには、１対のミシン目カッタ１０のそれぞれとして
図２に示す歯ｔの長さＬｔや切欠きｓの長さＬｓが揃っ
たものを用いるとよい。

【００２８】この実施形態では、ミシン目Ｍ間のレジス
ト５は除去されているので、基板１の先端や後端あるい
は圧着ロール１４にレジストフィルム５が貼り付くこと
はない。

【００２９】基板１へのレジストフィルム５の貼り付け
後に、ロール１８を経てベースフィルム４を基板１から
剥離して巻取ロール１９に巻き取ってもよい。この場
合、カバーフィルム６と同様に、ベースフィルム４を基
板１から連続で剥離することができる。

【００３０】図５は、本発明フィルム貼付方法のさらに
他の実施形態を具現化するフィルム貼付装置を示してい
る。

【００３１】図５に示すフィルム貼付装置で図４に示す
フィルム貼付装置との差は、ミシン目形成ユニット７が
ロール１２の下流に設けられ、ミシン目Ｍ間のレジスト
フィルム５を剥離してベースフィルム５を露出させるレ
ジスト剥離機構１５がミシン目形成ユニット７のミシン
目カッタ１０の間に内蔵されていることである。なお、
レジスト剥離機構１５のロール１６は図示を省略した。

【００３２】この実施形態では、ミシン目Ｍを形成しつ
つミシン目Ｍ間のレジスト５を剥ぎ取っており、ミシン
目形成ユニット７とレジスト剥離機構１５の駆動機構を
兼用することができる。

【００３３】基板１にフィルムＦを貼り付けた後は、フ
ィルムＦの幅方向に移動しつつ回転する円盤カッタ２０
で基板１間のベースフィルム４を切断してもよい。この
時点では基板１はレジストフィルム５で覆われているた
めに、ダストが発生しても問題にならない。円盤カッタ
２０でベースフィルム４を切断する場合は、ベースフィ
ルム４にミシン目Ｍを設けなくてもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明方法によれ
ば、一体化フィルムが薄くても切断しないで、基板を汚
染することなくフィルム本体を基板に正確に貼り付ける
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明フィルム貼付方法の一実施形態を具現化
するフィルム貼付装置の概略図である。

【図２】図１に示したフィルム貼付装置で使用されるミ
シン目カッターの一例を示す図である。

【図３】図１に示したフィルム貼付装置で貼り付けられ
た基板とフィルムの状況を示す図である。

【図４】本発明フィルム貼付方法の他の実施形態を具現
化するフィルム貼付装置の概略図である。

【図５】本発明フィルム貼付方法のさらに他の実施形態
を具現化するフィルム貼付装置の概略図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 搬送ロール ３ フィルムロール ４ ベースフィルム ５ レジストフィルム（フィルム本体） ６ カバーフィルム ７ ミシン目形成ユニット ８ 受台 ９ フィルムクランパ １０ ミシン目カッタ １１ 巻取ロール １４ 圧着ロール １５ レジスト剥離機構 １６ ロール １７ 粘着テープ １９ 巻取ロール ２０ 円盤カッタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石田 剛 山口県下松市東豊井794番地 日立テク ノエンジニアリング株式会社 笠戸事業 所内 (56)参考文献 特開 昭61−280916（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−131607（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00 B29C 63/00 - 63/48 B29C 65/00 - 65/82

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】間隔をもって搬送路上を複数の基板が搬送
   され、その各基板に貼り付けたいフイルム本体の各側に
   ベースフィルムとカバーフィルムを設けて三層構造とし
   たものからカバーフィルムを剥離してフイルム本体が基
   板側になるようにベースフィルムとともに１対の圧着ロ
   ール間を通して基板表面にフイルム本体を貼り付けるも
   のにおいて、 少なくとも貼り付けたいフィルム本体に対し搬送されて
   来る複数の基板の基板間に相当する部位について幅方向
   にミシン目を設け、このミシン目に沿ってフィルム本体
   と基板を貼り付ける前あるいは貼り付けた後でフィルム
   本体を切断することを特徴とするフィルム貼付方法。
2. 【請求項２】上記請求項１に記載のものにおいて、カバ
   ーフィルムはミシン目を設ける前あるいは後で剥離する
   ことを特徴とするフィルム貼付方法。
3. 【請求項３】上記請求項１に記載のものにおいて、ミシ
   ン目はベースフィルム側から設けることを特徴とするフ
   ィルム貼付方法。