JP3320772B2 - 超電導マグネット装置の運転方法 - Google Patents
超電導マグネット装置の運転方法Info
- Publication number
- JP3320772B2 JP3320772B2 JP14226692A JP14226692A JP3320772B2 JP 3320772 B2 JP3320772 B2 JP 3320772B2 JP 14226692 A JP14226692 A JP 14226692A JP 14226692 A JP14226692 A JP 14226692A JP 3320772 B2 JP3320772 B2 JP 3320772B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- helium
- refrigerator
- container
- pressure
- internal pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 60
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 60
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 2
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-BJUDXGSMSA-N helium-3 atom Chemical compound [3He] SWQJXJOGLNCZEY-BJUDXGSMSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
- Superconductive Dynamoelectric Machines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＭＲＩ装置、磁気浮上装
置等に用いられる超電導マグネット装置の運転方法に関
する。
置等に用いられる超電導マグネット装置の運転方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ＭＲＩ装置や磁気浮上装置には４Ｋ冷凍
機を搭載した超電導マグネット装置が用いられる。
機を搭載した超電導マグネット装置が用いられる。
【０００３】図４はこのような超電導マグネット装置の
断面図である。この４Ｋ冷凍機を搭載した超電導マグネ
ット装置は、超電導コイル１と液体ヘリウム２を収納す
るヘリウム容器３と、ヘリウム容器３を包囲する輻射シ
ールド４、真空容器５と、ヘリウム容器３内に一部挿入
された冷凍機ユニット６ａおよびこの冷凍機ユニット６
ａに冷却ガスを供給する圧縮機ユニット６ｂにより構成
される。冷凍機ユニット６ａと圧縮機ユニット６ｂを合
わせて４Ｋ冷凍機６と呼ばれている。ヘリウム容器３内
に挿入された冷凍機ユニット６ａの先端に凝縮器６８が
あり、４Ｋ冷凍機６の運転により凝縮器６８は極低温
（４．０ Ｋ〜４．５ Ｋ）に冷却され、液体ヘリウム
２の蒸発ガスを凝縮し、液体ヘリウム２の消費量（蒸発
量）を低い値に低減している。
断面図である。この４Ｋ冷凍機を搭載した超電導マグネ
ット装置は、超電導コイル１と液体ヘリウム２を収納す
るヘリウム容器３と、ヘリウム容器３を包囲する輻射シ
ールド４、真空容器５と、ヘリウム容器３内に一部挿入
された冷凍機ユニット６ａおよびこの冷凍機ユニット６
ａに冷却ガスを供給する圧縮機ユニット６ｂにより構成
される。冷凍機ユニット６ａと圧縮機ユニット６ｂを合
わせて４Ｋ冷凍機６と呼ばれている。ヘリウム容器３内
に挿入された冷凍機ユニット６ａの先端に凝縮器６８が
あり、４Ｋ冷凍機６の運転により凝縮器６８は極低温
（４．０ Ｋ〜４．５ Ｋ）に冷却され、液体ヘリウム
２の蒸発ガスを凝縮し、液体ヘリウム２の消費量（蒸発
量）を低い値に低減している。
【０００４】４Ｋ冷凍機の概略構成を図５に示す。図５
において冷凍機ユニット６ａの一部を成す予冷機６２は
圧縮機ユニット６ｂ内の予冷機圧縮機６１の運転により
１段ステージ６２ａおよび２段ステージ６２ｂが冷却さ
れ、定常時各々８０Ｋ以下および２０Ｋ以下に保持され
る。次にＪＴ回路圧縮機６３が運転すると冷媒（ヘリウ
ムガス）が図の矢印の如く流れ、第１熱交６４を通り、
予冷機の１段ステージ６２ａで冷却され、第２熱交６５
を通り、２段ステージ６２ｂでさらに冷却され第３熱交
６６を介し、ＪＴ弁６７で断熱膨張し、定常時は４．０
〜４．３ Ｋの温度になり、凝縮器６８でヘリウム容
器３内のヘリウムガスを凝縮し、第３，２，１の各熱交
で熱交換しＪＴ回路圧縮機６３に戻る。起動時は第１，
２，３熱交および配管部が温まっているので凝縮器は高
い温度状態になる。
において冷凍機ユニット６ａの一部を成す予冷機６２は
圧縮機ユニット６ｂ内の予冷機圧縮機６１の運転により
１段ステージ６２ａおよび２段ステージ６２ｂが冷却さ
れ、定常時各々８０Ｋ以下および２０Ｋ以下に保持され
る。次にＪＴ回路圧縮機６３が運転すると冷媒（ヘリウ
ムガス）が図の矢印の如く流れ、第１熱交６４を通り、
予冷機の１段ステージ６２ａで冷却され、第２熱交６５
を通り、２段ステージ６２ｂでさらに冷却され第３熱交
６６を介し、ＪＴ弁６７で断熱膨張し、定常時は４．０
〜４．３ Ｋの温度になり、凝縮器６８でヘリウム容
器３内のヘリウムガスを凝縮し、第３，２，１の各熱交
で熱交換しＪＴ回路圧縮機６３に戻る。起動時は第１，
２，３熱交および配管部が温まっているので凝縮器は高
い温度状態になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで４Ｋ冷凍機６
が停止した場合、冷凍機ユニット６ａの内部は温まって
いて、運転を再開すると凝縮器６８は高温（１００ 〜
１５０ Ｋ）に達し、ヘリウム容器３の内部へ多量の熱
量を与え、ヘリウム容器内圧の急激な上昇および超電導
コイル１のクエンチ（常電導転移）を発生することがあ
る。この結果、超電導マグネット装置としての機能を喪
失することになる。
が停止した場合、冷凍機ユニット６ａの内部は温まって
いて、運転を再開すると凝縮器６８は高温（１００ 〜
１５０ Ｋ）に達し、ヘリウム容器３の内部へ多量の熱
量を与え、ヘリウム容器内圧の急激な上昇および超電導
コイル１のクエンチ（常電導転移）を発生することがあ
る。この結果、超電導マグネット装置としての機能を喪
失することになる。
【０００６】本発明は４Ｋ冷凍機を起動する際に生ずる
ヘリウム容器内圧の急激な上昇および超電導コイルのク
エンチの発生を防止した超電導マグネット装置の運転方
法を提供することを目的とする。
ヘリウム容器内圧の急激な上昇および超電導コイルのク
エンチの発生を防止した超電導マグネット装置の運転方
法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の超電導マグネッ
ト装置の運転方法は、ヘリウム容器内圧を検知する圧力
センサーとヘリウム容器内のヘリウムガスを放出する電
磁弁を設けた超電導マグネット装置において、４Ｋ冷凍
機のＪＴ回路圧縮機の運転開始をヘリウム容器内圧の上
位設定値以上とし、ＪＴ回路圧縮機の運転開始と同時に
ヘリウムガス放出用電磁弁を開放し、ヘリウム容器内圧
の下位設定圧力以下でヘリウムガス放出用電磁弁を閉止
する構成とする。
ト装置の運転方法は、ヘリウム容器内圧を検知する圧力
センサーとヘリウム容器内のヘリウムガスを放出する電
磁弁を設けた超電導マグネット装置において、４Ｋ冷凍
機のＪＴ回路圧縮機の運転開始をヘリウム容器内圧の上
位設定値以上とし、ＪＴ回路圧縮機の運転開始と同時に
ヘリウムガス放出用電磁弁を開放し、ヘリウム容器内圧
の下位設定圧力以下でヘリウムガス放出用電磁弁を閉止
する構成とする。
【０００８】
【作用】このような構成にすると、冷凍機始動時にはヘ
リウムガス流によって冷凍端の凝縮器が冷却されるの
で、ヘリウム容器内へ侵入する熱量を低減し、ヘリウム
容器内圧の急激な上昇および超電導コイルのクエンチの
発生を防止することができる。
リウムガス流によって冷凍端の凝縮器が冷却されるの
で、ヘリウム容器内へ侵入する熱量を低減し、ヘリウム
容器内圧の急激な上昇および超電導コイルのクエンチの
発生を防止することができる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例に使用される超電導マグネ
ット装置を図１に示す。この図は４Ｋ冷凍機を搭載した
超電導マグネット装置の断面図である。図１において、
超電導コイル１と液体ヘリウム２を収納したヘリウム容
器３と、ヘリウム容器３を包囲する輻射シールド４およ
び真空容器５と、冷凍機ユニット６ａ、圧縮機ユニット
６ｂから成る４Ｋ冷凍機６から構成される部分は従来と
同じである。本実施例においてはヘリウム容器３の内圧
を検知し圧力信号が取り出せる圧力センサー７と、液体
ヘリウム２の蒸発したヘリウムガスを大気へ放出する電
磁弁８を設ける。圧力センサー７と電磁弁８は制御器９
に電気的に接続する。制御器９は圧力センサー７による
信号で圧縮機ユニット６ｂを運転制御すると共に、電磁
弁８を開閉する。
ット装置を図１に示す。この図は４Ｋ冷凍機を搭載した
超電導マグネット装置の断面図である。図１において、
超電導コイル１と液体ヘリウム２を収納したヘリウム容
器３と、ヘリウム容器３を包囲する輻射シールド４およ
び真空容器５と、冷凍機ユニット６ａ、圧縮機ユニット
６ｂから成る４Ｋ冷凍機６から構成される部分は従来と
同じである。本実施例においてはヘリウム容器３の内圧
を検知し圧力信号が取り出せる圧力センサー７と、液体
ヘリウム２の蒸発したヘリウムガスを大気へ放出する電
磁弁８を設ける。圧力センサー７と電磁弁８は制御器９
に電気的に接続する。制御器９は圧力センサー７による
信号で圧縮機ユニット６ｂを運転制御すると共に、電磁
弁８を開閉する。
【００１０】図２に本実施例の超電導マグネット装置の
運転パターンを示す。この図において、４Ｋ冷凍機６は
停止状態にあり、電源投入（この場合、停電状態から復
電された場合も含む）と同時に予冷機６２が運転し、予
冷機６２の１段ステージ６２ａ、２段ステージ６２ｂは
冷却され、定常温度になるまでの時間Ｔ１ 以上運転し
続ける。ＪＴ回路圧縮機６３は、ヘリウム容器３内圧の
上位設定圧力（ＰＨ）以上で運転すると共に、電磁弁８
を開放し、ヘリウム容器内ヘリウムガスを大気へ放出す
る。磁圧内圧が降下して下位設定圧力（ＰＬ ）以下で
電磁弁を閉止し、ヘリウムガスの題記放出を停止する。
その後はヘリウム容器内圧の変化に関係なく、その状態
で運転を続行する。なお、前記上位及び下位設定圧力
は、４Ｋ冷凍機の性能、ヘリウム容器の容積、液体ヘリ
ウム貯液量、電磁弁の流量等により決定される。
運転パターンを示す。この図において、４Ｋ冷凍機６は
停止状態にあり、電源投入（この場合、停電状態から復
電された場合も含む）と同時に予冷機６２が運転し、予
冷機６２の１段ステージ６２ａ、２段ステージ６２ｂは
冷却され、定常温度になるまでの時間Ｔ１ 以上運転し
続ける。ＪＴ回路圧縮機６３は、ヘリウム容器３内圧の
上位設定圧力（ＰＨ）以上で運転すると共に、電磁弁８
を開放し、ヘリウム容器内ヘリウムガスを大気へ放出す
る。磁圧内圧が降下して下位設定圧力（ＰＬ ）以下で
電磁弁を閉止し、ヘリウムガスの題記放出を停止する。
その後はヘリウム容器内圧の変化に関係なく、その状態
で運転を続行する。なお、前記上位及び下位設定圧力
は、４Ｋ冷凍機の性能、ヘリウム容器の容積、液体ヘリ
ウム貯液量、電磁弁の流量等により決定される。
【００１１】本実施例の構成と運転パターンをとること
により、以下の作用効果を得る。４Ｋ冷凍機６の停止状
態では前述の如く冷凍機ユニット６ａ内の各熱交および
配管が定常状態より高温になっているため、ＪＴ回路圧
縮機６３を運転すると高温の冷媒（ヘリウムガス）が流
れ、凝縮器６８が高温（１００ Ｋ〜１５０ Ｋ）にな
るが、電磁弁８が開放し、液体ヘリウム２から蒸発した
極低温のヘリウムガスが、凝縮器６８を冷却しながら大
気へ放出する。このためヘリウム容器３内への熱侵入は
軽減され、ヘリウム容器内圧の急激な上昇を防止できる
と共に超電導コイル１のクエンチ発生の危険性も無くす
ることができる。 （他の実施例）
により、以下の作用効果を得る。４Ｋ冷凍機６の停止状
態では前述の如く冷凍機ユニット６ａ内の各熱交および
配管が定常状態より高温になっているため、ＪＴ回路圧
縮機６３を運転すると高温の冷媒（ヘリウムガス）が流
れ、凝縮器６８が高温（１００ Ｋ〜１５０ Ｋ）にな
るが、電磁弁８が開放し、液体ヘリウム２から蒸発した
極低温のヘリウムガスが、凝縮器６８を冷却しながら大
気へ放出する。このためヘリウム容器３内への熱侵入は
軽減され、ヘリウム容器内圧の急激な上昇を防止できる
と共に超電導コイル１のクエンチ発生の危険性も無くす
ることができる。 （他の実施例）
【００１２】他の実施例を図３に示す。この図は他の運
転パターンを示すもので、予冷機６２の運転開始をヘリ
ウム容器内圧の上位設定圧力（ＰＨ ）以上とし、その
後設定時間（Ｔ１ ）経過後ＪＴ回路圧縮機６３が運転
開始すると同時に電磁弁８を開放して、凝縮器６８を冷
却し、下位設定圧力（ＰＬ ）以下で電磁弁８を閉止し
定常運転にするものである。
転パターンを示すもので、予冷機６２の運転開始をヘリ
ウム容器内圧の上位設定圧力（ＰＨ ）以上とし、その
後設定時間（Ｔ１ ）経過後ＪＴ回路圧縮機６３が運転
開始すると同時に電磁弁８を開放して、凝縮器６８を冷
却し、下位設定圧力（ＰＬ ）以下で電磁弁８を閉止し
定常運転にするものである。
【００１３】この実施例によれば、前述の効果を得る他
に、ヘリウム容器３に取付いている各部分、例えば安全
弁、破裂板、各種計測ポート、等のシール部に洩れがあ
った場合に検知しやすい利点がある。すなわち洩れがあ
って上位設定圧力（ＰＨ ）以上にならない場合４Ｋ冷
凍機６は運転開始しないので、異常が検知しやすく、大
気混入によるヘリウム容器３内の凍結を未然に防ぐこと
ができる。
に、ヘリウム容器３に取付いている各部分、例えば安全
弁、破裂板、各種計測ポート、等のシール部に洩れがあ
った場合に検知しやすい利点がある。すなわち洩れがあ
って上位設定圧力（ＰＨ ）以上にならない場合４Ｋ冷
凍機６は運転開始しないので、異常が検知しやすく、大
気混入によるヘリウム容器３内の凍結を未然に防ぐこと
ができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明により次の効果を得る。４Ｋ冷凍
機起動時の超電導コイルのクエンチ発生の危険性を無く
することができる。
機起動時の超電導コイルのクエンチ発生の危険性を無く
することができる。
【００１５】４Ｋ冷凍機起動時のヘリウム容器内圧の急
激な圧力上昇を軽減し、機器の安全性を増すと共に、熱
侵入量を低減するため、液体ヘリウムの消費量（蒸発
量）を低減するから運転費の低減になる。長時間の停電
等があった場合でも、自動復帰が可能となり、人件費の
節約になる。
激な圧力上昇を軽減し、機器の安全性を増すと共に、熱
侵入量を低減するため、液体ヘリウムの消費量（蒸発
量）を低減するから運転費の低減になる。長時間の停電
等があった場合でも、自動復帰が可能となり、人件費の
節約になる。
【図１】本発明の実施例に使用される超電導マグネット
装置を示す断面図。
装置を示す断面図。
【図２】上記実施例の運転パターン図。
【図３】運転パターンの他の例を示す図。
【図４】従来の装置を示す断面図。
【図５】４Ｋ冷凍機の概略構成図。
１…超電導コイル ２…液体ヘリウム ３…ヘリウム容器 ４…輻射シールド ５…真空容器 ６…４Ｋ冷凍機 ６ａ…冷凍機ユニット ６ｂ…圧縮機ユニット ７…圧力センサー ８…電磁弁 ９…制御器 ６２…予冷機
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−73390（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−116190（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−96304（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−278803（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 39/02 - 39/04 H01L 39/14 - 39/16 H01L 39/20
Claims (2)
- 【請求項１】 超電導コイルと液体ヘリウムを収容する
ヘリウム容器内のヘリウムガスを凝縮する４Ｋ冷凍機
と、ヘリウム容器の内圧を検知する圧力センサーと、ヘ
リウム容器内部のヘリウムガスを放出する電磁弁を備え
た超電導マグネット装置において、４Ｋ冷凍機の予冷機
は電源と同時に運転開始し、４Ｋ冷凍機のＪＴ回路圧縮
機の運転開始を、ヘリウム容器内圧の上位設定圧力以上
で、かつ、予冷機運転開始から所定の時間以上経過後と
し、ＪＴ回路圧縮機の運転開始と同時にヘリウムガス放
出用電磁弁を開放し、ヘリウム容器内圧の下位設定圧力
以下でヘリウムガス放出用電磁弁を閉止するようにした
ことを特徴とする超電導マグネット装置の運転方法。 - 【請求項２】 ４Ｋ冷凍機の予冷機運転開始を、ヘリウ
ム容器内圧の上位設定圧力以上の場合とし、ＪＴ回路圧
縮機の運転開始と同時にヘリウムガス放出用電磁弁を開
放し、ヘリウム容器内圧の下位設定圧力以下でヘリウム
ガス放出用電磁弁を閉止するようにしたことを特徴とす
る請求項１記載の超電導マグネット装置の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14226692A JP3320772B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 超電導マグネット装置の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14226692A JP3320772B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 超電導マグネット装置の運転方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05335636A JPH05335636A (ja) | 1993-12-17 |
| JP3320772B2 true JP3320772B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=15311353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14226692A Expired - Fee Related JP3320772B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 超電導マグネット装置の運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3320772B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6415613B1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-07-09 | General Electric Company | Cryogenic cooling system with cooldown and normal modes of operation |
| JP2007221931A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Toshiba Corp | 超電導限流器 |
| GB2460023B (en) * | 2008-05-12 | 2010-11-17 | Siemens Magnet Technology Ltd | Control of egress of gas from a cryogen vessel |
| GB2460022B (en) | 2008-05-12 | 2010-04-07 | Siemens Magnet Technology Ltd | Passive overpressure and underpressure protection for a cryogen vessel |
| CN114783717A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-07-22 | 山东奥新医疗科技有限公司 | 一种磁共振系统及其超导磁体的失超保护装置 |
-
1992
- 1992-06-03 JP JP14226692A patent/JP3320772B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05335636A (ja) | 1993-12-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3320772B2 (ja) | 超電導マグネット装置の運転方法 | |
| JP2977168B2 (ja) | 超電導マグネット装置 | |
| JP3244043B2 (ja) | 超伝導マグネット冷却装置 | |
| JPH07294073A (ja) | 冷凍装置 | |
| JP4917291B2 (ja) | クライオスタット | |
| JPH07305903A (ja) | 冷凍装置の制御装置 | |
| JPH04263746A (ja) | 冷凍装置 | |
| JP2000266416A (ja) | 極低温冷凍装置 | |
| JP2747348B2 (ja) | 吸収式冷温水機の制御装置 | |
| JPH06188465A (ja) | 超伝導デバイスの磁束トラップ解除方法および装置 | |
| JPH09106909A (ja) | 伝導冷却式超電導磁石 | |
| JP3855680B2 (ja) | 冷凍装置 | |
| JPS59117281A (ja) | 超電導装置 | |
| JPS6138363A (ja) | ヘリウム冷凍装置 | |
| JPS5835979Y2 (ja) | レイキヤクソウチ | |
| JP2837096B2 (ja) | 極低温冷凍液化装置 | |
| JPH05172924A (ja) | クライオスタット用侵入熱測定装置 | |
| KR19990041249U (ko) | 반도체 제조장비용 냉각 장치 | |
| JPH04257659A (ja) | ターボ冷凍機の容量制御装置 | |
| CN118412589A (zh) | 水冷机组控制方法和储能系统 | |
| JPS5974465A (ja) | カスケ−ド式冷凍装置 | |
| JPH09106906A (ja) | 伝導冷却式超電導磁石 | |
| JPS63178570A (ja) | 極低温容器 | |
| JPH06331253A (ja) | 超電導冷却装置 | |
| JPS6170346A (ja) | 極低温冷却装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090621 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090621 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100621 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100621 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110621 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |