JP3385004B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/676—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having magnetic layers separated by a nonmagnetic layer, e.g. antiferromagnetic layer, Cu layer or coupling layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は情報記録技術に係わ
り、特に微細な磁区構造を有し高い記録分解能を達成す
る新規な情報記録層から構成される高密度磁気記録媒体
に関する。
り、特に微細な磁区構造を有し高い記録分解能を達成す
る新規な情報記録層から構成される高密度磁気記録媒体
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録媒体は、膨大な情報量を
記録する手段として盛んに研究開発が行われており、特
にコンピュータ用ハード・ディスク装置に用いられる磁
気記録媒体は、非常な勢いでその記録面密度の高密度化
が進んでいる。
記録する手段として盛んに研究開発が行われており、特
にコンピュータ用ハード・ディスク装置に用いられる磁
気記録媒体は、非常な勢いでその記録面密度の高密度化
が進んでいる。
【０００３】現在、磁気記録媒体の技術としてこの記録
媒体においては「長手記録方式」と称する記録膜の面内
方向に磁化ベクトルを向け信号を記録する記録方式が用
いられているが、更なる高密度記録を実現する方法とし
て、記録膜の垂直方向に磁化ベクトルを向け信号を記録
する「垂直記録方式」(S. Iwasaki and Y. Nakamura;IE
EE Trans. Magn., vol. MAG-13, pp. 1272-1277, 1977)
が注目されている。
媒体においては「長手記録方式」と称する記録膜の面内
方向に磁化ベクトルを向け信号を記録する記録方式が用
いられているが、更なる高密度記録を実現する方法とし
て、記録膜の垂直方向に磁化ベクトルを向け信号を記録
する「垂直記録方式」(S. Iwasaki and Y. Nakamura;IE
EE Trans. Magn., vol. MAG-13, pp. 1272-1277, 1977)
が注目されている。
【０００４】一方、磁気記録材料としては、いずれの記
録方式においても記録層としてＣｏ−Ｃｒ系合金が主に
用いられている。この際、下地層の種類、結晶配向性あ
るいは格子定数により、この層の直上に設けられたＣｏ
−Ｃｒ系合金の結晶配向性を制御することができ、した
がって、磁化ベクトルの方向を決める磁化容易軸の方向
を制御することができる。現在、この様な手法を用い作
製されたＣｏ−Ｃｒ系合金薄膜を情報記録層とする、長
手記録媒体または垂直記録媒体の研究開発が盛んに行わ
れている。
録方式においても記録層としてＣｏ−Ｃｒ系合金が主に
用いられている。この際、下地層の種類、結晶配向性あ
るいは格子定数により、この層の直上に設けられたＣｏ
−Ｃｒ系合金の結晶配向性を制御することができ、した
がって、磁化ベクトルの方向を決める磁化容易軸の方向
を制御することができる。現在、この様な手法を用い作
製されたＣｏ−Ｃｒ系合金薄膜を情報記録層とする、長
手記録媒体または垂直記録媒体の研究開発が盛んに行わ
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したＣｏ−Ｃｒ系
合金薄膜を用いる情報記録媒体に対し、特許第３０１０
１５６号には、情報の保存安定性に優れる結晶磁気異方
性の大きいＬ１０形規則合金薄膜を用いた垂直磁気記録
媒体の図１２（ａ）の如くの構造とその製造方法が教示
されている。この製造方法による垂直磁気記録媒体は、
Ｃｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＭｇＯ又はＮｉ
Ｏの何れから選ばれた元素もしくは化合物を主成分とし
た下地層４０を用い、Ｌ１０形規則合金薄膜を情報記録
層１２とした情報記録媒体である（以下、図１２（ａ）
の構造をもつ媒体を「単層膜垂直磁気記録媒体」と記
す）。
合金薄膜を用いる情報記録媒体に対し、特許第３０１０
１５６号には、情報の保存安定性に優れる結晶磁気異方
性の大きいＬ１０形規則合金薄膜を用いた垂直磁気記録
媒体の図１２（ａ）の如くの構造とその製造方法が教示
されている。この製造方法による垂直磁気記録媒体は、
Ｃｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＭｇＯ又はＮｉ
Ｏの何れから選ばれた元素もしくは化合物を主成分とし
た下地層４０を用い、Ｌ１０形規則合金薄膜を情報記録
層１２とした情報記録媒体である（以下、図１２（ａ）
の構造をもつ媒体を「単層膜垂直磁気記録媒体」と記
す）。
【０００６】さらに、記録特性の制御の為にＦｅ、Ｆｅ
Ｓｉ合金、パーマロイなどの軟磁性材料から成る層３０
（図１２（ｂ））を設け、Ｌ１０形規則合金薄膜を情報
記録層１２とした情報記録媒体である（以下、図１２
（ｂ）の構造をもつ媒体を「二層膜垂直磁気記録媒体」と
記す）。
Ｓｉ合金、パーマロイなどの軟磁性材料から成る層３０
（図１２（ｂ））を設け、Ｌ１０形規則合金薄膜を情報
記録層１２とした情報記録媒体である（以下、図１２
（ｂ）の構造をもつ媒体を「二層膜垂直磁気記録媒体」と
記す）。
【０００７】また、特願平１１−２７６４１４号には、
高い再生出力と高い記録分解能を両立する結晶磁気異方
性の大きいＬ１０形規則合金薄膜を用いた垂直磁気記録
媒体として、図１２（ｃ）の如くの構造とその製造方法
が提案されている。
高い再生出力と高い記録分解能を両立する結晶磁気異方
性の大きいＬ１０形規則合金薄膜を用いた垂直磁気記録
媒体として、図１２（ｃ）の如くの構造とその製造方法
が提案されている。
【０００８】しかしながら、このようなＬ１０形規則合
金薄膜を用いた垂直磁気記録媒体においては、Ｌ１０形
規則合金薄膜の磁気特性、具体的には、抗磁力、飽和磁
化、また磁区寸法の制御が容易ではない。特に記録媒体
の記録分解能の向上、ならびに信号雑音比を改善する媒
体雑音の低減のためには、Ｌ１０形規則合金薄膜の微細
構造を制御し、磁区寸法を低減する技術が必要となる。
金薄膜を用いた垂直磁気記録媒体においては、Ｌ１０形
規則合金薄膜の磁気特性、具体的には、抗磁力、飽和磁
化、また磁区寸法の制御が容易ではない。特に記録媒体
の記録分解能の向上、ならびに信号雑音比を改善する媒
体雑音の低減のためには、Ｌ１０形規則合金薄膜の微細
構造を制御し、磁区寸法を低減する技術が必要となる。
【０００９】一方、K. R. Coffey, M. A. Parker and
J. K. Howard (IEEE Trans. Mag., vol. 31, pp. 2737-
2739 (1995))は、Ｌ１０形規則合金薄膜にＺｒＯｘを添
加した混合物の薄膜を作製し、Ｌ１０形規則合金薄膜の
微細構造を制御する方法を提案している。しかしここで
提案された技術は、Ｌ１０形規則合金相の結晶配向性を
制御していないため、得られる垂直磁化成分が小さく、
高密度記録に適する垂直記録方式に用いることは困難で
ある。また、大きな結晶磁気異方性を発現するＬ１０形
規則合金相の形成のため混合物薄膜の製膜後にアニール
処理を行っているので、複雑な媒体作製工程を必要とす
る方法である。
J. K. Howard (IEEE Trans. Mag., vol. 31, pp. 2737-
2739 (1995))は、Ｌ１０形規則合金薄膜にＺｒＯｘを添
加した混合物の薄膜を作製し、Ｌ１０形規則合金薄膜の
微細構造を制御する方法を提案している。しかしここで
提案された技術は、Ｌ１０形規則合金相の結晶配向性を
制御していないため、得られる垂直磁化成分が小さく、
高密度記録に適する垂直記録方式に用いることは困難で
ある。また、大きな結晶磁気異方性を発現するＬ１０形
規則合金相の形成のため混合物薄膜の製膜後にアニール
処理を行っているので、複雑な媒体作製工程を必要とす
る方法である。
【００１０】これまでに、Ｌ１０形規則合金から成る混
合物薄膜に用いられた添加物としては、ＴａＮ（例え
ば、T. Shimatsu, E. G. Keim, T. Bolhuis, and J. C.
Lodder; J. Magn. Soc. Jpn., S2-21, pp. 313-316 (1
997)）、Ａｇ（例えば、S. Stavroyiannis, I. Panagio
topoulous, D. Niarchos, J. A. Christodoulides, Y.Z
hang, and G. C. Hadjipanayis； Appl. Phys. Lett.,
73, pp. 3453-3455 (1998)）、Ｃ（例えば、M. Yu, Y.
Liu, A. Moser, D. Weller, and D. J. Sellmyer； App
l. Phys. Lett., 75, pp. 3992-3994 (1999)）、Ｂ（例
えば、N. Li, and B. M. Lairson； IEEE Tran. Magn.
vol. 35, pp. 1077-1081 (1999)）、ＳｉＯ２（例え
ば、C. Chen, O. Kitakami, S. Okamoto, Y. Shimada,
K. Shibata,and M. Tanaka； IEEE Trans. Magn., Vol.
35, pp. 3466-3468 (1999)）、Ａｌ ２Ｏ３（例えば、
M. Watanabe, T. Masumoto, D. H. Ping, and K. Hon
o； Appl. Phys. Lett., 76, pp. 3971-3973 (2000)）
などが報告されている。
合物薄膜に用いられた添加物としては、ＴａＮ（例え
ば、T. Shimatsu, E. G. Keim, T. Bolhuis, and J. C.
Lodder; J. Magn. Soc. Jpn., S2-21, pp. 313-316 (1
997)）、Ａｇ（例えば、S. Stavroyiannis, I. Panagio
topoulous, D. Niarchos, J. A. Christodoulides, Y.Z
hang, and G. C. Hadjipanayis； Appl. Phys. Lett.,
73, pp. 3453-3455 (1998)）、Ｃ（例えば、M. Yu, Y.
Liu, A. Moser, D. Weller, and D. J. Sellmyer； App
l. Phys. Lett., 75, pp. 3992-3994 (1999)）、Ｂ（例
えば、N. Li, and B. M. Lairson； IEEE Tran. Magn.
vol. 35, pp. 1077-1081 (1999)）、ＳｉＯ２（例え
ば、C. Chen, O. Kitakami, S. Okamoto, Y. Shimada,
K. Shibata,and M. Tanaka； IEEE Trans. Magn., Vol.
35, pp. 3466-3468 (1999)）、Ａｌ ２Ｏ３（例えば、
M. Watanabe, T. Masumoto, D. H. Ping, and K. Hon
o； Appl. Phys. Lett., 76, pp. 3971-3973 (2000)）
などが報告されている。
【００１１】しかしながら、いずれの添加物が加えられ
たＬ１０形規則合金から成る混合物薄膜の場合も、Ｌ１
０形規則合金相の結晶配向性を制御していないため、得
られる垂直磁化成分が小さく若しくは面内磁化成分が大
きく、これらの混合物薄膜を高密度記録に適する垂直記
録方式に用いることは困難である。
たＬ１０形規則合金から成る混合物薄膜の場合も、Ｌ１
０形規則合金相の結晶配向性を制御していないため、得
られる垂直磁化成分が小さく若しくは面内磁化成分が大
きく、これらの混合物薄膜を高密度記録に適する垂直記
録方式に用いることは困難である。
【００１２】つまり、Ｌ１０形規則合金混合物薄膜にお
いて、垂直磁気記録媒体に適する、即ちＬ１０形規則合
金相の結晶配向性を制御しかつＬ１０形規則合金相の形
成に適する添加物の選定指針は、これまでのところ明ら
かにされていない。したがって、垂直磁気記録媒体のた
めの新しいＬ１０形規則合金混合物薄膜の提案が切望さ
れている。
いて、垂直磁気記録媒体に適する、即ちＬ１０形規則合
金相の結晶配向性を制御しかつＬ１０形規則合金相の形
成に適する添加物の選定指針は、これまでのところ明ら
かにされていない。したがって、垂直磁気記録媒体のた
めの新しいＬ１０形規則合金混合物薄膜の提案が切望さ
れている。
【００１３】そこで本発明の目的は、結晶磁気異方性の
大きいＬ１０形規則合金混合物薄膜を用いた垂直磁気記
録媒体であって、情報記録層の磁気特性を制御する、特
に磁区寸法を低減することのできる高密度記録が可能な
磁気記録媒体を提供することにある。
大きいＬ１０形規則合金混合物薄膜を用いた垂直磁気記
録媒体であって、情報記録層の磁気特性を制御する、特
に磁区寸法を低減することのできる高密度記録が可能な
磁気記録媒体を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は以上の現状に鑑
みて成されたものであり、上記課題を解決し目的を達成
するため、本発明では次のような手段を講じている。即
ち本発明は新しい混合物薄膜組成を見出し、この知見に
基づき本発明を完成するに至った。即ち、本発明の第一
の発明として、情報記録層の磁気特性を制御、特に磁区
寸法を低減するための新しいＬ１０形規則合金の混合物
薄膜から構成される垂直磁気記録媒体を、特許請求の範
囲に記載の如くの方法で提案するものである。
みて成されたものであり、上記課題を解決し目的を達成
するため、本発明では次のような手段を講じている。即
ち本発明は新しい混合物薄膜組成を見出し、この知見に
基づき本発明を完成するに至った。即ち、本発明の第一
の発明として、情報記録層の磁気特性を制御、特に磁区
寸法を低減するための新しいＬ１０形規則合金の混合物
薄膜から構成される垂直磁気記録媒体を、特許請求の範
囲に記載の如くの方法で提案するものである。
【００１５】［１］情報記録層を有し磁場を用いて情報
の記録再生可能な磁気記録媒体において、Ａ群（：Ｆｅ
Ｐｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦｅＰｄ規則合
金、及びこれらの合金）から選ばれるＬ１０形規則合金
とＭｇＯとの混合物から成ることを特徴とする磁気記録
媒体を提案する。 ［２］前記混合物から成る前記情報記録層において、前
記Ｌ１０形規則合金から成るＬ１０形規則合金相の結晶
格子面のミラー指数（００１）が、前記情報記録層の面
と平行になるように形成されていることが特徴の［１］
記載の磁気記録媒体である。
の記録再生可能な磁気記録媒体において、Ａ群（：Ｆｅ
Ｐｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦｅＰｄ規則合
金、及びこれらの合金）から選ばれるＬ１０形規則合金
とＭｇＯとの混合物から成ることを特徴とする磁気記録
媒体を提案する。 ［２］前記混合物から成る前記情報記録層において、前
記Ｌ１０形規則合金から成るＬ１０形規則合金相の結晶
格子面のミラー指数（００１）が、前記情報記録層の面
と平行になるように形成されていることが特徴の［１］
記載の磁気記録媒体である。
【００１６】また、［３］所定の軟磁性材料から成る層
と所定の非磁性材料から成る層と前記情報記録層が順次
形成された層構造を有することを特徴の磁気記録媒体で
ある。さらに、［４］前記非磁性材料はＭｇＯであるこ
とを特徴とする［３］記載の磁気記録媒体である。或い
はまた、［５］前記軟磁性材料が、Ｂ群（：Ｆｅ、Ｆｅ
−Ｓｉ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金）から選ばれることが特徴
の［３］記載の磁気記録媒体である。
と所定の非磁性材料から成る層と前記情報記録層が順次
形成された層構造を有することを特徴の磁気記録媒体で
ある。さらに、［４］前記非磁性材料はＭｇＯであるこ
とを特徴とする［３］記載の磁気記録媒体である。或い
はまた、［５］前記軟磁性材料が、Ｂ群（：Ｆｅ、Ｆｅ
−Ｓｉ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金）から選ばれることが特徴
の［３］記載の磁気記録媒体である。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明は、Ｌ１０形規則合金薄膜
の磁気特性を制御、特に磁区寸法を低減する、新規なＬ
１０形規則合金混合物薄膜から構成される垂直磁気記録
媒体を教示するものである。以下に本発明に係わる好適
な実施形態を挙げ、続いてその複数の実施例に基づき、
図１〜図１１を参照しながら具体的に説明する。
の磁気特性を制御、特に磁区寸法を低減する、新規なＬ
１０形規則合金混合物薄膜から構成される垂直磁気記録
媒体を教示するものである。以下に本発明に係わる好適
な実施形態を挙げ、続いてその複数の実施例に基づき、
図１〜図１１を参照しながら具体的に説明する。
【００１８】図１（ａ）〜（ｄ）には本発明の磁気記録
媒体の基本的な層構造を例示する。本発明は、磁場を用
いて情報の記録再生を行う情報記録媒体において、図１
（ａ）に示す如く、情報記録層１０が、下記のＡ群から
選ばれるＬ１０形規則合金とＭｇＯとの混合物から成る
ことを１つの主な特徴とするものである。但しここでの
Ａ群とは、ＦｅＰｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦ
ｅＰｄ規則合金、及びこれらの合金であるとする。
媒体の基本的な層構造を例示する。本発明は、磁場を用
いて情報の記録再生を行う情報記録媒体において、図１
（ａ）に示す如く、情報記録層１０が、下記のＡ群から
選ばれるＬ１０形規則合金とＭｇＯとの混合物から成る
ことを１つの主な特徴とするものである。但しここでの
Ａ群とは、ＦｅＰｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦ
ｅＰｄ規則合金、及びこれらの合金であるとする。
【００１９】すなわち本発明においては、情報の保存安
定性に優れる情報記録媒体を得るために、上記Ａ群から
選ばれる結晶磁気異方性の大きいＬ１０形規則合金情報
記録層を用い、かつその情報記録層の磁気特性制御のた
めにＭｇＯを添加することを１つの特徴とする。
定性に優れる情報記録媒体を得るために、上記Ａ群から
選ばれる結晶磁気異方性の大きいＬ１０形規則合金情報
記録層を用い、かつその情報記録層の磁気特性制御のた
めにＭｇＯを添加することを１つの特徴とする。
【００２０】ＭｇＯの添加量には特に制約はなく、例え
ば１０体積含有率（％）〜８０体積含有率（％）程度の
範囲でＭｇＯを添加することができる。この際、添加量
を多くするにしたがい、Ｌ１０形規則合金混合物情報記
録層の飽和磁化が小さくなり再生出力が低下する。一
方、磁区寸法は低減し、媒体雑音が改善され、また記録
分解能は向上する。したがって、ＭｇＯの添加量は記録
再生システムから適宜設計することができる。以上の点
は、従来技術であるＭｇＯを添加しないＬ１０形規則合
金を用いた磁気記録媒体に対する本発明による効果であ
る。
ば１０体積含有率（％）〜８０体積含有率（％）程度の
範囲でＭｇＯを添加することができる。この際、添加量
を多くするにしたがい、Ｌ１０形規則合金混合物情報記
録層の飽和磁化が小さくなり再生出力が低下する。一
方、磁区寸法は低減し、媒体雑音が改善され、また記録
分解能は向上する。したがって、ＭｇＯの添加量は記録
再生システムから適宜設計することができる。以上の点
は、従来技術であるＭｇＯを添加しないＬ１０形規則合
金を用いた磁気記録媒体に対する本発明による効果であ
る。
【００２１】さらに、本発明に係わるＭｇＯを添加した
Ｌ１０形規則合金混合物薄膜１０は、他の例えばＳｉＯ
２を添加した混合物薄膜もしくはＡｌ２Ｏ３を添加した
混合物薄膜に比べ低い製膜温度のもとで作製できる利点
を有する。この利点は、従来提案されている添加物に対
する本発明による効果である。一方、当該Ｌ１０形規則
合金混合物薄膜１０の膜厚は記録再生特性の観点から決
めることができ、特に制約はなく、例えば３ｎｍ〜１０
０ｎｍ程度の範囲で設計することができる。
Ｌ１０形規則合金混合物薄膜１０は、他の例えばＳｉＯ
２を添加した混合物薄膜もしくはＡｌ２Ｏ３を添加した
混合物薄膜に比べ低い製膜温度のもとで作製できる利点
を有する。この利点は、従来提案されている添加物に対
する本発明による効果である。一方、当該Ｌ１０形規則
合金混合物薄膜１０の膜厚は記録再生特性の観点から決
めることができ、特に制約はなく、例えば３ｎｍ〜１０
０ｎｍ程度の範囲で設計することができる。
【００２２】さらに、本発明は、図１（ｂ）に示す如
く、前記混合物から成る情報記録層におけるＬ１０形規
則合金相の結晶格子面のミラー指数（００１）が該情報
記録層の面と平行になるように形成されていることも特
徴としている。
く、前記混合物から成る情報記録層におけるＬ１０形規
則合金相の結晶格子面のミラー指数（００１）が該情報
記録層の面と平行になるように形成されていることも特
徴としている。
【００２３】この際、例えば特許第３０１０１５６号に
開示されている如く、結晶格子面のミラー指数（１０
０）が他の隣接層および基板と平行になるように制御さ
れたＣｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＭｇＯ又は
ＮｉＯの何れから選ばれた元素もしくは化合物を主成分
とした下地層４０（図１２（ａ）参照）を用い、本発明
のＬ１０形規則合金混合物薄膜１０’から成る磁気記録
媒体を作製することができる。
開示されている如く、結晶格子面のミラー指数（１０
０）が他の隣接層および基板と平行になるように制御さ
れたＣｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＭｇＯ又は
ＮｉＯの何れから選ばれた元素もしくは化合物を主成分
とした下地層４０（図１２（ａ）参照）を用い、本発明
のＬ１０形規則合金混合物薄膜１０’から成る磁気記録
媒体を作製することができる。
【００２４】また、本発明においては、図１（ｃ）に示
す如く、軟磁性材料から形成される層３０と非磁性材料
から形成される層２０と上記Ｌ１０形規則合金混合物薄
膜を用いた情報記録層１０’が順次形成されていること
も１つの特徴としている。
す如く、軟磁性材料から形成される層３０と非磁性材料
から形成される層２０と上記Ｌ１０形規則合金混合物薄
膜を用いた情報記録層１０’が順次形成されていること
も１つの特徴としている。
【００２５】本発明における情報記録媒体は軟磁性材料
から成る層３０を有していることから、情報記録の際に
用いる磁気ヘッドは、狭い磁界分布から成る垂直磁界を
記録媒体に誘起することができる。したがって、用いる
情報記録層であるＬ１０形規則合金混合物薄膜１０’に
おける磁化ベクトルが膜面に対し垂直、即ちＬ１０形規
則合金相の結晶格子面のミラー指数（００１）が基板と
平行になるよう制御された場合、急峻な垂直磁界を有効
に利用できることにより高密度記録特性が著しく向上
し、高密度記録媒体として特に好ましい。
から成る層３０を有していることから、情報記録の際に
用いる磁気ヘッドは、狭い磁界分布から成る垂直磁界を
記録媒体に誘起することができる。したがって、用いる
情報記録層であるＬ１０形規則合金混合物薄膜１０’に
おける磁化ベクトルが膜面に対し垂直、即ちＬ１０形規
則合金相の結晶格子面のミラー指数（００１）が基板と
平行になるよう制御された場合、急峻な垂直磁界を有効
に利用できることにより高密度記録特性が著しく向上
し、高密度記録媒体として特に好ましい。
【００２６】この際、例えば図１（ｄ）に示す如く、結
晶格子面のミラー指数（１００）が他の隣接層および基
板と平行になるように制御されたＣｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａ
ｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＭｇＯ又はＮｉＯの何れから選ばれる
元素もしくは化合物を主成分とした下地層４０を形成
し、更に本発明における層構造、即ち軟磁性材料から成
る層３０と非磁性材料から成る層２０とＬ１０形規則合
金混合物情報記録層１０’を順次形成することにより、
当該Ｌ１０形規則合金混合物情報記録層におけるＬ１０
形規則合金相の結晶格子面のミラー指数（００１）を他
の隣接層および基板と平行になるように制御することが
できる。
晶格子面のミラー指数（１００）が他の隣接層および基
板と平行になるように制御されたＣｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａ
ｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＭｇＯ又はＮｉＯの何れから選ばれる
元素もしくは化合物を主成分とした下地層４０を形成
し、更に本発明における層構造、即ち軟磁性材料から成
る層３０と非磁性材料から成る層２０とＬ１０形規則合
金混合物情報記録層１０’を順次形成することにより、
当該Ｌ１０形規則合金混合物情報記録層におけるＬ１０
形規則合金相の結晶格子面のミラー指数（００１）を他
の隣接層および基板と平行になるように制御することが
できる。
【００２７】本発明における情報記録媒体は、非磁性材
料から成る層２０を有することにより、高い分解能を実
現できる。この非磁性材料から成る層２０は、軟磁性材
料から成る層３０とＬ１０形規則合金混合物薄膜層１
０’との間の磁気的な相互作用を調整し、磁気特性の改
善、例えばＬ１０形規則合金混合物情報記録層１０’の
抗磁力を大きくする効果を発揮する。更にまた、採用す
る非磁性材料によっては、Ｌ１０形規則合金混合物薄膜
層１０’の結晶性、結晶配向性を制御することができ
る。
料から成る層２０を有することにより、高い分解能を実
現できる。この非磁性材料から成る層２０は、軟磁性材
料から成る層３０とＬ１０形規則合金混合物薄膜層１
０’との間の磁気的な相互作用を調整し、磁気特性の改
善、例えばＬ１０形規則合金混合物情報記録層１０’の
抗磁力を大きくする効果を発揮する。更にまた、採用す
る非磁性材料によっては、Ｌ１０形規則合金混合物薄膜
層１０’の結晶性、結晶配向性を制御することができ
る。
【００２８】非磁性材料から成る層２０は、軟磁性材料
から成る層３０及びＬ１０形規則合金混合物薄膜層１
０’の両層と合金化しないことが好ましく、特にＭｇＯ
を用いた場合、分解能の向上に著しい効果を示す。さら
にＭｇＯを用いた場合、Ｌ１０形規則合金混合物薄膜層
１０’におけるＬ１０形規則合金相の結晶性および結晶
配向性を向上させることができ、当該情報記録層１０’
の膜厚を低減できる。したがって、情報記録の際に用い
る磁気ヘッドの磁界分布を狭めることができ、またその
強度を強めることができることから、記録特性の向上に
対する効果も期待できる。
から成る層３０及びＬ１０形規則合金混合物薄膜層１
０’の両層と合金化しないことが好ましく、特にＭｇＯ
を用いた場合、分解能の向上に著しい効果を示す。さら
にＭｇＯを用いた場合、Ｌ１０形規則合金混合物薄膜層
１０’におけるＬ１０形規則合金相の結晶性および結晶
配向性を向上させることができ、当該情報記録層１０’
の膜厚を低減できる。したがって、情報記録の際に用い
る磁気ヘッドの磁界分布を狭めることができ、またその
強度を強めることができることから、記録特性の向上に
対する効果も期待できる。
【００２９】非磁性材料から成る層２０の膜厚は、ここ
に用いる軟磁性材料から成る層３０とＬ１０形規則合金
薄膜層１０’の組み合わせにより適宜設計できるが、少
なくとも情報記録の際に用いる磁気ヘッドが発生する記
録磁界を損ねない程度の膜厚、例えば１０ｎｍ程度以下
の膜厚が好ましい。尚、本発明で言う処の「非磁性材
料」は、室温において、反磁性、パラ磁性、アンチフェ
ロ磁性を示す材料を指すものとする。
に用いる軟磁性材料から成る層３０とＬ１０形規則合金
薄膜層１０’の組み合わせにより適宜設計できるが、少
なくとも情報記録の際に用いる磁気ヘッドが発生する記
録磁界を損ねない程度の膜厚、例えば１０ｎｍ程度以下
の膜厚が好ましい。尚、本発明で言う処の「非磁性材
料」は、室温において、反磁性、パラ磁性、アンチフェ
ロ磁性を示す材料を指すものとする。
【００３０】本発明における軟磁性層材料から成る層３
０は、用いるＬ１０形規則合金混合物薄膜１０’の飽和
磁化、情報記録の際に用いる磁気ヘッド、或いはまた記
録再生システムにより、合金、酸化物、多層膜、グラニ
ュラー膜から適宜に選ぶことができる。例えば、高い飽
和磁化を有するＦｅもしくはＦｅ系合金、具体的にはＦ
ｅ−Ｓｉ合金（例えば、Ｓｉ組成が１．５重量％）、Ｎ
ｉ―Ｆｅ合金（例えば、重量組成比としてＮｉ／Ｆｅ＝
１）を用いると軟磁性材料は薄膜化でき、また高い透磁
率を有するＮｉ―Ｆｅ合金（例えば、重量組成比として
Ｎｉ／Ｆｅ＝４）を用いると高い記録感度が得られる。
このようなことから、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｓｉ合金、Ｎｉ−Ｆ
ｅ合金は特に好ましい。
０は、用いるＬ１０形規則合金混合物薄膜１０’の飽和
磁化、情報記録の際に用いる磁気ヘッド、或いはまた記
録再生システムにより、合金、酸化物、多層膜、グラニ
ュラー膜から適宜に選ぶことができる。例えば、高い飽
和磁化を有するＦｅもしくはＦｅ系合金、具体的にはＦ
ｅ−Ｓｉ合金（例えば、Ｓｉ組成が１．５重量％）、Ｎ
ｉ―Ｆｅ合金（例えば、重量組成比としてＮｉ／Ｆｅ＝
１）を用いると軟磁性材料は薄膜化でき、また高い透磁
率を有するＮｉ―Ｆｅ合金（例えば、重量組成比として
Ｎｉ／Ｆｅ＝４）を用いると高い記録感度が得られる。
このようなことから、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｓｉ合金、Ｎｉ−Ｆ
ｅ合金は特に好ましい。
【００３１】また、これらの合金と例えば酸化物から成
るグラニュラー膜は電気抵抗率が大きく、高周波記録時
に発生する渦電流損失を低減できることから、高周波記
録用途として用いることができる。一方、アモルファス
合金、例えばＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ合金を用いた場合は、記
録媒体の表面平滑性を向上させることができ、情報記録
・再生の際に用いる磁気ヘッドへの損傷を低減すること
ができることから、このような材料を用いることも好適
である。
るグラニュラー膜は電気抵抗率が大きく、高周波記録時
に発生する渦電流損失を低減できることから、高周波記
録用途として用いることができる。一方、アモルファス
合金、例えばＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ合金を用いた場合は、記
録媒体の表面平滑性を向上させることができ、情報記録
・再生の際に用いる磁気ヘッドへの損傷を低減すること
ができることから、このような材料を用いることも好適
である。
【００３２】軟磁性材料から成る層３０の膜厚は、用い
る磁気ヘッドの幾何学的な形状から設計することがで
き、具体的には単磁極型の記録ヘッドを用いる場合は５
０ｎｍ〜１μｍ程度までの膜厚で媒体を設計することが
可能であり、リングタイプの記録ヘッドを用いる場合は
５ｎｍ〜５０ｎｍ程度の膜厚で媒体を設計することもで
きる。
る磁気ヘッドの幾何学的な形状から設計することがで
き、具体的には単磁極型の記録ヘッドを用いる場合は５
０ｎｍ〜１μｍ程度までの膜厚で媒体を設計することが
可能であり、リングタイプの記録ヘッドを用いる場合は
５ｎｍ〜５０ｎｍ程度の膜厚で媒体を設計することもで
きる。
【００３３】さらに本発明による情報記録媒体は、「ス
パッタ製膜法」を用いて作製することができる。すなわ
ち、軟磁性層３０と、非磁性層２０と、下記Ａ群から選
ばれるＬ１０形規則合金とＭｇＯの混合物から成る情報
記録層１０もしくは１０’を順次に形成していくこと
で、磁気記録媒体の層構造として作製する。但し、Ａ群
は、ＦｅＰｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦｅＰｄ
規則合金、及びこれらの合金とする。
パッタ製膜法」を用いて作製することができる。すなわ
ち、軟磁性層３０と、非磁性層２０と、下記Ａ群から選
ばれるＬ１０形規則合金とＭｇＯの混合物から成る情報
記録層１０もしくは１０’を順次に形成していくこと
で、磁気記録媒体の層構造として作製する。但し、Ａ群
は、ＦｅＰｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦｅＰｄ
規則合金、及びこれらの合金とする。
【００３４】またその他にも、軟磁性材料から成る層３
０はスパッタ製膜法だけでなく、例えば電気化学的手法
で作製することも可能であり、さらには軟磁性材料で作
製された基板、例えばフェライト基板を用いることでそ
の機能を果たすことも可能である。尚、本発明において
用いることの可能な基板の種類については、特に制約は
ないが、例えば、ガラス基板、Ｓｉ基板、サファイア基
板、その他セラミックスなどを用いることができる。
０はスパッタ製膜法だけでなく、例えば電気化学的手法
で作製することも可能であり、さらには軟磁性材料で作
製された基板、例えばフェライト基板を用いることでそ
の機能を果たすことも可能である。尚、本発明において
用いることの可能な基板の種類については、特に制約は
ないが、例えば、ガラス基板、Ｓｉ基板、サファイア基
板、その他セラミックスなどを用いることができる。
【００３５】ここで、本発明による磁気記録媒体を評価
するための評価基準としては、次のような評価方法に従
っている。すなわち、 （１） 結晶構造の評価に関しては、Ｃｕ−Ｋα線を用
いたＸ線回折により行う。この際、結晶配向性の評価
は、評価すべき結晶格子面に対するロッキングカーブを
測定し、その半値幅を指標とする。
するための評価基準としては、次のような評価方法に従
っている。すなわち、 （１） 結晶構造の評価に関しては、Ｃｕ−Ｋα線を用
いたＸ線回折により行う。この際、結晶配向性の評価
は、評価すべき結晶格子面に対するロッキングカーブを
測定し、その半値幅を指標とする。
【００３６】（２） 磁気特性の評価には、極カー効果
を用いヒステリシスループを測定し、垂直抗磁力を求め
る。またループの角形性は、残留磁化状態におけるカー
回転角（θｒ）の最大印加磁界（１３ｋＯｅ）における
カー回転角（θｍ）に対する比（θｒ／θｍ）とする。 （３） 磁区の大きさの評価に関しては、試料を交流消
磁を行い、磁気力顕微鏡により試料の磁気像を観測し、
そのスペクトル解析から評価する。
を用いヒステリシスループを測定し、垂直抗磁力を求め
る。またループの角形性は、残留磁化状態におけるカー
回転角（θｒ）の最大印加磁界（１３ｋＯｅ）における
カー回転角（θｍ）に対する比（θｒ／θｍ）とする。 （３） 磁区の大きさの評価に関しては、試料を交流消
磁を行い、磁気力顕微鏡により試料の磁気像を観測し、
そのスペクトル解析から評価する。
【００３７】（４） 記録再生特性の評価は、線速度
５．０８ｍ／ｓのもとで行う。記録用磁気ヘッドとして
は主磁極厚が１μｍ、トラック幅１０μｍから成る薄膜
単磁極型ヘッドを用い、再生用ヘッドとしてはシールド
ギャップ長０．１３μｍ、トラック幅０．６３μｍから
成る磁気抵抗ヘッドを用いる。
５．０８ｍ／ｓのもとで行う。記録用磁気ヘッドとして
は主磁極厚が１μｍ、トラック幅１０μｍから成る薄膜
単磁極型ヘッドを用い、再生用ヘッドとしてはシールド
ギャップ長０．１３μｍ、トラック幅０．６３μｍから
成る磁気抵抗ヘッドを用いる。
【００３８】続いて、本発明を適用した幾つかの詳しい
実施例を挙げ、それぞれを上記の評価方法にて従来技術
で得られたものと順次比較しながら、本発明がもたらす
作用効果について説明する。
実施例を挙げ、それぞれを上記の評価方法にて従来技術
で得られたものと順次比較しながら、本発明がもたらす
作用効果について説明する。
【００３９】
【実施例１】図２（ａ）,（ｂ）および図３（ａ）,
（ｂ）には、本発明に係わる実施例１の磁気記録媒体
と、それらの比較例の磁気記録媒体の層構造を例示す
る。
（ｂ）には、本発明に係わる実施例１の磁気記録媒体
と、それらの比較例の磁気記録媒体の層構造を例示す
る。
【００４０】本発明における実施例１の磁気記録媒体
は、図２（ａ）に示す層構造を有するものであり、次の
ようにして作製する。すなわち、ハード・ディスク基板
上に、膜厚５ｎｍのＭｇＯ層を「ＲＦマグネトロンスパ
ッタ法」により、次に膜厚７０ｎｍのＣｒ層を「ＤＣマ
グネトロンスパッタ法」により、次に本発明における軟
磁性層として膜厚２００ｎｍのＦｅＳｉ層を「ＤＣマグ
ネトロンスパッタ法」により、次に本発明における非磁
性層として膜厚１ｎｍのＭｇＯ層を「ＲＦマグネトロン
スパッタ法」により、さらに本発明のＦｅＰｔ規則合金
とＭｇＯの混合物（以下、ＦｅＰｔ−ＭｇＯ混合物薄膜
層と記す）から成る膜厚１２ｎｍの情報記録層を順次作
製する。この時、ＦｅＰｔ−ＭｇＯ混合物薄膜層は、Ｆ
ｅＰｔ合金（原子組成比としてＦｅ／Ｐｔ＝１）スパッ
タターゲット上にＭｇＯのチップを並べ、「ＲＦスパッ
タ法」を用いて製膜する。そのスパッタ製膜条件は、基
板温度４５０℃、スパッタガス圧５０Ｐａ、ターゲット
基板間距離は９５ｍｍである。尚、他のすべての層のス
パッタ製膜条件は、基板温度５０℃、スパッタガス圧
０．２Ｐａ、ターゲット基板間距離は５０ｍｍである。
は、図２（ａ）に示す層構造を有するものであり、次の
ようにして作製する。すなわち、ハード・ディスク基板
上に、膜厚５ｎｍのＭｇＯ層を「ＲＦマグネトロンスパ
ッタ法」により、次に膜厚７０ｎｍのＣｒ層を「ＤＣマ
グネトロンスパッタ法」により、次に本発明における軟
磁性層として膜厚２００ｎｍのＦｅＳｉ層を「ＤＣマグ
ネトロンスパッタ法」により、次に本発明における非磁
性層として膜厚１ｎｍのＭｇＯ層を「ＲＦマグネトロン
スパッタ法」により、さらに本発明のＦｅＰｔ規則合金
とＭｇＯの混合物（以下、ＦｅＰｔ−ＭｇＯ混合物薄膜
層と記す）から成る膜厚１２ｎｍの情報記録層を順次作
製する。この時、ＦｅＰｔ−ＭｇＯ混合物薄膜層は、Ｆ
ｅＰｔ合金（原子組成比としてＦｅ／Ｐｔ＝１）スパッ
タターゲット上にＭｇＯのチップを並べ、「ＲＦスパッ
タ法」を用いて製膜する。そのスパッタ製膜条件は、基
板温度４５０℃、スパッタガス圧５０Ｐａ、ターゲット
基板間距離は９５ｍｍである。尚、他のすべての層のス
パッタ製膜条件は、基板温度５０℃、スパッタガス圧
０．２Ｐａ、ターゲット基板間距離は５０ｍｍである。
【００４１】（作用効果１）図４（ａ）に、上述した方
法で作製された記録媒体のＸ線回折パターンを示す。図
示の如く、ＦｅＰｔ規則合金相の形成とその結晶配向性
が結晶格子面のミラー指数（００１）であることを示す
回折パターンとなっている。このＦｅＰｔ規則合金相の
結晶格子面のミラー指数（００１）に対するロッキング
カーブ半値幅は４．８度であり、優れた結晶配向性であ
ることがわかる。
法で作製された記録媒体のＸ線回折パターンを示す。図
示の如く、ＦｅＰｔ規則合金相の形成とその結晶配向性
が結晶格子面のミラー指数（００１）であることを示す
回折パターンとなっている。このＦｅＰｔ規則合金相の
結晶格子面のミラー指数（００１）に対するロッキング
カーブ半値幅は４．８度であり、優れた結晶配向性であ
ることがわかる。
【００４２】また図４（ｂ）に、上述の記録媒体のヒス
テリシスループを示す。垂直抗磁力は３．４ｋＯｅ、角
形性は０．９６であり、垂直磁気記録媒体として優れた
磁気特性を示すことがわかる。
テリシスループを示す。垂直抗磁力は３．４ｋＯｅ、角
形性は０．９６であり、垂直磁気記録媒体として優れた
磁気特性を示すことがわかる。
【００４３】さらに図５（ａ）には、上述の記録媒体の
磁区構造を磁気力顕微鏡を用いて観測した結果を示す。
この磁気力顕微鏡像のスペクトル解析から求まる磁区寸
法は７８ｎｍであり、次に例示する従来技術にもとづく
比較例１の情報記録媒体に比べ、小さな磁区寸法である
ことがわかる。
磁区構造を磁気力顕微鏡を用いて観測した結果を示す。
この磁気力顕微鏡像のスペクトル解析から求まる磁区寸
法は７８ｎｍであり、次に例示する従来技術にもとづく
比較例１の情報記録媒体に比べ、小さな磁区寸法である
ことがわかる。
【００４４】一方、図５（ｂ）には、上述の記録媒体の
記録再生特性の評価結果を示す。例示するものは、線記
録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録した際の再生信号
のスペクトル、線記録密度４００ｋＦＲＰＩの信号を記
録した際の再生信号のスペクトル、ならびに線記録密度
５００ｋＦＲＰＩの信号を記録した際の再生信号のスペ
クトルをそれぞれ合わせてここに図示している。よっ
て、図示の如く、線記録密度５００ｋＦＲＰＩの信号が
記録再生できることがわかる。すなわち、本発明の記録
媒体は高い分解能を有していることを示している。
記録再生特性の評価結果を示す。例示するものは、線記
録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録した際の再生信号
のスペクトル、線記録密度４００ｋＦＲＰＩの信号を記
録した際の再生信号のスペクトル、ならびに線記録密度
５００ｋＦＲＰＩの信号を記録した際の再生信号のスペ
クトルをそれぞれ合わせてここに図示している。よっ
て、図示の如く、線記録密度５００ｋＦＲＰＩの信号が
記録再生できることがわかる。すなわち、本発明の記録
媒体は高い分解能を有していることを示している。
【００４５】（比較例１）本発明の情報記録媒体に対す
る１つの比較例として、実施例１記載の磁気記録媒体を
構成する情報記録層１１を従来技術のＦｅＰｔ薄膜層１
２とした以外は同じ方法で媒体を作製した（図２（ｂ）
参照）。
る１つの比較例として、実施例１記載の磁気記録媒体を
構成する情報記録層１１を従来技術のＦｅＰｔ薄膜層１
２とした以外は同じ方法で媒体を作製した（図２（ｂ）
参照）。
【００４６】図６にこの媒体の磁区構造を磁気力顕微鏡
を用いて観測した結果を示す。この磁気力顕微鏡像のス
ペクトル解析から求まる磁区寸法は９５ｎｍであり、実
施例１の情報記録媒体に比べ、薄膜の微細構造を制御し
ていないことから大きな磁区寸法であることがわかる。
を用いて観測した結果を示す。この磁気力顕微鏡像のス
ペクトル解析から求まる磁区寸法は９５ｎｍであり、実
施例１の情報記録媒体に比べ、薄膜の微細構造を制御し
ていないことから大きな磁区寸法であることがわかる。
【００４７】（比較例２）本発明の情報記録媒体に対す
るもう１つの比較例として、実施例１に記載の磁気記録
媒体を構成する情報記録層１１をＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混
合物薄膜層１３とした以外は同じ方法で媒体を作製した
（図３（ａ）参照）。
るもう１つの比較例として、実施例１に記載の磁気記録
媒体を構成する情報記録層１１をＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混
合物薄膜層１３とした以外は同じ方法で媒体を作製した
（図３（ａ）参照）。
【００４８】尚、このＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混合物薄膜層
はＦｅＰｔ合金（原子組成比としてＦｅ／Ｐｔ＝１）ス
パッタターゲット上にＳｉＯ２チップをならべ、「ＲＦ
スパッタ法」を用いて製膜した。そのスパッタ製膜条件
は、基板温度４５０℃、スパッタガス圧５０Ｐａ、ター
ゲット基板間距離は９５ｍｍである。
はＦｅＰｔ合金（原子組成比としてＦｅ／Ｐｔ＝１）ス
パッタターゲット上にＳｉＯ２チップをならべ、「ＲＦ
スパッタ法」を用いて製膜した。そのスパッタ製膜条件
は、基板温度４５０℃、スパッタガス圧５０Ｐａ、ター
ゲット基板間距離は９５ｍｍである。
【００４９】ここで図７には、比較例２における記録媒
体のヒステリシスループを示す。垂直抗磁力は０．８ｋ
Ｏｅ、角形性は０.２３であり、磁気記録媒体として用
いるには困難な特性であることがわかる。
体のヒステリシスループを示す。垂直抗磁力は０．８ｋ
Ｏｅ、角形性は０.２３であり、磁気記録媒体として用
いるには困難な特性であることがわかる。
【００５０】（比較例３）本発明の情報記録媒体に対す
る更にもう１つの比較例として、実施例１に記載の磁気
記録媒体を構成する情報記録層１１をＦｅＰｔ−Ａｌ２
Ｏ３混合物薄膜層１４とした以外は同じ方法で媒体を作
製した（図３（ｂ）参照）。尚、このＦｅＰｔ−Ａｌ２
Ｏ３混合物薄膜層はＦｅＰｔ合金（原子組成比としてＦ
ｅ／Ｐｔ＝１）スパッタターゲット上にＡｌ２Ｏ３チッ
プを並べ、「ＲＦスパッタ法」を用いて製膜した。その
スパッタ製膜条件は、基板温度４５０℃、スパッタガス
圧５０Ｐａ、ターゲット基板間距離は９５ｍｍである。
る更にもう１つの比較例として、実施例１に記載の磁気
記録媒体を構成する情報記録層１１をＦｅＰｔ−Ａｌ２
Ｏ３混合物薄膜層１４とした以外は同じ方法で媒体を作
製した（図３（ｂ）参照）。尚、このＦｅＰｔ−Ａｌ２
Ｏ３混合物薄膜層はＦｅＰｔ合金（原子組成比としてＦ
ｅ／Ｐｔ＝１）スパッタターゲット上にＡｌ２Ｏ３チッ
プを並べ、「ＲＦスパッタ法」を用いて製膜した。その
スパッタ製膜条件は、基板温度４５０℃、スパッタガス
圧５０Ｐａ、ターゲット基板間距離は９５ｍｍである。
【００５１】図８には、比較例３の記録媒体のヒステリ
シスループを示す。これにより、垂直抗磁力は０．１ｋ
Ｏｅ、角形性は０.０２であり、磁気記録媒体として用
いるには困難な特性であることがわかる。
シスループを示す。これにより、垂直抗磁力は０．１ｋ
Ｏｅ、角形性は０.０２であり、磁気記録媒体として用
いるには困難な特性であることがわかる。
【００５２】
【実施例２】本発明における実施例２の磁気記録媒体で
は、上述の実施例１に記載の磁気記録媒体を構成するこ
の発明による軟磁性層３１（図２（ａ）参照）の膜厚を
５００ｎｍとし、さらに本発明の情報記録層１１を作製
する際の基板温度を例えば３００℃、３５０℃、４００
℃、４５０℃、５００℃と変えて製膜を行う。
は、上述の実施例１に記載の磁気記録媒体を構成するこ
の発明による軟磁性層３１（図２（ａ）参照）の膜厚を
５００ｎｍとし、さらに本発明の情報記録層１１を作製
する際の基板温度を例えば３００℃、３５０℃、４００
℃、４５０℃、５００℃と変えて製膜を行う。
【００５３】（作用効果２）図９には、この実施例２に
よって作製したそれぞれの媒体のＦｅＰｔ−ＭｇＯ混合
物薄膜に対する垂直抗磁力の評価を行った結果を示す。
図示の如く、次に例示する比較例４におけるＦｅＰｔ−
ＳｉＯ２混合物薄膜もしくは比較例５におけるＦｅＰｔ
−Ａｌ２Ｏ３混合物薄膜に対する垂直抗磁力に比べ、よ
り低い基板温度で十分高い垂直抗磁力が得られることが
わかる。すなわち、ＭｇＯを添加したＬ１０形規則合金
混合物は、垂直磁気記録媒体に適した、優れた混合物組
成であることを示している。
よって作製したそれぞれの媒体のＦｅＰｔ−ＭｇＯ混合
物薄膜に対する垂直抗磁力の評価を行った結果を示す。
図示の如く、次に例示する比較例４におけるＦｅＰｔ−
ＳｉＯ２混合物薄膜もしくは比較例５におけるＦｅＰｔ
−Ａｌ２Ｏ３混合物薄膜に対する垂直抗磁力に比べ、よ
り低い基板温度で十分高い垂直抗磁力が得られることが
わかる。すなわち、ＭｇＯを添加したＬ１０形規則合金
混合物は、垂直磁気記録媒体に適した、優れた混合物組
成であることを示している。
【００５４】（比較例４）比較例２に記載の情報記録媒
体を構成する軟磁性層３１の膜厚を５００ｎｍとし、さ
らに情報記録層であるＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混合物薄膜１
３（図３（ａ）参照）を作製する際の基板温度を４００
℃、４５０℃、５００℃、５５０℃、６００℃と変えて
製膜を行う。
体を構成する軟磁性層３１の膜厚を５００ｎｍとし、さ
らに情報記録層であるＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混合物薄膜１
３（図３（ａ）参照）を作製する際の基板温度を４００
℃、４５０℃、５００℃、５５０℃、６００℃と変えて
製膜を行う。
【００５５】図１０には、この比較例４により作製した
それぞれの記録媒体のＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混合物薄膜に
対する垂直抗磁力の評価を行った結果を示す。実施例２
に比べ、磁気記録媒体に適する垂直抗磁力を達成するた
めに高い基板温度が必要となることがわかる。よって、
温度の高さとそれに伴うコストの問題が許せば、このよ
うな混合物薄膜を用いることも可能である。
それぞれの記録媒体のＦｅＰｔ−ＳｉＯ２混合物薄膜に
対する垂直抗磁力の評価を行った結果を示す。実施例２
に比べ、磁気記録媒体に適する垂直抗磁力を達成するた
めに高い基板温度が必要となることがわかる。よって、
温度の高さとそれに伴うコストの問題が許せば、このよ
うな混合物薄膜を用いることも可能である。
【００５６】（比較例５）上述の比較例３に記載の情報
記録媒体を構成する軟磁性層３１の膜厚を５００ｎｍと
し、さらに情報記録媒体を構成する情報記録層であるＦ
ｅＰｔ−Ａｌ２Ｏ ３混合物薄膜１４（図３（ｂ）参照）
を作製する際の基板温度を例えば３５０℃、４００℃、
４５０℃、５００℃、５５０℃、６００℃と変えて製膜
を行う。
記録媒体を構成する軟磁性層３１の膜厚を５００ｎｍと
し、さらに情報記録媒体を構成する情報記録層であるＦ
ｅＰｔ−Ａｌ２Ｏ ３混合物薄膜１４（図３（ｂ）参照）
を作製する際の基板温度を例えば３５０℃、４００℃、
４５０℃、５００℃、５５０℃、６００℃と変えて製膜
を行う。
【００５７】図１１には、上記比較例５により作製した
それぞれの媒体のＦｅＰｔ−Ａｌ２Ｏ３混合物薄膜に対
する垂直抗磁力の評価を行った結果を示す。実施例２に
比べ、磁気記録媒体に適する垂直抗磁力を達成するため
に高い基板温度が必要となることがわかる。よって、温
度の高さとそれに伴うコストの問題が許せば、このよう
な混合物薄膜を用いることも可能である。
それぞれの媒体のＦｅＰｔ−Ａｌ２Ｏ３混合物薄膜に対
する垂直抗磁力の評価を行った結果を示す。実施例２に
比べ、磁気記録媒体に適する垂直抗磁力を達成するため
に高い基板温度が必要となることがわかる。よって、温
度の高さとそれに伴うコストの問題が許せば、このよう
な混合物薄膜を用いることも可能である。
【００５８】（変形例）以上、複数の実施形態と具体的
な実施例に従って本発明を説明してきたが、この発明は
これらの例により限定されるものではなく、そのほかに
も本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可
能である。
な実施例に従って本発明を説明してきたが、この発明は
これらの例により限定されるものではなく、そのほかに
も本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可
能である。
【００５９】
【発明の効果】このように、本発明が提案する垂直磁気
記録媒体を用いれば、磁気特性の制御特に磁区寸法を低
減することができ、高い記録分解能を達成することがで
きる。また、本発明のＬ１０形規則合金混合物薄膜から
構成される記録媒体は、従来技術のＬ１０形規則合金混
合物薄膜から構成される記録媒体に比べて低い製膜温度
で優れた磁気特性を発現できる。
記録媒体を用いれば、磁気特性の制御特に磁区寸法を低
減することができ、高い記録分解能を達成することがで
きる。また、本発明のＬ１０形規則合金混合物薄膜から
構成される記録媒体は、従来技術のＬ１０形規則合金混
合物薄膜から構成される記録媒体に比べて低い製膜温度
で優れた磁気特性を発現できる。
【００６０】さらに、本発明の垂直磁気記録媒体は結晶
磁気異方性の大きいＬ１０形規則合金薄膜を用いている
ことから、情報の保存安定性に優れた効果を有し、よっ
て、将来求められる更なる高密度情報記録に有望な高密
度情報記録媒体、特に磁気記録における高い記録分解能
を達成する磁気記録媒体を提供することが可能となる。
磁気異方性の大きいＬ１０形規則合金薄膜を用いている
ことから、情報の保存安定性に優れた効果を有し、よっ
て、将来求められる更なる高密度情報記録に有望な高密
度情報記録媒体、特に磁気記録における高い記録分解能
を達成する磁気記録媒体を提供することが可能となる。
【図１】図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明の磁気記録媒体
の基本的な層構造図。
の基本的な層構造図。
【図２】図２（ａ）は、実施例１の磁気記録媒体の層構
造図、図２（ｂ）は、実施例１に対する比較例１の磁気
記録媒体の層構造図。
造図、図２（ｂ）は、実施例１に対する比較例１の磁気
記録媒体の層構造図。
【図３】図３（ａ）は、実施例１に対する比較例２の磁
気記録媒体の層構造図、図３（ｂ）は、実施例１に対す
る比較例３の磁気記録媒体の層構造図。
気記録媒体の層構造図、図３（ｂ）は、実施例１に対す
る比較例３の磁気記録媒体の層構造図。
【図４】図４（ａ）は、実施例１の磁気記録媒体におけ
るＸ線回折パターンを示すグラフ、図４（ｂ）は、実施
例１の磁気記録媒体における磁気特性を示すヒステリシ
スループ。
るＸ線回折パターンを示すグラフ、図４（ｂ）は、実施
例１の磁気記録媒体における磁気特性を示すヒステリシ
スループ。
【図５】 図５（ａ）、（ｂ）は実施例１の磁気記録媒
体を示し、図５（ａ）は、実施例１の磁気記録媒体にお
ける磁区像を磁気力顕微鏡によって観察した拡大図、図
５（ｂ）は、実施例１の磁気記録媒体における記録再生
評価の結果を示す再生出力のスペクトル。
体を示し、図５（ａ）は、実施例１の磁気記録媒体にお
ける磁区像を磁気力顕微鏡によって観察した拡大図、図
５（ｂ）は、実施例１の磁気記録媒体における記録再生
評価の結果を示す再生出力のスペクトル。
【図６】図６は、実施例１に対する比較例１の磁気記録
媒体における磁区像を磁気力顕微鏡によって観察した拡
大図。
媒体における磁区像を磁気力顕微鏡によって観察した拡
大図。
【図７】図７は、実施例１に対する比較例２の磁気記録
媒体における磁気特性を示すヒステリシスループ。
媒体における磁気特性を示すヒステリシスループ。
【図８】図８は、実施例１に対する比較例３の磁気記録
媒体における磁気特性を示すヒステリシスループ。
媒体における磁気特性を示すヒステリシスループ。
【図９】図９は、実施例２で作製した磁気記録媒体にお
ける製膜時の基板温度と垂直抗磁力の関係を示すグラ
フ。
ける製膜時の基板温度と垂直抗磁力の関係を示すグラ
フ。
【図１０】図１０は、実施例２に対する比較例４におけ
る製膜時の基板温度と垂直抗磁力の関係を示すグラフ。
る製膜時の基板温度と垂直抗磁力の関係を示すグラフ。
【図１１】図１１は、実施例２に対する比較例５におけ
る製膜時の基板温度と垂直抗磁力の関係を示すグラフ。
る製膜時の基板温度と垂直抗磁力の関係を示すグラフ。
【図１２】図１２（ａ）〜（ｃ）は、従来の磁気記録媒
体の基本的な層構造図。
体の基本的な層構造図。
【符号の説明】
１０…Ｌ１０形規則合金とＭｇＯとから成る混合物薄膜
情報記録層、 １０’…結晶格子面が配向したＬ１０形規則合金相とＭ
ｇＯとから成る混合物薄膜情報記録層、 １１…ＦｅＰｔ規則合金とＭｇＯとから成る混合物薄膜
層、 １２〜１４…従来技術における情報記録層、 ２０…非磁性材料から成る層、 ２１…非磁性層（ＭｇＯ層）、 ３０…軟磁性材料から成る層、 ３１…軟磁性層（ＦｅＳｉ層）、 ４０…結晶格子面(００１)が配向した下地層、 ４１…Ｃｒ層、 ５１…ＭｇＯ層。
情報記録層、 １０’…結晶格子面が配向したＬ１０形規則合金相とＭ
ｇＯとから成る混合物薄膜情報記録層、 １１…ＦｅＰｔ規則合金とＭｇＯとから成る混合物薄膜
層、 １２〜１４…従来技術における情報記録層、 ２０…非磁性材料から成る層、 ２１…非磁性層（ＭｇＯ層）、 ３０…軟磁性材料から成る層、 ３１…軟磁性層（ＦｅＳｉ層）、 ４０…結晶格子面(００１)が配向した下地層、 ４１…Ｃｒ層、 ５１…ＭｇＯ層。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｈ０１Ｆ 10/30 Ｈ０１Ｆ 10/30
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 5/66
Claims (5)
- 【請求項１】 情報記録層を有し、磁場を用いて情報の
記録再生可能な磁気記録媒体において、 前記情報記録層は、下記Ａ群から選ばれるＬ１０形規則
合金とＭｇＯとの混合物から成ることを特徴とする磁気
記録媒体。 Ａ群：ＦｅＰｔ規則合金、ＣｏＰｔ規則合金又はＦｅＰ
ｄ規則合金、及びこれらの合金。 - 【請求項２】 前記混合物から成る前記情報記録層にお
いて、 前記Ｌ１０形規則合金から成るＬ１０形規則合金相の結
晶格子面のミラー指数（００１）が、前記情報記録層の
面と平行になるように形成されていることを特徴とす
る、請求項１に記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 所定の軟磁性材料から成る層と所定の非
磁性材料から成る層と前記情報記録層が、順次形成され
た層構造を有することを特徴とする、請求項２に記載の
磁気記録媒体。 - 【請求項４】 前記非磁性材料は、ＭｇＯであることを
特徴とする、請求項３に記載の磁気記録媒体。 - 【請求項５】 前記軟磁性材料は、下記Ｂ群から選ばれ
ることを特徴とする、請求項３に記載の磁気記録媒体。 Ｂ群：Ｆｅ、Ｆｅ−Ｓｉ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金。
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Family
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| JP2004165630A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-06-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁性粒子塗布物、磁性粒子塗布物の製造方法、磁気記録媒体、電磁シールド材 |
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| SG121841A1 (en) * | 2002-12-20 | 2006-05-26 | Fuji Elec Device Tech Co Ltd | Perpendicular magnetic recording medium and a method for manufacturing the same |
| JP3981732B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2007-09-26 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 垂直磁気異方性を有するＦｅＰｔ磁性薄膜とその製造方法 |
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| US8787130B1 (en) | 2013-03-15 | 2014-07-22 | WD Media, LLC | Systems and methods for providing heat assisted magnetic recording media configured to couple energy from a near field transducer |
| US8947987B1 (en) | 2013-05-03 | 2015-02-03 | WD Media, LLC | Systems and methods for providing capping layers for heat assisted magnetic recording media |
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2001
- 2001-09-13 US US09/952,786 patent/US6599646B2/en not_active Expired - Lifetime
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| US6599646B2 (en) | 2003-07-29 |
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