JP3294338B2 - 超仕上げ加工装置 - Google Patents
超仕上げ加工装置Info
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- JP3294338B2 JP3294338B2 JP28077592A JP28077592A JP3294338B2 JP 3294338 B2 JP3294338 B2 JP 3294338B2 JP 28077592 A JP28077592 A JP 28077592A JP 28077592 A JP28077592 A JP 28077592A JP 3294338 B2 JP3294338 B2 JP 3294338B2
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- particles
- polishing
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルム式の超仕上げ
加工装置に関する。
加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３はＯＡ機器のプリンターを示す概略
図である。このプリンターは、印字記号に基ずき、イオ
ンカートリッジ１から発生したイオン２を回転するドラ
ム３に向かって放射し、ドラム３に印字信号に対応した
電荷を乗せ、静電潜像を形成する。そして、マグネット
ローラ５で磁化した一成分磁性トナー４により顕像化す
る。次に、給紙された用紙６の裏側からプレッシャーロ
ーラー７により圧力をかけることで転写と定着を同時に
行う。そして、ドラム３上の残留トナーをクリーニング
ブレード８によって除去し、さらに、次の作像のために
イレーサー９によってドラム３上の残留電荷を消去す
る。
図である。このプリンターは、印字記号に基ずき、イオ
ンカートリッジ１から発生したイオン２を回転するドラ
ム３に向かって放射し、ドラム３に印字信号に対応した
電荷を乗せ、静電潜像を形成する。そして、マグネット
ローラ５で磁化した一成分磁性トナー４により顕像化す
る。次に、給紙された用紙６の裏側からプレッシャーロ
ーラー７により圧力をかけることで転写と定着を同時に
行う。そして、ドラム３上の残留トナーをクリーニング
ブレード８によって除去し、さらに、次の作像のために
イレーサー９によってドラム３上の残留電荷を消去す
る。
【０００３】このような構造を持つプリンターにおい
て、画質を決定する一つの大きな要素としてドラム３の
静電潜像を顕像化する際のドラム３とマグネットローラ
ー５の隙間寸法Ｐが挙げられる。すなわち、寸法Ｐの変
化（振れ）が大きいと文字、記号の歪、印字の濃淡等の
不具合になる。故に、ドラム３、マグネットローラー５
は、共にその加工に高精度が求められる。
て、画質を決定する一つの大きな要素としてドラム３の
静電潜像を顕像化する際のドラム３とマグネットローラ
ー５の隙間寸法Ｐが挙げられる。すなわち、寸法Ｐの変
化（振れ）が大きいと文字、記号の歪、印字の濃淡等の
不具合になる。故に、ドラム３、マグネットローラー５
は、共にその加工に高精度が求められる。
【０００４】特にドラム３は、電荷の保持が可能なこ
と、高寿命を実現するために表面硬度が高く、耐磨耗
性がよいこと、一成分磁性トナーの離型性のよいこ
と、が求められる。そのため、ドラムの円筒表面に厚さ
３０〜４０μｍの絶縁塗装が施されていた。
と、高寿命を実現するために表面硬度が高く、耐磨耗
性がよいこと、一成分磁性トナーの離型性のよいこ
と、が求められる。そのため、ドラムの円筒表面に厚さ
３０〜４０μｍの絶縁塗装が施されていた。
【０００５】その状態を図４に示す。この塗装膜１０は
酸化アルミナ等の微粒を含む樹脂でできており、ドラム
３に吹き付け塗装されていた。この塗装膜１０の表面粗
さは最大面粗さが３〜４μｍであり、表面はオレンジピ
ールと呼ばれる肌をしているため、以下の不具合があっ
た。
酸化アルミナ等の微粒を含む樹脂でできており、ドラム
３に吹き付け塗装されていた。この塗装膜１０の表面粗
さは最大面粗さが３〜４μｍであり、表面はオレンジピ
ールと呼ばれる肌をしているため、以下の不具合があっ
た。
【０００６】表面粗さが粗いため、表面に付く１〜２
μｍの微粒であるトナー４の量が一定にならず、用紙６
に転写された文字、記号等の濃度にムラが出る不具合が
あった。 樹脂塗装膜１０は、耐磨耗性を持たせるために酸化ア
ルミナ等の微粒子を含んでいるが、樹脂塗装膜１０に均
一に分散しないで塗装膜１０の下側へ酸化アルミナ等の
微粒子が沈降する現象が生じ、結果として塗装膜１０の
上部の５〜１０μｍの層の微粒子が不足する。この微粒
子が不足した部分は硬度が低く、耐磨耗性が低い等の欠
点がある。このため、ドラムの耐久性に大きな問題があ
った。
μｍの微粒であるトナー４の量が一定にならず、用紙６
に転写された文字、記号等の濃度にムラが出る不具合が
あった。 樹脂塗装膜１０は、耐磨耗性を持たせるために酸化ア
ルミナ等の微粒子を含んでいるが、樹脂塗装膜１０に均
一に分散しないで塗装膜１０の下側へ酸化アルミナ等の
微粒子が沈降する現象が生じ、結果として塗装膜１０の
上部の５〜１０μｍの層の微粒子が不足する。この微粒
子が不足した部分は硬度が低く、耐磨耗性が低い等の欠
点がある。このため、ドラムの耐久性に大きな問題があ
った。
【０００７】そこで、塗装したドラムを周知のフィルム
式の超仕上げ加工装置で研磨して硬度の不足した部分の
５〜１０μｍを除去すると共に、最大面粗さを１μｍ以
下の押さえる必要があった。
式の超仕上げ加工装置で研磨して硬度の不足した部分の
５〜１０μｍを除去すると共に、最大面粗さを１μｍ以
下の押さえる必要があった。
【０００８】上記フィルム式の超仕上げ加工装置の周知
の加工原理は、図５および図６に示すように、適度な硬
さを持ったゴムローラー１１と回転センタ１３およびチ
ャック１４により回転自在に保持したドラム３との間に
ドラムの最大面粗さを１μｍ程度にするために必要な粒
度を持った研磨用フィルム１２（砥粒粒度１５μｍ〜５
μｍ）を介し、ゴムローラー１１をドラム３の長手方向
に振動ｂしながら往復動ｃさせ、回転ａするドラム３に
0.５mm前後を押し当てることにより得られる圧力によ
り、ドラム３表面を仕上げるものである。
の加工原理は、図５および図６に示すように、適度な硬
さを持ったゴムローラー１１と回転センタ１３およびチ
ャック１４により回転自在に保持したドラム３との間に
ドラムの最大面粗さを１μｍ程度にするために必要な粒
度を持った研磨用フィルム１２（砥粒粒度１５μｍ〜５
μｍ）を介し、ゴムローラー１１をドラム３の長手方向
に振動ｂしながら往復動ｃさせ、回転ａするドラム３に
0.５mm前後を押し当てることにより得られる圧力によ
り、ドラム３表面を仕上げるものである。
【０００９】そして、研磨に適した水溶液（研削液）２
１を、ドラム３と研磨用フィルム１２を介したゴムロー
ラー１１との接触面に流し続けることによって、ドラム
３の発熱を押さえるとともに研磨により脱落した砥粒お
よび異物を洗い流していた。また、１本のドラムを加工
するのに、砥粒粒度が、１５μｍ（♯１０００）、９μ
ｍ（♯２０００）、５μｍ（♯３０００）の３種類のフ
ィルム１２を上記の順で用いて加工しており、このとき
のドラム１本の加工時間は約１０分となっていた。
１を、ドラム３と研磨用フィルム１２を介したゴムロー
ラー１１との接触面に流し続けることによって、ドラム
３の発熱を押さえるとともに研磨により脱落した砥粒お
よび異物を洗い流していた。また、１本のドラムを加工
するのに、砥粒粒度が、１５μｍ（♯１０００）、９μ
ｍ（♯２０００）、５μｍ（♯３０００）の３種類のフ
ィルム１２を上記の順で用いて加工しており、このとき
のドラム１本の加工時間は約１０分となっていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
のフィルム式超仕上げ加工装置にあっては、以下に述べ
る問題点があった。従来、ドラム３の加工に際し、図７
に示すように、ドラム表面を研磨加工する加工部となる
研磨装置本体１５より流出した研削液２１は、一旦、タ
ンク１６に入った後、ポンプ１７によって再び研磨装置
本体１５に循環させられていた。
のフィルム式超仕上げ加工装置にあっては、以下に述べ
る問題点があった。従来、ドラム３の加工に際し、図７
に示すように、ドラム表面を研磨加工する加工部となる
研磨装置本体１５より流出した研削液２１は、一旦、タ
ンク１６に入った後、ポンプ１７によって再び研磨装置
本体１５に循環させられていた。
【００１１】この方法では、初期の段階で使用される１
５μｍ、９μｍのフィルムより発生した砥粒、除去され
たコーティング材などの不純物が再び循環してくるた
め、 研磨砥粒、研磨により除去されたコーティング材およ
びそれ以外から混入する異物が含まれたまま循環してい
る研削液２１が、図５において、ドラム３とフィルム１
２との間に入り込み、研削液中に存在する特に大きな粒
子（５〜１５μｍ以上）が、ドラム３に傷を付けること
によるドラム３の面粗さの劣化（最大面粗さ1.５〜３μ
ｍ）が生じていた。 上記不具合点の状況において、研削液２１に含まれ
る粒子の内、研磨により除去されたコーティング材が、
フィルム１２の研磨砥粒の隙間に入り込み、これによっ
てフィルム１２が目詰まり状態となり、加工本数に伴い
加工速度が遅くなる（加工時間が長くなる）という加工
能率の低下（加工初期状態で約１０分の加工時間が、２
０本程加工した時点で、約１４分にまで延びる）が生じ
ていた。
５μｍ、９μｍのフィルムより発生した砥粒、除去され
たコーティング材などの不純物が再び循環してくるた
め、 研磨砥粒、研磨により除去されたコーティング材およ
びそれ以外から混入する異物が含まれたまま循環してい
る研削液２１が、図５において、ドラム３とフィルム１
２との間に入り込み、研削液中に存在する特に大きな粒
子（５〜１５μｍ以上）が、ドラム３に傷を付けること
によるドラム３の面粗さの劣化（最大面粗さ1.５〜３μ
ｍ）が生じていた。 上記不具合点の状況において、研削液２１に含まれ
る粒子の内、研磨により除去されたコーティング材が、
フィルム１２の研磨砥粒の隙間に入り込み、これによっ
てフィルム１２が目詰まり状態となり、加工本数に伴い
加工速度が遅くなる（加工時間が長くなる）という加工
能率の低下（加工初期状態で約１０分の加工時間が、２
０本程加工した時点で、約１４分にまで延びる）が生じ
ていた。
【００１２】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたもので、研削液中に含まれている脱落砥粒およ
び除去されたコーティング材等の異物の除去を行うこと
により、ドラムの最大面粗さ（Ｒｍａｘ）を１μｍ以下
に加工でき、時間とともに加工能率が低下しない超仕上
げ加工装置を提供することを目的とする。
なされたもので、研削液中に含まれている脱落砥粒およ
び除去されたコーティング材等の異物の除去を行うこと
により、ドラムの最大面粗さ（Ｒｍａｘ）を１μｍ以下
に加工でき、時間とともに加工能率が低下しない超仕上
げ加工装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、研削液を流し続けながら回転するドラム
表面に研磨用フィルムをローラで押し当てて前記研磨用
フィルムでドラム表面を研磨加工する加工部を有する超
仕上げ加工装置において、前記加工部から排出された研
削液を直接に送って、この研削液中に含まれる粒子・異
物を遠心分離で除去する遠心分離器と、前記遠心分離器
から排出された研削液を貯めるためのタンクと、このタ
ンクの下流側に配置され、タンク内の研削液中に含まれ
る粒子・異物をさらに下流側に配置されるフィルタで除
去するように前記研削液を循環させるためのポンプと、
このポンプにより前記タンクから送られた研削液中に含
まれる粒子・異物を前記フィルタで除去し清浄な研削液
とする少なくとも１つのフィルタユニットと、を前記加
工装置の加工部に供給する研削液の循環経路中に順次に
備え、加工部から排出された粒子・異物を含む研削液を
清浄な研削液として前記加工部に循環して再使用するこ
ととした。
に、本発明は、研削液を流し続けながら回転するドラム
表面に研磨用フィルムをローラで押し当てて前記研磨用
フィルムでドラム表面を研磨加工する加工部を有する超
仕上げ加工装置において、前記加工部から排出された研
削液を直接に送って、この研削液中に含まれる粒子・異
物を遠心分離で除去する遠心分離器と、前記遠心分離器
から排出された研削液を貯めるためのタンクと、このタ
ンクの下流側に配置され、タンク内の研削液中に含まれ
る粒子・異物をさらに下流側に配置されるフィルタで除
去するように前記研削液を循環させるためのポンプと、
このポンプにより前記タンクから送られた研削液中に含
まれる粒子・異物を前記フィルタで除去し清浄な研削液
とする少なくとも１つのフィルタユニットと、を前記加
工装置の加工部に供給する研削液の循環経路中に順次に
備え、加工部から排出された粒子・異物を含む研削液を
清浄な研削液として前記加工部に循環して再使用するこ
ととした。
【００１４】
【作用】上記構成によれば、加工部から排出された研削
液中に含まれる数〜数十μｍの大きな粒子・異物は遠心
分離機で除去されるとともに、５μｍ以上あるいは１μ
ｍ以上の微粒な粒子・異物はフィルタユニットで除去さ
れ、清浄な研削液が加工部に供給される。
液中に含まれる数〜数十μｍの大きな粒子・異物は遠心
分離機で除去されるとともに、５μｍ以上あるいは１μ
ｍ以上の微粒な粒子・異物はフィルタユニットで除去さ
れ、清浄な研削液が加工部に供給される。
【００１５】
【実施例１】図１は、本発明に係る超仕上げ加工装置の
実施例１を示す斜視図である。本実施例の加工装置は、
被加工物となるドラムの表面を超仕上げ加工する加工部
となる表面研磨装置本体１５と、表面研磨装置本体１５
より排出された研削液２１中に含まれる粒子・異物を遠
心分離する遠心分離機１６と、遠心分離機１６からの研
削液２１を貯めるタンク１７と、研削液２１を循環させ
るためのタンク１７に設けられたポンプ１８と、タンク
１７から送液された研削液２１中に含まれる粒子・異物
を除去する１０μｍフィルタユニット１９と、１０μｍ
フィルユニット１９から送られた研削液２１中に含まれ
る粒子・異物を除去する５μｍフィルタユニット２０と
から構成されている。５μｍフィルタユニット２０を通
った研削液２１は、表面研磨機本体１５に送られて循環
し、再び使用される。
実施例１を示す斜視図である。本実施例の加工装置は、
被加工物となるドラムの表面を超仕上げ加工する加工部
となる表面研磨装置本体１５と、表面研磨装置本体１５
より排出された研削液２１中に含まれる粒子・異物を遠
心分離する遠心分離機１６と、遠心分離機１６からの研
削液２１を貯めるタンク１７と、研削液２１を循環させ
るためのタンク１７に設けられたポンプ１８と、タンク
１７から送液された研削液２１中に含まれる粒子・異物
を除去する１０μｍフィルタユニット１９と、１０μｍ
フィルユニット１９から送られた研削液２１中に含まれ
る粒子・異物を除去する５μｍフィルタユニット２０と
から構成されている。５μｍフィルタユニット２０を通
った研削液２１は、表面研磨機本体１５に送られて循環
し、再び使用される。
【００１６】本実施例の超仕上げ加工装置によれば、表
面研磨装置本体１５で発生する砥粒・コーティング材な
どの異物を取り込んだ研削液２１は、まず、１０μｍフ
ィルタユニット１９の目詰まり防止のため、遠心分離機
１６によって、数μｍ〜数十μｍ以上の大きな粒子・異
物の除去が行われた後、タンク１７を経由してポンプ１
８によって１０μｍフィルタユニット１９に送られ、５
μｍフィルタユニット２０の目詰まり防止のため、１０
μｍ以上の微粒子の除去が行われる。最後に、研削液２
１は５μｍフィルタユニット２０に送られ、５μｍ以上
の微粒子の除去が行われ、清浄された研削液２１は、表
面研磨装置本体１５に供給される。そして、かかる研削
液２１の循環は、循環経路中に組み込まれているポンプ
１８によって行われている。
面研磨装置本体１５で発生する砥粒・コーティング材な
どの異物を取り込んだ研削液２１は、まず、１０μｍフ
ィルタユニット１９の目詰まり防止のため、遠心分離機
１６によって、数μｍ〜数十μｍ以上の大きな粒子・異
物の除去が行われた後、タンク１７を経由してポンプ１
８によって１０μｍフィルタユニット１９に送られ、５
μｍフィルタユニット２０の目詰まり防止のため、１０
μｍ以上の微粒子の除去が行われる。最後に、研削液２
１は５μｍフィルタユニット２０に送られ、５μｍ以上
の微粒子の除去が行われ、清浄された研削液２１は、表
面研磨装置本体１５に供給される。そして、かかる研削
液２１の循環は、循環経路中に組み込まれているポンプ
１８によって行われている。
【００１７】本実施例によれば、表面研磨装置本体１５
により発生せしめる微粒子の内、５μｍ以上の大きさの
ものは、全て除去することができる。ドラム表面粗さ
（Ｒｍａｘ）１μｍ以下の表面精度を出すのに必要なフ
ィルム１２の砥粒粒度は、５〜１５μｍであることは既
に述べたが、この装置における研削液２１の持つ微粒子
の粒度には、５μｍ以上のものはないということから、
脱落砥粒の影響は排除されドラムの最大表面粗さは確実
に１μｍ以下が保証され、加工能率についても、従来の
ように加工本数に従って加工時間が延びると言うような
こともなく、初期の加工時間１０分を常に維持すること
が可能となる。なお、本実施例にあっては、５μｍおよ
び１０μｍのフィルタユニット１９，２０を用いたが、
５μｍ以下であれば、これに限定されるものではない。
により発生せしめる微粒子の内、５μｍ以上の大きさの
ものは、全て除去することができる。ドラム表面粗さ
（Ｒｍａｘ）１μｍ以下の表面精度を出すのに必要なフ
ィルム１２の砥粒粒度は、５〜１５μｍであることは既
に述べたが、この装置における研削液２１の持つ微粒子
の粒度には、５μｍ以上のものはないということから、
脱落砥粒の影響は排除されドラムの最大表面粗さは確実
に１μｍ以下が保証され、加工能率についても、従来の
ように加工本数に従って加工時間が延びると言うような
こともなく、初期の加工時間１０分を常に維持すること
が可能となる。なお、本実施例にあっては、５μｍおよ
び１０μｍのフィルタユニット１９，２０を用いたが、
５μｍ以下であれば、これに限定されるものではない。
【００１８】
【実施例２】図２は、本発明に係る超仕上げ加工装置の
実施例２を示す斜視図である。本実施例の超仕上げ加工
装置は、研削液２１の循環経路中における５μｍフィル
タユニット２０と表面研磨装置本体１５との間に、１μ
ｍフィルタユニット２２を設けたもので、その他の構成
は、上記実施例１の構成と同様である。
実施例２を示す斜視図である。本実施例の超仕上げ加工
装置は、研削液２１の循環経路中における５μｍフィル
タユニット２０と表面研磨装置本体１５との間に、１μ
ｍフィルタユニット２２を設けたもので、その他の構成
は、上記実施例１の構成と同様である。
【００１９】本実施例にあっては、５μｍフィルタユニ
ット２０を通過した研削液２１中から１μｍ以上の微粒
子を除去することができる。
ット２０を通過した研削液２１中から１μｍ以上の微粒
子を除去することができる。
【００２０】本実施例によれば、研削液２１中に１μｍ
以上の微粒子が含まれていないので、表面粗さ0.８μｍ
以下（0.６〜0.８μｍ）の精度を有するドラムの加工が
可能になる。また、加工能率については、実施例１と同
様に初期の加工時間１０分を維持することが可能とな
る。
以上の微粒子が含まれていないので、表面粗さ0.８μｍ
以下（0.６〜0.８μｍ）の精度を有するドラムの加工が
可能になる。また、加工能率については、実施例１と同
様に初期の加工時間１０分を維持することが可能とな
る。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、加工部
から排出された粒子・異物が含まれる研削液を遠心分離
器、タンク、ポンプ、フィルタユニットの順に流すよう
にし、研削液中に含まれるドラムを傷付ける大きな粒子
・異物（例えば５〜１５μｍ以上）を遠心分離機および
フィルタユニットで取り除いて循環させることとしたの
で、ドラム表面の面粗さの改善と、数μｍの表面層の除
去を行う際に、ドラムの最大面粗さ（Ｒｍａｘ）１μｍ
以下のドラムを得ることができる。また、ドラムの加工
時に際しては、研磨フィルムの研磨砥粒による目詰まり
がなくなり、研磨に適した研削液を流し続けた際の加工
時間を常に維持することが可能で、加工能率を低下させ
ることに研磨加工を行うことができる。さらに、遠心分
離器により研削液中に含まれる粒子・異物を遠心分離に
より除去した後にポンプに研削液が流れるようにしてい
るので、研削液中にはポンプの羽根等を損傷する大きな
粒子・異物がないから、研削液を安定して循環させるこ
とができる。
から排出された粒子・異物が含まれる研削液を遠心分離
器、タンク、ポンプ、フィルタユニットの順に流すよう
にし、研削液中に含まれるドラムを傷付ける大きな粒子
・異物（例えば５〜１５μｍ以上）を遠心分離機および
フィルタユニットで取り除いて循環させることとしたの
で、ドラム表面の面粗さの改善と、数μｍの表面層の除
去を行う際に、ドラムの最大面粗さ（Ｒｍａｘ）１μｍ
以下のドラムを得ることができる。また、ドラムの加工
時に際しては、研磨フィルムの研磨砥粒による目詰まり
がなくなり、研磨に適した研削液を流し続けた際の加工
時間を常に維持することが可能で、加工能率を低下させ
ることに研磨加工を行うことができる。さらに、遠心分
離器により研削液中に含まれる粒子・異物を遠心分離に
より除去した後にポンプに研削液が流れるようにしてい
るので、研削液中にはポンプの羽根等を損傷する大きな
粒子・異物がないから、研削液を安定して循環させるこ
とができる。
【図１】本発明の実施例１を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例２を示す斜視図である。
【図３】被研磨材であるドラムを使用したプリンターを
示す概略図である。
示す概略図である。
【図４】ドラムの円筒表面に施した絶縁塗装膜を示すド
ラムの半載正面図である。
ラムの半載正面図である。
【図５】フィルム式の超仕上げ加工装置の加工原理を示
す説明図である。
す説明図である。
【図６】フィルム式の超仕上げ加工装置の加工原理を示
す説明図である。
す説明図である。
【図７】従来の加工装置を示す斜視図である。
１５ 表面研磨装置本体 １６ タンク １８ ポンプ １９ １０μｍフィルタユニット ２０ ５μｍフィルタユニット ２１ 研削液 ２２ １μｍフィルタユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 57/02
Claims (1)
- 【請求項１】 研削液を流し続けながら回転するドラム
表面に研磨用フィルムをローラで押し当てて前記研磨用
フィルムでドラム表面を研磨加工する加工部を有する超
仕上げ加工装置において、 前記加工部から排出された研削液を直接に送って、この
研削液中に含まれる粒子・異物を遠心分離で除去する遠
心分離器と、 前記遠心分離器から排出された研削液を貯めるためのタ
ンクと、 このタンクの下流側に配置され、タンク内の研削液中に
含まれる粒子・異物をさらに下流側に配置されるフィル
タで除去するように前記研削液を循環させるためのポン
プと、 このポンプにより前記タンクから送られた研削液中に含
まれる粒子、異物を前記フィルタで除去し清浄な研削液
とする少なくとも１つのフィルタユニットと、を前記加
工装置の加工部に供給する研削液の循環経路中に順次に
備え、加工部から排出された粒子・異物を含む研削液を
清浄な研削液として前記加工部に循環して再使用するこ
とを特徴とする超仕上げ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28077592A JP3294338B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 超仕上げ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28077592A JP3294338B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 超仕上げ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06106477A JPH06106477A (ja) | 1994-04-19 |
| JP3294338B2 true JP3294338B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=17629791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28077592A Expired - Fee Related JP3294338B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 超仕上げ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3294338B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102672593B (zh) * | 2012-06-04 | 2015-12-09 | 上海卡贝尼精密陶瓷有限公司 | 一种超精密复合抛光方法 |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP28077592A patent/JP3294338B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06106477A (ja) | 1994-04-19 |
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