KR20170008162A

KR20170008162A - 와이어 프로브의 유지 구조

Info

Publication number: KR20170008162A
Application number: KR1020160085891A
Authority: KR
Inventors: 야스노리 카토; 마사키 오니시
Original assignee: 오르간 하리 가부시키가이샤
Priority date: 2015-07-13
Filing date: 2016-07-07
Publication date: 2017-01-23
Also published as: CN106353541A; KR102557737B1; JP6527042B2; JP2017020943A; CN106353541B; TWI687690B; TW201702603A

Abstract

(과제)
와이어 프로브의 선단부를 특수한 형상으로 하지 않아도 종래보다 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있고, 또한 와이어 프로브의 개수를 한정하지 않고 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있는 와이어 프로브의 유지 구조를 제공한다.
(해결수단)
와이어 프로브용 지그(10)는 와이어 프로브(30)의 후단부(30b)를 유지하는 베이스부(11)를 구비한다. 상기 베이스부(11)의 삽입통과 구멍(12)은 상기 전극 기판(40)에 면하는 대직경부(12a)와, 상기 대직경부(12a)에 연속되는 소직경부(12b)를 구비하고, 상기 대직경부(12a)와 상기 소직경부(12b) 사이에 단차부(12c)가 형성되어 있다. 상기 와이어 프로브(30)는 상기 대직경부(12a)에 내장되어 상기 소직경부(12b)보다 대직경으로 형성된 링형상의 걸음부(33)를 구비한다.

Description

와이어 프로브의 유지 구조{A wire probe retension mechanism}

본 발명은 기판 검사에 사용되는 와이어 프로브의 유지 구조에 관한 것이다.

종래, 반도체 집적 회로 등(피검사 기판)의 도통 검사나 전기적 특성 검사에 있어서, 극세의 와이어 프로브를 사용한 검사가 실시되고 있다. 예를 들면, 복수의 와이어 프로브의 양단을 와이어 프로브용 지그에 의해 유지하고, 이 와이어 프로브용 지그를 전극 기판과 피검사 기판 사이에 끼우고, 와이어 프로브의 양단을 각각 전극 기판의 단자와 피검사 기판의 단자에 접촉시켜 검사를 행하는 방법이 알려져 있다. 이러한 검사에 있어서, 피검사 대상의 전극이 작은 경우, 와이어 프로브의 최소 피치(배열설치 간격)를 작게 할 필요가 있다.

그러나 종래의 와이어 프로브에 있어서는, 와이어 프로브의 최소 피치는 와이어 프로브의 금속 핀의 직경에 따라 필연적으로 결정되고 있었다.

즉, 와이어 프로브를 와이어 프로브용 지그에 삽입할 때에는, 전극 기판에 면하는 측의 구멍(후단측의 구멍)으로부터 와이어 프로브를 삽입하고, 이 와이어 프로브가 피검사 기판에 면하는 측의 구멍(선단측의 구멍)으로부터 돌출하도록 한다. 종래의 와이어 프로브는 선단부를 선단측의 구멍에 삽입통과시켰을 때에, 절연 코팅이 선단측의 구멍에 걸려 스토퍼로서 기능함으로써, 와이어 프로브가 와이어 프로브용 지그로부터 탈락하는 것을 방지하고 있었다(후술하는 특허문헌 1 참조). 이 때, 선단측의 구멍은 와이어 프로브의 선단부(금속 핀)가 원활하게 슬라이딩할 수 있을 정도로 대직경으로 형성할 필요가 있다. 그리고 와이어 프로브의 절연 코팅은 선단측의 구멍을 통과할 수 없을 정도로 이 선단측의 구멍보다 대직경으로 형성할 필요가 있다. 또한, 후단측의 구멍은 이 와이어 프로브의 절연 코팅을 통과할 수 있을 정도로 절연 코팅보다 대직경으로 형성할 필요가 있다. 그리고 후단측의 구멍 사이의 벽 두께는 가공 기술상의 제약에 의해 결정되기 때문에, 후단측의 공경(孔徑)과 구멍 사이의 벽 두께로 결정되는 와이어 프로브의 최소 피치도 결정된다.

이와 같이 와이어 프로브의 금속 핀의 직경에 의해 선단측의 공경의 최소값이 필연적으로 결정되고, 선단측의 공경에 의해 절연 코팅의 외경의 최소값이 필연적으로 결정되고, 절연 코팅의 외경에 의해 후단측의 공경의 최소값이 필연적으로 결정되고, 후단측의 공경에 의해 와이어 프로브의 최소 피치가 필연적으로 결정된다. 바꾸어 말하면, 와이어 프로브의 최소 피치는 와이어 프로브의 금속 핀의 직경에 의해 필연적으로 결정되고 있었다. 이 때문에 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 하기 위해서는 와이어 프로브의 금속 핀의 직경을 작게 할 수 밖에 없었다.

그러나 선형의 가는 와이어 프로브를 사용하면 메인터넌스의 비용이 증가하고, 교환 작업도 번잡하게 된다. 반대로 말하면 금속 핀의 직경을 작게 하지 않고 협피치를 실현할 수 있으면, 사용자의 비용 감소나 작업성 향상을 실현할 수 있다. 따라서, 금속 핀의 직경을 작게 하지 않고 협피치를 실현하는 기술이 요구되고 있었다.

또한, 특허문헌 1에는 프로브 침을 2개 한 쌍으로 하여 검사 장치용 지그의 하나의 구멍에 삽입하고, 이들 한 쌍의 프로브 침의 선단부를 피측정체의 하나의 전극에 동시에 접촉시키는 4단자 저항 측정법으로 상기 피측정체의 전기적 특성을 측정하는 기술이 개시되어 있다. 이와 같은 방법에 의하면, 금속 핀의 직경을 작게 하지 않아도 2개의 프로브 침의 최소 피치를 작게 할 수 있다.

이 특허문헌 1에 기재된 기술에 있어서는, 구멍에 삽입된 프로브 침의 선단부는 절연 피막으로부터 노출된 금속 도체로 형성되고, 이 선단부측의 상기 절연 피막의 일부 또는 전부가 제거되어 절연 피막 제거부가 형성되고, 이 절연 피막 제거부와 상기 절연 피막 사이에 단차부가 설치되어 있다. 이 단차부가 구멍 둘레가장자리에 걸려 스토퍼로서 기능함으로써, 프로브 침이 검사 장치용 지그로부터 탈락하는 것을 방지하고 있다.

일본 특개 2006-98066호 공보

그러나 상기한 특허문헌 1에 기재된 구조는 구멍에 삽입된 프로브 침의 선단부의 형상이 통상의 와이어 프로브와 같은 원형 단면이 아니기 때문에, 프로브 침이 구멍 안에서 원활하게 슬라이딩할 수 없을 우려가 있었다. 또, 프로브 침이 2개인 경우에는 최소 피치를 좁게 할 수 있지만, 3개 이상의 프로브 침에 대해서 최소 피치를 작게 할 수는 없었다.

그래서 본 발명은 와이어 프로브의 선단부를 특수한 형상으로 하지 않아도, 종래보다 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있고, 또한 와이어 프로브의 개수를 한정하지 않고 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있는 와이어 프로브의 유지 구조를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 이하를 특징으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은 와이어 프로브와, 상기 와이어 프로브의 양단부를 유지하여 전극 기판과 피검사 기판 사이에 배치되는 와이어 프로브용 지그를 구비하고, 상기 와이어 프로브용 지그는 상기 와이어 프로브의 후단부를 유지하여 전극 기판에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부를 구비하고, 상기 베이스부에는 상기 와이어 프로브를 삽입통과시키는 복수의 삽입통과 구멍이 설치되고, 상기 삽입통과 구멍은 상기 전극 기판에 면하는 대직경부와, 상기 대직경부에 연속되는 소직경부를 구비하고, 상기 대직경부와 상기 소직경부 사이에 단차부가 형성되어 있고, 상기 와이어 프로브는 상기 대직경부에 내장되어 상기 소직경부보다 대직경으로 형성된 링형상의 걸음부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 발명은 상기한 청구항 1에 기재된 발명의 특징점에 더해, 상기 삽입통과 구멍의 대직경부는 다른 대직경부와 연결되어 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 발명은 상기한 청구항 1 또는 2에 기재된 발명의 특징점에 더해, 상기 단차부는 상기 삽입통과 구멍을 단차 구멍으로 함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은 상기한 바와 같으며, 와이어 프로브를 삽입통과시키는 삽입통과 구멍은 전극 기판에 면하는 대직경부와, 상기 대직경부에 연속되는 소직경부를 구비하고, 상기 대직경부와 상기 소직경부 사이에 단차부가 형성되어 있고, 상기 와이어 프로브는 상기 대직경부에 내장되어 상기 소직경부보다 대직경으로 형성된 링형상의 걸음부를 구비한다. 이 때문에 링형상의 걸음부가 스토퍼가 되어 와이어 프로브가 와이어 프로브용 지그로부터 탈락하는 것을 방지할 수 있다. 걸음부가 스토퍼가 되므로 와이어 프로브의 절연 피막을 선단측의 구멍에 걸 필요가 없다. 바꾸어 말하면, 와이어 프로브의 절연 피막을 얇게 할 수 있다. 와이어 프로브의 절연 피막을 얇게 함으로써, 후단측의 공경을 작게 할 수 있으므로, 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있다. 게다가 이와 같은 효과를 와이어 프로브의 선단부를 특수한 형상으로 하지 않고 실현할 수 있으므로, 와이어 프로브의 선단부를 원활하게 슬라이딩할 수 없다는 문제도 발생하지 않는다. 또, 와이어 프로브의 개수를 한정하지 않고 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있다.

또, 걸음부가 대직경부에 의해 유지되기 때문에, 기판에 면하는 와이어 프로브의 후단부가 이동하지 않아, 와이어 프로브의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또, 청구항 2에 기재된 발명은 상기한 바와 같으며, 상기 삽입통과 구멍의 대직경부는 다른 대직경부와 연결되어 형성되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 삽입통과 구멍을 접근시킴으로써 더욱 와이어 프로브의 최소 피치를 작게 할 수 있다. 또한, 대직경부에 삽입통과된 와이어 프로브는 링형상의 걸음부에 의해 절연되어 있기 때문에, 만일 인접하는 와이어 프로브가 접촉했다고 해도 전기적으로 서로 절연된 상태를 유지할 수 있다.

또, 청구항 3에 기재된 발명은 상기한 바와 같으며, 상기 단차부는 상기 삽입통과 구멍을 단차 구멍으로 함으로써 형성되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 삽입통과 구멍의 형상에 관계없이 단차부를 형성할 수 있다. 예를 들면, 삽입통과 구멍을 관통 형성하는 플레이트의 판두께가 두꺼운 경우에 가공 기술상의 제약으로부터 삽입통과 구멍의 이측을 스폿 페이싱 가공할 필요가 있는 경우에도, 표측의 스트레이트 구멍을 이용하여 단차부를 형성할 수 있다.

도 1은 와이어 프로브의 유지 구조의 측단면도이다.
도 2는 와이어 프로브의 측면도이다.
도 3은 와이어 프로브의 유지 구조의 측단면도이며, (a) 와이어 프로브의 후단부 부근의 일부 확대도, (b) 와이어 프로브의 후단부 부근을 더욱 확대한 도면이다.
도 4는 (a) 삽입통과 구멍을 개구측에서 본 일부 확대도, (b) 변형예 1에 따른 삽입통과 구멍을 개구측에서 본 일부 확대도이다.
도 5는 (a) 변형예 2에 따른 삽입통과 구멍을 개구측에서 본 일부 확대도, (b) 변형예 3에 따른 삽입통과 구멍을 개구측에서 본 일부 확대도, (c) 변형예 4에 따른 삽입통과 구멍을 개구측에서 본 일부 확대도, (d) 변형예 5에 따른 삽입통과 구멍을 개구측에서 본 일부 확대도이다.
도 6은 변형예 6에 따른 와이어 프로브의 유지 구조의 측단면도로서, 와이어 프로브의 후단부 부근의 일부 확대도이다.

본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.

본 실시형태에 따른 와이어 프로브(30)의 유지 구조는 와이어 프로브(30)와, 와이어 프로브(30)의 양단부를 유지하여 전극 기판(40)과 피검사 기판(도시하지 않음) 사이에 배치되는 와이어 프로브용 지그(10)를 구비한다.

와이어 프로브(30)는 도 2 등에 나타내는 바와 같이 도전성의 금속 핀(31)의 외주부에 절연 피막(32)과 걸음부(33)를 구비한 것이다. 절연 피막(32)은 와이어 프로브(30)의 중간부에 있어서 금속 핀(31)의 외주를 덮는 절연 코팅이다. 이 절연 피막(32)이 설치됨으로써, 와이어 프로브(30)가 휘었을 때에도 다른 와이어 프로브(30)와의 절연이 확보되도록 되어 있다. 또, 걸음부(33)는 와이어 프로브(30)의 후단부(30b) 부근에 있어서 금속 핀(31)의 외주에 부착된 링형상의 절연체이다. 이 걸음부(33)는 와이어 프로브(30)의 절연을 확보함과 아울러, 와이어 프로브용 지그(10)로부터 와이어 프로브(30)가 탈락하는 것을 방지하고 있다.

이 와이어 프로브(30)는 선단부(30a)와 후단부(30b)가 노출되도록 와이어 프로브용 지그(10)에 유지되어 있다. 검사시에는 노출된 선단부(30a)가 피검사 기판의 단자에 접촉하고, 노출된 후단부(30b)가 전극 기판(40)의 단자에 접촉한다.

또한, 전극 기판(40)에는 와이어 프로브(30)의 후단부(30b)에 접촉하는 위치에 배선(41)의 단부가 노출되어 설치되어 있다. 이 배선(41)은 검사용의 스캐너(도시하지 않음)에 대하여 전기적으로 접속되어 있고, 이것에 의해 와이어 프로브(30)를 사용하여 피검사 기판의 소정의 개소의 검사를 실행할 수 있도록 되어 있다.

와이어 프로브용 지그(10)는 도 1에 나타내는 바와 같이 복수개의 와이어 프로브(30)를 서로 접촉하지 않도록 유지하고 있다. 이 와이어 프로브용 지그(10)는 일방의 면을 전극 기판(40)의 표면에 고정한 상태에서, 타방의 면을 반도체 집적 회로 등의 피검사 기판에 누르고, 유지한 와이어 프로브(30)의 양단을 각각 전극 기판(40)의 단자와 피검사 기판의 단자에 접촉시키기 위해서 사용된다.

본 실시형태에 따른 와이어 프로브용 지그(10)는 도 1에 나타내는 바와 같이 전극 기판(40)측에 배치되는 베이스부(11)와, 피검사 기판측에 배치되는 헤드부(17)와, 베이스부(11)와 헤드부(17) 사이에 설치된 스페이서(22)를 구비한다.

베이스부(11)는 와이어 프로브(30)의 후단부(30b)를 유지하여 전극 기판(40)에 접촉 가능하게 배치되는 판형상부이며, 본 실시형태에 있어서는 제1 베이스 플레이트(13) 및 제2 베이스 플레이트(15)의 2장의 플레이트를 중첩하여 구성되어 있다. 2장의 플레이트는 베이스 고정 나사(23)에 의해 연결되어 있다. 또한, 2장의 플레이트를 연결하는 베이스 고정 나사(23)는 스페이서(22)에 나사장착되어 있고, 이것에 의해 베이스부(11)와 스페이서(22)는 일체적으로 고정되어 있다.

이 베이스부(11)에는 와이어 프로브(30)를 삽입통과시키는 복수의 삽입통과 구멍(12)이 설치되어 있다. 이 삽입통과 구멍(12)은 후술하는 제1 베이스 플레이트(13)의 제1 후단 구멍(14)과 제2 베이스 플레이트(15)의 제2 후단 구멍(16)이 연통함으로써 형성되어 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 이 삽입통과 구멍(12)은 전극 기판(40)에 면하는 대직경부(12a)와, 이 대직경부(12a)에 연속되는 소직경부(12b)를 구비한다. 소직경부(12b)는 대직경부(12a)보다 소직경으로 형성되어 있기 때문에, 대직경부(12a)와 소직경부(12b) 사이에 단차부(12c)가 형성되어 있다. 대직경부(12a)는 와이어 프로브(30)의 걸음부(33)를 내장하기 위한 것인데, 소직경부(12b)는 걸음부(33)보다 소직경이기 때문에, 걸음부(33)의 가장자리부가 단차부(12c)에 걸리도록 되어 있다.

제1 베이스 플레이트(13)는 전극 기판(40)에 면하도록 배치되는 플레이트이다. 검사시에는 이 제1 베이스 플레이트(13)의 표면이 전극 기판(40)에 맞닿은 상태로 고정된다. 제1 베이스 플레이트(13)에는 와이어 프로브(30)를 삽입통과시키는 제1 후단 구멍(14)이 설치되어 있다. 이 제1 후단 구멍(14)은 유지하는 와이어 프로브(30)의 수만큼 설치되어 있다.

제1 후단 구멍(14)은 도 3에 나타내는 바와 같이 전극 기판(40)측의 단차 구멍부(14b)와, 피검사 기판측의 스폿 페이싱부(14a)를 구비한다. 단차 구멍부(14b)는 상기한 대직경부(12a), 소직경부(12b), 단차부(12c)를 형성하는 단차 구멍이다. 한편, 스폿 페이싱부(14a)는 스폿 페이싱 가공에 의해 형성된 테이퍼형상의 구멍이다. 본 실시형태에 있어서는, 제1 베이스 플레이트(13)의 판두께가 두껍기 때문에, 가공을 용이하게 하기 위해서 스트레이트 구멍의 이측으로부터 스폿 페이싱 가공으로 구멍을 뚫도록 하고 있다. 본 실시형태에 있어서는, 1개의 스폿 페이싱부(14a)가 복수의 단차 구멍부(14b)에 연통하도록 되어 있다.

또한, 본 실시형태에 따른 대직경부(12a)는 도 4에 나타내는 바와 같이 다른 대직경부(12a)와 연결되어 형성되어 있다. 한편, 소직경부(12b)는 다른 소직경부(12b)와 연결되어 있지 않다. 이 때문에 도 3에 나타내는 바와 같이 연결된 2개의 대직경부(12a)의 중심선을 통과하는 단면에서 보았을 때에, 대직경부(12a)의 사이에는 벽이 존재하지 않고, 소직경부(12b)의 사이에는 격벽부(14c)가 존재하고 있다.

제2 베이스 플레이트(15)는 제1 베이스 플레이트(13)의 내측, 즉 제1 베이스 플레이트(13)보다 피검사 기판측에 배치되는 플레이트이다. 이 제2 베이스 플레이트(15)에는 와이어 프로브(30)를 삽입통과시키는 제2 후단 구멍(16)이 설치되어 있다. 이 제2 후단 구멍(16)은 유지하는 와이어 프로브(30)의 수만큼 설치되어, 제1 후단 구멍(14)과 연통하고 있다.

이 제2 후단 구멍(16)은 도 3에 나타내는 바와 같이 전극 기판(40)측의 스폿 페이싱부(16a)와, 피검사 기판측의 스트레이트부(16b)를 구비한다. 스폿 페이싱부(16a)는 스폿 페이싱 가공에 의해 형성된 테이퍼형상의 구멍이다. 본 실시형태에 있어서는, 제2 베이스 플레이트(15)의 판두께가 두껍기 때문에, 가공을 용이하게 하기 위해서 스트레이트 구멍의 이측으로부터 스폿 페이싱 가공으로 구멍을 뚫도록 하고 있다. 본 실시형태에 있어서는, 1개의 스폿 페이싱부(16a)가 복수의 스트레이트부(16b)에 연통하도록 되어 있다. 이웃하는 스트레이트부(16b)의 사이에는 격벽부(16c)가 설치되어 있다.

헤드부(17)는 와이어 프로브(30)의 선단부(30a)를 유지하여 피검사 기판에 접촉 가능하게 배치되는 판형상부이며, 본 실시형태에 있어서는 제1 헤드 플레이트(18) 및 제2 헤드 플레이트(20)의 2장의 플레이트를 중첩하여 구성되어 있다. 2장의 플레이트는 헤드 고정 나사(24)에 의해 서로 연결되어 있다. 또한, 2장의 플레이트를 연결하는 헤드 고정 나사(24)는 스페이서(22)에 나사장착되어 있고, 이것에 의해 헤드부(17)와 스페이서(22)는 일체적으로 고정되어 있다.

제1 헤드 플레이트(18)는 제2 헤드 플레이트(20)의 내측, 즉 제2 헤드 플레이트(20)보다 전극 기판(40)측에 배치되는 플레이트이다. 이 제1 헤드 플레이트(18)에는 와이어 프로브(30)를 삽입통과시키는 제1 선단 구멍(19)이 설치되어 있다. 이 제1 선단 구멍(19)은 유지하는 와이어 프로브(30)의 수만큼 설치되어 있다.

제2 헤드 플레이트(20)는 피검사 기판에 면하도록 배치되는 플레이트이다. 검사시에는 이 제2 헤드 플레이트(20)의 표면이 피검사 기판에 닿아 눌린다. 이 제2 헤드 플레이트(20)에는 와이어 프로브(30)를 삽입통과시키는 제2 선단 구멍(21)이 설치되어 있다. 이 제2 선단 구멍(21)은 유지하는 와이어 프로브(30)의 수만큼 설치되고, 상기한 제1 선단 구멍(19)과 연통하고 있다.

스페이서(22)는 베이스부(11)와 헤드부(17)를 소정의 간격을 두고 연결하는 부재이다. 본 실시형태에 있어서는, 스페이서(22)로서 복수의 기둥형상의 부재를 사용하고 있는데, 이것에 한정되지 않고 예를 들면 판형상의 부재를 사용하여 스페이서(22)를 구성해도 된다.

상기한 바와 같이 구성된 와이어 프로브용 지그(10)를 피검사 기판에 누르면, 헤드부(17)로부터 돌출된 와이어 프로브(30)의 선단부(30a)가 피검사 기판의 단자에 닿아 눌린다. 피검사 기판에 닿아 눌린 와이어 프로브(30)는 중간부에서 휘고, 그 탄성력에 의해 피검사 기판에 눌린다. 이와 같이 작용함으로써 확실하게 와이어 프로브(30)의 양단이 전극 기판(40)과 피검사 기판에 닿아 눌린다.

또한, 본 실시형태에 있어서는 베이스부(11)와 헤드부(17)가 고정되어 있는 것으로서 설명하고 있는데, 피검사 기판에 눌렸을 때에 베이스부(11)(또는 베이스부(11)의 일부)와 헤드부(17)(또는 헤드부(17)의 일부)가 서로 상대 이동하는 구조여도 된다.

그런데 본 실시형태에 따른 와이어 프로브(30)는 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 금속 핀(31)의 외주의 일부를 절연 피막(32)으로 덮고 있기 때문에, 금속 핀(31)의 외경보다 절연 피막(32)의 외경이 크다. 또, 절연 피막(32)의 외경보다 걸음부(33)의 외경이 크게 설정되어 있다.

그리고 소직경부(12b)의 내경은 절연 피막(32)의 외경보다 크고, 또한 걸음부(33)의 외경보다 작게 설정되어 있다. 또, 대직경부(12a)의 내경은 절연 피막(32)의 외경 및 걸음부(33)의 외경보다 크게 설정되어 있다.

즉, 「금속 핀(31)의 외경」<「절연 피막(32)의 외경」<「소직경부(12b)의 내경」<「걸음부(33)의 외경」<「대직경부(12a)의 내경」이라는 관계가 성립하도록 각각의 치수가 설정되어 있다. 이와 같은 치수 설정에 의해, 걸음부(33)가 소직경부(12b)에 걸릴 때까지 와이어 프로브(30)를 삽입할 수 있고, 또한 걸음부(33)로 빠짐 방지가 이루어지도록 형성되어 있다.

와이어 프로브(30)를 와이어 프로브용 지그(10)에 삽입할 때에는 와이어 프로브(30)의 선단부(30a)를 베이스부(11)측으로부터 삽입한다. 이 때, 와이어 프로브(30)의 절연 피막(32)은 소직경부(12b)를 통과하므로, 와이어 프로브(30)는 베이스부(11)의 삽입통과 구멍(12)을 관통한다. 그리고, 삽입통과 구멍(12)을 관통한 와이어 프로브(30)의 선단부(30a)(금속 핀(31))는 헤드부(17)의 제1 선단 구멍(19) 및 제2 선단 구멍(21)에 삽입통과된다. 한편, 걸음부(33)는 소직경부(12b)를 통과할 수 없기 때문에, 걸음부(33)가 단차부(12c)에 걸려 스토퍼의 역할을 한다.

이와 같이 본 실시형태는 종래와 같이 절연 피막(32)을 헤드부(17)에 걸어 빠짐을 방지하는 것이 아니고, 걸음부(33)를 베이스부(11)의 소직경부(12b)에 걸어 빠짐을 방지하게 되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 절연 피막(32)의 외경에 제약이 없어지고, 절연 피막(32)의 외경을 작게 할 수 있으므로, 와이어 프로브(30)의 최소 피치를 작게 할 수 있다.

게다가 본 실시형태에 있어서는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 대직경부(12a)가 다른 대직경부(12a)와 연결되어 형성되어 있다. 이 때문에 대직경부(12a)를 가능한 한(예를 들면 소직경부(12b)의 구멍 가공에 있어서 허용되는 최소 치수로) 근접시킬 수 있다. 이와 같이 대직경부(12a)를 근접시킴으로써, 더욱 와이어 프로브(30)의 최소 피치를 작게 할 수 있다. 또한, 대직경부(12a)의 형상은 도 4(a)에 나타내는 바와 같은 원형 단면에 한정되지 않고, 가공상의 작업성 등을 고려하여 적당히 변경하는 것이 가능하다. 예를 들면 도 4(b)에 나타내는 바와 같은 긴구멍형상으로 해도 된다.

또, 도 5(a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 3개 이상의 대직경부(12a)를 연결시켜도 된다.

즉, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 원형 단면의 대직경부(12a)를 상하좌우로 연결시켜도 된다.

또, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이 대략 사각형의 큰 1개의 오목부를 형성함으로써, 이 1개의 오목부에서 복수의 소직경부(12b)에 대응하는 복수의 대직경부(12a)를 구성하도록 해도 된다.

또, 도 5(c)에 나타내는 바와 같이, 원형 단면의 대직경부(12a)를 육방 격자형상으로 배열한 다음 이웃하는 대직경부(12a)와 연결시켜도 된다.

또, 도 5(d)에 나타내는 바와 같이, 대략 평행사변형의 큰 1개의 오목부를 형성함으로써, 이 1개의 오목부에서 복수의 소직경부(12b)에 대응하는 복수의 대직경부(12a)를 구성하도록 해도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 와이어 프로브(30)와, 상기 와이어 프로브(30)의 양단부를 유지하여 전극 기판(40)과 피검사 기판 사이에 배치되는 와이어 프로브용 지그(10)를 구비하고, 상기 와이어 프로브용 지그(10)는 상기 와이어 프로브(30)의 후단부(30b)를 유지하여 전극 기판(40)에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부(11)를 구비하고, 상기 베이스부(11)에는 상기 와이어 프로브(30)를 삽입통과시키는 복수의 삽입통과 구멍(12)이 설치되고, 상기 삽입통과 구멍(12)은 상기 전극 기판(40)에 면하는 대직경부(12a)와, 상기 대직경부(12a)에 연속되는 소직경부(12b)를 구비하고, 상기 대직경부(12a)와 상기 소직경부(12b) 사이에 단차부(12c)가 형성되어 있고, 상기 와이어 프로브(30)는 상기 대직경부(12a)에 내장되어 상기 소직경부(12b)보다 대직경으로 형성된 링형상의 걸음부(33)를 구비한다. 이 때문에 링형상의 걸음부(33)가 스토퍼가 되어, 와이어 프로브(30)가 와이어 프로브용 지그(10)로부터 탈락하는 것을 방지할 수 있다. 걸음부(33)가 스토퍼가 되므로, 와이어 프로브(30)의 절연 피막(32)을 선단측의 제1 선단 구멍(19)에 걸 필요가 없다. 바꾸어 말하면, 와이어 프로브(30)의 절연 피막(32)을 얇게 할 수 있다. 와이어 프로브(30)의 절연 피막(32)을 얇게 함으로써, 소직경부(12b)의 외경을 작게 할 수 있으므로, 와이어 프로브(30)의 최소 피치를 작게 할 수 있다. 게다가 이와 같은 효과를 와이어 프로브(30)의 선단부(30a)를 특수한 형상으로 하지 않고 실현할 수 있으므로, 와이어 프로브(30)의 선단부(30a)를 원활하게 슬라이딩할 수 없다는 문제도 발생하지 않는다. 또, 소직경부(12b)의 외경을 작게 함으로써 와이어 프로브(30)의 협피치화를 실현하고 있으므로, 와이어 프로브(30)의 개수를 한정하지 않고 와이어 프로브(30)의 최소 피치를 작게 할 수 있다.

또, 걸음부(33)가 대직경부(12a)에 의해 유지되기 때문에, 전극 기판(40)에 면하는 와이어 프로브(30)의 후단부(30b)가 이동하지 않아, 와이어 프로브(30)의 전극 기판(40)에 대한 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또, 상기 삽입통과 구멍(12)의 대직경부(12a)는 다른 대직경부(12a)와 연결되어 형성되어 있기 때문에, 삽입통과 구멍(12)을 접근시켜 더욱 와이어 프로브(30)의 최소 피치를 작게 할 수 있다. 또한, 대직경부(12a)에 삽입통과된 와이어 프로브(30)는 링형상의 걸음부(33)에 의해 절연되어 있기 때문에, 만일 인접하는 와이어 프로브(30)가 접촉했다고 해도 전기적으로 서로 절연된 상태를 유지할 수 있다.

또, 상기 단차부(12c)는 상기 삽입통과 구멍(12)(제1 후단 구멍(14))을 단차 구멍으로 함으로써 형성되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 삽입통과 구멍(12)의 형상에 관계없이 단차부(12c)를 형성할 수 있다. 예를 들면, 삽입통과 구멍(12)을 관통 형성하는 플레이트(제1 베이스 플레이트(13))의 판두께가 두꺼운 경우에, 가공 기술상의 제약으로부터 삽입통과 구멍(12)의 이측을 스폿 페이싱 가공할 필요가 있는 경우에도, 표측의 스트레이트 구멍을 이용하여 단차부(12c)를 형성할 수 있다.

또한, 상기한 실시형태에 있어서는 삽입통과 구멍(12)을 단차 구멍으로 함으로써 단차부(12c)를 형성하고 있는데, 본 발명의 실시형태로서는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 후단 구멍(14)과 제2 후단 구멍(16)을 스트레이트 구멍으로 형성하고, 제1 베이스 플레이트(13)와 제2 베이스 플레이트(15)의 경계에 있어서 단차부(12c)를 형성하도록 해도 된다. 즉, 제1 후단 구멍(14)에 의해 대직경부(12a)를 형성하고, 제2 후단 구멍(16)에 의해 소직경부(12b)를 형성해도 된다.

10…와이어 프로브용 지그
11…베이스부
12…삽입통과 구멍
12a…대직경부
12b…소직경부
12c…단차부
13…제1 베이스 플레이트
14…제1 후단 구멍
14a…스폿 페이싱부
14b…단차 구멍부
14c…격벽부
15…제2 베이스 플레이트
16…제2 후단 구멍
16a…스폿 페이싱부
16b…스트레이트부
16c…격벽부
17…헤드부
18…제1 헤드 플레이트
19…제1 선단 구멍
20…제2 헤드 플레이트
21…제2 선단 구멍
22…스페이서
23…베이스 고정 나사
24…헤드 고정 나사
30…와이어 프로브
30a…선단부
30b…후단부
31…금속 핀
32…절연 피막
33…걸음부
40…전극 기판
41…배선

Claims

와이어 프로브와, 상기 와이어 프로브의 양단부를 유지하여 전극 기판과 피검사 기판 사이에 배치되는 와이어 프로브용 지그를 구비하고,
상기 와이어 프로브용 지그는 상기 와이어 프로브의 후단부를 유지하여 전극 기판에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부를 구비하고,
상기 베이스부에는 상기 와이어 프로브를 삽입통과시키는 복수의 삽입통과 구멍이 설치되고,
상기 삽입통과 구멍은 상기 전극 기판에 면하는 대직경부와, 상기 대직경부에 연속되는 소직경부를 구비하고, 상기 대직경부와 상기 소직경부 사이에 단차부가 형성되어 있고,
상기 와이어 프로브는 상기 대직경부에 내장되어 상기 소직경부보다 대직경으로 형성된 링형상의 걸음부를 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 프로브의 유지 구조.
제 1 항에 있어서, 상기 삽입통과 구멍의 대직경부는 다른 대직경부와 연결되어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 프로브의 유지 구조.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 단차부는 상기 삽입통과 구멍을 단차 구멍으로 함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 프로브의 유지 구조.