JP3298620B2

JP3298620B2 - 端面研磨装置

Info

Publication number: JP3298620B2
Application number: JP21675198A
Authority: JP
Inventors: 浩二皆見; 政治杉山; 真理加藤
Original assignee: セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date: 1998-07-31
Filing date: 1998-07-31
Publication date: 2002-07-02
Anticipated expiration: 2018-07-31
Also published as: JP2000042891A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信用ファイバ
などの棒状部材の端面を研磨する端面研磨装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】光通信用ファイバは、コネクタの主要部
材であるフェルールの中心孔内にファイバを接着固定し
た後、フェルール端面とファイバ端面とを同時に平滑に
研磨し鏡面に仕上げて使用される。この研磨仕上げした
フェルール及びファイバの研磨面が、フェルールの中心
軸と垂直な面でなかったり、あるいは、研磨面に傷があ
ったりすると、フェルール同士が対向接続される光コネ
クタにおいて、対向位置精度が劣化し損失が大きくなっ
てしまう。そのため、光ファイバを含むフェルールの研
磨面は高精度に研磨仕上げする必要がある。

【０００３】従来の光ファイバ端面研磨装置として、例
えば、特開平３−２６４５６号公報に開示されたものが
ある。この公報に開示された光ファイバ端面研磨装置
は、自転円盤の同心円上で回転する偏心盤を持ち、この
偏心盤に公転用のモータの回転を伝達する遊星歯車を持
ち、これらを研磨盤に結合させて研磨盤を自転および公
転させる一方、この研磨盤に固定した研磨部材に対し
て、治具盤に保持された多数の光ファイバの端面を押し
付けて研磨するものである。

【０００４】また、フェルールは、治具盤に固定された
状態でその端面の研磨作業が行われ、治具盤の下面や側
面及びフェルールの端部などに研磨粉または研磨液（以
下、単に研磨粉という）が付着する。この場合、従来
は、フェルールを治具盤に固定保持したままで、この治
具盤を裏返して、水道の蛇口より吐出される水を所定箇
所にかけながら、作業者が洗浄ブラシを持ってこするこ
とにより、また、洗浄機を用いてフェルール端面及び治
具盤の洗浄が行われていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
光ファイバ端面研磨装置にあっては、自転および公転す
る研磨盤に固定された研磨部材に対して、治具盤に保持
された多数の光ファイバの端面を押し付けて研磨を行っ
ている。この場合、長期の使用によって研磨部材が目詰
まりして使用不能となって交換が必要となったり、異な
る粗さの研磨部材と交換が必要となったりすることがあ
る。ところが、従来は研磨部材は、研磨盤上に弾性シー
トを介して研磨シートを載置するというものなので、研
磨部材の交換作業がどうしても人手に頼ることになり、
作業効率が良くないという問題があった。

【０００６】また、フェルールの研磨及び洗浄は、それ
ぞれ独立した上述の研磨機あるいは洗浄機等を用いて、
作業者のマニュアル操作により行われている。したがっ
て、量産性が悪く、コストが高いという問題がある。ま
た、作業者が研磨を行う際、作業毎に、例えば、研磨時
のフェルールへの付勢力等の設定に、多少のばらつきが
生じ、品質が安定しないという問題もある。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、フェル
ールの端面を研磨する研磨部材を自動的に交換すること
で作業性の向上を図った端面研磨装置、さらには、研磨
及び洗浄を自動的に行う端面研磨洗浄装置を提供するこ
とを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様は、
棒状部材が装着された治具盤が支持機構によって装置本
体に支持される一方、前記棒状部材を研磨する研磨部材
が装着された研磨盤が駆動機構によって装置本体に回転
揺動可能に支持され、前記回転揺動する研磨盤の研磨部
材に対して前記支持機構によって前記治具盤に装着され
た前記棒状部材を押し付けて研磨する端面研磨装置にお
いて、前記研磨部材は前記研磨盤に対して着脱自在に装
着され、該研磨盤に装着された使用済み研磨部材と所定
の位置に格納された使用予定研磨部材とを交換する自動
交換装置が設けられたことを特徴とする端面研磨装置に
ある。

【０００９】本発明の第２の態様は、第１の態様の端面
研磨装置において、前記自動交換装置は、研磨盤の側方
に水平移動可能に支持された移動体と、該移動体に昇降
可能に支持された昇降体と、基端部が該昇降体に固定さ
れる一方、先端部が前記研磨盤の上方まで延設された支
持アームと、該支持アームの先端部に取付けられて前記
研磨部材を下方から支持可能な支持部材とを有すること
を特徴とする端面研磨装置にある。

【００１０】本発明の第３の態様は、第２の態様の端面
研磨装置において、前記研磨部材の外周部にフランジ部
を設ける一方、前記支持部材が該研磨部材に対して水平
方向に係合して該フランジ部を下方から支持可能である
ことを特徴とする端面研磨装置にある。本発明の第４の
態様は、第１〜３の何れかの態様の端面研磨装置におい
て、前記使用予定研磨部材は所定の位置に多数積層され
て載置されていることを特徴とする端面研磨装置にあ
る。

【００１１】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様の端面研磨装置において、前記使用予定研磨部材
は所定の位置に多数積層されて載置されていることを特
徴とする端面研磨装置にある。本発明の第６の態様は、
第１〜５の何れかの態様の端面研磨装置において、前記
使用済み研磨部材を種類別に回収する回収ボックスを複
数個具備することを特徴とする端面研磨装置にある。

【００１２】本発明の第７の態様は、第１〜６の何れか
の態様の端面研磨装置において、前記支持機構は、先端
部で前記治具盤を保持する一方、基端部が側方まで延設
され且つ略水平に保持され状態で上下方向に移動自在に
支持された治具盤支持アームと、この治具盤支持アーム
の基端部を上下方向昇降可能に支持し且つ前記治具盤に
取り付けられた前記棒状部材が前記研磨部材に所定の圧
力で押圧されるように前記治具盤支持アームを降下する
昇降手段とを具備することを特徴とする端面研磨装置に
ある。

【００１３】本発明の第８の態様は、第７の態様の端面
研磨装置において、前記研磨盤の側方に前記治具盤の下
面及び当該治具盤に取り付けられた前記棒状部材を洗浄
する洗浄機を有する一方、前記支持機構は、前記昇降手
段と共に前記治具盤支持アームを水平方向に移動して前
記治具盤を前記研磨盤から前記洗浄機まで往復移動する
治具盤移動手段を具備することを特徴とする端面研磨洗
浄装置にある。

【００１４】本発明の第９の態様は、第８の態様の端面
研磨装置において、前記洗浄機は前記治具盤の下面に接
触した状態で回転移動されることにより、前記棒状部材
の端部及び前記治具盤の下面部とを洗浄する清浄ブラシ
を具備することを特徴とする端面研磨装置にある。本発
明の第１０の態様は、第１〜９の何れかの態様の端面研
磨装置において、前記研磨盤の駆動機構は、前記治具盤
が載置された状態で自転しながら公転することを特徴と
する端面研磨装置にある。

【００１５】本発明の第１１の態様は、第１０の態様の
端面研磨装置において、前記研磨盤の駆動機構は、所定
の位置に停止する停止位置制御手段を有することを特徴
とする端面研磨装置にある。本発明によれば、研磨部材
の交換時期には、自動交換装置が研磨盤に装着された研
磨部材と所定の位置に格納された研磨部材とを自動的に
交換することとなり、作業性の向上が図れる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明の実
施の形態について詳細に説明する。図１に本発明の一実
施形態に係る端面研磨装置の平面視、図２に端面研磨装
置の正面視、図３に端面研磨装置の側面視、図４に治具
盤の支持機構の概略、図５に治具盤の平面視、図６に支
持機構と治具盤との係合状態を表す概略、図７に支持機
構と治具盤との係合状態を表す断面、図８に支持機構の
概略、図９に研磨部材の自動交換装置の平面視、図１０
に研磨部材の自動交換装置の駆動部を表す概略、図１１
に研磨部材の支持アームの概略、図１２に支持部材によ
る研磨部材の係合状態を表す概略を示す。

【００１７】本実施形態の端面研磨装置において、図１
〜図３に示すように、装置本体１１には、研磨機１２
と、洗浄機１３と、棒状部材としての複数のフェルール
を固定する治具盤１４と、この治具盤１４を移動自在に
支持する支持装置１５と、研磨機１２の研磨部材を交換
する自動交換装置１６と、交換する研磨部材を格納する
格納庫１７が設けられている。

【００１８】研磨機１２は、装置本体１１上に配置され
た研磨盤２１を自転させながら公転させることによりフ
ェルールの先端の研磨を行うものであり、図示しない公
転用モータを駆動することによって研磨盤２１が所定偏
心量だけ公転運動し、図示しない自転用モータを駆動す
ることによって研磨盤２１が自転することができる。な
お、本実施形態では、公転モータの停止位置が常に一定
の位置となるように制御するための図示しない停止位置
制御手段が設けられている。

【００１９】研磨盤２１の上部には、図１２に示すよう
に、円盤形状の研磨部材２２が一体回転自在に嵌合して
いる。この研磨部材２２はリング状の嵌合部２３とその
嵌合部２３の上部に形成されたフランジ部２４とからな
り、上部には円形状の弾性部材２５を介して研磨フィル
ム２６が取付けられている。なお、嵌合部２３及びフラ
ンジ部２４と、弾性部材２５とをゴムなどの弾性部材で
一体成形してもよい。

【００２０】また、洗浄機１３は、図１及び図２に示す
ように、装置本体１１上に研磨機１２に隣接して設けら
れており、図示しない駆動モータによって３個の洗浄ブ
ラシ２７を自転及び公転させることによりフェルールの
端面及び治具盤１４に付着した研磨粉を洗浄することが
できる。更に、治具盤１４は複数のフェルールを固定す
ることができ、支持装置１５によって研磨機１２と洗浄
機１３との並設方向に沿って移動自在となっている。即
ち、装置本体１１上には研磨機１２と洗浄機１３との並
設方向に沿って移動レール３１が固定されており、この
移動レール３１には移動フレーム３２が移動自在に支持
され、この移動フレーム３２には昇降フレーム３３が昇
降自在に支持されている。

【００２１】そして、図４〜図６に示すように、この移
動フレーム３２には一対の垂直ガイド３４が固定され、
この垂直ガイド３４によって支持アーム３５の基端部が
昇降自在に支持されており、この支持アーム３５は前述
した昇降フレーム３３の下端部に一体に形成された上下
フランジ部３６ａ，３６ｂの間に上下移動自在に貫入し
ている。そして、この支持アーム３５は昇降フレーム３
３に対して２つの圧縮ばね３７によって下方に付勢支持
され、２つの圧縮ばね３７の間にはその荷重を検出する
ロードセル３８が装着されている。なお、昇降フレーム
３３には、圧縮ばね３７及びロードセル３８を支持する
筒状のガイド３９が取付けられている。

【００２２】一方、支持アーム３５の先端部には治具盤
１４を保持する保持ブロック４０が固定されており、こ
の保持ブロック４０には位置決め部４１が一体に形成さ
れると共に、圧縮ばね４２によって付勢支持された押え
ボール４３が取付けられている。治具盤１４は平面視が
八角形をなし、外周部に形成された多数のＶ溝４４に対
向して取付片４５が設けられ、Ｖ溝４４の取付片４５と
の間にフェルールＷを挟んで固定ねじ４６によって取付
片４５を治具盤１４に固定することで、このＶ溝４４と
取付片４５とによってフェルールを挾持することができ
る。また、この治具盤１４の上面中央部にはボス部４７
が形成され、この中央部には保持ブロック４０を側方よ
り挿入可能な開口部４８が形成されている。そして、こ
の開口部４８の上部両側には係止フランジ４９が一体形
成されると共に、中央部に位置決め孔５０が形成されて
いる。

【００２３】従って、図７に示すように、保持ブロック
４０をボス部４７の開口部４８に挿入し、圧縮ばね４２
によって付勢支持された押えボール４３が位置決め孔５
０に係止されることで、支持アーム３５に対する治具盤
１４の位置決めがなされ、位置決め部４１が係止フラン
ジ４９に係止されることで、支持アーム３５が治具盤１
４を揺動自在に保持することができる。

【００２４】このように支持アーム３５に保持された治
具盤１４は、移動フレーム３２が移動レール３１に沿っ
て移動することで、研磨機１２と洗浄機１３との間で移
動することができ、各位置で昇降フレーム３３を下降す
ることで、保持したフェルールＷの研磨作業及び洗浄作
業を行うことができる。さらに、昇降フレーム３３に
は、図８に示すように、一体的にナット８１が設けら
れ、ねじスピンドル８２に噛み合っている。また、ねじ
スピンドル８２の上部に一体的に設けられた垂直軸８３
は、ゴムベルト等の伝達部材８４を介して加圧モータ８
５に連結されている。

【００２５】したがって、垂直軸８３が一方に回転され
ることにより昇降フレーム３３が下降し、自転しながら
公転する研磨盤２１の研磨部材２２（研磨フィルム２
６）の上面にフェルールＷを押しつけることで、このフ
ェルールＷの端面の研磨が行われる。また、自転しなが
ら公転する各洗浄ブラシ２７に対してフェルールＷを押
しつけることで、このフェルールＷの端面及び治具盤１
４の洗浄が行われる。

【００２６】また、図１〜図３に示すように、自動交換
装置１６は研磨機１２に装着された研磨部材２２と格納
庫１７に格納された次に使用予定の研磨部材とを自動的
に交換することができる。この格納庫１７は研磨機１２
に隣接して設けられており、本体に対して多数の研磨部
材が使用予定の順番で積載された積載部５１が側方に移
動自在に支持されると共に、駆動モータ５２を駆動して
ねじ軸５３を回転することで昇降台５４が昇降可能とな
っている。そして、上部に設けられた検出センサ５５に
応じてこの駆動モータ５２を駆動して昇降台５４を上昇
し、積載部５１に積載された最上位置の研磨部材を常時
同じ高さに位置するようになっている。

【００２７】なお、格納庫１７に隣接して研磨機１２か
ら取り外した研磨部材２２をその種類ごとに集積する３
つの集積ケース５６ａ，５６ｂ，５６ｃが設置されてい
る。ここで、集積ケース５６ａ，５６ｂ，５６ｃは、例
えば、再使用する研磨部材を目の粗さ別に回収して再利
用し易くするものであり、また、再利用しない研磨部材
は、目の粗さに関係なく一定の集積ケースに回収しても
よい。

【００２８】一方、図９〜図１１に示すように、装置本
体１１上には研磨機１２と格納庫１７と集積ケース５６
ａ，５６ｂ，５６ｃの並設方向に沿って水平レール６１
が固定され、この水平レール６１には移動体６２が移動
自在に支持されており、この移動体６２には垂直レール
６３が固定され、この垂直レール６３には昇降体６４が
昇降自在に支持されている。そして、この移動体６２に
は昇降モータ６５が搭載され、この昇降モータ６５によ
って回転する回転体６６の偏心カム軸６７がこの昇降体
６４に係合している。

【００２９】また、昇降体６４には取付ブラケット６８
を介して研磨機１２側に延出する支持アーム６９の基端
部が固定されている。一方、この支持アーム６９の先端
部側は下方に屈曲し、先端部には平面視が半円弧状をな
す支持部材７０が取付ボルト７１によって取付けられる
と共に支持ロッド７２によって支持されており、また、
支持アーム６９の先端部には検出センサ７３が装着され
いる。

【００３０】この支持部材７０は研磨機１２の研磨盤２
１に装着された研磨部材２２を下方から支持して集積ケ
ース５６ａ，５６ｂ，５６ｃまで搬送することができる
と共に、格納庫１７の最上部に位置する研磨部材を下方
から支持して研磨盤２１まで搬送することができる。即
ち、図１２に示すように、支持部材７０は内径部７０ａ
が研磨部材２２の嵌合部２３に側方から係脱自在であ
り、この内径部７０ａが嵌合部２３に係合した状態で支
持部材７０を上昇することで、上面部７０ｂがフランジ
部２４に当接してこれを持ち上げることができる。

【００３１】なお、装置本体１１の上面には、この端面
研磨装置の研磨機１２、洗浄機１３、治具盤１４及び支
持装置１５、自動交換装置１６等を操作するための操作
パネル８０が設けられている。ここで、上述のように構
成した本発明の端面研磨装置を用いたフェルール端部の
研磨及び洗浄作業と研磨部材の交換作業について説明す
る。

【００３２】本実施形態の端面研磨装置において、図１
〜図３に示すように、フェルールＷの治具盤１４への着
脱及び治具盤１４の支持装置１５への着脱以外の各操作
は全て操作パネル８０により行われる。従って、作業者
によりフェルールＷ及び治具盤１４が取付けられ、操作
パネル８０への入力が行われると、まず、支持装置１５
によって治具盤１４が水平移動し、研磨機１２上の研磨
盤２１の中心軸上に移動され、次いで、治具盤１４が所
定位置まで下降される。この所定位置とは、フェルール
端面が研磨盤２１上に装着された研磨部材２２（研磨フ
ィルム２６）に所定の荷重で接触する位置である。その
後、研磨機１２を稼働し、上述のように研磨盤２１と共
に研磨部材２２を回転することにより、フェルール端面
を所定形状に研磨する。

【００３３】フェルール端面の研磨が終了すると、支持
装置１５によって治具盤１４が洗浄機１３上に移動し、
治具盤１４が再び所定位置まで下降される。この所定位
置とは、フェルール端面が洗浄機１３の洗浄ブラシ２７
と所定の荷重で接触する位置である。そして、フェルー
ルが所定の位置に配置されると、洗浄機１３が稼働さ
れ、上述のようにフェルール端面及び治具盤１４を洗浄
して一連の作業を終了する。

【００３４】このように治具盤１４の水平移動及び垂直
移動を繰返して逆Ｕ字状に自動的に移動するだけで、フ
ェルール端面の研磨及び洗浄作業を連続して行うことが
できる。また、この研磨作業を何段階か行う必要がある
場合には、自動交換装置１６によって研磨部材２２を交
換して同じ作業を必要な回数繰り返す。

【００３５】この場合、まず、移動体６２を水平レール
６１に沿って移動することで支持部材７０を研磨機１２
の研磨部材２２の側方上方に位置させ、次に、昇降体６
４を垂直レール６３に沿って下降することで、図１２に
示すように、支持部材７０を研磨部材２２の側方に位置
させる。そして、この状態で移動体６２を水平移動して
支持部材７０を研磨部材２２側に移動することで、内径
部７０ａが研磨部材２２の嵌合部２３を側方から係合
し、続いて、昇降体６４を上昇することで、上面部７０
ｂがフランジ部２４に当接して研磨部材２２を研磨盤２
１から抜き取って持ち上げる。

【００３６】支持部材７０が研磨部材２２を支持する
と、移動体６２を水平移動して支持部材７０が支持した
研磨部材２２を集積ケース５６ａ，５６ｂ，５６ｃまで
搬送する。ここで、支持部材７０は所定の集積ケース５
６ａ，５６ｂ，５６ｃに研磨部材２２を落下する。この
ように研磨盤２１に装着された研磨部材２２が取り外さ
れると、移動体６２を水平レール６１に沿って格納庫１
７まで水平移動し、前述と同様の作動により、支持部材
７０が格納庫１７の最上部に位置する研磨部材を支持す
る。そして、再び、移動体６２を研磨機１２まで水平移
動し、支持部材７０が支持した研磨部材を研磨機１２の
研磨盤２１の上方に位置させ、昇降体６４を垂直レール
６３に沿って下降することで、支持部材７０が支持した
研磨部材２２を研磨盤２１に装着する。その後、支持部
材７０を水平移動してから上昇して退避させる。

【００３７】このように本実施形態の端面研磨装置にあ
っては、研磨機１２の研磨盤２１に装着された研磨部材
２２を別のものと交換する場合には、自動交換装置１６
が研磨盤２１の研磨部材２２を抜き取って集積ケース５
６ａ，５６ｂ，５６ｃに搬出する一方、別の研磨部材を
格納庫１７から研磨機１２まで搬送して研磨盤２１に装
着することとなり、研磨部材を自動交換することができ
る。

【００３８】

【発明の効果】以上、実施形態において詳細に説明した
ように、本発明の端面研磨装置によれば、棒状部材が装
着された治具盤が支持機構によって装置本体に支持され
る一方、この棒状部材を研磨する研磨部材が装着された
研磨盤が駆動機構によって装置本体に回転揺動可能に支
持され、回転揺動する研磨盤の研磨部材に対して支持機
構によって治具盤に装着された棒状部材を押し付けて研
磨する端面研磨装置において、研磨部材を研磨盤に対し
て着脱自在に装着し、この研磨盤に装着された研磨部材
と所定の位置に格納された研磨部材とを交換する自動交
換装置を設けたので、研磨部材の交換時期には、自動交
換装置が研磨盤に装着された研磨部材と所定の位置に格
納された研磨部材とを自動的に交換することとなり、作
業性の向上を図ることができる。

【００３９】また、本発明の端面研磨装置は、特に、研
磨部材の外周部にフランジ部を設ける一方、支持部材が
研磨部材に対して水平方向に係合してフランジ部を下方
から支持可能とする一方、研磨盤の側方に移動体を水平
移動可能に支持し、この移動体に昇降体を昇降可能に支
持し、この昇降体に先端部が研磨盤の上方まで延設され
た支持アームを固定し、この支持アームの先端部に研磨
部材を下方から支持可能な支持部材を取付けたので、上
下左右の単純な移動だけで研磨部材の交換を実行するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る端面研磨装置の平面
図である。

【図２】端面研磨装置の正面図である。

【図３】端面研磨装置の側面図である。

【図４】治具盤の支持機構の概略図である。

【図５】治具盤の平面図である。

【図６】支持機構と治具盤との係合状態を表す概略図で
ある。

【図７】支持機構と治具盤との係合状態を表す断面図で
ある。

【図８】支持機構部分の概略図である。

【図９】研磨部材の自動交換装置の平面図である。

【図１０】研磨部材の自動交換装置の駆動部を表す概略
図である。

【図１１】研磨部材の支持アームの概略図である。

【図１２】支持部材による研磨部材の係合状態を表す概
略図である。

【符号の説明】

１１装置本体１２研磨機１３洗浄機１４治具盤１５支持装置１６自動交換装置１７収納庫２１研磨盤２２保持部材２３嵌合部２４フランジ部２５弾性部材２６研磨フィルム３５支持アーム３７圧縮ばね３８ロードセル４０保持ブロック４３押えボール４７ボス部４８開口部５１積載部５２駆動モータ５４昇降台５５検出センサ５６ａ，５６ａ，５６ｃ集積ケース６２移動体６４昇降体６９支持アーム７０支持部材７０ａ内径部７０ｂ上面部８０操作パネルＷフェルール（棒状部材）

フロントページの続き (56)参考文献特開平３−26456（ＪＰ，Ａ) 特開平10−15807（ＪＰ，Ａ) 特開平８−57730（ＪＰ，Ａ) 特開平10−337656（ＪＰ，Ａ) 特開平６−91524（ＪＰ，Ａ) 特開平８−257860（ＪＰ，Ａ) 実公平７−27080（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23Q 3/155 B24B 19/00 603 B24B 37/00 B24B 45/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】棒状部材が装着された治具盤が支持機構
によって装置本体に支持される一方、前記棒状部材を研
磨する研磨部材が装着された研磨盤が駆動機構によって
装置本体に回転揺動可能に支持され、前記回転揺動する
研磨盤の研磨部材に対して前記支持機構によって前記治
具盤に装着された前記棒状部材を押し付けて研磨する端
面研磨装置において、前記研磨部材は支持搬送するための嵌合部を有し前記研
磨盤に対して着脱自在に装着され、先端部が前記研磨盤の上方まで延設された支持アーム
と、該支持アームの先端部に取り付けられて、前記嵌合
部に係合し前記研磨部材を下方から支持可能な支持部材
とを有する、前記研磨盤に装着された使用済み研磨部材
と所定の位置に格納された使用予定研磨部材とを交換す
る自動交換装置が設けられたことを特徴とする端面研磨
装置。
【請求項２】請求項１記載の端面研磨装置において、
前記自動交換装置は、研磨盤の側方に水平移動可能に支
持された移動体と、該移動体に昇降可能に支持され、前
記支持アームの基端部が固定された昇降体とを有するこ
とを特徴とする端面研磨装置。
【請求項３】請求項２記載の端面研磨装置において、
前記研磨部材の外周部にフランジ部を設ける一方、前記
支持部材が該研磨部材に対して水平方向に係合して該フ
ランジ部を下方から支持可能であることを特徴とする端
面研磨装置。
【請求項４】請求項１に記載の端面研磨装置におい
て、前記使用予定研磨部材は所定の位置に多数積層され
て載置されていることを特徴とする端面研磨装置。
【請求項５】請求項１に記載の端面研磨装置におい
て、前記使用済み研磨部材を種類別に回収する回収ボッ
クスを複数個具備することを特徴とする端面研磨装置。
【請求項６】請求項１に記載の端面研磨装置におい
て、前記支持機構は、先端部で前記治具盤を保持する一
方、基端部が側方まで延設され且つ略水平に保持された
状態で上下方向に移動自在に支持された治具盤支持アー
ムと、この治具盤支持アームの基端部を上下方向昇降可
能に支持し且つ前記治具盤に取り付けられた前記棒状部
材が前記研磨部材に所定の圧力で押圧されるように前記
治具盤支持アームを降下する昇降手段とを具備すること
を特徴とする端面研磨装置。
【請求項７】請求項６に記載の端面研磨装置におい
て、前記研磨盤の側方に前記治具盤の下面及び当該治具
盤に取り付けられた前記棒状部材を洗浄する洗浄機を有
する一方、前記支持機構は、前記昇降手段と共に前記治
具盤支持アームを水平方向に移動して前記治具盤を前記
研磨盤から前記洗浄機まで往復移動する治具盤移動手段
を具備することを特徴とする端面研磨洗浄装置。
【請求項８】請求項７に記載の端面研磨装置におい
て、前記洗浄機は前記治具盤の下面に接触した状態で回
転移動されることにより、前記棒状部材の端部及び前記
治具盤の下面部とを洗浄する清浄ブラシを具備すること
を特徴とする端面研磨装置。
【請求項９】請求項１に記載の端面研磨装置におい
て、前記研磨盤の駆動機構は、前記治具盤が載置された
状態で自転しながら公転することを特徴とする端面研磨
装置。
【請求項１０】請求項９に記載の端面研磨装置におい
て、前記研磨盤の駆動機構は、所定の位置に停止する停
止位置制御手段を有することを特徴とする端面研磨装
置。