JP3324400B2 - 基板移送装置 - Google Patents
基板移送装置Info
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- JP3324400B2 JP3324400B2 JP19319196A JP19319196A JP3324400B2 JP 3324400 B2 JP3324400 B2 JP 3324400B2 JP 19319196 A JP19319196 A JP 19319196A JP 19319196 A JP19319196 A JP 19319196A JP 3324400 B2 JP3324400 B2 JP 3324400B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示パネル等の基
板を移送する基板移送装置に関するものである。
板を移送する基板移送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板には、液晶パネルのように、基板の
周囲に電子部品を実装するための電極群を有し、ガラス
などの傷付きやすい材料で構成されたものがある。
周囲に電子部品を実装するための電極群を有し、ガラス
などの傷付きやすい材料で構成されたものがある。
【０００３】このような基板を移送する基板移送装置
は、基板の下面中央付近を吸着して保持するようになっ
ており、基板は、基板の縁部が吸着部から外側へ張り出
し（オーバハング）た状態で保持される。
は、基板の下面中央付近を吸着して保持するようになっ
ており、基板は、基板の縁部が吸着部から外側へ張り出
し（オーバハング）た状態で保持される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一方、基板を移送する
際、何らかの原因によって、基板が本来接触してはなら
ない物体（以下異物という）に接触することがあり、異
物に接触したまま移送を継続すると、基板の破損を招い
てしまうので、基板の移送異常を検出する手段が求めら
れている。
際、何らかの原因によって、基板が本来接触してはなら
ない物体（以下異物という）に接触することがあり、異
物に接触したまま移送を継続すると、基板の破損を招い
てしまうので、基板の移送異常を検出する手段が求めら
れている。
【０００５】しかしながら、上述したような基板では、
基板そのものが、基板移送装置よりも外側にオーバハン
グしている。したがって、基板の外側に安全装置を設け
ることができず、このため、異物が、基板よりも先に安
全装置に接触し、安全装置が作動したら移送を停止する
という構成をとることができない。
基板そのものが、基板移送装置よりも外側にオーバハン
グしている。したがって、基板の外側に安全装置を設け
ることができず、このため、異物が、基板よりも先に安
全装置に接触し、安全装置が作動したら移送を停止する
という構成をとることができない。
【０００６】つまり、この種の基板について、移送異常
を検出するための対策は困難であり、実際上、ほとんど
実現できていない。
を検出するための対策は困難であり、実際上、ほとんど
実現できていない。
【０００７】そこで本発明は、オーバハングされた状態
で移送される基板を安全に移送できる基板移送装置を提
供することを目的とする。
で移送される基板を安全に移送できる基板移送装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板の下面を
オーバハングした状態で保持する基板移送装置であっ
て、先端部に基板の下面を保持する第１保持部を有する
アームと、前記アームの移動手段と、前記アームに対し
て相対移動可能に支持されて前記アームのさらに先端側
で前記基板の下面を保持する第２保持部と、前記第１保
持部と前記第２保持部によって保持された基板が異物に
接触したときに前記第２保持部が前記第１保持部に対し
て相対移動したことを検知するセンサを備えている。
オーバハングした状態で保持する基板移送装置であっ
て、先端部に基板の下面を保持する第１保持部を有する
アームと、前記アームの移動手段と、前記アームに対し
て相対移動可能に支持されて前記アームのさらに先端側
で前記基板の下面を保持する第２保持部と、前記第１保
持部と前記第２保持部によって保持された基板が異物に
接触したときに前記第２保持部が前記第１保持部に対し
て相対移動したことを検知するセンサを備えている。
【０００９】
【発明の実施の形態】請求項１記載の発明は、基板の下
面をオーバハングした状態で保持する基板移送装置であ
って、先端部に基板の下面を保持する第１保持部を有す
るアームと、前記アームの移動手段と、前記アームに対
して相対移動可能に支持されて前記アームのさらに先端
側で前記基板の下面を保持する第２保持部と、前記第１
保持部と前記第２保持部によって保持された基板が異物
に接触したときに前記第２保持部が前記第１保持部に対
して相対移動したことを検知するセンサを備えている。
面をオーバハングした状態で保持する基板移送装置であ
って、先端部に基板の下面を保持する第１保持部を有す
るアームと、前記アームの移動手段と、前記アームに対
して相対移動可能に支持されて前記アームのさらに先端
側で前記基板の下面を保持する第２保持部と、前記第１
保持部と前記第２保持部によって保持された基板が異物
に接触したときに前記第２保持部が前記第１保持部に対
して相対移動したことを検知するセンサを備えている。
【００１０】したがって、異物があると、まず、外側に
張り出している基板に異物が接触する。そして、さらに
異物の方へ基板が移動すると、アームと基板とに若干の
ずれが発生し、アームと保持部との間にわずかな相対移
動が生ずる。これをセンサで検知して、異物への接触を
知るものである。
張り出している基板に異物が接触する。そして、さらに
異物の方へ基板が移動すると、アームと基板とに若干の
ずれが発生し、アームと保持部との間にわずかな相対移
動が生ずる。これをセンサで検知して、異物への接触を
知るものである。
【００１１】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る基板移送装置の斜視図である。図１において、１はア
ーム、２はアーム１の先端部に設けられ、基板Ｐの下面
の一部をスライド可能に保持する第１保持部である。そ
して、第１保持部２のさらに先端側には、基板Ｐの下面
の他部をしっかり吸着保持する第２保持部３が、アーム
１の長手方向に移動可能に取付けられている。この支持
構造は、後に詳述する。
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る基板移送装置の斜視図である。図１において、１はア
ーム、２はアーム１の先端部に設けられ、基板Ｐの下面
の一部をスライド可能に保持する第１保持部である。そ
して、第１保持部２のさらに先端側には、基板Ｐの下面
の他部をしっかり吸着保持する第２保持部３が、アーム
１の長手方向に移動可能に取付けられている。この支持
構造は、後に詳述する。
【００１２】また、４はアーム１の基端部に作用し、ア
ーム１を移動させる移動手段である。このうち、５はア
ーム１の基端部下面が固定されるブロック、６はブロッ
ク５をアーム１の長手方向に直線移動させるシリンダ、
７は台部８上に設けられ、シリンダ６をθ方向に回転さ
せるθテーブルである。
ーム１を移動させる移動手段である。このうち、５はア
ーム１の基端部下面が固定されるブロック、６はブロッ
ク５をアーム１の長手方向に直線移動させるシリンダ、
７は台部８上に設けられ、シリンダ６をθ方向に回転さ
せるθテーブルである。
【００１３】そして、θテーブル７、シリンダ６を駆動
することにより、アーム１をθ方向に回転させたり、矢
印Ｎ１あるいはＮ２方向に出退させ、基板移送装置に隣
接する部品実装装置１０とマガジン９との間において、
基板Ｐを移送できるようになっている。
することにより、アーム１をθ方向に回転させたり、矢
印Ｎ１あるいはＮ２方向に出退させ、基板移送装置に隣
接する部品実装装置１０とマガジン９との間において、
基板Ｐを移送できるようになっている。
【００１４】次に図２、図３を用いて、アーム１の先端
部の詳細を説明する。上方から見ると、図２のように、
第１保持部２及び第２保持部３には、上方に開口する吸
着孔ｈが開設されている。そして、第１保持部２におけ
る吸着孔ｈの吸着力は弱く、第２保持部３における吸着
孔ｈの吸着力は強く設定されている。これにより、第１
保持部２によって基板Ｐの下面の一部がスライド可能に
保持され、第２保持部３によって同下面の他部がしっか
り吸着保持されるものである。なお基板Ｐを保持すべく
第２保持部３の上面にはゴム膜３ａが装着されている。
部の詳細を説明する。上方から見ると、図２のように、
第１保持部２及び第２保持部３には、上方に開口する吸
着孔ｈが開設されている。そして、第１保持部２におけ
る吸着孔ｈの吸着力は弱く、第２保持部３における吸着
孔ｈの吸着力は強く設定されている。これにより、第１
保持部２によって基板Ｐの下面の一部がスライド可能に
保持され、第２保持部３によって同下面の他部がしっか
り吸着保持されるものである。なお基板Ｐを保持すべく
第２保持部３の上面にはゴム膜３ａが装着されている。
【００１５】また図３（ａ）では、基板Ｐが異物Ｘに接
触せず正常な状態を示している。１１はアーム１の下部
にアーム１の長手方向に沿って固定されたガイドレー
ル、１２は第２保持部３の下面からアーム１の基端部側
へ向けて水平に延設されるプレートであり、プレート１
２に設けられたスライダ１３は、ガイドレール１１にス
ライド自在に係合している。またアーム１とプレート１
２とには、スプリング１４が介装されている。
触せず正常な状態を示している。１１はアーム１の下部
にアーム１の長手方向に沿って固定されたガイドレー
ル、１２は第２保持部３の下面からアーム１の基端部側
へ向けて水平に延設されるプレートであり、プレート１
２に設けられたスライダ１３は、ガイドレール１１にス
ライド自在に係合している。またアーム１とプレート１
２とには、スプリング１４が介装されている。
【００１６】そして、プレート１２の後部には、光透過
型のセンサ１５が設けてある。またプレート１２の先端
部１２ａは、センサ１５に臨んでいるが、正常状態では
この先端部１２ａはセンサ１５を遮光しない位置にあ
る。
型のセンサ１５が設けてある。またプレート１２の先端
部１２ａは、センサ１５に臨んでいるが、正常状態では
この先端部１２ａはセンサ１５を遮光しない位置にあ
る。
【００１７】そして、図３（ｂ）に示すように、基板Ｐ
の移送中に、基板Ｐが異物Ｘに接触したとすると、基板
Ｐは第１保持部２に対しわずかなずれを生じ、その結
果、第１保持部２と第２保持部３とにわずかな相対移動
が生ずる。
の移送中に、基板Ｐが異物Ｘに接触したとすると、基板
Ｐは第１保持部２に対しわずかなずれを生じ、その結
果、第１保持部２と第２保持部３とにわずかな相対移動
が生ずる。
【００１８】このとき、プレート１２の先端部１２ａが
小距離移動してセンサ１５を遮光し、異常が検出され
る。異常が検出されると、移動手段４は直ちに停止し、
異常を発生した旨作業者に報知される。
小距離移動してセンサ１５を遮光し、異常が検出され
る。異常が検出されると、移動手段４は直ちに停止し、
異常を発生した旨作業者に報知される。
【００１９】
【発明の効果】本発明の基板移送装置によれば、基板を
オーバハングして移送していても、移送の異常を検知で
き、安全な移送を行うことができる。
オーバハングして移送していても、移送の異常を検知で
き、安全な移送を行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態における基板移送装置の
斜視図
斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における基板移送装置の
一部平面図
一部平面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態における基板移送
装置の動作説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態における基板移送装置の動
作説明図
装置の動作説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態における基板移送装置の動
作説明図
１ アーム ３ 第２保持部 １５ センサ Ｐ 基板
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 13/00 - 13/04 B65G 49/06 - 49/07 B25J 15/00 - 15/12
Claims (2)
- 【請求項１】基板の下面をオーバハングした状態で保持
する基板移送装置であって、先端部に基板の下面を保持
する第１保持部を有するアームと、前記アームの移動手
段と、前記アームに対して相対移動可能に支持されて前
記アームのさらに先端側で前記基板の下面を保持する第
２保持部と、前記第１保持部と前記第２保持部によって
保持された基板が異物に接触したときに前記第２保持部
が前記第１保持部に対して相対移動したことを検知する
センサを備えたことを特徴とする基板移送装置。 - 【請求項２】前記第２保持部には、基板の下面を吸着す
る吸着孔が設けられていることを特徴とする請求項１記
載の基板移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19319196A JP3324400B2 (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | 基板移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19319196A JP3324400B2 (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | 基板移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1041692A JPH1041692A (ja) | 1998-02-13 |
| JP3324400B2 true JP3324400B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=16303827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19319196A Expired - Fee Related JP3324400B2 (ja) | 1996-07-23 | 1996-07-23 | 基板移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3324400B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5329277B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2013-10-30 | Ｊｕｋｉ株式会社 | 段積スティックフィーダの電子素子供給装置 |
-
1996
- 1996-07-23 JP JP19319196A patent/JP3324400B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1041692A (ja) | 1998-02-13 |
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| Date | Code | Title | Description |
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