JP3372907B2 - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は反射型もしくは半透
過型の液晶表示装置の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示装置は小型もしくは中型
の携帯情報端末やノートパソコンの他に、大型かつ高精
細のモニターにまで使用されている。さらにバックライ
トを使用しない反射型液晶表示装置の技術も開発されて
おり、薄型、軽量および低消費電力化に優れている。

【０００３】反射型液晶表示装置には、後方に配設した
基板の内面上に鏡面にした光反射層を設け、前方に配設
した基板の外側に散乱板を設けた機能分離型と、後方に
配設した基板の内面に対し凹凸形状の光反射層を形成し
た散乱反射型とがあるが、双方の型ともにバックライト
を用いないことで、周囲の光を有効に利用している。

【０００４】散乱反射型液晶表示装置を図６に示す（特
開平４−２４３２２６号参照）。液晶表示装置１におい
て、ガラス基板２の上に樹脂からなるほぼ半球状の凸部
３を多数配列することで、凸状配列群を形成し、凸状配
列群上に金属からなる光反射層４を被覆し、光反射層４
上に配向膜５を被覆し、また、ガラス基板６上にカラー
フィルタ７を形成し、カラーフィルタ７の上にオーバー
コート層８を被覆し、オーバーコート層８上にＩＴＯな
どからなる透明電極９を帯状に複数配列し、さらに配向
膜１０を被覆する。そして、双方の基板を液晶１１を介
して対向配設し、液晶１１はシール部材１２により囲ま
れた領域内に充填され、ガラス基板６の外面に第１位相
差フィルム１３と第２位相差フィルム１４と偏光板１５
とを順次形成する。

【０００５】上記液晶表示装置１において、凸状配列群
を形成するには、図７に示すようにガラス基板２上に感
光性樹脂をスピンコートし、同図に示すような配列のフ
ォトマスク１６を用いて露光する。このフォトマスク１
６によれば、ガラス基板１７上にクロム（Ｃｒ）金属や
酸化鉄からなる円状のスポット１８を規則的に配列した
ものであって、この構成のフォトマスク１６を用いるこ
とで、スポット１８の配置部位に対応して、そのパター
ンどおりに凸状配列群が形成される。

【０００６】個々の凸部３はフォトエッチング後にポス
トベークし硬化させたものであり、ついで凸状配列群上
にＡｌ膜をスパッタリングにより被覆し、フォトエッチ
ングする。このＡｌ膜は多数の帯を平行に配列したもの
であり、各帯状膜が個々の電極（光反射層４）に相当す
る。

【０００７】この凸状配列群においては、各凸部３を密
に配列形成するとよく、これによって光反射層４の表面
積が大きくなって、入射光が有効に利用され、さらに凸
部３間の隙間領域が少なくなって、光散乱度が向上す
る。そして、このような過密配列をおこなうため、凸部
３を規則正しく整列させる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶表
示装置１の構成であれば、凸部３を密に規則正しく整列
させたことで、光の位相差に起因した虹色の干渉縞が見
られる。

【０００９】この課題を解消するために、すべての凸部
３をランダムに配置することが考えられるが、製造上そ
のようなランダム性を得ることはきわめて困難である。
とくに液晶画面が大きくなると製造上不可能である。

【００１０】そこで、図８に示すようなフォトマスク１
９を用いる技術が提案されている。すなわち、ガラス基
板２０上にスポット２１をランダムに配置したものを一
グループ２２となして、さらに各グループ２２を規則的
に配列している。

【００１１】しかしながら、上記構成のフォトマスク１
９を用いても各グループ２２をアレー状に配列している
ことで、カラーフィルタ７や透明電極９などとの間で干
渉が現れ、たとえば虹色の干渉縞の間隔が広がりなが
ら、薄く現れていた。また、室内で表示させると光の干
渉がほとんど気にならないが、屋外にて表示させると周
囲の光が強いために、光の干渉が顕著になっていた。

【００１２】このように未だ満足し得る程度にまで光の
干渉性が解消されておらず、表示の視認性が劣化し、良
好な表示特性が達成されていなかった。

【００１３】したがって本発明の目的は、かかる干渉縞
の発生を著しく減少させたり、無くすことで、高性能か
つ高信頼性の液晶表示装置の製造方法を提供することに
ある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置の
製造方法は、基板の一方主面上に、スポットをランダム
に配置したものを一グループとなして、さらに同一の各
グループをマトリックス状に配列してなるフォトマスク
を用いたフォトリソにて、複数の樹脂製凸部をランダム
に並べた凸状配列群を形成し、該凸状配列群上に光反射
性電極を被覆し、この光反射性電極上に配向層を積層し
てなる一方の部材と、透明基板上に透明電極と配向層と
を順次積層してなる他方の部材との間にネマチック型液
晶を介在させてマトリックス状に画素を配列せしめてな
る製造方法であって、前記一方の部材の光反射性電極に
おける配列ピッチの約数または倍数、および／または他
方の部材の透明電極における配列ピッチの約数または倍
数に合わせて、前記フォトマスクを形成したことを特徴
とする。

【００１５】本発明の他の液晶表示装置の製造方法は、
基板の一方主面上に、スポットをランダムに配置したも
のを一グループとなして、さらに同一の各グループをマ
トリックス状に配列してなるフォトマスクを用いたフォ
トリソにて、複数の樹脂製凸部をランダムに並べた凸状
配列群を形成し、該凸状配列群上に光反射膜を被覆し、
この光反射膜上に透明電極と配向層とを順次積層してな
る一方の部材と、透明基板上に透明電極と配向層とを順
次積層してなる他方の部材との間にネマチック型液晶を
介在させてマトリックス状に画素を配列せしめてなる製
造方法であって、前記一方の部材の透明電極における配
列ピッチの約数または倍数、および／または他方の部材
の透明電極における配列ピッチの約数または倍数に合わ
せて、前記フォトマスクを形成したことを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の製造方法を図１〜図５に
示す反射型の液晶表示装置によって詳述する。図１は凸
状配列群を作成するめためのフォトマスクであり、図２
は図１に示すＡの要部拡大図、図３は反射型液晶表示装
置の断面概略図である。また、図４は他の反射型液晶表
示装置の断面概略図、図５は他の反射型液晶表示装置の
要部斜視図である。なお、図６に示す従来の液晶表示装
置１と同一箇所には同一符号を付す。

【００１７】フォトマスク まず、図１および図２は複数の樹脂製凸部をランダムに
並べた前記凸状配列群を形成するためのフォトマスク２
３を示す。

【００１８】フォトマスク２３はガラス基板２４上にＣ
ｒ金属や酸化鉄などからなる多数の円状スポットＳを配
置したものであって、これらスポット配置はランダム状
態であり、そして、信号電極側の配列ピッチと走査電極
側の配列ピッチの双方に合わせて、区分し、これによっ
て各画素に応じたグループＧが得られる。

【００１９】具体例として、画像表示面が５．７インチ
サイズである場合を説明すると、一表示面に対応するガ
ラス基板２４上には約１０００万個のスポットが配置さ
れる各スポットＳの形状は円状以外に、たとえば四角
形、五角形、六角形、さらにそれ以上の多角形であって
もよいが、見る方向によって散乱特性に違いが生じない
ように円形が望ましい。

【００２０】さらにつぎのようにスポット径およびスポ
ット間隔を規定するのが望ましい。

【００２１】スポット径は５０μｍ以下、好適には１５
μｍ以下にすると、同一形状形成時のレジスト膜厚を薄
くできるという点でよい。

【００２２】各スポットの間隔は０．１〜２０μｍ、好
適には５〜７μｍにすることで、露光および現像の後に
凹凸形状が連続的につながり、これによって平坦部を少
なくでき、良好な散乱特性が得られるという点でよい。

【００２３】反射型液晶表示装置 図３に示すカラー表示用の反射型液晶表示装置２５を説
明する。２はセグメント側のガラス基板（０．７ｍｍ
厚）、６はコモン側のガラス基板（０．７ｍｍ厚）であ
って、前記一方の部材については、ガラス基板２の一方
主面上に樹脂からなるほぼ半球状の凸部３ａ（径：１０
〜１２μｍ）を多数配列することで、凸状配列群を形成
し、凸状配列群上にクロムやアルミニウム、銀などの金
属からなる光反射層４を膜厚１０００Åで被覆し、フォ
トエッチングしている。光反射層４は多数の帯を平行に
配列したものであり、各帯状膜が個々の電極２６に相当
する。

【００２４】ガラス基板２上に凸状配列群を形成するに
は、アクリル系樹脂を主成分とする感光性樹脂（商品：
ＰＣ３３９Ｈ・ＪＳＲ株式会社製）を２μｍ程度の厚さ
でスピンコートし、上記フォトリソ用マスクを用いて露
光をおこない、ついで２０秒間、現像する（現像液ＰＤ
５３９ＡＤ・ＪＳＲ株式会社製）。この現像条件はガラ
ス基板２まで現像が至らない程度までの時間である。そ
の後、ポストべーク（１２０℃、２分）により若干溶解
させて表面形状をなめらかにして、凹凸形状に対し微調
整をおこなうとともに、さらに高温にて（２００℃、３
０分）硬化させる。これにより、各グループＧをマトリ
ックス状に区分形成し、各グループＧに凸部３ａをラン
ダムに配置している。

【００２５】そして、光反射層４上に一定方向にラビン
グしたポリイミド樹脂からなる配向膜５を被覆する。

【００２６】また、光反射層４を被覆した凸状配列群と
配向膜５との間に樹脂やＳｉＯ2 からなる絶縁性材の平
滑膜を印刷法やスピンナー法、またはスパッタリング法
やディップ法でもって全面にわたって被覆し、これによ
って上下基板間での短絡ならびに隣接する電極（光反射
層４）の短絡を防ぐことができる。さらに印刷法を用い
た場合には光反射層４上のみに上記絶縁性材を積層して
も、これらの短絡が防止できる（以下、同様に絶縁層を
介在させるのは、これらの短絡を防止するためであ
る）。

【００２７】前記他方の部材については、ガラス基板６
上に画素ごとに配したカラーフィルタ７を形成してい
る。カラーフィルタ７は顔料分散方式、すなわちあらか
じめ顔料（赤、緑、青）により調合された感光性レジス
トを基板上に塗布し、フォトリソグラフィにより形成し
ている。その上にアクリル系樹脂からなるオーバーコー
ト層８と、多数平行に配列したＩＴＯからなる透明電極
９とを形成している。透明電極９は上記電極２６と直交
している。ただし、オーバーコート層８は必須不可欠で
はなく、カラーフィルタ７上に直に透明電極９を形成す
ることで、オーバーコート層８を除外してもよい。さら
に透明電極９上に一定方向にラビングしたポリイミド樹
脂からなる配向膜１０を形成している。なお、配向膜１
０は透明電極９上に直に成膜形成しているが、配向膜１
０と透明電極９との間に樹脂やＳｉＯ2 などからなる絶
縁膜を介在させてもよい。

【００２８】そして、上記構成の一方の部材および他方
の部材を、たとえば２００〜２６０°の角度でツイスト
されたカイラルネマチック液晶からなる液晶１１を介し
てシール部材１２により貼り合わせる。また、両部材間
には液晶１１の厚みを一定にするためにスペーサを多数
個配している。

【００２９】さらにガラス基板６の外側にポリカーボネ
イトなどからなる第１位相差フィルム１３と第２位相差
フィルム１４とヨウ素系の偏光板１５とを順次形成す
る。これらの配設については、アクリル系の材料からな
る粘着材を塗布することで貼り付ける。

【００３０】上記構成の液晶表示装置２５においては、
太陽光、蛍光灯などの外部照明による入射光は偏光板１
５、第２位相差フィルム１４、第１位相差フィルム１３
を通して、さらにガラス基板６を通過し、カラーフィル
タ７、液晶１１を通して光反射層４に到達し、光反射層
４にて光反射され、その反射光が出射される。

【００３１】本発明によれば、このような構成の液晶表
示装置２５において、ガラス基板２の上に凸状配列群を
形成するとともに、各グループＧをマトリックス状に区
分形成するに当たって、透明電極９の配列ピッチと電極
２６の配列ピッチに合わせて、凸状配列群を区分し、こ
れにより、マトリックス状の各矩形領域（グループＧ）
を、透明電極９と電極２６との交差部と対応させてい
る。

【００３２】かくして、かかる液晶表示装置２５によれ
ば、透明電極９の配列ピッチと電極２６の配列ピッチに
合わせて、凸状配列群を区分し、マトリックス状の各矩
形領域を、透明電極９と電極２６との交差部と対応させ
たことで、これら透明電極９や電極２６、さらにはカラ
ーフィルタ７との間で干渉が現れなくなり、さらに屋外
にて使用しても光の干渉が現れなくなった。

【００３３】本発明においては、このように凸状配列群
のマトリックス状の各矩形領域を、透明電極９と電極２
６との交差部と対応させた以外にも、透明電極９の配列
ピッチの約数または倍数（２倍、３倍、４倍、５
倍．．．）にて凸状配列群の区分を合わせてもよい。あ
るいは電極２６の配列ピッチの約数または倍数（２倍、
３倍、４倍、５倍．．．）にて凸状配列群の区分を合わ
せてもよく、さらには透明電極９の配列ピッチの約数ま
たは倍数と、電極２６の配列ピッチの約数または倍数と
を組み合わせてもよい。

【００３４】透明電極９や電極２６の配列ピッチの約数
とは、数学上定義される割りきれる数値でもって規定さ
れるが、その配列ピッチが４９μｍ（４９０００ｎｍ）
であれば、たとえば４９μｍ（４９０００ｎｍ）、２
４．５μｍ（２４５００ｎｍ）、１２．２５μｍ（１２
２５０ｎｍ）．．．．などになる。また、かかる配列ピ
ッチが８０μｍであれば、たとえば８０μｍ、４０μ
ｍ、２０μｍ、１６μｍ、１０μｍ、８μｍ、５μｍ、
４μｍ、２μｍ、１μｍ．．．．などが約数となる。

【００３５】他の反射型液晶表示装置 図４および図５に示すカラー表示用の反射型液晶表示装
置２７においては、２８はコモン側のガラス基板（０．
７ｍｍ厚）、２９はセグメント側のガラス基板（０．７
ｍｍ厚）であって、前記一方の部材については、ガラス
基板２８の一方主面上に樹脂からなるほぼ半球状の凸部
３ｂを多数配列することで、前記液晶表示装置２５と同
じようなランダム性の凸状配列群を形成し、この凸状配
列群上にクロムやアルミニウム、銀などの金属からなる
光反射層４ａ（膜厚１０００Å）を被覆している。そし
て、凸状配列群上に樹脂やＳｉＯ2 からなる平滑膜３０
を形成し、平滑膜３０上に画素ごとに配したカラーフィ
ルタ７を形成している。さらにアクリル系樹脂からなる
オーバーコート層８と、多数平行に配列したＩＴＯから
なる透明電極３１とを形成している。この透明電極３１
上に一定方向にラビングしたポリイミド樹脂からなる配
向膜３２を形成している。

【００３６】なお、配向膜３２は透明電極３１上に直に
成膜形成しているが、配向膜３２と透明電極３１との間
に樹脂やＳｉＯ2 などからなる絶縁膜を介在させてもよ
く、しかも、平滑膜３０やオーバーコート層８は設けな
くてもよい。

【００３７】他方の部材については、ガラス基板２９上
に多数平行に配列したＩＴＯからなる透明電極３３と、
一定方向にラビングしたポリイミド樹脂からなる配向膜
３４とを順次形成している。透明電極３３と配向膜３４
との間にＳｉＯ2 からなる絶縁層を介在させてもよい。

【００３８】そして、上記構成の一方の部材および他方
の部材を液晶１１を介してシール部材１２により貼り合
わせる。さらにガラス基板２９の外側にポリカーボネイ
トなどからなる第１位相差フィルム１３と第２位相差フ
ィルム１４とヨウ素系の偏光板１５とを順次形成する。

【００３９】上記構成の液晶表示装置２７においては、
太陽光、蛍光灯などの外部照明による入射光はガラス基
板２９を通過し、液晶１１、カラーフィルタ７などを通
して光反射層４ａに到達し、光反射層４ａにて光反射さ
れ、その反射光が出射される。

【００４０】このような構成の液晶表示装置２７におい
ても、ガラス基板２８の上に凸状配列群を形成するに当
たって、各グループＧをマトリックス状に区分形成して
いるが、さらに透明電極３１の配列ピッチと透明電極３
３の配列ピッチに合わせて、凸状配列群を区分し、マト
リックス状の各矩形領域を、透明電極３１と透明電極３
３との交差部（画素）と対応させたことで、これら透明
電極３１や透明電極３３、さらにはカラーフィルタ７と
の間で干渉が現れなくなり、さらに屋外にて使用しても
光の干渉が現れなくなった。

【００４１】また、本発明においては、このように凸状
配列群のマトリックス状の各矩形領域を、透明電極３１
と透明電極３３との交差部と対応させた以外にも、透明
電極３１の配列ピッチの約数または倍数にて凸状配列群
の区分を合わせてもよい。あるいは透明電極３３の配列
ピッチの約数または倍数にて凸状配列群の区分を合わせ
てもよく、さらには透明電極３１の配列ピッチの約数ま
たは倍数と、透明電極３３の配列ピッチの約数または倍
数とを組み合わせてもよい。

【００４２】つぎに本発明者は１画素が７０μｍ×２３
０μｍの領域（透明電極３１と透明電極３３との交差
部）であることに対し、ガラス基板２８上に凸状配列群
のマトリックス状区分形成を（１）〜（９）の９とおり
に変えることで、干渉縞を目視観察した。透明電極３１
のピッチは２４０μｍであり、透明電極３３のピッチは
８０μｍであって、透明電極３１の幅方向をＹ方向、透
明電極３３の幅方向をＸ方向とした。ここで、隣接する
透明電極３１および透明電極３３の間を１０μｍとし
た。

【００４３】（１）上述のようにグループＧのＸ方向幅
を８０μｍ、Ｙ方向幅を２４０μｍとした場合 （２）上述のようにグループＧのＸ方向幅を８０μｍ、
Ｙ方向幅を８０μｍとした場合 （３）グループＧのＸ方向幅を４０μｍ、Ｙ方向幅を６
０μｍとした場合 （４）グループＧのＸ方向幅を１６０μｍ、Ｙ方向幅を
１２０μｍとした場合 （５）グループＧのＸ方向幅を４８０μｍ、Ｙ方向幅を
４８０μｍとした場合 （６）グループＧのＸ方向幅を４０μｍ、Ｙ方向幅を４
８０μｍとした場合 （７）グループＧのＸ方向幅を１００μｍ、Ｙ方向幅を
２４０μｍとした場合 （８）グループＧのＸ方向幅を８０μｍ、Ｙ方向幅を１
００μｍとした場合 （９）グループＧのＸ方向幅を１００μｍ、Ｙ方向幅を
１００μｍとした場合 その結果、（１）〜（６）の例であれば、ほとんど干渉
縞が生じなかったが、（７）の例や（８）の例であれ
ば、わずかに干渉縞が生じたが、実用上支障がない程度
であった。しかるに、（９）の例であれば、顕著に干渉
縞が発生し、実用上支障があった。なお、本発明におい
ては、（７）と（８）の例も含む。

【００４４】半透過型液晶表示装置 本発明の液晶表示装置を前述のとおり、反射型でもって
説明しているが、半透過型液晶表示装置でもよい。

【００４５】半透過型液晶表示装置であれば、液晶表示
装置２５に設けた電極２６を、光透過性と光反射性の双
方の特性を具備した半透過膜に置き換え、液晶表示装置
２７に設けた光反射層４ａを同様に半透過膜に置き換え
る。

【００４６】そして、一方の透過型表示モードについて
は、ガラス基板２やガラス基板２８の外側にポリカーボ
ネイトなどからなる位相差フィルムとヨウ素系の偏光板
とを順次形成し、さらにバックライトを配設すればよ
い。

【００４７】かかる半透過膜は２枚の偏光板の間に挟ん
だ時に位相差を生じないようにする。そして、クロムや
アルミニウム、銀などの金属からなる薄膜にするが、膜
厚が大きくなると、光透過性が小さくなり、光反射性が
大きくなる。このような金属薄膜の厚みは、金属の種類
により光の吸収係数が異なり、しかも、反射型および透
過型という双方の用途にうち、いずれの用途に対し性能
の向上を求めるかによっても規定されるが、通常、５０
〜５００Å、好適には１００〜４００Åにするとよい。
これによって、反射率３０〜７５％、透過率５〜５０％
という半透過型液晶表示装置としての特性が得られる。

【００４８】たとえば、半透過膜を膜厚２５０Åの膜厚
でもってアルミニウム金属薄膜により形成した場合に
は、反射率が６５％、透過率が１５％となる。

【００４９】上記半透過膜については、金属薄膜に代え
て、誘電体ハーフミラーにより形成してもよい。すなわ
ち、低屈折率層と高屈折率層とを交互に順次積層した積
層構造にしてもよく、これによって液晶１１を通して入
射した光の一部は高屈折率層にて反射され、それ他の高
屈折率層を透過した光は低屈折率層にて反射され、そし
て、これら反射光が干渉され、反射性能が著しく高めら
れ、いわゆる増反射が生じる。

【００５０】上記のような高屈折率層と低屈折率層とは
その間にて屈折率差があれば、どのように材料でもって
構成してもよいが、たとえば高屈折率層の屈折率の範囲
は２．０〜２．８がよく、ＴｉＯ2 、ＺｒＯ2 、ＳｎＯ
2 などで構成するとよい。これに対する低屈折率層の屈
折率の範囲は１．３〜１．６がよく、たとえばＳｉＯ
2、ＡｌＦ3 、ＣａＦ2 、ＭｇＦ2 などで構成するとよ
い。

【００５１】高屈折率層の厚み範囲は２５〜２０００
Å、低屈折率層の厚み範囲は２５〜２０００Åにするこ
とで、前述した増反射がもっとも顕著になる。さらに半
透過膜の厚み範囲を５０〜１２０００Åにすることで、
この増反射が顕著になる。

【００５２】また、半透過膜は低屈折率層と高屈折率層
とを交互に順次積層した積層構造にしたことで、各層の
総数は２層、４層、６層、８層、１０層あるいはそれ以
上の層数にて構成する。

【００５３】さらにまた、このような積層構造の場合に
は、積層数を変えることで、反射率や透過率を所要とお
りに設定することができ、その設計が容易になる。

【００５４】たとえば、ＳｉＯ2 からなる低屈折率層
（膜厚：９４０Å）とＴｉＯ2 からなる高屈折率層（膜
厚：６３０Å）とを交互に順次積層した積層し、その総
数を８層にした積層構造の場合には、反射率が７５％、
透過率が２５％となる。

【００５５】かくして、これらの半透過型液晶表示装置
においては、一方の反射型モードに使用した場合には、
液晶表示装置２５によれば、透明電極９の配列ピッチと
電極２６の配列ピッチに合わせて、凸状配列群を区分
し、マトリックス状の各矩形領域を、透明電極９と電極
２６との交差部と対応させたことで、これら透明電極９
や電極２６、さらにはカラーフィルタ７との間で干渉が
現れなくなり、さらに屋外にて使用しても光の干渉が現
れなくなった。

【００５６】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
るものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々
の変更や改善などは何ら差し支えない。

【００５７】たとえば、上記の実施形態においては、Ｓ
ＴＮ型単純マトリックスタイプのカラー液晶表示装置で
もって説明しているが、その他にモノクロのＳＴＮ型単
純マトリックスタイプの液晶表示装置であっても、ある
いはＴＮ型単純マトリックスタイプの液晶表示装置であ
っても、さらに双安定型の液晶表示装置でも同様な作用
効果が得られる。

【００５８】また、上記実施形態例では、ガラス基板上
に樹脂製凸状配列群を形成したが、これに代えて合成樹
脂からなる基板を用いた場合には、基板と凸状配列群と
を周知の成形法でもって一体的に作製してもよい。

【００５９】

【発明の効果】以上のとおり、本発明の液晶表示装置に
よれば、一方の部材の透明電極の配列ピッチおよび／ま
たは他方の部材の透明電極の配列ピッチに合わせて、凸
状配列群を区分したり、もしくは一方の部材の光反射性
電極の配列ピッチおよび／または他方の部材の透明電極
の配列ピッチに合わせて、前記凸状配列群を区分したこ
とで、透明電極やカラーフィルタとの間で干渉が現れな
くなり、さらに屋外にて使用しても光の干渉が現れなく
なり、また、干渉縞が現れても実用上支障のない範囲で
あり、その結果、高性能かつ高信頼性の液晶表示装置が
提供できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る凸状配列群を作成するめためのフ
ォトマスクの平面図である。

【図２】図１に示すＡの要部拡大図である。

【図３】本発明の液晶表示装置の断面概略図である。

【図４】本発明の他の液晶表示装置の断面概略図であ
る。

【図５】本発明の他の液晶表示装置の要部斜視図であ
る。

【図６】従来の液晶表示装置の断面概略図である。

【図７】従来の反射型液晶表示装置に係る凸状配列群の
ランダム性を示すフォトマスクの平面図である。

【図８】従来の反射型液晶表示装置に係る凸状配列群の
ランダム性を示すフォトマスクの平面図である。

【符号の説明】

１ 液晶表示装置 ２、６、２８、２９ ガラス基板 ３、３ａ、３ｂ 凸部 ４、４ａ 光反射層 ５、１０、３２、３４ 配向膜 ７ カラーフィルタ ９、３１、３３ 透明電極 １１ 液晶 １６、１９、２３ フォトマスク ２５、２７ 反射型液晶表示装置 ２６ 電極 Ｇ グループ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−95071（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−273800（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−313890（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−84430（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−184846（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02F 1/1335 G02F 1/13 101 G02F 1/1343

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板の一方主面上に、スポットをランダム
   に配置したものを一グループとなして、さらに同一の各
   グループをマトリックス状に配列してなるフォトマスク
   を用いたフォトリソにて、複数の樹脂製凸部をランダム
   に並べた凸状配列群を形成し、該凸状配列群上に光反射
   性電極を被覆し、この光反射性電極上に配向層を積層し
   てなる一方の部材と、透明基板上に透明電極と配向層と
   を順次積層してなる他方の部材との間にネマチック型液
   晶を介在させてマトリックス状に画素を配列せしめてな
   る液晶表示装置の製造方法であって、前記一方の部材の
   光反射性電極における配列ピッチの約数または倍数、お
   よび／または他方の部材の透明電極における配列ピッチ
   の約数または倍数に合わせて、前記フォトマスクを形成
   したことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】基板の一方主面上に、スポットをランダム
   に配置したものを一グループとなして、さらに同一の各
   グループをマトリックス状に配列してなるフォトマスク
   を用いたフォトリソにて、複数の樹脂製凸部をランダム
   に並べた凸状配列群を形成し、該凸状配列群上に光反射
   膜を被覆し、この光反射膜上に透明電極と配向層とを順
   次積層してなる一方の部材と、透明基板上に透明電極と
   配向層とを順次積層してなる他方の部材との間にネマチ
   ック型液晶を介在させてマトリックス状に画素を配列せ
   しめてなる液晶表示装置の製造方法であって、前記一方
   の部材の透明電極における配列ピッチの約数または倍
   数、および／または他方の部材の透明電極における配列
   ピッチの約数または倍数に合わせて、前記フォトマスク
   を形成したことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。