JP3286117B2 - エポキシ樹脂硬化物のエッチング液 - Google Patents

エポキシ樹脂硬化物のエッチング液

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁材料、接着剤、塗
料などに用いられるフィルム化可能な熱硬化性エポキシ
樹脂硬化物のエッチング液に関する。
【０００２】
【従来の技術】エポキシ樹脂は、ポリイミド樹脂と同様
にその電気特性、接着性に優れているため、種々の分野
で利用されている。エポキシ樹脂及びポリイミド樹脂
は、用途が広がるにつれ、樹脂の一部を粗化や除去して
使用するような用途がでてきた。ポリイミド樹脂のエッ
チングに関しては従来からよく行われており、ヒドラジ
ン等の塩基性溶液でエッチングする方法が、特開昭５０
−４５７７号公報、特開昭５１−２７４６４号公報、及
び特開昭５３−４９０６８号公報により知られている。
【０００３】また、エポキシ樹脂の粗化やエッチングに
関しては、プリント配線板に用いられるエポキシ樹脂硬
化物の表面粗化処理、デスミア処理、エッチバック処理
に用いられる濃硫酸、クロム酸、アルカリ過マンガン酸
塩などでエッチングする方法が、特開昭５４−１４４９
６８号公報や、特開昭６２−１０４１９７号公報により
知られている。またエポキシ樹脂に、アルカリに可溶な
アクリル樹脂を添加して、エッチングする方法が、特開
平５−２１８６５１号公報により知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】無変性のエポキシ樹脂
の硬化物を粗化、エッチングするのは、濃硫酸、クロム
酸、アルカリ過マンガン酸塩を使用していたが、これら
の液は労働安全衛生法の特定化学物質に該当する薬品で
あり、安全上取扱いに十分な注意が必要であり、さらに
取扱い者には定期的に健康診断が義務付けられる。さら
に濃硫酸は吸水性が強いために、十分な濃度管理が必要
であり、アルカリ過マンガン酸塩でエポキシ樹脂を完全
に除去するには、８０℃前後の高温と３０分以上の時間
が必要であった。また、エポキシ樹脂をエッチング可能
にするためにアクリル樹脂を添加した変性エポキシ樹脂
の場合、エポキシ樹脂の耐熱性、耐薬品性等の優れた特
性を低下させてしまう。
【０００５】本発明は、濃硫酸、クロム酸、アルカリ過
マンガン酸塩を使用することなく、無変性のエポキシ樹
脂の除去を可能とするエッチング液を提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のエポキシ樹脂硬
化物のエッチング液は、二官能エポキシ樹脂とハロゲン
化二官能フェノール類を触媒の存在下、加熱して重合さ
せたフィルム形成能を有する分子量１００，０００以上
のエポキシ重合体、架橋剤、多官能エポキシ樹脂からな
る熱硬化性エポキシ樹脂組成物の硬化物をエッチングす
る溶液であって、アミド系溶媒と、アルカリ金属化合物
のアルコール系溶媒溶液からなることを特徴とする。
【０００７】本発明者らは、ハロゲン化高分子量エポキ
シ重合体の分解反応について種々検討した結果、ハロゲ
ン化高分子量エポキシ重合体がアミド系溶媒中でアルカ
リ金属化合物により分解することを見出した。
【０００８】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
エッチング液を用いてエッチングする対象となる熱硬化
性エポキシ樹脂組成物の硬化物は、二官能エポキシ樹脂
とハロゲン化二官能フェノール類を触媒の存在下、加熱
して重合させたフィルム形成能を有する分子量１００，
０００以上のエポキシ重合体、架橋剤、多官能エポキシ
樹脂からなる熱硬化性エポキシ樹脂組成物の硬化物であ
ればよい。
【０００９】このフィルム形成能を有するエポキシ重合
体は、分子量が１００，０００以上の、いわゆる高分子
量エポキシ重合体であり、二官能エポキシ樹脂とハロゲ
ン化二官能フェノール類を二官能エポキシ樹脂とハロゲ
ン化二官能フェノール類の配合当量比をエポキシ基／フ
ェノール性水酸基＝１：０．９〜１．１とし、触媒の存
在下、沸点が１３０℃以上のアミド系またはケトン系溶
媒中、反応固形分濃度５０重量％以下で、加熱して重合
させて得られる。
【００１０】二官能エポキシ樹脂は、分子内に二個のエ
ポキシ基を持つ化合物であればどのようなものでもよ
く、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキ
シ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂などがある。これらの
化合物の分子量はどのようなものでもよい。これらの化
合物は何種類かを併用することができる。また、二官能
エポキシ樹脂以外の成分が不純物として含まれていても
構わない。
【００１１】ハロゲン化二官能フェノール類は、ハロゲ
ン原子および二個のフェノール性水酸基を持つ化合物で
あればどのようなものでもよく、例えば、単環二官能フ
ェノールであるヒドロキノン、レゾルシノール、カテコ
ール、多環二官能フェノールであるビスフェノールＡ、
ビスフェノールＦ、ナフタレンジオール類、ビスフェノ
ール類、これらのアルキル基置換体のハロゲン化物など
がある。これらの化合物の分子量はどのようなものでも
よい。これらの化合物は何種類かを併用することができ
るし、ハロゲン化されていない二官能フェノール類を併
用してもよい。また、二官能フェノール類以外の成分が
不純物として含まれていても構わない。
【００１２】触媒は、エポキシ基とフェノール性水酸基
のエーテル化反応を促進させるような触媒能を持つ化合
物であればどのようなものでもよく、例えば、アルカリ
金属化合物、アルカリ土類金属化合物、イミダゾール
類、有機りん化合物、第二級アミン、第三級アミン、第
四級アンモニウム塩などがある。中でもアルカリ金属化
合物が最も好ましい触媒であり、アルカリ金属化合物の
例としては、ナトリウム、リチウム、カリウムの水酸化
物、ハロゲン化物、有機酸塩、アルコラート、フェノラ
ート、水素化物、ホウ水素化物、アミドなどがある。こ
れらの触媒は併用することができる。
【００１３】反応溶媒としては、アミド系またはケトン
系溶媒が好ましく、アミド系溶媒としては、沸点が１３
０℃以上で、原料となるエポキシ樹脂とフェノール類を
溶解すれば、特に制限はないが、例えば、ホルムアミ
ド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルム
アミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，
Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テト
ラメチル尿素、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロ
リドン、カルバミド酸エステルなどがある。これらの溶
媒は併用することができる。また、ケトン系溶媒、エー
テル系溶媒などに代表されるその他の溶媒と併用しても
構わない。
【００１４】重合体の合成条件としては、二官能エポキ
シ樹脂とハロゲン化二官能フェノール類の配合当量比
は、エポキシ基／フェノール性水酸基＝１：０．９〜
１．１であることが望ましい。触媒の配合量は特に制限
はないが、一般にはエポキシ樹脂１モルに対して触媒は
０．０００１〜０．２モル程度である。重合反応温度
は、６０〜１５０℃であることが望ましい。６０℃より
低いと高分子量化反応が著しく遅く、１５０℃より高い
と副反応が多くなり直鎖状に高分子量化としない。溶媒
を用いた重合反応の際の固形分濃度は５０％以下であれ
ばよいが、さらには３０％以下にすることが望ましい。
このようにしてフィルム形成能を有する分子量が１０
０，０００以上の、いわゆる高分子量エポキシ重合体を
得られる。
【００１５】この高分子量エポキシ重合体の架橋剤とし
ては、架橋剤の反応性制御が容易でワニスの保存安定性
が確保し易い、イソシアネート類を他の活性水素を持つ
化合物でマスク（ブロック）したマスクイソシアネート
類を用いることができる。
【００１６】イソシアネート類は、分子内に二個以上の
イソシアネート基を有するものであればどのようなもの
でもよく、例えば、フェノール類、オキシム類、アルコ
ール類などのマスク剤でマスクされたヘキサメチレンジ
イソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、
イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネー
トなどが挙げられる。特に硬化物の耐熱性の向上のため
フェノール類でマスクされたイソホロンジイソシアネー
ト、トリレンジイソシアネートが好ましい。この架橋剤
の量は高分子量エポキシ重合体のアルコール性水酸基
１．０当量に対し、イソシアネート基が０．１〜１．０
当量にすることが好ましい。
【００１７】多官能エポキシ樹脂としては、分子内に二
個以上のエポキシ基を持つ化合物であればどのようなも
のでもよく、例えば、フェノールノボラック型エポキシ
樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール
型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂などの
フェノール類のグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂
や脂環式エポキシ樹脂、エポキシ化ポリブタジエン、グ
リシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型
エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、可と
う性エポキシ樹脂などであり、エポキシ樹脂ならば何を
用いても構わないが、特にフェノール型エポキシ樹脂、
またはフェノール型エポキシ樹脂と多官能エポキシ樹脂
との混合物が耐熱性の向上のために好ましい。この多官
能エポキシ樹脂の量は高分子量エポキシ重合体に対し、
２０〜１００重量％にすることが好ましい。
【００１８】これらの多官能エポキシ樹脂は、単独でま
たは二種類以上混合して用いても構わない。さらに、多
官能エポキシ樹脂の硬化剤および硬化促進剤を用いる。
エポキシ樹脂の硬化剤および硬化促進剤としては、ノボ
ラック型フェノール樹脂、ジシアンジアミド、酸無水
物、アミン類、イミダゾール類、フォスフィン類などが
挙げられる。また、これらを組み合わせて用いても構わ
ない。さらにシランカップリング剤を添加しても構わな
い。添加するシランカップリング剤としては、エポキシ
シラン、アミノシラン、尿素シラン等が好ましい。
【００１９】本発明のエッチング液は、アミド系溶媒、
アルカリ金属化合物のアルコール系溶媒溶液を配合、混
合して調製する。
【００２０】本発明のエッチング液構成成分であるアミ
ド系溶媒は、どのようなものでもよく、例えば、ホルム
アミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホ
ルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−
テトラメチル尿素、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−
ピロリドン、カルバミド酸エステルなどがある。これら
のうち、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンがエポ
キシ樹脂硬化物を膨潤させる効果があり、分解物の溶解
性が良好なために特に好ましい。これらの溶媒は併用す
ることができる。また、ケトン系溶媒、エーテル系溶媒
などに代表されるその他の溶媒と併用しても構わない。
【００２１】ここで併用できるケトン系溶媒は、どのよ
うなものでもよく、例えば、アセトン、エチルエチルケ
トン、２−ペンタノン、３−ペンタノン、２−ヘキサノ
ン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン、４−ヘ
プタノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノンなど
がある。
【００２２】ここで併用できるエーテル系溶媒は、どの
ようなものでもよく、例えば、ジプロピルエーテル、ジ
イソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、アニソー
ル、フェネトール、ジオキサン、テトラヒドロフラン、
エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコ
ールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなど
がある。
【００２３】本発明のエッチング液構成成分であるアル
カリ金属化合物は、リチウム、ナトリウム、カリウム、
ルビジウム、セシウム等のアルカリ金属化合物でアルコ
ール系溶媒に溶解するものであればどのようなものでも
よく、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビ
ジウム、セシウム等の金属、水素化物、水酸化物、ホウ
水素化物、アミド、フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化
物、ホウ酸塩、リン酸塩、炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、有
機酸塩、フェノール塩などがある。これらのうち、アル
カリ金属水酸化物が好ましく、水酸化リチウム、水酸化
ナトリウム、水酸化カリウムが特に好ましい。
【００２４】本発明のエッチング液構成成分であるアル
コール系溶媒は、どのようなものでもよく、例えば、メ
タノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパ
ノール、１−ブタノール、２−ブタノール、iso-ブタノ
ール、tert−ブタノール、１−ペンタノール、２−ペン
タノール、３−ペンタノール、２−メチル−１−ブタノ
ール、iso-ペンチルアルコール、tert−ペンチルアルコ
ール、３−メチル−２−ブタノール、ネオペンチルアル
コール、１−ヘキサノール、２−メチル−１−ペンタノ
ール、４−メチル−２−ペンタノール、２−エチル−１
−ブタノール、１−ペプタノール、２−ヘプタノール、
３−ヘプタノール、シクロヘキサノール、１−メチルシ
クロヘキサノール、２−メチルシクロヘキサノール、３
−メチルシクロヘキサノール、４−メチルシクロヘキサ
ノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレ
ングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコー
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコ
ールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、
ポリエチレングリコール、１，２−プロパンジオール、
１，３−プロパンジオール、１，２−ブタンジオール、
１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、
２，３−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、
グリセリン、ジプロピレングリコールなどがある。これ
らのうちメタノール、エタノール、エチレングリコー
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコー
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、１，２
−プロパンジオールがアルカリ金属化合物の溶解性が高
いために、特に好ましい。これらの溶媒は、何種類かを
併用することもできる。
【００２５】本発明のエッチング液は、アミド系溶媒に
対し、アルカリ金属化合物のアルコール系溶媒溶液は任
意の組成で可能であり、好ましくはアミド系溶媒５０〜
９９重量％に対し、アルカリ金属化合物のアルコール系
溶媒溶液１〜５０重量％の組成である。アミド系溶媒の
濃度が５０重量％より低いと、エポキシ硬化物の膨潤
性、分解物の溶解性が低下するため好ましくなく、９９
重量％より高いと結果的にアルカリ金属化合物の濃度が
低下するため、エポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下す
るため好ましくない。
【００２６】アルコール系溶媒溶液のアルカリ金属化合
物濃度がどのような濃度でも構わないが、０．５重量％
〜４０重量％の範囲が好ましい。０．５重量％より低い
と、エポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下するため好ま
しくなく、４０重量％より高いとアルコール系溶媒にア
ルカリ金属化合物が完全に溶解できないので好ましくな
い。このようにして得られたエッチング液に界面活性剤
等を添加して使用しても構わない。また、エッチングの
際にエッチング液を９０℃前後まで加熱して使用しても
構わない。
【００２７】エッチング方法として、エッチング液中に
浸してもよいし、さらに気泡を発生させたり、超音波に
より振動を与えたりしても構わない。液中に浸さなくと
もスプレー等を使用しても構わないし、さらに高圧をか
けても構わない。
【００２８】
【実施例】
実施例１ 臭素化高分子量エポキシ重合体、フェノール樹脂マスク
化ジイソシアネート、クレゾールノボラック型エポキシ
樹脂からなる、フィルムの厚さが５０μｍの熱硬化性エ
ポキシ接着フィルムＡＳ−３０００Ｅ（日立化成工業株
式会社製、商品名）を、１７０℃、３０分加熱して、エ
ポキシ樹脂組成物の硬化フィルムを作製した。この硬化
フィルムは、強靱であり、引っ張っても折っても割れた
り切れたりしなかった。エッチング液として、Ｎ，Ｎ−
ジメチルホルムアミド８０重量％、水酸化ナトリウムの
メタノール溶液（水酸化ナトリウム濃度：２０重量％）
２０重量％の混合溶液を調製した。硬化フィルムを２５
℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、３０
分で粉末状に分解した。また、同様に５０℃のエッチン
グ液に浸し、軽く振とうしたところ、１２分で粉末状に
分解した。
【００２９】実施例２ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化カリウムのメタノール溶液（水酸化カ
リウム濃度：２０重量％）２０重量％の混合溶液を調製
した。実施例１で作製した硬化フィルムを２５℃のエッ
チング液に浸し、軽く振とうしたところ、３０分で粉末
状に分解した。
【００３０】実施例３ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化リチウムのメタノール溶液（水酸化リ
チウム濃度：２重量％）２０重量％の混合溶液を調製し
た。実施例１で作製した硬化フィルムを２５℃のエッチ
ング液に浸し、軽く振とうしたところ、４時間で粉末状
に分解した。
【００３１】実施例４ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのメタノール溶液（水酸化
ナトリウム濃度：１０重量％）２０重量％の混合溶液を
調製した。実施例１で作製した硬化フィルムを２５℃の
エッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、５０分で
粉末状に分解した。
【００３２】実施例５ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのメタノール溶液（水酸化
ナトリウム濃度：２０重量％）２０重量％の混合溶液を
調製した。実施例１で作製した硬化フィルムを２５℃の
エッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、４０分で
粉末状に分解した。
【００３３】実施例６ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン８０
重量％、水酸化ナトリウムのメタノール溶液（水酸化ナ
トリウム濃度：２０重量％）２０重量％の混合溶液を調
製した。実施例１で作製した硬化フィルムを２５℃のエ
ッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、４０分で粉
末状に分解した。
【００３４】実施例７ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのメタノール溶液（水酸化
ナトリウム濃度：１５重量％）２０重量％の混合溶液を
調製した。実施例１で作製した硬化フィルムを２５℃の
エッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、４０分で
粉末状に分解した。
【００３５】実施例８ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのエチレングリコールモノ
メチルエーテル溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重量
％）２０重量％の混合溶液を調製した。実施例１で作製
した硬化フィルムを２５℃のエッチング液に浸し、軽く
振とうしたところ、６０分で粉末状に分解した。
【００３６】実施例９ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのエチレングリコールモノ
エチルエーテル溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重量
％）２０重量％の混合溶液を調製した。実施例１で作製
した硬化フィルムを２５℃のエッチング液に浸し、軽く
振とうしたところ、６０分で粉末状に分解した。
【００３７】実施例１０ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重
量％）２０重量％の混合溶液を調製した。実施例１で作
製した硬化フィルムを２５℃のエッチング液に浸し、軽
く振とうしたところ、７０分で粉末状に分解した。
【００３８】実施例１１ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのエチレングリコール溶液
（水酸化ナトリウム濃度：２０重量％）２０重量％の混
合溶液を調製した。実施例１で作製した硬化フィルムを
２５℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、
４０分で粉末状に分解した。
【００３９】実施例１２ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムのジエチレングリコール溶
液（水酸化ナトリウム濃度：１５重量％）２０重量％の
混合溶液を調製した。実施例１で作製した硬化フィルム
を２５℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたとこ
ろ、４５分で粉末状に分解した。
【００４０】実施例１３ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８
０重量％、水酸化ナトリウムの１，２−プロパンジオー
ル溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重量％）２０重量
％の混合溶液を調製した。実施例１で作製した硬化フィ
ルムを２５℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたと
ころ、５０分で粉末状に分解した。
【００４１】比較例１ 実施例１で作製した硬化フィルムを５０℃のＮ，Ｎ−ジ
メチルホルムアミドに浸し、軽く振とうしたところ、２
４時間後でもフィルムは原形をとどめていた。
【００４２】比較例２ 実施例１で作製した硬化フィルムを５０℃の２０重量％
水酸化ナトリウムのメタノール溶液に浸し、軽く振とう
したところ、２４時間後でもフィルムは原形をとどめて
いた。
【００４３】比較例３ 実施例１で作製した硬化フィルムを５０℃の５重量％水
酸化ナトリウム、５重量％過マンガン酸カリウムの混合
水溶液に５０℃で浸し、軽く振とうしたところ、６０分
後でもフィルムは表面が粗化されただけだった。
【００４４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、二官能エポキシ樹脂とハロゲン化二官能フェノール
類を触媒の存在下、加熱して重合させたフィルム形成能
を有する分子量１００，０００以上のエポキシ重合体、
架橋剤、多官能エポキシ樹脂からなる熱硬化性エポキシ
樹脂組成物の硬化物を、エッチングすることができ、か
つ、濃硫酸、クロム酸、アルカリ過マンガン酸塩等の取
り扱いに注意を要する薬品を用いずにエッチングできる
溶液を提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中祖 昭士 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化 成工業株式会社 下館研究所内 (56)参考文献 特開 平５−17604（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−26855（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−26856（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−70267（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−144032（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−33124（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−20539（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−339853（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−9316（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−209111（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330740（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330741（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330742（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08G 59/20 - 59/32 C08J 7/00 - 7/02 H05K 3/00 H05K 3/46

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】二官能エポキシ樹脂とハロゲン化二官能フ
    ェノール類を触媒の存在下、加熱して重合させたフィル
    ム形成能を有する分子量１００，０００以上のエポキシ
    重合体、架橋剤、多官能エポキシ樹脂からなる熱硬化性
    エポキシ樹脂組成物の硬化物をエッチングする溶液であ
    って、アミド系溶媒と、アルカリ金属化合物のアルコー
    ル系溶媒溶液からなることを特徴とするエポキシ樹脂硬
    化物のエッチング液。
  2. 【請求項２】アミド系溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルム
    アミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−
    ２−ピロリドンのいずれかであることを特徴とする請求
    項１に記載のエポキシ樹脂硬化物のエッチング液。
  3. 【請求項３】アルカリ金属化合物が、アルカリ金属水酸
    化物であることを特徴とする請求項１または２に記載の
    エポキシ樹脂硬化物のエッチング液。
  4. 【請求項４】アルカリ金属化合物が、水酸化リチウム、
    水酸化ナトリウム、水酸化カリウムのいずれかであるこ
    とを特徴とする請求項３に記載のエポキシ樹脂硬化物の
    エッチング液。
  5. 【請求項５】アルコール系溶媒が、メタノール、エタノ
    ール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメ
    チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
    ル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノ
    メチルエーテル、１，２−プロパンジオールのいずれか
    であることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれかに
    記載のエポキシ樹脂硬化物のエッチング液。
  6. 【請求項６】アミド系溶媒が５０〜９９重量％の範囲で
    あり、アルカリ金属化合物のアルコール系溶媒溶液（ア
    ルカリ金属化合物濃度０．５〜４０重量％）が１〜５０
    重量％の範囲であることを特徴とする請求項１〜５のう
    ちいずれかに記載のエポキシ樹脂硬化物のエッチング
    液。
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