JP3362651B2 - サーミスタ素子およびその製造方法 - Google Patents
サーミスタ素子およびその製造方法Info
- Publication number
- JP3362651B2 JP3362651B2 JP34031397A JP34031397A JP3362651B2 JP 3362651 B2 JP3362651 B2 JP 3362651B2 JP 34031397 A JP34031397 A JP 34031397A JP 34031397 A JP34031397 A JP 34031397A JP 3362651 B2 JP3362651 B2 JP 3362651B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermistor element
- mixed
- average particle
- raw material
- thermistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、室温から約１００
０℃の高温域にわたって温度検知可能なサーミスタ素
子、いわゆるワイドレンジ型サーミスタ素子に関するも
のであり、特に自動車排ガスの温度センサに用いて好適
である。
０℃の高温域にわたって温度検知可能なサーミスタ素
子、いわゆるワイドレンジ型サーミスタ素子に関するも
のであり、特に自動車排ガスの温度センサに用いて好適
である。
【０００２】
【従来の技術】温度センサ用サーミスタ素子は、自動車
用排ガス温度、ガス給湯器等のガス火炎温度、加熱炉の
温度等、４００〜１３００℃という中温から高温度域の
測定に用いられている。この種のサーミスタ素子の特性
は、抵抗値と抵抗温度係数（抵抗値の温度依存性）で示
される。ここで、温度センサを構成する温度検出回路の
実用的な抵抗値範囲に対応するためには、サーミスタ素
子の抵抗値は所定の範囲であることが望まれている。そ
のため、ワイドレンジ型サーミスタ素子に適した抵抗値
特性を有するものとしてペロブスカイト系材料等が主と
して用いられている。
用排ガス温度、ガス給湯器等のガス火炎温度、加熱炉の
温度等、４００〜１３００℃という中温から高温度域の
測定に用いられている。この種のサーミスタ素子の特性
は、抵抗値と抵抗温度係数（抵抗値の温度依存性）で示
される。ここで、温度センサを構成する温度検出回路の
実用的な抵抗値範囲に対応するためには、サーミスタ素
子の抵抗値は所定の範囲であることが望まれている。そ
のため、ワイドレンジ型サーミスタ素子に適した抵抗値
特性を有するものとしてペロブスカイト系材料等が主と
して用いられている。
【０００３】ペロブスカイト系材料を用いたサーミスタ
素子としては、例えば、特開平６−３２５９０７号公報
及び特開平７−２０１５２８号公報に記載のものが提案
されている。これらは、広い温度範囲で使用可能なサー
ミスタ素子を実現するために、Ｙ、Ｓｒ、Ｃｒ、Ｆｅ、
Ｔｉ等の酸化物を所定の組成割合で混合し、焼成して完
全固溶体としサーミスタ素子としたものである。
素子としては、例えば、特開平６−３２５９０７号公報
及び特開平７−２０１５２８号公報に記載のものが提案
されている。これらは、広い温度範囲で使用可能なサー
ミスタ素子を実現するために、Ｙ、Ｓｒ、Ｃｒ、Ｆｅ、
Ｔｉ等の酸化物を所定の組成割合で混合し、焼成して完
全固溶体としサーミスタ素子としたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ワイドレンジ型サーミ
スタ素子の抵抗値特性は、抵抗値と抵抗温度係数によっ
て示される。通常の温度センサにおいては、温度検出回
路の抵抗値範囲を鑑みて、サーミスタ素子の抵抗値は、
使用温度範囲において５０Ω〜１００ｋΩであることが
必要である。また、サーミスタ素子に室温〜１０００℃
の熱履歴等を与えた場合、熱履歴後の抵抗値と初期抵抗
値との変化が小さい方が良い。
スタ素子の抵抗値特性は、抵抗値と抵抗温度係数によっ
て示される。通常の温度センサにおいては、温度検出回
路の抵抗値範囲を鑑みて、サーミスタ素子の抵抗値は、
使用温度範囲において５０Ω〜１００ｋΩであることが
必要である。また、サーミスタ素子に室温〜１０００℃
の熱履歴等を与えた場合、熱履歴後の抵抗値と初期抵抗
値との変化が小さい方が良い。
【０００５】上記各公報においては、種々の完全固溶体
からなるサーミスタ素子が提案されているが、３００℃
以上のサーミスタ素子抵抗値のデータしか開示されてい
ない。そのため、本発明者等は、上記各公報における種
々のサーミスタ素子について室温付近における抵抗値特
性を調査した。その結果、室温〜１０００℃の熱履歴等
における抵抗値安定性を有するものは、室温から３００
℃の温度域において、抵抗値が高くなってしまい絶縁と
の判別ができずに温度が検出できない。一方、５０Ω〜
１００ｋΩの低抵抗値を満足するものは、熱履歴等にお
いて抵抗値が初期抵抗値に対して１０％以上変化し安定
性に欠けることがわかった。
からなるサーミスタ素子が提案されているが、３００℃
以上のサーミスタ素子抵抗値のデータしか開示されてい
ない。そのため、本発明者等は、上記各公報における種
々のサーミスタ素子について室温付近における抵抗値特
性を調査した。その結果、室温〜１０００℃の熱履歴等
における抵抗値安定性を有するものは、室温から３００
℃の温度域において、抵抗値が高くなってしまい絶縁と
の判別ができずに温度が検出できない。一方、５０Ω〜
１００ｋΩの低抵抗値を満足するものは、熱履歴等にお
いて抵抗値が初期抵抗値に対して１０％以上変化し安定
性に欠けることがわかった。
【０００６】いずれにしても、室温〜１０００℃の高温
域にわたる低抵抗値特性、および熱履歴等における抵抗
値安定性の相反する２つの抵抗特性を満足できるサーミ
スタ素子（いわゆるワイドレンジ型サーミスタ素子）
は、これまでになかった。本発明は上記問題点に鑑み
て、室温〜１０００℃の熱履歴等においても抵抗値の変
化が小さく安定した特性を有し、室温〜１０００℃の温
度範囲において抵抗値を５０Ω〜１００ｋΩとしたサー
ミスタ素子を得ることを目的とする。
域にわたる低抵抗値特性、および熱履歴等における抵抗
値安定性の相反する２つの抵抗特性を満足できるサーミ
スタ素子（いわゆるワイドレンジ型サーミスタ素子）
は、これまでになかった。本発明は上記問題点に鑑み
て、室温〜１０００℃の熱履歴等においても抵抗値の変
化が小さく安定した特性を有し、室温〜１０００℃の温
度範囲において抵抗値を５０Ω〜１００ｋΩとしたサー
ミスタ素子を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】従来のサーミスタ素子
は、ペロブスカイト型構造の完全固溶体になっている
が、本発明者等は、単品の化合物である完全固溶体で
は、上記のような相反する傾向にある抵抗特性を満足す
ることは難しいと考えた。そこで、完全固溶体ではな
く、比較的低い抵抗値を有するペロブスカイト系材料
（酸化物）と、比較的高い抵抗値を有する材料との２種
の化合物を混合した混合焼結体からなる新規なサーミス
タ材料を用いて、上記目的を達成することとした。
は、ペロブスカイト型構造の完全固溶体になっている
が、本発明者等は、単品の化合物である完全固溶体で
は、上記のような相反する傾向にある抵抗特性を満足す
ることは難しいと考えた。そこで、完全固溶体ではな
く、比較的低い抵抗値を有するペロブスカイト系材料
（酸化物）と、比較的高い抵抗値を有する材料との２種
の化合物を混合した混合焼結体からなる新規なサーミス
タ材料を用いて、上記目的を達成することとした。
【０００８】そして、種々のペロブスカイト系材料につ
いて実験検討した結果、上記目的を達成するために適正
な抵抗特性を有する材料としては、組成物（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3（ここで、Ｍ１は、元素周期律表第２Ａ族及びＬａ
を除く第３Ａ族の元素から選択される少なくとも１種以
上の元素であり、Ｍ２は、元素周期律表第２Ｂ族、第３
Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ族、第６Ａ族、第７Ａ族及び第
８族の元素から選択される少なくとも１種以上の元素で
ある）が好ましいことがわかった。
いて実験検討した結果、上記目的を達成するために適正
な抵抗特性を有する材料としては、組成物（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3（ここで、Ｍ１は、元素周期律表第２Ａ族及びＬａ
を除く第３Ａ族の元素から選択される少なくとも１種以
上の元素であり、Ｍ２は、元素周期律表第２Ｂ族、第３
Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ族、第６Ａ族、第７Ａ族及び第
８族の元素から選択される少なくとも１種以上の元素で
ある）が好ましいことがわかった。
【０００９】ここで、Ｌａは吸湿性が高く、大気中の水
分と反応して不安定な水酸化物を作りサーミスタ素子を
破壊する等の問題があるため、Ｍ２として用いない。一
方、混合する相手方の材料としては、検討の結果、比較
的高い抵抗値を有し且つサーミスタ材料の抵抗値を安定
化するＹ2 Ｏ3 （酸化イットリウム）を用いることとし
た。
分と反応して不安定な水酸化物を作りサーミスタ素子を
破壊する等の問題があるため、Ｍ２として用いない。一
方、混合する相手方の材料としては、検討の結果、比較
的高い抵抗値を有し且つサーミスタ材料の抵抗値を安定
化するＹ2 Ｏ3 （酸化イットリウム）を用いることとし
た。
【００１０】そして、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを
混合焼結体とすることにより、上記請求項１に記載され
るように、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 から
なるサーミスタ素子が得られる。このサーミスタ素子を
温度センサに組み込んで素子の抵抗値特性を調査したと
ころ、室温〜１０００℃の熱履歴等においても抵抗値の
変化が数％と小さく安定であり、室温〜１０００℃の温
度域において、抵抗値は５０Ω〜１００ｋΩであること
が確認できた。
混合焼結体とすることにより、上記請求項１に記載され
るように、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 から
なるサーミスタ素子が得られる。このサーミスタ素子を
温度センサに組み込んで素子の抵抗値特性を調査したと
ころ、室温〜１０００℃の熱履歴等においても抵抗値の
変化が数％と小さく安定であり、室温〜１０００℃の温
度域において、抵抗値は５０Ω〜１００ｋΩであること
が確認できた。
【００１１】よって、請求項１〜３記載の発明において
は、室温〜１０００℃の高温域にわたって温度を検知可
能で、室温〜１０００℃の熱履歴等においても抵抗値の
変化が小さく安定した特性を持つサーミスタ素子、いわ
ゆるワイドレンジ型サーミスタ素子を提供することがで
きる。また、本発明者等の検討によれば、上記のペロブ
スカイト系化合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 における各元素は、
請求項１記載の発明のように、Ｍ１はＹ、Ｍ２はＣｒと
Ｍｎであり、前記混合焼結体は（Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ 3 ）
・Ｙ 2 Ｏ 3 であるとするか、請求項２記載の発明のよう
に、Ｍ１はＹ、前記ＭはＣｒとＭｎとＴｉであり、前記
混合焼結体は（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ 3 ）・Ｙ 2 Ｏ 3 で
あるとすることができる。 また、焼結体においては、各
粒子の焼結性等を向上させるために焼結助剤を添加する
が、種々の焼結助剤について実験検討の結果、請求項３
記載の発明のように、ＣａＯ、ＣａＣＯ 3 およびＣａＳ
ｉＯ 3 のうち少なくとも１種とＳｉＯ 2 とからなる焼結
助剤を用いることが好ましいことがわかった。それによ
って、焼結密度等に優れたワイドレンジイ型サーミスタ
素子が得られる。 この請求項３記載の発明においては、
Ｍ１は、Ｙ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ
から選択する１種以上の元素であり、Ｍ２は、Ｔｉ、
Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｇ
ａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗから選択する１
種以上の元素であるとすることができる。
は、室温〜１０００℃の高温域にわたって温度を検知可
能で、室温〜１０００℃の熱履歴等においても抵抗値の
変化が小さく安定した特性を持つサーミスタ素子、いわ
ゆるワイドレンジ型サーミスタ素子を提供することがで
きる。また、本発明者等の検討によれば、上記のペロブ
スカイト系化合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 における各元素は、
請求項１記載の発明のように、Ｍ１はＹ、Ｍ２はＣｒと
Ｍｎであり、前記混合焼結体は（Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ 3 ）
・Ｙ 2 Ｏ 3 であるとするか、請求項２記載の発明のよう
に、Ｍ１はＹ、前記ＭはＣｒとＭｎとＴｉであり、前記
混合焼結体は（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ 3 ）・Ｙ 2 Ｏ 3 で
あるとすることができる。 また、焼結体においては、各
粒子の焼結性等を向上させるために焼結助剤を添加する
が、種々の焼結助剤について実験検討の結果、請求項３
記載の発明のように、ＣａＯ、ＣａＣＯ 3 およびＣａＳ
ｉＯ 3 のうち少なくとも１種とＳｉＯ 2 とからなる焼結
助剤を用いることが好ましいことがわかった。それによ
って、焼結密度等に優れたワイドレンジイ型サーミスタ
素子が得られる。 この請求項３記載の発明においては、
Ｍ１は、Ｙ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ
から選択する１種以上の元素であり、Ｍ２は、Ｔｉ、
Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｇ
ａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗから選択する１
種以上の元素であるとすることができる。
【００１２】さらに、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との
混合比について検討を進めた結果、その混合比が所定範
囲であれば、すなわち、請求項５記載の発明のように、
上記の（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 のモル分率をａ、上記のＹ2 Ｏ
3 のモル分率をｂとした場合、これらのモル分率ａおよ
びｂが、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５、ａ
＋ｂ＝１の関係にあれば、より確実に上記記載の効果を
達成できることがわかった。
混合比について検討を進めた結果、その混合比が所定範
囲であれば、すなわち、請求項５記載の発明のように、
上記の（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 のモル分率をａ、上記のＹ2 Ｏ
3 のモル分率をｂとした場合、これらのモル分率ａおよ
びｂが、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５、ａ
＋ｂ＝１の関係にあれば、より確実に上記記載の効果を
達成できることがわかった。
【００１３】また、このように広い範囲でモル分率を変
えることができるので、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 と
の両者を適宜混合、焼成することにより、抵抗値、抵抗
温度係数を広い範囲で種々制御できる。
えることができるので、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 と
の両者を適宜混合、焼成することにより、抵抗値、抵抗
温度係数を広い範囲で種々制御できる。
【００１４】ところで、実験を進めていくうちに、請求
項１〜請求項５記載のサーミスタ素子を用いた温度セン
サにおいて、作製したセンサごとの検出温度精度が±２
０〜３０℃のレベルにばらつくことがわかった。そこ
で、この温度精度の向上（センサ毎の検出温度精度ばら
つき低減）という面から、調合、成形、焼成条件等、サ
ーミスタ素子の製造工程における各条件について調査を
進めた。
項１〜請求項５記載のサーミスタ素子を用いた温度セン
サにおいて、作製したセンサごとの検出温度精度が±２
０〜３０℃のレベルにばらつくことがわかった。そこ
で、この温度精度の向上（センサ毎の検出温度精度ばら
つき低減）という面から、調合、成形、焼成条件等、サ
ーミスタ素子の製造工程における各条件について調査を
進めた。
【００１５】その結果、上記温度精度のばらつきは、仮
焼成により得られるペロブスカイト系材料である（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 の平均粒径がＹ2 Ｏ3 の平均粒径よりも大き
く、両者が均一に混合せず混合焼結体の組成がばらつ
き、結果として、サーミスタ素子の抵抗がばらつくこと
に起因することがわかった。よって、焼結前の混合状態
において（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 の平均粒径をＹ2 Ｏ3 の平均
粒径と同等とすれば、組成の均一混合が実現できると考
え、実験検討を行った。その結果、請求項７記載の発明
のように、仮焼成により得られる（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 をＹ
2 Ｏ3 と混合、粉砕し、この混合物（（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3
とＹ2 Ｏ3 ）の平均粒径を、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒
径以下とすればよいことがわかった。
焼成により得られるペロブスカイト系材料である（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 の平均粒径がＹ2 Ｏ3 の平均粒径よりも大き
く、両者が均一に混合せず混合焼結体の組成がばらつ
き、結果として、サーミスタ素子の抵抗がばらつくこと
に起因することがわかった。よって、焼結前の混合状態
において（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 の平均粒径をＹ2 Ｏ3 の平均
粒径と同等とすれば、組成の均一混合が実現できると考
え、実験検討を行った。その結果、請求項７記載の発明
のように、仮焼成により得られる（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 をＹ
2 Ｏ3 と混合、粉砕し、この混合物（（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3
とＹ2 Ｏ3 ）の平均粒径を、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒
径以下とすればよいことがわかった。
【００１６】すなわち、請求項７の製造方法を用いれ
ば、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の微粒化により均一混
合が図られて、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3
の組成変動が低減されるので、サーミスタ素子の抵抗値
のばらつきを低減できる。従って、室温〜１０００℃の
温度域において、従来レベルよりも良好なセンサ温度精
度（センサ毎の温度精度ばらつきの少ない）を可能とす
るワイドレンジ型サーミスタ素子を提供できる。
ば、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の微粒化により均一混
合が図られて、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3
の組成変動が低減されるので、サーミスタ素子の抵抗値
のばらつきを低減できる。従って、室温〜１０００℃の
温度域において、従来レベルよりも良好なセンサ温度精
度（センサ毎の温度精度ばらつきの少ない）を可能とす
るワイドレンジ型サーミスタ素子を提供できる。
【００１７】なお、請求項１記載の混合焼結体（Ｙ（Ｃ
ｒＭｎ）Ｏ3 ）・Ｙ2 Ｏ3 は、Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 とを混合焼結する方法でなくとも、Ｃｒの酸化物
とＭｎの酸化物とを混合し１０００℃以上で仮焼成して
（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得て、この（Ｍｎ1 .5Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とを直接混合焼結する方法によっ
ても得られる。この場合には、請求項８記載の製造方法
のようにすれば、請求項７記載の発明と同等の効果が得
られる。
ｒＭｎ）Ｏ3 ）・Ｙ2 Ｏ3 は、Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 とを混合焼結する方法でなくとも、Ｃｒの酸化物
とＭｎの酸化物とを混合し１０００℃以上で仮焼成して
（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得て、この（Ｍｎ1 .5Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とを直接混合焼結する方法によっ
ても得られる。この場合には、請求項８記載の製造方法
のようにすれば、請求項７記載の発明と同等の効果が得
られる。
【００１８】また、請求項２記載の混合焼結体（Ｙ（Ｃ
ｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・Ｙ2 Ｏ3 は、Ｃｒの酸化物とＭｎ
の酸化物とを混合し１０００℃以上で仮焼成して（Ｍｎ
1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得て、この（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）
Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを混合焼結することによっ
ても得られる。この場合には、請求項８記載の製造方法
のようにすれば、請求項７記載の発明と同等の効果が得
られる。
ｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・Ｙ2 Ｏ3 は、Ｃｒの酸化物とＭｎ
の酸化物とを混合し１０００℃以上で仮焼成して（Ｍｎ
1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得て、この（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）
Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを混合焼結することによっ
ても得られる。この場合には、請求項８記載の製造方法
のようにすれば、請求項７記載の発明と同等の効果が得
られる。
【００１９】更に、請求項１〜請求項５記載のサーミス
タ素子を用いた温度センサの検出温度精度の向上の面か
ら、サーミスタ素子の製造方法について調査を進めた。
その結果、仮焼成により得られる（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 自体
の組成ばらつきが、結果的に混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 ・Ｙ2 Ｏ3 の組成ばらつき（つまり、サーミスタ素子
の抵抗値ばらつき）に影響することがわかった。
タ素子を用いた温度センサの検出温度精度の向上の面か
ら、サーミスタ素子の製造方法について調査を進めた。
その結果、仮焼成により得られる（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 自体
の組成ばらつきが、結果的に混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 ・Ｙ2 Ｏ3 の組成ばらつき（つまり、サーミスタ素子
の抵抗値ばらつき）に影響することがわかった。
【００２０】ここで、混合焼成体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ
2 Ｏ3 の製造方法において仮焼成により得られる（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 自体の組成ばらつきの原因を、（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3として、Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ及びＭｎの場合、す
なわちＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）Ｏ3 を用いる場合を例に
とって述べる。Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の調製は、
例えば、次のように行う（図３１参照）。Ｍ１の原料で
あるＹ2 Ｏ3 （平均粒径約１μｍ）と、Ｍ２の原料であ
るＣｒ 2 Ｏ3 （平均粒径約４μｍ）及びＭｎ2 Ｏ3 （平
均粒径約７μｍ）とを、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．５：
０．５のモル比で調合（調合１）し、ボールミル等で混
合・粉砕し、この混合物を１０００℃以上で仮焼成して
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。
2 Ｏ3 の製造方法において仮焼成により得られる（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 自体の組成ばらつきの原因を、（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3として、Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ及びＭｎの場合、す
なわちＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）Ｏ3 を用いる場合を例に
とって述べる。Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の調製は、
例えば、次のように行う（図３１参照）。Ｍ１の原料で
あるＹ2 Ｏ3 （平均粒径約１μｍ）と、Ｍ２の原料であ
るＣｒ 2 Ｏ3 （平均粒径約４μｍ）及びＭｎ2 Ｏ3 （平
均粒径約７μｍ）とを、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．５：
０．５のモル比で調合（調合１）し、ボールミル等で混
合・粉砕し、この混合物を１０００℃以上で仮焼成して
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。
【００２１】本発明者等は、上記工程中、ボールミル等
での混合・粉砕に問題があることを見出した。すなわ
ち、ボールミル等での混合・粉砕では、混合・粉砕後の
平均粒径は約２μｍが限界で、またＣｒ2 Ｏ3 及びＭｎ
2 Ｏ3 の平均粒径はＹ2 Ｏ3 の平均粒径に比べて大き
い。従って、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合
物を仮焼成反応で得られるＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
が各々の原料のＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｍｎ2 Ｏ3の粒
径差により、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．５：０．５から
ずれた組成物、例えば、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．６：
０．４組成物からＹ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．４：０．６
組成物まで種々の組成物を含む混合物となる。
での混合・粉砕に問題があることを見出した。すなわ
ち、ボールミル等での混合・粉砕では、混合・粉砕後の
平均粒径は約２μｍが限界で、またＣｒ2 Ｏ3 及びＭｎ
2 Ｏ3 の平均粒径はＹ2 Ｏ3 の平均粒径に比べて大き
い。従って、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合
物を仮焼成反応で得られるＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
が各々の原料のＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｍｎ2 Ｏ3の粒
径差により、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．５：０．５から
ずれた組成物、例えば、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．６：
０．４組成物からＹ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．４：０．６
組成物まで種々の組成物を含む混合物となる。
【００２２】これらＹ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．６：０．
４組成物からＹ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．４：０．６組成
物は、各々異なる抵抗値、抵抗温度係数（β値）を持つ
ために素子ごとに抵抗が変動し、素子抵抗値のばらつき
の原因となっている。また原料のＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ
2 Ｏ3 、Ｍｎ2 Ｏ3 の一部（組成比からずれたもの）が
未反応物として残存する場合は、素子抵抗値のバラツキ
の原因にもなっている。
４組成物からＹ：Ｃｒ：Ｍｎ＝１：０．４：０．６組成
物は、各々異なる抵抗値、抵抗温度係数（β値）を持つ
ために素子ごとに抵抗が変動し、素子抵抗値のばらつき
の原因となっている。また原料のＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ
2 Ｏ3 、Ｍｎ2 Ｏ3 の一部（組成比からずれたもの）が
未反応物として残存する場合は、素子抵抗値のバラツキ
の原因にもなっている。
【００２３】ここで、本発明者等は、仮焼成して（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 を得る前の工程において、得られる（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 の組成ばらつき、及び原料の未反応物の存在等
の不具合を抑制すべく種々検討を行った。その結果、ボ
ールミルよりも粉砕能力の高い、例えば媒体攪拌ミル等
によってＭ２の原料をＭ１の原料と共に混合・粉砕し
て、混合・粉砕後の原料混合物（混合粉砕物）の平均粒
径を混合前のＭ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μ
ｍ以下となるように微粒化すれば上記不具合を抑制で
き、実用レベルである温度精度±１０℃以下となること
がわかった。
Ｍ２）Ｏ3 を得る前の工程において、得られる（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 の組成ばらつき、及び原料の未反応物の存在等
の不具合を抑制すべく種々検討を行った。その結果、ボ
ールミルよりも粉砕能力の高い、例えば媒体攪拌ミル等
によってＭ２の原料をＭ１の原料と共に混合・粉砕し
て、混合・粉砕後の原料混合物（混合粉砕物）の平均粒
径を混合前のＭ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μ
ｍ以下となるように微粒化すれば上記不具合を抑制で
き、実用レベルである温度精度±１０℃以下となること
がわかった。
【００２４】請求項１０〜１３記載の発明は上記知見に
基づいてなされたものである。すなわち、請求項１０記
載の発明においては、Ｍ１の原料とＭ２の原料とを混合
・粉砕する混合工程で、Ｍ２の原料をＭ１の原料と共に
混合・粉砕して、この混合粉砕物の平均粒径を混合前の
Ｍ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とす
る。その後、仮焼成により（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を得て、
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを混合後、所定形状に成
形、焼成することを特徴とする。
基づいてなされたものである。すなわち、請求項１０記
載の発明においては、Ｍ１の原料とＭ２の原料とを混合
・粉砕する混合工程で、Ｍ２の原料をＭ１の原料と共に
混合・粉砕して、この混合粉砕物の平均粒径を混合前の
Ｍ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とす
る。その後、仮焼成により（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を得て、
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを混合後、所定形状に成
形、焼成することを特徴とする。
【００２５】本発明によれば、Ｍ１及びＭ２の原料の均
一微粒化により組成の均一混合が図られるので、仮焼成
後に生成する（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 における組成ばらつきの
低減、及び原料未反応物の存在の抑制が実現でき、サー
ミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。従って、
室温〜１０００℃の温度域において、従来レベルよりも
良好なセンサ温度精度（センサ毎の温度精度ばらつきの
少ない）を可能とするワイドレンジ型サーミスタ素子を
提供できる。
一微粒化により組成の均一混合が図られるので、仮焼成
後に生成する（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 における組成ばらつきの
低減、及び原料未反応物の存在の抑制が実現でき、サー
ミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。従って、
室温〜１０００℃の温度域において、従来レベルよりも
良好なセンサ温度精度（センサ毎の温度精度ばらつきの
少ない）を可能とするワイドレンジ型サーミスタ素子を
提供できる。
【００２６】また、Ｍ１の原料として少なくともＹ2 Ｏ
3 を含むものを用いた場合、Ｍ２の原料をＭ１の原料と
共に混合して粉砕し仮焼成し、目的の混合焼結体（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 と同組成の前駆体を生成し、この
前駆体を所定形状に成形、焼成することで、サーミスタ
素子を得ることもできる。ここで、前駆体は（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 で表されるが、上記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 （ペロブスカイト構造）において、理論量よりもＹが
過剰な分がＹ2 Ｏ3として（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 にくっつい
ているものである。よって、この製造方法では、予めＭ
１及びＭ２の原料を、目的の混合焼結体の組成となるよ
うに配合することで、仮焼成後に改めてＹ2 Ｏ3 を混合
しなくとも、混合焼結体すなわちサーミスタ素子を得る
ことができる。
3 を含むものを用いた場合、Ｍ２の原料をＭ１の原料と
共に混合して粉砕し仮焼成し、目的の混合焼結体（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 と同組成の前駆体を生成し、この
前駆体を所定形状に成形、焼成することで、サーミスタ
素子を得ることもできる。ここで、前駆体は（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 で表されるが、上記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 （ペロブスカイト構造）において、理論量よりもＹが
過剰な分がＹ2 Ｏ3として（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 にくっつい
ているものである。よって、この製造方法では、予めＭ
１及びＭ２の原料を、目的の混合焼結体の組成となるよ
うに配合することで、仮焼成後に改めてＹ2 Ｏ3 を混合
しなくとも、混合焼結体すなわちサーミスタ素子を得る
ことができる。
【００２７】請求項１１記載の発明は、このＭ１の原料
として少なくともＹ2 Ｏ3 を含むものを用いた場合の製
造方法についてなされたものであり、Ｍ２の原料をＭ１
の原料と共に混合して粉砕し、粉砕後におけるこの混合
粉砕物の平均粒径を混合前のＭ１の原料の平均粒径以下
でかつ０．５μｍ以下とした後に、仮焼成により上記前
駆体を得ることを特徴とする。
として少なくともＹ2 Ｏ3 を含むものを用いた場合の製
造方法についてなされたものであり、Ｍ２の原料をＭ１
の原料と共に混合して粉砕し、粉砕後におけるこの混合
粉砕物の平均粒径を混合前のＭ１の原料の平均粒径以下
でかつ０．５μｍ以下とした後に、仮焼成により上記前
駆体を得ることを特徴とする。
【００２８】それによって、Ｍ１及びＭ２の原料の均一
微粒化により組成の均一混合が図られ、仮焼成後に生成
する前駆体における組成ばらつきの低減、及び原料未反
応物の存在の抑制が実現できる。そのため、結果とし
て、前駆体と同組成の混合焼結体においても組成ばらつ
きの低減等がなされ、上記請求項１０記載の発明と同様
の効果を得ることができる。
微粒化により組成の均一混合が図られ、仮焼成後に生成
する前駆体における組成ばらつきの低減、及び原料未反
応物の存在の抑制が実現できる。そのため、結果とし
て、前駆体と同組成の混合焼結体においても組成ばらつ
きの低減等がなされ、上記請求項１０記載の発明と同様
の効果を得ることができる。
【００２９】ここで、請求項１２記載の発明は、請求項
１０記載の製造方法と請求項７記載の製造方法とを組み
合わせたものであり、両製造方法の効果の組合せによ
り、より高いレベルでサーミスタ素子の抵抗値のばらつ
きを低減できる。また、請求項１３記載の発明は、請求
項１１記載の製造方法と請求項７記載の製造方法とを組
み合わせたものであるが、混合焼結体と同組成の前駆体
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を混合前のＭ１の原料とし
てのＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下のレベルまで微粒化するこ
とにより、後工程の成形、焼成時において、（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とが均一混合が図られ混合焼結体の
組成変動が低減されるので、サーミスタ素子の抵抗値の
ばらつきを低減できる。
１０記載の製造方法と請求項７記載の製造方法とを組み
合わせたものであり、両製造方法の効果の組合せによ
り、より高いレベルでサーミスタ素子の抵抗値のばらつ
きを低減できる。また、請求項１３記載の発明は、請求
項１１記載の製造方法と請求項７記載の製造方法とを組
み合わせたものであるが、混合焼結体と同組成の前駆体
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を混合前のＭ１の原料とし
てのＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下のレベルまで微粒化するこ
とにより、後工程の成形、焼成時において、（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とが均一混合が図られ混合焼結体の
組成変動が低減されるので、サーミスタ素子の抵抗値の
ばらつきを低減できる。
【００３０】つまり、本発明においても、より高いレベ
ルでサーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。
ルでサーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。
【００３１】
（第１実施形態）本発明のペロブスカイト系材料（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 において、例えば、Ｍ１の元素は、周期律表
の第２Ａ族としては、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、第３Ａ
族としては、Ｌａを除くＹ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、
Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｓｃ等から選択
できる。
Ｍ２）Ｏ3 において、例えば、Ｍ１の元素は、周期律表
の第２Ａ族としては、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、第３Ａ
族としては、Ｌａを除くＹ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、
Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｓｃ等から選択
できる。
【００３２】また、例えばＭ２の元素は、第２Ｂ族とし
てはＺｎ、第３Ｂ族としては、Ａｌ、Ｇａ、第４Ａ族と
しては、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、第５Ａ族としては、Ｖ、Ｎ
ｂ、Ｔａ、第６Ａ族としてはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、第７Ａ族
としては、Ｍｎ、Ｔｃ、Ｒｅ、第８族としては、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔから
選択できる。
てはＺｎ、第３Ｂ族としては、Ａｌ、Ｇａ、第４Ａ族と
しては、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、第５Ａ族としては、Ｖ、Ｎ
ｂ、Ｔａ、第６Ａ族としてはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、第７Ａ族
としては、Ｍｎ、Ｔｃ、Ｒｅ、第８族としては、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔから
選択できる。
【００３３】ここで、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ
2 Ｏ3 の製造工程は、大きくは、仮焼成により（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 を得る第１の調製工程と、得られた（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ 3 とＹ2 Ｏ3 を調合して混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 とし、サーミスタ素子を得る第２の調製
工程とに分かれる。第１の調製工程では、Ｍ１及びＭ２
の原料であるＭ１の酸化物（Ｍ１ＯX ）やＭ２の酸化物
（Ｍ２ＯX ）等を調合して（調合１）、混合、粉砕（混
合工程）した後、仮焼成（例えば１０００℃〜１５００
℃程度）する（仮焼成工程）ことにより（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 を得ることができる。
2 Ｏ3 の製造工程は、大きくは、仮焼成により（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 を得る第１の調製工程と、得られた（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ 3 とＹ2 Ｏ3 を調合して混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 とし、サーミスタ素子を得る第２の調製
工程とに分かれる。第１の調製工程では、Ｍ１及びＭ２
の原料であるＭ１の酸化物（Ｍ１ＯX ）やＭ２の酸化物
（Ｍ２ＯX ）等を調合して（調合１）、混合、粉砕（混
合工程）した後、仮焼成（例えば１０００℃〜１５００
℃程度）する（仮焼成工程）ことにより（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 を得ることができる。
【００３４】なお、Ｍ１がＹである場合、第１の調製工
程では予めＹＭ２Ｏ3 を得なくとも、Ｙを含まないＭ２
のみの酸化物Ｍ２ＯX 、例えば、Ｍ２がＭｎ及びＣｒで
あるスピネル系化合物である（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
を得るようにしてもよい。そして、第２の調製工程で
は、得られた（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 またはＭ２ＯX を、所望
の抵抗値と抵抗温度係数となるようにＹ2 Ｏ3 と調合す
る（調合２）。なお、Ｍ２ＯX とＹ2 Ｏ3 との調合にお
いては、後述する焼成時に、Ｙ2 Ｏ3 のＹがＭ２ＯX 側
に固溶してペロブスカイト系化合物ＹＭ２Ｏ3 となるよ
うに調合する。
程では予めＹＭ２Ｏ3 を得なくとも、Ｙを含まないＭ２
のみの酸化物Ｍ２ＯX 、例えば、Ｍ２がＭｎ及びＣｒで
あるスピネル系化合物である（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
を得るようにしてもよい。そして、第２の調製工程で
は、得られた（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 またはＭ２ＯX を、所望
の抵抗値と抵抗温度係数となるようにＹ2 Ｏ3 と調合す
る（調合２）。なお、Ｍ２ＯX とＹ2 Ｏ3 との調合にお
いては、後述する焼成時に、Ｙ2 Ｏ3 のＹがＭ２ＯX 側
に固溶してペロブスカイト系化合物ＹＭ２Ｏ3 となるよ
うに調合する。
【００３５】また、この（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 、
または、Ｍ２ＯX ＋Ｙ2 Ｏ3 の調合時には、所望の抵抗
値と抵抗温度係数となるように、さらに、Ｍ１またはＭ
２の酸化物、およびＭ１とＭ２の複合酸化物等を添加物
（例えばＴｉＯ2 、ＹＴｉＯ 3 ）として合わせて調合し
てもよい。この場合においても、後述する焼成（例えば
１５００℃以上）時に、これらの添加物から（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 にＭ１またはＭ２が固溶してペロブスカイト系
化合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 となるように調合する。
または、Ｍ２ＯX ＋Ｙ2 Ｏ3 の調合時には、所望の抵抗
値と抵抗温度係数となるように、さらに、Ｍ１またはＭ
２の酸化物、およびＭ１とＭ２の複合酸化物等を添加物
（例えばＴｉＯ2 、ＹＴｉＯ 3 ）として合わせて調合し
てもよい。この場合においても、後述する焼成（例えば
１５００℃以上）時に、これらの添加物から（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 にＭ１またはＭ２が固溶してペロブスカイト系
化合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 となるように調合する。
【００３６】そして、調合された混合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 ＋Ｙ2 Ｏ3 （または、Ｍ２ＯX ＋Ｙ2 Ｏ3 ）を粉砕し
（粉砕工程）、Ｐｔ等のリード線を組み込み、所望の形
状に金型等で成形（成形工程）して前述の焼成（例えば
１５００℃以上）を行う（焼成工程）と、（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 からなるサーミスタ素子が得られる。と
ころで、上記の第２の調製工程においては、ＣａＯ、Ｃ
ａＣＯ3 およびＣａＳｉＯ3 のうち少なくとも１種とＳ
ｉＯ2 とを焼結助剤として、混合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ＋
Ｙ2 Ｏ3 に添加すれば、焼結密度がより向上する。それ
によって、サーミスタ素子の抵抗値が安定したり、焼成
温度の変動に対して抵抗値のばらつきが低減できる。
3 ＋Ｙ2 Ｏ3 （または、Ｍ２ＯX ＋Ｙ2 Ｏ3 ）を粉砕し
（粉砕工程）、Ｐｔ等のリード線を組み込み、所望の形
状に金型等で成形（成形工程）して前述の焼成（例えば
１５００℃以上）を行う（焼成工程）と、（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 からなるサーミスタ素子が得られる。と
ころで、上記の第２の調製工程においては、ＣａＯ、Ｃ
ａＣＯ3 およびＣａＳｉＯ3 のうち少なくとも１種とＳ
ｉＯ2 とを焼結助剤として、混合物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ＋
Ｙ2 Ｏ3 に添加すれば、焼結密度がより向上する。それ
によって、サーミスタ素子の抵抗値が安定したり、焼成
温度の変動に対して抵抗値のばらつきが低減できる。
【００３７】このようにして得られたサーミスタ素子
は、ペロブスカイト系化合物である（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 と
Ｙ2 Ｏ3 とが粒界を介して均一混合された混合焼結体と
なっている。得られたサーミスタ素子を一般的な温度セ
ンサアッシーに組み込み温度センサとする。そして、温
度センサを高温炉に入れ、室温（例えば２７℃）から１
０００℃まで、抵抗値、抵抗温度係数β、室温〜１００
０℃の熱履歴における抵抗変化率ΔＲの各特性を測定す
る。
は、ペロブスカイト系化合物である（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 と
Ｙ2 Ｏ3 とが粒界を介して均一混合された混合焼結体と
なっている。得られたサーミスタ素子を一般的な温度セ
ンサアッシーに組み込み温度センサとする。そして、温
度センサを高温炉に入れ、室温（例えば２７℃）から１
０００℃まで、抵抗値、抵抗温度係数β、室温〜１００
０℃の熱履歴における抵抗変化率ΔＲの各特性を測定す
る。
【００３８】ここでβは、β（°Ｋ）＝ｌｎ（Ｒ／
Ｒ0 ）／（１／Ｋ−１／Ｋ0 ）で表される。なお、ｌｎ
は常用対数、Ｒ及びＲ0 は、各々大気中で室温（３００
°Ｋ）及び１０００℃（１２７３°Ｋ）におけるサーミ
スタ素子の抵抗値を示す。また、抵抗変化率ΔＲは、各
温度センサにて、大気中１１００℃で１００時間放置の
高温耐久試験の温度センサの抵抗値変化について表すも
のであり、式ΔＲ（％）＝（Ｒ’t ／Ｒt ）×１００−
１００で表される。なお、Ｒt は所定温度ｔ（例えば４
００℃）における初期抵抗値、Ｒ’t は１００時間放置
後の所定温度ｔにおける抵抗値を示す。
Ｒ0 ）／（１／Ｋ−１／Ｋ0 ）で表される。なお、ｌｎ
は常用対数、Ｒ及びＲ0 は、各々大気中で室温（３００
°Ｋ）及び１０００℃（１２７３°Ｋ）におけるサーミ
スタ素子の抵抗値を示す。また、抵抗変化率ΔＲは、各
温度センサにて、大気中１１００℃で１００時間放置の
高温耐久試験の温度センサの抵抗値変化について表すも
のであり、式ΔＲ（％）＝（Ｒ’t ／Ｒt ）×１００−
１００で表される。なお、Ｒt は所定温度ｔ（例えば４
００℃）における初期抵抗値、Ｒ’t は１００時間放置
後の所定温度ｔにおける抵抗値を示す。
【００３９】その結果、室温〜１０００℃の温度範囲に
おいて、Ｒt は５０Ω〜１００ｋΩであり、βは２００
０〜４０００（°Ｋ）に調整可能とでき、ΔＲも数％程
度のレベルを安定して実現できることが確認できた。こ
こで、上記のＲt 範囲、β、ΔＲの各値をより確実に実
現するには、ａ（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 における
モル分率ａ、ｂが、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦
０．９５、ａ＋ｂ＝１の関係にあることが好ましい。
おいて、Ｒt は５０Ω〜１００ｋΩであり、βは２００
０〜４０００（°Ｋ）に調整可能とでき、ΔＲも数％程
度のレベルを安定して実現できることが確認できた。こ
こで、上記のＲt 範囲、β、ΔＲの各値をより確実に実
現するには、ａ（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 における
モル分率ａ、ｂが、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦
０．９５、ａ＋ｂ＝１の関係にあることが好ましい。
【００４０】よって、本実施形態によれば、室温〜１０
００℃の高温域にわたって温度を検知可能で、室温〜１
０００℃の熱履歴等においても抵抗値の変化が小さく安
定した特性を持つワイドレンジ型サーミスタ素子を提供
することができる。また、温度抵抗係数βは、従来のサ
ーミスタ素子よりも小さい２０００〜４０００（°Ｋ）
に調整可能とできるため、温度変動に伴う抵抗値のばら
つきを小さいものとすることができる。
００℃の高温域にわたって温度を検知可能で、室温〜１
０００℃の熱履歴等においても抵抗値の変化が小さく安
定した特性を持つワイドレンジ型サーミスタ素子を提供
することができる。また、温度抵抗係数βは、従来のサ
ーミスタ素子よりも小さい２０００〜４０００（°Ｋ）
に調整可能とできるため、温度変動に伴う抵抗値のばら
つきを小さいものとすることができる。
【００４１】なお、本実施形態については、後述の実施
例１〜６、及び、比較例１及び２により、更に詳細に述
べる。 （第２実施形態）本第２実施形態は、混合焼結体（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の製造方法を提供するもので、上
記第１実施形態と同様に第１及び第２の調製工程を有す
るが、上記第１実施形態に加えて、更に次の様にしたこ
とが特徴である。
例１〜６、及び、比較例１及び２により、更に詳細に述
べる。 （第２実施形態）本第２実施形態は、混合焼結体（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の製造方法を提供するもので、上
記第１実施形態と同様に第１及び第２の調製工程を有す
るが、上記第１実施形態に加えて、更に次の様にしたこ
とが特徴である。
【００４２】すなわち、上記第２の調製工程中、（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 又はＭ２ＯX をＹ2 Ｏ3と混合して粉砕する
工程（粉砕工程）において、粉砕後におけるこの混合物
の平均粒径を混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下とする。
以下、この点について主として述べる。本第２実施形態
の製造方法は、上記第１実施形態のサーミスタ素子を組
み込んだ温度センサについてセンサの温度精度を調査し
たところ、センサ毎に温度精度がばらついていたという
結果に基づいて見出された。ここで、温度精度の評価方
法は、例えば、次のようにして行った。
Ｍ２）Ｏ3 又はＭ２ＯX をＹ2 Ｏ3と混合して粉砕する
工程（粉砕工程）において、粉砕後におけるこの混合物
の平均粒径を混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下とする。
以下、この点について主として述べる。本第２実施形態
の製造方法は、上記第１実施形態のサーミスタ素子を組
み込んだ温度センサについてセンサの温度精度を調査し
たところ、センサ毎に温度精度がばらついていたという
結果に基づいて見出された。ここで、温度精度の評価方
法は、例えば、次のようにして行った。
【００４３】作製した多数（例えば１００台）の温度セ
ンサの抵抗値−温度データから、所定温度（例えば３５
０℃）の抵抗値の標準偏差σ（シグマ）を算出し、標準
偏差σの６倍を抵抗値のばらつき幅（両側）とし、この
抵抗値ばらつき幅を温度換算した値を半分にした値Ａと
して、温度精度±Ａ℃と表記して評価する。その結果、
センサ毎の温度精度±Ａ℃は、±２０〜３０℃にばらつ
いていることがわかった。
ンサの抵抗値−温度データから、所定温度（例えば３５
０℃）の抵抗値の標準偏差σ（シグマ）を算出し、標準
偏差σの６倍を抵抗値のばらつき幅（両側）とし、この
抵抗値ばらつき幅を温度換算した値を半分にした値Ａと
して、温度精度±Ａ℃と表記して評価する。その結果、
センサ毎の温度精度±Ａ℃は、±２０〜３０℃にばらつ
いていることがわかった。
【００４４】一方、サーミスタ材料をＳＥＭ、ＥＰＭＡ
等により観察したところ、上記第１実施形態において、
第１の調製工程にて得られる仮焼成後の（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 等の平均粒径（例えば２〜５μｍ）が、これと混合さ
れるＹ2 Ｏ3 の平均粒径（例えば２μｍ以下）よりも大
きいため、両者が均一に混合せず混合焼結体の組成分布
がばらついていることがわかった。
等により観察したところ、上記第１実施形態において、
第１の調製工程にて得られる仮焼成後の（Ｍ１Ｍ２）Ｏ
3 等の平均粒径（例えば２〜５μｍ）が、これと混合さ
れるＹ2 Ｏ3 の平均粒径（例えば２μｍ以下）よりも大
きいため、両者が均一に混合せず混合焼結体の組成分布
がばらついていることがわかった。
【００４５】そこで、更に上記第１実施形態の第２の調
製工程中において、調合され、粉砕された後の混合物
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 、Ｍ２ＯX ＋Ｙ2 Ｏ3 等の
平均粒径を種々変えてこの平均粒径と温度精度±Ａ℃と
の関係を調査した。その結果、前記の混合物の平均粒径
を、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径（約１．０μｍ）以下
とすれば、温度精度±Ａ℃は、±１０℃以下に低減でき
ることがわかった。
製工程中において、調合され、粉砕された後の混合物
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 、Ｍ２ＯX ＋Ｙ2 Ｏ3 等の
平均粒径を種々変えてこの平均粒径と温度精度±Ａ℃と
の関係を調査した。その結果、前記の混合物の平均粒径
を、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径（約１．０μｍ）以下
とすれば、温度精度±Ａ℃は、±１０℃以下に低減でき
ることがわかった。
【００４６】ここで、平均粒径を微粒化するための粉砕
手段としては、媒体攪拌ミル等を用いることができる。
また、媒体攪拌ミルの粉砕媒体としてはＺｒＯ2 製のボ
ール（例えばφ１ｍｍ以下）等を用いることができる。
本第２実施形態によれば、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 、又はＭ２ＯX とＹ2Ｏ3 の微粒化により均一混
合が図られて、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ 3
の組成変動が低減されるので、サーミスタ素子の抵抗値
のばらつきを低減できる。
手段としては、媒体攪拌ミル等を用いることができる。
また、媒体攪拌ミルの粉砕媒体としてはＺｒＯ2 製のボ
ール（例えばφ１ｍｍ以下）等を用いることができる。
本第２実施形態によれば、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 、又はＭ２ＯX とＹ2Ｏ3 の微粒化により均一混
合が図られて、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ 3
の組成変動が低減されるので、サーミスタ素子の抵抗値
のばらつきを低減できる。
【００４７】従って、室温〜１０００℃の温度域におい
て、従来レベルよりも良好なセンサ温度精度（センサ毎
の温度精度ばらつきの少ない）を可能とするワイドレン
ジ型サーミスタ素子を提供できる。なお、本第２実施形
態については、後述の実施例７〜１４により更に詳細に
述べる。
て、従来レベルよりも良好なセンサ温度精度（センサ毎
の温度精度ばらつきの少ない）を可能とするワイドレン
ジ型サーミスタ素子を提供できる。なお、本第２実施形
態については、後述の実施例７〜１４により更に詳細に
述べる。
【００４８】（第３実施形態）本第３実施形態は、混合
焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の製造方法を提供す
るもので、上記第１実施形態と同様に第１及び第２の調
製工程を有するが、上記第１実施形態とは次の点が異な
る。すなわち、上記第１の調製工程中、Ｍ１及びＭ２の
原料であるＭ１の酸化物（Ｍ１ＯX ）やＭ２の酸化物
（Ｍ２ＯX ）等を混合、粉砕する工程（混合工程）にお
いて、Ｍ２の原料をＭ１の原料と共に混合・粉砕して、
この混合粉砕物の平均粒径を混合前のＭ１の原料の平均
粒径以下でかつ０．５μｍ以下とし、仮焼成により（Ｍ
１Ｍ２）Ｏ3 単独もしくは混合焼結体の前駆体（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 ・Ｙ2Ｏ3 を得ることを特徴とする。
焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の製造方法を提供す
るもので、上記第１実施形態と同様に第１及び第２の調
製工程を有するが、上記第１実施形態とは次の点が異な
る。すなわち、上記第１の調製工程中、Ｍ１及びＭ２の
原料であるＭ１の酸化物（Ｍ１ＯX ）やＭ２の酸化物
（Ｍ２ＯX ）等を混合、粉砕する工程（混合工程）にお
いて、Ｍ２の原料をＭ１の原料と共に混合・粉砕して、
この混合粉砕物の平均粒径を混合前のＭ１の原料の平均
粒径以下でかつ０．５μｍ以下とし、仮焼成により（Ｍ
１Ｍ２）Ｏ3 単独もしくは混合焼結体の前駆体（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3 ・Ｙ2Ｏ3 を得ることを特徴とする。
【００４９】従って、本実施形態における混合焼結体
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の製造方法は、第１の調製
工程において得られる仮焼成物が、混合焼結体と同組成
の前駆体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 か、（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 単独か、によって、２つの製造方法がある。前者を
第１の製造方法、後者を第２の製造方法とする。ここ
で、上述のように、前駆体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3
は、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 （ペロブスカイト構造）におい
て、化学量論比（理論量）よりもＹが過剰な分がＹ2 Ｏ
3 として（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 にくっついているものであ
り、目的の混合焼結体と同組成である。
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の製造方法は、第１の調製
工程において得られる仮焼成物が、混合焼結体と同組成
の前駆体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 か、（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 単独か、によって、２つの製造方法がある。前者を
第１の製造方法、後者を第２の製造方法とする。ここ
で、上述のように、前駆体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3
は、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 （ペロブスカイト構造）におい
て、化学量論比（理論量）よりもＹが過剰な分がＹ2 Ｏ
3 として（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 にくっついているものであ
り、目的の混合焼結体と同組成である。
【００５０】本第３実施形態の製造方法は、上記第１実
施形態と重複する部分があるので、以下、上記第１実施
形態と異なる部分について主として述べる。第１の製造
方法は、上記第１の調製工程において、Ｍ１の原料とし
て少なくともＹ2 Ｏ3 を含むものを用い、このＭ１の原
料とＭ２の原料であるＭ２の酸化物（Ｍ２ＯX ）等を調
合、混合、粉砕した後、仮焼成（例えば１０００℃〜１
５００℃程度）することにより前駆体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3
・Ｙ2 Ｏ3 を得る。
施形態と重複する部分があるので、以下、上記第１実施
形態と異なる部分について主として述べる。第１の製造
方法は、上記第１の調製工程において、Ｍ１の原料とし
て少なくともＹ2 Ｏ3 を含むものを用い、このＭ１の原
料とＭ２の原料であるＭ２の酸化物（Ｍ２ＯX ）等を調
合、混合、粉砕した後、仮焼成（例えば１０００℃〜１
５００℃程度）することにより前駆体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3
・Ｙ2 Ｏ3 を得る。
【００５１】ここにおいて、上記混合、粉砕（混合工
程）の際に、上記第２実施形態にて述べた媒体攪拌ミル
等により、粉砕後の混合粉砕物の平均粒径を混合前のＭ
１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とし、そ
の後仮焼成して前駆体を得る。その後、第２の調製工程
において、更に上記前駆体を所望量に調合し、粉砕し
て、Ｐｔ等のリード線を組み込み、所望の形状に金型等
で成形して焼成（例えば１５００℃以上）を行うと、混
合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 からなるサーミス
タ素子が得られる。
程）の際に、上記第２実施形態にて述べた媒体攪拌ミル
等により、粉砕後の混合粉砕物の平均粒径を混合前のＭ
１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とし、そ
の後仮焼成して前駆体を得る。その後、第２の調製工程
において、更に上記前駆体を所望量に調合し、粉砕し
て、Ｐｔ等のリード線を組み込み、所望の形状に金型等
で成形して焼成（例えば１５００℃以上）を行うと、混
合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 からなるサーミス
タ素子が得られる。
【００５２】第２の製造方法は、上記第１の調製工程に
おいて、Ｍ１及びＭ２の原料であるＭ１の酸化物（Ｍ１
ＯX ）やＭ２の酸化物（Ｍ２ＯX ）等を調合、混合、粉
砕した後、仮焼成（例えば１０００℃〜１５００℃程
度）することにより（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を得る。ここにお
いて、混合、粉砕（混合工程）の際に、上記第２実施形
態にて述べた媒体攪拌ミル等により、粉砕後の混合粉砕
物の平均粒径を混合前のＭ１の原料の平均粒径以下でか
つ０．５μｍ以下とする。
おいて、Ｍ１及びＭ２の原料であるＭ１の酸化物（Ｍ１
ＯX ）やＭ２の酸化物（Ｍ２ＯX ）等を調合、混合、粉
砕した後、仮焼成（例えば１０００℃〜１５００℃程
度）することにより（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を得る。ここにお
いて、混合、粉砕（混合工程）の際に、上記第２実施形
態にて述べた媒体攪拌ミル等により、粉砕後の混合粉砕
物の平均粒径を混合前のＭ１の原料の平均粒径以下でか
つ０．５μｍ以下とする。
【００５３】その後、第２の調製工程において、更に
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを所望量に調合し、第１
の製造方法と同様に処理を行い、混合焼結体（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3・Ｙ2 Ｏ3 からなるサーミスタ素子を得る。そ
れによって、Ｍ１及びＭ２の原料の均一微粒化により組
成の均一混合が図られるので、仮焼成後に生成する（Ｍ
１Ｍ２）Ｏ3 、又は前駆体における組成ばらつきの低
減、及び原料未反応物の存在の抑制が実現でき、サーミ
スタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。
（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを所望量に調合し、第１
の製造方法と同様に処理を行い、混合焼結体（Ｍ１Ｍ
２）Ｏ3・Ｙ2 Ｏ3 からなるサーミスタ素子を得る。そ
れによって、Ｍ１及びＭ２の原料の均一微粒化により組
成の均一混合が図られるので、仮焼成後に生成する（Ｍ
１Ｍ２）Ｏ3 、又は前駆体における組成ばらつきの低
減、及び原料未反応物の存在の抑制が実現でき、サーミ
スタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。
【００５４】従って、室温〜１０００℃の温度域におい
て、従来レベルよりも良好なセンサ温度精度（センサ毎
の温度精度ばらつきの少ない）を可能とするワイドレン
ジ型サーミスタ素子を提供できる。なお、上記第１及び
第２の製造方法において、第２の調製工程の粉砕工程に
おける粉砕は、ボールミル等による粉砕でもよいが、第
２実施形態と同様に媒体攪拌ミル等を用いたものとして
もよい。
て、従来レベルよりも良好なセンサ温度精度（センサ毎
の温度精度ばらつきの少ない）を可能とするワイドレン
ジ型サーミスタ素子を提供できる。なお、上記第１及び
第２の製造方法において、第２の調製工程の粉砕工程に
おける粉砕は、ボールミル等による粉砕でもよいが、第
２実施形態と同様に媒体攪拌ミル等を用いたものとして
もよい。
【００５５】すなわち、第１の製造方法においては、仮
焼成により得られた前駆体を混合して粉砕し、粉砕後に
おける前駆体の平均粒径を、第１の調製工程における混
合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下とする。一方、第２の製
造方法においては、仮焼成により得られた（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを混合して粉砕し、粉砕後におけるこ
の混合物の平均粒径を混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下
とする。
焼成により得られた前駆体を混合して粉砕し、粉砕後に
おける前駆体の平均粒径を、第１の調製工程における混
合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下とする。一方、第２の製
造方法においては、仮焼成により得られた（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを混合して粉砕し、粉砕後におけるこ
の混合物の平均粒径を混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下
とする。
【００５６】それによって、上記した本第３実施形態の
効果に加えて、粉砕工程の後工程の成形及び焼成工程に
おいて、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とが均一混合が図
られ混合焼結体の組成変動が低減されるので、サーミス
タ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。従って、上記
第２実施形態の製造方法に比べて、より高いレベルでサ
ーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減でき、より良好
なセンサ温度精度（センサ毎の温度精度ばらつきの少な
い）を可能とするワイドレンジ型サーミスタ素子を提供
できる。
効果に加えて、粉砕工程の後工程の成形及び焼成工程に
おいて、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とが均一混合が図
られ混合焼結体の組成変動が低減されるので、サーミス
タ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。従って、上記
第２実施形態の製造方法に比べて、より高いレベルでサ
ーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減でき、より良好
なセンサ温度精度（センサ毎の温度精度ばらつきの少な
い）を可能とするワイドレンジ型サーミスタ素子を提供
できる。
【００５７】また、第２及び第３実施形態のワイドレン
ジ型サーミスタ素子を用いた温度センサは、温度精度が
±１０℃以下に抑制されているので、高度な温度精度を
要求されるマップ制御装置、例えば自動車の排気ガス用
の酸素センサの温度モニタ等に用いて好適である。な
お、本第３実施形態については、後述の実施例１５〜２
０及び比較例３により更に詳細に述べる。
ジ型サーミスタ素子を用いた温度センサは、温度精度が
±１０℃以下に抑制されているので、高度な温度精度を
要求されるマップ制御装置、例えば自動車の排気ガス用
の酸素センサの温度モニタ等に用いて好適である。な
お、本第３実施形態については、後述の実施例１５〜２
０及び比較例３により更に詳細に述べる。
【００５８】次に、上記第１実施形態を以下に示す実施
例１〜実施例６と比較例１及び２とにより、上記第２実
施形態を以下に示す実施例７〜実施例１４により、第３
実施形態を以下に示す実施例１５〜実施例２０及び比較
例３により、更に詳述するが、上記各実施形態はこれら
実施例に限定されるものではない。
例１〜実施例６と比較例１及び２とにより、上記第２実
施形態を以下に示す実施例７〜実施例１４により、第３
実施形態を以下に示す実施例１５〜実施例２０及び比較
例３により、更に詳述するが、上記各実施形態はこれら
実施例に限定されるものではない。
【００５９】
（実施例１）本実施例１は、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 におい
て、Ｍ１としてＹ、Ｍ２としてＣｒおよびＭｎを選択し
たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とから、Ｙ
（Ｃｒ0. 5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得
るものである。
て、Ｍ１としてＹ、Ｍ２としてＣｒおよびＭｎを選択し
たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とから、Ｙ
（Ｃｒ0. 5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得
るものである。
【００６０】本実施例１のサーミスタ素子の製造工程を
図１に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合１
からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る迄の第１の調製
工程と、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ
3 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を得る迄第２
の調製工程とに分かれる。第１の調製工程では、まず、
いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＣｒ 2 Ｏ3
とＭｎ2 Ｏ3 を用意し、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が、
２：１：１となるようにＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2
Ｏ3 を秤量して、全量５００ｇとする（調合１）。
図１に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合１
からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る迄の第１の調製
工程と、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ
3 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を得る迄第２
の調製工程とに分かれる。第１の調製工程では、まず、
いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＣｒ 2 Ｏ3
とＭｎ2 Ｏ3 を用意し、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が、
２：１：１となるようにＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2
Ｏ3 を秤量して、全量５００ｇとする（調合１）。
【００６１】この秤量物を混合するため、ボールミルと
してＡｌ2 Ｏ3 またはＺｒ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５
ｋｇ、φ２０を２．５ｋｇ入れた樹脂製ポット（容量５
リットル）を用い、このポットに、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ
3 とＭｎ2 Ｏ3 の全量を入れ、純水１５００ｃｃを加え
た後に、６０ｒｐｍで６〜１２時間混合する（混合工
程）。
してＡｌ2 Ｏ3 またはＺｒ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５
ｋｇ、φ２０を２．５ｋｇ入れた樹脂製ポット（容量５
リットル）を用い、このポットに、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ
3 とＭｎ2 Ｏ3 の全量を入れ、純水１５００ｃｃを加え
た後に、６０ｒｐｍで６〜１２時間混合する（混合工
程）。
【００６２】混合処理後に得られたＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ
3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合スラリーを磁器製の蒸発皿に移
し、熱風乾燥機にて１５０℃で１２時間以上乾燥し、Ｙ
2 Ｏ3とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 との混合固形体を得
る。続いて、この混合固形体をライカイ機で粗粉砕し、
♯３０メッシュ篩いを通し、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭ
ｎ 2 Ｏ3 との混合粉体を得る。
3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合スラリーを磁器製の蒸発皿に移
し、熱風乾燥機にて１５０℃で１２時間以上乾燥し、Ｙ
2 Ｏ3とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 との混合固形体を得
る。続いて、この混合固形体をライカイ機で粗粉砕し、
♯３０メッシュ篩いを通し、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭ
ｎ 2 Ｏ3 との混合粉体を得る。
【００６３】仮焼成工程では、この混合粉体を、９９．
３％Ａｌ2 Ｏ3 製ルツボに入れ、大気中で高温炉にて１
１００〜１３００℃で１〜２時間仮焼成し、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。仮焼成で塊状の固形となっ
たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3をライカイ機で粗粉砕
し、♯３０メッシュ篩いを通し、粉体とする。このＹ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 は、単独でサーミスタ材料と
して用いた場合、低抵抗および１０００〜４０００（°
Ｋ）の低抵抗温度係数を示す。ワイドレンジ型サーミス
タ材料としては、このＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と、
サーミスタの抵抗値を安定化する材料であるＹ2 Ｏ3 を
用いる。
３％Ａｌ2 Ｏ3 製ルツボに入れ、大気中で高温炉にて１
１００〜１３００℃で１〜２時間仮焼成し、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。仮焼成で塊状の固形となっ
たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3をライカイ機で粗粉砕
し、♯３０メッシュ篩いを通し、粉体とする。このＹ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 は、単独でサーミスタ材料と
して用いた場合、低抵抗および１０００〜４０００（°
Ｋ）の低抵抗温度係数を示す。ワイドレンジ型サーミス
タ材料としては、このＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と、
サーミスタの抵抗値を安定化する材料であるＹ2 Ｏ3 を
用いる。
【００６４】第２の調製工程では、まず、所望の抵抗値
と抵抗温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比（モル分率）を、３８：６
２となるように粉体とされたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 と市販の粉体のＹ2 Ｏ3 （純度９９．９％以上）とを
秤量し全量５００ｇとする。ここで、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 のモル分率を各々ａ、ｂ（ａ＋ｂ
＝１）とすれば、これらａおよびｂは上記調合モル比と
一致し、ａ＝０．３８、ｂ＝０．６２となる。
と抵抗温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比（モル分率）を、３８：６
２となるように粉体とされたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 と市販の粉体のＹ2 Ｏ3 （純度９９．９％以上）とを
秤量し全量５００ｇとする。ここで、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 のモル分率を各々ａ、ｂ（ａ＋ｂ
＝１）とすれば、これらａおよびｂは上記調合モル比と
一致し、ａ＝０．３８、ｂ＝０．６２となる。
【００６５】また、焼成時に１５００〜１６５０℃の範
囲で液相となるＳｉＯ2 、ＣａＣＯ 3 を焼結助剤として
用い、前記のＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の
全量（５００ｇ）に対して、ＳｉＯ2 は３重量％、Ｃａ
ＣＯ3 は４．５重量％を添加する（調合２）。続いて、
粉砕工程（図中、混合・粉砕）では、上記のＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3
とを、Ａｌ2 Ｏ3 またはＺｒ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．
５ｋｇ、φ２０を２．５ｋｇ入れた樹脂製ポット（容量
５リットル）に入れ、純水１５００ｃｃを加えた後に、
６０ｒｐｍで４時間以上混合、粉砕する。
囲で液相となるＳｉＯ2 、ＣａＣＯ 3 を焼結助剤として
用い、前記のＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の
全量（５００ｇ）に対して、ＳｉＯ2 は３重量％、Ｃａ
ＣＯ3 は４．５重量％を添加する（調合２）。続いて、
粉砕工程（図中、混合・粉砕）では、上記のＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3
とを、Ａｌ2 Ｏ3 またはＺｒ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．
５ｋｇ、φ２０を２．５ｋｇ入れた樹脂製ポット（容量
５リットル）に入れ、純水１５００ｃｃを加えた後に、
６０ｒｐｍで４時間以上混合、粉砕する。
【００６６】また、上記の粉砕工程では、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の固形分に対して、バインダ
ーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）をＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合粉１００ｇ当た
り１ｇを添加し、同時に混合、粉砕する。混合、粉砕後
に得たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合粉
砕スラリーをスプレードライヤで造粒、乾燥し、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3の混合粉体を得る。こ
の混合粉体をサーミスタ原料とする。
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の固形分に対して、バインダ
ーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）をＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合粉１００ｇ当た
り１ｇを添加し、同時に混合、粉砕する。混合、粉砕後
に得たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合粉
砕スラリーをスプレードライヤで造粒、乾燥し、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3の混合粉体を得る。こ
の混合粉体をサーミスタ原料とする。
【００６７】続いて、成形工程（金型成形）では、この
サーミスタ原料を用いて、外径×長さがφ０．３ｍｍ×
１０．５ｍｍで、材質がＰｔ１００（純白金）をリード
線として、リード線をインサートして外径φ１．７４ｍ
ｍの金型にて圧力約１０００ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形し、
リード線が形成された外径φ１．７５ｍｍのサーミスタ
素子の成形体を得る。
サーミスタ原料を用いて、外径×長さがφ０．３ｍｍ×
１０．５ｍｍで、材質がＰｔ１００（純白金）をリード
線として、リード線をインサートして外径φ１．７４ｍ
ｍの金型にて圧力約１０００ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形し、
リード線が形成された外径φ１．７５ｍｍのサーミスタ
素子の成形体を得る。
【００６８】焼成工程では、サーミスタ素子の成形体
を、Ａｌ2 Ｏ3 製波型セッタに並べ、大気中１４００〜
１６００℃で１〜２時間焼成し、混合焼結体ａＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 からなる外径φ１．６
０ｍｍのサーミスタ素子を得る。図２に、得られたサー
ミスタ素子１を示す。平行な２本のリード線１１、１２
の各端部が、外径φ１．６０ｍｍの円柱形の素子部１３
に埋設された形となっている。このサーミスタ素子１
は、図３および図４に示す一般的な温度センサアッシー
に組み込み温度センサとする。
を、Ａｌ2 Ｏ3 製波型セッタに並べ、大気中１４００〜
１６００℃で１〜２時間焼成し、混合焼結体ａＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 からなる外径φ１．６
０ｍｍのサーミスタ素子を得る。図２に、得られたサー
ミスタ素子１を示す。平行な２本のリード線１１、１２
の各端部が、外径φ１．６０ｍｍの円柱形の素子部１３
に埋設された形となっている。このサーミスタ素子１
は、図３および図４に示す一般的な温度センサアッシー
に組み込み温度センサとする。
【００６９】サーミスタ素子１は、図３に示すように、
筒状の耐熱性の金属ケース２内に配置されている。ま
た、図示しないが、リード線１１、１２は、金属パイプ
３の内部を通る金属パイプのリード線３１、３２に接続
されている。なお、図４に示すように、金属パイプ３の
内部には、マグネシア粉体３３が充填されており、金属
パイプ３内のリード線３１、３２の絶縁性を確保してい
る。以上のように、温度センサが構成されている。
筒状の耐熱性の金属ケース２内に配置されている。ま
た、図示しないが、リード線１１、１２は、金属パイプ
３の内部を通る金属パイプのリード線３１、３２に接続
されている。なお、図４に示すように、金属パイプ３の
内部には、マグネシア粉体３３が充填されており、金属
パイプ３内のリード線３１、３２の絶縁性を確保してい
る。以上のように、温度センサが構成されている。
【００７０】なお、以下、本実施例および他の実施例２
〜実施例２０、および比較例１〜比較例３において、作
製されるサーミスタ素子および温度センサは、図２ない
し図４のものと同構造であり、説明を省略する。ただ
し、素子部１３を構成する混合焼結体の材料組成は、各
例におけるものとなっているのは勿論である。さらに、
上記の第２の調製工程において、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2Ｏ3 の調合モル比を、９５：５およ
び５：９５となるように秤量し、以下、同様の手順にて
サーミスタ素子を作製し、温度センサに組み込む。ここ
で、本実施例の各素子は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比（ａ：ｂに一致）が、３
８：６２、９５：５、５：９５の順に、素子番号１、素
子番号２、素子番号３とする。
〜実施例２０、および比較例１〜比較例３において、作
製されるサーミスタ素子および温度センサは、図２ない
し図４のものと同構造であり、説明を省略する。ただ
し、素子部１３を構成する混合焼結体の材料組成は、各
例におけるものとなっているのは勿論である。さらに、
上記の第２の調製工程において、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2Ｏ3 の調合モル比を、９５：５およ
び５：９５となるように秤量し、以下、同様の手順にて
サーミスタ素子を作製し、温度センサに組み込む。ここ
で、本実施例の各素子は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比（ａ：ｂに一致）が、３
８：６２、９５：５、５：９５の順に、素子番号１、素
子番号２、素子番号３とする。
【００７１】番号１〜３の素子を組み込んだ温度センサ
を、高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃ま
で、抵抗値の温度特性を評価した。評価結果を図５の表
に示す。図５に示すように、本実施例１のワイドレンジ
型サーミスタ素子は、ａＹ（ＣｒＭｎ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ
3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．
０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において、温度センサとし
て必要な５０Ω〜１００ｋΩの低抵抗値であり、抵抗温
度係数βについても、２０００〜４０００（°Ｋ）を示
し、抵抗値、抵抗温度係数を広い範囲で制御が可能であ
る。それ故、室温から１０００℃の高温域にわたって温
度を検知することができる。
を、高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃ま
で、抵抗値の温度特性を評価した。評価結果を図５の表
に示す。図５に示すように、本実施例１のワイドレンジ
型サーミスタ素子は、ａＹ（ＣｒＭｎ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ
3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．
０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において、温度センサとし
て必要な５０Ω〜１００ｋΩの低抵抗値であり、抵抗温
度係数βについても、２０００〜４０００（°Ｋ）を示
し、抵抗値、抵抗温度係数を広い範囲で制御が可能であ
る。それ故、室温から１０００℃の高温域にわたって温
度を検知することができる。
【００７２】また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つワイ
ドレンジ型サーミスタ材料を提供することができる。 （実施例２）本実施例２は、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
とＹ2 Ｏ3 とから、Ｙ（Ｃｒ0 .5Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2
Ｏ3 の混合焼結体を得るものである。なお、本実施例の
場合、混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 に対し
てＹ2 Ｏ3 のＹが固溶するため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 にお
いては、Ｍ１としてＹ、Ｍ２としてＣｒおよびＭｎを選
択したものとなる。
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つワイ
ドレンジ型サーミスタ材料を提供することができる。 （実施例２）本実施例２は、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
とＹ2 Ｏ3 とから、Ｙ（Ｃｒ0 .5Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2
Ｏ3 の混合焼結体を得るものである。なお、本実施例の
場合、混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 に対し
てＹ2 Ｏ3 のＹが固溶するため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 にお
いては、Ｍ１としてＹ、Ｍ２としてＣｒおよびＭｎを選
択したものとなる。
【００７３】本実施例２のサーミスタ素子の製造工程を
図６に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合１
から（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る迄の第１の調製工
程と、得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 と
を調合（調合２）してサーミスタ素子を得る迄の第２の
調製工程とに分かれる。第１の調製工程では、まず、い
ずれの純度も９９．９％以上のＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3
を用意し、Ｃｒ：Ｍｎのモル比が１：１となるようにＣ
ｒ2 Ｏ3 とＭｎ 2 Ｏ3 を秤量して、全量５００ｇとする
（調合１）。
図６に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合１
から（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る迄の第１の調製工
程と、得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 と
を調合（調合２）してサーミスタ素子を得る迄の第２の
調製工程とに分かれる。第１の調製工程では、まず、い
ずれの純度も９９．９％以上のＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3
を用意し、Ｃｒ：Ｍｎのモル比が１：１となるようにＣ
ｒ2 Ｏ3 とＭｎ 2 Ｏ3 を秤量して、全量５００ｇとする
（調合１）。
【００７４】続いて、調合されたＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ
3 とを、上記実施例１と同様に、混合、乾燥、粉砕、仮
焼成等の処理を行い（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。
そして、粗粉砕、♯３０メッシュ篩いにより粉体とす
る。ワイドレンジ型サーミスタ材料としては、この（Ｍ
ｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 と、サーミスタの抵抗値を安定化
する材料であるＹ2 Ｏ3 を用いる。
3 とを、上記実施例１と同様に、混合、乾燥、粉砕、仮
焼成等の処理を行い（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。
そして、粗粉砕、♯３０メッシュ篩いにより粉体とす
る。ワイドレンジ型サーミスタ材料としては、この（Ｍ
ｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 と、サーミスタの抵抗値を安定化
する材料であるＹ2 Ｏ3 を用いる。
【００７５】第２の調製工程では、まず、所望の抵抗値
と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比を、１４：８６となるように
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 を秤量し全量５０
０ｇとする。また、上記実施例１と同様に、焼結助剤を
添加する（調合２）。続いて、調合された（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＳｉＯ2 ＋ＣａＣＯ3 につい
て、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造粒、乾燥、成
形、焼成を行い、Ｙ（Ｃｒ0 .5Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ
3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度センサに
組み込む。
と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比を、１４：８６となるように
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 を秤量し全量５０
０ｇとする。また、上記実施例１と同様に、焼結助剤を
添加する（調合２）。続いて、調合された（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＳｉＯ2 ＋ＣａＣＯ3 につい
て、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造粒、乾燥、成
形、焼成を行い、Ｙ（Ｃｒ0 .5Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ
3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度センサに
組み込む。
【００７６】さらに、上記の第２の調製工程において、
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ 3 の調合モル比を、
３８：６２および３：９７となるように秤量し、以下、
同様の手順にてサーミスタ素子を作製し、温度センサに
組み込む。ここで、本実施例の各素子は、（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比が、１４：８６、
３８：６２、３：９７の順に、素子番号４、素子番号
５、素子番号６とする。
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ 3 の調合モル比を、
３８：６２および３：９７となるように秤量し、以下、
同様の手順にてサーミスタ素子を作製し、温度センサに
組み込む。ここで、本実施例の各素子は、（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合モル比が、１４：８６、
３８：６２、３：９７の順に、素子番号４、素子番号
５、素子番号６とする。
【００７７】なお、上述したように、本実施例では、混
合焼結時に（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ 4 に対してＹ2 Ｏ3
のＹが固溶し、また、余分な酸素原子は焼結時に大気中
に遊離される。その結果、ペロブスカイト型のＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ 3 の混合焼結体であるａ
（Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 が得られ
る。
合焼結時に（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ 4 に対してＹ2 Ｏ3
のＹが固溶し、また、余分な酸素原子は焼結時に大気中
に遊離される。その結果、ペロブスカイト型のＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ 3 の混合焼結体であるａ
（Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 が得られ
る。
【００７８】そのため、本実施例におけるａ（Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3のモル分率ａ：ｂの
比は、上記の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調
合モル比と比べてａが若干多めになり、例えば、調合モ
ル比が３：９７であっても、ａ≧０．０５、ｂ≦０．９
５となっている。このことは、混合焼結体の組成および
構造等におけるＳＥＭ、ＥＰＭＡ等の調査により確認し
ている。
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3のモル分率ａ：ｂの
比は、上記の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調
合モル比と比べてａが若干多めになり、例えば、調合モ
ル比が３：９７であっても、ａ≧０．０５、ｂ≦０．９
５となっている。このことは、混合焼結体の組成および
構造等におけるＳＥＭ、ＥＰＭＡ等の調査により確認し
ている。
【００７９】そして、上記実施例１と同様に、番号４〜
６の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入れ、室
温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度特性を
評価した。評価結果を図７の表に示す。図７に示すよう
に、本実施例２のワイドレンジ型サーミスタ材料は、ａ
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率
（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦
０．９５の範囲において、上記実施例１に記載と同等の
効果を実現できる。
６の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入れ、室
温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度特性を
評価した。評価結果を図７の表に示す。図７に示すよう
に、本実施例２のワイドレンジ型サーミスタ材料は、ａ
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率
（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦
０．９５の範囲において、上記実施例１に記載と同等の
効果を実現できる。
【００８０】（実施例３）本実施例３は、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 から、Ｙ（ＣｒＭ
ｎＴｉ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものであ
る。ここで、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 は、ペロブスカイ
ト構造であり、各原子の組成比は化学量論比となってい
る。例えば、Ｙ（Ｃｒ0.45Ｍｎ0.45Ｔｉ0.1 ）Ｏ3 とな
っている。以下、各例のＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 も同様
である。
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 から、Ｙ（ＣｒＭ
ｎＴｉ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものであ
る。ここで、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 は、ペロブスカイ
ト構造であり、各原子の組成比は化学量論比となってい
る。例えば、Ｙ（Ｃｒ0.45Ｍｎ0.45Ｔｉ0.1 ）Ｏ3 とな
っている。以下、各例のＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 も同様
である。
【００８１】なお、本実施例の場合、混合焼結時に、Ｙ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 に対してＴｉＯ2 のＴｉが固
溶するため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１として
Ｙ、Ｍ２としてＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものと
なる。本実施例３のサーミスタ素子の製造工程を図８に
示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合１からＹ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る迄の第１の調製工程
と、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 と
ＴｉＯ2 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を得る
迄の第２の調製工程とに分かれる。
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 に対してＴｉＯ2 のＴｉが固
溶するため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１として
Ｙ、Ｍ２としてＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものと
なる。本実施例３のサーミスタ素子の製造工程を図８に
示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合１からＹ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る迄の第１の調製工程
と、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 と
ＴｉＯ2 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を得る
迄の第２の調製工程とに分かれる。
【００８２】第１の調製工程は、上記実施例１と同様で
あり、ここでは省略する。本実施例のワイドレンジ型サ
ーミスタ材料としては、このＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 と、サーミスタの抵抗値を安定化する材料であるＹ2
Ｏ3 と、抵抗値を調整する材料として抵抗体であるＴｉ
Ｏ2 （添加物）を用いる。第２の調製工程では、まず、
所望の抵抗値と抵抗温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＴｉＯ2 の調合モル比
を、３７：５９：４となるようにＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを秤量し全量５０
０ｇとする。また、上記実施例１と同様に、焼結助剤を
添加する（調合２）。
あり、ここでは省略する。本実施例のワイドレンジ型サ
ーミスタ材料としては、このＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 と、サーミスタの抵抗値を安定化する材料であるＹ2
Ｏ3 と、抵抗値を調整する材料として抵抗体であるＴｉ
Ｏ2 （添加物）を用いる。第２の調製工程では、まず、
所望の抵抗値と抵抗温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＴｉＯ2 の調合モル比
を、３７：５９：４となるようにＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを秤量し全量５０
０ｇとする。また、上記実施例１と同様に、焼結助剤を
添加する（調合２）。
【００８３】続いて、調合されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2 ＋ＳｉＯ2 ＋ＣａＣ
Ｏ3 について、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造
粒、乾燥、成形、焼成を行い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3
・Ｙ2 Ｏ3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度
センサに組み込む。さらに、上記の第２の調製工程にお
いて、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2Ｏ3 ：ＴｉＯ
2 の調合モル比を、８７：５：８および５：９４．５：
０．５となるように秤量し、以下、同様の手順にてサー
ミスタ素子を作製し、温度センサに組み込む。ここで、
本実施例の各素子は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ
2 Ｏ 3 ：ＴｉＯ2 のモル比が、３７：５９：４、８７：
５：８、５：９４．５：０．５の順に、素子番号７、素
子番号８、素子番号９とする。
ｎ0.5 ）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2 ＋ＳｉＯ2 ＋ＣａＣ
Ｏ3 について、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造
粒、乾燥、成形、焼成を行い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3
・Ｙ2 Ｏ3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度
センサに組み込む。さらに、上記の第２の調製工程にお
いて、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2Ｏ3 ：ＴｉＯ
2 の調合モル比を、８７：５：８および５：９４．５：
０．５となるように秤量し、以下、同様の手順にてサー
ミスタ素子を作製し、温度センサに組み込む。ここで、
本実施例の各素子は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ
2 Ｏ 3 ：ＴｉＯ2 のモル比が、３７：５９：４、８７：
５：８、５：９４．５：０．５の順に、素子番号７、素
子番号８、素子番号９とする。
【００８４】なお、本実施例３の各素子を構成するａＹ
（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3のモル分率（ａ、
ｂ）は、調合モル比におけるＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 ：Ｙ 2 Ｏ3 の比に等しい。ちなみに素子番号７、素子
番号８、素子番号９の順に、ａ：ｂ（ａ＋ｂ＝１）は、
０．３９：０．６１、０．９５：０．０５、０．０５：
０．９５である。
（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3のモル分率（ａ、
ｂ）は、調合モル比におけるＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 ：Ｙ 2 Ｏ3 の比に等しい。ちなみに素子番号７、素子
番号８、素子番号９の順に、ａ：ｂ（ａ＋ｂ＝１）は、
０．３９：０．６１、０．９５：０．０５、０．０５：
０．９５である。
【００８５】そして、上記実施例１と同様に、番号７〜
９の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入れ、室
温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度特性を
評価した。評価結果を図９の表に示す。図９に示すよう
に、本実施例３のワイドレンジ型サーミスタ材料は、ａ
Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率（ａ＋
ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５
の範囲において、上記実施例１に記載と同等の効果を実
現できる。
９の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入れ、室
温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度特性を
評価した。評価結果を図９の表に示す。図９に示すよう
に、本実施例３のワイドレンジ型サーミスタ材料は、ａ
Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率（ａ＋
ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５
の範囲において、上記実施例１に記載と同等の効果を実
現できる。
【００８６】（実施例４）本実施例４は、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 から、Ｙ（Ｃｒ
ＭｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものであ
る。なお、本実施例の場合、混合焼結時に、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 に対してＹＴｉＯ3 のＹとＴｉが固
溶するため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１として
Ｙ、Ｍ２としてＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものと
なる。
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 から、Ｙ（Ｃｒ
ＭｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものであ
る。なお、本実施例の場合、混合焼結時に、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 に対してＹＴｉＯ3 のＹとＴｉが固
溶するため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１として
Ｙ、Ｍ２としてＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものと
なる。
【００８７】本実施例４のサーミスタ素子の製造工程を
図１０に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合
１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る迄の第１の調
製工程と、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2
Ｏ3 とＹＴｉＯ3 とを調合（調合２）してサーミスタ素
子を得る迄の第２の調製工程と、さらに、第２の調製工
程に供するＹＴｉＯ3 を得る第３の調製工程（図中の調
合３からＹＴｉＯ3 迄）に分かれる。
図１０に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合
１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る迄の第１の調
製工程と、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2
Ｏ3 とＹＴｉＯ3 とを調合（調合２）してサーミスタ素
子を得る迄の第２の調製工程と、さらに、第２の調製工
程に供するＹＴｉＯ3 を得る第３の調製工程（図中の調
合３からＹＴｉＯ3 迄）に分かれる。
【００８８】第１の調製工程は、上記実施例１と同様で
あり、ここでは省略する。第３の調製工程では、まず、
いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 を
用意し、Ｙ：Ｔｉのモル比が１：１となるようにＹ2 Ｏ
3 とＴｉＯ2 を秤量して、全量５００ｇとする（調合
３）。この秤量物を混合するため、ボールミルとしてＡ
ｌ2 Ｏ3 またはＺｒ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５ｋｇ、
φ２０を２．５ｋｇ入れた樹脂製ポット（容量５リット
ル）を用い、このポットに、Ｙ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 の全量
を入れ、純水１５００ｃｃを加えた後に、６０ｒｐｍで
６時間混合する（混合工程）。
あり、ここでは省略する。第３の調製工程では、まず、
いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 を
用意し、Ｙ：Ｔｉのモル比が１：１となるようにＹ2 Ｏ
3 とＴｉＯ2 を秤量して、全量５００ｇとする（調合
３）。この秤量物を混合するため、ボールミルとしてＡ
ｌ2 Ｏ3 またはＺｒ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５ｋｇ、
φ２０を２．５ｋｇ入れた樹脂製ポット（容量５リット
ル）を用い、このポットに、Ｙ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 の全量
を入れ、純水１５００ｃｃを加えた後に、６０ｒｐｍで
６時間混合する（混合工程）。
【００８９】混合処理後に得られたＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2
の混合スラリーを磁器製の蒸発皿に移し、熱風乾燥機に
て１５０℃で１２時間以上乾燥し、Ｙ2 Ｏ3 とＴｉＯ2
との混合固形体を得る。続いて、この混合固形体をライ
カイ機で粗粉砕し、♯３０メッシュ篩いを通し、Ｙ2 Ｏ
3 とＴｉＯ2 との混合粉体を得る。仮焼成工程では、こ
の混合粉体を、９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製ルツボに入れ、
常圧雰囲気（空気中）で高温炉にて１１００〜１３００
℃で１〜２時間仮焼成し、ＹＴｉＯ3 を得る。仮焼成で
塊状の固形となったＹＴｉＯ3 をライカイ機で粗粉砕
し、♯３０メッシュ篩いを通し、粉体とする。
の混合スラリーを磁器製の蒸発皿に移し、熱風乾燥機に
て１５０℃で１２時間以上乾燥し、Ｙ2 Ｏ3 とＴｉＯ2
との混合固形体を得る。続いて、この混合固形体をライ
カイ機で粗粉砕し、♯３０メッシュ篩いを通し、Ｙ2 Ｏ
3 とＴｉＯ2 との混合粉体を得る。仮焼成工程では、こ
の混合粉体を、９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製ルツボに入れ、
常圧雰囲気（空気中）で高温炉にて１１００〜１３００
℃で１〜２時間仮焼成し、ＹＴｉＯ3 を得る。仮焼成で
塊状の固形となったＹＴｉＯ3 をライカイ機で粗粉砕
し、♯３０メッシュ篩いを通し、粉体とする。
【００９０】ワイドレンジ型サーミスタ材料としては、
第１の調製工程で得られたＹ（Ｃｒ 0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 （添加物）を用いる。第２の調
製工程では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度係数となる
ように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＹＴ
ｉＯ3 の調合モル比を、３７：６０：３となるようにＹ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 とを
秤量し全量５００ｇとする。また、上記実施例１と同様
に、焼結助剤を添加する（調合２）。
第１の調製工程で得られたＹ（Ｃｒ 0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 （添加物）を用いる。第２の調
製工程では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度係数となる
ように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＹＴ
ｉＯ3 の調合モル比を、３７：６０：３となるようにＹ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 とを
秤量し全量５００ｇとする。また、上記実施例１と同様
に、焼結助剤を添加する（調合２）。
【００９１】続いて、調合されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＹＴｉＯ3 ＋ＳｉＯ2 ＋Ｃａ
ＣＯ3 について、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造
粒、乾燥、成形、焼成を行い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3
・Ｙ2 Ｏ3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度
センサに組み込む。さらに、上記の第２の調製工程にお
いて、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2Ｏ3 ：ＹＴｉ
Ｏ3 の調合モル比を、８７：６：３および５：９４．
７：０．３となるように秤量し、以下、同様の手順にて
サーミスタ素子を作製し、温度センサに組み込む。ここ
で、本実施例４の各素子は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 ：Ｙ 2 Ｏ3 ：ＹＴｉＯ3 のモル比が、３７：６０：
３、８７：６：３、５：９４．７：０．３の順に、素子
番号１０、素子番号１１、素子番号１２とする。
ｎ0.5 ）Ｏ3 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＹＴｉＯ3 ＋ＳｉＯ2 ＋Ｃａ
ＣＯ3 について、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造
粒、乾燥、成形、焼成を行い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3
・Ｙ2 Ｏ3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度
センサに組み込む。さらに、上記の第２の調製工程にお
いて、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2Ｏ3 ：ＹＴｉ
Ｏ3 の調合モル比を、８７：６：３および５：９４．
７：０．３となるように秤量し、以下、同様の手順にて
サーミスタ素子を作製し、温度センサに組み込む。ここ
で、本実施例４の各素子は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 ：Ｙ 2 Ｏ3 ：ＹＴｉＯ3 のモル比が、３７：６０：
３、８７：６：３、５：９４．７：０．３の順に、素子
番号１０、素子番号１１、素子番号１２とする。
【００９２】なお、本実施例４の各素子においては、上
述のようにＹＴｉＯ3 のＹとＴｉの固溶が起こるため、
各素子におけるａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3
のモル分率（ａ、ｂ）は、調合モル比におけるＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ 3 の比と比べて若干ａが多
めになるが、ほぼ等しい。そして、上記実施例１と同様
に、番号１０〜１２の素子を組み込んだ温度センサを、
高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃まで、抵
抗値の温度特性を評価した。評価結果を図１１の表に示
す。
述のようにＹＴｉＯ3 のＹとＴｉの固溶が起こるため、
各素子におけるａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3
のモル分率（ａ、ｂ）は、調合モル比におけるＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ 3 の比と比べて若干ａが多
めになるが、ほぼ等しい。そして、上記実施例１と同様
に、番号１０〜１２の素子を組み込んだ温度センサを、
高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃まで、抵
抗値の温度特性を評価した。評価結果を図１１の表に示
す。
【００９３】図１１に示すように、本実施例４のワイド
レンジ型サーミスタ材料は、ａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3
・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦
ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において、上記実
施例１に記載と同等の効果を実現できる。 （実施例５）本実施例５は、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 から、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・
Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものである。なお、本実施
例の場合、混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 に
対してＹ2 Ｏ3 のＹおよびＴｉＯ2 のＴｉが固溶するた
め、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１としてＹ、Ｍ２と
してＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものとなる。
レンジ型サーミスタ材料は、ａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3
・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦
ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において、上記実
施例１に記載と同等の効果を実現できる。 （実施例５）本実施例５は、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 から、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・
Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものである。なお、本実施
例の場合、混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 に
対してＹ2 Ｏ3 のＹおよびＴｉＯ2 のＴｉが固溶するた
め、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１としてＹ、Ｍ２と
してＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものとなる。
【００９４】本実施例５のサーミスタ素子の製造工程を
図１２に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合
１から（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る迄の第１の調製
工程と、得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3
とＴｉＯ2 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を得
る迄の第２の調製工程とに分かれる。第１の調製工程
は、上記実施例２と同様であり、ここでは省略する。本
実施例のワイドレンジ型サーミスタ材料としては、上記
の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 （添
加物）を用いる。
図１２に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合
１から（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る迄の第１の調製
工程と、得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3
とＴｉＯ2 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を得
る迄の第２の調製工程とに分かれる。第１の調製工程
は、上記実施例２と同様であり、ここでは省略する。本
実施例のワイドレンジ型サーミスタ材料としては、上記
の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 （添
加物）を用いる。
【００９５】第２の調製工程では、まず、所望の抵抗値
と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＴｉＯ2 の調合モル比を、１２：８４：
４となるように（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 と
ＴｉＯ2 とを秤量し全量５００ｇとする。また、上記実
施例１と同様に、焼結助剤を添加する（調合２）。続い
て、調合された（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋
ＴｉＯ2 ＋ＳｉＯ 2 ＋ＣａＣＯ3 について、上記実施例
１と同様に混合、粉砕、造粒、乾燥、成形、焼成を行
い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を素子部とする
サーミスタ素子を得て、温度センサに組み込む。
と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＴｉＯ2 の調合モル比を、１２：８４：
４となるように（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 と
ＴｉＯ2 とを秤量し全量５００ｇとする。また、上記実
施例１と同様に、焼結助剤を添加する（調合２）。続い
て、調合された（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋
ＴｉＯ2 ＋ＳｉＯ 2 ＋ＣａＣＯ3 について、上記実施例
１と同様に混合、粉砕、造粒、乾燥、成形、焼成を行
い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を素子部とする
サーミスタ素子を得て、温度センサに組み込む。
【００９６】さらに、上記の第２の調製工程において、
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ 3 ：ＴｉＯ2 の調合
モル比を、３６：６１：３および４：９５．７：０．３
となるように秤量し、以下、同様の手順にてサーミスタ
素子を作製し、温度センサに組み込む。ここで、本実施
例５の各素子は、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ
2 Ｏ 3 ：ＴｉＯ2 の調合モル比が、１２：８４：４、３
６：６１：３、４：９５．７：０．３の順に、素子番号
１３、素子番号１４、素子番号１５とする。
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ 3 ：ＴｉＯ2 の調合
モル比を、３６：６１：３および４：９５．７：０．３
となるように秤量し、以下、同様の手順にてサーミスタ
素子を作製し、温度センサに組み込む。ここで、本実施
例５の各素子は、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ
2 Ｏ 3 ：ＴｉＯ2 の調合モル比が、１２：８４：４、３
６：６１：３、４：９５．７：０．３の順に、素子番号
１３、素子番号１４、素子番号１５とする。
【００９７】なお、上述したように、本実施例５では、
混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5）Ｏ4 に対してＹ2
Ｏ3 のＹおよびＴｉＯ2 のＴｉが固溶し、また、余分な
酸素原子は焼結時に大気中に遊離される。その結果、ペ
ロブスカイト型の（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）とＹ2 Ｏ
3 の混合焼結体であるａ（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・
ｂＹ2 Ｏ3 が得られる。
混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5）Ｏ4 に対してＹ2
Ｏ3 のＹおよびＴｉＯ2 のＴｉが固溶し、また、余分な
酸素原子は焼結時に大気中に遊離される。その結果、ペ
ロブスカイト型の（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）とＹ2 Ｏ
3 の混合焼結体であるａ（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・
ｂＹ2 Ｏ3 が得られる。
【００９８】そのため、本実施例５におけるａ（Ｙ（Ｃ
ｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率ａ：ｂの比
は、上記の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合
モル比と比べてａが若干多めになり、例えば、調合モル
比が、４：９５．７であっても、ａ≧０．０５、ｂ≦
０．９５となっている。このことは、混合焼結体の組成
および構造等におけるＳＥＭ、ＥＰＭＡ等の調査により
確認している。
ｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率ａ：ｂの比
は、上記の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合
モル比と比べてａが若干多めになり、例えば、調合モル
比が、４：９５．７であっても、ａ≧０．０５、ｂ≦
０．９５となっている。このことは、混合焼結体の組成
および構造等におけるＳＥＭ、ＥＰＭＡ等の調査により
確認している。
【００９９】そして、上記実施例１と同様に、番号１３
〜１５の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入
れ、室温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度
特性を評価した。評価結果を図１３の表に示す。図１３
に示すように、本実施例５のワイドレンジ型サーミスタ
材料は、ａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル
分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ
≦０．９５の範囲において、上記実施例１に記載と同等
の効果を実現できる。
〜１５の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入
れ、室温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度
特性を評価した。評価結果を図１３の表に示す。図１３
に示すように、本実施例５のワイドレンジ型サーミスタ
材料は、ａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル
分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ
≦０．９５の範囲において、上記実施例１に記載と同等
の効果を実現できる。
【０１００】（実施例６）本実施例６は、（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 から、Ｙ（ＣｒＭ
ｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものであ
る。なお、本実施例の場合、混合焼結時に、（Ｍｎ1.5
Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 に対してＹＴｉＯ3 のＹとＴｉが固溶す
るため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１としてＹ、Ｍ
２としてＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものとなる。
ｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 から、Ｙ（ＣｒＭ
ｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体を得るものであ
る。なお、本実施例の場合、混合焼結時に、（Ｍｎ1.5
Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 に対してＹＴｉＯ3 のＹとＴｉが固溶す
るため、（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１としてＹ、Ｍ
２としてＣｒ、ＭｎおよびＴｉを選択したものとなる。
【０１０１】本実施例６のサーミスタ素子の製造工程を
図１４に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合
１から（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る迄の第１の調製
工程と、得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3
とＹＴｉＯ3 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を
得る迄の第２の調製工程と、さらに、第２の調製工程に
供するＹＴｉＯ3 を得る第３の調製工程（図中の調合３
からＹＴｉＯ3 迄）に分かれる。
図１４に示す。この製造工程は、大きくは、図中の調合
１から（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る迄の第１の調製
工程と、得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3
とＹＴｉＯ3 とを調合（調合２）してサーミスタ素子を
得る迄の第２の調製工程と、さらに、第２の調製工程に
供するＹＴｉＯ3 を得る第３の調製工程（図中の調合３
からＹＴｉＯ3 迄）に分かれる。
【０１０２】第１の調製工程は上記実施例２と同様であ
り、第３の調製工程は上記実施例４と同様であり、ここ
では省略する。ワイドレンジ型サーミスタ材料として
は、第１の調製工程で得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 とＹ2 Ｏ3 と第３の調製工程で得られたＹＴｉＯ
3 （添加物）を用いる。第２の調製工程では、まず、所
望の抵抗値と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＹＴｉＯ3 の調合モル比を、
１３：８４：３となるように（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 とを秤量し全量５００ｇとす
る。また、上記実施例１と同様に、焼結助剤を添加する
（調合２）。
り、第３の調製工程は上記実施例４と同様であり、ここ
では省略する。ワイドレンジ型サーミスタ材料として
は、第１の調製工程で得られた（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 とＹ2 Ｏ3 と第３の調製工程で得られたＹＴｉＯ
3 （添加物）を用いる。第２の調製工程では、まず、所
望の抵抗値と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＹＴｉＯ3 の調合モル比を、
１３：８４：３となるように（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4
とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 とを秤量し全量５００ｇとす
る。また、上記実施例１と同様に、焼結助剤を添加する
（調合２）。
【０１０３】続いて、調合された（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）
Ｏ4 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＹＴｉＯ3 ＋ＳｉＯ2 ＋ＣａＣＯ3 に
ついて、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造粒、乾
燥、成形、焼成を行い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2
Ｏ3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度センサ
に組み込む。さらに、上記の第２の調製工程において、
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ 3 ：ＹＴｉＯ3 の調
合モル比を、３７：６１：２および４：９５．８：０．
２となるように秤量し、以下、同様の手順にてサーミス
タ素子を作製し、温度センサに組み込む。
Ｏ4 ＋Ｙ2 Ｏ3 ＋ＹＴｉＯ3 ＋ＳｉＯ2 ＋ＣａＣＯ3 に
ついて、上記実施例１と同様に混合、粉砕、造粒、乾
燥、成形、焼成を行い、Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・Ｙ2
Ｏ3 を素子部とするサーミスタ素子を得て、温度センサ
に組み込む。さらに、上記の第２の調製工程において、
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ 3 ：ＹＴｉＯ3 の調
合モル比を、３７：６１：２および４：９５．８：０．
２となるように秤量し、以下、同様の手順にてサーミス
タ素子を作製し、温度センサに組み込む。
【０１０４】ここで、本実施例６の各素子は、Ｙ（Ｃｒ
1.5 Ｍｎ1.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＹＴｉＯ3 のモル比
が、１３：８４：３、３７：６１：２、４：９５．８：
０．２の順に、素子番号１６、素子番号１７、素子番号
１８とする。なお、上述したように、本実施例６では、
混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5）Ｏ4 に対してＹ2
Ｏ3 のＹおよびＹＴｉＯ3 のＹ、Ｔｉが固溶し、また、
余分な酸素原子は焼結時に大気中に遊離される。その結
果、ペロブスカイト型の（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）と
Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体であるａ（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ
3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 が得られる。
1.5 Ｍｎ1.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＹＴｉＯ3 のモル比
が、１３：８４：３、３７：６１：２、４：９５．８：
０．２の順に、素子番号１６、素子番号１７、素子番号
１８とする。なお、上述したように、本実施例６では、
混合焼結時に、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5）Ｏ4 に対してＹ2
Ｏ3 のＹおよびＹＴｉＯ3 のＹ、Ｔｉが固溶し、また、
余分な酸素原子は焼結時に大気中に遊離される。その結
果、ペロブスカイト型の（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）と
Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体であるａ（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ
3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 が得られる。
【０１０５】そのため、本実施例６におけるａ（Ｙ（Ｃ
ｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率ａ：ｂの比
は、上記の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合
モル比と比べてａが若干多めになり、例えば、調合モル
比が、４：９５．８であっても、ａ≧０．０５、ｂ≦
０．９５となっている。このことは、混合焼結体の組成
および構造等におけるＳＥＭ、ＥＰＭＡ等の調査により
確認している。
ｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ）・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率ａ：ｂの比
は、上記の（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 の調合
モル比と比べてａが若干多めになり、例えば、調合モル
比が、４：９５．８であっても、ａ≧０．０５、ｂ≦
０．９５となっている。このことは、混合焼結体の組成
および構造等におけるＳＥＭ、ＥＰＭＡ等の調査により
確認している。
【０１０６】そして、上記実施例１と同様に、番号１６
〜１８の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入
れ、室温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度
特性を評価した。評価結果を図１５の表に示す。図１５
に示すように、本実施例６のワイドレンジ型サーミスタ
材料は、ａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル
分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ
≦０．９５の範囲において、上記実施例１に記載と同等
の効果を実現できる。
〜１８の素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入
れ、室温（２７℃）から１０００℃まで、抵抗値の温度
特性を評価した。評価結果を図１５の表に示す。図１５
に示すように、本実施例６のワイドレンジ型サーミスタ
材料は、ａＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル
分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ
≦０．９５の範囲において、上記実施例１に記載と同等
の効果を実現できる。
【０１０７】（比較例１）比較例１として、抵抗値を安
定化するＹ2 Ｏ3 を用いないで、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 を単独組成とするサーミスタ素子を用いる
温度センサについて説明する。上記実施例１と同じ製造
方法により、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。原料
として調製したＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を用いて、
温度センサとして評価した結果を図１６の表に示す。抵
抗値特性の評価方法は、実施例１と同様に行った。
定化するＹ2 Ｏ3 を用いないで、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 を単独組成とするサーミスタ素子を用いる
温度センサについて説明する。上記実施例１と同じ製造
方法により、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。原料
として調製したＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を用いて、
温度センサとして評価した結果を図１６の表に示す。抵
抗値特性の評価方法は、実施例１と同様に行った。
【０１０８】図１６から明らかなように、抵抗値を安定
化するＹ2 Ｏ3 を用いない場合には、１０００℃の高温
域での抵抗値が低すぎるため温度を検出できない。ま
た、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果からも。抵抗変
化率ΔＲが、±２０％を越え、安定した特性を持つワイ
ドレンジ型サーミスタ素子を提供することができない。
従って、本比較例１におけるＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 単独組成のサーミスタ素子は、本発明の目的とする温
度センサの素子としては使用できない。
化するＹ2 Ｏ3 を用いない場合には、１０００℃の高温
域での抵抗値が低すぎるため温度を検出できない。ま
た、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果からも。抵抗変
化率ΔＲが、±２０％を越え、安定した特性を持つワイ
ドレンジ型サーミスタ素子を提供することができない。
従って、本比較例１におけるＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 単独組成のサーミスタ素子は、本発明の目的とする温
度センサの素子としては使用できない。
【０１０９】（比較例２）比較例２として、抵抗値を安
定化するＹ2 Ｏ3 を用いないで、ＹＴｉＯ3 を単独組成
とするサ−ミスタ素子を用いる温度センサについて説明
する。上記実施例４と同じ製造方法により、ＹＴｉＯ3
を得る。原料として調製したＹＴｉＯ3 を用いて、温度
センサとして評価した結果を図１６の表に示す。抵抗値
特性の評価方法は、実施例１と同様に行なった。図１６
から明らかなように、ＹＴｉＯ3 単独組成のサーミスタ
素子では、室温（２７℃）の低温域での抵抗値が著しく
高く、１０００ｋΩより大となるため温度を検出できな
い。また、高温耐久試験の結果からも、抵抗変化率ΔＲ
が、±２０％を越え、安定した特性を持つワイドレンジ
型サーミスタ素子を提供することができない。
定化するＹ2 Ｏ3 を用いないで、ＹＴｉＯ3 を単独組成
とするサ−ミスタ素子を用いる温度センサについて説明
する。上記実施例４と同じ製造方法により、ＹＴｉＯ3
を得る。原料として調製したＹＴｉＯ3 を用いて、温度
センサとして評価した結果を図１６の表に示す。抵抗値
特性の評価方法は、実施例１と同様に行なった。図１６
から明らかなように、ＹＴｉＯ3 単独組成のサーミスタ
素子では、室温（２７℃）の低温域での抵抗値が著しく
高く、１０００ｋΩより大となるため温度を検出できな
い。また、高温耐久試験の結果からも、抵抗変化率ΔＲ
が、±２０％を越え、安定した特性を持つワイドレンジ
型サーミスタ素子を提供することができない。
【０１１０】従って、ＹＴｉＯ3 単独組成のサーミスタ
素子は、本発明の目的とする温度センサの素子としては
使用できない。 （実施例７）本実施例７では、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃ
ｒ、Ｍｎ）を得るための原料として、まず、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 を調製する。本実施例７のサーミス
タ素子の製造工程を図１７に示す。本実施例は上記第２
の実施形態に係る製造方法である。
素子は、本発明の目的とする温度センサの素子としては
使用できない。 （実施例７）本実施例７では、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃ
ｒ、Ｍｎ）を得るための原料として、まず、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 を調製する。本実施例７のサーミス
タ素子の製造工程を図１７に示す。本実施例は上記第２
の実施形態に係る製造方法である。
【０１１１】出発原料のＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2
Ｏ3 は、いずれも９９．９％の高純度な原料を用いる。
なお、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の平均粒径
は、それぞれ１．０μｍ、２．０〜４．０μｍ、７．０
〜１５．０μｍである。各原料の平均粒径は後述の実施
例８〜実施例２０、比較例１及び２においても同様のも
のとした。
Ｏ3 は、いずれも９９．９％の高純度な原料を用いる。
なお、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の平均粒径
は、それぞれ１．０μｍ、２．０〜４．０μｍ、７．０
〜１５．０μｍである。各原料の平均粒径は後述の実施
例８〜実施例２０、比較例１及び２においても同様のも
のとした。
【０１１２】第１の調製工程（図中、調合１からＹ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 迄）では、まず、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 は、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 と
をモル比（Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ）が２：１：１となるよう
に、Ｙ2 Ｏ3 を２６８．８ｇ、Ｃｒ2 Ｏ3 を１０１ｇ、
Ｍｎ2 Ｏ3 を１０４ｇ秤量する（調合１）。この秤量物
を混合するため、ボールミルとしてＡｌ2 Ｏ3 又はＺｒ
Ｏ2 製玉石φ１５を２．５ｋｇ、φ２０を２．５ｋｇを
入れた樹脂製ポット（容量５リットル）を用い、このポ
ットに入れ、純水１５００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍ
で４時間混合する（混合工程）。
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 迄）では、まず、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 は、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 と
をモル比（Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎ）が２：１：１となるよう
に、Ｙ2 Ｏ3 を２６８．８ｇ、Ｃｒ2 Ｏ3 を１０１ｇ、
Ｍｎ2 Ｏ3 を１０４ｇ秤量する（調合１）。この秤量物
を混合するため、ボールミルとしてＡｌ2 Ｏ3 又はＺｒ
Ｏ2 製玉石φ１５を２．５ｋｇ、φ２０を２．５ｋｇを
入れた樹脂製ポット（容量５リットル）を用い、このポ
ットに入れ、純水１５００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍ
で４時間混合する（混合工程）。
【０１１３】混合処理後に得たＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 と
Ｍｎ2 Ｏ3 の混合スラリーを磁器製蒸発皿に移し、熱風
乾燥機にて１００〜１５０℃で１２〜１７時間乾燥し、
Ｙ2Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合物を得る。Ｙ
2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2Ｏ3 の混合固形体をライカ
イ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ2 Ｏ 3
とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合物粉体を得る。
Ｍｎ2 Ｏ3 の混合スラリーを磁器製蒸発皿に移し、熱風
乾燥機にて１００〜１５０℃で１２〜１７時間乾燥し、
Ｙ2Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合物を得る。Ｙ
2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2Ｏ3 の混合固形体をライカ
イ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ2 Ｏ 3
とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合物粉体を得る。
【０１１４】仮焼成工程では、このＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ
3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合物粉体を、９９．３％Ａｌ2 Ｏ3
製ルツボに入れ、常圧雰囲気（空気中）で高温炉にて１
１００℃で２時間熱処理し、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 を得る。熱処理の塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 は、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシ
ュ篩いで通し、粉体とする。
3 とＭｎ2 Ｏ3 の混合物粉体を、９９．３％Ａｌ2 Ｏ3
製ルツボに入れ、常圧雰囲気（空気中）で高温炉にて１
１００℃で２時間熱処理し、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 を得る。熱処理の塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 は、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシ
ュ篩いで通し、粉体とする。
【０１１５】本サーミスタ材料は、上記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを用いる。第２の調製工程
（図中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗
温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 （平均粒径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ 3 （平均粒径１．０
μｍ）とを調合モル比（Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：
Ｙ2Ｏ3 ）が１００：２２となるようにＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 を１５６０ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を４４０ｇ秤量し
合計２０００ｇとする。
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とを用いる。第２の調製工程
（図中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗
温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 （平均粒径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ 3 （平均粒径１．０
μｍ）とを調合モル比（Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：
Ｙ2Ｏ3 ）が１００：２２となるようにＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 を１５６０ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を４４０ｇ秤量し
合計２０００ｇとする。
【０１１６】また、焼成時に１５００〜１６５０℃の範
囲で液相となるＳｉＯ2 、ＣａＣＯ 3 を焼結助剤として
用い、前記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 合計
２０００ｇに対して、ＳｉＯ2 は３重量％の６０ｇ、Ｃ
ａＣＯ3 は４．５重量％の９０ｇを添加する（調合
２）。従って、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3
とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合計した２１５０ｇを粉砕
原料とする。
囲で液相となるＳｉＯ2 、ＣａＣＯ 3 を焼結助剤として
用い、前記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 合計
２０００ｇに対して、ＳｉＯ2 は３重量％の６０ｇ、Ｃ
ａＣＯ3 は４．５重量％の９０ｇを添加する（調合
２）。従って、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3
とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合計した２１５０ｇを粉砕
原料とする。
【０１１７】次いで粉砕工程（図中、混合・粉砕）で
は、サーミスタ原料の微粒化を行うために、媒体攪拌ミ
ルとしてパールミル装置（アシザワ（株）製 ＲＶ１
Ｖ、有効容積：１．０リットル 実容量：０．５リット
ル）を使用する。このパールミル装置による操作条件
は、粉砕媒体としてジルコニア製ボール直径０．５ｍｍ
を３．０ｋｇ使用し攪拌槽体積の８０％をジルコニア製
ボールで充填する。
は、サーミスタ原料の微粒化を行うために、媒体攪拌ミ
ルとしてパールミル装置（アシザワ（株）製 ＲＶ１
Ｖ、有効容積：１．０リットル 実容量：０．５リット
ル）を使用する。このパールミル装置による操作条件
は、粉砕媒体としてジルコニア製ボール直径０．５ｍｍ
を３．０ｋｇ使用し攪拌槽体積の８０％をジルコニア製
ボールで充填する。
【０１１８】操作条件は、周速１２ｍ／ｓｅｃ、回転数
３１１０ｒｐｍとする。なお、粉砕原料２１５０ｇに対
して分散媒体に蒸留水を４．５リットル用い、同時にバ
インダーと離型剤と分散剤とを添加して１０時間の混合
・粉砕を行う。バインダーとしては、ポリビニルアルコ
ール（ＰＶＡ）を粉砕原料１００ｇ当り１ｇ添加する。
３１１０ｒｐｍとする。なお、粉砕原料２１５０ｇに対
して分散媒体に蒸留水を４．５リットル用い、同時にバ
インダーと離型剤と分散剤とを添加して１０時間の混合
・粉砕を行う。バインダーとしては、ポリビニルアルコ
ール（ＰＶＡ）を粉砕原料１００ｇ当り１ｇ添加する。
【０１１９】粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粉度計で評価した結果、平均粒径は０．４
μｍ（ミクロンメータ）であった。これは、混合前のＹ
2 Ｏ 3 の平均粒径１．０μｍよりも小さい。得られたサ
ーミスタ材料の原料スラリーは、スプレードライヤで乾
燥室入口温度２００℃、出口温度１２０℃の条件で造粒
・乾燥する。得られたサーミスタ材料の造粒粉は平均粒
径３０μｍの球状で、この造粒粉を用いてサーミスタ素
子の成形を行う。
ーをレーザ式粉度計で評価した結果、平均粒径は０．４
μｍ（ミクロンメータ）であった。これは、混合前のＹ
2 Ｏ 3 の平均粒径１．０μｍよりも小さい。得られたサ
ーミスタ材料の原料スラリーは、スプレードライヤで乾
燥室入口温度２００℃、出口温度１２０℃の条件で造粒
・乾燥する。得られたサーミスタ材料の造粒粉は平均粒
径３０μｍの球状で、この造粒粉を用いてサーミスタ素
子の成形を行う。
【０１２０】成形工程は金型成形法で行い、オス金型に
Ｐｔ１００（φ０．３×１０．５）をリード線として装
填し、φ１．７４のメス金型に造粒粉を入れ、圧力約１
０００ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形し、リード線が付与された
サーミスタ素子の成形体を得る。そして、焼成工程で
は、サーミスタ素子の成形体を、Ａｌ2 Ｏ3 製の波型セ
ッタに置き、１５００〜１６００℃で１〜２時間焼成
し、サーミスタ素子を得る。
Ｐｔ１００（φ０．３×１０．５）をリード線として装
填し、φ１．７４のメス金型に造粒粉を入れ、圧力約１
０００ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形し、リード線が付与された
サーミスタ素子の成形体を得る。そして、焼成工程で
は、サーミスタ素子の成形体を、Ａｌ2 Ｏ3 製の波型セ
ッタに置き、１５００〜１６００℃で１〜２時間焼成
し、サーミスタ素子を得る。
【０１２１】得られたサーミスタ素子及びこのサーミス
タ素子を組み込んだ温度センサは、図２〜図４に示すも
のと同一構造である。得られた温度センサを評価した結
果を、図１８に示す。なお、図１８中、Ｙ（ＣｒＭｎ）
Ｏ3 は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を表す。また、図
中、粉砕時の原料成分は、第２の調製工程の粉砕工程に
おける原料成分（本例では、Ｙ（Ｃｒ 0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 とＹ2 Ｏ3 ）を示し、粉砕後の平均粒径（μｍ）は、
第２の調製工程の粉砕後の原料スラリーの平均粒径（本
例では、上記０．４μｍ）を示す。以下、後述の実施例
８〜実施例１４においても同様である。
タ素子を組み込んだ温度センサは、図２〜図４に示すも
のと同一構造である。得られた温度センサを評価した結
果を、図１８に示す。なお、図１８中、Ｙ（ＣｒＭｎ）
Ｏ3 は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を表す。また、図
中、粉砕時の原料成分は、第２の調製工程の粉砕工程に
おける原料成分（本例では、Ｙ（Ｃｒ 0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 とＹ2 Ｏ3 ）を示し、粉砕後の平均粒径（μｍ）は、
第２の調製工程の粉砕後の原料スラリーの平均粒径（本
例では、上記０．４μｍ）を示す。以下、後述の実施例
８〜実施例１４においても同様である。
【０１２２】本実施例７による温度センサは、温度精度
として±１０℃が得られる。なお、上記第２実施形態に
て述べたように、温度精度の評価方法は、温度センサ１
００台の抵抗値−温度データから、３５０℃における抵
抗値の標準偏差σ（シグマ）を算出し、標準偏差σの６
倍の抵抗値のバラツキ幅（両側）とし、抵抗値バラツキ
幅を温度換算した値を半分にした値Ａとして、温度精度
±Ａ℃と表記して評価する。
として±１０℃が得られる。なお、上記第２実施形態に
て述べたように、温度精度の評価方法は、温度センサ１
００台の抵抗値−温度データから、３５０℃における抵
抗値の標準偏差σ（シグマ）を算出し、標準偏差σの６
倍の抵抗値のバラツキ幅（両側）とし、抵抗値バラツキ
幅を温度換算した値を半分にした値Ａとして、温度精度
±Ａ℃と表記して評価する。
【０１２３】（実施例８）本実施例８では、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体（Ｍ１＝
Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得るための原料として、ま
ず、Ｃｒの酸化物とＭｎの酸化物の混合物を１０００℃
以上で仮焼成により得られる（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1. 5 ）Ｏ4
を調製する。本実施例８のサーミスタ素子の製造工程を
図１９に示す。本実施例は上記第２の実施形態に係る製
造方法である。
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体（Ｍ１＝
Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得るための原料として、ま
ず、Ｃｒの酸化物とＭｎの酸化物の混合物を１０００℃
以上で仮焼成により得られる（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1. 5 ）Ｏ4
を調製する。本実施例８のサーミスタ素子の製造工程を
図１９に示す。本実施例は上記第２の実施形態に係る製
造方法である。
【０１２４】第１の調製工程（図中、調合１から（Ｍｎ
1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 迄）では、まず、Ｃｒ2 Ｏ3 とＭｎ
2 Ｏ3 とをモル比（Ｃｒ：Ｍｎ）が１：１となるよう
に、Ｃｒ2 Ｏ3 を１０１ｇ、Ｍｎ2 ０3 を１０４ｇ秤量
する（調合１）。これらＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 につい
て、上記実施例７と同様に、混合（６時間）、乾燥、粉
砕、熱処理を行い（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。熱
処理で塊状の固形となった（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 は、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通
し、粉体とする。
1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 迄）では、まず、Ｃｒ2 Ｏ3 とＭｎ
2 Ｏ3 とをモル比（Ｃｒ：Ｍｎ）が１：１となるよう
に、Ｃｒ2 Ｏ3 を１０１ｇ、Ｍｎ2 ０3 を１０４ｇ秤量
する（調合１）。これらＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 につい
て、上記実施例７と同様に、混合（６時間）、乾燥、粉
砕、熱処理を行い（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。熱
処理で塊状の固形となった（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 は、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通
し、粉体とする。
【０１２５】本サーミスタ材料は、上記（Ｍｎ1.5 Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とを用いる。第２の調製工程（図
中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度
係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 （平均粒
径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ3（平均粒径１．０μｍ）とを
モル比（（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ）のが１
００：２１６となるように（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を
６３０ｇ、Ｙ2 Ｏ3を１３７０ｇ秤量し合計２０００ｇ
を用意する。また、実施例７と同様に焼結助剤として、
ＳｉＯ2 を６０ｇ、ＣａＣＯ3 を９０ｇを添加する（調
合２）。
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とを用いる。第２の調製工程（図
中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度
係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 （平均粒
径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ3（平均粒径１．０μｍ）とを
モル比（（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ）のが１
００：２１６となるように（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を
６３０ｇ、Ｙ2 Ｏ3を１３７０ｇ秤量し合計２０００ｇ
を用意する。また、実施例７と同様に焼結助剤として、
ＳｉＯ2 を６０ｇ、ＣａＣＯ3 を９０ｇを添加する（調
合２）。
【０１２６】次いでサーミスタ材料の微粒化を行うため
に、実施例７と同様にパールミル装置を使用する。粉砕
処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度
計で評価した結果、平均粒径０．５μｍ（ミクロンメー
タ）であった。これは、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径
１．０μｍよりも小さい。原料スラリーは、スプレード
ライヤで造粒・乾燥し、サーミスタ材料の造粒粉を得
る。なお、パールミル装置による粉砕条件及びスプレー
ドライヤの乾燥条件は実施例７と同様である。
に、実施例７と同様にパールミル装置を使用する。粉砕
処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度
計で評価した結果、平均粒径０．５μｍ（ミクロンメー
タ）であった。これは、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径
１．０μｍよりも小さい。原料スラリーは、スプレード
ライヤで造粒・乾燥し、サーミスタ材料の造粒粉を得
る。なお、パールミル装置による粉砕条件及びスプレー
ドライヤの乾燥条件は実施例７と同様である。
【０１２７】成形は実施例７と同様に金型成形法で行い
サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ・アッシー
に組み込み、温度センサとする。評価結果を、図１８に
示す。本実施例８による温度センサは、温度精度±１０
℃が得られる。なお、温度精度の評価方法は、実施例７
と同様である。 （実施例９）本実施例９では、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とからＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ
3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍ
ｎ、Ｔｉ）を得るための原料として、まず、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を調製する。本実施例９のサーミス
タ素子の製造工程を図２０に示す。本実施例は上記第２
の実施形態に係る製造方法である。
サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ・アッシー
に組み込み、温度センサとする。評価結果を、図１８に
示す。本実施例８による温度センサは、温度精度±１０
℃が得られる。なお、温度精度の評価方法は、実施例７
と同様である。 （実施例９）本実施例９では、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とからＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ
3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍ
ｎ、Ｔｉ）を得るための原料として、まず、Ｙ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を調製する。本実施例９のサーミス
タ素子の製造工程を図２０に示す。本実施例は上記第２
の実施形態に係る製造方法である。
【０１２８】第１の調製工程では、実施例７に示す方法
と同様の方法にて、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得
る。本サーミスタ材料は、上記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを用いる。第２の調製工程
（図中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗
温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 （平均粒径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ 3 （平均粒径１．０
μｍ）とＴｉＯ2 とを、調合モル比（Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＴｉＯ2 ）が１００：２２：１
０となるようにＹ（Ｃｒ0.5Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を１５２０
ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を４００ｇ、ＴｉＯ2 を８０ｇ秤量し合計
２０００ｇとする。また、実施例７と同様に焼結助剤と
して、ＳｉＯ2 を６０ｇ、ＣａＣＯ3 を９０ｇを添加す
る（調合２）。
と同様の方法にて、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得
る。本サーミスタ材料は、上記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを用いる。第２の調製工程
（図中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗
温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 （平均粒径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ 3 （平均粒径１．０
μｍ）とＴｉＯ2 とを、調合モル比（Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＴｉＯ2 ）が１００：２２：１
０となるようにＹ（Ｃｒ0.5Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を１５２０
ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を４００ｇ、ＴｉＯ2 を８０ｇ秤量し合計
２０００ｇとする。また、実施例７と同様に焼結助剤と
して、ＳｉＯ2 を６０ｇ、ＣａＣＯ3 を９０ｇを添加す
る（調合２）。
【０１２９】従って、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合計した
２１５０ｇを粉砕原料とする。次いでサーミスタ原料の
微粒化を行うために、実施例７と同様にパールミル装置
を使用する。粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径０．４μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。これは、混合前のＹ2
Ｏ3 の平均粒径１．０μｍよりも小さい。
2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合計した
２１５０ｇを粉砕原料とする。次いでサーミスタ原料の
微粒化を行うために、実施例７と同様にパールミル装置
を使用する。粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径０．４μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。これは、混合前のＹ2
Ｏ3 の平均粒径１．０μｍよりも小さい。
【０１３０】得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、スプレードライヤで造粒、乾燥する。微粒化のため
の粉砕条件及びスプレードライヤの条件は実施例７と同
様である。成形は実施例７と同様に金型成形法で行いサ
ーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ・アッシーに
組み込み、温度センサとする。
は、スプレードライヤで造粒、乾燥する。微粒化のため
の粉砕条件及びスプレードライヤの条件は実施例７と同
様である。成形は実施例７と同様に金型成形法で行いサ
ーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ・アッシーに
組み込み、温度センサとする。
【０１３１】得られた温度センサを評価した結果を、図
１８に示す。本実施例９による温度センサは、温度精度
として±８℃が得られる。なお、温度精度の評価方法は
実施例７と同様である。 （実施例１０）本実施例１０では、Ｙ（Ｍｎ1.5 Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とからＹ（ＣｒＭｎＴ
ｉ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃ
ｒ、Ｍｎ、Ｔｉ）を得るための原料として、まず、Ｃｒ
の酸化物とＭｎの酸化物の混合物を１０００℃以上で仮
焼成により得られる（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を調製す
る。本実施例１０のサーミスタ素子の製造工程を図２１
に示す。本実施例は上記第２の実施形態に係る製造方法
である。
１８に示す。本実施例９による温度センサは、温度精度
として±８℃が得られる。なお、温度精度の評価方法は
実施例７と同様である。 （実施例１０）本実施例１０では、Ｙ（Ｍｎ1.5 Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とからＹ（ＣｒＭｎＴ
ｉ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃ
ｒ、Ｍｎ、Ｔｉ）を得るための原料として、まず、Ｃｒ
の酸化物とＭｎの酸化物の混合物を１０００℃以上で仮
焼成により得られる（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を調製す
る。本実施例１０のサーミスタ素子の製造工程を図２１
に示す。本実施例は上記第２の実施形態に係る製造方法
である。
【０１３２】第１の調製工程では、実施例８に示す方法
と同様の方法にて、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ 1.5 ）Ｏ4 を得る。
本サーミスタ材料は、上記（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 と
Ｙ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを用いる。第２の調製工程（図
中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度
係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 （平均粒
径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ3（平均粒径１．０μｍ）とＴ
ｉＯ2 とを、モル比（（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2
Ｏ3 ：ＴｉＯ2 ）が３０：７０：１０となるように、
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を５７８ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を１３
５５ｇ、ＴｉＯ2 を６７ｇ秤量し合計２０００ｇを用意
する。また、実施例７と同様に焼結助剤として、ＳｉＯ
2 を６０ｇ、ＣａＣＯ3 を９０ｇを添加する（調合
２）。
と同様の方法にて、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ 1.5 ）Ｏ4 を得る。
本サーミスタ材料は、上記（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 と
Ｙ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とを用いる。第２の調製工程（図
中、調合２以降）では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度
係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 （平均粒
径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ3（平均粒径１．０μｍ）とＴ
ｉＯ2 とを、モル比（（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 ：Ｙ2
Ｏ3 ：ＴｉＯ2 ）が３０：７０：１０となるように、
（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を５７８ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を１３
５５ｇ、ＴｉＯ2 を６７ｇ秤量し合計２０００ｇを用意
する。また、実施例７と同様に焼結助剤として、ＳｉＯ
2 を６０ｇ、ＣａＣＯ3 を９０ｇを添加する（調合
２）。
【０１３３】次いでサーミスタ材料の微粒化を行うため
に、媒体攪拌ミルとしてパールミル装置を使用する。粉
砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒
度計で評価した結果、平均粒径０．５μｍ（ミクロンメ
ータ）であった。これは、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径
１．０μｍよりも小さい。得られるサーミスタ材料の原
料スラリーは、スプレードライヤで造粒・乾燥する。微
粒化のための粉砕条件及びスプレードライヤの条件は実
施例７と同様である。
に、媒体攪拌ミルとしてパールミル装置を使用する。粉
砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒
度計で評価した結果、平均粒径０．５μｍ（ミクロンメ
ータ）であった。これは、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径
１．０μｍよりも小さい。得られるサーミスタ材料の原
料スラリーは、スプレードライヤで造粒・乾燥する。微
粒化のための粉砕条件及びスプレードライヤの条件は実
施例７と同様である。
【０１３４】成形は、実施例７と同様に金型成形法で行
いサーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ・アッシ
ーに組み込み、温度センサとする。得られた温度センサ
を評価した結果を、図１８に示す。本発明による温度セ
ンサは、温度精度として±８℃が得られる。なお、温度
精度の評価方法は、実施例７と同様である。
いサーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ・アッシ
ーに組み込み、温度センサとする。得られた温度センサ
を評価した結果を、図１８に示す。本発明による温度セ
ンサは、温度精度として±８℃が得られる。なお、温度
精度の評価方法は、実施例７と同様である。
【０１３５】（実施例１１）本実施例１１のサーミスタ
素子の製造工程を図２２に示す。ちなみに、実施例１１
〜実施例１４は、第２の調製工程における混合・粉砕
（粉砕工程）を媒体攪拌ミルで行う実施例７〜実施例１
０との比較のために、この混合・粉砕を、従来法である
ボールミルで行ったものである。
素子の製造工程を図２２に示す。ちなみに、実施例１１
〜実施例１４は、第２の調製工程における混合・粉砕
（粉砕工程）を媒体攪拌ミルで行う実施例７〜実施例１
０との比較のために、この混合・粉砕を、従来法である
ボールミルで行ったものである。
【０１３６】本実施例１１は、実施例７の第２の調製工
程において、粉砕工程に従来法であるボールミルを用い
る。第１の調製工程では、上記実施例７の第１の調製工
程と同様にしてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。第
２の調製工程では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度係数
となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 （平均粒径
２〜５μｍ）を３９０ｇ、Ｙ2 Ｏ3 （平均粒径１．０μ
ｍ）を１１０ｇ秤量し合計５００ｇとする。また、Ｓｉ
Ｏ2 、ＣａＣＯ3 を焼結助剤として用い、ＳｉＯ2 は１
５ｇ、ＣａＣＯ3 は２３ｇを添加する（調合２）。従っ
て、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＳｉＯ2
とＣａＣＯ3 とを合計した５３８ｇを混合・粉砕原料と
する。
程において、粉砕工程に従来法であるボールミルを用い
る。第１の調製工程では、上記実施例７の第１の調製工
程と同様にしてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。第
２の調製工程では、まず、所望の抵抗値と抵抗温度係数
となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 （平均粒径
２〜５μｍ）を３９０ｇ、Ｙ2 Ｏ3 （平均粒径１．０μ
ｍ）を１１０ｇ秤量し合計５００ｇとする。また、Ｓｉ
Ｏ2 、ＣａＣＯ3 を焼結助剤として用い、ＳｉＯ2 は１
５ｇ、ＣａＣＯ3 は２３ｇを添加する（調合２）。従っ
て、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 とＳｉＯ2
とＣａＣＯ3 とを合計した５３８ｇを混合・粉砕原料と
する。
【０１３７】混合・粉砕のボールミルの操作条件として
は、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５ｋｇ、φ２０を
２．５ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量５リットル）の
中にサーミスタ原料を入れ、純水１８００ｃｃを加えた
後、６０ｒｐｍで６時間混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径３．０μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2 Ｏ3の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。
は、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５ｋｇ、φ２０を
２．５ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量５リットル）の
中にサーミスタ原料を入れ、純水１８００ｃｃを加えた
後、６０ｒｐｍで６時間混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径３．０μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2 Ｏ3の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。
【０１３８】得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。得られた温
度センサを評価した結果を、図１８に示す。本実施例１
１による温度センサの温度精度は、±３０℃である。な
お、温度精度の評価方法は実施例７と同様である。
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。得られた温
度センサを評価した結果を、図１８に示す。本実施例１
１による温度センサの温度精度は、±３０℃である。な
お、温度精度の評価方法は実施例７と同様である。
【０１３９】なお、本実施例１１において、温度センサ
に組み込んだサーミスタ素子は、本発明の目的である良
好な抵抗値の温度特性を示す。すなわち、室温（２７
℃）から１０００℃までにおいて、低抵抗値（５０Ω〜
１００ｋΩ）、良好な抵抗温度係数β（２０００〜４０
００（°Ｋ））、小さい抵抗変化率（±１０％以下）を
示す。
に組み込んだサーミスタ素子は、本発明の目的である良
好な抵抗値の温度特性を示す。すなわち、室温（２７
℃）から１０００℃までにおいて、低抵抗値（５０Ω〜
１００ｋΩ）、良好な抵抗温度係数β（２０００〜４０
００（°Ｋ））、小さい抵抗変化率（±１０％以下）を
示す。
【０１４０】（実施例１２）実施例１２は、実施例８に
おいて、第２の調製工程における粉砕工程（混合・粉
砕）に、従来法であるボールミルを用いるものである。
Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体を得るた
めの原料として、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3
とを用いる。第１の調製工程では、実施例８の第１の調
製工程と同様にして（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。
おいて、第２の調製工程における粉砕工程（混合・粉
砕）に、従来法であるボールミルを用いるものである。
Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体を得るた
めの原料として、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3
とを用いる。第１の調製工程では、実施例８の第１の調
製工程と同様にして（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。
【０１４１】第２の調製工程では、まず、所望の抵抗値
と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 （平均粒径２〜５μｍ）を１５８ｇ、Ｙ2 Ｏ3 （平均
粒径１．０μｍ）を３４２ｇ秤量し合計５００ｇを用意
する。また、ＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 を焼結助剤として用
い、ＳｉＯ2 は１５ｇ、ＣａＣＯ3 は２３ｇを添加する
（調合２）。従って、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2
Ｏ3 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合計した５３８ｇを粉
砕原料とする。
と抵抗温度係数となるように、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 （平均粒径２〜５μｍ）を１５８ｇ、Ｙ2 Ｏ3 （平均
粒径１．０μｍ）を３４２ｇ秤量し合計５００ｇを用意
する。また、ＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 を焼結助剤として用
い、ＳｉＯ2 は１５ｇ、ＣａＣＯ3 は２３ｇを添加する
（調合２）。従って、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2
Ｏ3 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合計した５３８ｇを粉
砕原料とする。
【０１４２】混合・粉砕のボールミルの操作条件として
は、実施例１１と同様に混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径２．７μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2Ｏ3 の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。
は、実施例１１と同様に混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径２．７μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2Ｏ3 の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。
【０１４３】得られた温度センサを評価した結果を、図
１８に示す。本実施例１２による温度センサの温度精度
は、±３０℃である。なお、温度精度の評価方法は実施
例７と同様である。なお、本実施例１２においても、温
度センサに組み込んだサーミスタ素子は、実施例１１同
様、本発明の目的である良好な抵抗値の温度特性を示
す。
１８に示す。本実施例１２による温度センサの温度精度
は、±３０℃である。なお、温度精度の評価方法は実施
例７と同様である。なお、本実施例１２においても、温
度センサに組み込んだサーミスタ素子は、実施例１１同
様、本発明の目的である良好な抵抗値の温度特性を示
す。
【０１４４】（実施例１３）本実施例１３は、実施例９
の第２の調製工程において、粉砕工程（混合・粉砕）
に、従来法であるボールミルを用いるものである。Ｙ
（ＣｒＭｎ）Ｏ3 とＹ2Ｏ3 との混合焼成結体を得るた
めの原料として、Ｙ（Ｃｒ・Ｍｎ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ 3 とＴ
ｉＯ2 とを用いる。第１の調製工程では、上記実施例７
の第１の調製工程と同様にしてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 を得る。
の第２の調製工程において、粉砕工程（混合・粉砕）
に、従来法であるボールミルを用いるものである。Ｙ
（ＣｒＭｎ）Ｏ3 とＹ2Ｏ3 との混合焼成結体を得るた
めの原料として、Ｙ（Ｃｒ・Ｍｎ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ 3 とＴ
ｉＯ2 とを用いる。第１の調製工程では、上記実施例７
の第１の調製工程と同様にしてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 を得る。
【０１４５】第２の調製工程では、まず、所望の抵抗値
と抵抗温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 （平均粒径２〜５μｍ）を３８０ｇ、Ｙ2 Ｏ3 （平
均粒径１．０μｍ）を１００ｇ、ＴｉＯ3 を２０ｇ秤量
し合計５００ｇとする。また、ＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 を
焼結助剤として用い、ＳｉＯ2 は１５ｇ、ＣａＣＯ3は
２３ｇを添加する（調合２）。従って、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ 3 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合
計した５３８ｇを粉砕原料とする。
と抵抗温度係数となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 （平均粒径２〜５μｍ）を３８０ｇ、Ｙ2 Ｏ3 （平
均粒径１．０μｍ）を１００ｇ、ＴｉＯ3 を２０ｇ秤量
し合計５００ｇとする。また、ＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 を
焼結助剤として用い、ＳｉＯ2 は１５ｇ、ＣａＣＯ3は
２３ｇを添加する（調合２）。従って、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ 3 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 とを合
計した５３８ｇを粉砕原料とする。
【０１４６】混合・粉砕のボールミルの操作条件として
は、実施例１１と同様に混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径３．０μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2Ｏ3 の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。
は、実施例１１と同様に混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径３．０μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2Ｏ3 の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。
【０１４７】得られた温度センサを評価した結果を、図
１８に示す。本実施例１３による温度センサの温度精度
は、±２５℃である。なお、温度精度の評価方法は実施
例７と同様である。なお、本実施例１３においても、温
度センサに組み込んだサーミスタ素子は、実施例１１同
様、本発明の目的である良好な抵抗値の温度特性を示
す。
１８に示す。本実施例１３による温度センサの温度精度
は、±２５℃である。なお、温度精度の評価方法は実施
例７と同様である。なお、本実施例１３においても、温
度センサに組み込んだサーミスタ素子は、実施例１１同
様、本発明の目的である良好な抵抗値の温度特性を示
す。
【０１４８】（実施例１４）実施例１４は、上記実施例
１０の第２の調製工程において、粉砕工程（混合・粉
砕）に、従来法であるボールミルを用いるものである。
Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ 3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体を得
るための原料として、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ 4 とＹ2
Ｏ3 とＴｉＯ2 とを用いる。第１の調製工程では、実施
例８の第１の調製工程と同様にして（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。
１０の第２の調製工程において、粉砕工程（混合・粉
砕）に、従来法であるボールミルを用いるものである。
Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ 3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体を得
るための原料として、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ 4 とＹ2
Ｏ3 とＴｉＯ2 とを用いる。第１の調製工程では、実施
例８の第１の調製工程と同様にして（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 を得る。
【０１４９】第２の調製工程では、所望の抵抗値と抵抗
温度係数となるように、（Ｍｎ1.5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 （平
均粒径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ3 （平均粒径１．０μｍ）
とＴｉＯ2 とを、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を１４５
ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を３３８ｇ、ＴｉＯ2 を１７ｇ秤量し合計
５００ｇを用意する。また、ＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 を焼
結助剤として用い、ＳｉＯ2 は１５ｇ、ＣａＣＯ3 は２
３ｇを添加する（調合２）。従って、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ
3 とを合計した５３８ｇを粉砕原料とする。
温度係数となるように、（Ｍｎ1.5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 （平
均粒径２〜５μｍ）とＹ2 Ｏ3 （平均粒径１．０μｍ）
とＴｉＯ2 とを、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 を１４５
ｇ、Ｙ2 Ｏ3 を３３８ｇ、ＴｉＯ2 を１７ｇ秤量し合計
５００ｇを用意する。また、ＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 を焼
結助剤として用い、ＳｉＯ2 は１５ｇ、ＣａＣＯ3 は２
３ｇを添加する（調合２）。従って、（Ｍｎ1.5 Ｃｒ
1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 とＳｉＯ2 とＣａＣＯ
3 とを合計した５３８ｇを粉砕原料とする。
【０１５０】混合・粉砕のボールミルの操作条件として
は、実施例１１と同様に混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径３．０μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2Ｏ3 の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。
は、実施例１１と同様に混合・粉砕する。粉砕処理した
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径３．０μｍ（ミクロンメータ）であ
った。これは、混合前のＹ2Ｏ3 の平均粒径１．０μｍ
よりも大きい。得られるサーミスタ材料の原料スラリー
は、実施例７と同様にスプレードライヤで造粒・乾燥す
る。得られたサーミスタ材料の造粒粉を用いてサーミス
タ素子の成形を行う。成形は実施例７と同様に金型成形
法で行い、サーミスタ素子を得て、一般的な温度センサ
・アッシーに組み込み、温度センサとする。
【０１５１】得られた温度センサを評価した結果を、図
１８に示す。本実施例１４による温度センサの温度精度
は、±２５℃である。なお、温度精度の評価方法は実施
例７と同様である。なお、本実施例１４においても、温
度センサに組み込んだサーミスタ素子は、実施例１１同
様、本発明の目的である良好な抵抗値の温度特性を示
す。
１８に示す。本実施例１４による温度センサの温度精度
は、±２５℃である。なお、温度精度の評価方法は実施
例７と同様である。なお、本実施例１４においても、温
度センサに組み込んだサーミスタ素子は、実施例１１同
様、本発明の目的である良好な抵抗値の温度特性を示
す。
【０１５２】以上のごとく、実施例７〜実施例１４を比
較すると、いずれのサーミスタ素子も、本発明の目的で
ある良好な抵抗値の温度特性を示すが、センサの温度精
度においては、実施例７〜実施例１０記載の製造方法
が、実施例１１〜実施例１４の製造方法よりも優れてい
るといえる。つまり、実施例７〜実施例１０記載の製造
方法では、上記第１実施形態に記載の効果を達成しつ
つ、サーミスタ材料の微粒化により組成の均一混合をは
かり、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の組成変
動を低減することで、抵抗値のバラツキを低減できる。
較すると、いずれのサーミスタ素子も、本発明の目的で
ある良好な抵抗値の温度特性を示すが、センサの温度精
度においては、実施例７〜実施例１０記載の製造方法
が、実施例１１〜実施例１４の製造方法よりも優れてい
るといえる。つまり、実施例７〜実施例１０記載の製造
方法では、上記第１実施形態に記載の効果を達成しつ
つ、サーミスタ材料の微粒化により組成の均一混合をは
かり、混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の組成変
動を低減することで、抵抗値のバラツキを低減できる。
【０１５３】従って、本発明のサーミスタ素子を、第２
実施形態に係る製造方法（実施例７〜１０）により生成
した場合は、従来のボールミルを用いた製造方法（実施
例１１〜１４、温度精度±２０〜３０℃）に比べて、室
温〜１０００℃において温度精度が±１０℃以下に向上
し、温度センサの高精度化が可能となるサーミスタ素子
を提供できる。
実施形態に係る製造方法（実施例７〜１０）により生成
した場合は、従来のボールミルを用いた製造方法（実施
例１１〜１４、温度精度±２０〜３０℃）に比べて、室
温〜１０００℃において温度精度が±１０℃以下に向上
し、温度センサの高精度化が可能となるサーミスタ素子
を提供できる。
【０１５４】（実施例１５）本実施例１５では、Ｙ2 Ｏ
3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、Ｙ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ
１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１５のサ
ーミスタ素子の製造工程を図２３に示す。本実施例は、
上記第３実施形態にて述べた第１の製造方法に係るもの
である。すなわち、第１の調製工程（図中、調合１から
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ 2 Ｏ3 ）において上述
の前駆体を得るものであり、また、第１の調製工程の混
合工程、及び第２の調製工程（図中、調合２以降）の粉
砕工程において媒体攪拌ミルを用いる。
3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、Ｙ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ
１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１５のサ
ーミスタ素子の製造工程を図２３に示す。本実施例は、
上記第３実施形態にて述べた第１の製造方法に係るもの
である。すなわち、第１の調製工程（図中、調合１から
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ 2 Ｏ3 ）において上述
の前駆体を得るものであり、また、第１の調製工程の混
合工程、及び第２の調製工程（図中、調合２以降）の粉
砕工程において媒体攪拌ミルを用いる。
【０１５５】いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3
とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意する。調
合１では、サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温
度係数となるように、これら各成分を調合する。具体的
には、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａ
とｂ（モル分率）が、ａ：ｂ＝３８：６２となるように
Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を秤量して全量２０
００ｇとする。さらにＣａＣＯ3 を３６ｇ添加し、Ｙ2
Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 のとＣａＣＯ3 を合計し
た２０３６ｇを混合原料とする（調合１）。
とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意する。調
合１では、サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温
度係数となるように、これら各成分を調合する。具体的
には、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａ
とｂ（モル分率）が、ａ：ｂ＝３８：６２となるように
Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を秤量して全量２０
００ｇとする。さらにＣａＣＯ3 を３６ｇ添加し、Ｙ2
Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 のとＣａＣＯ3 を合計し
た２０３６ｇを混合原料とする（調合１）。
【０１５６】次いで、混合工程では、原料を微粒化する
ために媒体攪拌ミルを用いる。本案の媒体攪拌ミルは、
パールミル装置（アシザワ（株） ＲＶ１Ｖ、有効容
量：１．０リットル、実容量：０．５リットル）を用い
る。前記パールミル装置による混合条件は、粉砕媒体と
してジルコニア製ボール直径０．５ｍｍを３．０Ｋｇ使
用し、攪拌槽体積の８０％をジルコニア製ボールで充填
する。
ために媒体攪拌ミルを用いる。本案の媒体攪拌ミルは、
パールミル装置（アシザワ（株） ＲＶ１Ｖ、有効容
量：１．０リットル、実容量：０．５リットル）を用い
る。前記パールミル装置による混合条件は、粉砕媒体と
してジルコニア製ボール直径０．５ｍｍを３．０Ｋｇ使
用し、攪拌槽体積の８０％をジルコニア製ボールで充填
する。
【０１５７】操作条件は、周速１２ｍ／ｓｅｃ、回転数
３１１０ｒｐｍで行う。なお、混合原料２０３６ｇに対
して分散媒に蒸留水を４．５リットル用い、同時に分散
剤とバインダーを添加して１０時間の混合、粉砕を行
う。バインダーとしては、ポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）を混合原料２０３６ｇ当り２０ｇ添加する。上記混
合工程にて、混合・粉砕処理したサーミスタ材料の原料
スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は
０．４μｍ（ミクロンメータ）であった。これは混合前
のＹ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも小さく且つ
０．５μｍより小さい。
３１１０ｒｐｍで行う。なお、混合原料２０３６ｇに対
して分散媒に蒸留水を４．５リットル用い、同時に分散
剤とバインダーを添加して１０時間の混合、粉砕を行
う。バインダーとしては、ポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）を混合原料２０３６ｇ当り２０ｇ添加する。上記混
合工程にて、混合・粉砕処理したサーミスタ材料の原料
スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は
０．４μｍ（ミクロンメータ）であった。これは混合前
のＹ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも小さく且つ
０．５μｍより小さい。
【０１５８】得られた原料スラリーは、スプレードライ
ヤで乾燥室入口温度２００℃、出口温度１２０℃の条件
で乾燥する。得られたサーミスタ原料粒は平均粒径３０
μｍの球状で、この原料粉を９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製ル
ツボに入れ、高温炉で大気中にて１１００〜１３００℃
で１〜２時間仮焼成し、前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を得る（仮焼成工程）。
ヤで乾燥室入口温度２００℃、出口温度１２０℃の条件
で乾燥する。得られたサーミスタ原料粒は平均粒径３０
μｍの球状で、この原料粉を９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製ル
ツボに入れ、高温炉で大気中にて１１００〜１３００℃
で１〜２時間仮焼成し、前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を得る（仮焼成工程）。
【０１５９】仮焼成で塊状の固形となった前駆体Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 をライカイ機で粗粉砕
し、＃３０メッシュ篩いで通し、前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0. 5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の粉体を得る。次いで、調合２
において、上記前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ
2 Ｏ3の粉体を２０００ｇ用意する。
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 をライカイ機で粗粉砕
し、＃３０メッシュ篩いで通し、前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0. 5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の粉体を得る。次いで、調合２
において、上記前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ
2 Ｏ3の粉体を２０００ｇ用意する。
【０１６０】粉砕工程では上記混合工程と同様にパール
ミル装置を使用する。そして、調合２で用意された前駆
体に、分散剤、バインダー、離型剤を添加し、混合・粉
砕して微粒化する。このパールミル装置による粉砕条件
は、上記混合工程の条件と同じである。粉砕処理をした
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径は０．３μｍ（ミクロンメータ）で
あった。これは、調合１にて調合する前のＹ2 Ｏ3 の平
均粒径１．０μｍよりも小さい。
ミル装置を使用する。そして、調合２で用意された前駆
体に、分散剤、バインダー、離型剤を添加し、混合・粉
砕して微粒化する。このパールミル装置による粉砕条件
は、上記混合工程の条件と同じである。粉砕処理をした
サーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価
した結果、平均粒径は０．３μｍ（ミクロンメータ）で
あった。これは、調合１にて調合する前のＹ2 Ｏ3 の平
均粒径１．０μｍよりも小さい。
【０１６１】粉砕後に得た前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 のスラリーは、上記乾燥工程の
条件同様に、スプレードライヤで造粒し、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の造粒粉を得る。このＹ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の造粒粉を用いてサー
ミスタ素子の成形を行う。成形工程は金型成形法で行
い、オス金型にＰｔ１００（φ０．３ｍｍ×１０．５ｍ
ｍ）をリード線として装填し、外径φ１．８９ｍｍのメ
ス金型にＹ（Ｃｒ0. 5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の造粒
粉を入れ、圧力約１０００Ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形し、リ
ード線が付与されたサーミスタ素子の成形体を得る。
ｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 のスラリーは、上記乾燥工程の
条件同様に、スプレードライヤで造粒し、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の造粒粉を得る。このＹ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の造粒粉を用いてサー
ミスタ素子の成形を行う。成形工程は金型成形法で行
い、オス金型にＰｔ１００（φ０．３ｍｍ×１０．５ｍ
ｍ）をリード線として装填し、外径φ１．８９ｍｍのメ
ス金型にＹ（Ｃｒ0. 5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の造粒
粉を入れ、圧力約１０００Ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形し、リ
ード線が付与されたサーミスタ素子の成形体を得る。
【０１６２】サーミスタ素子の成形体は、Ａｌ2 Ｏ3 製
波型セッタに並べ、大気中１４００〜１６００℃で１〜
２時間焼成し、外径φ１．６０ｍｍサーミスタ素子（混
合焼結体）を得る。このサーミスタ素子を温度センサア
ッシーに組み込み、温度センサとする。これらサーミス
タ素子及び温度センサの構造は、図２ないし図４のもの
と同構造である。
波型セッタに並べ、大気中１４００〜１６００℃で１〜
２時間焼成し、外径φ１．６０ｍｍサーミスタ素子（混
合焼結体）を得る。このサーミスタ素子を温度センサア
ッシーに組み込み、温度センサとする。これらサーミス
タ素子及び温度センサの構造は、図２ないし図４のもの
と同構造である。
【０１６３】上記の温度センサを、上記実施例１と同様
に、高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃ま
で、抵抗値温度特性を評価する。評価結果を図２４に示
す。また、得られた温度センサの温度精度を、上記実施
例７と同様に評価した結果を、図２５に示す。なお、図
２５において、図中、粉砕時の原料成分は、第２の調製
工程の粉砕工程における原料成分（本例では、前駆体Ｙ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3）を示し、混合後
の平均粒径（μｍ）は、第１の調製工程の混合工程にお
ける粉砕後の原料スラリーの平均粒径（本例では、上記
０．４μｍ）を示し、粉砕後の平均粒径（μｍ）は、第
２の調製工程の粉砕工程における粉砕後の原料スラリー
の平均粒径（本例では、上記０．３μｍ）を示す。以
下、後述の実施例１６〜実施例２０及び比較例３で評価
した比較例１及び２においても同様である。
に、高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃ま
で、抵抗値温度特性を評価する。評価結果を図２４に示
す。また、得られた温度センサの温度精度を、上記実施
例７と同様に評価した結果を、図２５に示す。なお、図
２５において、図中、粉砕時の原料成分は、第２の調製
工程の粉砕工程における原料成分（本例では、前駆体Ｙ
（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3）を示し、混合後
の平均粒径（μｍ）は、第１の調製工程の混合工程にお
ける粉砕後の原料スラリーの平均粒径（本例では、上記
０．４μｍ）を示し、粉砕後の平均粒径（μｍ）は、第
２の調製工程の粉砕工程における粉砕後の原料スラリー
の平均粒径（本例では、上記０．３μｍ）を示す。以
下、後述の実施例１６〜実施例２０及び比較例３で評価
した比較例１及び２においても同様である。
【０１６４】本実施例１５による温度センサは、温度精
度として±７℃が得られる。さらに、調合１で、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）
が、９５：５及び５：９５となるように調製したサーミ
スタ原料で、同様にサーミスタ素子を製作を実施し、温
度センサとして評価した結果（抵抗値温度特性）を図２
４を示す。ここで、本実施例１５において、上記モル比
ａ：ｂが、３８：６２、９５：５、５：９５の順に、素
子番号１９、素子番号２０、素子番号２１とし、図２４
に記す。
度として±７℃が得られる。さらに、調合１で、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）
が、９５：５及び５：９５となるように調製したサーミ
スタ原料で、同様にサーミスタ素子を製作を実施し、温
度センサとして評価した結果（抵抗値温度特性）を図２
４を示す。ここで、本実施例１５において、上記モル比
ａ：ｂが、３８：６２、９５：５、５：９５の順に、素
子番号１９、素子番号２０、素子番号２１とし、図２４
に記す。
【０１６５】図２４に示すごとく、本実施例１５のサー
ミスタ素子は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2
Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．
０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において温度センサとして
必要な５０Ω〜１００ｋΩの抵抵抗値であり、抵抗温度
係数βについても、２０００〜４０００（Ｋ）を示し、
それ故、室温から１０００℃の高温域にわたって温度を
検知できる。
ミスタ素子は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2
Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．
０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において温度センサとして
必要な５０Ω〜１００ｋΩの抵抵抗値であり、抵抗温度
係数βについても、２０００〜４０００（Ｋ）を示し、
それ故、室温から１０００℃の高温域にわたって温度を
検知できる。
【０１６６】また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１６）本実施例１６は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 から、Ｙ（Ｃｒ0.5Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼成結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃ
ｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１６のサーミスタ素子の製
造工程を図２６に示す。
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１６）本実施例１６は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 から、Ｙ（Ｃｒ0.5Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼成結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃ
ｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１６のサーミスタ素子の製
造工程を図２６に示す。
【０１６７】本実施例は、上記第３実施形態にて述べた
第２の製造方法に係るものである。すなわち、第１の調
製工程（図中、調合１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ）においてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得るもの
であり、また、第１の調製工程の混合工程、及び第２の
調製工程（図中、調合２以降）の粉砕工程において媒体
攪拌ミルを用いる。
第２の製造方法に係るものである。すなわち、第１の調
製工程（図中、調合１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ）においてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得るもの
であり、また、第１の調製工程の混合工程、及び第２の
調製工程（図中、調合２以降）の粉砕工程において媒体
攪拌ミルを用いる。
【０１６８】いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3
とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意する。調
合１では、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が、２：１：１とな
るようにＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を秤量して
全量６４４ｇとし、さらにＣａＣＯ3 を３６ｇ添加し、
Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 とを合
計した６８０ｇを混合原料とする。
とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意する。調
合１では、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が、２：１：１とな
るようにＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を秤量して
全量６４４ｇとし、さらにＣａＣＯ3 を３６ｇ添加し、
Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 とを合
計した６８０ｇを混合原料とする。
【０１６９】次いで、混合工程で原料を微粒化するため
に、実施例１５と同様に媒体攪拌ミルを用いる。混合条
件は、実施例１５と同様に行う。この混合工程にて、混
合・粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレー
ザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍ（ミ
クロンメータ）であった。これは混合前のＹ2 Ｏ3 の平
均粒径（１．０μｍ）よりも小さく且つ０．５μｍより
小さい。
に、実施例１５と同様に媒体攪拌ミルを用いる。混合条
件は、実施例１５と同様に行う。この混合工程にて、混
合・粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレー
ザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍ（ミ
クロンメータ）であった。これは混合前のＹ2 Ｏ3 の平
均粒径（１．０μｍ）よりも小さく且つ０．５μｍより
小さい。
【０１７０】得られた原料スラリーを、上記実施例１５
と同様に、スプレードライヤで造粒、乾燥した後、仮焼
成して、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。仮焼成で
塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 をライ
カイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得る。次いで、調合２
で、サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温度係数
となるように調合する。具体的には、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂが、ａ：ｂ＝３８：
６２となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 （粉
体）とＹ2 Ｏ3 を秤量して全量２０００ｇとする。
と同様に、スプレードライヤで造粒、乾燥した後、仮焼
成して、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。仮焼成で
塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 をライ
カイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得る。次いで、調合２
で、サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温度係数
となるように調合する。具体的には、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂが、ａ：ｂ＝３８：
６２となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 （粉
体）とＹ2 Ｏ3 を秤量して全量２０００ｇとする。
【０１７１】粉砕工程では、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 とＹ2 Ｏ3 を、混合工程と同様にパールミル装置を使
用し、混合・粉砕して微粒化を行う。パールミル装置に
よる粉砕条件は、混合工程の条件と同じである。また、
この粉砕工程では、分散剤、バインダー、離型剤を添加
し、同時に混合・粉砕する。粉砕処理したサーミスタ材
料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平
均粒径は０．４μｍ（ミクロンメータ）であった。これ
は、調合２にて調合する前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．０
μｍよりも小さい。
3 とＹ2 Ｏ3 を、混合工程と同様にパールミル装置を使
用し、混合・粉砕して微粒化を行う。パールミル装置に
よる粉砕条件は、混合工程の条件と同じである。また、
この粉砕工程では、分散剤、バインダー、離型剤を添加
し、同時に混合・粉砕する。粉砕処理したサーミスタ材
料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平
均粒径は０．４μｍ（ミクロンメータ）であった。これ
は、調合２にて調合する前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．０
μｍよりも小さい。
【０１７２】粉砕後に得たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
とＹ2 Ｏ3 とのスラリーをスプレードライヤで造粒し、
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との造粒粉を得
る。続いて、この混合造粒粉を用いて、上記実施例１５
と同様に、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得
る。このサーミスタ素子は、実施例１５と同様に、温度
センサアッシーに組み込み、温度センサとする。これら
サーミスタ素子及び温度センサの構造は、図２ないし図
４のものと同構造である。
とＹ2 Ｏ3 とのスラリーをスプレードライヤで造粒し、
Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との造粒粉を得
る。続いて、この混合造粒粉を用いて、上記実施例１５
と同様に、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得
る。このサーミスタ素子は、実施例１５と同様に、温度
センサアッシーに組み込み、温度センサとする。これら
サーミスタ素子及び温度センサの構造は、図２ないし図
４のものと同構造である。
【０１７３】上記の温度センサを、実施例１５と同様に
評価した。抵抗値温度特性の評価結果を図２７に、温度
精度の評価結果を図２５に示す。本実施例１６による温
度センサは、図２５に示す様に、温度精度として±５℃
が得られる。本実施例１６では、第１の調製工程の混合
工程及び第２の調製工程の粉砕工程において媒体攪拌ミ
ルでの粉砕微粒化を行っており、後者の工程でのみ媒体
攪拌ミルでの粉砕微粒化を行った上記実施例７（温度精
度±１０℃）に比べて、より温度精度が向上したサーミ
スタ素子を提供できる。
評価した。抵抗値温度特性の評価結果を図２７に、温度
精度の評価結果を図２５に示す。本実施例１６による温
度センサは、図２５に示す様に、温度精度として±５℃
が得られる。本実施例１６では、第１の調製工程の混合
工程及び第２の調製工程の粉砕工程において媒体攪拌ミ
ルでの粉砕微粒化を行っており、後者の工程でのみ媒体
攪拌ミルでの粉砕微粒化を行った上記実施例７（温度精
度±１０℃）に比べて、より温度精度が向上したサーミ
スタ素子を提供できる。
【０１７４】さらに、粉砕工程で、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）が、９５：５
及び５：９５となるように調製したサーミスタ原料で、
同様にサーミスタ素子を製作を実施し、温度センサとし
て評価した結果を図２７に示す。ここで、本実施例１６
において、上記モル比ａ：ｂが、３８：６２、９５：
５、５：９５の順に、素子番号２２、素子番号２３、素
子番号２４とし、図２７に記す。
0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）が、９５：５
及び５：９５となるように調製したサーミスタ原料で、
同様にサーミスタ素子を製作を実施し、温度センサとし
て評価した結果を図２７に示す。ここで、本実施例１６
において、上記モル比ａ：ｂが、３８：６２、９５：
５、５：９５の順に、素子番号２２、素子番号２３、素
子番号２４とし、図２７に記す。
【０１７５】図２７に示すごとく、本実施例１６のサー
ミスタ素子は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2
Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．
０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において温度センサとして
必要な５０Ω〜１００ｋΩの抵抵抗値であり、抵抗温度
係数βについても、２０００〜４０００（Ｋ）を示し、
それ故、室温から１０００℃の高温域にわたって温度を
検知できる。
ミスタ素子は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2
Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．
０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において温度センサとして
必要な５０Ω〜１００ｋΩの抵抵抗値であり、抵抗温度
係数βについても、２０００〜４０００（Ｋ）を示し、
それ故、室温から１０００℃の高温域にわたって温度を
検知できる。
【０１７６】また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１７）本実施例１７では、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ
3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２
＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１７のサーミスタ素子
の製造工程を図２８に示す。
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１７）本実施例１７では、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ
3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２
＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１７のサーミスタ素子
の製造工程を図２８に示す。
【０１７７】本実施例１７は、上記第３実施形態にて述
べた第１の製造方法に係るものである。すなわち、第１
の調製工程（図中、調合１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3・Ｙ2 Ｏ3 ）において上述の前駆体を得るものであ
り、また、第１の調製工程の混合工程において媒体攪拌
ミルを、第２の調製工程（図中、調合２以降）の粉砕工
程においてボールミルを用いる。つまり、上記実施例１
５における粉砕工程で媒体攪拌ミルの代わりにボールミ
ルを用いる。
べた第１の製造方法に係るものである。すなわち、第１
の調製工程（図中、調合１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3・Ｙ2 Ｏ3 ）において上述の前駆体を得るものであ
り、また、第１の調製工程の混合工程において媒体攪拌
ミルを、第２の調製工程（図中、調合２以降）の粉砕工
程においてボールミルを用いる。つまり、上記実施例１
５における粉砕工程で媒体攪拌ミルの代わりにボールミ
ルを用いる。
【０１７８】本実施例の第１の調製工程は、上記実施例
１５と同様であり、説明を省略する。なお、本実施例１
７においても、調合１において、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂ（モル分率）は、ａ：
ｂ＝３８：６２であり、混合工程にて混合・粉砕処理し
たサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評
価した結果、平均粒径は０．４μｍ（ミクロンメータ）
であった。
１５と同様であり、説明を省略する。なお、本実施例１
７においても、調合１において、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂ（モル分率）は、ａ：
ｂ＝３８：６２であり、混合工程にて混合・粉砕処理し
たサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計で評
価した結果、平均粒径は０．４μｍ（ミクロンメータ）
であった。
【０１７９】次に、調合２では、第１の調製工程にて得
られた前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の
粉体を２０００ｇ用意する。次いで、粉砕工程では、調
合２で用意されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ 2 Ｏ
3 に分散剤、バインダー、離型剤を添加し、混合・粉砕
するために、ボールミル装置を使用する。
られた前駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の
粉体を２０００ｇ用意する。次いで、粉砕工程では、調
合２で用意されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ 2 Ｏ
3 に分散剤、バインダー、離型剤を添加し、混合・粉砕
するために、ボールミル装置を使用する。
【０１８０】このボールミル装置による粉砕条件として
は、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を１０ｋｇ、φ２０を１０
ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量２０リットル）の中
に、調合２で用意された粉体２０００ｇを入れ、純水６
０００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍで６時間混合・粉砕
する。粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレ
ーザ式粉度計で評価した結果、平均粒径１．８μｍ（ミ
クロンメータ）であった。これは、調合１にて調合する
前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．０μｍよりも大きい。
は、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を１０ｋｇ、φ２０を１０
ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量２０リットル）の中
に、調合２で用意された粉体２０００ｇを入れ、純水６
０００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍで６時間混合・粉砕
する。粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレ
ーザ式粉度計で評価した結果、平均粒径１．８μｍ（ミ
クロンメータ）であった。これは、調合１にて調合する
前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．０μｍよりも大きい。
【０１８１】粉砕後に得たＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
とＹ2 Ｏ3 とのスラリーは、実施例１５と同様に、造
粒、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得る。こ
のサーミスタ素子は、実施例１５と同様に、温度センサ
アッシーに組み込み、温度センサとする。これらサーミ
スタ素子及び温度センサの構造は、図２ないし図４のも
のと同構造である。
とＹ2 Ｏ3 とのスラリーは、実施例１５と同様に、造
粒、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得る。こ
のサーミスタ素子は、実施例１５と同様に、温度センサ
アッシーに組み込み、温度センサとする。これらサーミ
スタ素子及び温度センサの構造は、図２ないし図４のも
のと同構造である。
【０１８２】上記の温度センサは、実施例１５と同様に
評価した。抵抗値温度特性は実施例１５と同様（図２４
においてａ：ｂ＝３８：６２の抵抗値温度特性）であっ
た。また、温度精度の評価結果を図２５に示す。本実施
例１７による温度センサは、温度精度として±１０℃が
得られる。さらに、混合工程で、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比が、９５：５及び５：
９５となるように調製したサーミスタ原料でサーミスタ
素子を製作を実施し、温度センサとして評価した。その
結果、これらサーミスタ素子の抵抗値温度特性は、実施
例１５の同じモル比のもの（図２４参照）と同様の良好
な結果であった。
評価した。抵抗値温度特性は実施例１５と同様（図２４
においてａ：ｂ＝３８：６２の抵抗値温度特性）であっ
た。また、温度精度の評価結果を図２５に示す。本実施
例１７による温度センサは、温度精度として±１０℃が
得られる。さらに、混合工程で、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比が、９５：５及び５：
９５となるように調製したサーミスタ原料でサーミスタ
素子を製作を実施し、温度センサとして評価した。その
結果、これらサーミスタ素子の抵抗値温度特性は、実施
例１５の同じモル比のもの（図２４参照）と同様の良好
な結果であった。
【０１８３】従って、本実施例１７のサーミスタ素子
は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル
分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ
≦０．９５の範囲において温度センサとして必要な５０
Ω〜１００ｋΩの抵抵抗値であり、抵抗温度係数βにつ
いても、２０００〜４０００（Ｋ）を示し、それ故、室
温から１０００℃の高温域にわたって温度を検知でき
る。
は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のモル
分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ
≦０．９５の範囲において温度センサとして必要な５０
Ω〜１００ｋΩの抵抵抗値であり、抵抗温度係数βにつ
いても、２０００〜４０００（Ｋ）を示し、それ故、室
温から１０００℃の高温域にわたって温度を検知でき
る。
【０１８４】また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１８）本実施例１８は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 から、Ｙ（Ｃｒ0.5Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、
Ｍｎ）を得る。本実施例１８のサーミスタ素子の製造工
程を図２９に示す。
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１８）本実施例１８は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 から、Ｙ（Ｃｒ0.5Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、
Ｍｎ）を得る。本実施例１８のサーミスタ素子の製造工
程を図２９に示す。
【０１８５】本実施例１８は、上記第３実施形態にて述
べた第２の製造方法に係るものである。すなわち、第１
の調製工程（図中、調合１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3）においてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得るもの
であり、また、第１の調製工程の混合工程において媒体
攪拌ミルを、及び第２の調製工程（図中、調合２以降）
の粉砕工程においてボールミルを用いる。つまり、上記
実施例１６における粉砕工程で媒体攪拌ミルの代わりに
ボールミルを用いる。
べた第２の製造方法に係るものである。すなわち、第１
の調製工程（図中、調合１からＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）
Ｏ3）においてＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得るもの
であり、また、第１の調製工程の混合工程において媒体
攪拌ミルを、及び第２の調製工程（図中、調合２以降）
の粉砕工程においてボールミルを用いる。つまり、上記
実施例１６における粉砕工程で媒体攪拌ミルの代わりに
ボールミルを用いる。
【０１８６】本実施例の第１の調製工程は、上記実施例
１６と同様であり、説明を省略する。なお、本実施例１
８においても、調合１において、混合工程にて混合・粉
砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒
度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍ（ミクロン
メータ）であった。そして、第１の調製工程から、仮焼
成されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得る。
１６と同様であり、説明を省略する。なお、本実施例１
８においても、調合１において、混合工程にて混合・粉
砕処理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒
度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍ（ミクロン
メータ）であった。そして、第１の調製工程から、仮焼
成されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得る。
【０１８７】調合２では。サーミスタ素子として所望の
抵抗値と抵抗温度係数とすべく、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂが、ａ：ｂ＝３８：６
２となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 （粉体）
とＹ2 Ｏ3 とを秤量して全量２０００ｇとする。次い
で、粉砕工程では、調合２で秤量されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ 2 Ｏ3 との秤量物を混合・粉砕するた
めに、ボールミル装置を使用する。このボールミル装置
による粉砕条件としては、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を１
０ｋｇ、φ２０を１０ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量
２０リットル）の中に、上記混合秤量物２０００ｇを入
れ、純水６０００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍで６時間
混合・粉砕する。
抵抗値と抵抗温度係数とすべく、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂが、ａ：ｂ＝３８：６
２となるように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 （粉体）
とＹ2 Ｏ3 とを秤量して全量２０００ｇとする。次い
で、粉砕工程では、調合２で秤量されたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ 2 Ｏ3 との秤量物を混合・粉砕するた
めに、ボールミル装置を使用する。このボールミル装置
による粉砕条件としては、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を１
０ｋｇ、φ２０を１０ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量
２０リットル）の中に、上記混合秤量物２０００ｇを入
れ、純水６０００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍで６時間
混合・粉砕する。
【０１８８】粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径１．８μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。これは、調合２にて調
合する前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．０μｍよりも大き
い。また、混合・粉砕工程で、分散剤、バインダー、離
型剤を添加し、同時に粉砕する。粉砕後に得たＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 のスラリーは、実施例１
５と同様に、造粒、金型成形、焼成し、サーミスタ素子
を得る。このサーミスタ素子は、実施例１５と同様に、
温度センサアッシーに組み込み、温度センサとする。こ
れらサーミスタ素子及び温度センサの構造は、図２ない
し図４のものと同構造である。
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径１．８μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。これは、調合２にて調
合する前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．０μｍよりも大き
い。また、混合・粉砕工程で、分散剤、バインダー、離
型剤を添加し、同時に粉砕する。粉砕後に得たＹ（Ｃｒ
0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 のスラリーは、実施例１
５と同様に、造粒、金型成形、焼成し、サーミスタ素子
を得る。このサーミスタ素子は、実施例１５と同様に、
温度センサアッシーに組み込み、温度センサとする。こ
れらサーミスタ素子及び温度センサの構造は、図２ない
し図４のものと同構造である。
【０１８９】上記の温度センサは、実施例１５と同様に
評価した。抵抗値温度特性は上記実施例１６と同様（図
２７においてａ：ｂ＝３８：６２の抵抗値温度特性）で
あった。また、温度精度の評価結果を図２５に示す。本
実施例１８による温度センサは、温度精度として±１０
℃が得られる。
評価した。抵抗値温度特性は上記実施例１６と同様（図
２７においてａ：ｂ＝３８：６２の抵抗値温度特性）で
あった。また、温度精度の評価結果を図２５に示す。本
実施例１８による温度センサは、温度精度として±１０
℃が得られる。
【０１９０】さらに、粉砕工程で、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ
0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比が、９５：５及び５：９
５となるように調製したサーミスタ原料で、サーミスタ
素子を製作を実施し、温度センサとして評価した結果、
上記実施例１６の同じモル比のもの（図２７参照）と同
様の良好な抵抗温度特性を示した。従って、本実施例１
８のサーミスタ素子は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦
ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において温度セン
サとして必要な５０Ω〜１００ｋΩと抵抵抗値であり、
抵抗温度係数βについても、２０００〜４０００（Ｋ）
を示し、それ故、室温から１０００℃の高温域にわたっ
て温度を検知できる。
0.5 ）Ｏ3 ：Ｙ2 Ｏ3 のモル比が、９５：５及び５：９
５となるように調製したサーミスタ原料で、サーミスタ
素子を製作を実施し、温度センサとして評価した結果、
上記実施例１６の同じモル比のもの（図２７参照）と同
様の良好な抵抗温度特性を示した。従って、本実施例１
８のサーミスタ素子は、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3
・ｂＹ2 Ｏ3 のモル分率（ａ＋ｂ＝１）が、０．０５≦
ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５の範囲において温度セン
サとして必要な５０Ω〜１００ｋΩと抵抵抗値であり、
抵抗温度係数βについても、２０００〜４０００（Ｋ）
を示し、それ故、室温から１０００℃の高温域にわたっ
て温度を検知できる。
【０１９１】また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１９）本実施例１９は、基本的には実施例１５
及び実施例１７と同様であり、Ｙ2 Ｏ 3 とＣｒ2 Ｏ3 と
Ｍｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、前駆体を生成し、Ｙ
（Ｃｒ 0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ
１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１９のサ
ーミスタ素子の製造工程を図３０に示す。
からも、抵抗値の変化の少ない安定した特性を持つサー
ミスタ素子を提供することができる。 （実施例１９）本実施例１９は、基本的には実施例１５
及び実施例１７と同様であり、Ｙ2 Ｏ 3 とＣｒ2 Ｏ3 と
Ｍｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、前駆体を生成し、Ｙ
（Ｃｒ 0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ
１＝Ｙ、Ｍ２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例１９のサ
ーミスタ素子の製造工程を図３０に示す。
【０１９２】本実施例１９は、上記実施例１５の製造方
法において、混合工程及び粉砕工程共に、従来法である
ボールミル装置を用いるものである。実施例１５と同様
に、いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＣｒ2
Ｏ3とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意し、調合１では、
サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温度係数とな
るように、これら各成分を調合する。
法において、混合工程及び粉砕工程共に、従来法である
ボールミル装置を用いるものである。実施例１５と同様
に、いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＣｒ2
Ｏ3とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意し、調合１では、
サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温度係数とな
るように、これら各成分を調合する。
【０１９３】具体的には、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ
3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂ（モル分率）が、ａ：ｂ＝３
８：６２となるようにＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ
3 を秤量して全量２０００ｇとする。さらにＣａＣｏ３
を３６ｇ添加し、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 と
ＣａＣＯ3 とを合計した２０３６ｇを混合原料とする。
次いで、この混合原料を、混合工程においてボールミル
装置を用いて混合・粉砕する。操作条件としては、Ａｌ
2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５Ｋｇ、φ２０を２．５Ｋｇ
を入れた樹脂製ポット（容量２０リットル）の中にサー
ミスタ原料を入れ、純水６０００ｃｃを加えた後、６０
ｒｐｍで６時間混合・粉砕する。
3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａとｂ（モル分率）が、ａ：ｂ＝３
８：６２となるようにＹ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ
3 を秤量して全量２０００ｇとする。さらにＣａＣｏ３
を３６ｇ添加し、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 と
ＣａＣＯ3 とを合計した２０３６ｇを混合原料とする。
次いで、この混合原料を、混合工程においてボールミル
装置を用いて混合・粉砕する。操作条件としては、Ａｌ
2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５Ｋｇ、φ２０を２．５Ｋｇ
を入れた樹脂製ポット（容量２０リットル）の中にサー
ミスタ原料を入れ、純水６０００ｃｃを加えた後、６０
ｒｐｍで６時間混合・粉砕する。
【０１９４】粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径２．０μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。これは混合前のＹ2 Ｏ
3 の平均粒径１．０μｍよりも大きい。得られた原料ス
ラリーは、スプレードライヤで乾燥室入口温度２００
℃、出口温度１２０℃の条件で乾燥する。得られたサー
ミスタ原料粉は平均粒径３０μｍの球状で、この原料粉
を９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製ルツボに入れ、高温炉で大気
中にて１１００〜１３００℃で１〜２時間仮焼成し、前
駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を得る。
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径２．０μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。これは混合前のＹ2 Ｏ
3 の平均粒径１．０μｍよりも大きい。得られた原料ス
ラリーは、スプレードライヤで乾燥室入口温度２００
℃、出口温度１２０℃の条件で乾燥する。得られたサー
ミスタ原料粉は平均粒径３０μｍの球状で、この原料粉
を９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製ルツボに入れ、高温炉で大気
中にて１１００〜１３００℃で１〜２時間仮焼成し、前
駆体Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 を得る。
【０１９５】仮焼成で塊状の固形となった前駆体Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 をライカイ機で粗粉砕
し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ 3 ・Ｙ2 Ｏ3 の粉体を得る。次いで、粉砕工
程では、この粉体を微粒化で行うために、混合工程と同
様にボールミル装置を使用する。このボールミル装置に
よる粉砕条件は、混合工程の条件と同じである。
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 をライカイ機で粗粉砕
し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍ
ｎ0.5 ）Ｏ 3 ・Ｙ2 Ｏ3 の粉体を得る。次いで、粉砕工
程では、この粉体を微粒化で行うために、混合工程と同
様にボールミル装置を使用する。このボールミル装置に
よる粉砕条件は、混合工程の条件と同じである。
【０１９６】粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径３．０μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。得られたサーミスタ材
料の原料スラリーは、実施例１５と同様に、造粒・乾
燥、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得る。こ
のサーミスタ素子は、温度センサ・アッシーに組み込
み、温度センサとする。これらサーミスタ素子及び温度
センサの構造は、図２ないし図４のものと同構造であ
る。
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径３．０μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。得られたサーミスタ材
料の原料スラリーは、実施例１５と同様に、造粒・乾
燥、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得る。こ
のサーミスタ素子は、温度センサ・アッシーに組み込
み、温度センサとする。これらサーミスタ素子及び温度
センサの構造は、図２ないし図４のものと同構造であ
る。
【０１９７】上記の温度センサは、実施例１５と同様に
評価した。抵抗値温度特性は実施例１５の同じモル比
（ａ：ｂ＝３８：６２）のもの（図２４参照）と同様で
あり、良好であった。また、温度精度の評価結果を、図
２５に示す。本実施例１９による温度センサの温度精度
は、±３０℃である。
評価した。抵抗値温度特性は実施例１５の同じモル比
（ａ：ｂ＝３８：６２）のもの（図２４参照）と同様で
あり、良好であった。また、温度精度の評価結果を、図
２５に示す。本実施例１９による温度センサの温度精度
は、±３０℃である。
【０１９８】（実施例２０）本実施例２０は、基本的に
は実施例１６及び実施例１８と同様であり、Ｙ2 Ｏ 3 と
Ｃｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、仮焼成
でＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 を生成し、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ
２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例２０のサーミスタ素
子の製造工程を図３１に示す。
は実施例１６及び実施例１８と同様であり、Ｙ2 Ｏ 3 と
Ｃｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を原料に、仮焼成
でＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ 0.5 ）Ｏ3 を生成し、Ｙ（Ｃｒ0.5
Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 の混合焼結体（Ｍ１＝Ｙ、Ｍ
２＝Ｃｒ、Ｍｎ）を得る。本実施例２０のサーミスタ素
子の製造工程を図３１に示す。
【０１９９】本実施例２０は、上記実施例１６の製造方
法において、混合工程及び粉砕工程共に、従来法である
ボールミル装置を用いるものである。実施例１６と同様
に、いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＣｒ2
Ｏ3とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意する。調合１で
は、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が、２：１：１となるよう
に、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を秤量して全量
６４４ｇとし、さらにＣａＣＯ3 を３６ｇ添加し、Ｙ2
Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ 2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 とを合計し
た６８０ｇを混合原料とする。
法において、混合工程及び粉砕工程共に、従来法である
ボールミル装置を用いるものである。実施例１６と同様
に、いずれの純度も９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 とＣｒ2
Ｏ3とＭｎ2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 を用意する。調合１で
は、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が、２：１：１となるよう
に、Ｙ2 Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を秤量して全量
６４４ｇとし、さらにＣａＣＯ3 を３６ｇ添加し、Ｙ2
Ｏ3 とＣｒ2 Ｏ3 とＭｎ 2 Ｏ3 とＣａＣＯ3 とを合計し
た６８０ｇを混合原料とする。
【０２００】混合工程では、調合１で得られた混合原料
をボールミル装置を用いて混合・粉砕する。その操作条
件としては、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５Ｋｇ、φ
２０を２．５Ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量５リット
ル）の中にサーミスタ原料を入れ、純水１８００ｃｃを
加えた後、６０ｒｐｍで６時間混合・粉砕する。粉砕処
理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計
で評価した結果、平均粒径１．７μｍ（ミクロンメー
タ）であった。これは混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．
０μｍよりも大きい。
をボールミル装置を用いて混合・粉砕する。その操作条
件としては、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を２．５Ｋｇ、φ
２０を２．５Ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量５リット
ル）の中にサーミスタ原料を入れ、純水１８００ｃｃを
加えた後、６０ｒｐｍで６時間混合・粉砕する。粉砕処
理したサーミスタ材料の原料スラリーをレーザ式粒度計
で評価した結果、平均粒径１．７μｍ（ミクロンメー
タ）であった。これは混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径１．
０μｍよりも大きい。
【０２０１】得られた原料スラリーは、上記実施例１５
と同様に、スプレードライヤで造粒、乾燥した後、仮焼
成して、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。仮焼成で
塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 をライ
カイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得る。次いで、調合２で
サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温度係数とす
べく、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａ
とｂ（モル分率）が、ａ：ｂ＝３８：６２となるよう
に、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 を秤量して
全量２０００ｇとする。
と同様に、スプレードライヤで造粒、乾燥した後、仮焼
成して、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を得る。仮焼成で
塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 をライ
カイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュ篩いで通し、Ｙ（Ｃ
ｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得る。次いで、調合２で
サーミスタ素子として所望の抵抗値と抵抗温度係数とす
べく、ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＹ2 Ｏ3 のａ
とｂ（モル分率）が、ａ：ｂ＝３８：６２となるよう
に、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 を秤量して
全量２０００ｇとする。
【０２０２】次いでＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・Ｙ2
Ｏ3 を粉砕工程で粉砕するために、混合工程と同様にボ
ールミル装置を使用する。このボールミル装置による粉
砕操作条件としては、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を１０ｋ
ｇ、φ２０を１０ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量２０
リットル）の中に調合２で得られたサーミスタ原料を入
れ、純水６００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍで６時間混
合・粉砕する。
Ｏ3 を粉砕工程で粉砕するために、混合工程と同様にボ
ールミル装置を使用する。このボールミル装置による粉
砕操作条件としては、Ａｌ2 Ｏ3 製玉石φ１５を１０ｋ
ｇ、φ２０を１０ｋｇを入れた樹脂製ポット（容量２０
リットル）の中に調合２で得られたサーミスタ原料を入
れ、純水６００ｃｃを加えた後、６０ｒｐｍで６時間混
合・粉砕する。
【０２０３】粉砕処理したサーミスタ材料の原料スラリ
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径２．７μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。得られるサーミスタ材
料の原料スラリーは、実施例１５と同様に、造粒・乾
燥、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得る。サ
ーミスタ素子は、温度センサ・アッシーに組み込み、温
度センサとする。これらサーミスタ素子及び温度センサ
の構造は、図２ないし図４のものと同構造である。
ーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径２．７μ
ｍ（ミクロンメータ）であった。得られるサーミスタ材
料の原料スラリーは、実施例１５と同様に、造粒・乾
燥、金型成形、焼成を行い、サーミスタ素子を得る。サ
ーミスタ素子は、温度センサ・アッシーに組み込み、温
度センサとする。これらサーミスタ素子及び温度センサ
の構造は、図２ないし図４のものと同構造である。
【０２０４】上記の温度センサは、実施例１５と同様に
評価した。抵抗値温度特性は実施例１６の同じモル比
（ａ：ｂ＝３８：６２）のもの（図２７参照）と同様で
あり、良好であった。また、温度精度の評価結果を、図
２５に示す。本実施例２０による温度センサの温度精度
は、±２５℃である。
評価した。抵抗値温度特性は実施例１６の同じモル比
（ａ：ｂ＝３８：６２）のもの（図２７参照）と同様で
あり、良好であった。また、温度精度の評価結果を、図
２５に示す。本実施例２０による温度センサの温度精度
は、±２５℃である。
【０２０５】（比較例３）また、上記比較例１及び比較
例２において、上記実施例１５と同様にして、混合後の
平均粒径（μｍ）、粉砕後の平均粒径（μｍ）、及び温
度精度を評価した。その結果を図２５に示す。以上のご
とく、実施例１５〜実施例２０を比較すると、いずれの
サーミスタ素子も、本発明の目的である良好な抵抗値の
温度特性を示す。
例２において、上記実施例１５と同様にして、混合後の
平均粒径（μｍ）、粉砕後の平均粒径（μｍ）、及び温
度精度を評価した。その結果を図２５に示す。以上のご
とく、実施例１５〜実施例２０を比較すると、いずれの
サーミスタ素子も、本発明の目的である良好な抵抗値の
温度特性を示す。
【０２０６】しかし、センサの温度精度については、上
記第３実施形態の製造方法に係る実施例１５〜実施例１
８の製造方法が、実施例１９、実施例２０の製造方法よ
りも優れており、更に、実施例１５及び１６の製造方法
は、実施例１７及び１８の製造方法よりも優れていると
いえる。つまり、仮焼成前の第１の調製工程における混
合工程、及び第２の調製工程における粉砕工程におい
て、媒体攪拌ミルを用いて原料粒径が所定値以下となる
ように微粒化を行う工程の多い程、センサの温度精度が
向上している。
記第３実施形態の製造方法に係る実施例１５〜実施例１
８の製造方法が、実施例１９、実施例２０の製造方法よ
りも優れており、更に、実施例１５及び１６の製造方法
は、実施例１７及び１８の製造方法よりも優れていると
いえる。つまり、仮焼成前の第１の調製工程における混
合工程、及び第２の調製工程における粉砕工程におい
て、媒体攪拌ミルを用いて原料粒径が所定値以下となる
ように微粒化を行う工程の多い程、センサの温度精度が
向上している。
【０２０７】（他の変形例）ところで、上記の実施例１
〜２０の以外に、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と（Ｍｎ
1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 の組成、また
は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 の組成から、上記
実施例３ないし６のようなＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 との混合焼結体からなるワイドレンジ型サーミス
タ素子を提供することもできる。
〜２０の以外に、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と（Ｍｎ
1.5 Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2 の組成、また
は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と（Ｍｎ1.5 Ｃ
ｒ1.5 ）Ｏ4 とＹ2 Ｏ3 とＹＴｉＯ3 の組成から、上記
実施例３ないし６のようなＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 とＹ
2 Ｏ3 との混合焼結体からなるワイドレンジ型サーミス
タ素子を提供することもできる。
【０２０８】また、Ｙ2 Ｏ3 等のイットリア化合物と、
Ｃｒ2 Ｏ3 等のクロム化合物と、Ｍｎ2 Ｏ3 等のマンガ
ン化合物から、上記実施例１および２のようなＹ（Ｃｒ
Ｍｎ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体からなるワイドレン
ジ型サーミスタ素子を調製できることはいうまでもな
い。さらには、Ｙ2 Ｏ3 等のイットリア化合物と、Ｃｒ
2 Ｏ3 等のクロム化合物と、Ｍｎ2 Ｏ3 等のマンガン化
合物と、ＴｉＯ2 等のチタン化合物から、上記実施例３
ないし６のようなＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 と
の混合焼結体からなるワイドレンジ型サーミスタ素子を
調製できることはいうまでもない。
Ｃｒ2 Ｏ3 等のクロム化合物と、Ｍｎ2 Ｏ3 等のマンガ
ン化合物から、上記実施例１および２のようなＹ（Ｃｒ
Ｍｎ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 の混合焼結体からなるワイドレン
ジ型サーミスタ素子を調製できることはいうまでもな
い。さらには、Ｙ2 Ｏ3 等のイットリア化合物と、Ｃｒ
2 Ｏ3 等のクロム化合物と、Ｍｎ2 Ｏ3 等のマンガン化
合物と、ＴｉＯ2 等のチタン化合物から、上記実施例３
ないし６のようなＹ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 と
の混合焼結体からなるワイドレンジ型サーミスタ素子を
調製できることはいうまでもない。
【０２０９】また、上記の実施例１〜２０では、第１の
調製工程において、仮焼成前の乾燥を熱風乾燥して混合
固形体をライカイ機で粗粉砕して仮焼成を行っている
が、組成の均一性を図るために、混合工程でバインダー
を添加し、スプレードライヤにより造粒、乾燥した混合
粉を仮焼成を実施することによっても、ワイドレンジ型
サーミスタ素子を提供することができる。
調製工程において、仮焼成前の乾燥を熱風乾燥して混合
固形体をライカイ機で粗粉砕して仮焼成を行っている
が、組成の均一性を図るために、混合工程でバインダー
を添加し、スプレードライヤにより造粒、乾燥した混合
粉を仮焼成を実施することによっても、ワイドレンジ型
サーミスタ素子を提供することができる。
【０２１０】同様に、組成の均一性を図るために、サー
ミスタ素子の製造工程の仮焼成を２回以上実施すること
によってもワイドレンジ型サーミスタ素子を提供するこ
とができる。上記各実施例１〜２０では、リード線の線
径、長さをφ０．３×１０．５（ｍｍ）、材質をＰｔ１
００（純白金）としていたが、温度センサの形状、寸法
及び温度センサの使用環境条件に応じて、リード線の形
状、線径、長さを任意に選択でき、リード線の材質はＰ
ｔ１００（純白金）のみならず、サーミスタ素子の焼成
温度に耐えうる融点を持ち、リード線としての導電性が
得られる、例えばＰｔ８０Ｉｒ２０（白金８０％、イリ
ジウム２０％）等の高融点金属も使用できる。
ミスタ素子の製造工程の仮焼成を２回以上実施すること
によってもワイドレンジ型サーミスタ素子を提供するこ
とができる。上記各実施例１〜２０では、リード線の線
径、長さをφ０．３×１０．５（ｍｍ）、材質をＰｔ１
００（純白金）としていたが、温度センサの形状、寸法
及び温度センサの使用環境条件に応じて、リード線の形
状、線径、長さを任意に選択でき、リード線の材質はＰ
ｔ１００（純白金）のみならず、サーミスタ素子の焼成
温度に耐えうる融点を持ち、リード線としての導電性が
得られる、例えばＰｔ８０Ｉｒ２０（白金８０％、イリ
ジウム２０％）等の高融点金属も使用できる。
【０２１１】さらに、リード線抜けを防止する目的で、
断面形状を円形以外、例えば矩形、半円等の形状とする
ことも可能であり、リード線表面にローレット加工等で
凹凸を付与し、サーミスタ素子のリード線として使用し
てもよい。また、上記各実施例１〜２０では、サーミス
タ素子の成形方法としてリード線をインサートして、金
型成形を行っているが、サーミスタ原料（粉体）を用い
て円柱成形体を成形後に、リード線を付与するための穴
を開け、リード線を装填して焼成することで、リード線
を形成し、サーミスタ素子を得ることができる。
断面形状を円形以外、例えば矩形、半円等の形状とする
ことも可能であり、リード線表面にローレット加工等で
凹凸を付与し、サーミスタ素子のリード線として使用し
てもよい。また、上記各実施例１〜２０では、サーミス
タ素子の成形方法としてリード線をインサートして、金
型成形を行っているが、サーミスタ原料（粉体）を用い
て円柱成形体を成形後に、リード線を付与するための穴
を開け、リード線を装填して焼成することで、リード線
を形成し、サーミスタ素子を得ることができる。
【０２１２】また、上記円柱成形体を焼成後にリード線
を形成し、サーミスタ素子を得ることも可能である。ま
た、サーミスタ素子の原料にバインダー、樹脂材料等を
混合添加して、押し出し成形に好適な粘度、固さに調整
し、押し出し成形により、リード線を付与するための穴
が形成されたサーミスタ素子の成形体を得、リード線を
装填して焼成することで、リード線を形成したサーミス
タ素子を得ることができる。
を形成し、サーミスタ素子を得ることも可能である。ま
た、サーミスタ素子の原料にバインダー、樹脂材料等を
混合添加して、押し出し成形に好適な粘度、固さに調整
し、押し出し成形により、リード線を付与するための穴
が形成されたサーミスタ素子の成形体を得、リード線を
装填して焼成することで、リード線を形成したサーミス
タ素子を得ることができる。
【０２１３】また、サーミスタ素子の原料に、バインダ
ー、樹脂材料等を混合添加して、シート成形に好適な粘
度、固さに調整し、厚さ２００μｍのシート状のサーミ
スタシートを得る。このサーミスタシートを５枚積層し
厚さを１ｍｍとし、金型により外径がφ１．８ｍｍリー
ド線を付与するための穴を直径φ０．４ｍｍで形成され
たサーミスタ素子の成形体を得、リード線を装填して焼
成することで、リード線を形成したサーミスタ素子の成
形体を得ることができる。
ー、樹脂材料等を混合添加して、シート成形に好適な粘
度、固さに調整し、厚さ２００μｍのシート状のサーミ
スタシートを得る。このサーミスタシートを５枚積層し
厚さを１ｍｍとし、金型により外径がφ１．８ｍｍリー
ド線を付与するための穴を直径φ０．４ｍｍで形成され
たサーミスタ素子の成形体を得、リード線を装填して焼
成することで、リード線を形成したサーミスタ素子の成
形体を得ることができる。
【０２１４】以上、本発明について述べてきたが、本発
明のサーミスタ素子は、上記のごとく、低抵抗値及び低
抵抗温度係数（例えば１０００〜４０００（°Ｋ））を
示す（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 と、サーミスタ素子の抵抗値を安
定化する材料であるＹ2 Ｏ3との混合焼結体よりなるａ
（（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ）・ｂ（Ｙ2 Ｏ3 ）の一般式で示さ
れる材料である。
明のサーミスタ素子は、上記のごとく、低抵抗値及び低
抵抗温度係数（例えば１０００〜４０００（°Ｋ））を
示す（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 と、サーミスタ素子の抵抗値を安
定化する材料であるＹ2 Ｏ3との混合焼結体よりなるａ
（（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ）・ｂ（Ｙ2 Ｏ3 ）の一般式で示さ
れる材料である。
【０２１５】そのため、両者を適宜混合、焼成すること
により、抵抗値及び抵抗温度係数を広い範囲で種々制御
できるため、室温〜１０００℃の広い温度域に渡って温
度を検知可能で、室温〜１０００℃の熱履歴等の信頼性
の点からも抵抗値の変化がない安定した特性を持つサー
ミスタ材料を提供することができる（上記実施例１〜２
０）。
により、抵抗値及び抵抗温度係数を広い範囲で種々制御
できるため、室温〜１０００℃の広い温度域に渡って温
度を検知可能で、室温〜１０００℃の熱履歴等の信頼性
の点からも抵抗値の変化がない安定した特性を持つサー
ミスタ材料を提供することができる（上記実施例１〜２
０）。
【０２１６】また、本発明のサーミスタ素子の製造方法
では、サーミスタ原料の微粒化により組成の均一混合を
図り、組成変動を低減することで、サーミスタ素子の抵
抗値のばらつきを低減し、室温〜１０００℃において温
度精度が±１０℃以下に向上し（従来製造方法では、±
２５〜３０℃）、温度センサの高精度化が可能となるサ
ーミスタ素子を提供できる（実施例７〜１０及び実施例
１５〜１８）。
では、サーミスタ原料の微粒化により組成の均一混合を
図り、組成変動を低減することで、サーミスタ素子の抵
抗値のばらつきを低減し、室温〜１０００℃において温
度精度が±１０℃以下に向上し（従来製造方法では、±
２５〜３０℃）、温度センサの高精度化が可能となるサ
ーミスタ素子を提供できる（実施例７〜１０及び実施例
１５〜１８）。
【図１】本発明の実施例１のサーミスタ素子の製造工程
図である。
図である。
【図２】上記実施例１におけるサーミスタ素子の構成図
である。
である。
【図３】図２のサーミスタ素子を用いた温度センサの断
面構成図である。
面構成図である。
【図４】図３の温度センサの金属パイプの断面構成図で
ある。
ある。
【図５】上記実施例１におけるサーミスタ素子の抵抗特
性を示す図表である。
性を示す図表である。
【図６】本発明の実施例２のサーミスタ素子の製造工程
図である。
図である。
【図７】上記実施例２におけるサーミスタ素子の抵抗特
性を示す図表である。
性を示す図表である。
【図８】本発明の実施例３のサーミスタ素子の製造工程
図である。
図である。
【図９】上記実施例３におけるサーミスタ素子の抵抗特
性を示す図表である。
性を示す図表である。
【図１０】本発明の実施例４のサーミスタ素子の製造工
程図である。
程図である。
【図１１】上記実施例４におけるサーミスタ素子の抵抗
特性を示す図表である。
特性を示す図表である。
【図１２】本発明の実施例５のサーミスタ素子の製造工
程図である。
程図である。
【図１３】上記実施例５におけるサーミスタ素子の抵抗
特性を示す図表である。
特性を示す図表である。
【図１４】本発明の実施例６のサーミスタ素子の製造工
程図である。
程図である。
【図１５】上記実施例６におけるサーミスタ素子の抵抗
特性を示す図表である。
特性を示す図表である。
【図１６】比較例１および２におけるサーミスタ素子の
抵抗特性を示す図表である。
抵抗特性を示す図表である。
【図１７】本発明の実施例７のサーミスタ素子の製造工
程図である。
程図である。
【図１８】本発明の実施例７〜実施例１４におけるサー
ミスタ素子を用いた温度センサの温度精度特性を示す図
表である。
ミスタ素子を用いた温度センサの温度精度特性を示す図
表である。
【図１９】本発明の実施例８のサーミスタ素子の製造工
程図である。
程図である。
【図２０】本発明の実施例９のサーミスタ素子の製造工
程図である。
程図である。
【図２１】本発明の実施例１０のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図２２】本発明の実施例１１のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図２３】本発明の実施例１５のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図２４】上記実施例１５におけるサーミスタ素子の抵
抗特性を示す図表である。
抗特性を示す図表である。
【図２５】本発明の実施例１５〜実施例２０、比較例１
及び比較例２におけるサーミスタ素子を用いた温度セン
サの温度精度特性を示す図表である。
及び比較例２におけるサーミスタ素子を用いた温度セン
サの温度精度特性を示す図表である。
【図２６】本発明の実施例１６のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図２７】上記実施例１６におけるサーミスタ素子の抵
抗特性を示す図表である。
抗特性を示す図表である。
【図２８】本発明の実施例１７のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図２９】本発明の実施例１８のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図３０】本発明の実施例１９のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
【図３１】本発明の実施例２０のサーミスタ素子の製造
工程図である。
工程図である。
１…サーミスタ素子、２…金属ケース、３…金属パイ
プ、１１、１２…リード線、１３…素子部、３１、３２
…リード線、３３…マグネシア粉体。
プ、１１、１２…リード線、１３…素子部、３１、３２
…リード線、３３…マグネシア粉体。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 山田 正徳
愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式
会社日本自動車部品総合研究所内
(72)発明者 葛岡 馨
愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 株式
会社デンソー内
(56)参考文献 特開 平１−238101（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−230202（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01C 7/02 - 7/22
Claims (13)
- 【請求項１】 組成物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 において、Ｍ１
は元素周期律表第２Ａ族及びＬａを除く第３Ａ族の元素
から選択される少なくとも１種以上の元素であり、Ｍ２
は元素周期律表第２Ｂ族、第３Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ
族、第６Ａ族、第７Ａ族及び第８族の元素から選択され
る少なくとも１種以上の元素であり、前記（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 とＹ2 Ｏ3 との混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 ・Ｙ2
Ｏ3からなるサーミスタ素子であって、 前記Ｍ１はＹ、前記Ｍ２はＣｒとＭｎであり、前記混合
焼結体は（Ｙ（ＣｒＭｎ）Ｏ 3 ）・Ｙ 2 Ｏ 3 であること
を特徴とするサーミスタ素子 。 - 【請求項２】 組成物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ 3 において、Ｍ１
は元素周期律表第２Ａ族及びＬａを除く第３Ａ族の元素
から選択される少なくとも１種以上の元素であり、Ｍ２
は元素周期律表第２Ｂ族、第３Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ
族、第６Ａ族、第７Ａ族及び第８族の元素から選択され
る少なくとも１種以上の元素であり、 前記（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ 3 とＹ 2 Ｏ 3 との混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ 3 ・Ｙ 2
Ｏ 3 からなるサーミスタ素子であって、 前記Ｍ１はＹ、前記ＭはＣｒとＭｎとＴｉであり、前記
混合焼結体は（Ｙ（ＣｒＭｎＴｉ）Ｏ 3 ）・Ｙ 2 Ｏ 3 で
あることを特徴とする サーミスタ素子。 - 【請求項３】 組成物（Ｍ１Ｍ２）Ｏ 3 において、Ｍ１
は元素周期律表第２Ａ族及びＬａを除く第３Ａ族の元素
から選択される少なくとも１種以上の元素であり、Ｍ２
は元素周期律表第２Ｂ族、第３Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ
族、第６Ａ族、第７Ａ族及び第８族の元素から選択され
る少なくとも１種以上の元素であり、前記（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ 3 とＹ 2 Ｏ 3 との混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）Ｏ 3 ・Ｙ 2
Ｏ 3 からなるサーミスタ素子であって、 ＣａＯ、ＣａＣＯ 3 およびＣａＳｉＯ 3 のうち少なくと
も１種とＳｉＯ 2 とからなる焼結助剤が含有されている
ことを特徴とする サーミスタ素子。 - 【請求項４】 前記Ｍ１は、Ｙ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓ
ｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｍｇ、Ｃ
ａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃから選択する１種以上の元素であ
り、前記Ｍ２は、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、
Ｎｉ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｇａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔ
ａ、Ｗから選択する１種以上の元素であ ることを特徴と
する請求項３に記載のサーミスタ素子。 - 【請求項５】 前記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ 3 のモル分率をａ、
前記Ｙ 2 Ｏ 3 のモル分率をｂとし、これらａおよびｂ
が、０．０５≦ａ＜１．０、０＜ｂ≦０．９５、ａ＋ｂ
＝１の関係を満足することを特徴とする請求項１ないし
４のいずれか１つに記載のサーミスタ素子。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか１つのサー
ミスタ素子を有することを特徴とする温度センサ。 - 【請求項７】 請求項１ないし５のいずれか１つに記載
のサーミスタ素子を製造する製造方法において、仮焼成
により前記Ｙ2 Ｏ3 よりも平均粒径が大きい前記（Ｍ１
Ｍ２）Ｏ3 を得て、 この（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 と前記Ｙ2 Ｏ3 とを混合して粉砕
し、粉砕後におけるこの混合物の平均粒径を混合前の前
記Ｙ2 Ｏ3 の平均粒径以下とした後、所定形状に成形、
焼成することを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１に記載のサーミスタ素子を製造
する製造方法において、Ｃｒの酸化物とＭｎの酸化物と
を混合し１０００℃以上で仮焼成することにより前記Ｙ
2 Ｏ3 よりも平均粒径が大きい（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 を得て、 この（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 と前記Ｙ2 Ｏ3 とを混合
して粉砕し、粉砕後におけるこの混合物の平均粒径を混
合前の前記Ｙ2 Ｏ3 の平均粒径以下とした後、所定形状
に成形、焼成することを特徴とするサーミスタ素子の製
造方法。 - 【請求項９】 請求項２に記載のサーミスタ素子を製造
する製造方法において、Ｃｒの酸化物とＭｎの酸化物と
を混合し１０００℃以上で仮焼成することにより前記Ｙ
2 Ｏ3 よりも平均粒径が大きい（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ
4 を得て、この（Ｍｎ1 .5Ｃｒ1.5 ）Ｏ4 と前記Ｙ2 Ｏ
3 とＴｉＯ2 とを混合して粉砕し、粉砕後におけるこの
混合物の平均粒径を混合前の前記Ｙ2 Ｏ3 の平均粒径以
下とした後、所定形状に成形、焼成することを特徴とす
るサーミスタ素子の製造方法。 - 【請求項１０】 請求項１ないし５のいずれか１つに記
載のサーミスタ素子を製造する製造方法において、 前記Ｍ２の原料を前記Ｍ１の原料と共に混合して粉砕
し、粉砕後におけるこの混合粉砕物の平均粒径を混合前
の前記Ｍ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下
とした後に、仮焼成により前記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を得
て、 前記仮焼成により得られた前記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を前記
Ｙ2 Ｏ3 と混合した後、所定形状に成形、焼成すること
を特徴とするサーミスタ素子の製造方法。 - 【請求項１１】 請求項１ないし５のいずれか１つに記
載のサーミスタ素子を製造する製造方法において、 前記Ｍ１の原料として少なくともＹ2 Ｏ3 を含むものを
用い、 前記Ｍ２の原料を前記Ｍ１の原料と共に混合して粉砕
し、粉砕後におけるこの混合粉砕物の平均粒径を混合前
の前記Ｍ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下
とした後に、仮焼成により前記混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 と同組成の前駆体を得て、 前記仮焼成により得られた前記前駆体を所定形状に成
形、焼成することを特徴とするサーミスタ素子の製造方
法。 - 【請求項１２】 請求項１ないし５のいずれか１つに記
載のサーミスタ素子を製造する製造方法において、 前記Ｍ２の原料を前記Ｍ１の原料と共に混合して粉砕
し、この混合粉砕物の平均粒径を混合前の前記Ｍ１の原
料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とした後に、仮
焼成により前記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 を得て、 前記仮焼成により得られた前記（Ｍ１Ｍ２）Ｏ3 と前記
Ｙ2 Ｏ3 とを混合して粉砕し、粉砕後におけるこの混合
物の平均粒径を混合前の前記Ｙ2 Ｏ3 の平均粒径以下と
した後に、所定形状に成形、焼成することを特徴とする
サーミスタ素子の製造方法。 - 【請求項１３】 請求項１ないし５のいずれか１つに記
載のサーミスタ素子を製造する製造方法において、 前記Ｍ１の原料として少なくともＹ2 Ｏ3 を含むものを
用い、 前記Ｍ２の原料を前記Ｍ１の原料と共に混合して粉砕
し、粉砕後におけるこの混合粉砕物の平均粒径を混合前
の前記Ｍ１の原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下
とした後に、仮焼成により前記混合焼結体（Ｍ１Ｍ２）
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 と同組成の前駆体を得て、 前記仮焼成により得られた前記前駆体を粉砕し、粉砕後
における前記前駆体の平均粒径を、混合前の前記Ｍ１の
原料としてのＹ2 Ｏ3 の平均粒径以下とした後に、所定
形状に成形、焼成することを特徴とするサーミスタ素子
の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34031397A JP3362651B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-12-10 | サーミスタ素子およびその製造方法 |
| DE69841837T DE69841837D1 (de) | 1997-03-19 | 1998-03-18 | Thermistorelement und Temperatursensor |
| EP19980104908 EP0866472B1 (en) | 1997-03-19 | 1998-03-18 | Thermistor element and temperature sensor |
| US09/382,589 US6261480B1 (en) | 1997-03-19 | 1999-08-25 | Wide-range type thermistor element and method of producing the same |
| US09/722,317 US6740261B1 (en) | 1997-03-19 | 2000-11-28 | Wide-range type thermistor element and method of producing the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6682797 | 1997-03-19 | ||
| JP9-66827 | 1997-03-19 | ||
| JP34031397A JP3362651B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-12-10 | サーミスタ素子およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321408A JPH10321408A (ja) | 1998-12-04 |
| JP3362651B2 true JP3362651B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=26408026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34031397A Expired - Lifetime JP3362651B2 (ja) | 1997-03-19 | 1997-12-10 | サーミスタ素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3362651B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009019833A1 (ja) | 2007-08-03 | 2009-02-12 | Mitsubishi Materials Corporation | サーミスタ用金属酸化物焼結体、サーミスタ素子及びサーミスタ温度センサ並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法 |
| US7633371B2 (en) | 2006-02-16 | 2009-12-15 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Thermistor element, thermistor element production method and thermistor temperature sensor |
| US7656269B2 (en) | 2005-04-11 | 2010-02-02 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sintered electroconductive oxide, thermister element using sintered electroconductive oxide, and temperature sensor using thermister element |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100436980B1 (ko) * | 2002-01-29 | 2004-06-23 | 대한민국(전남대학교총장) | 박막형 ｎｔｃ 써미스터 제조방법 |
| JP4788274B2 (ja) * | 2005-10-03 | 2011-10-05 | 株式会社村田製作所 | Ｃｔｒ特性を有する酸化物導電体磁器および抵抗体 |
| JP4996196B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2012-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | サーミスタ素子、これを用いた温度センサ、及びサーミスタ素子の製造方法 |
| JP4990072B2 (ja) * | 2007-08-30 | 2012-08-01 | 株式会社大泉製作所 | 高温用サーミスタ |
| JP2009173484A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Mitsubishi Materials Corp | サーミスタ用金属酸化物焼結体及びサーミスタ素子並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法 |
| JP5221595B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2013-06-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 温度センサ |
| CN103403938B (zh) * | 2011-02-15 | 2016-09-28 | 攀时股份有限公司 | 层结构和其在高温燃料电池的连接体与阴极之间形成陶瓷层结构的用途 |
| JP5761211B2 (ja) | 2013-01-11 | 2015-08-12 | 株式会社デンソー | ペア温度センサ及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-12-10 JP JP34031397A patent/JP3362651B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7656269B2 (en) | 2005-04-11 | 2010-02-02 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sintered electroconductive oxide, thermister element using sintered electroconductive oxide, and temperature sensor using thermister element |
| US7633371B2 (en) | 2006-02-16 | 2009-12-15 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Thermistor element, thermistor element production method and thermistor temperature sensor |
| WO2009019833A1 (ja) | 2007-08-03 | 2009-02-12 | Mitsubishi Materials Corporation | サーミスタ用金属酸化物焼結体、サーミスタ素子及びサーミスタ温度センサ並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10321408A (ja) | 1998-12-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7056453B2 (en) | Thermistor device, thermistor device manufacturing method and temperature sensor | |
| JP3776691B2 (ja) | サーミスタ素子 | |
| EP1179825B1 (en) | Method of production of a reduction resistant thermistor and temperature sensor | |
| WO2006109792A1 (ja) | 導電性酸化物焼結体、導電性酸化物焼結体を用いたサーミスタ素子、及びサーミスタ素子を用いた温度センサ | |
| JP3362651B2 (ja) | サーミスタ素子およびその製造方法 | |
| EP1137016B1 (en) | Thermistor device | |
| JP4527347B2 (ja) | サーミスタ用焼結体 | |
| US6663794B2 (en) | Reducing-atmosphere-resistant thermistor element, production method thereof and temperature sensor | |
| EP0866472B1 (en) | Thermistor element and temperature sensor | |
| JP3362659B2 (ja) | サーミスタ素子およびその製造方法 | |
| JPH1187108A (ja) | 正特性半導体磁器の製造方法 | |
| JP3928244B2 (ja) | サーミスタ素子およびその製造方法 | |
| US6740261B1 (en) | Wide-range type thermistor element and method of producing the same | |
| US6261480B1 (en) | Wide-range type thermistor element and method of producing the same | |
| JP4307152B2 (ja) | サーミスタ素子用焼結体及びその製造方法、並びにサーミスタ素子、温度センサ | |
| JP2010025603A (ja) | 複合温度センサ素子、及びその製造方法 | |
| JP3034132B2 (ja) | ジルコニア固体電解質 | |
| JP2003119080A (ja) | セラミック素子の製造方法 | |
| JP3331447B2 (ja) | サーミスタ用磁器組成物の製造方法 | |
| JPH118103A (ja) | ワイドレンジ型サーミスタ素子 | |
| WO2004046061A1 (ja) | サーミスタ素子用焼結体及びその製造方法、並びにサーミスタ素子、温度センサ | |
| JP2000012308A (ja) | サ―ミスタ素子の製造方法 | |
| JPH07277822A (ja) | 圧電素子材料及びその製造方法 | |
| JP7389306B1 (ja) | 温度センサ素子および温度センサ | |
| JPS647030B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020924 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081025 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091025 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101025 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111025 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121025 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121025 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131025 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |