JP3308819B2 - Icパッケージの搬送装置、その搬送装置を用いるicパッケージの分離方法と位置決め方法およびその搬送装置を用いるicパッケージの供給位置決め装置 - Google Patents

Icパッケージの搬送装置、その搬送装置を用いるicパッケージの分離方法と位置決め方法およびその搬送装置を用いるicパッケージの供給位置決め装置

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JP3308819B2 JP19493596A JP19493596A JP3308819B2 JP 3308819 B2 JP3308819 B2 JP 3308819B2 JP 19493596 A JP19493596 A JP 19493596A JP 19493596 A JP19493596 A JP 19493596A JP 3308819 B2 JP3308819 B2 JP 3308819B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
おけるICパッケージの搬送・分離・位置決めを行うこ
とを目的としたICパッケージの搬送装置、その搬送装
置を用いる分離方法と位置決め方法およびその搬送装置
を用いるICパッケージの供給位置決め装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】製造後のICパッケージの試験・測定を
行うためには、連続して搬送されるICパッケージを分
離して搬送するためのいわゆるICハンドリング装置が
必要であり、従来、図3や図4に示すICハンドリング
装置が考案されている。
【0003】例えば、図3に示すICハンドリング装置
31では、傾斜した架台32上に形成された搬送レール
33に沿って、連続的に搬送されてくるICパッケージ
34a、b、c、…(以下、総称するときは単にICパ
ッケージ34とのみ記す)の先頭に位置するICパッケ
ージ34aを、第1のストッパーピン35により係止
し、このICパッケージ34aより1つ上流側のICパ
ッケージ34bを、第2のストッパーピン36により押
圧して保持する構成となっている。上記において、第1
のストッパーピン35が先頭のICパッケージ34aの
係止を解除すると、このICパッケージ34aは、搬送
レール33に沿って滑降することになるが、ICパッケ
ージ34a以降上流側に位置するICパッケージ34
は、第2のストッパーピン36によるICパッケージ3
4bの保持によって停止させられているので、ICパッ
ケージ34からICパッケージ34aのみを分離するこ
とが可能となる。
【0004】そして、再び第1のストッパーピン35を
係止位置に変位させると共に、第2のストッパーピン3
6によるICパッケージ34bの押圧を解除すると、I
Cパッケージ34全体が1個ずつ順送りされて、ICパ
ッケージ34bが第1のストッパーピン35に当接して
係止され、第2のストッパーピン36の下方にICパッ
ケージ34bの1つ上流側のICパッケージ34cが位
置する。このICパッケージ34cを第2のストッパー
ピン36によって押圧保持させれば、当初の状態に戻
る。以上の動作を繰り返すことにより、ICパッケージ
34を一個ずつに分離することができる。また、分離し
たICパッケージ34を滑降途中に位置決めするため
に、第3のストッパーピン37が設けられており、第1
のストッパーピン36による係止が解除された時点で、
第3のストッパーピン37を係止位置に変位させておく
ことによりICパッケージ34の係止を行っていた。
【0005】一方、図4に示すように、上記第2のスト
ッパーピン36のかわりに、回動可能なローラ40を使
用してICパッケージ34bを押圧し、ICパッケージ
34の分離を行うものもある。上記のようなICハンド
リング装置が、それぞれ特開平3-278556号公報や特開平
3-187237号公報等に開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のICハンドリング装置31における分離を実現
する機構には、次のような問題点があった。まず、搬送
レール33上における搬送は、基本的に重力によって行
われるため、搬送速度を制御することができないもので
あり、異なる大きさや重さを有するICパッケージ34
を搬送させる場合には、ストッパーピンの位置を設定し
なおす必要があったり、ストッパーピンの作動・解除の
タイミングを設定することが面倒であった。
【0007】また、例えば、前者のICハンドリング装
置31では、連続して供給されるICパッケージ34を
分離する際に、各ICパッケージ34の上面を第2のス
トッパーピン36により押圧しているため、ICパッケ
ージ34の強度によっては、ICパッケージ34の表面
にキズをつけたり、ICパッケージ34の内部を破損さ
せたりして、歩留まりを悪化させるなどの問題もある。
また、後者のように、上記第2のストッパーピン36の
代わりにローラ40を用いる場合には、ICパッケージ
34の分離の際に、ICパッケージ34がローラ40に
噛み込まず、詰まってしまう等の問題があった。
【0008】さらに、両者に共通する問題点として、I
Cパッケージ34の位置決めを第3のストッパーピン3
7によって係止させることにより行っているが、この場
合、分離された滑降途中のICパッケージ34が第3の
ストッパーピン37に跳ね返ってしまうため、停止する
までに時間を要し、高速に位置決めを行い、連続的に搬
送することが難かしい点が挙げられる。もちろん、高速
作動させようとすると、ICパッケージ34に加わる衝
撃も大きくなってしまうので、やはり、歩留まりの悪化
という問題が生じる。
【0009】本発明の目的は、分離・搬送中に、ICパ
ッケージに損傷を与えにくく、かつ、高速搬送が可能な
ICパッケージの搬送装置、その搬送装置を用いるIC
パッケージの分離方法と位置決め方法およびその搬送装
置を用いるICパッケージの供給位置決め装置を提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係るI
Cパッケージの搬送装置は、上記の課題を解決するため
に、傾斜した搬送レール上に、重力加速度が作用し得る
方向を搬送方向として、ICパッケージを搬送するIC
パッケージの搬送装置において、ICパッケージの搬送
方向に回転駆動される押圧面を有するとともに、その駆
動速度および駆動・停止が任意に制御可能な送出部材
と、上記押圧面を搬送レールに対して付勢する付勢手段
、上記送出部材の途中に形成された位置決め部とが設
けられており、上記搬送レールと送出部材の押圧面との
間にICパッケージを挟持しながら搬送すると共に、上
記送出部材は、上記ICパッケージが上記搬送レール上
に設定された上記位置決め部の停止位置に移動してきた
時点で、上記押圧面の駆動を停止することを特徴として
いる。上記の構成により、ICパッケージは回転駆動さ
れる押圧面によって駆動されるが、回転駆動時の駆動速
度および駆動・停止が任意に制御できるため、ICパッ
ケージの搬送速度の設定や駆動・停止のタイミングの設
定が自在に可能で、搬送させるICパッケージの変更に
伴う設定が容易に行えるようになる。
【0011】また、異なるICパッケージを搬送させた
り、検査において、異なる位置を検査する等の理由で、
位置決め部の位置を変更する必要があっても容易に対応
でき、任意の位置で停止させることができる。また、停
止の際に、ICパッケージにダメージをほとんど与える
ことがないので、迅速な位置決めと同時に高速な搬送も
行えるようになる。
【0012】請求項2の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、上記の課題を解決するために、請求項1の構
成に加えて、上記送出部材として、駆動可能に張設され
たベルト状部材が設けられ、ICパッケージの押圧が上
記ベルト状部材によって行われることを特徴としてい
る。上記の構成により、ICパッケージはベルト状部材
によって、面圧が分散された状態で搬送レールへの押圧
がなされるため、上記押圧がICパッケージにダメージ
を与える可能性が低くなり、ICパッケージの分離供給
装置における歩留りの低下を防止することができる。
【0013】請求項3の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、上記の課題を解決するために、請求項2の構
成に加えて、上記ベルト状部材がモータにより駆動され
るものであって、ベルト状部材を支持する支持アーム
は、該支持アームが支持するベルト状部材に上記モータ
の回転を伝達するとともにモータの回転軸に対して回転
自在とされたリンクの一端に回転自在に取り付けられて
いることを特徴としている。上記の構成のように、モー
タで駆動することにより、ベルト状部材の駆動・停止の
制御が容易に行える一方、支持アームは、付勢手段によ
って搬送レールに対するICパッケージの押圧状態を保
持しながら、リンクによって搬送レールとの距離を自在
に変えることが可能となる。したがって、ICパッケー
ジの厚みがばらつく場合や、厚みの異なるICパッケー
ジへの対応も容易で、駆動に伴うICパッケージのベル
ト状部材への誘い込みと搬送を安定して行えるようにな
る。
【0014】請求項4の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、上記課題を解決するために、請求項1、2ま
たは3記載の構成に加えて、上記送出部材は、上記停止
位置での上記ICパッケージの外観検査が行われた後、
上記押圧面を再び駆動することを特徴としている。これ
により、ICパッケージをICパッケージの搬送装置か
ら排出できる。
【0015】請求項5の発明に係るICパッケージの分
離方法は、上記の課題を解決するために、請求項1ない
し3のいずれか1項に記載のICパッケージの搬送装置
を用いて、搬送方向先頭側に位置するICパッケージが
押圧面による挟持から解除されたときに、送出部材の駆
動を一時停止させることを特徴としている。上記の方法
において、請求項1ないし3に記載のICパッケージの
搬送装置は、駆動の停止が任意に行えるため、搬送装置
の搬送方向下流側において、送出部材の押圧面から先頭
のICパッケージが離れたときに、送出部材の駆動を一
時停止させることにより、2番目のICパッケージは送
出部材によって挟持された状態で停止することになる
が、先頭のICパッケージは、送出部材の回転による推
進力と自重とにより、搬送方向に滑降することになり、
ICパッケージが連続的に供給されている場合でも確実
にICパッケージを分離することができる。また、この
分離は送出部材の駆動・停止のみによって制御できるた
め送出部材の制御を簡単にすることができる。
【0016】請求項6の発明に係るICパッケージの分
離方法は、上記の課題を解決するために、請求項1ない
し3のいずれか1項に記載のICパッケージの搬送装置
を用いて、上記送出部材の駆動速度が、ICパッケージ
が自重によって滑降するときの最大速度よりも遅くなる
ように制御することを特徴としている。上記の方法にお
いて、請求項1ないし3に記載のICパッケージの搬送
装置は、駆動速度の制御が任意に行えるため、搬送装置
の搬送方向下流側において、送出部材の押圧面から先頭
のICパッケージが離れた後、送出部材の回転による推
進力と自重とによって搬送方向に移動しはじめたとき
に、例えば、ICパッケージの滑降する平均速度より遅
い一定の速度で駆動したり、あるいは、1番目のICパ
ッケージを送り出し2番目のICパッケージが所定の位
置に来たときに停止させて間歇的に駆動させたりして、
送出部材の駆動速度がICパッケージの滑降する速度よ
り遅くなるようにしているので、2番目のICパッケー
ジは、先頭のICパッケージと間隔をあけて、送出部材
の押圧から解除されることになり、ICパッケージが連
続的に供給されている場合でも確実にICパッケージを
分離することができる。また、上記において、送出部材
を一定速度で駆動する場合には、送出部材の制御がさら
に簡単になる。
【0017】請求項7の発明に係るICパッケージの供
給位置決め装置は、上記の課題を解決するために、傾斜
して設置されるとともに、重力加速度が作用し得る方向
を搬送方向としてICパッケージが連続した状態で供給
される搬送レール上に、搬送方向に対して分離手段、位
置決め手段の順で設けられているICパッケージの供給
位置決め装置において、上記分離手段と位置決め手段と
、ICパッケージの搬送方向に回転駆動される押圧面
を有するとともに、その駆動速度および駆動・停止が任
意に制御可能な送出部材と、上記押圧面を搬送レールに
対して付勢する付勢手段とを備え、上記搬送レールと送
出部材の押圧面との間にICパッケージを挟持しながら
搬送する搬送装置から構成されるとともに、分離手段に
おける第1の送出部材による押圧が解除された先頭のI
Cパッケージが、位置決め手段に設定されている位置決
め部に搬送されてくるまで、2番目以降のICパッケー
ジの第1の送出部材による押圧が解除されないように、
第1の送出部材の駆動速度および駆動・停止のタイミン
グが設定されていることを特徴としている。ICパッケ
ージの供給位置決め装置においては、上記ICパッケー
ジの分離時に、外観検査などのために、分離させた状態
で一時停止させることがある。そこで、上記の構成のよ
うに、上記分離手段および位置決め手段として、ICパ
ッケージの搬送方向に回転駆動される押圧面を有すると
ともに、その駆動速度および駆動・停止が任意に制御可
能な送出部材と、上記押圧面を搬送レールに対して付勢
する付勢手段とを備え、上記搬送レールと送出部材の押
圧面との間にICパッケージを挟持しながら搬送する搬
送装置を用いたので、確実にICパッケージの分離を行
わせることができ、また、ICパッケージの種類による
大きさや検査部位などの違いによって、位置決め部の停
止位置が異なる場合でも、任意に停止位置を変更するこ
とが容易である。また、ICパッケージは基本的にベル
ト状部材に押圧された状態で搬送されるため、位置決め
に際して、迅速にかつ安全に停止位置に停止させること
ができるので、搬送速度を高速化させることができる。
【0018】請求項8の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、上記課題を解決するために、傾斜した架台上
に形成された搬送レール上に、重力加速度が作用し得る
方向を搬送方向として、ICパッケージを搬送するIC
パッケージの位置決め装置において、上記架台の斜面上
に形成され、連続的に供給されるICパッケージを1個
ずつに分離する分離部と、上記架台の斜面上に形成さ
れ、上記分離部にて分離されたICパッケージを搬送す
る搬送部と、上記搬送部の途中に形成された位置 決め部
とを備え、上記搬送部には、上記搬送レール上に配置さ
れ、当該搬送レールとの間に上記ICパッケージを挟持
して搬送する搬送ベルトと、当該搬送ベルトを駆動する
モータとが設けられ、上記搬送ベルトが上記ICパッケ
ージを上記搬送レール方向に押圧すると共に、上記モー
タを駆動して、上記ICパッケージを上記搬送ベルトと
搬送レールとの間に挟持しながら移動させ、上記モータ
は、ICパッケージが上記位置決め部の停止位置に移動
してきた時点で停止することを特徴としている。
【0019】上記構成のICパッケージの搬送装置で
は、搬送ベルトが、ICパッケージを搬送レール方向に
押圧することにより、ICパッケージが搬送レール上に
保持・搬送が行われるようになっており、上記ICパッ
ケージの保持に必要な押圧力がICパッケージの全面で
分散される結果、単位面積当りのICパッケージに与え
る押圧力が小さいので、押圧に伴ってICパッケージが
損傷することはほとんどない。また、ICパッケージを
位置決め部で停止させるまでの時間が正確に制御できる
ため、必要に応じて搬送の高速化も容易である。
【0020】
【発明の実施の形態】〔実施の形態1〕 以下、本発明に係る実施の一形態に係るICパッケージ
の供給位置決め装置(以下、単に分離位置決め装置との
み記述する)の構成および動作を、図1および図2に基
づいて以下に説明する。上記分離位置決め装置1は、図
1および図2に示すように、連続的に供給されるICパ
ッケージ2を分離部1aにおいて1個ずつに分離し、搬
送部1bにおいて分離した上記ICパッケージ2を搬送
するとともに、検査のための位置決めを行うものであ
る。
【0021】上記分離部1aおよび搬送部1bは、分離
位置決め装置1の架台3の斜面上に形成されている。こ
の斜面は水平面に対して、30°〜45°の傾斜を有し
ている。そして、搬送レール4と搬送レール4を覆うガ
イド5とにより、分離部1aおよび搬送部1bを貫通し
て、搬送路6が形成されており、ICパッケージ2は、
上記分離部1aおよび搬送部1b以外の搬送レール4上
では基本的にこの搬送路6を自重により滑降して移動す
ることになる。そして、分離部1aの入口側から連続的
に供給されるICパッケージ2が、搬送部1bの出口側
から分離して供給されるようになっている。また、搬送
部1bの途中にICパッケージ2の位置決め部1cが形
成されている。この位置決め部1cにおけるガイド5に
は切欠き部5a・5aが形成されており、ICパッケー
ジ2を位置決め部1cに停止させることにより、外観検
査が行えるようになっている。また、後述の分離ベルト
11および搬送ベルト21によるICパッケージ2の搬
送・保持を可能とするために、ガイド5の上面には、ス
リット5b・5cが形成されている。
【0022】上記分離部1aには、搬送レール4上に配
置され、搬送レール4との間でICパッケージ2を挟持
する上記分離ベルト11と、分離ベルト11を駆動する
モータ12が設けられており、分離ベルト11は、前記
スリット5bを通して、その外面側(押圧面)によっ
て、搬送路6内のICパッケージ2を保持し、分離・搬
送を行うようになっている。上記モータ12の軸部12
aには、軸部12aに固定され、一体に回転駆動される
プーリ15aと、軸部12aに対して、他端側に回動自
在な軸部13が設けられたリンク14の一端が回動自在
に取り付けられている。そして、軸部13には、プーリ
15aとによって駆動ベルト15を張設するプーリ15
bと、プーリ11aとが一体となって回転するように取
り付けられるとともに、支持アーム16の一端が回動自
在に取り付けられている。さらに、支持アーム16の他
端に回動自在に取り付けられたプーリ11bと、上記プ
ーリ11aとによって、前記分離ベルト11が張設され
ている。上記構成において、モータ12の軸部12aが
回転すると、プーリ15aが回転して、駆動ベルト15
を駆動する。そして、プーリ11aが、軸部13とプー
リ15bとを介して、駆動ベルト15によって駆動さ
れ、分離ベルト11は、プーリ11aによって駆動され
る。
【0023】また、上記支持アーム16の両端には架台
3と連結されるコイルバネ17a、17bが取り付けら
れており、支持アーム16は、架台3方向に付勢される
とともに、架台3から支持アーム16の両端部付近に突
出する高さ調整ネジ18a、18bが、支持アーム16
と当接するように設けられており、この高さ調整ネジ1
8a、18bによって、上記支持アーム16の架台3方
向への移動が阻止され、搬送レール4と分離ベルト11
との間に所定の間隙が形成される。なお、分離部1aの
出口付近には、分離ベルト11から排出されるICパッ
ケージ2の通過を検出するセンサ19が設けられてお
り、上記モータ12の駆動・停止、すなわち、分離ベル
ト11の駆動・停止は、上記センサ19の検出結果に基
づいて行われる。
【0024】一方、搬送部1bも、上記分離部1aと略
同じ構成を有しており、搬送レール4上に配置され、I
Cパッケージ2を挟持して搬送する搬送ベルト21と、
搬送ベルト21を駆動するモータ22が設けられてお
り、搬送ベルト21は、前記スリット5cを通して、そ
の外面側(押圧面)によって、搬送路6内のICパッケ
ージ2を保持し、位置決めおよび搬送を行うようになっ
ている。上記モータ22の軸部22aには、軸部22a
に固定され、一体に回転駆動されるプーリ25aと、軸
部22aに対して、他端側に回動自在な軸部23が設け
られたリンク24の一端とが回動自在に取り付けられて
いる。そして、軸部23には、プーリ25aとによって
駆動ベルト25を張設するプーリ25bと、プーリ21
aとが一体となって回転するように取り付けられるとと
もに、支持アーム26の一端が回動自在に取り付けられ
ている。さらに、支持アーム26の他端に回動自在に取
り付けられたプーリ21bと、上記プーリ21aによっ
て、前記搬送ベルト21が張設されている。上記構成に
おいて、モータ22の軸部22aが回転すると、プーリ
25aが回転して、駆動ベルト25を駆動する。そし
て、プーリ21aが、軸部23、プーリ25bとを介し
て、駆動ベルト25によって駆動され、搬送ベルト21
は、プーリ21aによって駆動される。
【0025】また、上記支持アーム26の両端には架台
3と連結されるコイルバネ27a、27bが取り付けら
れており、支持アーム26は、架台3方向に付勢される
とともに、架台3から支持アーム26の両端部付近に突
出する高さ調整ネジ28a、28bが、支持アーム26
と当接するように設けられており、この高さ調整ネジ2
8a、28bによって、上記支持アーム26の架台3方
向への移動が阻止され、搬送レール4と搬送ベルト21
との間に所定の間隙が形成される。なお、搬送部1bに
は、位置決め部1cの直前にICパッケージ2の通過を
検出するセンサ29が設けられており、ICパッケージ
2の位置決めに伴う停止は上記センサ29の検出結果に
基づいて行われる。
【0026】上記した、分離部1aにおける分離ベルト
11と搬送レール4との間の所定の間隙および搬送部1
bにおける搬送ベルト21と搬送レール4との間の所定
の間隙は、それぞれの入口側が、高さ調整ネジ18aお
よび28aによって、ICパッケージ2の厚さと等しい
か、又は多少大きめに調整される一方、ぞれぞれの出口
側が、高さ調整ネジ18bおよび高さ調整ネジ28bに
よって、ICパッケージ2の厚さ以下に調整され、上記
間隙は出口側に近づくに連れて狭くなるように設定され
ている。
【0027】これにより、分離部1aおよび搬送部1b
の入口側では、分離ベルト11や搬送ベルト21に詰ま
ることなくICパッケージ2が搬送路6を移動可能とな
っており、出口側に近づくに連れて、分離ベルト11や
搬送ベルト21がICパッケージ2を搬送レール4側に
押圧してゆくため、ICパッケージ2の厚さがバラつい
ても、分離ベルト11や搬送ベルト21への誘い込みと
搬送を安定して行うことができる。
【0028】上記構成に基づいて、本発明に係るICパ
ッケージの分離位置決め装置1の動作を以下に説明す
る。まず、傾斜した搬送路6に沿って、ICパッケージ
2を連続的に供給すると同時に、モータ12によって分
離ベルト11を駆動して、ICパッケージ2を分離ベル
ト11と搬送レール4との間で挟持させながら搬送す
る。
【0029】センサ19がICパッケージ2を検出する
と、分離ベルト11の駆動を停止させるが、上記におい
て、センサ19とプーリ11b側の分離ベルト11の端
部との間隔は、ICパッケージ2の1個分の長さよりも
長く、2個分の長さよりも小さいものとされているの
で、先頭のICパッケージ2が分離ベルト11による非
駆動状態になってから、センサ19によるICパッケー
ジ2の検出が行われることになる。したがって、上記分
離ベルト11の駆動の停止によって、先頭のICパッケ
ージ2のみが、搬送部1b側に滑降し、次のICパッケ
ージ2は、分離ベルト11によって、分離部1aに保持
された状態となっている。このようにして、ICパッケ
ージ2を分離することができる。
【0030】一方、搬送部1bに供給されたICパッケ
ージ2は、モータ22の駆動によって、搬送ベルト21
と搬送レール4との間に挟持されて搬送路6を移動する
が、センサ29においてICパッケージ2の通過が検出
されると、モータ22は、ICパッケージ2が前記位置
決め部1cの停止位置に移動してきた時点で停止するよ
うに設定されている。上記停止位置で、ICパッケージ
2の外観検査等が行われた後、再び、搬送ベルト21が
駆動され、ICパッケージ2は分離位置決め装置1から
排出される。
【0031】そして、搬送ベルト21の駆動と同時、ま
たはICパッケージ2が分離位置決め装置1から排出さ
れた後、分離ベルト11を駆動して、ICパッケージ2
の供給を再開する。上記の動作を繰り返すことにより、
ICパッケージ2が位置決め部1cに順次供給され、外
観検査等を連続的に行うことができる。
【0032】なお、分離ベルト11若しくは搬送ベルト
21における搬送速度は、任意に設定可能とされている
が、これは、ICパッケージ2の大きさの違いによる搬
送速度の変化や、製造上の必要に応じてICパッケージ
2の供給数を変更する必要がある場合などに対応するた
めである。
【0033】〔実施の形態2〕 以下、本発明に係る実施の他の形態に係るICパッケー
ジの分離位置決め装置(以下、単に分離位置決め装置と
のみ記述する)の構成および動作を、図1および図2に
基づいて以下に説明する。本実施の形態の分離位置決め
装置は、基本的に前記実施の形態1における分離位置決
め装置1と同じ構成を有しており、図1および図2の分
離部1aにおける分離ベルト11の制御が異なっている
ものである。
【0034】前記実施の形態1では、分離部1aにおい
て、分離ベルト11の作動、停止を間歇的に行わせるこ
とにより、ICパッケージ2の分離を行っていたが、本
実施の形態では、前記で分離ベルト11若しくは搬送ベ
ルト21における搬送速度は、任意に設定可能とされて
いることを述べたように、分離ベルト11の停止を行う
ことなく、分離ベルト11の搬送速度を搬送ベルト21
の搬送速度より遅く設定するものである。
【0035】つまり、搬送ベルト21における搬送速度
が遅ければ、搬送ベルト21の上流側にICパッケージ
2が滞留してしまうが、逆に、搬送ベルト21の搬送速
度より、分離ベルト11の搬送速度を遅く設定すれば、
分離部1a側からICパッケージ2が供給される速度よ
りも、搬送部1bにおけるICパッケージ2の搬送速度
が速く、搬送ベルト21の上流側に次のICパッケージ
2が供給される前に、直前のICパッケージ2は搬送部
1bにおける位置決め部1cに搬送されることになり、
位置決め部1cにはICパッケージ2が分離して供給さ
れることになる。その結果、本実施の形態では、センサ
19を設ける必要がなく、また、分離ベルト11自体は
一定の速度で駆動してやれば済むため、制御が簡単にな
る。また、駆動・停止に伴うモータ12の負荷を低減す
ることもできる。
【0036】上記の各実施例における分離位置決め装置
1では、分離ベルト11および搬送ベルト21が、IC
パッケージ2を搬送レール4方向に押圧することによ
り、ICパッケージ2が搬送レール4上に保持・搬送が
行われるようになっており、上記ICパッケージ2の保
持に必要な押圧力がICパッケージ2の全面で分散され
る結果、単位面積当りのICパッケージ2に与える押圧
力が小さいので、押圧に伴ってICパッケージ2が損傷
することはほとんどなく、また、位置決め部1cにおけ
るICパッケージ2の停止位置は、センサ29によるI
Cパッケージ2の検出から搬送ベルト21を停止させる
タイミングの変更によって、任意に変更可能であり、搬
送するICパッケージ2の種類を変更することによる停
止位置の変更にも容易に対応可能である。また、ICパ
ッケージ2を位置決め部1cで停止させるまでの時間が
正確に制御できるため、必要に応じて分離・搬送の高速
化も容易である。
【0037】
【発明の効果】請求項1の発明に係るICパッケージの
搬送装置は、以上のように、ICパッケージの搬送方向
に回転駆動される押圧面を有するとともに、その駆動速
度および駆動・停止が任意に制御可能な送出部材と、上
記押圧面を搬送レールに対して付勢する付勢手段と、上
記送出部材の途中に形成された位置決め部とが設けられ
ており、上記搬送レールと送出部材の押圧面との間にI
Cパッケージを挟持しながら搬送すると共に、上記送出
部材は、上記ICパッケージが上記搬送レール上に設定
された上記位置決め部の停止位置に移動してきた時点
で、上記押圧面の駆動を停止する構成である。それゆ
え、ICパッケージの駆動速度および駆動・停止が任意
に制御できるため、搬送させるICパッケージの変更に
伴う設定が容易に行えるようになると共に、迅速な位置
決めと同時に高速な搬送も行えるようになるという効果
を奏する。
【0038】請求項2の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、以上のように、請求項1の構成に加えて、上
記送出部材として、駆動可能に張設されたベルト状部材
が設けられ、ICパッケージの押圧が上記ベルト状部材
によって行われる構成である。それゆえ、請求項1の構
成による効果に加えて、搬送時にICパッケージに負荷
される面圧が低くなるが、押圧面が広いことによって充
分に搬送のための保持が可能となるので、例えば、低ス
ペースを目的としてICパッケージが小さくなり、IC
パッケージの強度面の低下があるような場合でも、上記
押圧によってICパッケージがダメージを受けにくく、
ICパッケージの搬送時の歩留りの低下を防止すること
ができるという効果を奏する。
【0039】請求項3の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、以上のように、請求項2の構成に加えて、上
記ベルト状部材がモータにより駆動されるものであっ
て、ベルト状部材を支持する支持アームは、該支持アー
ムが支持するベルト状部材に上記モータの回転を伝達す
るとともにモータの回転軸に対して回転自在とされたリ
ンクの一端に回転自在に取り付けられている構成であ
る。それゆえ、請求項2の構成による効果に加えて、支
持アームは、リンクによって搬送レールとの距離を自在
に変えることが可能となるので、ICパッケージの厚み
がばらつく場合や、厚みの異なるICパッケージへの対
応も容易で、駆動に伴うICパッケージのベルト状部材
への誘い込みと搬送を安定して行えるようになるという
効果を奏する。
【0040】請求項4の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、以上のように、請求項1、2または3記載の
構成に加えて、上記送出部材は、上記停止位置での上記
ICパッケージの外観検査が行われた後、上記押圧面を
再び駆動する構成である。これにより、ICパッケージ
をICパッケージの搬送装置から排出できるという効果
を奏する。
【0041】請求項5の発明に係るICパッケージの分
離方法は、以上のように、請求項1ないし3のいずれか
1項に記載のICパッケージの搬送装置を用いて、搬送
方向先頭側に位置するICパッケージが押圧面による挟
持から解除されたときに、送出部材の駆動を一時停止さ
せる構成である。それゆえ、ICパッケージの駆動の停
止が任意に行えるため、搬送装置の搬送方向下流側にお
いて、送出部材の押圧面から先頭のICパッケージが離
れたときに、送出部材の駆動を一時停止させることによ
り、搬送装置の上流側に連続的にICパッケージが供給
された場合でも、確実に、かつ、安全に先頭のICパッ
ケージのみを分離できるという効果を奏する。
【0042】請求項6の発明に係るICパッケージの分
離方法は、以上のように、請求項1ないし3のいずれか
1項に記載のICパッケージの搬送装置を用いて、上記
送出部材の駆動速度が、ICパッケージが自重によって
滑降するときの最大速度よりも遅くなるように制御する
構成である。それゆえ、ICパッケージの駆動速度の制
御を行い、送出部材の押圧面から離れた先頭のICパッ
ケージの次のICパッケージは、先頭のICパッケージ
の滑降速度よりも遅い速度で駆動されるので、ICパッ
ケージが連続的に供給されている場合でも確実に、かつ
安全にICパッケージを分離することができる。また、
この場合、送出部材を一定速度で駆動させれば、送出部
材の制御が簡単になるという効果を奏する。
【0043】請求項7の発明に係るICパッケージの供
給位置決め装置は、以上のように、傾斜して設置される
とともに、重力加速度が作用し得る方向を搬送方向とし
てICパッケージが連続した状態で供給される搬送レー
ル上に、搬送方向に対して分離手段、位置決め手段の順
で設けられているICパッケージの供給位置決め装置に
おいて、上記分離手段と位置決め手段とは、ICパッケ
ージの搬送方向に回転駆動される押圧面を有するととも
に、その駆動速度および駆動・停止が任意に制御可能な
送出部材と、上記押圧面を搬送レールに対して付勢する
付勢手段とを備え、上記搬送レールと送出部材の押圧面
との間にICパッケージを挟持しながら搬送する搬送装
置から構成されるとともに、分離手段における第1の送
出部材による押圧が解除された先頭のICパッケージ
が、位置決め手段に設定されている位置決め部に搬送さ
れてくるまで、2番目以降のICパッケージの第1の送
出部材による押圧が解除されないように、第1の送出部
材の駆動速度および駆動・停止のタイミングが設定され
ている構成である。それゆえ、ICパッケージの供給位
置決め装置においては、上記ICパッケージの分離時
に、外観検査などの目的で分離させた状態で一時停止さ
せる必要がある場合に、確実にICパッケージの分離を
行わせることが可能であるとともに、ICパッケージの
種類による大きさや検査部位などの違いによって、位置
決め部の停止位置が異なる場合でも、任意に停止位置を
変更することが容易である。また、ICパッケージは基
本的にベルト状部材に押圧された状態で搬送されるた
め、位置決めに際して、迅速に、かつ、安全に停止位置
に停止させることができるので、搬送速度を高速化させ
ることができるという効果を奏する。
【0044】請求項8の発明に係るICパッケージの搬
送装置は、以上のように、架台の斜面上に形成され、連
続的に供給されるICパッケージを1個ずつに分離する
分離部と、上記架台の斜面上に形成され、上記分離部に
て分離されたICパッケージを搬送する搬送部と、上記
搬送部の途中に形成された位置決め部とを備え、上記搬
送部には、上記搬送レール上に配置され、当該搬送レー
ルとの間に上記ICパッケージを挟持して搬送する搬送
ベルトと、当該搬送ベルトを駆動するモータとが設けら
れ、上記搬送ベルトが上記ICパッケージを上記搬送レ
ール方向に押圧すると共に、上記モータを駆動して、上
記ICパッケージを上記搬送ベルトと搬送レールとの間
に挟持しながら移動させ、上記モータは、ICパッケー
ジが上記位置決め部の停止位置に移動してきた時点で停
止する構成である。
【0045】上記構成のICパッケージの搬送装置で
は、搬送ベルトが、ICパッケージを搬送レール方向に
押圧することにより、ICパッケージが搬送レール上に
保持・搬送が行われるようになっており、上記ICパッ
ケージの保持に必要な押圧力がICパッケージの全面で
分散される結果、単位面積当りのICパッケージに与え
る押圧力が小さいので、押圧に伴ってICパッケージが
損傷することはほとんどないという効果を奏する。ま
た、ICパッケージを位置決め部で停止させるまでの時
間が正確に制御できるため、必要に応じて搬送の高速化
も容易であるという 効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るICパッケージの分離位置決め装
置を、その架台の斜面に直交する方向から見た概略図で
ある。
【図2】図1に示すICパッケージの分離位置決め装置
のX−X矢視断面図である。
【図3】従来のICハンドリング装置を適用したICパ
ッケージの分離位置決め装置の概略図である。
【図4】従来の他のICハンドリング装置を適用したI
Cパッケージの分離位置決め装置の概略図である。
【符号の説明】
1 分離位置決め装置 1a 分離部(搬送装置・分離手段) 1b 搬送部(搬送装置・位置決め手段) 1c 位置決め部 2 ICパッケージ 4 搬送レール 11 分離ベルト(送出部材・ベルト状部材・第1の
送出部材) 12 モータ 14 リンク 16 支持アーム 17a・17b コイルバネ(付勢手段) 21 搬送ベルト(送出部材・ベルト状部材) 22 モータ 24 リンク 26 支持アーム 27a・27b コイルバネ(付勢手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B65G 47/88 H05K 13/02

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】傾斜した搬送レール上に、重力加速度が作
    用し得る方向を搬送方向として、ICパッケージを搬送
    するICパッケージの搬送装置において、 ICパッケージの搬送方向に回転駆動される押圧面を有
    するとともに、その駆動速度および駆動・停止が任意に
    制御可能な送出部材と、上記押圧面を搬送レールに対し
    て付勢する付勢手段と、上記送出部材の途中に形成され
    た位置決め部とが設けられており、上記搬送レールと送
    出部材の押圧面との間にICパッケージを挟持しながら
    搬送すると共に、 上記送出部材は、上記ICパッケージが上記搬送レール
    上に設定された上記位置決め部の停止位置に移動してき
    た時点で、上記押圧面の駆動を停止する ことを特徴とす
    るICパッケージの搬送装置。
  2. 【請求項2】上記送出部材として、駆動可能に張設され
    たベルト状部材が設けられ、ICパッケージの押圧が上
    記ベルト状部材によって行われることを特徴とする請求
    項1に記載のICパッケージの搬送装置。
  3. 【請求項3】上記ベルト状部材がモータにより駆動され
    るものであって、ベルト状部材を支持する支持アーム
    は、該支持アームが支持するベルト状部材に上記モータ
    の回転を伝達するとともにモータの回転軸に対して回転
    自在とされたリンクの一端に回転自在に取り付けられて
    いることを特徴とする請求項2に記載のICパッケージ
    の搬送装置。
  4. 【請求項4】上記送出部材は、上記停止位置での上記I
    Cパッケージの外観検査が行われた後、上記押圧面を再
    び駆動することを特徴とする請求項1、2または3記載
    のI Cパッケージの搬送装置。
  5. 【請求項5】請求項1ないし3のいずれか1項に記載の
    ICパッケージの搬送装置を用いて、搬送方向先頭側に
    位置するICパッケージが押圧面による挟持から解除さ
    れたときに、送出部材の駆動を一時停止させることを特
    徴とするICパッケージの分離方法。
  6. 【請求項6】請求項1ないし3のいずれか1項に記載の
    ICパッケージの搬送装置を用いて、上記送出部材の駆
    動速度が、ICパッケージが自重によって滑降するとき
    の最大速度よりも遅くなるように制御することを特徴と
    するICパッケージの分離方法。
  7. 【請求項7】傾斜して設置されるとともに、重力加速度
    が作用し得る方向を搬送方向としてICパッケージが連
    続した状態で搬送される搬送レール上に、搬送方向に対
    して分離手段、位置決め手段の順で設けられているIC
    パッケージの供給位置決め装置において、 上記分離手段と位置決め手段とは、ICパッケージの搬
    送方向に回転駆動される押圧面を有するとともに、その
    駆動速度および駆動・停止が任意に制御可能な送出部材
    と、上記押圧面を搬送レールに対して付勢する付勢手段
    とを備え、上記搬送レールと送出部材の押圧面との間に
    ICパッケージを挟持しながら搬送する搬送装置から構
    成されるとともに、 分離手段における第1の送出部材による押圧が解除され
    た先頭のICパッケージが、位置決め手段に設定されて
    いる位置決め部に搬送されてくるまで、2番目以降のI
    Cパッケージの第1の送出部材による押圧が解除されな
    いように、第1の送出部材の駆動速度および駆動・停止
    のタイミングが設定されていることを特徴とするICパ
    ッケージの供給位置決め装置。
  8. 【請求項8】傾斜した架台上に形成された搬送レール上
    に、重力加速度が作用し得る方向を搬送方向として、I
    Cパッケージを搬送するICパッケージの位置決め装置
    にお いて、 上記架台の斜面上に形成され、連続的に供給されるIC
    パッケージを1個ずつに分離する分離部と、 上記架台の斜面上に形成され、上記分離部にて分離され
    たICパッケージを搬送する搬送部と、 上記搬送部の途中に形成された位置決め部とを備え、 上記搬送部には、上記搬送レール上に配置され、当該搬
    送レールとの間に上記ICパッケージを挟持して搬送す
    る搬送ベルトと、当該搬送ベルトを駆動するモータとが
    設けられ、 上記搬送ベルトが上記ICパッケージを上記搬送レール
    方向に押圧すると共に、上記モータを駆動して、上記I
    Cパッケージを上記搬送ベルトと搬送レールとの間に挟
    持しながら移動させ、 上記モータは、ICパッケージが上記位置決め部の停止
    位置に移動してきた時点で停止することを特徴とするI
    Cパッケージの搬送装置。
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