JP2006105793A - 検査ユニット及びそれを用いた検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査用プローブ1をワーク16に向かって移動させると、探針部2先端がワーク16に接触すると略々同時にピン先ガイドボード12もワーク16に接触し、更にピンボード13を移動させて、螺旋バネ3を圧縮しつつ探針部2のワーク16の接触を確実にする状態にあっても、ピン先ガイドボード12は、ワーク16に接触した状態に保持されて螺旋バネ20を変形しつつピンボード13との相対移動を吸収し、よってピン先ガイドボード12と連結部材21を介して一体の配線支持ボード15も、ピンボード13の上記した移動に拘らず、探針部2がワーク16に当接した状態に保持されて、探針部2と配線支持ボード15との相対移動はない。
【選択図】 図1
Description
前記探針部(2)及び前記弾性部材(3)を収納し、かつ前記弾性部材(3)により前記探針部(2)がその先端部(5)を前記被測定物(16)に当接しつつ該探針部(2)の軸方向に移動し得るように支持するプローブ支持部材(13)と、
前記プローブ支持部材(13)の前記探針部(2)先端側に位置し、前記プローブ支持部材(13)に対して前記探針部(2)の軸方向に摺動可能に支持されるプローブ先端支持部材(12)と、
前記プローブ支持部材(13)の前記探針部(2)後端側に位置し、前記プローブ先端支持部材(12)と連結部材(21)を介して連結され、前記プローブ支持部材(13)に対して、前記プローブ先端支持部材(12)と共に前記探針部(2)の軸方向に相対的に移動し得るプローブ後端支持部材(15)と、
前記プローブ先端支持部材(12)を前記プローブ支持部材(13)に対して所定間隔離れた所定位置に付勢すると共に、前記一体のプローブ先端支持部材(12)及びプローブ後端支持部材(15)の前記プローブ支持部材(13)に対する相対移動を吸収する付勢手段(20)と、を備え、
前記プローブ後端支持部材(15)内において前記探針部(2)の後端部と前記配線部材(10)とを電気的に接続(9)してなる、
ことを特徴とする検査ユニット(11)にある。
前記被測定物(16)を、前記検査ユニット(11)の移動方向の移動を許容するように浮動支持(27)し、
前記2個の検査ユニット(11)(11)が相対的に近接する方向に移動して前記プローブ先端支持部材(12)及び前記探針部(2)の先端が前記被測定物(16)に当接することにより、前記被測定物(16)の移動を許容すると共に前記プローブ支持部材(13)と前記プローブ先端支持部材(12)及び前記プローブ後端支持部材(15)とを相対的に移動しつつ、
前記2個の検査ユニット(11)(11)の前記各探針部(2)が前記被測定物(16)の両面に密着する、
ことを特徴とする検査装置にある。
2 探針部
3 螺旋バネ(弾性部材)
5 接触部(先端部)
9 スリーブ(接続)
10 配線(配線部材)
11 検査ユニット
12 ピン先ガイドボード(プローブ先端支持部材)
13 ピンボード(プローブ支持部材)
15 配線支持ボード(プローブ後端支持部材)
16 ワーク(被測定物)
20 螺旋バネ(付勢手段)
21 連結部材
27 螺旋バネ(浮動支持)
Claims (2)
- 被測定物に当接する探針部と該探針部が被測定物に当接した際の圧力を吸収する弾性部材とを有する検査用プローブを備え、前記探針部及び配線部材を介して前記被測定物の電気的特性の検査をおこなう検査ユニットにおいて、
前記探針部及び前記弾性部材を収納し、かつ前記弾性部材により前記探針部がその先端部を前記被測定物に当接しつつ該探針部の軸方向に移動し得るように支持するプローブ支持部材と、
前記プローブ支持部材の前記探針部先端側に位置し、前記プローブ支持部材に対して前記探針部の軸方向に摺動可能に支持されるプローブ先端支持部材と、
前記プローブ支持部材の前記探針部後端側に位置し、前記プローブ先端支持部材と連結部材を介して連結され、前記プローブ支持部材に対して、前記プローブ先端支持部材と共に前記探針部の軸方向に相対的に移動し得るプローブ後端支持部材と、
前記プローブ先端支持部材を前記プローブ支持部材に対して所定間隔離れた所定位置に付勢すると共に、前記一体のプローブ先端支持部材及びプローブ後端支持部材の前記プローブ支持部材に対する相対移動を吸収する付勢手段と、を備え、
前記プローブ後端支持部材内において前記探針部の後端部と前記配線部材とを電気的に接続してなる、
ことを特徴とする検査ユニット。 - 多数の前記検査用プローブを前記プローブ支持部材に支持した2個の前記検査ユニットを、前記被測定物を挟むように配置して、これら検査ユニットの少なくとも一方を、互いに近接又は離間する方向に移動するように駆動し、
前記被測定物を、前記検査ユニットの移動方向の移動を許容するように浮動支持し、
前記2個の検査ユニットが相対的に近接する方向に移動して前記プローブ先端支持部材及び前記探針部の先端が前記被測定物に当接することにより、前記被測定物の移動を許容すると共に前記プローブ支持部材と前記プローブ先端支持部材及び前記プローブ後端支持部材とを相対的に移動しつつ、
前記2個の検査ユニットの前記各探針部が前記被測定物の両面に密着する、
ことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004293060A JP4465250B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 検査ユニット及びそれを用いた検査装置 |
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JP2004293060A JP4465250B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 検査ユニット及びそれを用いた検査装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012220451A (ja) * | 2011-04-13 | 2012-11-12 | Seiken Co Ltd | 検査ユニット |
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2004
- 2004-10-05 JP JP2004293060A patent/JP4465250B2/ja not_active Expired - Fee Related
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