JP4693539B2 - プローブ駆動ユニット - Google Patents

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本発明は、プローブを駆動するプローブ駆動ユニットに関するものである。
この種のプローブ駆動ユニットとして、出願人は、検査プローブが取り付けられた第1の移動体をZ軸移動機構によってZ軸方向に移動させる構成を有する回路基板検査装置を特開2003−98216号公報に開示している。この回路基板検査装置では、このZ軸移動機構が第2の移動体に取り付けられると共に、この第2の移動体が送りねじおよびリニアガイドを用いたX−Y移動機構に取り付けられている。この場合、Z軸移動機構と第2の移動体とは、所定の遊びがある状態でリニアガイドによって保持されると共に送りねじに螺合されている。このため、送りねじを回動させることにより、Z軸移動機構がリニアガイドの延在方向に円滑に移動させられる。したがって、この回路基板検査装置では、検査対象の基板に対して接離する方向であるZ軸方向、およびその基板が載置された載置台上のX−Y座標平面上において、検査プローブを円滑に移動させることが可能となっている。
特開2003−98216号公報(第5−6頁、第1,2図)
ところが、上記の回路基板検査装置には、以下の解決すべき課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、検査プローブが取り付けられた第1の移動体がZ軸方向において高速に移動させられる。このため、例えば検査プローブを基板に対して所定の位置まで急速に接近させた後に急停止させたときには、検査プローブおよび第1の移動体には基板に接近する方向への慣性力が作用する。この場合、X−Y移動機構のリニアガイドによるZ軸移動機構の保持箇所には所定の遊びがあるため、この慣性力に起因して、検査プローブが第1の移動体と共に振動するおそれがある。したがって、この回路基板検査装置では、検査プローブが振動したときには、検査プローブの位置決め精度の低下を招く可能性がある。また、検査プローブが振動したときには、その先端が基板に接触して基板に傷を付けてしまう可能性もある。したがって、この回路基板検査装置では、検査プローブの振動による位置決め精度の低下や、基板への損傷などの問題を回避するために検査プローブの移動速度を低下させなければならず、逆にそれを避けるためには、正確かつ高速に検査プローブの位置を制御することが困難となるおそれがある。
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、正確かつ高速にプローブの位置を制御し得るプローブ駆動ユニットを提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載のプローブ駆動ユニットは、プローブを取り付け可能に構成された取付部と、動力を発生する動力源と、前記動力源の動力によって前記取付部の往復動が可能に当該取付部および前記動力源を相互に連結する連結機構と、前記取付部を所定のプロービング方向に案内する案内部とを備えたプローブ駆動ユニットであって、所定の質量を有すると共に前記取付部が往復動させられる線分上に配置されたバランサを備え、前記連結機構は、前記動力源からの動力によって前記取付部とは相反する方向への前記バランサの往復動が可能に当該バランサおよび当該動力源を相互に連結する。なお、前記連結機構には、ベルト機構、チェーン機構、リンク機構、ラックアンドピニオン機構、ボールねじ機構およびウォーム機構などを採用することができる。
請求項記載のプローブ駆動ユニットは、請求項1記載のプローブ駆動ユニットにおいて、前記バランサが、前記プローブの質量と前記取付部の質量との和と同等の質量となるように構成されている。なお、本明細書における「プローブの質量と取付部の質量との和と同等の質量」とは、「プローブの質量と取付部の質量との和と同一またはほぼ同一の質量」を意味する。
請求項1記載のプローブ駆動ユニットによれば、取付部に慣性力が発生したときに、これと相反する方向(打ち消し合う方向)への慣性力をバランサに発生させることができる。これにより、取付部の慣性力をバランサの慣性力によって相殺することができるため、慣性力によるプローブの先端の振動の発生を防止することができる。したがって、プローブの先端の振動に起因する基板における損傷の発生や位置決め精度の低下を回避することができる。また、取付部の移動によって発生する慣性力をバランサによって相殺することができるため、プローブを高速で移動させることができる。したがって、正確かつ高速にプローブの位置を制御することができる。また、ベルト機構、チェーン機構、リンク機構、ラックアンドピニオン機構、ボールねじ機構およびウォーム機構などの既存の機構を連結機構に採用することにより、プローブ駆動ユニットを安価に構成することができる。また、取付部が往復動させられる線分上にバランサを配置したことにより、取付部に作用する慣性力をバランサに作用する慣性力によって一層確実に相殺することができる。このため、プローブの振動を一層確実に抑制することができる結果、プローブの位置をさらに正確に制御することができる。
また、請求項記載のプローブ駆動ユニットによれば、プローブを取り付けた取付部をプロービング方向にスライドさせたときに発生する取付部の慣性力とバランサの慣性力とを同一の線分上に作用させることができる結果、プローブの先端の振動の発生を一層確実に防止することができる。
以下、本発明に係るプローブ駆動ユニットの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、プローブ駆動ユニット1の構成について、図面を参照して説明する。
プローブ駆動ユニット1は、図1,2に示すように、ベース部2、ベルト機構3、一対の案内部4,6、取付部5、バランサ7、モータ8およびガイド部9を備えて構成されている。また、プローブ駆動ユニット1は、例えば図示しない回路基板検査装置に搭載された状態で用いられ、プローブPを上下方向(プロービング方向)に往復動させることにより、検査対象の基板100に対してプローブPを接離させる。ベース部2は、両図に示すように、所定形状の平板に形成されている。また、ベース部2には、図2に示すように、ベルト機構3、一対の案内部4,6、取付部5およびバランサ7が一方の面に配設されると共に、モータ8およびガイド部9が他方の面に配設されている。さらに、ベース部2には、モータ8のシャフト8aを他方の面から一方の面に貫通させるための貫通孔(図示せず)が形成されている。
ベルト機構3は、本発明における連結機構に相当し、一対のプーリ3a,3b、およびこれらに架け渡されたタイミングベルト3cを備えて構成されている。一対のプーリ3a,3bは、互いに同一の外径を有すると共にタイミングベルト3cと噛み合い可能な歯付きプーリであり、ベース部2に回転可能に取り付けられている。この場合、プーリ3aには、モータ8のシャフト8aが嵌入されてモータ8の動力が伝達される。これにより、プーリ3aは、モータ8に回転させられることによってタイミングベルト3cを回動させる。プーリ3bは、プロービング方向において駆動側のプーリ3aよりも下流側(図1における下側)に配設されている。一方、タイミングベルト3cは、プロービング方向に延在するように一対のプーリ3a,3bに架け渡されている。また、タイミングベルト3cには、所定の位置に取付部5が取り付けられている。これにより、ベルト機構3は、取付部5およびモータ8を相互に連結すると共に、モータ8の動力によって取付部5を往復動させる。また、タイミングベルト3cには、その延在方向に対する直交方向において取付部5の取り付け位置とは相反する(反対の)位置にバランサ7が取り付けられている。これにより、ベルト機構3は、バランサ7およびモータ8を相互に連結すると共に、モータ8の動力によって取付部5とは相反する方向にバランサ7を往復動させる。具体的には、ベルト機構3は、プロービング方向における下流側に向かって取付部5を移動させたときには上流側に向かってバランサ7を移動させる共に、プロービング方向における上流側に向かって取付部5を移動させたときには下流側に向かってバランサ7を移動させる。
一方の案内部4は、本発明における案内部に相当し、ガイドレール4aおよび一対のスライド片4b,4cを備えて構成されている。ガイドレール4aは、断面矩形に形成されると共にプロービング方向に延在するようにベース部2に固定されている。一対のスライド片4b,4cは、ガイドレール4aと係合可能な断面コ字状に形成され、プロービング方向にスライド可能な状態でガイドレール4aに取り付けられている。また、一対のスライド片4b,4cは、取付部5を取り付け可能に構成されている。この場合、スライド片4b,4cは、ガイドレール4aに沿ってスライドすることによって取付部5をプロービング方向に案内する。取付部5は、例えばアルミニウム合金製であり、本体部5a、先端部5bおよび係止部5cを備えて構成されている。本体部5aは、プロービング方向に対して長尺に形成され、スライド片4b,4cに取り付けられている。先端部5bは、プローブPを取り付け可能に構成されて、本体部5aの下側の先端に設けられている。係止部5cは、本体部5aの上端付近におけるベルト機構3側の面に設けられている。また、係止部5cは、タイミングベルト3cを挟み込んだ状態で本体部5aにねじ止めされることにより、取付部5をタイミングベルト3cに連結する。
一方、他方の案内部6は、図1,2に示すように、案内部4と同様な形状を有し、ガイドレール6aおよびスライド片6bを備えて構成されている。ガイドレール6aは、ベルト機構3を挟んで一方の案内部4とは反対側の位置において、プロービング方向、つまり一方の案内部4による取付部5の案内方向と平行な方向に延在するように固定されている。スライド片6bは、ガイドレール6aと係合してプロービング方向にスライド可能な状態で取り付けられている。また、スライド片6bは、バランサ7を取り付け可能に構成され、ガイドレール6aに沿ってスライドすることによってバランサ7をプロービング方向に案内する。バランサ7は、例えば鋼鉄製であり、本体部7aおよび係止部7bを備えて構成されている。また、バランサ7は、所定の質量を有している。具体的には、バランサ7は、プローブPの質量と取付部5の質量との和と同等の質量(本例では、ほぼ等しい質量)となるように構成されている。本体部7aは、プロービング方向に対して長尺に形成されて、スライド片6bに取り付けられている。係止部7bは、本体部7aの下端付近におけるベルト機構3側の面に設けられている。また、係止部7bは、タイミングベルト3cを挟み込んだ状態で本体部7aにねじ止めされることにより、ベルト機構3を挟んで取付部5とは反対側の位置において、バランサ7をタイミングベルト3cに連結する。
モータ8は、本発明における動力源に相当し、動力を発生する。この場合、モータ8は、ベルト機構3を介して、プロービング方向においてバランサ7と取付部5とを相反する方向に駆動する。ガイド部9は、モータ8の下側に設けられて、回路基板検査装置におけるX−Y座標平面の例えばX軸方向に延在するリニアレール41によって保持されている。また、ガイド部9は、このリニアレール41と所定の遊びがある状態で係合可能な形状に形成されている。さらに、ガイド部9は、リニアレール41の内側に設けられた送りねじ42に螺合されている。この場合、送りねじ42を回転させることにより、ガイド部9(つまり、プローブ駆動ユニット1自体)が、X−Y座標平面上においてリニアレール41の延在方向に沿って移動させられる。
次に、プローブ駆動ユニット1の全体的な動作について、図面を参照して説明する。
例えば、回路基板検査装置にプローブ駆動ユニット1を搭載した状態で基板100に対してプローブPを接近させる際には、まず、モータ8を作動させてシャフト8aを図1に示す矢印A方向に回転させる。この際に、プーリ3aは、タイミングベルト3cを矢印Aの方向に回動させる。この場合、取付部5は、係止部5cを介してタイミングベルト3cに連結されているため、図3の矢印Bに示すように、基板100に接近する方向(つまりプロービング方向における下流側)に向かってスライドさせられる。一方、バランサ7は、係止部7bを介してタイミングベルト3cに連結されているため、図3の矢印Cに示すように、基板100から離間する方向(つまり上方向)に向かってスライドさせられる。
次いで、プローブPが基板100に対して所望の位置まで接近したときには、モータ8を停止させることによって取付部5およびバランサ7のスライドを停止させる。この際に、取付部5には、基板100に接近する方向への慣性力が作用する。一方、バランサ7には、基板100から離間する方向への慣性力が作用する。この際に、プローブ駆動ユニット1には、図2に示すように、リニアレール41付近を支点として、取付部5の慣性力によって同図における時計回りの方向に回転しようとする力と、バランサ7の慣性力によって同図における反時計回りの方向に回転しようとする力とが同時に作用する。この場合、プローブPを取り付けた取付部5とバランサ7とが同等の質量になるように構成されているため、取付部5の慣性力によってプローブ駆動ユニット1自体が回転しようとする力と、バランサ7の慣性力によってプローブ駆動ユニット1自体が回転しようとする力とが、ほぼ等しくなる。したがって、プローブ駆動ユニット1を基板100に対して接近および停止させたとしても、取付部5に作用する慣性力がバランサ7の慣性力によって相殺されるため、取付部5の移動に起因するプローブ駆動ユニット1の振動の発生が防止される。
このように、このプローブ駆動ユニット1によれば、ベルト機構3が取付部5の往復動が可能に取付部5およびモータ8を相互に連結し、かつ取付部5とは相反する方向へのバランサ7の往復動が可能にバランサ7およびモータ8を相互に連結することにより、取付部5に慣性力が発生したときに、これと相反する方向(打ち消し合う方向)への慣性力をバランサ7に発生させることができる。これにより、取付部5の慣性力をバランサ7の慣性力によって相殺することができるため、慣性力によるプローブPの先端の振動の発生を防止することができる。したがって、このプローブ駆動ユニット1によれば、プローブPの先端の振動に起因する基板100における損傷の発生や位置決め精度の低下を回避することができる。また、取付部5の移動によって発生する慣性力をバランサ7によって相殺することができるため、プローブPを高速で移動させることができる。したがって、このプローブ駆動ユニット1によれば、正確かつ高速にプローブPの位置を制御することができる。
また、このプローブ駆動ユニット1によれば、プローブPの質量と取付部5の質量との和と同等の質量となるようにバランサ7を構成したことにより、取付部5に作用する慣性力をバランサ7に作用する慣性力によって一層確実に相殺することができる。このため、プローブPの振動を一層確実に抑制することができる結果、プローブPの位置をさらに正確に制御することができる。
お、取付部5に作用する慣性力を相殺するためのバランサ7に代えて取付部5と同一の構成を有する取付部を案内部6に取り付ける構成を採用することもできる。また、図4に示すように、バランサ7に代えて、バランサ13を取付部5が駆動させられる線分上に配置する構成を採用することもできる。なお、上記した構成と同一の構成については同一の符号を付して重複した説明を省略する。このプローブ駆動ユニット10では、ガイドレール12aおよび3つのスライド片12b,12c,12dを備えた案内部12と、本体部13aおよび係止部13bを備えたバランサ13とがベース部11の一方の面に配設されている。この場合、下側に配設された一対のスライド片12b,12cには取付部5の本体部5aが取り付けられている。一方、上側のスライド片12dにはバランサ13の本体部13aが取り付けられている。これにより、取付部5およびバランサ13は、ガイドレール12aの延在方向、つまりプロービング方向において同一の線分上を往復動させられる。また、バランサ13の係止部13bは、タイミングベルト3cの延在方向に対する直交方向において取付部5の取り付け位置とは反対の位置に取り付けられている。このため、取付部5およびバランサ13は、タイミングベルト3cを回動することにより、同一の線分上において互いに反対方向にスライドさせられる。したがって、この構成によれば、上記のプローブ駆動ユニット1と同様の作用効果を奏することができると共に、取付部5およびバランサ13を1つのガイドレール12aで案内することができるため、部品点数の低減、ひいては製品コストの低減を図ることができる。
また、ベルト機構3に代えて、図5に示すように、ラックアンドピニオン機構20を用いて取付部21(図1の取付部5に相当)とバランサ22(図1のバランサ7に相当)とを反対方向に往復動させる構成を採用することもできる。取付部21およびバランサ22は、それぞれガイドレール23,24に取り付けられてプロービング方向において往復動させられる。この場合、取付部21は、ピニオンギヤ20aに噛み合わされた一方のラック20bに取り付けられているため、モータ8を作動させてピニオンギヤ20aを回動させることにより、プロービング方向における所定の向きに移動させられる。これに対して、バランサ22は、ラック20bとは反対側においてピニオンギヤ20aに噛み合わされた他方のラック20cに取り付けられているため、モータ8を作動させてピニオンギヤ20aを回動させることにより、取付部22とは反対方向に移動させられる。したがって、この構成によれば、上記のプローブ駆動ユニット1と同様の作用効果を奏することができる。
さらに、これらの機構に代えて、図6に示すように、リンク機構30を用いてバランサ22と取付部21とを反対方向に往復動させる構成を採用することもできる。この構成では、取付部21およびバランサ22は、同一の線分上において互いに離間した位置に配設されたガイドレール23,24に取り付けられて同一の線分上を移動させられる。この場合、取付部21は、モータ8のシャフト8aに所定の角度で取り付けられたリンク30aと、これに結合されたリンク30bとによってプロービング方向における所定の向きに移動させられる。一方、バランサ22は、モータ8のシャフト8aにリンク30aとは反対側に取り付けられたリンク30cと、これに結合されたリンク30dとによって取付部22とは反対方向に移動させられる。この構成によれば、上記のプローブ駆動ユニット10と同様の作用効果を奏することができる。また、本発明における連結機構として、上記した連結機構に代えて、チェーン機構、ボールねじ機構およびウォーム機構などを採用することもできる。
プローブ駆動ユニット1の正面図である。 プローブ駆動ユニット1の側面図である。 プローブPを基板100に接近させた際のプローブ駆動ユニット1の正面図である。 プローブ駆動ユニット10の正面図である。 本発明における連結機構としてラックアンドピニオン機構20を採用した構成の要部を示す正面図である。 本発明における連結機構としてリンク機構30を採用した構成の要部を示す正面図である。
符号の説明
1,10 プローブ駆動ユニット
2,11 ベース部
3 ベルト機構
4,6,12 案内部
5,21 取付部
7,13,22 バランサ
8 モータ
20 ラックアンドピニオン機構
30 リンク機構
100 基板

Claims (2)

  1. プローブを取り付け可能に構成された取付部と、動力を発生する動力源と、前記動力源の動力によって前記取付部の往復動が可能に当該取付部および前記動力源を相互に連結する連結機構と、前記取付部を所定のプロービング方向に案内する案内部とを備えたプローブ駆動ユニットであって、
    所定の質量を有すると共に前記取付部が往復動させられる線分上に配置されたバランサを備え、
    前記連結機構は、前記動力源からの動力によって前記取付部とは相反する方向への前記バランサの往復動が可能に当該バランサおよび当該動力源を相互に連結するプローブ駆動ユニット。
  2. 前記バランサは、前記プローブの質量と前記取付部の質量との和と同等の質量となるように構成されている請求項1記載のプローブ駆動ユニット。
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