JP3286115B2 - エポキシ樹脂硬化物のエッチング液 - Google Patents

エポキシ樹脂硬化物のエッチング液

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JP3286115B2
JP3286115B2 JP13508995A JP13508995A JP3286115B2 JP 3286115 B2 JP3286115 B2 JP 3286115B2 JP 13508995 A JP13508995 A JP 13508995A JP 13508995 A JP13508995 A JP 13508995A JP 3286115 B2 JP3286115 B2 JP 3286115B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁材料、接着剤、塗
料などに用いられるフィルム化可能な熱硬化性エポキシ
樹脂硬化物をエッチング除去できるエッチング液に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】エポキシ樹脂は、ポリイミド樹脂と同様
にその電気特性、接着性に優れているため、種々の分野
で利用されている。エポキシ樹脂及びポリイミド樹脂
は、用途が広がるにつれ、樹脂の一部を粗化や除去して
使用するような用途がでてきた。ポリイミド樹脂のエッ
チングに関しては従来からよく行われており、ヒドラジ
ン等の塩基性溶液でエッチングする方法が、特開昭５０
−４５７７号公報、特開昭５１−２７４６４号公報、及
び特開昭５３−４９０６８号公報により知られている。
これに対し、エポキシ樹脂の粗化やエッチングに関して
は、プリント配線板に用いられるエポキシ樹脂硬化物の
表面粗化処理、デスミア処理、エッチバック処理に用い
られる、濃硫酸、クロム酸、アルカリ過マンガン酸塩な
どでエッチングする方法が、特開昭５４−１４４９６８
号公報や、特開昭６２−１０４１９７号公報により知ら
れている。またエポキシ樹脂に、アルカリに可溶なアク
リル樹脂を添加して、エッチングする方法も検討され、
例えば、特開平５−２１８６５１号公報により知られて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、無変性のエ
ポキシ樹脂の硬化物を粗化、エッチングするのは、濃硫
酸、クロム酸、アルカリ過マンガン酸塩を使用していた
が、これらの液は労働安全衛生法の特定化学物質に該当
する薬品であり、安全上取扱いに十分な注意が必要であ
り、さらに取扱い者には定期的に健康診断が義務付けら
れる。さらに濃硫酸は吸水性が強いために、十分な濃度
管理が必要であり、アルカリ過マンガン酸塩でエポキシ
樹脂を完全に除去するには、８０℃前後の高温と３０分
以上の時間が必要であった。また、エポキシ樹脂をエッ
チング可能にするためにアクリル樹脂を添加した変性エ
ポキシ樹脂の場合、エポキシ樹脂の耐熱性、耐薬品性等
の優れた特性を低下させてしまう。
【０００４】本発明は、濃硫酸、クロム酸、アルカリ過
マンガン酸塩を使用しないで、無変性のエポキシ樹脂の
除去を可能とする、安全性に優れたエポキシ樹脂硬化物
のエッチング液を提供することを目的とするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のエポキシ樹脂硬
化物のエッチング液は、二官能エポキシ樹脂とハロゲン
化二官能フェノール類を触媒の存在下、加熱して重合さ
せたフィルム形成能を有する分子量１００，０００以上
のエポキシ重合体、架橋剤、多官能エポキシ樹脂からな
る熱硬化性エポキシ樹脂組成物の硬化物をエッチング除
去するエッチング液であって、その組成が、アミド系溶
媒３０〜８９重量％と、アルカリ金属化合物と、アルカ
リ金属化合物の濃度が０．５〜４０重量％となるように
調整するアルコール系溶媒溶液１〜６０重量％と、水１
０〜３０重量％とからなることを特徴とする。
【０００６】本発明者らは、ハロゲン化高分子量エポキ
シ重合体の分解反応について種々検討した結果、ハロゲ
ン化高分子量エポキシ重合体がアミド系溶媒中でアルカ
リ金属化合物により分解することを見出し、本発明をな
すことができた。
【０００７】本発明のエッチング液によりエッチングを
行なう対象となる、熱硬化性エポキシ樹脂組成物の硬化
物は、二官能エポキシ樹脂とハロゲン化二官能フェノー
ル類を触媒の存在下、加熱して重合させたフィルム形成
能を有する分子量１００，０００以上のエポキシ重合
体、架橋剤、多官能エポキシ樹脂からなる熱硬化性エポ
キシ樹脂組成物の硬化物であればどのようなものでも行
なうことができる。
【０００８】このようなエポキシ樹脂は、フィルム形成
能を有するエポキシ重合体は分子量が、１００，０００
以上の、いわゆる高分子量エポキシ重合体であり、二官
能エポキシ樹脂とハロゲン化二官能フェノール類とを、
当量比がエポキシ基／フェノール性水酸基＝１：０．９
〜１．１となるように配合し、触媒の存在下、沸点が１
３０℃以上のアミド系またはケトン系溶媒中、反応固形
分濃度５０重量％以下で、加熱して重合させて得られ
る。
【０００９】この二官能エポキシ樹脂は、分子内に二個
のエポキシ基を持つ化合物であればどのようなものでも
よく、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビス
フェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポ
キシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂などがある。これら
の化合物の分子量はどのようなものでもよい。これらの
化合物は何種類かを併用することができる。また、二官
能エポキシ樹脂以外の成分が不純物として含まれていて
も構わない。
【００１０】ハロゲン化二官能フェノール類は、ハロゲ
ン原子および二個のフェノール性水酸基を持つ化合物で
あればどのようなものでもよく、例えば、単環二官能フ
ェノールであるヒドロキノン、レゾルシノール、カテコ
ール、多環二官能フェノールであるビスフェノールＡ、
ビスフェノールＦ、ナフタレンジオール類、ビスフェノ
ール類、これらのアルキル基置換体のハロゲン化物など
がある。これらの化合物の分子量はどのようなものでも
よい。これらの化合物は何種類かを併用することができ
るし、ハロゲン化されていない二官能フェノール類を併
用してもよい。また、二官能フェノール類以外の成分が
不純物として含まれていても構わない。
【００１１】触媒は、エポキシ基とフェノール性水酸基
のエーテル化反応を促進させるような触媒能を持つ化合
物であればどのようなものでもよく、例えば、アルカリ
金属化合物、アルカリ土類金属化合物、イミダゾール
類、有機りん化合物、第二級アミン、第三級アミン、第
四級アンモニウム塩などがある。中でもアルカリ金属化
合物が最も好ましい触媒であり、アルカリ金属化合物の
例としては、ナトリウム、リチウム、カリウムの水酸化
物、ハロゲン化物、有機酸塩、アルコラート、フェノラ
ート、水素化物、ホウ水素化物、アミドなどがある。こ
れらの触媒は併用することができる。
【００１２】反応溶媒としては、アミド系またはケトン
系溶媒が好ましく、アミド系溶媒としては、沸点が１３
０℃以上で、原料となるエポキシ樹脂とフェノール類を
溶解すれば、特に制限はないが、例えば、ホルムアミ
ド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルム
アミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，
Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テト
ラメチル尿素、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロ
リドン、カルバミド酸エステルなどがある。これらの溶
媒は併用することができる。また、ケトン系溶媒、エー
テル系溶媒などに代表されるその他の溶媒と併用しても
構わない。
【００１３】重合体の合成条件としては、二官能エポキ
シ樹脂と二官能フェノール類またはハロゲン化二官能フ
ェノール類の配合当量比が、エポキシ基／フェノール性
水酸基＝１：０．９〜１．１であることが望ましい。触
媒の配合量は特に制限はないが、一般にはエポキシ樹脂
１モルに対して触媒は０．０００１〜０．２モルの範囲
が好ましい。重合反応温度は、６０〜１５０℃であるこ
とが望ましい。６０℃より低いと高分子量化反応が著し
く遅く、１５０℃より高いと副反応が多くなり直鎖状に
高分子量化としない。溶媒を用いた重合反応の際の固形
分濃度は５０％以下であればよいが、さらには３０％以
下にすることが望ましい。このようにしてフィルム形成
能を有する分子量が１００，０００以上の、いわゆる高
分子量エポキシ重合体を得られる。
【００１４】この高分子量エポキシ重合体の架橋剤とし
ては、架橋剤の反応性制御が容易でワニスの保存安定性
が確保し易い、イソシアネート類を他の活性水素を持つ
化合物でマスク（ブロック）したマスクイソシアネート
類を用いることができる。
【００１５】イソシアネート類は、分子内に二個以上の
イソシアネート基を有するものであればどのようなもの
でもよく、例えば、フェノール類、オキシム類、アルコ
ール類などのマスク剤でマスクされたヘキサメチレンジ
イソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、
イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネー
トなどが挙げられる。特に硬化物の耐熱性の向上のため
フェノール類でマスクされたイソホロンジイソシアネー
ト、トリレンジイソシアネートが好ましい。この架橋剤
の量は高分子量エポキシ重合体のアルコール性水酸基
１．０当量に対し、イソシアネート基が０．１〜１．０
当量にすることが好ましい。
【００１６】多官能エポキシ樹脂としては、分子内に二
個以上のエポキシ基を持つ化合物であればどのようなも
のでもよく、例えば、フェノールノボラック型エポキシ
樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール
型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂などの
フェノール類のグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂
や脂環式エポキシ樹脂、エポキシ化ポリブタジエン、グ
リシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型
エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、可と
う性エポキシ樹脂などであり、エポキシ樹脂ならば何を
用いても構わないが、特にフェノール型エポキシ樹脂、
またはフェノール型エポキシ樹脂と多官能エポキシ樹脂
との混合物が耐熱性の向上のために好ましい。この多官
能エポキシ樹脂の量は高分子量エポキシ重合体に対し、
２０〜１００重量％にすることが好ましい。
【００１７】これらの多官能エポキシ樹脂は、単独でま
たは二種類以上混合して用いても構わない。さらに、多
官能エポキシ樹脂の硬化剤および硬化促進剤を用いる。
エポキシ樹脂の硬化剤および硬化促進剤としては、ノボ
ラック型フェノール樹脂、ジシアンジアミド、酸無水
物、アミン類、イミダゾール類、フォスフィン類などが
挙げられる。また、これらを組み合わせて用いても構わ
ない。さらにシランカップリング剤を添加することは、
エポキシ接着フィルムの接着力、特に銅箔との接着力を
向上させるので好ましい。添加するシランカップリング
剤としては、エポキシシラン、アミノシラン、尿素シラ
ン等が好ましい。
【００１８】本発明のエッチング液は、アミド系溶媒、
アルカリ金属化合物のアルコール系溶媒溶液、水を配
合、混合して調製する。
【００１９】本発明のエッチング液構成成分であるアミ
ド系溶媒は、どのようなものでもよく、例えば、Ｎ−メ
チルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ
−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル尿素、２−ピロ
リドン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、カルバミド酸エ
ステルなどがある。これらのうち、Ｎ，Ｎ−ジメチルア
セトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンが引火点が７
０℃以上と高く、さらにエポキシ樹脂硬化物を膨潤させ
る効果があり、分解物の溶解性が良好なために特に好ま
しい。これらの溶媒は併用することができるし、またそ
の他の溶媒と併用しても構わない。
【００２０】本発明のエッチング液構成成分であるアル
カリ金属化合物は、リチウム、ナトリウム、カリウム、
ルビジウム、セシウム等のアルカリ金属化合物でアルコ
ール系溶媒に溶解するものであればどのようなものでも
よく、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビ
ジウム、セシウム等の金属、水素化物、水酸化物、ホウ
水素化物、アミド、フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化
物、ホウ酸塩、リン酸塩、炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、有
機酸塩、フェノール塩などがある。これらのうち、アル
カリ金属水酸化物が好ましく、水酸化リチウム、水酸化
ナトリウム、水酸化カリウムが特に好ましい。
【００２１】本発明のエッチング液構成成分であるアル
コール系溶媒は、どのようなものでもよく、例えば、メ
タノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパ
ノール、１−ブタノール、２−ブタノール、iso-ブタノ
ール、tert−ブタノール、１−ペンタノール、２−ペン
タノール、３−ペンタノール、２−メチル−１−ブタノ
ール、iso-ペンチルアルコール、tert−ペンチルアルコ
ール、３−メチル−２−ブタノール、ネオペンチルアル
コール、１−ヘキサノール、２−メチル−１−ペンタノ
ール、４−メチル−２−ペンタノール、２−エチル−１
−ブタノール、１−ペプタノール、２−ヘプタノール、
３−ヘプタノール、シクロヘキサノール、１−メチルシ
クロヘキサノール、２−メチルシクロヘキサノール、３
−メチルシクロヘキサノール、４−メチルシクロヘキサ
ノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレ
ングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコー
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコ
ールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、
ポリエチレングリコール、１，２−プロパンジオール、
１，３−プロパンジオール、１，２−ブタンジオール、
１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、
２，３−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、
グリセリン、ジプロピレングリコールなどがある。これ
らのうちエチレングリコール、ジエチレングリコール、
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレン
グリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコール
モノブチルエーテル、１，２−プロパンジオールが引火
点が８０℃以上と高く、さらにアルカリ金属化合物の溶
解性が高いために、特に好ましい。これらの溶媒は、何
種類かを併用することもできる。
【００２２】本発明のエッチング液に用いるアミド系溶
媒の濃度は、３０重量％より低いとエポキシ硬化物の膨
潤性、分解物の溶解性が低下するため好ましくなく、８
９重量％より高いと結果的にアルカリ金属化合物の濃度
が低下するため、エポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下
したり、水の濃度が低下して引火してしまうため好まし
くない。
【００２３】アルコール系溶媒溶液のアルカリ金属化合
物濃度は、０．５重量％より低いと、エポキシ樹脂硬化
物の分解速度が低下するため好ましくなく、４０重量％
より高いとアルコール系溶媒にアルカリ金属化合物が完
全に溶解できないので好ましくない。
【００２４】水の濃度は、１０重量％より低いと、エッ
チング液が引火性を示すため好ましくなく、３０重量％
より高いとエポキシ硬化物の膨潤性が低下するため、エ
ポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下するため好ましくな
い。
【００２５】このようにして得られたエッチング液に界
面活性剤等を添加して使用しても構わない。また、エッ
チングの際にエッチング液を９０℃前後まで加熱して使
用しても構わない。
【００２６】エッチング方法として、エッチング液中に
浸してもよいし、さらに気泡を発生させたり、超音波に
より振動を与えたりしても構わない。液中に浸さなくと
もスプレー等を使用しても構わないし、さらに高圧をか
けても構わない。
【００２７】
【実施例】
実施例１ 臭素化高分子量エポキシ重合体、フェノール樹脂マスク
化ジイソシアネート、クレゾールノボラック型エポキシ
樹脂からなる、フィルムの厚さが５０μｍの熱硬化性エ
ポキシ接着フィルムＡＳ−３０００Ｅ（日立化成工業株
式会社製、商品名）を、１７０℃、３０分加熱して、エ
ポキシ樹脂組成物の硬化フィルムを作製した。この硬化
フィルムは、強靱であり、引っ張っても折っても割れた
り切れたりしなかった。エッチング液として、Ｎ−メチ
ル−２−ピロリドン７０重量％と、水酸化ナトリウムの
濃度が１０重量％の水酸化ナトリウムのエチレングリコ
ール溶液１５重量％と、水１５重量％との混合溶液を調
製した。エッチング液は、均一であり、引火点を測定し
たところ、８９℃まで引火点がなく、さらに８９℃以上
では点火炎が消火された。硬化フィルムを６０℃のエッ
チング液に浸し、軽く振とうしたところ、硬化フィルム
は１０分で粉末状に分解した。なお、引火点測定条件は
次の通りである。 使用機器 ：セタ型密閉式引火点試験器、ニプシート
レーディング（株）社製 試料量 ：２ｍｌ 測定温度範囲：０〜１１０℃ 着火条件 ：測定温度で温度一定になって１分後、着
火炎を試料カップ内に３秒間点火し、引火するかしない
かを観察した。
【００２８】実施例２ エッチング液として、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド６
５重量％、水酸化ナトリウムのエチレングリコール溶液
（水酸化ナトリウム濃度：１０重量％）１５重量％、水
２０重量％の混合溶液を調製した。エッチング液は均一
であり、引火点を測定したところ、９０℃まで引火点が
なく、さらに９０℃以上では点火炎が消火された。実施
例１で作製した硬化フィルムを６０℃のエッチング液に
浸し、軽く振とうしたところ、硬化フィルムは３０分で
粉末状に分解した。
【００２９】実施例３ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０
重量％、水酸化カリウムのエチレングリコール溶液（水
酸化カリウム濃度：１０重量％）１５重量％、水１５重
量％の混合溶液を調製した。エッチング液は均一であ
り、引火点を測定したところ、８８℃まで引火点がな
く、さらに８８℃以上では点火炎が消火された。実施例
１で作製した硬化フィルムを６０℃のエッチング液に浸
し、軽く振とうしたところ、硬化フィルムは１０分で粉
末状に分解した。
【００３０】実施例４ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン６０
重量％、水酸化リチウムのエチレングリコール溶液（水
酸化リチウム濃度：１重量％）２５重量％、水１５重量
％の混合溶液を調製した。エッチング液は均一であり、
引火点を測定したところ、８６℃まで引火点がなく、さ
らに８６℃以上では点火炎が消火された。実施例１で作
製した硬化フィルムを６０℃のエッチング液に浸し、軽
く振とうしたところ、硬化フィルムは２５分で粉末状に
分解した。
【００３１】実施例５ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０
重量％、水酸化ナトリウムのジエチレングリコール溶液
（水酸化ナトリウム濃度：１０重量％）１５重量％、水
１５重量％の混合溶液を調製した。エッチング液は均一
であり、引火点を測定したところ、８６℃まで引火点が
なく、さらに８６℃以上では点火炎が消火された。実施
例１で作製した硬化フィルムを６０℃のエッチング液に
浸し、軽く振とうしたところ、硬化フィルムは１３分で
粉末状に分解した。
【００３２】実施例６ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０
重量％、水酸化ナトリウムのジエチレングリコールモノ
メチルエーテル溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重量
％）１５重量％、水１５重量％の混合溶液を調製した。
エッチング液は均一であり、引火点を測定したところ、
８９℃まで引火点がなく、さらに８９℃以上では点火炎
が消火された。実施例１で作製した硬化フィルムを６０
℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、硬化
フィルムは１５分で粉末状に分解した。
【００３３】実施例７ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０
重量％、水酸化ナトリウムのジエチレングリコールモノ
エチルエーテル溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重量
％）１５重量％、水１５重量％の混合溶液を調製した。
エッチング液は均一であり、引火点を測定したところ、
９０℃まで引火点がなく、さらに９０℃以上では点火炎
が消火された。実施例１で作製した硬化フィルムを６０
℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、硬化
フィルムは１５分で粉末状に分解した。
【００３４】実施例８ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０
重量％、水酸化ナトリウムのジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル溶液（水酸化ナトリウム濃度：５重量
％）１５重量％、水１５重量％の混合溶液を調製した。
エッチング液は均一であり、引火点を測定したところ、
８８℃まで引火点がなく、さらに８８℃以上では点火炎
が消火された。実施例１で作製した硬化フィルムを６０
℃のエッチング液に浸し、軽く振とうしたところ、硬化
フィルムは１８分で粉末状に分解した。
【００３５】実施例９ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７０
重量％、水酸化ナトリウムの１，２−プロパンジオール
溶液（水酸化ナトリウム濃度：１０重量％）１５重量
％、水１５重量％の混合溶液を調製した。エッチング液
は均一であり、引火点を測定したところ、８７℃まで引
火点がなく、さらに８７℃以上では点火炎が消火され
た。実施例１で作製した硬化フィルムを６０℃のエッチ
ング液に浸し、軽く振とうしたところ、硬化フィルムは
１５分で粉末状に分解した。
【００３６】実施例１０ エッチング液として、Ｎ−メチル−２−ピロリドン６０
重量％、水酸化ナトリウムのエチレングリコール溶液
（水酸化ナトリウム濃度：１０重量％）２０重量％、水
２０重量％の混合溶液を調製した。エッチング液は均一
であり、引火点を測定したところ、８５℃まで引火点が
なく、さらに８５℃以上では点火炎が消火された。実施
例１で作製した硬化フィルムを６０℃のエッチング液に
浸し、軽く振とうしたところ、硬化フィルムは３０分で
粉末状に分解した。
【００３７】比較例１ 実施例１で作製した硬化フィルムを、６０℃のＮ−メチ
ル−２−ピロリドンに浸し、軽く振とうしたところ、２
４時間後でもフィルムは原形をとどめていた。また、Ｎ
−メチル−２−ピロリドンの引火点を測定したところ、
８７℃で引火した。
【００３８】比較例２ 実施例１で作製した硬化フィルムを、６０℃の１０重量
％水酸化ナトリウムのジエチレングリコールモノメチル
エーテル溶液に浸し、軽く振とうしたところ、２４時間
後でもフィルムは原形をとどめていた。また、１０重量
％水酸化ナトリウムのジエチレングリコールモノメチル
エーテル溶液の引火点を測定したところ、８５℃で引火
した。
【００３９】比較例３ 実施例１で作製した硬化フィルムを６０℃の５重量％水
酸化ナトリウム、５重量％過マンガン酸カリウムの混合
水溶液に浸し、軽く振とうしたところ、６０分後でもフ
ィルムは表面が粗化されただけだった。
【００４０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によっ
て、濃硫酸、クロム酸、アルカリ過マンガン酸塩等の取
り扱いに注意を要する薬品を用いずに、二官能エポキシ
樹脂とハロゲン化二官能フェノール類を触媒の存在下、
加熱して重合させたフィルム形成能を有する分子量１０
０，０００以上のエポキシ重合体、架橋剤、多官能エポ
キシ樹脂からなる熱硬化性エポキシ樹脂組成物の硬化物
をエッチング除去することができ、かつ、引火点の低い
安全なエッチング液を提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中祖 昭士 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化 成工業株式会社 下館研究所内 (56)参考文献 特開 平５−17604（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−26855（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−26856（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−70267（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−144032（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−33124（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−20539（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−339853（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−9316（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−209111（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330740（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330741（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330742（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08G 59/20 - 59/32 C08J 7/00 - 7/02 H05K 3/00 H05K 3/46

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】二官能エポキシ樹脂とハロゲン化二官能フ
    ェノール類を触媒の存在下、加熱して重合させたフィル
    ム形成能を有する分子量１００，０００以上のエポキシ
    重合体、架橋剤、多官能エポキシ樹脂からなる熱硬化性
    エポキシ樹脂組成物の硬化物をエッチング除去するエッ
    チング液であって、その組成が、アミド系溶媒３０〜８
    ９重量％と、アルカリ金属化合物と、アルカリ金属化合
    物の濃度が０．５〜４０重量％となるように調整するア
    ルコール系溶媒溶液１〜６０重量％と、水１０〜３０重
    量％とからなることを特徴とするエポキシ樹脂硬化物の
    エッチング液。
  2. 【請求項２】アミド系溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセト
    アミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンのいずれかである
    ことを特徴とする請求項１に記載のエポキシ樹脂硬化物
    のエッチング液。
  3. 【請求項３】アルカリ金属化合物が、アルカリ金属水酸
    化物であることを特徴とする請求項１または２に記載の
    エポキシ樹脂硬化物のエッチング液。
  4. 【請求項４】アルカリ金属水酸化物が、水酸化リチウ
    ム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムのいずれかであ
    ることを特徴とする請求項３に記載のエポキシ樹脂硬化
    物のエッチング液。
  5. 【請求項５】アルコール系溶媒が、引火点８０℃以上の
    アルコール系溶媒であることを特徴とする請求項１〜４
    のうちいずれかに記載のエポキシ樹脂硬化物のエッチン
    グ液。
  6. 【請求項６】アルコール系溶媒が、エチレングリコー
    ル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノ
    メチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエー
    テル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、１，
    ２−プロパンジオールのいずれかであることを特徴とす
    る請求項５に記載のエポキシ樹脂硬化物のエッチング
    液。
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