JP3265133B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、検査技術、特に、被検
査物を各ステージに移送する技術に関し、例えば、半導
体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の電気特性検査
を実施するのに利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣの製造工程において、ＩＣの電気特
性の良不良を選別検査する検査装置として、ＩＣオート
ハンドラと一般的に称されているものがある。従来のこ
の種のＩＣオートハンドラとして、ＩＣに対して検査を
実行する検査ステージと、被検査物であるＩＣが検査に
対して待機する待機ステージと、これから検査されるＩ
Ｃを供給する供給ステージと、検査済のＩＣを収納する
収納ステージと、供給ステージから待機ステージにこれ
から検査されるＩＣを移送する供給用移送装置と、待機
ステージと検査ステージと間でＩＣを移送する検査用移
送装置と、待機ステージから収納ステージに検査済のＩ
Ｃを移送する収納用移送装置とを備えているものがあ
る。

【０００３】なお、このようなＩＣオートハンドラを述
べてある例としては、特開昭６０−２１１９００号公報
および特開平４−１８６６４８号公報がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＩＣオートハンドラにおいては、供給ステージから待機
ステージにＩＣを移送する供給用移送装置と、待機ステ
ージから収納ステージに検査済のＩＣを移送する収納用
移送装置とは別々に移動するように構成されており、か
つまた、待機ステージと検査ステージと間でＩＣを移送
する検査用移送装置が直交型ロボットによって移動する
ように構成されているため、設備費用が高くなるばかり
でなく、タクトタイムが長くなるという問題点がある。

【０００５】本発明の目的は、コストおよびタクトタイ
ムを低減することができる検査技術を提供することにあ
る。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、待機ステージには間欠回転によ
って少なくとも４つのステーションを構成するターンテ
ーブルが設備されているとともに、このターンテーブル
には被検査物を保持する保持部が少なくとも一対配設さ
れており、また、供給用移送装置と前記収納用移送装置
とが同時に移動するように構成されているとともに、供
給用移送装置がターンテーブルの供給ステーションに停
止した保持部に被検査物を移載する時に、収納用移送装
置がターンテーブルの収納ステーションに停止した検査
済の被検査物を受け取るように構成されている。

【０００９】さらに、検査用移送装置は、ターンテーブ
ルの検査ステーションに来た保持部と検査ステージとを
通る円弧の中心を回動中心とするロータリーアームと、
被検査物を受け渡す一対のハンドリング装置とを備えて
おり、両ハンドリング装置はロータリーアームの前記円
弧上にそれぞれ設備されている。

【００１０】

【作用】前記第１の手段において、供給用移送装置は供
給ステージの被検査物を待機ステージにおける移送して
ターンテーブルの供給ステーションに停止した保持部に
移載する。この際、収納用移送装置は供給用移送装置と
共に待機ステージに移動する。そして、供給用移送装置
が被検査物を保持部に移載するときに、収納用移送装置
は別の保持部に保持された検査済の被検査物を受け取
る。被検査物を受け取った収納用移送装置は収納用ステ
ージに移動して、被検査物を収納用ステージの所定の場
所へ収納する。この際、供給用移送装置も収納用移送装
置と共に移動する。そして、供給用移送装置は供給用ス
テージに達して、次の被検査物を受け取る。

【００１１】このようにして、供給用移送装置と収納用
移送装置とは一体的に移動するように構成されているた
め、構造が簡略になる。また、待機ステージにおいて供
給用移送装置および収納用移送装置はいずれも移動しな
いため、その分、タクトタイムは短くなる。

【００１２】前記第２の手段において、検査用移送装置
のロータリーアームは１サイクルの動作で、両方のハン
ドリング装置を検査ステージと待機ステージとの間を交
互に移動させる。そして、一方のハンドリング装置が検
査ステージにおいて被検査物を受け渡している時に、他
方のハンドリング装置が待機ステージにおいて別の被検
査物を受け渡している。

【００１３】このようにして、検査用移送装置は両方の
ハンドリング装置をロータリーアームによって同時に移
動させるとともに、検査ステージにおける受け渡し作業
と待機ステージにおける受け渡し作業とを同時に進行さ
せることができるため、タクトタイムを短縮することが
できるとともに、その構造が簡略になる。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるＩＣオートハ
ンドラを示す模式的斜視図である。図２以降はその作用
を説明するための各説明図である。

【００１５】本実施例において、本発明に係る検査装置
は、ＩＣの電気特性の良不良を選別検査するＩＣオート
ハンドラ（以下、検査装置という。）１０として構成さ
れている。この検査装置１０は機台（図示せず）を備え
ており、機台上には被検査物であるＩＣ１に対して検査
を実行する検査ステージ１１と、ＩＣ１が検査に対して
待機する待機ステージ２０と、これから検査されるＩＣ
１を待機ステージ２０に供給する供給ステージ１３と、
検査済のＩＣ１Ａを収納する収納ステージ１５とが設定
されている。

【００１６】検査ステージ１１は機台上の片側（以下、
後ろ側とする。）に設定されており、そこには接続装置
としてのソケット１２が配置されている。ソケット１２
は検査装置１０のテスター（図示せず）に電気的に接続
されており、被検査物としてのＩＣ１を上から挿入され
て挿着されることにより、ＩＣ１とテスターとを電気的
に接続させるように構成されている。

【００１７】供給ステージ１３は機台上の前側に設定さ
れており、そこには実トレイ１４が段積みされるように
なっている。実トレイ１４はこれから検査を受けるＩＣ
１が規則的に整列されて収納されているトレイである。
他方、収納ステージ１５は機台上の前側における供給ス
テージ１３の片脇（以下、右脇とする。）に設定されて
おり、そこには良品トレイ１６と不良品トレイ１７とが
左右に並べられて段積みされるようになっている。良品
トレイ１６は検査済ＩＣ１Ａのうち良品が収納されるト
レイであり、不良品トレイ１７は不良品が収納されるト
レイである。

【００１８】なお、図示しないが、供給ステージ１３お
よび収納ステージ１５の間にはトレイ移送装置が設備さ
れている。このトレイ移送装置は供給ステージ１３で空
になった空トレイを空トレイ置場に移送したり、実トレ
イ１４を補給したり、良品トレイ１６または不良品トレ
イ１７が満杯になった時に空トレイを補給したりする作
業を実行するように構成されている。

【００１９】待機ステージ２０は機台上の中央に設定さ
れており、そこにはターンテーブル２１が水平面内で回
転自在に支承されて、一方向に９０度ずつ間欠回転する
ように構成されている。ターンテーブル２１の上には保
持ブロック２２が４台、同心円上の等間隔位置（９０度
の位相差位置）において水平面内で回転自在に支承され
ており、各保持ブロック２２は一方向に９０度ずつ間欠
回転するようにそれぞれ構成されている。各保持ブロッ
ク２２には被検査物を保持する保持部としてのポケット
２３がそれぞれ垂直方向上向きに開設されており、ポケ
ット２３は被検査物としてのＩＣ１を上から挿入されて
水平に保持するように構成されている。

【００２０】そして、ターンテーブル２１の間欠回転と
各回転ブロック２２の間欠回転とは、ターンテーブル２
１が９０度回転した時に各回転ブロック２２が９０度遊
星回転するように連動されている。また、ターンテーブ
ル２１が９０度回転して間欠停止した状態において仮想
的に設定される供給ステーション２４、検査ステーショ
ン２５、収納ステーション２６および供給待ちステーシ
ョン２７に４個のポケット２３がそれぞれ位置するよう
に、ターンテーブル２１と各保持ブロック２２との相関
関係が設定されており、かつまた、検査ステーション２
５は検査ステージ１１に対向するように設定されてい
る。

【００２１】機台上におけるターンテーブル２１とソケ
ット１２との間には検査用移送装置３０が設備されてい
る。検査用移送装置３０はロータリーシャフト３１を備
えており、このシャフト３１はターンテーブル２１の検
査ステーション２５とソケット１２とを結ぶ線分の中央
位置に垂直に立設されて、１８０度往復回動するように
構成されている。ロータリーシャフト３１の上端部には
ロータリーアーム３２が直交されて水平に支持されてお
り、ロータリーアーム３２の両端部にはハンドリング装
置３３が一対、垂直方向下向きにそれぞれ設備されてい
る。

【００２２】各ハンドリング装置３３はエアシリンダ装
置３４と真空吸着保持装置３５とを備えている。エアシ
リンダ装置３４はロータリーアーム３２に垂直方向下向
きに据え付けられており、そのピストンロッドの先端で
ある下端には真空吸着保持装置３５の吸着ヘッドが装着
されている。真空吸着保持装置３５の吸着ヘッドには負
圧供給手段（図示せず）が流体連結されており、吸着ヘ
ッドはこの負圧によってＩＣ１の上面を吸着して保持す
るようになっている。そして、両ハンドリング装置３
３、３３は、一方のハンドリング装置３３の吸着ヘッド
が検査ステーション２５のポケット２３に真上で対向し
た時に、他方のハンドリング装置３３の吸着ヘッドがソ
ケット１２に真上で対向するようにロータリーアーム３
２にそれぞれ配設されている。

【００２３】さらに、機台の上方には供給用移送装置と
収納用移送装置とを一体化した移送装置（以下、兼用移
送装置という。）４０が、供給ステージ１３、収納ステ
ージ１５および待機ステージ２０のエリアをカバーする
ように設備されている。すなわち、兼用移送装置４０は
直交型ロボット４１を備えており、このロボット４１の
一方のガイドレール（以下、前後方向ガイドレールとい
う。）４２は、供給ステージ１３および収納ステージ１
５と待機ステージ２０をカバーする前後方向に敷設さ
れ、この前後方向ガイドレール４２を走行するスライダ
ー４３に支持された他方のガイドレール（以下、左右方
向ガイドレールという。）４４は、供給ステージ１３と
収納ステージ１５とをカバーする左右方向に敷設されて
いる。

【００２４】直交型ロボット４１の左右方向ガイドレー
ル４４を走行するスライダー４５には、供給用ハンドリ
ング装置４６および収納用ハンドリング装置４７が垂直
方向下向きにそれぞれ設備されている。両ハンドリング
装置４６、４７はエアシリンダ装置４８と真空吸着保持
装置４９とをそれぞれ備えている。エアシリンダ装置４
８はスライダー４５に垂直方向下向きに据え付けられて
おり、そのピストンロッドの先端である下端には真空吸
着保持装置４９の吸着ヘッドが装着されている。真空吸
着保持装置４９の吸着ヘッドには負圧供給手段（図示せ
ず）が流体連結されており、吸着ヘッドはこの負圧によ
ってＩＣ１の上面を吸着して保持するようになってい
る。

【００２５】そして、両方のハンドリング装置４６、４
７は、供給用ハンドリング装置４７の吸着ヘッドがター
ンテーブル２１における供給ステーション２４のポケッ
ト２３に真上で対向した時に、収納用ハンドリング装置
４７の吸着ヘッドが収納ステーション２６のポケット２
３に真上で対向するようにスライダー４５にそれぞれ配
設されている。すなわち、供給用ハンドリング装置４６
と収納用ハンドリング装置４７との間隔は、ターンテー
ブル２１に配置されたポケット２３群の同心円の直径と
等しく設定されている。

【００２６】次に作用を説明する。兼用移送装置４０の
供給用ハンドリング装置４６が直交型ロボット４１によ
って供給ステージ１３に移動され、供給用ハンドリング
装置４６によって実トレイ１４のＩＣ１が真空吸着保持
されてピックアップされる。

【００２７】次いで、この供給用ハンドリング装置４６
が直交型ロボット４１によって供給ステージ１３から待
機ステージ２０に図２に示されているように移動され
る。この移動により、供給用ハンドリング装置４６によ
ってピックアップされたＩＣ１は、ターンテーブル２１
の供給ステーション２４に停止したポケット２３の真上
に対向される。続いて、ＩＣは供給用ハンドリング装置
４６のエアシリンダ装置４８によって下降されてポケッ
ト２３内に挿入され、真空吸着保持を解除されることに
より、移載される。

【００２８】このとき、兼用移送装置４０のスライダー
４５に供給用ハンドリング装置４６と共に設備された収
納用ハンドリング装置４７は、ターンテーブル２１の収
納ステーション２４に停止したポケット２３に対向する
ため、このポケット２３に保持されている検査済ＩＣ１
Ａを真空吸着保持してピックアップする。すなわち、収
納用ハンドリング装置４７のエアシリンダ装置４８によ
って真空吸着保持装置４９が下降されてポケット２３内
のＩＣ１Ａに当接されると、ＩＣ１Ａは真空吸着保持さ
れる。続いて、エアシリンダ装置４８が上昇されると、
ＩＣ１Ａはポケット２３から持ち上げられる。

【００２９】次いで、検査済ＩＣ１Ａをピックアップし
た収納用ハンドリング装置４７は供給用ハンドリング装
置４６と一緒に直交型ロボット４１によって待機ステー
ジ２０から収納ステージ１５に移動される。そして、収
納用ハンドリング装置４７によってピックアップされた
検査済ＩＣ１Ａは、良品トレイ１６または不良品トレイ
１７のうちテスターで指定されたトレイに挿入されて真
空吸着保持を解除されることにより、収納される。

【００３０】続いて、収納用ハンドリング装置４７と共
にスライダー４５に設備された供給用ハンドリング装置
４６は、兼用移送装置４０の直交型ロボット４１によっ
て供給ステージ１３に移動され、実トレイ１４に収納さ
れた次のＩＣ１をピックアップする。以降、前記作動が
繰り返されることにより、検査すべきＩＣ１の供給ステ
ージ１３から待機ステージ２０への移送作業、並びに、
検査済ＩＣ１Ａの待機ステージ２０から収納ステージ１
５への移送作業が順次実施されて行く。

【００３１】以上のようにして検査すべきＩＣ１の供給
ステージ１３から待機ステージ２０への移送作業および
検査済ＩＣ１Ａの待機ステージ２０から収納ステージ１
５への移送作業が、兼用移送装置４０によって同時進行
的に並行処理されるため、両作業の総合時間を短縮する
ことができる。

【００３２】他方、供給ステーション２４に間欠停止し
たポケット２３にこれから検査するＩＣ１を供給された
ターンテーブル２１は、９０度回転する。この回動によ
り、検査されるＩＣ１を保持したポケット２３はターン
テーブル２１の検査ステーション２５に移動される。こ
の際、ポケット２３は９０度遊星回転されるため、ポケ
ット２３に保持されたＩＣ１の検査ステーション２５の
ターンテーブル２１に対する向きは、図１にＩＣ１のイ
ンデックス２で示されているように、供給ステーション
２４における向きと同一になる。

【００３３】次いで、検査ステーション２５に移動され
たポケット２３のＩＣ１は、検査用移送装置３０により
待機ステージ２０から検査ステージ１１に図３に示され
ているように移送される。すなわち、ポケット２３に保
持されたＩＣ１は、検査用移送装置３０における検査ス
テーション２５側に位置したハンドリング装置３３によ
って真空吸着保持されてピックアップされる。この際、
検査ステージ１１側に位置したハンドリング装置３３
は、ソケット１２に装着されて検査が済んだＩＣ１Ａを
真空吸着保持してピックアップする。

【００３４】これから検査するＩＣ１および検査済ＩＣ
１Ａのピックアップが終了すると、ロータリーシャフト
３１が１８０度回転され、ロータリーアーム３２によっ
て両側のハンドリング装置３３、３３がソケット１２お
よび検査ステーション２５のポケット２３に検査するＩ
Ｃ１および検査済ＩＣ１Ａを移動させる。そして、ソケ
ット１２の真上に移動したハンドリング装置３３は、検
査するＩＣ１をソケット１２にプットダウンしてソケッ
ト１２に挿着する。また、検査ステーション２５のポケ
ット２３の真上に移動したハンドリング装置３３は、検
査済ＩＣ１Ａをそのポケット２３にプットダウンして保
持させる。

【００３５】この際、ロータリーアーム３２が１８０度
回転されるため、ソケット１２に挿着されたＩＣ１の向
きは、図１にインデックス２で示されているように、検
査ステーション２５における向きと１８０度反対向きに
なっている。また、検査ステーション２５のポケット２
３に保持された検査済ＩＣ１Ａの向きは、供給ステーシ
ョン２４における向きと同一の元の向きに戻された状態
になっている。

【００３６】これから検査するＩＣ１がソケット１２に
挿着されると、そのＩＣ１とテスターとがソケット１２
を介してテスト信号を交わし所定の電気特性検査が実施
される。

【００３７】検査が終了すると、検査済ＩＣ１Ａは検査
用移送装置３０の一方のハンドリング装置３３によって
ピックアップされる。ピックアップされた検査済ＩＣ１
Ａはロータリーシャフト３１の１８０度回転によって、
待機ステージ２０の検査ステーション２５に待機してい
るポケット２３に移送されてプットダウンされる。この
際、ロータリーシャフト３１は往行回転と反対方向に復
行１８０度回転されるため、各ハンドリング装置３３に
接続されたエアシリンダ装置３４用の正圧供給手段のホ
ースや、真空吸着保持装置３５用の負圧供給手段のホー
ス等が捩じれることはない。したがって、検査用移送装
置３０の構造を簡単化することができる。

【００３８】以上のようにして検査するＩＣ１の待機ス
テージ２０から検査ステージ１１への移送作業と、検査
済ＩＣ１Ａの検査ステージ１１から待機ステージ２０へ
の移送作業とが同一のロータリーアーム３２の往復回動
によって実行されるため、直交型ロボットによる移動時
間に比べてその移動時間が短縮されるとともに、検査用
移送装置３０の構造がきわめて簡単になる。

【００３９】次いで、ターンテーブル２１が９０度回転
されると、検査済ＩＣ１Ａを保持したポケット２３は検
査ステーション２５から収納ステーション２６に移動さ
れる。この際、ターンテーブル２１の９０度回転に伴っ
て、保持ブロック２２が９０度遊星回転されるため、収
納ステーション２６に移動された検査済ＩＣ１Ａの向き
は、供給ステーション２４に供給された時の向きと同一
になっている。そして、収納ステーション２６に移動し
た検査済ＩＣ１Ａは、前述したように兼用移送装置４０
の収納用ハンドリング装置４７によってピックアップさ
れ、収納ステージ１５における良品トレイ１６または不
良品トレイ１７にプットダウンされて収納される。

【００４０】その後、ターンテーブル２１が９０度回転
されると、収納ステーション２６の空になったポケット
２３は供給待ちステーション２７に移動される。この際
も、ターンテーブル２１の９０度回転に伴って、保持ブ
ロック２２は９０度遊星回転される。次いで、ターンテ
ーブル２１が９０度回転されると、供給待ちステーショ
ン２７の空のポケット２３は供給ステーション２４に移
動される。

【００４１】以降、前記作動が繰り返されることによ
り、検査すべきＩＣ１について電気特性の良不良選別検
査が順次実施されて行く。この検査作業中、供給ステー
ジ１３および収納ステージ１５と待機ステージ２０との
間のＩＣの移送作業と、待機ステージ２０と検査ステー
ジ１１との間のＩＣの移送作業とは、同時進行的に実行
されるため、検査作業全体としての時間は短縮されるこ
とになる。

【００４２】前記実施例によれば次の効果が得られる。 （１） 待機ステージには間欠回転によって４つのステ
ーションを構成するターンテーブルを設備するととも
に、このターンテーブルにはＩＣを保持するポケットを
４個配設し、また、直交型ロボットの最終段スライダに
供給用ハンドリング装置と収納用ハンドリング装置を組
み込み、供給用ハンドリング装置がターンテーブルの供
給ステーションに停止した保持部にＩＣをプットダウン
する時に、収納用ハンドリング装置がターンテーブルの
収納ステーションに停止した検査済ＩＣをピックアップ
するように構成することにより、供給用移送装置および
収納用移送装置の全体としての構造を簡単化することが
できるとともに、待機ステージにおいての供給用移送装
置および収納用移送装置の移動を省略することができる
ため、その分、タクトタイムを短縮することができる。

【００４３】（２） ターンテーブルの検査ステーショ
ンに位置した保持部と検査ステージのソケットとを通る
円弧の中心を回動中心とするロータリーアームの当該円
弧上に、ＩＣをハンドリングする一対のハンドリング装
置をそれぞれ設備することにより、ロータリーアームは
１サイクルの動作で、両方のハンドリング装置を検査ス
テージのソケットと待機ステージの保持部との間を交互
に移動させ、かつ、一方のハンドリング装置が検査ステ
ージにおいて検査済ＩＣをハンドリングしている時に、
他方のハンドリング装置が待機ステージにおいてこれか
ら検査するＩＣをハンドリングすることができるため、
検査ステージにおけるハンドリング作業と待機ステージ
におけるハンドリング作業とを同時に進行させることが
でき、タクトタイムを短縮することができ、また、検査
用移送装置の構造を簡単化することができる。

【００４４】（３） 各保持部をターンテーブルに遊星
回転するように設備することにより、保持部に保持され
たＩＣの向きを一定の向きに揃えることができるため、
供給作業、検査作業および収納作業の取り扱い方を統一
することができる。

【００４５】（４） ロータリーアームを往復回動する
ように構成することにより、ハンドリング装置に流体連
結された正圧供給手段や負圧供給手段のホース等の捩じ
れを防止することができるため、検査用移送装置の構造
を簡単化することができる。

【００４６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４７】例えば、ターンテーブルは４箇所のステー
ションが設定されるように構成するに限らず、６箇所以
上偶数箇所のステーションが設定されるように構成して
もよい。

【００４８】また、ターンテーブルに配設されるＩＣ保
持部は、４個配設するに限らず、少なくとも一対１組配
設すればよく、２個または６個以上の偶数個配設しても
よい。

【００４９】ＩＣ保持部はターンテーブルに対して遊星
回転するように配設するに限らず、固定的に配設しても
よい。

【００５０】検査用移送装置のロータリーアームにはハ
ンドリング装置を２台配設するに限らず、３台以上配設
してもよい。なお、ハンドリング装置が３台以上配設さ
れている場合には、検査ステージに３箇所以上のステー
ションが設定されることになるため、例えば、電気特性
検査作業、リード外観検査作業、製品マーク検査作業等
の複数の検査作業が実施されるように構成することがで
きる。さらに、電気特性検査作業、リード外観検査作業
および製品マーク検査作業が実施される場合には、一の
検査作業で不良品と判定されたＩＣについては他の検査
作業を省略するように構成することができるし、リード
の修正作業ステーション等を設定することもできる。

【００５１】検査用移送装置のロータリーアームは、１
８０度往復回転するように構成するに限らず、１８０度
ずつ一方向に間欠回転するように構成してもよいし、１
８０度以外の角度で間欠回転するように構成してもよ
い。

【００５２】検査用移送装置は、ロータリーアームと一
対のハンドリング装置との組み合わせによって構成する
に限らず、直交型ロボットと一対のハンドリング装置と
の組合せによる兼用移送装置によって構成してもよい。
すなわち、直交型ロボットを最終段スライダーが待機ス
テージと検査ステージとの間を往復移動するように構成
するとともに、このスライダーに一対のハンドリング装
置を設備し、一方のハンドリング装置が待機ステージの
検査待ちＩＣをハンドリングする間に、他方のハンドリ
ング装置が検査ステージの検査済ＩＣをハンドリングす
るように構成してもよい。

【００５３】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるＩＣの
電気特性についての検査装置に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、ＩＣのリー
ド外観についての検査装置、ＩＣの製品マークについて
の検査装置、さらには、ＩＣ以外の半導体装置や電子装
置、電子部品および電気機器の電気特性、リード外観お
よび製品マーク等を検査する検査装置全般に適用するこ
とができる。

【００５４】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５５】待機ステージには間欠回転によって少なく
とも４つのステーションを構成するターンテーブルを設
備するとともに、このターンテーブルには被検査物を保
持するポケットを少なくとも一対配設し、また、供給用
移送装置と収納用移送装置の兼用移送装置を設けるとと
もに、供給用移送装置がターンテーブルの供給ステーシ
ョンに停止した保持部に被検査物をプットダウンする時
に、収納用移送装置がターンテーブルの収納ステーショ
ンに停止した検査済の被検査物をピックアップするよう
に構成することにより、構造を簡単化することができる
とともに、待機ステージにおける供給用移送装置および
収納用移送装置の移動を省略することができるため、そ
の分、タクトタイムを短縮することができる。

【００５６】ターンテーブルの検査ステーションに来た
保持部と検査ステージとを通る円弧の中心を回動中心と
するロータリーアームの当該円弧上に、被検査物をハン
ドリングする一対のハンドリング装置をそれぞれ設備す
ることにより、ロータリーアームは１サイクルの動作
で、両方のハンドリング装置を検査ステージと待機ステ
ージとの間を交互に移動させ、かつ、一方のハンドリン
グ装置が検査ステージにおいて検査済の被検査物をハン
ドリングしている時に、他方のハンドリング装置が待機
ステージにおいて検査待ちの被検査物をハンドリングす
ることができるため、検査ステージにおけるハンドリン
グ作業と待機ステージにおけるハンドリング作業とを同
時に進行させることができ、タクトタイムを短縮するこ
とができ、また、検査用移送装置の構造を簡単化するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるＩＣオートハンドラを
示す模式的斜視図である。

【図２】兼用移送装置の作用を説明するための一部省略
斜視図である。

【図３】検査用移送装置の作用を説明するための一部省
略斜視図である。

【符号の説明】

１…ＩＣ（被検査物）、１Ａ…検査済ＩＣ（検査済の被
検査物）、２…インデックス、１０…ＩＣオートハンド
ラ（検査装置）、１１…検査ステージ、１２…ソケット
（接続装置）、１３…供給ステージ、１４…実トレイ、
１５…収納ステージ、１６…良品トレイ、１７…不良品
トレイ、２０…待機ステージ、２１…ターンテーブル、
２２…保持ブロック、２３…ポケット（保持部）、２４
…供給ステーション、２５…検査ステーション、２６…
収納ステーション、２７…供給待ちステーション、３０
…検査用移送装置、３１…ロータリーシャフト、３２…
ロータリーアーム、３３…ハンドリング装置、３４…エ
アシリンダ装置、３５…真空吸着保持装置、４０…供給
用移送装置と収納用移送装置とを一体化した移送装置
（兼用移送装置）、４１…直交型ロボット、４２…前後
方向ガイドレール、４３…前後方向スライダー、４４…
左右方向ガイドレール、４５…最終段スライダー、４６
…供給用ハンドリング装置、４７…収納用ハンドリング
装置、４８…エアシリンダ装置、４９…真空吸着保持装
置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−177583（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−223198（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査前の被検査物を供給ステージから待
   機ステージへ搬送するための供給用ハンドリング装置
   と、検査済の被検査物を前記待機ステージから収納ステ
   ージへ搬送するための収納用ハンドリング装置とを所定
   の間隔にスライダーに取り付けた移送装置を備えてお
   り、 前記待機ステージに配された前記被検査物を保持するた
   めの複数の保持部の間隔は、前記移送装置の前記供給用
   ハンドリング装置に吸着した前記検査前の被検査物を前
   記待機ステージの保持部へ保持させるために吸着を解除
   する動作と同期して、他の保持部に保持された前記検査
   済の被検査物を前記収納用ハンドリング装置にて吸着保
   持を可能とするために前記所定の間隔に設定されている
   ことを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】 被検査物に対して検査を実行する検査ス
   テージと、被検査物が検査に対して待機する待機ステー
   ジと、検査される被検査物を供給する供給ステージと、
   検査済の被検査物を収納する収納ステージと、供給ステ
   ージから待機ステージにこれから検査される被検査物を
   移送する供給用移送装置と、待機ステージと検査ステー
   ジとの間で被検査物を移送する検査用移送装置と、待機
   ステージから収納ステージに検査済の被検査物を移送す
   る収納用移送装置とを備えている検査装置であって、 前記待機ステージに間欠回転するターンテーブルが少な
   くとも４つのステーションを構成するように設備されて
   いるとともに、このターンテーブルには被検査物を保持
   する保持部が少なくとも一対配設されており、 前記供給用移送装置と前記収納用移送装置とが同時に移
   動するように構成されているとともに、供給用移送装置
   がターンテーブルの供給ステーションに停止した保持部
   に被検査物を移載する時に、収納用移送装置がターンテ
   ーブルの収納ステーションに停止した検査済の被検査物
   を受け取るように構成されていることを特徴とする請求
   項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記検査用移送装置は、ターンテーブル
   の検査ステーションに来た保持部と検査ステージとを通
   る円弧の中心を回動中心とするロータリーアームと、被
   検査物を受け渡す一対のハンドリング装置とを備えてお
   り、両ハンドリン グ装置はロータリーアームの前記円弧
   上にそれぞれ設備されていることを特徴とする請求項２
   に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 前記ロータリーアームが往復回動するよ
   うに構成されていることを特徴とする請求項３に記載の
   検査装置。