JP4693539B2 - プローブ駆動ユニット - Google Patents
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Description
2,11 ベース部
3 ベルト機構
4,6,12 案内部
5,21 取付部
7,13,22 バランサ
8 モータ
20 ラックアンドピニオン機構
30 リンク機構
100 基板
Claims (2)
- プローブを取り付け可能に構成された取付部と、動力を発生する動力源と、前記動力源の動力によって前記取付部の往復動が可能に当該取付部および前記動力源を相互に連結する連結機構と、前記取付部を所定のプロービング方向に案内する案内部とを備えたプローブ駆動ユニットであって、
所定の質量を有すると共に前記取付部が往復動させられる線分上に配置されたバランサを備え、
前記連結機構は、前記動力源からの動力によって前記取付部とは相反する方向への前記バランサの往復動が可能に当該バランサおよび当該動力源を相互に連結するプローブ駆動ユニット。 - 前記バランサは、前記プローブの質量と前記取付部の質量との和と同等の質量となるように構成されている請求項1記載のプローブ駆動ユニット。
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