KR20220031284A - 기판 클램핑 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판을 확실하고 평평하게 클램핑할 수 있는 클램핑 장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판을 클램핑하는 클램프가 구비되는 클램핑 유니트; 상기 클램핑 유니트에 의해 클램핑된 상기 기판을 팽팽하게 잡아당길 수 있도록 이동하는 당김 유니트를 포함하고,
상기 기판은 4개의 코너부인 제1 코너부, 제2 코너부, 제3 코너부 및 제4 코너부를 포함하며, 상기 기판은 상기 제1 코너부로부터 제2 코너부까지 연장되어 형성되는 제1 에지부, 제3 코너부로부터 제 4코너부까지 연장되어 형성되고 상기 제1 에지부와 마주보는 제2 에지부를 포함하고, 상기 기판은 상기 제1 에지부와 상기 제2 에지부의 상면 및 하면에 대하여 클램핑된 상태에서 평평하게 잡아 당겨지는 클램핑 장치가 제공될 수 있다.

Description

기판 클램핑 장치{Clamping Device of Substrate}

본 발명은 기판을 평평하게 클램핑할 수 있는 클램핑 장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되어 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률의 증가에 의해 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성이 부각되고 있다. 또한, 검사의 신뢰도 및 생산 공정의 신뢰도를 높이기 위해 플렉시블한 성질의 가요성 기판의 평평도를 유지하는 장치가 요구되고 있다.

이러한 각종 기판을 검사하기 위한 검사 장치에는 피검사물을 고정하는 수단으로서 클램핑 장치가 구비될 수 있다.

클램핑 장치는 기판을 클램핑할 때 클램핑 상태가 확실하게 유지되어야 하고, 기판이 플렉시블한 경우 팽팽하게 잡아당긴 상태로 클램핑해야 하는데, 종래에는 효과적으로 기판을 확실하게 클램핑하고 팽팽한 상태가 되도록 하는 클램핑 장치가 마련되지 못하였다.

한국 등록 특허공보 제10-0176627호

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판을 확실하게 클램핑하고 처짐이 없이 평평한 상태로 유지할 수 있는 기판 클램핑 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 해결 수단은 기판을 클램핑하는 클램프가 구비되는 클램핑 유니트; 상기 클램핑 유니트에 의해 클램핑된 상기 기판을 팽팽하게 잡아당길 수 있도록 이동하는 당김 유니트를 포함하고,

상기 기판은 4개의 코너부인 제1 코너부, 제2 코너부, 제3 코너부 및 제4 코너부를 포함하며, 상기 기판은 상기 제1 코너부로부터 제2 코너부까지 연장되어 형성되는 제1 에지부, 제3 코너부로부터 제 4코너부까지 연장되어 형성되고 상기 제1 에지부와 마주보는 제2 에지부를 포함하고, 상기 기판은 상기 제1 에지부와 상기 제2 에지부의 상면 및 하면에 대하여 클램핑된 상태에서 평평하게 잡아 당겨지는 클램핑 장치가 제공될 수 있다.

이와 같이, 본 발명은 기판의 양 측면 전체에 걸쳐서 클램핑 유니트의 클램프에 의해 클램핑하고, 당김 유니트에 의해 잡아 당겨서 하부 방향으로 처질 수 있는 기판을 수평 상태로 평평하게 유지시킬 수 있다.

본 발명은 클램프에 의해 기판의 양 측면 전체를 클램핑하고 당김 유니트에 의해 x축 방향으로 잡아 당기므로, x축 방향의 직교 방향인 y축 방향으로 잡아 당기지 않더라도 기판의 평평도를 유지할 수 있고, 기판의 클램핑을 위한 장치의 구조를 단순화할 수 있다.

본 발명의 당김 유니트는 기판을 클램핑하는 클램프의 y축 방향의 양측에서 동시에 동작하도록 마련되고, 상기 클램핑 유니트와 함께 이동하도록 연결되는 2대의 이동 부재인 제1 이동 부재와 제2 이동 부재, 상기 제1 이동 부재와 제2 이동부재를 서로 반대 방향으로 이동시킬 수 있도록 나사산이 반대 방향으로 형성되는 스크류, 상기 스크류를 회전시키는 구동부로 이루어지며, 상기 구동부는 한쪽의 스크류에 마련되고, 구동부의 회전력이 반대편 스크류에 전달되도록 양측의 스크류에 걸쳐서 동력 전달 부재가 마련되어서 서로 동시에 동작하도록 동기화될 수 있다.

본 발명은 기판의 양측에 형성되는 제1 에지부와 제2 에지부의 길이를 제1 길이라 하고, 클램프의 길이를 제2 길이, 기판의 하부에 지지되고 기판을 잡아 당길 수 있도록 마련되는 이동 부재의 길이를 제3 길이라고 정의할 때, 제2 길이는 제1 길이와 동일 또는 더 크게 형성되고, 제3 길이는 제2 길이와 동일 또는 더 크게 형성되며, 클램프에 의해 기판을 클램핑하면, 기판의 제1 에지부와 제2 에지부의 상면 및 하면에서 가압되어 클램핑 상태를 확실하게 유지할 수 있다.

또한, 본 발명은 기판의 길이가 더 짧은 방향 양측으로 잡아 당기므로, 상대적으로 길이가 더 긴 방향으로 잡아 당기는 것이 비해 보다 확실하고 용이하게 기판을 팽팽하게 처짐없이 클램핑할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 클램핑 장치를 이루는 클램프의 개략적인 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 클램핑 장치에 클램핑되는 기판의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 클램핑 장치에 기판이 클램핑된 상태를 구체적으로 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7은 도 6의 일측의 정면도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 첨부된 예시 도면에 의거 상세하게 설명한다.

본 발명의 실시 예에 있어서, 기판은 각종 부품이 실장되기 전의 인쇄회로기판일 수 있다. 인쇄회로기판은, 통상 페이퍼 페놀 수지(paper phenol resin)나 글래스 에폭시 수지(glass epoxy resin) 등의 재질로 이루어진 기판 상에 동박(銅薄)을 입히고 각종 회로를 인쇄한 것이다. 인쇄회로기판은 회로가 인쇄되지 않은 나머지 부분을 에칭(etching) 등의 식각 기술에 의해 제거하여 구성하게 되며, 이들 회로 상에 여러 전자부품들이 납땜되어 실장되는 것이다. 통상적으로, 인쇄회로기판의 각 접점부에 대한 통전 검사를 행하기 위해서는 각종 테스트 장비에 의해 인쇄회로기판의 각 접점부에 전기 신호를 보낸다. 이때 전류의 통전 상태를 확인하는 것에 의해 인쇄회로기판에 대한 이상 유무를 판별할 수 있다.

[제1 실시 예]

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략적인 평면도, 도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 클램핑 장치를 이루는 클램프의 개략적인 측면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 기판 클램핑 장치(10)는 패턴의 생성 공정과 같은 생산 공정 또는 기 생성된 패턴의 검사를 위한 검사 공정에서 공정의 신뢰도를 보장하기 위해 기판(1)이 흔들리지 않도록 할 필요가 있다.

클램핑 장치(10)는 기판(1)을 클램핑함으로써 생산 공정 또는 검사 공정 중에 기판(10)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다.

클램핑 장치(10)는 사각 형태를 이루도록 도면상 y축 방향의 한쌍의 프레임(12)과, x축 방향의 한쌍의 프레임(13)이 형성되고, 프레임(12)(13)의 안쪽에는 기판(1)을 클램핑하는 클램핑 유니트(100), 클램핑 유니트(100)에 의해 클램핑된 기판(1)을 팽팽하게 잡아당길 수 있도록 이동하는 당김 유니트(200)를 포함할 수 있다.

프레임(12)(13)의 안쪽에는 개구부(14)가 형성되고, 다음 공정 수행을 위한 위치로 이동할 수 있다.

클램핑 유니트(100)는 회동 가능한 클램프(110), 클램프(110)를 회동시키는 회동부재(120)로 이루어질 수 있다.

클램프(110)는 기판(1)의 양 측면에 대면할 수 있는 길이를 가질 수 있고, 기판(1)의 양 측면 길이 방향을 따라 하나 또는 복수로 형성될 수 있다.

또한, 도 2를 참조하면, 클램프(110)는 회동 부재(120)에 의해 회동 가능한 회동축(112)을 가질 수 있다.

회동 부재(120)는 실린더로 이루어질 수 있고, 실린더의 로드는 클램프(110)와 연결될 수 있다.

로드는 클램프(110)를 밀어서 기판(1)의 상면에 대면되게 회전시키거나 또는 반대로 클램프(110)를 잡아 당겨서 기판으로부터 이격되는 위치에 연결될 수 있다.

당김 유니트(200)는 클램프(110)의 양측(도 1에서 상부 및 하부)에 마련될 수 있고, 클램핑 유니트(100)와 함께 이동하도록 연결되는 복수의 이동 부재(210), 이동 부재(210)를 이동시킬 수 있도록 하는 스크류(220), 스크류(220)를 회전시키는 구동부(230)로 이루어질 수 있다.

구동부(230)는 예를 들어 정역 구동이 가능한 모터 등으로 이루어질 수 있다.

본 발명의 제1 실시 예에 있어서, 이동 부재(210)는 각 스크류(220)에 간격을 두고 2대가 마련될 수 있다. 즉, 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)로 이루어질 수 있다. 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)에는 클램핑 유니트(100)가 마련되어서 함께 이동할 수 있다.

제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)의 일측에는 스크류(220)에 나사결합되어서 스크류(220)의 회전에 따라 이동하는 결합 부재(213)(214)가 마련될 수 있다. 결합 부재(213)(214)는 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)에 고정되어서 함께 이동될 수 있다.

따라서, 구동부(230)의 작동에 의해 스크류(200)가 회전하면, 결합부재(213)(214)가 직선 이동하고, 이와 동시에 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)가 이동할 수 있다.

스크류(220)의 외주면에는 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)가 서로 접근하거나 멀어질 수 있도록 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)의 이동 경로에 나사산 방향이 반대로 형성될 수 있다. 즉, 스크류(220)에는 서로 반대 방향으로 나사산이 형성되는 제1 나사부(221)와 제2 나사부(222)로 이루어질 수 있다.

스크류(220)는 볼스크류 타입일 수 있다.

또는, 당김 유니트(200)는 리드 스크류 타입으로 구성될 수 있다. 즉, 복수의 슬라이더와 리드 스크류 및 구동부의 조합으로 이루어지고, 리드 스크류의 회전으로 이동되는 결합 부재(213)(214)에 의해 복수의 이동 부재(210)가 서로 접근 또는 멀어지도록 이동할 수 있으며, 복수의 이동 부재(210)의 이동에 따라 클램핑 유니트(100)도 동시에 이동할 수 있다.

[제2 실시 예]

도 3은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 클램핑 장치를 개략적으로 나타낸 평면도로서, 도 3을 참조하면, 다른 구조의 당김 유니트(300)는 클램핑 유니트(100)의 상부 및 하부에 마련되고, 순환 이동하는 벨트(310), 벨트(310)의 한쪽에 결합되고 이동하는 슬라이더(320), 벨트(310)와 맞물리고 벨트(310)를 순환 이동시키는 회전 롤(330)을 포함할 수 있다.

적어도 어느 한쪽의 회전 롤(330)에는 회전 롤(330)이 회전 가능하도록 하는 모터와 같은 구동수단(미도시)이 결합될 수 있다.

벨트(310)는 예를 들어 타이밍 벨트와 같은 구조로 이루어질 수 있고, 회전 롤(330)의 회전력을 전달받아서 순환 이동할 수 있다.

양측에 마련된 회전 롤(330)을 권취하여 순환 이동하는 벨트(310)는 회전 롤(330)에 의해 간격을 두고 서로 연결되는 제1 벨트(311)와 제2 벨트(312)로 이루어질 수 있다.

본 발명의 제2 실시 예에 있어서, 슬라이더(320)는 각각 제1 슬라이더(321)와 제2 슬라이더(322)의 2대가 마련될 수 있고, 이동 부재(210)와 함께 이동되도록 결합될 수 있다.

제1 슬라이더(321)와 제2 슬라이더(322)는 각각 제1 벨트(311) 및 제2 벨트(312)에 결합될 수 있고, 제1 슬라이더(321)에는 제1 벨트(311)가 연동되게 결합되고, 제2 벨트(312)는 통과되며, 제2 슬라이더(322)에는 제1 벨트(311)가 통과되고, 제2 벨트(312)는 연동되게 결합될 수 있다.

따라서, 제1 슬라이더(321)와 제2 슬라이더(322)에는 각각 제1 벨트(311)와 제2 벨트(312)가 통과할 수 있는 통과홈(321a)(322a)이 형성될 수 있다.

구동 수단에 의해 회전 롤(330)이 회전하면, 벨트(310)가 순환하고, 도 3에서 예를 들어 프레임(12)의 상부측에 배치된 제1 벨트(311)가 좌측으로 이동하면, 도면상 제1 벨트(311)의 하부에 위치한 제2 벨트(312)는 우측으로 이동하게 되며, 그러면 제1 벨트(311)의 이동시 제2 슬라이더(322)의 통과홈(322a)을 제1 벨트(311)가 이동하기 때문에, 제1 벨트(311)의 이동시 제2 슬라이더(322)는 함께 이동하지 않고, 제1 슬라이더(321)는 제1 벨트(311)와 연동되게 결합되어 있으므로, 제1 벨트(311)의 이동에 따라 제1 슬라이더(321)도 동시에 이동할 수 있다.

이때, 제2 벨트(312)는 제1 슬라이더(321)의 통과홈(321a)을 통과하고, 제2 슬라이더(322)와는 연동되게 결합되어 있으므로, 우측으로 이동하는 제2 벨트(312)와 함께 제2 슬라이더(322)가 우측으로 이동할 수 있다.

한편, 도 3에서 이동 부재(210)의 하부에 위치하는 벨트(320)인 경우, 상부에 위치하는 벨트(320)의 이동 방향과 반대 방향으로 이동할 수 있다. 만일, 도면상 상부에 위치하는 벨트(320)의 회전 방향이 반시계 방향인 경우, 하부에 위치하는 벨트(320)의 회전 방향도 반시계 방향인 경우에는 하부에 위치하는 제1 슬라이더(321)의 이동 방향은 제1 벨트(311)의 우측 이동에 따라 우측이고, 제2 슬라이더(322)의 이동 방향은 제2 벨트(312)의 좌측 이동에 따라 좌측이 되기 때문에, 상부에 위치하는 슬라이더(320)의 이동 방향과 반대가 되어 움직일 수 없게 될 수 있다.

따라서, 상부에 위치하는 벨트(320)의 순환 이동 방향과 하부에 위치하는 벨트(320)의 순환 이동 방향은 서로 반대 방향일 수 있다.

또한, 제1 실시 예와 마찬가지로, 제2 실시 예에 있어서, 클램핑 유니트(100)는 동일한 구조로 마련될 수 있다.

또한, 제2 실시 예에 있어서, 클램핑 유니트(100)를 구성하는 클램프(110)는 기판(1)의 양측에 각각 2개 또는 그 이상으로 마련할 수 있다.

도 3을 참조하면, 제2 실시 예에 있어서, 클램프는 기판(1)의 양측에 각각 2개의 분할된 클램프(110)(111)를 마련한 구조로 구성될 수 있다.

2개의 클램프(110)(111)로 구성하는 경우에는 서로 간섭되지 않는 범위내에서 클램프(110)(111)간의 간격이 근접되게 배치함이 바람직할 수 있다. 2개의 클램프(110)(111)가 서로 근접되지 못하게 되면, 클램프(110)(111)에 의해 기판(1)의 양 측면을 클램핑하고 잡아 당길때 클램프(110)(111)간의 간격으로 인해 클램핑 상태가 양호하지 못하고 기판(1)을 팽팽하게 잡아 당기지 못할 수 있다, 따라서, 최대한 2개의 클램프(110)(111)간의 간격을 최대한 좁혀서 마련하는 것이 바람직할 수 있다.

또한, 클램프는 2대 이상, 예를 들어 3대, 4대 등으로 분할하여 기판(1)의 양측면에 마련할 수 있다. 이때에도 각 클램프간의 간격은 최대한 좁혀서 구비하는 것이 바람직할 수 있다.

또한, 각 클램프(110)(111)에는 클램프(110)(111)를 회동시켜서 기판(1)을 클램핑하도록 하는 회동 부재(120)(122)가 구비될 수 있다.

도 1을 참조하면, 기판(1)은 클램핑 장치(10)에 안치되고, 클램핑 유니트(100)에 의해 클램핑 상태가 될 수 있다.

즉, 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(1)이 클램핑 유니트(100)의 양측에 마련된 클램프(110) 사이에 안치되면, 회동 부재(120)의 실린더가 작동하여 클램프(110)를 회전시켜서 기판(1)의 상면에 대면되면서 클램핑상태가 될 수 있다.

클램프(110)는 기판(1)의 양측 길이에 대하여 대면될 수 있는 길이로 형성되어서 기판(1)을 클램핑할 수 있다.

여기서, 본 발명은 기판(1)을 팽팽하게 잡아 당겨서 기판(1)의 평평도를 유지할 필요가 있다. 검사하고자 하는 기판(1)은 플렉시블한 기판일 수 있다.

따라서, 본 발명의 클램핑 장치(10)를 통해 기판(1)을 평평하게 클램핑하고, 통전 여부 등에 대한 검사를 정확하게 수행할 수 있다.

즉, 기판(1)의 양측을 클램프(110)에 의해 클램핑한 상태에서, 당김 유니트(200)를 작동시켜서 기판(1)의 폭 방향인 x축 방향으로 기판(1)을 팽팽하게 잡아당길 수 있고, 그에 따라 기판(1)은 소정의 장력을 가지고 평평한 상태를 유지할 수 있다.

다시 말해서, 당김 유니트(200)의 구동부(230)가 작동하면, 구동부(230)에 연결된 스크류(220)가 회전하고, 이때 스크류(220)의 외주면에는 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)가 각각 마련되어 있는데, 스크류(220)의 회전에 따라 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)는 스크류(220)의 길이 방향을 따라 이동할 수 있다.

제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)의 각 이동 경로에 해당하는 스크류(220)는 서로 반대 방향으로 나사산이 형성된 제1 나사부(221)와 제2 나사부(222)로 이루어져 있으므로, 스크류(220)의 회전에 따라 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)는 서로 접근하거나 멀어지도록 이동할 수 있다.

따라서, 구동부(230)의 작동시, 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)는 서로 멀어지는 방향으로 이동하면, 클램핑 유니트(100)의 클램프(110)에 의해 클램핑된 상태의 기판(1)은 x축 방향으로 잡아 당겨지므로 팽팽한 상태가 될 수 있다.

제1 및 제2 실시 예에 따른 당김 유니트(200)(300)는 기판(1)의 y축 방향의 양측에 각각 마련될 수 있고, 제1 실시 예의 당김 유니트(200)의 양측의 구동부(230)와 제2 실시 예의 당김 유니트의 양측의 구동부는 서로 동시에 동작하도록 제어부에 의해 제어되어서 동기화될 수 있다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(1)을 클램핑하는 클램프(110)는 기판(1)의 양 측면 전체 길이에 걸쳐서 대면되고 클램핑할 수 있으므로, 기판(1)을 확실하게 클램핑하고, 기판(1)을 x축 방향으로 잡아 당겨서 평평도를 확실하게 유지할 수 있다.

즉, 클램프(110)가 기판(1)의 양측면 전체 길이에 대하여 클램핑하고 x축 방향의 양쪽으로 기판(1)을 잡아 당기므로 기판(1)의 길이 방향인 y축 방향으로 잡아당기지 않더라도 기판(1)의 평평도를 유지할 수 있다.

또한, 기판(1)은 미세화될 수록 두께가 얇아질 수 있고, 얇은 두께를 가지는 기판(1)의 면적이 커짐에 따라 기판(1)의 양 측면을 클램핑하더라도 평평도가 유지되지 못하고 처질 수 있다.

더욱이, 기판(1)이 플렉시블하면, 더욱 더 평평도를 유지하기 어려울 수 있다.

따라서, 본 발명에서는 이러한 기판(1)의 양 측면 전체에 걸쳐서 확실하게 클램핑함과 동시에, 당김 유니트(200)에 의해 적절한 거리로 동시에 잡아당겨서 기판(1)의 평평도를 수평되게 유지시킬 수 있다.

도 3은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 클램핑 장치로서, 당김 유니트(300)는 벨트 구동식 구조로 이루어지고, 회전롤(330)의 회전에 따라 벨트(310)의 순환 이동이 이루어지고, 그러면, 벨트(310)에 결합된 제1 슬라이더(321)와 제2 슬라이더(222)가 동시에 이동할 수 있으며, 제1 슬라이더(321)와 제2 슬라이더(322)에 연결된 클램핑 유니트(100)도 동시에 이동할 수 있다.

따라서, 본 발명의 제2 실시 예에 따르면, 클램프(110)에 의해 클램핑된 기판(1)은 팽팽한 상태로 확실하게 클램핑될 수 있다.

[제3 실시 예]

도 4는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략적인 평면도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 클램핑 장치는 다른 구조의 당김 유니트(400)를 포함할 수 있다.

즉, 양측의 스크류(220)중 한쪽 스크류(220)에는 구동부(230)가 마련되고, 다른쪽 스크류(220)에는 구동부(230)가 마련되지 않은 상태에서 구동부(230)의 동력이 전달되는 동력 전달 부재(240)가 연결되어 동기화되게 할 수 있다. 동력 전달 부재(240)는 벨트 등으로 이루어질 수 있다. 즉, 한쪽의 스크류(220)는 구동 스크류이고, 맞은편의 다른 쪽의 스크류(220)는 종동 스크류일 수 있다.

양쪽의 스크류(220)에는 풀리(232)가 결합되고, 양쪽의 풀리(232)에 동력 전달 부재(240)가 연결되어 동력이 전달되게 할 수 있다.

또한, 스크류(220)에 일단부측에는 스크류(220)의 단부를 지지하고 회전이 원활하게 이루어지게 하는 지지 부재(234)가 마련되고, 한쪽 지지 부재(234)에는 스크류(220)가 관통되어서 구동부(230)와 연결될 수 있다.

따라서, 구동부(230)가 구동하면, 스크류(220)가 회전하게 되고, 구동부(230)에 연결된 한쪽의 스크류(220)의 회전력은 동력 전달 부재(240)를 통해 맞은편의 다른쪽 스크류(220)의 풀리(232)를 통해 전달되고, 그러면 다른쪽의 스크류(220)가 회전될 수 있으며, 그에 따라 양측의 스크류(220)는 동시에 회전될 수 있다.

양측의 스크류(220)가 동력 전달 부재(240)에 의해 동시에 회전됨에 따라, 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)가 동시에 서로간의 간격을 벌리면서 이동할 수 있고, 따라서, 기판(1)을 팽팽하게 잡아 당겨서 평평한 상태로 만들 수 있다.

도 5는 본 발명에 따른 클램핑 장치에 클램핑되는 기판의 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판(1)은 플렉시블한 연성 회로 기판으로서, 기판(1)의 양쪽 측면을 이루도록 소정의 길이로 형성되는 직선의 제1 에지부(edge)(1a), 제1 에지부(1a)의 맞은편에 직선으로 형성되는 제2 에지부(1b)가 형성되고, 제1 에지부(1a)와 직교 방향으로 형성되는 직선의 제3 에지부(1c), 제3 에지부(1c)의 맞은편에 직선으로 형성되는 제4 에지부(1d)로 이루어질 수 있다.

따라서, 기판(1)은 제1 내지 제4 에지부(1a) 내지 (1d)에 의해 사각형으로 형성될 수 있고, 4군데의 코너부인 제1 코너부 내지 제4 코너부가 형성될 수 있다.

제1 에지부(1a)는 제1 코너부(1a1)와 제2 코너부(1a2)까지 연장되어 형성될 수 있고, 제2 에지부(1b)는 제3 코너부(1b1)와 제4 코너부(1b2)까지 연장되어 형성될 수 있다.

제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)의 길이는 제3 에지부(1c)와 제4 에지부(1d)의 길이보다 길게 형성될 수 있다. 즉, 기판(1)은 직사각형 형태로 이루어질 수 있다.

기판(1)의 상면은 클램핑 유니트(100)에 의해 가압된 상태로 클램핑될 수 있고, 제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)쪽의 상면은 클램프(110)에 의해 가압된 상태로 클램핑면(a)으로 클램핑되고, 제3 에지부(1c)와 제4 에지부(1d)쪽의 상면 및 하면은 클램핑되지 않고 자유로운 상태일 수 있다.

클램프(110)에 의해 기판(1)의 양 가장 자리인 제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)의 상면이 가압되면, 기판(1)의 하부에 지지된 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)는 x축 방향으로는 이동하고, y축 및 z축 방향으로는 고정된 상태이므로, 기판(1)을 가압한 상태로 유지시킬 수 있다.

기판(1)의 제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)의 길이를 각각 제1 길이(d1), 클램프(110)의 y축 방향의 길이를 제2 길이(d2), 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)의 y축 방향의 길이를 제3 길이(d3)라고 할 때, 제2 길이(d2)는 적어도 제1 길이(d1)와 동일하거나 또는 더 크게 형성될 수 있다.

또한, 제2 길이(d2)와 제3 길이(d3)는 적어도 서로 동일하거나 제3 길이(d3)가 더 길게 형성될 수 있다.

따라서, 기판(1)의 제1 길이(d1)보다 클램프(110)의 제2 길이(d2)가 동일 또는 더 길게 형성될 수 있으므로, 기판(1)의 제1 길이(d1) 전체에 대하여 모두 클램핑할 수 있고, 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)의 y축 방향의 길이인 제3 길이(d3)는 클램프(110)에 의한 제2 길이(d2)와 동일 또는 더 길게 형성될 수 있으므로, 클램프(110)에 의한 가압력이 작용하면, 기판(1)의 양측 하부면의 제1 길이(d1) 전체에 대하여 각각 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)에 의해 지지될 수 있고, 그에 따라, 기판(1)의 양쪽 측면은 확실하게 클램핑된 상태를 유지할 수 있다.

도 6은 본 발명에 따른 클램핑 장치에 기판이 클램핑된 상태를 구체적으로 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 6을 참조하면, 기판(1)은 클램프(110)에 의해 클램핑된 상태에서 잡아 당겨질때, 기판(1)의 제1 길이(d1)에 대하여 간격(x1)만큼 유지한 상태로 잡아 당겨질 수 있다. 다시 말해서, 기판(1)의 제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)가 기판(1)의 양측에 마련된 클램프(110)에 의해 클램핑되면, 클램프(110)와 기판(1)의 하부에 각각 지지되는 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)의 사이에서 기판(1)은 가압되어 고정된 상태가 될 수 있다.

기판(1)의 양측 상부 및 하부에서 한쌍의 클램프(110) 및 제1 이동 부재(211)와 제2 이동 부재(212)는 기판(1)을 각각 z축 방향으로 가압하고, 이 상태에서 x축 방향으로 당김 유니트(200) 또는 당김 유니트(300) 또는 당김 유니트(400)에 의해 잡아 당기면, 기판(1)의 양측에 형성된 제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)의 제1 길이(d1)에 걸쳐서 동일한 간격(x1)을 유지한 상태에서 플렉시블한 기판(1)은 평평한 상태가 될 수 있다.

또한, 기판(1)의 양측에 마련되는 클램프(110)의 z축 방향으로의 높이는 동일한 높이로 셋팅할 수 있다.

따라서, 기판(1)의 양측에 형성된 제1 길이(d1)에 걸쳐서 클램프(110) 및 제1,2 이동 부재(211)(212)에 의해 동일한 간격(x1)으로 유지한 상태에서 클램핑하고 잡아 당기기 때문에, 기판(1)은 항상 동일한 상태로 평평하게 될 수 있으며, 기판(1)의 양측에 각각 클램핑되는 클램프(110)는 z축 방향으로의 높이가 동일한 상태에서 클램핑하므로, 기판(1)은 전체면에 걸쳐서 구부러짐 없이 평평한 상태로 클램핑될 수 있다. 이 상태에서 기판(1)의 통전 검사를 수행할 수 있으므로, 보다 정확한 검사가 이루어질 수 있다.

도 7은 한쪽면에 대한 도 6의 일측의 정면도이다. 도 7을 참조하면, 도 7에서의 클램프(110)는 도 2에 도시된 클램프(110)와 다른 형상으로 도시되어 있지만, 동일한 기능을 수행하는 클램프일 수 있다.

도 7의 클램프(110)에는 클램프(110)를 상부 방향으로 들어올려서 기판(1)의 클램핑 상태를 해제할 수 있는 푸시업 부재(116)가 마련될 수 있고, 회동 부재(120)에 의해 푸시업 부재(116)를 밀어서 다시 하강시키면 클램프(110)는 다시 하강하여 클램핑 상태가 되도록 회전축(112)에 탄성 부재인 복귀 스프링이 마련될 수 있다.

기판(1)은 클램핑면(a)에서 클램프(110)와 제1 이동 부재(211)에 의해 z축 방향으로 가압된 상태로서, 클램프(110)와 제1 이동 부재(211)는 기판(1) 가장 자리의 상면 및 하면에 각각 대면되어 면접촉된 상태일 수 있다. 따라서, 기판(1)이 플렉시블하더라도 기판(1)의 제1 길이(d1) 전체에 대하여 대면된 상태로 가압하여 클램핑하므로, 기판(1)은 평평한 상태가 될 수 있다.

또한, 본 발명은 기판(1)의 제1 에지부(1a)와 제2 에지부(1b)에 대하여 클램핑한 상태에서 잡아당기고, 제3 에지부(1c)와 제4 에지부(1d)에 대하여는 자유로운 상태로 둘 수 있다. 제1 코너부(1a1)에서 제3 코너부(1b1)간의 거리를 제1 거리(L1)라 하고, 제1 코너부(1a1)에서 제2 코너부(1a2)간의 거리를 제2 거리(L2)라고 할 때, 제1 거리(L1)는 제2 거리(L2)보다 작게 형성될 수 있고, 따라서, 상대적으로 짧은 길이를 가지는 제1 거리(L1)의 방향(x축 방향)으로 클램프(110)에 의한 잡아 당김이 이루어질 수 있으며, 상대적으로 긴 길이를 가지는 제2 거리(L2)의 방향(x축 방향)으로 잡아 당기는 것에 비해 보다 확실하고 용이하게 기판(1)을 평평하게 할 수 있다.

본 발명의 모든 실시 예에 있어서, 클램프는 기판(1)의 양 측면에 마련될 때 하나 또는 복수로 구비될 수 있다.

1... 기판 1a... 제1 에지부
1b... 제2 에지부 1c... 제3 에지부
1d... 제4 에지부 1a1... 제1 코너부
1a2... 제2 코너부 1b1... 제3 코너부
1b2... 제4 코너부 10... 클램핑 장치
12,13... 프레임 14... 개구부
100... 클램핑 유니트 110,111... 클램프
112... 회동축 114... 고정부
116... 푸시업 부재
120,122... 회동 부재 200... 당김 유니트
210... 이동 부재 211... 제1 이동 부재
212... 제2 이동 부재 213,214... 결합 부재
220... 스크류 221... 제1 나사부
222... 제2 나사부 230... 구동부
232... 풀리 234... 지지 부재
240...동력 전달 부재 300... 당김 유니트
310... 벨트 311... 제1 벨트
312... 제2 벨트 320... 슬라이더
321...제1 슬라이더 322... 제2 슬라이더
330... 회전 롤 400... 당김 유니트
a... 클램핑면
d1...제1 길이 d2... 제2 길이
d3... 제3 길이 d4... 제4 길이
L1... 제1 거리 L2... 제2 거리
x1... 간격 s1... 간격

Claims (9)

1. 기판을 클램핑하는 클램프가 구비되는 클램핑 유니트;
   상기 클램핑 유니트에 의해 클램핑된 상기 기판을 팽팽하게 잡아당길 수 있도록 이동하는 당김 유니트;
   를 포함하고,
   상기 기판은 4개의 코너부인 제1 코너부, 제2 코너부, 제3 코너부 및 제4 코너부를 포함하며,
   상기 기판은 상기 제1 코너부로부터 제2 코너부까지 연장되어 형성되는 제1 에지부, 제3 코너부로부터 제 4코너부까지 연장되어 형성되고 상기 제1 에지부와 마주보는 제2 에지부를 포함하고,
   상기 기판은 상기 제1 에지부와 상기 제2 에지부의 상면 및 하면에 대하여 클램핑된 상태에서 평평하게 잡아 당겨지는 클램핑 장치.
   
2. 제1 항에 있어서,
   상기 클램프는 상기 기판의 상기 제1 에지부와 상기 제2 에지부에 대면되고,
   상기 제1 에지부와 상기 제2 에지부의 길이를 제1 길이라 하고, 상기 클램프의 길이를 제2 길이라고 정의할 때, 상기 제2 길이는 상기 제1 길이와 동일하거나 더 크게 형성되는 클램핑 장치.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 당김 유니트는 상기 클램프의 길이 방향인 y축 방향의 양측에서 동시에 동작하도록 한쌍으로 마련되고,
   상기 한쌍의 당김 유니트는
   상기 클램핑 유니트와 함께 이동하도록 연결되는 복수의 이동 부재,
   상기 이동 부재를 이동시킬 수 있도록 하는 스크류,
   상기 스크류를 회전시키는 구동부를 각각 포함하며,
   상기 한쌍의 당김 유니트에 마련되는 구동부는 상기 스크류가 서로 동시에 회전하도록 동기화되는 클램핑 장치.
   
4. 제1 항에 있어서,
   상기 당김 유니트는 상기 클램프의 길이 방향인 y축 방향의 양측에서 동시에 동작하도록 한쌍으로 마련되고,
   상기 한쌍의 당김 유니트는,
   상기 클램핑 유니트와 함께 이동하도록 연결되는 복수의 이동 부재, 상기 이동 부재를 이동시키는 스크류를 각각 포함하고,
   상기 한쪽의 스크류에는 상기 스크류를 회전시키는 구동부가 마련되며,
   상기 다른쪽의 스크류에는 상기 구동부에 의한 회전력을 전달받아서 동시에 회전되도록 양쪽의 스크류에 대하여 연결되는 동력 전달 부재가 구비되는 클램핑 장치.
   
5. 제1 항에 있어서,
   상기 당김 유니트는,
   상기 클램프의 상기 제1 에지부 또는 제2 에지부의 길이 방향의 양측에서 동시에 동작하도록 마련되고, 상기 클램핑 유니트와 함께 이동하도록 연결되는 2대의 이동 부재인 제1 이동 부재와 제2 이동 부재, 상기 이동 부재를 이동시킬 수 있는 스크류, 상기 스크류를 회전시키는 구동부로 이루어지며,
   상기 스크류는 상기 제1 이동 부재와 상기 제2 이동 부재가 서로 반대 방향으로 이동하도록 나사산이 반대로 형성되는 제1 나사부와 제2 나사부로 이루어지고,
   상기 스크류의 회전시, 상기 제1 이동 부재와 제2 이동 부재는 서로 접근 또는 멀어지도록 이동되는 클램핑 장치.
   
6. 제1 항에 있어서,
   상기 당김 유니트는 상기 클램프의 양측에 동시에 동작하도록 마련되고,
   상기 당김 유니트는 순환 이동하는 벨트, 상기 벨트의 한쪽에 결합되고 이동하는 슬라이더, 상기 벨트와 맞물리고 벨트를 순환 이동시키는 회전 롤을 포함하며,
   상기 회전 롤의 회전에 의해 순환 이동하는 벨트를 따라 상기 슬라이더가 이동하고, 상기 슬라이더의 이동에 따라 상기 클램핑 유니트의 클램프가 동시에 이동하여 상기 기판의 양 측면을 잡아 당기는 클램핑 장치.
   
7. 제1 항에 있어서,
   상기 기판은 상기 제1 에지부와 제2 에지부에 각각 직교하는 방향의 제3 에지부와 제4 에지부가 형성되고,
   상기 제1 에지부와 제2 에지부는 상기 제3 에지부와 제4 에지부의 길이보다 길게 형성되며,
   상기 당김 유니트는, 상기 기판의 양측 하면에 이동 부재가 마련되고,
   상기 클램프는 상기 제1 에지부와 제2 에지부에 대면되면서 클램핑되며,
   상기 기판은 상기 제1 에지부와 제2 에지부의 상면 및 하면 전체 길이에 대하여 각각 클램프와 이동 부재에 의해 가압되는 클램핑 장치.
   
8. 제1 항에 있어서,
   상기 클램프는 상기 기판의 제1 에지부와 제2 에지부에 대해 클램핑하고,
   상기 당김 유니트는 상기 기판의 양측 하면에 이동 부재가 마련되며,
   상기 기판의 y축 방향의 길이를 제1 길이라고 하고, 상기 y축 방향의 클램프의 길이를 제2 길이라 하며, 상기 y축 방향의 이동 부재의 길이를 제3 길이라고 정의할 때,
   제2 길이는 제1 길이와 동일하거나 또는 더 크게 형성되고, 제3 길이는 제2 길이와 동일하거나 또는 더 크게 형성되는 클램핑 장치.
   
9. 제1 항에 있어서,
   상기 클램프는 상기 기판의 상기 제1 에지부와 제2 에지부에 클램핑되면, 양쪽의 클램프간의 간격은 상기 제1 에지부와 상기 제2 에지부 전체 길이에 대하여 동일하게 유지되는 클램핑 장치.

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