KR101999651B1

KR101999651B1 - 검사 장치

Info

Publication number: KR101999651B1
Application number: KR1020180052939A
Authority: KR
Inventors: 정상헌; 김제철
Original assignee: 바이옵트로 주식회사
Priority date: 2018-05-09
Filing date: 2018-05-09
Publication date: 2019-07-15

Abstract

본 발명의 검사 장치는 검사 위치에 배치되고, 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 유니트; 상기 기판이 탑재되는 셔틀 유니트; 상기 기판이 적재되는 제1 적재 유니트 및 제2 적재 유니트; 상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 상기 셔틀 유니트로 옮기는 제1 로딩 유니트; 상기 셔틀 유니트에 탑재되고 상기 검사 유니트를 거친 상기 기판을 상기 제2 적재 유니트로 옮기는 제2 로딩 유니트;를 포함하고, 상기 셔틀 유니트는 상기 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치와 상기 검사 위치 사이를 동일한 이동 경로를 따라 왕복할 수 있다.

Description

검사 장치{APPARATUS FOR TESTING}

본 발명은 기판의 통전 상태를 검사하거나, 기판을 보관 또는 이송하는 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 세탁기나 텔레비전 등의 가전제품, 휴대폰을 포함한 생활용품, 자동차, 인공위성 등과 같이 거의 모든 장비에서 기본이 되는 필수 부품 중의 하나이다.

인쇄회로기판을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되고 있다. 따라서, 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률 증가로 인해 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성이 부각되고 있다.

한국등록특허공보 제0176627호 공보에는 납땜 불량 및 프로브 팁의 진동을 방지하여 안정된 통전 검사를 수행할 수 있고, 납땜부의 다양한 표면 형상에 대해 적응성이 향상된 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치가 개시되고 있다.

한국등록특허공보 제0176627호

본 발명은 소형화에 유리하고, 기판을 쉽게 관리할 수 있는 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 검사 장치는 검사 위치에 배치되고, 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 유니트; 상기 기판이 탑재되는 셔틀 유니트;를 포함하고, 상기 셔틀 유니트는 상기 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치와 상기 검사 위치 사이를 동일한 이동 경로를 따라 왕복할 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 검사 유니트에 의해 통전 검사되는 기판이 탑재되는 셔틀 유니트;를 포함하고, 상기 셔틀 유니트는 상기 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치와, 상기 검사 유니트가 배치된 검사 위치를 왕복하며, 상기 기판은 플렉시블 재질을 포함하고, 상기 셔틀 유니트에는 상기 기판의 가장자리를 클램핑하는 복수의 클램핑부가 마련되며, 복수의 상기 클램핑부 중 기준 클램핑부는 설정 위치에 고정되고, 당김 클램핑부는 상기 기준 클램핑부를 기준으로 상기 기판을 당길 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 검사 유니트에 의해 수행되는 통전 검사를 기다리는 기판이 적재되거나, 상기 검사 유니트에 의해 상기 통전 검사가 완료된 기판이 적재되는 적재 유니트;를 포함하고, 상기 적재 유니트는 상기 검사 유니트에 고정되는 외부 카세트, 상기 외부 카세트 내부에 승강 가능하게 수용되며 상기 기판이 적재되는 내부 카세트를 포함하며, 상기 외부 카세트의 밑면에는 상기 내부 카세트를 승강시키는 승강 수단이 통과하는 승강 홀이 형성될 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 적재 유니트 또는 셔틀 유니트에 탑재된 기판을 옮기는 로딩 유니트; 상기 적재 유니트, 상기 셔틀 유니트, 상기 로딩 유니트를 지지하는 지지 유니트;를 포함하고, 상기 로딩 유니트에는 상기 지지 유니트에 이동 가능하게 설치되는 이동부, 상기 이동부와 함께 움직이고 상기 기판을 흡착하는 흡착부가 마련되며, 상기 흡착부는 상기 이동부에 착탈 가능하게 형성될 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 적재 유니트 또는 셔틀 유니트에 탑재된 기판을 옮기는 로딩 유니트;를 포함하고, 상기 로딩 유니트에는 상기 기판을 흡착하는 흡착부가 마련되며, 본 발명의 검사 장치에는 상기 흡착부에 흡착된 상기 기판에 붙어있는 다른 기판을 상기 기판으로부터 분리시키는 각종 수단이 마련될 수 있다.

본 발명의 검사 장치는 원(one)셔틀 타입으로 형성될 수 있으므로, 전체 규모가 콤팩트화될 수 있다.

본 발명의 검사 장치의 적재 유니트는 전체 규모의 소형화를 제한하지 않도록 형성될 수 있다. 또한, 적재 유니트는 검사 장치에 용이하게 장착되거나 수거될 수 있다.

본 발명의 검사 장치를 구성하는 로딩 유니트는 다양한 크기의 기판을 옮길 수 있다.

도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 검사 장치의 동작을 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 검사 장치의 동작을 나타낸 정면도이다.
도 4는 셔틀 유니트를 나타낸 사시도이다.
도 5는 셔틀 유니트의 동작을 나타낸 개략도이다.
도 6은 적재 유니트를 나타낸 개략도이다.
도 7은 지지 유니트에 마련된 안착부를 나타낸 개략도이다.
도 8은 안착부에 적재 유니트가 장착된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 9는 로딩 유니트를 나타낸 개략도이다.
도 10은 도 9의 로딩 유니트를 밑에서 바라본 개략도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

가상의 공간상에서 서로 직교하는 제1 축, 제2 축 및 제3 축을 정의한다. 제1 축과 제2 축은 지면에 평행할 수 있으며, 제3 축은 지면에 직교할 수 있다. 도면에는 제1 축을 x축, 제2 축을 y축, 제3 축을 z축으로 하는 xyz 공간이 표시된다.

x축 이동 자유도는 제1 축, 즉 x축을 따라 움직일 수 있는 자유도를 의미한다. y축 이동 자유도는 제2 축, 즉 y축을 따라 움직일 수 있는 자유도를 의미한다. z축 이동 자유도는 제3 축, 즉 z축을 따라 움직일 수 있는 자유도를 의미한다.

도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다. 도 2는 본 발명의 검사 장치의 동작을 나타낸 평면도이고, 도 3은 본 발명의 검사 장치의 동작을 나타낸 정면도이다.

도면에 도시된 검사 장치는 검사 유니트(100), 셔틀 유니트(200), 적재 유니트(300), 로딩 유니트(400), 정렬 유니트(500), 지지 유니트(900)를 포함할 수 있다. 지지 유니트(900)는 검사 유니트(100), 셔틀 유니트(200), 적재 유니트(300), 로딩 유니트(400), 정렬 유니트(500)를 지지하고, 서로 연결시킬 수 있다.

검사 유니트(100)는 검사 위치 b에 배치되고, 기판(10)의 통전 상태를 검사할 수 있다.

검사 유니트(100)는 기판의 회로 패턴에 접촉되는 프로브 등을 이용해서 검사 위치 b에 위치한 기판의 통전 상태를 검사할 수 있다. 검사 위치 b를 출입하는 셔틀 유니트(200)와의 간섭을 회피하고, 검사 위치 b에 배치된 기판을 검사하기 위해 검사 유니트(100)는 z축 이동 자유도를 가질 수 있다.

정렬 유니트(500)는 초기 위치 a와 검사 위치 b 사이에 배치될 수 있다. 정렬 유니트(500)는 셔틀 유니트(200)에 기판이 탑재되면, 기판의 정렬 상태를 검사 또는 확인할 수 있다. 셔틀 유니트(200)는 정렬 유니트(500)의 검사가 완료되면 검사 위치 b로 이동할 수 있다.

정렬 유니트(500)에서 확인된 기판의 정렬 정보는 셔틀 유니트(200) 또는 검사 유니트(100)로 전달될 수 있다.

기판과 검사 유니트(100) 간의 정렬은 정렬 유니트(500)에서 확인된 기판의 정렬 정보를 기반으로 하여 수행될 수 있다. 기판과 검사 유니트(100) 간의 정렬은 셔틀 유니트(200) 또는 검사 유니트(100)에 의해 이루어질 수 있다.

일 예로, 기판의 정렬 정보를 획득한 셔틀 유니트(200)는 기판이 검사 유니트(100)에 정렬되도록 기판을 움직일 수 있다. 탑재된 기판이 검사 유니트(100)에 정렬되도록 셔틀 유니트(200)는 x축 이동 자유도 및 y축 이동 자유도를 가질 수 있다.

일 예로, 기판의 정렬 정보를 획득한 검사 유니트(100)는 기판에 정렬되도록 움직일 수 있다. 기판에 정렬되도록 검사 유니트(100)는 x축 이동 자유도 및 y축 이동 자유도를 가질 수 있다.

기판의 이송을 위해 x축 이동 자유도 또는 y축 이동 자유도가 이미 셔틀 유니트(200)에 부여된 상태일 수 있다. 따라서, 기판과 검사 유니트(100) 간의 정렬은 셔틀 유니트(200)에 의해 수행되는 것이 유리할 수 있다. 기판의 정렬에 필요한 x축 이동 자유도 및 y축 이동 자유도가 셔틀 유니트(200)에 부여되면, 검사 유니트(100)에는 x축 이동 또는 y축 이동에 필요한 각종 수단이 배제될 수 있다. 따라서, 검사 유니트(100)의 구조가 간소화되는 장점이 있다.

셔틀 유니트(200)에는 기판이 탑재될 수 있다. 셔틀 유니트(200)는 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치 a와 검사 위치 b 사이를 동일한 이동 경로를 따라 왕복할 수 있다. 셔틀 유니트(200)에 대해 기판이 로딩되는 것은 셔틀 유니트(200)에 새로운 기판을 탑재하는 것을 나타낸다. 셔틀 유니트(200)에 대해 기판이 언로딩되는 것은 셔틀 유니트(200)에 탑재된 기판을 들어내는 것을 나타낸다.

본 발명의 셔틀 유니트(200)는 초기 위치 a로부터 검사 위치 b까지 이동한 경로를 그대로 이용해서 검사 위치 b로부터 초기 위치 a로 되돌아올 수 있다. 그 결과, 셔틀 유니트(200)의 이동 경로가 최소화되고, 검사 장치 전체가 콤팩트화 및 소형화될 수 있다. 동일한 이동 경로를 이용해서 초기 위치 a와 검사 위치 b를 왕복하기 위해, 셔틀 유니트(200)는 1개만 마련되므로 구조가 간소화될 수 있다.

적재 유니트(300)는 제1 적재 유니트(301) 및 제2 적재 유니트(302)를 포함할 수 있다.

제1 적재 유니트(301)에는 통전 검사를 기다리는 기판이 적재될 수 있다.

제2 적재 유니트(302)에는 검사 유니트(100)에 의해 통전 검사가 완료된 기판이 적재될 수 있다.

로딩 유니트(400)는 적재 유니트(300) 또는 셔틀 유니트(200)에 탑재된 기판을 옮길 수 있다. 로딩 유니트(400)는 제1 로딩 유니트(401) 및 제2 로딩 유니트(402)를 포함할 수 있다.

제1 로딩 유니트(401)는 셔틀 유니트(200)가 초기 위치 a에 배치되면, 제1 적재 유니트(301)에 적재된 기판을 셔틀 유니트(200)로 옮길 수 있다.

제2 로딩 유니트(402)는 셔틀 유니트(200)에 탑재되고 검사 유니트(100)를 거친 기판을 제2 적재 유니트(302)로 옮길 수 있다.

로딩 유니트(400)의 동선을 간소화하기 위해, 제1 적재 유니트(301)와 제2 적재 유니트(302)는 초기 위치 a를 사이에 두고 서로 대면하게 배치될 수 있다.

각종 유니트가 포함된 검사 장치 전체의 크기를 줄이기 위해, 셔틀 유니트(200)의 왕복 거리 및 로딩 유니트(400)의 이동 거리가 최소화되는 것이 좋다. 셔틀 유니트(200)의 왕복 거리 및 로딩 유니트(400)의 이동 거리가 짧아지면, 기판의 전체 검사 시간을 줄이는데에도 도움이 된다.

왕복 거리를 최소화하기 위해, 셔틀 유니트(200)는 초기 위치 a와 검사 위치 b를 통과하는 제1 가상선 L1을 따라 직선 왕복할 수 있다.

초기 위치 a를 기준으로 이동하는 로딩 유니트(400)의 이동 거리를 최소화하기 위해. 제1 적재 유니트(301)와 제2 적재 유니트(302)는 초기 위치 a를 통과하고 제1 가상선 L1에 수직한 제2 가상선 L2 상에 배치될 수 있다.

제1 가상선 L1이 x축과 y축 중 하나에 동축이고, 제2 가상선이 나머지 하나에 동축이면, 셔틀 유니트(200)의 이동 자유도 또는 로딩 유니트(400)의 이동 자유도가 간소화될 수 있다.

일 예로, 제1 가상선 L1이 y축에 평행하고, 제2 가상선 L2가 x축에 평행하면, 로딩 유니트(400)는 x축 이동 자유도와 y축 이동 자유도 중 x축 이동 자유도만 가지면 된다. 검사 유니트(100)에 대한 기판의 정렬을 배제할 경우, 셔틀 유니트(200)는 y축 이동 자유도만 가지면 된다.

기판을 들어올리거나 내리기 위해 로딩 유니트(400)에는 z축 이동 자유도가 추가될 수 있다.

일 예로, 지지 유니트(900)에는 x축 방향을 따라 연장되는 로딩 레일(405), 로딩 레일(405)을 따라 움직이는 기둥부(403)가 마련될 수 있다. 이때, 로딩 유니트(400)는 z축 방향을 따라 이동 가능하게 기둥부(403)에 설치될 수 있다. 로딩 레일(405) 및 기둥부(403)에 따르면, 로딩 유니트(400)는 x축 이동 자유도 및 z축 이동 자유도를 가질 수 있다.

지지 유니트(900)에는 제1 가상선 L1에 평행하게 연장되는 셔틀 레일(710, 720, 730)이 마련될 수 있다. 셔틀 레일은 초기 위치 a로부터 검사 위치b 까지 연장될 수 있다. 셔틀 유니트(200)는 셔틀 레일을 따라 직선 왕복 운동할 수 있다.

이동하는 도중에 셔틀 유니트(200)가 삐뚤어지지 않도록, 셔틀 레일은 복수로 마련될 수 있다.

일 예로, 셔틀 레일은 제1 레일(710), 제2 레일(720), 제3 레일(730)을 포함할 수 있다.

제1 레일(710)은 셔틀 유니트(200)의 일측에 마련될 수 있다.

제2 레일(720)은 셔틀 유니트(200)의 타측에 마련될 수 있다. 제2 레일(720)은 셔틀 유니트(200)의 중심을 기준으로 제1 레일(710)에 대칭적으로 마련될 수 있다.

지지 유니트(900)에는 셔틀 유니트(200)를 움직이는 모터 등의 셔틀 구동부(770)가 마련될 수 있다.

셔틀 유니트(200)가 볼 스크류 방식으로 움직일 경우, 셔틀 구동부(770)에는 스크류(750)가 연결될 수 있다. 스크류(750)의 회전에 의해 직선 이동하는 셔틀 유니트(200)에 백래쉬가 작용할 수 있다. 백래쉬로 인한 셔틀 유니트(200)의 틀어짐을 방지하기 위해, 스크류(750)를 기준으로 제1 레일(710)에 대칭되는 위치에 제3 레일(730)이 마련될 수 있다.

셔틀 유니트(200)에는 기판을 잡는 클램핑부(210) 등이 부가되므로, 기판보다 큰 길이 및 폭을 가질 수 있다. 따라서, 셔틀 유니트(200)의 바로 옆에 적재 유니트(300)가 배치되면, 검사 장치 전체의 길이 또는 폭이 커질 수 있다.

검사 장치의 소형화를 위해, 제1 적재 유니트(301), 제2 적재 유니트(302), 제1 로딩 유니트(401), 제2 로딩 유니트(402)는 셔틀 유니트(200)보다 높은 위치에 배치될 수 있다.

제2 적재 유니트(302)에 대면되는 제1 적재 유니트(301)의 일면을 제1 면(303)으로 정의하고, 제1 적재 유니트(301)에 대면되는 제2 적재 유니트(302)의 일면을 제2 면(304)으로 정의할 때, 제1 면(303)과 제2 면(304) 간의 간격은 기판의 길이 또는 폭보다 크게 형성될 수 있다.

셔틀 유니트(200)보다 높은 위치에 배치된 제1 적재 유니트(301)는 일부분 k1이 초기 위치 a에 배치된 셔틀 유니트(200)의 일단부에 겹쳐지게 배치될 수 있다.

셔틀 유니트(200)보다 높은 위치에 배치된 제2 적재 유니트(302)는 일부분 k2가 초기 위치 a에 배치된 셔틀 유니트(200)의 타단부에 겹쳐지게 배치될 수 있다.

제1 로딩 유니트(401)는 제1 적재 유니트(301)에 적재된 기판을 들어올린 후, 제1 면(303)과 제2 면(304) 사이로 이동할 수 있다. 제1 면(303)과 제2 면(304) 사이로 이동한 제1 로딩 유니트(401)는 제1 면(303)과 제2 면(304) 사이를 통과해서 셔틀 유니트(200)에 기판을 내려놓을 수 있다.

제2 로딩 유니트(402)는 검사 유니트(100)를 거친 기판을 셔틀 유니트(200)로부터 들러올린 후, 제1 면(303)과 제2 면(304) 사이를 통과할 수 있다. 제1 면(303)과 제2 면(304) 사이를 통과한 제2 로딩 유니트(402)는 제2 적재 유니트(302)에 기판을 내려놓을 수 있다.

검사 장치의 길이 방향 또는 폭 방향 상으로 제1 적재 유니트(301) 및 제2 적재 유니트(302)가 셔틀 유니트(200)에 일부 겹쳐지게 배치되므로, 검사 장치의 전체 길이 또는 폭이 줄어들 수 있다. 또한, 제2 가상선 L2를 따라 움직이는 로딩 유니트(400)의 이동 거리가 k1 또는 k2만큼 줄어드는 효과가 있다.

본 발명의 검사 장치는 다음의 순서에 따라 동작할 수 있다.

1단계로, 제1 로딩 유니트(401)는 셔틀 유니트(200)가 초기 위치 a에 배치되면, 제1 적재 유니트(301)에 적재된 기판을 셔틀 유니트(200)로 옮길 수 있다.

2단계로, 정렬 유니트(500)는 셔틀 유니트(200)에 기판이 탑재되면, 기판의 정렬 상태를 검사할 수 있다.

3단계로, 셔틀 유니트(200)는 정렬 유니트(500)의 검사가 완료되면, 검사 위치 b로 이동할 수 있다. 셔틀 유니트(200)에 탑재된 기판과 검사 유니트(100) 간의 정렬은 셔틀 유니트(200)가 검사 위치 b로 이동하는 도중에 수행될 수 있다.

4단계로, 검사 유니트(100)는 셔틀 유니트(200)가 검사 위치 b에 배치되면, 기판의 통전 상태를 검사할 수 있다.

5단계로, 셔틀 유니트(200)는 기판의 통전 검사가 완료되면, 초기 위치 a로부터 검사 위치 b까지 이동한 이동 경로를 그대로 이용해서 초기 위치로 이동할 수 있다.

6단계로, 검사 위치 b를 거친 셔틀 유니트(200)가 초기 위치 a에 배치되면, 제2 로딩 유니트(402)는 셔틀 유니트(200)에 탑재된 기판을 제2 적재 유니트(302)로 옮길 수 있다.

7단계로, 제1 로딩 유니트(401)는 제2 로딩 유니트(402)가 셔틀 유니트(200)로부터 도피되면, 제1 적재 유니트(301)에 적재된 다음 기판을 셔틀 유니트(200)로 옮길 수 있다.

그 후, 2단계를 포함한 이후 과정이 반복될 수 있다.

도 4는 셔틀 유니트(200)를 나타낸 사시도이다. 도 5는 셔틀 유니트(200)의 동작을 나타낸 개략도이다.

통전 검사 대상이 되는 기판은 플렉시블 재질을 포함할 수 있다. 일 예로, 기판은 FPCB(Flexible PCB)를 포함할 수 있다. 플렉시블한 기판이 검사 유니트(100)에 의해 정상적으로 통전 검사되도록, 플렉시블한 기판을 평평하게 펼치는 수단이 마련될 수 있다.

일 예로, 셔틀 유니트(200)에는 기판의 가장자리를 클램핑하는 복수의 클램핑부(210)가 마련될 수 있다. 클램핑부(210)는 기판의 가장자리를 잡아당겨서 기판을 평평하게 펼칠 수 있다. 서로 다른 방향으로 기판을 잡아당기는 힘을 통해 기판을 평평하게 펼치고, 해당 힘에 의해 기판이 훼손되지 않도록, 복수의 클램핑부(210) 중 기준 클램핑부(201)는 설정 위치에 고정될 수 있다. 복수의 클램핑부(210) 중 당김 클램핑부(203)는 기준 클램핑부(201)를 기준으로 기판을 당길 수 있다.

클램핑부(210)가 기판을 당기는 동작은 초기 세팅 위치를 설정하기 위해 클램핑부(210)가 움직이는 것과 구분될 수 있다. 초기 위치의 세팅은 셔틀 유니트(200)에 탑재되는 기판의 크기가 달라질 때 수행되거나, 기판 중심의 위치를 변화시키고자 할 때 수행될 수 있다.

셔틀 유니트(200)는 초기 위치 a로부터 검사 유니트(100)까지 연장되는 셔틀 레일 등을 따라 이동하는 클램프 베이스(290)를 포함할 수 있다.

클램프 베이스(290)는 사각형 기판에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 셔틀 유니트(200)에 탑재된 기판의 양면이 모두 통전 검사되도록, 클램프 베이스(290)의 중앙 부분에는 통공(299)이 형성될 수 있다. 기판의 양면을 한꺼번에 검사할 수 있도록, 검사 위치 b의 상측 및 하측에 각각 검사 유니트(100)가 배치될 수 있다.

지지 유니트(900)에는 초기 위치 a에 배치되는 받침부(600)가 마련될 수 있다. 받침부(600)는 승강 가능하게 지지 유니트(900)에 설치될 수 있다. 셔틀 유니트(200)가 초기 위치 a에 배치되면, 받침부(600)는 위로 상승하여 클램프 베이스(290)의 중공으로 진입할 수 있다. 클램프 베이스(290)의 중공으로 진입한 받침부(600)는 셔틀 유니트(200)에 탑재된 기판을 받치거나, 셔틀 유니트(200)에 탑재될 기판을 받칠 수 있다. 기판이 클램핑부(210)에 의해 클램핑되거나 로딩 유니트(400)에 흡착되면, 받침부(600)는 셔틀 유니트(200)가 검사 위치 b를 향해 움직일 수 있도록 아래로 하강할 수 있다.

중앙에 형성된 통공(299)으로 인해, 클램프 베이스(290)는 x축 방향을 따라 연장되는 2개의 변과, y축 방향을 따라 연장되는 2개의 변을 갖는 격자 형상으로 형성될 수 있다.

이때, 셔틀 유니트(200)에는 클램핑부(210)의 움직임을 가이드하는 가이드부(270)가 마련될 수 있다. 클램핑부(210)는 가이드부(270)를 따라 이동하는 이동 수단(219)을 포함할 수 있다.

일 예로, 가이드부(270)는 제1 가이드(271) 및 제2 가이드(272)를 포함할 수 있다.

제1 가이드(271)는 클램프 베이스(290)에 설치될 수 있다. 제2 가이드(272)는 제1 가이드(271)를 따라 움직일 수 있다. 이때, 이동 수단(219)은 제2 가이드(272)를 따라 이동 가능하게 설치될 수 있다.

제1 가이드(271)는 x축 방향 및 y축 방향 중 어느 한 방향을 따라 연장되는 레일을 포함할 수 있다. 제2 가이드(272)는 나머지 한 방향을 따라 연장되는 봉을 포함할 수 있다.

예를 들어, 제1 가이드(271)가 x축 방향을 따라 연장되고, 제2 가이드(272)가 y축 방향을 따라 연장되는 경우를 가정한다. 제2 가이드(272)에 해당하는 봉은 제1 가이드(271)를 따라 x축 방향으로 움직일 수 있다. 이동 수단(219)은 봉을 따라 y축 방향으로 움직일 수 있다. 결국, 이동 수단(219)은 제1 가이드(271) 및 제2 가이드(272)에 의해 x축 방향 및 y축 방향을 따라 움직일 수 있다.

가이드부(270)에 의해 x축 방향 및 y축 방향을 따라 움직일 수 있는 이동 수단(219)으로 인해 클램핑부(210) 각각의 초기 세팅 위치가 결정될 수 있다. 클램핑부(210) 각각의 초기 세팅 위치가 결정되면, 이동 수단(219)은 현재 위치에 고정될 수 있다.

당김 클램핑부(203)에는 이동 수단(219) 상에 이동 가능하게 설치되는 당김 수단(215)이 추가로 마련될 수 있다. 당김 수단(215)은 공압 실린더 등의 구동 수단을 포함할 수 있다.

당김 수단(215)에는 기판을 잡는 클램퍼(211)가 마련될 수 있다. 클램퍼(211)는 이동 수단(219)을 기준으로 당김 수단(215)과 함께 움직일 수 있다. 기준 클램핑부(201)에는 이동 수단(219)없이 클램퍼(211)가 고정적으로 설치되어도 무방하다.

당김 수단(215)은 이동 수단(219)에 의해 당김 클램핑부(203) 각각의 움직임이 초기 세팅 위치에 멈춘 상태에서 기판을 당길 수 있다. 예를 들어, 이동 수단(219)이 초기 세팅 위치에 고정된 상태에서, 당김 수단(215)은 기준 클램핑부(201)로부터 멀어지는 방향으로 움직일 수 있다. 당김 수단(215)과 함께 움직이는 클램퍼(211)는 기준 클램핑부(201)로부터 멀어지면서 기판을 당길 수 있다.

일 예로, 가이드부(270)를 따라 이동하는 이동 수단(219)에는 당김 레일이 형성될 수 있다. 당김 수단(215)은 이동 수단(219)이 멈춘 상태에서, 기판을 클램핑한 채로 당김 레일을 따라 이동할 수 있다. 당김 레일은 x축 방향을 따라 연장되거나, y축 방향을 따라 연장될 수 있다.

기판은 제1 축과 제2 축이 형성하는 평면 상에 배치될 수 있다. 일 예로, 기판은 x축과 y축이 형성하는 xy 평면 상에 배치될 수 있다.

당김 클램핑부(203)는 x 클램핑부(205), y 클램핑부(206), xy 클램핑부(207)를 포함할 수 있다.

x 클램핑부(205)는 제1 축(x 축) 상으로 기준 클램핑부(201)로부터 이격된 위치에 배치되고, 기준 클램핑부(201)를 기준으로 제1 축을 따라 기판을 당길 수 있다. x 클램핑부(205)에는 x축 방향을 따라 연장되는 당김 레일이 마련될 수 있다.

y 클램핑부(206)는 제2 축(y축) 상으로 기준 클램핑부(201)로부터 이격된 위치에 배치되고, 기준 클램핑부(201)를 기준으로 제2 축을 따라 기판을 당길 수 있다. y 클램핑부(206)에는 y축 방향을 따라 연장되는 당김 레일이 마련될 수 있다.

xy 클램핑부(207)는 제1 축 및 제2 축 상으로 기준 클램핑부(201)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. xy 클램핑부(207)는 제1 축 및 제2 축을 따라 기판을 당길 수 있다. xy 클램핑부(207)에는 x축 방향을 따라 연장되는 당김 레일 및 y축 방향을 따라 연장되는 당김 레일이 각각 형성될 수 있다. 2개의 당김 레일 중 당김 수단(215)이 설치된 하나는 다른 당김 레일을 따라 이동할 수 있다.

도 5와 같이 기준 클램핑부(201), x 클램핑부(205), y 클램핑부(206), xy 클램핑부(207)는 사각 형상의 기판의 각 모서리를 클램핑할 수 있다. 각 클램핑부(210)의 이동 수단(219)이 초기 세팅 위치에 고정된 후, x 클램핑부(205)의 당김 수단(215)은 x축 방향을 따라 기준 클램핑부(201)로부터 멀어지게 이동할 수 있다. x 클램핑부(205)의 당김 수단(215)에 의해 기판의 하변 부분이 평평하게 펼쳐질 수 있다. y 클램핑부(206)의 당김 수단(215)은 y 축 방향을 따라 기준 클램핑부(201)로부터 멀어지게 이동할 수 있다. y 클램핑부(206)의 당김 수단(215)에 의해 기판의 우변 부분이 평평하게 펼쳐질 수 있다. xy 클램핑부(207)의 당김 수단(215)은 x축 방향 및 y축 방향을 따라 기준 클램핑부(201)로부터 멀어지게 이동할 수 있다. xy 클램핑부(207)의 당김 수단(215)에 의해 기판의 상변 부분 및 좌변 부분이 평평하게 펼쳐질 수 있다.

도 6은 적재 유니트(300)를 나타낸 개략도이다.

로딩 유니트(400)의 제어 정밀도를 완화하고, 로딩 유니트(400)를 간소화하기 위한 수단이 적재 유니트(300)에 마련될 수 있다.

앞서 설명된 바와 같이, 적재 유니트(300)에는 검사 유니트(100)에 의해 수행되는 통전 검사를 기다리는 기판이 적재될 수 있다. 또는 적재 유니트(300)에는 검사 유니트(100)에 의해 통전 검사가 완료된 기판이 적재될 수 있다.

적재 유니트(300)는 기판이 수용되는 통 또는 박스를 형성할 수 있다.

적재 유니트(300)는 외부 카세트(310), 외부 카세트(310) 내부에 승강 가능하게 수용되며 기판이 적재되는 내부 카세트(330)를 포함할 수 있다. 외부 카세트(310)는 내부 카세트(330)가 수용되는 박스 형상 또는 내부 카세트(330)를 지지하는 판 형상으로 형성될 수 있다. 내부 카세트(330)는 기판이 적재되는 판 형상 또는 박스 형상으로 형성될 수 있다.

외부 카세트(310)의 밑면에는 내부 카세트(330)를 승강시키는 승강 수단(910)이 통과하는 승강 홀(319)이 형성될 수 있다. 승강 수단(910)은 지지 유니트(900)에 마련될 수 있다.

적재 유니트(300)에 대해 기판을 옮기는 로딩 유니트(400)는 지지 유니트(900)에 의해 로딩 유니트(400)에 연결될 수 있다. 그 결과, 로딩 유니트(400)를 기준으로 적재 유니트(300)의 위치는 공간 상에서 어느 하나의 위치로 특정될 수 있다. 따라서, 로딩 유니트(400)는 동일한 공간 상의 특정 위치에 고정된 적재 유니트(300)에 대해 움직일 수 있다.

지지 유니트(900)에는 내부 카세트(330)에 적재된 기판 중 최상층 기판의 위치를 파악하는 기판 감지부(950)가 마련될 수 있다. 기판 감지부(950)는 내부 카세트(330)에 적재된 기판의 개수에 상관없이 최상층 기판이 설정 높이에 위치하도록 승강 수단(910)을 제어할 수 있다.

일 예로, 기판 감지부(950)는 적재 유니트(300)의 일측에 설치된 발광부, 적재 유니트(300)의 타측에 설치된 수광부를 포함할 수 있다. 발광부 및 수광부는 설정 높이에 배치될 수 있다. 발광부는 수광부를 향해 레이저, 적외선 등의 빛 d를 조사할 수 있다.

로딩 유니트(400)가 적재 유니트(300)에 적재된 기판을 집어드는 경우를 가정한다.

수광부는 발광부의 빛이 입력되면, 최상층 기판이 설정 높이에 도달하지 않은 것으로 판단하고, 승강 수단(910)을 상승시킬 수 있다. 승강 수단(910)의 상승에 의해 최상층 기판이 설정 높이에 도달하면, 발광부의 빛은 최상층 기판에 가로막혀 수광부로 입력되지 못한다. 수광부는 발광부의 빛이 미획득되면 최상층 기판이 설정 높이에 도달한 것으로 판단하고, 승강 수단(910)을 멈출 수 있다.

승강 수단(910)에 의해 최상층 기판이 설정 높이에 배치되면, 로딩 유니트(400)는 설정 높이로 내려와서 기판을 집어들 수 있다. 로딩 유니트(400)가 기판을 집어들면, 다시 발광부의 빛이 수광부로부 입력되므로, 승강 수단(910)이 다시 상승할 수 있다.

기판 감지부(950) 및 승강 수단(910)에 따르면, 로딩 유니트(400)의 하강 말단 위치는 항상 설정 높이로 고정될 수 있다. 그 결과, 로딩 유니트(400)의 z축 이동 제어 정밀도가 완화될 수 있다.

외부 카세트(310)의 밑면에는 내부 카세트(330)의 승강 방향을 따라 연장되는 복수의 가이드 핀(311)이 마련될 수 있다. 외부 카세트(310)의 밑면에는 가이드 핀(311)이 설치될 수 있는 설치 홈(313)이 서로 다른 위치에 복수로 형성될 수 있다.

내부 카세트(330)에는 가이드 핀(311)이 관통되는 가이드 홀(331)이 마련될 수 있다. 내부 카세트(330)는 복수의 가이드 핀(311)을 따라 승강되며, 복수의 가이드 핀(311)에 의해 회동이 방지될 수 있다.

기판(10)에는 가이드 핀(311)이 통과하는 얼라인 홀(11)이 형성될 수 있다. 내부 카세트(330)에 적재된 기판은 얼라인 홀(11)을 통과한 가이드 핀(311)에 의해 외부 카세트(310)에 정렬될 수 있다.

도 7은 지지 유니트(900)에 마련된 안착부(930)를 나타낸 개략도이고, 도 8은 안착부(930)에 적재 유니트(300)가 장착된 상태를 나타낸 개략도이다.

로딩 유니트(400)는 지지 유니트(900) 상의 안착 위치와 초기 위치 a 사이를 왕복하면서 기판을 옮길 수 있다. 지지 유니트(900)에는 안착 위치에서 적재 유니트(300)를 지지하는 안착부(930)가 마련될 수 있다. 외부 카세트(310)는 기판이 적재되는 내부 카세트(330)와 함께 안착부(930)에 착탈될 수 있다.

안착부(930)에는 외부 카세트(310)의 장착을 가이드하는 슬라이딩 가이드(920), 로커(940)(locker)가 마련될 수 있다. 로커(940)는 외부 카세트(310)가 슬라이딩 가이드(920)에 의해 설정 위치로 유도되면 외부 카세트(310)의 유동을 방지할 수 있다.

적재 유니트(300)가 셔틀 유니트(200)보다 높은 위치에 배치된 상황을 고려해서, 외부 카세트(310)는 지면에 평행한 제1 방향을 따라 슬라이딩되면서 안착부(930)에 착탈될 수 있다. 이때, 제1 방향은 x축 방향 또는 y축 방향을 포함할 수 있다. 제1 방향 상으로 외부 카세트(310)의 단부 측벽 외면에는 손잡이(315)가 형성될 수 있다.

지지 유니트(900)에 의해 외부 카세트(310)는 로딩 유니트(400)에 정렬될 수 있다. 구체적으로, 안착부(930)에 마련된 슬라이딩 가이드(920)와 로커(940)에 의해 외부 카세트(310)는 지지 유니트(900) 상의 설정 위치에 고정될 수 있다. 내부 카세트(330)에 적재된 기판은 가이드 핀(311)에 의해 외부 카세트(310)에 정렬될 수 있다.

가이드 핀(311)에 의해 외부 카세트(310)에 정렬된 기판과, 지지 유니트(900)에 의해 외부 카세트(310)에 정렬된 로딩 유니트(400)는 서로 정렬될 수 있다.

도 9는 로딩 유니트(400)를 나타낸 개략도이다. 도 10은 도 9의 로딩 유니트(400)를 밑에서 바라본 개략도이다.

로딩 유니트(400)에는 지지 유니트(900)에 이동 가능하게 설치되는 이동부(410), 이동부(410)와 함께 움직이고 기판을 흡착하는 흡착부(430)가 마련될 수 있다.

이동부(410)는 앞에서 설명된 기둥부(403)에 이동 가능하게 설치될 수 있다.

흡착부(430)는 이동부(410)에 착탈 가능하게 형성될 수 있다. 착탈을 위해 흡착부(430) 및 이동부(410) 중 적어도 하나에는 자석이 마련될 수 있다.

기판에 대면되는 이동부(410)의 일면에는 기판에 평행한 판 형상의 베이스 수단(411)이 마련될 수 있다. 베이스 수단(411)은 제1 자성체를 포함할 수 있다.

흡착부(430)에는 베이스 수단(411)에 부착되는 제1 부착 수단(431), 제1 부착 수단(431)으로부터 기판을 향해 연장되고 기판을 흡착하는 흡착 수단(433)이 마련될 수 있다.

흡착 수단(433)은 관 형상으로 형성되며 측면에 에어 호스가 연결될 수 있다. 흡착 수단(433)의 단부에는 기판의 훼손을 방지하기 위해 플렉시블 부재가 설치될 수 있다. 흡착 수단(433)에 연결된 에어 호스는 공기를 빨아들이고, 흡착 수단(433)에는 기판을 흡착하는 음압이 형성될 수 있다.

제1 부착 수단(431)은 자력에 의해 제1 자성체에 부착되는 제2 자성체를 포함할 수 있다. 제1 자성체와 제2 자성체 중 적어도 하나는 자석을 포함할 수 있다.

베이스 수단(411)은 제1 부착 수단(431)의 면적보다 큰 면적으로 형성될 수 있다. 면적의 차이로 인해, 제1 부착 수단(431)은 베이스 수단(411)의 범위 내에서 위치 조절이 가능하다. 베이스 수단(411)에 대한 제1 부착 수단(431)의 위치 조절에 의해 흡착 수단(433)은 기판에 정렬될 수 있다.

한편, 로딩 유니트(400)에 최상층 기판이 흡착될 때, 적재 유니트(300)에 적재된 하층의 다른 기판이 정전기력 등으로 인해 최상층 기판에 딸려올 수 있다.

로딩 유니트(400)에 흡착된 최상층 기판을 흡착 기판으로 정의한다. 흡착 기판에 붙어에 딸려온 다른 기판을 더미 기판으로 정의한다. 정상적인 통전 검사를 위해 로딩 유니트(400)에 흡착된 흡착 기판으로부터 더미 기판을 떼어내는 수단이 마련될 수 있다.

흡착부(430)에 흡착 기판이 흡착되면, 로딩 유니트(400)는 적재 유니트(300)로부터 설정 거리만큼 이격된 분리 위치에 흡착 기판이 배치되도록 상승할 수 있다. 흡착 기판으로부터 떨어진 더미 기판이 상기 적재 유니트(300) 상에 놓이도록, 분리 위치는 적재 유니트(300)에 형성될 수 있다.

분리 위치에 배치된 흡착 기판의 측면을 향해 바람을 부는 블로워(970)가 마련될 수 있다. 블로워(970)는 지지 유니트(900)에 형성될 수 있다. 분리 위치까지 들린 흡착 기판의 측면을 향해 분 바람은 흡착 기판과 더미 기판 사이로 유입되고 흡착 기판과 더미 기판을 분리시킬 수 있다.

분리 위치에 배치된 흡착 기판에 존재하는 정전기를 제거하는 이온 바(990)가 마련될 수 있다. 이온 바(990)는 적재 유니트(300)에 형성될 수 있다.

흡착 기판과 더미 기판 사이에 작용하는 정전기력이 이온 바(990)에 의해 제거될 수 있다. 정전기력이 제거된 더미 기판은 흡착 기판으로부터 떨어질 수 있다.

흡착 기판을 타격하는 타격부(450)가 마련될 수 있다. 타격부(450)는 흡착 기판이 하층의 다른 기판으로부터 이격되게 들린 상태에서 흡착 기판을 타격할 수 있다.

로딩 유니트(400)는 흡착부(430)에 흡착 기판이 흡착되면, 흡착 기판이 하층의 다른 기판으로부터 이격되게 상승할 수 있다. 이때, 타격부(450)는 흡착 기판의 상면이 흡착부(430)에 흡착되고, 흡착 기판이 하층의 다른 기판으로부터 이격되면, 흡착 기판의 상면을 타격할 수 있다.

타격부(450)에 연결되는 제2 부착 수단(451)이 마련될 수 있다.

제2 부착 수단(451)은 자력에 의해 제1 자성체에 부착되는 제3 자성체를 포함할 수 있다. 제1 자성체와 제3 자성체 중 적어도 하나는 자석을 포함할 수 있다.

타격부(450)는 제2 부착 수단(451)에 의해 베이스 수단(411)에 착탈될 수 있다. 베이스 수단(411)은 제2 부착 수단(451)의 면적보다 큰 면적으로 형성될 수 있다. 면적의 차이로 인해, 제2 부착 수단(451)은 베이스 수단(411)의 범위 내에서 위치 조절이 가능하다.

베이스 수단(411)에 대한 제2 부착 수단(451)의 위치 조절에 의해 타격부(450)는 흡착부(430)로부터 도피되면서, 적재 유니트(300)에 적재된 기판에 정렬될 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

10...기판 11...얼라인 홀
100...검사 유니트 200...셔틀 유니트
210...클램핑부 201...기준 클램핑부
203...당김 클램핑부 205...x 클램핑부
206...y 클램핑부 207...xy 클램핑부
211...클램퍼 215...당김 수단
219...이동 수단 270...가이드부
271...제1 가이드 272...제2 가이드
290...클램프 베이스 299...통공
300...적재 유니트 301...제1 적재 유니트
302...제2 적재 유니트 303...제1 면
304...제2 면 310...외부 카세트
311...가이드 핀 313...설치 홈
315...손잡이 319...승강 홀
330...내부 카세트 331...가이드 홀
400...로딩 유니트 401...제1 로딩 유니트
402...제2 로딩 유니트 403...기둥부
405...로딩 레일 410...이동부
411...베이스 수단 430...흡착부
431...제1 부착 수단 433...흡착 수단
450...타격부 451...제2 부착 수단
500...정렬 유니트 710...제1 레일
720...제2 레일 730...제3 레일
750...스크류 770...셔틀 구동부
600...받침부 900...지지 유니트
910...승강 수단 920...슬라이딩 가이드
930...안착부 940...로커
950...기판 감지부 970...블로워
990...이온 바

Claims

검사 위치에 배치되고, 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 유니트;
상기 기판이 탑재되는 셔틀 유니트;
상기 기판이 적재되는 제1 적재 유니트 및 제2 적재 유니트;
상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 상기 셔틀 유니트로 옮기는 제1 로딩 유니트;
상기 셔틀 유니트에 탑재되고 상기 검사 유니트를 거친 상기 기판을 상기 제2 적재 유니트로 옮기는 제2 로딩 유니트;를 포함하고,
상기 셔틀 유니트는 상기 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치와 상기 검사 위치 사이를 동일한 이동 경로를 따라 왕복하며,
상기 제1 적재 유니트와 상기 제2 적재 유니트는 상기 초기 위치를 사이에 두고 서로 대면하게 배치되고,
상기 셔틀 유니트에는 상기 기판을 클램핑하는 복수의 클램핑부가 마련되며,
상기 제2 적재 유니트에 대면되는 상기 제1 적재 유니트의 제1 면과, 상기 제1 적재 유니트에 대면되는 상기 제2 적재 유니트의 제2 면 간의 간격은 상기 기판의 길이 또는 폭보다 크게 형성되며,
상기 제1 적재 유니트는 일부분이 상기 초기 위치에 배치된 상기 셔틀 유니트의 일단부에 겹쳐지게 배치되며,
상기 제2 적재 유니트는 일부분이 상기 초기 위치에 배치된 상기 셔틀 유니트의 타단부에 겹쳐지게 배치되고,
상기 제1 로딩 유니트는 상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 들어올린 후 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이로 이동하고, 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이를 통과해서 상기 셔틀 유니트에 상기 기판을 내려놓으며,
상기 제2 로딩 유니트는 상기 검사 유니트를 거친 상기 기판을 상기 셔틀 유니트로부터 들어올린 후 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이를 통과하고, 상기 제2 적재 유니트에 상기 기판을 내려놓는 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 셔틀 유니트는 상기 초기 위치와 상기 검사 위치를 통과하는 제1 가상선을 따라 왕복하고,
상기 제1 적재 유니트와 상기 제2 적재 유니트는 상기 초기 위치를 통과하고 상기 제1 가상선에 수직한 제2 가상선 상에 배치되는 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 적재 유니트, 상기 제2 적재 유니트, 상기 제1 로딩 유니트, 상기 제2 로딩 유니트는 상기 셔틀 유니트보다 높은 위치에 배치되는 검사 장치.
삭제
검사 위치에 배치되고, 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 유니트;
상기 기판이 탑재되는 셔틀 유니트;
상기 기판이 적재되는 제1 적재 유니트 및 제2 적재 유니트;
상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 상기 셔틀 유니트로 옮기는 제1 로딩 유니트;
상기 셔틀 유니트에 탑재되고 상기 검사 유니트를 거친 상기 기판을 상기 제2 적재 유니트로 옮기는 제2 로딩 유니트;를 포함하고,
상기 셔틀 유니트는 상기 기판이 로딩 또는 언로딩되는 초기 위치와 상기 검사 위치 사이를 동일한 이동 경로를 따라 왕복하며,
상기 제1 적재 유니트와 상기 제2 적재 유니트는 상기 초기 위치를 사이에 두고 서로 대면하게 배치되고,
상기 셔틀 유니트에는 상기 기판을 클램핑하는 복수의 클램핑부가 마련되며,
상기 초기 위치와 상기 검사 위치 사이에 배치되고, 상기 기판의 정렬 상태를 확인하는 정렬 유니트;를 포함하고,
상기 제1 로딩 유니트는 상기 셔틀 유니트가 상기 초기 위치에 배치되면, 상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 상기 셔틀 유니트로 옮기며,
상기 정렬 유니트는 상기 셔틀 유니트에 상기 기판이 탑재되면, 상기 기판의 정렬 상태를 검사하고,
상기 셔틀 유니트는 상기 정렬 유니트의 검사가 완료되면 상기 검사 위치로 이동하며,
상기 검사 유니트는 상기 셔틀 유니트가 상기 검사 위치에 배치되면, 상기 기판의 통전 상태를 검사하고,
상기 셔틀 유니트는 상기 기판의 통전 검사가 완료되면, 상기 초기 위치로부터 상기 검사 위치까지 이동한 상기 이동 경로를 그대로 이용해서 상기 초기 위치로 이동하며,
상기 제2 로딩 유니트는 상기 검사 위치를 거친 상기 셔틀 유니트가 상기 초기 위치에 배치되면, 상기 셔틀 유니트에 탑재된 상기 기판을 상기 제2 적재 유니트로 옮기고,
상기 제1 로딩 유니트는 상기 제2 로딩 유니트가 상기 셔틀 유니트로부터 도피되면, 상기 제1 적재 유니트에 적재된 다음 기판을 상기 셔틀 유니트로 옮기는 검사 장치.
제1항에 있어서,
복수의 상기 클램핑부 중 기준 클램핑부는 설정 위치에 고정되고, 당김 클램핑부는 상기 기준 클램핑부를 기준으로 상기 기판을 당기는 검사 장치.
제6항에 있어서,
상기 셔틀 유니트에는 상기 클램핑부의 움직임을 가이드하는 가이드부가 마련되고,
상기 클램핑부는 상기 가이드부를 따라 이동하는 이동 수단을 포함하며,
상기 가이드부를 따라 이동하는 상기 이동 수단에 의해 상기 클램핑부 각각의 초기 세팅 위치가 결정되고,
상기 당김 클램핑부에는 상기 이동 수단 상에 설치되는 당김 수단이 추가로 마련되며,
상기 당김 수단은 상기 이동 수단에 의해 상기 당김 클램핑부 각각의 움직임이 상기 초기 세팅 위치에 멈춘 상태에서 상기 기판을 당기는 검사 장치.
제6항에 있어서,
서로 직교하는 가상의 제1 축, 제2 축 및 제3 축이 정의될 때, 상기 기판은 상기 제1 축과 상기 제2 축이 형성하는 평면 상에 배치되고,
상기 당김 클램핑부는 x 클램핑부, y 클램핑부, xy 클램핑부를 포함하며,
상기 x 클램핑부는 상기 제1 축 상으로 상기 기준 클램핑부로부터 이격된 위치에 배치되고, 상기 기준 클램핑부를 기준으로 상기 제1 축을 따라 상기 기판을 당기며,
상기 y 클램핑부는 상기 제2 축 상으로 상기 기준 클램핑부로부터 이격된 위치에 배치되고, 상기 기준 클램핑부를 기준으로 상기 제2 축을 따라 상기 기판을 당기며,
상기 xy 클램핑부는 상기 제1 축 및 상기 제2 축 상으로 상기 기준 클램핑부로부터 이격된 위치에 배치되고, 상기 기준 클램핑부를 기준으로 상기 제1 축 및 상기 제2 축을 따라 상기 기판을 당기는 검사 장치.
검사 유니트에 의해 수행되는 통전 검사를 기다리는 기판이 적재되거나, 상기 검사 유니트에 의해 상기 통전 검사가 완료된 기판이 적재되는 적재 유니트;를 포함하고,
상기 적재 유니트는 외부 카세트, 상기 외부 카세트 내부에 승강 가능하게 수용되며 상기 기판이 적재되는 내부 카세트를 포함하며,
상기 외부 카세트의 밑면에는 상기 내부 카세트를 승강시키는 승강 수단이 통과하는 승강 홀이 형성된 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 외부 카세트의 밑면에는 상기 승강 방향을 따라 연장되는 복수의 가이드 핀이 마련되고,
상기 내부 카세트에는 상기 가이드 핀이 관통 설치되는 가이드 홀이 마련되며,
상기 내부 카세트는 복수의 상기 가이드 핀을 따라 승강되며, 복수의 상기 가이드 핀에 의해 회동이 방지되는 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 적재 유니트에 대해 상기 기판을 옮기는 로딩 유니트;
상기 적재 유니트 및 상기 로딩 유니트를 연결하는 지지 유니트;를 포함하고,
상기 지지 유니트에는 상기 내부 카세트에 적재된 기판 중 최상층 기판의 위치를 파악하는 기판 감지부가 마련되며,
상기 기판 감지부는 상기 내부 카세트에 적재된 상기 기판의 개수에 상관없이 상기 최상층 기판이 설정 높이에 위치하도록 상기 승강 수단을 제어하는 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 적재 유니트 또는 셔틀 유니트에 탑재된 기판을 옮기는 로딩 유니트;
상기 적재 유니트, 상기 셔틀 유니트, 상기 로딩 유니트를 지지하는 지지 유니트;를 포함하고,
상기 로딩 유니트에는 상기 지지 유니트에 이동 가능하게 설치되는 이동부, 상기 이동부와 함께 움직이고 상기 기판을 흡착하는 흡착부가 마련되며,
상기 흡착부는 상기 이동부에 착탈 가능하고,
상기 흡착부 및 상기 이동부 중 적어도 어느 하나에는 자석이 마련되는 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 적재 유니트 또는 셔틀 유니트에 탑재된 기판을 옮기는 로딩 유니트;를 포함하고,
상기 로딩 유니트는 흡착부에 상기 기판이 흡착되면, 상기 적재 유니트로부터 설정 거리만큼 이격된 분리 위치에 상기 기판이 배치되도록 상승하고,
상기 분리 위치는 상기 적재 유니트 상에 형성되며,
상기 분리 위치에 배치된 상기 기판의 측면을 향해 바람을 부는 블로워가 마련된 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 적재 유니트 또는 셔틀 유니트에 탑재된 기판을 옮기는 로딩 유니트;를 포함하고,
상기 로딩 유니트는 흡착부에 상기 기판이 흡착되면, 상기 적재 유니트로부터 설정 거리만큼 이격된 분리 위치에 상기 기판이 배치되도록 상승하고,
상기 분리 위치는 상기 적재 유니트 상에 형성되며,
상기 분리 위치에 배치된 상기 기판에 존재하는 정전기를 제거하는 이온 바가 마련된 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 적재 유니트 또는 셔틀 유니트에 탑재된 기판을 옮기는 로딩 유니트;를 포함하고,
상기 로딩 유니트에 흡착된 상기 기판을 타격하는 타격부가 마련되며,
상기 타격부는 상기 로딩 유니트에 흡착된 상기 기판이 하층의 다른 기판으로부터 이격되게 들린 상태에서 상기 기판을 타격하는 검사 장치.