JP3280855B2 - 印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置 - Google Patents
印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置Info
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- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は印刷回路基板の検査
装置に係り、特に電子部品の実装された印刷回路基板の
通電検査を効率よく行い得るように改良されたプローブ
装置に関する。
装置に係り、特に電子部品の実装された印刷回路基板の
通電検査を効率よく行い得るように改良されたプローブ
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般的に、実装工程で部品実装装置によ
り電子部品が実装される印刷回路基板はその電子部品の
実装状態を検査するための検査工程を経るようになる。
通電検査はこの検査工程の一過程であって、実装された
電子部品の短絡(ショート)/開放(オープン)検査を
通して電子部品自体の欠陥やはんだ付け不良などをチェ
ックする。
り電子部品が実装される印刷回路基板はその電子部品の
実装状態を検査するための検査工程を経るようになる。
通電検査はこの検査工程の一過程であって、実装された
電子部品の短絡(ショート)/開放(オープン)検査を
通して電子部品自体の欠陥やはんだ付け不良などをチェ
ックする。
【0003】図1は前記のような通電検査を行うための
従来のプローブ装置を概略的に示した図である。図1に
示されたように、従来の印刷回路基板の通電検査用のプ
ローブ装置は、例えば、DCサーボモーターである駆動モ
ーター(図示せず)と、この駆動モーターの出力軸に結
合されたプーリー110と噛み合うタイミングベルト1
20と、このタイミングベルト120の両端に結合され
た一対のプローブアセンブリ130と、この一対のプロ
ーブアセンブリ130を案内するための一対のガイド1
40とを含んで構成される。
従来のプローブ装置を概略的に示した図である。図1に
示されたように、従来の印刷回路基板の通電検査用のプ
ローブ装置は、例えば、DCサーボモーターである駆動モ
ーター(図示せず)と、この駆動モーターの出力軸に結
合されたプーリー110と噛み合うタイミングベルト1
20と、このタイミングベルト120の両端に結合され
た一対のプローブアセンブリ130と、この一対のプロ
ーブアセンブリ130を案内するための一対のガイド1
40とを含んで構成される。
【0004】前記プローブアセンブリ130はタイミン
グベルト120の両端にその一端がそれぞれ結合された
一対のプローブブロック131と、このプローブブロッ
ク131の他端にそれぞれ結合された一対のプローブチ
ップ132と、プローブブロック131とプローブチッ
プ132との間に設けられた一対のばね133とを含
む。
グベルト120の両端にその一端がそれぞれ結合された
一対のプローブブロック131と、このプローブブロッ
ク131の他端にそれぞれ結合された一対のプローブチ
ップ132と、プローブブロック131とプローブチッ
プ132との間に設けられた一対のばね133とを含
む。
【0005】前記タイミングベルト120は逆“U”字
の形で前記駆動モーターのプーリー110と結合されて
いるので、前記一対のプローブアセンブリ130は駆動
モーターの駆動により相互反対の方向に上下運動をする
ようになる。例えば、右側のプローブアセンブリが通電
検査を行うために下降すると、左側のプローブアセンブ
リは上昇するようになる。このようなプローブアセンブ
リ130の上下運動をガイドするために前記ガイド14
0とプローブブロック131は例えばレール構造に構成
され得る。
の形で前記駆動モーターのプーリー110と結合されて
いるので、前記一対のプローブアセンブリ130は駆動
モーターの駆動により相互反対の方向に上下運動をする
ようになる。例えば、右側のプローブアセンブリが通電
検査を行うために下降すると、左側のプローブアセンブ
リは上昇するようになる。このようなプローブアセンブ
リ130の上下運動をガイドするために前記ガイド14
0とプローブブロック131は例えばレール構造に構成
され得る。
【0006】図1で、参照番号100は前記プローブ装
置をロボット(図示せず)に結合させるアダプターを表
し、このアダプター100の下段に前記駆動モーターが
結合される。図2はこのような印刷回路基板の通電検査
用プローブ装置が通電検査を行っている状態を概略的に
示したものである。
置をロボット(図示せず)に結合させるアダプターを表
し、このアダプター100の下段に前記駆動モーターが
結合される。図2はこのような印刷回路基板の通電検査
用プローブ装置が通電検査を行っている状態を概略的に
示したものである。
【0007】図2に示されるように、通電検査を行うた
めには図1に示されたプローブアセンブリ130及びこ
れと同一な構造を有する別途のプローブアセンブリ13
0’が必要である。図2で、参照番号132’と13
3’は図1に示されたものと同一な構造のプローブチッ
プとばねをそれぞれ表す。通電検査の遂行中に、印刷回
路基板150と電子部品151を結合するはんだ付け部
152にプローブアセンブリ130,130’のプロー
ブチップ132,132’が接触される時、プローブチ
ップ132,132’にははんだ付け部152との接触
による力が加えられるようになる。この接触力はばね1
33,133’により吸収される。
めには図1に示されたプローブアセンブリ130及びこ
れと同一な構造を有する別途のプローブアセンブリ13
0’が必要である。図2で、参照番号132’と13
3’は図1に示されたものと同一な構造のプローブチッ
プとばねをそれぞれ表す。通電検査の遂行中に、印刷回
路基板150と電子部品151を結合するはんだ付け部
152にプローブアセンブリ130,130’のプロー
ブチップ132,132’が接触される時、プローブチ
ップ132,132’にははんだ付け部152との接触
による力が加えられるようになる。この接触力はばね1
33,133’により吸収される。
【0008】ところが、前述したような構成を有する従
来の印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置において
は、プローブアセンブリ130が上下方向のみに移動し
得るので、はんだ付け部152に対するプローブチップ
132の傾斜角度の調整が不可能である。したがって、
はんだ付け部152の多様な表面形状に対する適応性が
落ちてプローブ装置の効率が低下される短所がある。
来の印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置において
は、プローブアセンブリ130が上下方向のみに移動し
得るので、はんだ付け部152に対するプローブチップ
132の傾斜角度の調整が不可能である。したがって、
はんだ付け部152の多様な表面形状に対する適応性が
落ちてプローブ装置の効率が低下される短所がある。
【0009】かつ、前記接触力の吸収がばね133によ
り十分に行われない場合には、プローブチップ132と
はんだ付け部152との接触部位に局部的な塑性変形が
発生し、はんだ付け不良の原因になり得る。なお、プロ
ーブチップ132とはんだ付け部152との接触時に発
生するばね133の振動がプローブチップ132に伝達
され、通電検査信号の歪曲を招き得る。
り十分に行われない場合には、プローブチップ132と
はんだ付け部152との接触部位に局部的な塑性変形が
発生し、はんだ付け不良の原因になり得る。なお、プロ
ーブチップ132とはんだ付け部152との接触時に発
生するばね133の振動がプローブチップ132に伝達
され、通電検査信号の歪曲を招き得る。
【0010】
【発明の解決しようとする課題】本発明は前述した問題
点を解決するために案出されたものであり、はんだ付け
部に対するプローブチップの傾斜角度の調整が可能な印
刷回路基板の通電検査用のプローブ装置を提供すること
にその一番目の目的がある。また、プローブチップとは
んだ付け部との接触による力を減少させはんだ付け不良
を防止し得る印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置
を提供することにその二番目の目的がある。
点を解決するために案出されたものであり、はんだ付け
部に対するプローブチップの傾斜角度の調整が可能な印
刷回路基板の通電検査用のプローブ装置を提供すること
にその一番目の目的がある。また、プローブチップとは
んだ付け部との接触による力を減少させはんだ付け不良
を防止し得る印刷回路基板の通電検査用のプローブ装置
を提供することにその二番目の目的がある。
【0011】また、プローブチップの振動による通電検
査信号の歪曲を防止し得る印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置を提供することにその三番目の目的があ
る。
査信号の歪曲を防止し得る印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置を提供することにその三番目の目的があ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記一番目の目的を達成
するために、本発明による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置は電子部品を印刷回路基板と結合させる結
合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前
記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動する
ための第1駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線
運動を案内するためのガイドを含む印刷回路基板の通電
検査用のプローブ装置において、前記プローブアセンブ
リの前記結合部に対する傾斜角度を調整するための第2
駆動手段を更に含むことを特徴とする。
するために、本発明による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置は電子部品を印刷回路基板と結合させる結
合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前
記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動する
ための第1駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線
運動を案内するためのガイドを含む印刷回路基板の通電
検査用のプローブ装置において、前記プローブアセンブ
リの前記結合部に対する傾斜角度を調整するための第2
駆動手段を更に含むことを特徴とする。
【0013】前記二番目の目的及び三番目の目的を達成
するために、本発明による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置は電子部品を印刷回路基板と結合させる結
合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前
記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動する
ための第1駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線
運動を案内するためのガイドとを含む印刷回路基板の通
電検査用のプローブ装置において、前記プローブアセン
ブリはその先端で前記結合部と接触し前記通電検査によ
る信号を検出するためのプローブチップと、このプロー
ブチップの後端に結合され前記プローブチップが結合部
に接触する時、プローブチップに加えられる接触力を測
定するための力センサーと、前記プローブチップが結合
部に接触する時のプローブチップの位置を測定するため
の位置センサーと、前記測定された接触力とプローブチ
ップの位置により前記プローブチップの位置を調整する
ための位置調整手段とを含むことを特徴とする。
するために、本発明による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置は電子部品を印刷回路基板と結合させる結
合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前
記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動する
ための第1駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線
運動を案内するためのガイドとを含む印刷回路基板の通
電検査用のプローブ装置において、前記プローブアセン
ブリはその先端で前記結合部と接触し前記通電検査によ
る信号を検出するためのプローブチップと、このプロー
ブチップの後端に結合され前記プローブチップが結合部
に接触する時、プローブチップに加えられる接触力を測
定するための力センサーと、前記プローブチップが結合
部に接触する時のプローブチップの位置を測定するため
の位置センサーと、前記測定された接触力とプローブチ
ップの位置により前記プローブチップの位置を調整する
ための位置調整手段とを含むことを特徴とする。
【0014】ここで、前記位置調整手段は所定位置に固
定されレーザービームを放出するための光源と、前記レ
ーザービームの光経路に沿って移動可能に設けられ前記
光源から放出されたレーザービームを前記位置センサー
の方に反射するための移動鏡と、前記測定された接触力
とプローブチップの位置に応答し印加される電流により
移動し、前記移動鏡を前記光経路に沿って移動させるた
めの移動コイルとを含むことが望ましい。
定されレーザービームを放出するための光源と、前記レ
ーザービームの光経路に沿って移動可能に設けられ前記
光源から放出されたレーザービームを前記位置センサー
の方に反射するための移動鏡と、前記測定された接触力
とプローブチップの位置に応答し印加される電流により
移動し、前記移動鏡を前記光経路に沿って移動させるた
めの移動コイルとを含むことが望ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図2乃至図4に基づき本発
明の望ましい実施例による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置をさらに詳細に説明する。図2及び図3を
参照するに、本発明による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置は印刷回路基板150上にはんだ付け部1
52により結合された電子部品151と接触し通電検査
を行うためのプローブアセンブリ330と、このプロー
ブアセンブリ330をはんだ付け部152に対して接近
/ 離隔されるように直線運動させるための第1駆動モー
ター310と、前記プローブアセンブリ330の直線運
動を案内するためのガイド340と、はんだ付け部15
2に対するプローブアセンブリ330の傾斜角度を調整
するための第2駆動モーター360とを含んで構成され
る。
明の望ましい実施例による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置をさらに詳細に説明する。図2及び図3を
参照するに、本発明による印刷回路基板の通電検査用の
プローブ装置は印刷回路基板150上にはんだ付け部1
52により結合された電子部品151と接触し通電検査
を行うためのプローブアセンブリ330と、このプロー
ブアセンブリ330をはんだ付け部152に対して接近
/ 離隔されるように直線運動させるための第1駆動モー
ター310と、前記プローブアセンブリ330の直線運
動を案内するためのガイド340と、はんだ付け部15
2に対するプローブアセンブリ330の傾斜角度を調整
するための第2駆動モーター360とを含んで構成され
る。
【0016】ここで、前記第1,2駆動モーター31
0,360はそれぞれDCサーボモーターより構成される
ことが望ましい。前記プローブアセンブリ330はその
先端で前記はんだ付け部152に接触し通電検査による
信号を検出するプローブチップ332と、このプローブ
チップ332の後端に結合されプローブチップ332が
はんだ付け部152と接触する時、プローブチップ33
2に加えられる接触力を測定するための力センサー33
4と、プローブチップ332がはんだ付け部152と接
触する時のプローブチップ332の位置を測定するため
の位置センサー335と、前記力センサー334と位置
センサー335により測定された接触力とプローブチッ
プ332の位置によりプローブチップ332の位置を調
整するための位置調整部336と、前記ガイド340と
例えば、レール構造に噛み合いプローブアセンブリ33
0の直線運動を支持するプローブブロック331を含ん
で構成される。
0,360はそれぞれDCサーボモーターより構成される
ことが望ましい。前記プローブアセンブリ330はその
先端で前記はんだ付け部152に接触し通電検査による
信号を検出するプローブチップ332と、このプローブ
チップ332の後端に結合されプローブチップ332が
はんだ付け部152と接触する時、プローブチップ33
2に加えられる接触力を測定するための力センサー33
4と、プローブチップ332がはんだ付け部152と接
触する時のプローブチップ332の位置を測定するため
の位置センサー335と、前記力センサー334と位置
センサー335により測定された接触力とプローブチッ
プ332の位置によりプローブチップ332の位置を調
整するための位置調整部336と、前記ガイド340と
例えば、レール構造に噛み合いプローブアセンブリ33
0の直線運動を支持するプローブブロック331を含ん
で構成される。
【0017】ここで、前記位置調整部336は図4に示
されたように、円筒型の胴体336aと、この胴体33
6aの右側の外部に固定され胴体336aの内部にレー
ザービームを放出するための、望ましくは半導体レーザ
ーダイオードである光源336bと、前記胴体336a
の内部の右側端に固定され光源336bから放出された
レーザービームを胴体336aの長手方向に反射させる
固定鏡336cと、胴体336aの内部に胴体336a
の長手方向に移動可能に設けられ固定鏡336cから反
射されたレーザービームを胴体336aの中央部に形成
された孔336eに反射させるための移動鏡336d
と、移動鏡336dと結合され前記力センサー334と
位置センサー335により測定された接触力とプローブ
チップ332の位置に応答し制御部(図示せず)から印
加される電流により移動する移動コイル336fとを含
んで構成される。図4で、参照番号336gと336h
は前記移動コイル336fと電磁気的に相互作用する磁
石をそれぞれ表す。
されたように、円筒型の胴体336aと、この胴体33
6aの右側の外部に固定され胴体336aの内部にレー
ザービームを放出するための、望ましくは半導体レーザ
ーダイオードである光源336bと、前記胴体336a
の内部の右側端に固定され光源336bから放出された
レーザービームを胴体336aの長手方向に反射させる
固定鏡336cと、胴体336aの内部に胴体336a
の長手方向に移動可能に設けられ固定鏡336cから反
射されたレーザービームを胴体336aの中央部に形成
された孔336eに反射させるための移動鏡336d
と、移動鏡336dと結合され前記力センサー334と
位置センサー335により測定された接触力とプローブ
チップ332の位置に応答し制御部(図示せず)から印
加される電流により移動する移動コイル336fとを含
んで構成される。図4で、参照番号336gと336h
は前記移動コイル336fと電磁気的に相互作用する磁
石をそれぞれ表す。
【0018】図4に示されたように、前記プローブチッ
プ332の位置を測定するための位置センサー335は
位置調整部336の胴体336aの孔336eに隣接し
て設けられ、孔336eを通して出射されるレーザービ
ームの位置によりプローブチップ332の初期の位置を
測定するようになる。すなわち、プローブチップ332
がはんだ付け部152と初期に接触する時、プローブチ
ップ332の接触位置により移動鏡336dの位置が変
化するようになり、よって移動鏡336dから反射され
るレーザービームの位置が変化するようになるので、こ
のレーザービームの位置変化からプローブチップ332
の初期の位置を測定することができる。
プ332の位置を測定するための位置センサー335は
位置調整部336の胴体336aの孔336eに隣接し
て設けられ、孔336eを通して出射されるレーザービ
ームの位置によりプローブチップ332の初期の位置を
測定するようになる。すなわち、プローブチップ332
がはんだ付け部152と初期に接触する時、プローブチ
ップ332の接触位置により移動鏡336dの位置が変
化するようになり、よって移動鏡336dから反射され
るレーザービームの位置が変化するようになるので、こ
のレーザービームの位置変化からプローブチップ332
の初期の位置を測定することができる。
【0019】前記力センサー334は例えば圧力センサ
ーより構成されることも可能であり、前述したようにプ
ローブチップ332がはんだ付け部152と初期に接触
される時、プローブチップ332に加えられる力、すな
わち接触力を測定する。前記のように測定された初期の
接触力及びプローブチップ332の位置は基準接触力及
び基準位置とそれぞれ比較され、この比較結果により前
記移動鏡336dの移動量を決定する電流が移動コイル
に印加される。このような動作は前記制御部により行わ
れる。
ーより構成されることも可能であり、前述したようにプ
ローブチップ332がはんだ付け部152と初期に接触
される時、プローブチップ332に加えられる力、すな
わち接触力を測定する。前記のように測定された初期の
接触力及びプローブチップ332の位置は基準接触力及
び基準位置とそれぞれ比較され、この比較結果により前
記移動鏡336dの移動量を決定する電流が移動コイル
に印加される。このような動作は前記制御部により行わ
れる。
【0020】このように位置調整部336によりはんだ
付け部152と接触しているプローブチップ332の位
置が調整され得るので、はんだ付け部152に無理な力
を加えずにプローブチップ332の振動無しに安定した
通電検査を行うことができる。第1駆動モーター310
の回転運動をプローブアセンブリ330の直線運動に変
換させるために、図3に示されたように、第1駆動モー
ター310の出力軸(図示せず)に結合されている駆動
プーリー311と、この駆動プーリー311に所定距離
離隔されプローブアセンブリ330のプローブブロック
331と結合されている従動プーリー312と、この駆
動プーリー311及び従動プーリー312を連結するタ
イミングベルト320が用いられ得る。図示されたよう
に、第1駆動モーター310と駆動プーリー311はガ
イド340の底面に設けられることが望ましい。
付け部152と接触しているプローブチップ332の位
置が調整され得るので、はんだ付け部152に無理な力
を加えずにプローブチップ332の振動無しに安定した
通電検査を行うことができる。第1駆動モーター310
の回転運動をプローブアセンブリ330の直線運動に変
換させるために、図3に示されたように、第1駆動モー
ター310の出力軸(図示せず)に結合されている駆動
プーリー311と、この駆動プーリー311に所定距離
離隔されプローブアセンブリ330のプローブブロック
331と結合されている従動プーリー312と、この駆
動プーリー311及び従動プーリー312を連結するタ
イミングベルト320が用いられ得る。図示されたよう
に、第1駆動モーター310と駆動プーリー311はガ
イド340の底面に設けられることが望ましい。
【0021】前記従動プーリー312には例えば、ピニ
オン(図示せず)が一体に形成され、前記プローブブロ
ック331の対応する位置にはラック(図示せず)が形
成され得る。このピニオンとラックの噛み合いにより第
1駆動モーター310の回転運動がプローブアセンブリ
330の直線運動に変換され得る。一方、前述したよう
なプーリー構造の代わりに第1駆動モーター310とし
て、例えば、歯車付き電動機を用い、この歯車付き電動
機の出力軸に前記のようなピニオンを結合するとなおさ
ら単純な構造になりうる。
オン(図示せず)が一体に形成され、前記プローブブロ
ック331の対応する位置にはラック(図示せず)が形
成され得る。このピニオンとラックの噛み合いにより第
1駆動モーター310の回転運動がプローブアセンブリ
330の直線運動に変換され得る。一方、前述したよう
なプーリー構造の代わりに第1駆動モーター310とし
て、例えば、歯車付き電動機を用い、この歯車付き電動
機の出力軸に前記のようなピニオンを結合するとなおさ
ら単純な構造になりうる。
【0022】本発明のもう一つの特徴である、はんだ付
け部152に対するプローブアセンブリ330の傾斜角
度を調整するための前記第2駆動モーター360は前記
プローブアセンブリ330のプローブブロック331の
一端と結合される。図3には前記プローブブロック33
1を第2駆動モーター360と結合させるための手段と
してモーターブロック361が示されている。すなわ
ち、このモーターブロック361が第2駆動モーター3
60の出力軸(図示せず)に結合され前記プローブブロ
ック331とこのモーターブロック361が例えば、ボ
ルト構造により結合されている。前記第2駆動モーター
360はロボット(図示せず)に装着されているアダプ
ター300に結合されている。ここで、前記アダプター
300はプローブアセンブリ330の直線運動に連動さ
れ移動するようになる。
け部152に対するプローブアセンブリ330の傾斜角
度を調整するための前記第2駆動モーター360は前記
プローブアセンブリ330のプローブブロック331の
一端と結合される。図3には前記プローブブロック33
1を第2駆動モーター360と結合させるための手段と
してモーターブロック361が示されている。すなわ
ち、このモーターブロック361が第2駆動モーター3
60の出力軸(図示せず)に結合され前記プローブブロ
ック331とこのモーターブロック361が例えば、ボ
ルト構造により結合されている。前記第2駆動モーター
360はロボット(図示せず)に装着されているアダプ
ター300に結合されている。ここで、前記アダプター
300はプローブアセンブリ330の直線運動に連動さ
れ移動するようになる。
【0023】このように、第2駆動モーター360によ
りはんだ付け部152に対するプローブアセンブリ33
0の傾斜角度が自由に調整され得るのではんだ付け部1
52の多様な表面形状にも容易に適応することができ
る。
りはんだ付け部152に対するプローブアセンブリ33
0の傾斜角度が自由に調整され得るのではんだ付け部1
52の多様な表面形状にも容易に適応することができ
る。
【0024】
【発明の効果】前記で説明したように本発明によると、
はんだ付け不良及びプローブチップの振動を防止し安定
した通電検査が行い得て、はんだ付け部の多様な表面形
状に対し適応性の向上された印刷回路基板の通電検査用
のプローブ装置を提供することができる。
はんだ付け不良及びプローブチップの振動を防止し安定
した通電検査が行い得て、はんだ付け部の多様な表面形
状に対し適応性の向上された印刷回路基板の通電検査用
のプローブ装置を提供することができる。
【図1】従来の印刷回路基板の通電検査用のプローブ装
置を示した概略図である。
置を示した概略図である。
【図2】印刷回路基板の通電検査の過程を説明するため
の図である。
の図である。
【図3】本発明による印刷回路基板の通電検査用のプロ
ーブ装置を示した概略図である。
ーブ装置を示した概略図である。
【図4】図3の装置の位置調整部を示した詳細図であ
る。
る。
300 アダプター 310 第1駆動モーター 311 駆動プーリー 312 従動プーリー 320 タイミングベルト 330 プローブアセンブリ 331 プローブブロック 332 プローブチップ 334 力センサー 335 位置センサー 336 位置調整部 336a 胴体 336b 光源 336c 固定鏡 336d 移動鏡 336e 孔 336f 移動コイル 336g,336h 磁石 340 ガイド 360 第2駆動モーター 361 モーターブロック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 甘 度 英 大韓民国京畿道水原市八達區梅灘3洞 416番地
Claims (3)
- 【請求項1】 電子部品を印刷回路基板と結合させる結
合部と接触し通電検査を行うプローブアセンブリと、前
記プローブアセンブリが直線運動をするように駆動する
ための第1駆動手段と、前記プローブアセンブリの直線
運動を案内するためのガイドとを含む印刷回路基板の通
電検査用のプローブ装置において、 前記プローブアセンブリはその先端で前記結合部と接触
し通電検査による信号を検出するためのプローブチップ
と、 前記プローブチップの後端に結合され前記プローブチッ
プが前記結合部に接触する時、前記プローブチップに加
えられる接触力を測定するための力センサーと、 前記プローブチップが前記結合部に接触する時の前記プ
ローブチップの位置を測定するための位置センサーと、 前記測定された接触力と前記プローブチップの位置によ
り前記プローブチップの位置を調整するための位置調整
手段とを含み、 前記位置調整手段は所定の位置に固定されレーザービー
ムを放出するための光源と、 前記レーザービームの光経路に沿って移動可能に設けら
れ前記光源から放出されたレーザービームを前記位置セ
ンサーの方に反射するための移動鏡と、 前記測定された接触力と前記プローブチップの位置に応
答し制御可能に印加される電流により移動し、前記移動
鏡を前記光経路に沿って移動させるための移動コイルと
を含み、 前記移動コイルが移動することにより、前記移動コイル
に延設された前記プローブチップの位置を調整する こと
を特徴とする印刷回路基板の通電検査用のプローブ装
置。 - 【請求項2】 前記位置調整手段は前記移動鏡と前記移
動コイルが内部に設けられる胴体と、前記光源と前記移
動鏡との間の光経路上に設けられ前記光源から放出され
るレーザービームを前記移動鏡に反射させるための固定
鏡とを更に含み、 前記位置センサーは前記胴体に隣接して位置し、 前記胴体には前記移動鏡から反射されるレーザービーム
が前記位置センサーに伝達されるように孔が形成されて
いることを特徴とする請求項1に記載の印刷回路基板の
通電検査用のプローブ装置。 - 【請求項3】 前記結合部に対する前記プローブアセン
ブリの傾斜角度を調整するための第2駆動手段を更に含
むことを特徴とする請求項1または2に記載の印刷回路
基板の通電検査用のプローブ装置。
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- 1995-12-30 KR KR1019950069755A patent/KR0176627B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-07-12 JP JP18367396A patent/JP3280855B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-18 US US08/680,693 patent/US5850146A/en not_active Expired - Fee Related
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