JP4608742B2 - 移動体システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、部品搬送装置や部品実装装置などを搭載した移動体を周回軌道に沿って移動させる移動体システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体工場などにおいて、半導体部品の搬送や実装を行うために、搬送装置や実装装置を搭載した移動体を備える移動体システムが用いられている。半導体部品搬送や部品実装に精度および自動化が要求されるため、このような半導体工場に設置される移動体システムとしては、リニアモータやボールスクリュー方式などが用いられている。
【0003】
ここで、図1に上記のような搬送装置等を搭載した移動体を移動させる移動体システムの概略を示す。同図に示すように、このシステムでは、X軸方向に敷設される軌道1および移動体3およびこれを案内支持する軌道1などを含むリニアモータシステム16自体をボールスクリュー方式でY軸方向に移動できるようにしている。具体的には、リニアモータシステム16をボールスクリュー15によって駆動される架台に固定し、ボールスクリュー15をモータ17で駆動することにより、リニアモータシステム16全体をY軸方向に移動させることができるようになっている。このシステムによれば、ボールスクリュー15およびリニアモータの両者の駆動を制御することにより、移動体3をXY平面の任意の位置に移動させることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した移動体システムでは、XY平面上の任意に位置に移動体3を移動させることができるが、このシステムで駆動できる移動体3は1つだけである。従って、多数の部品を上記XY平面内の第1の位置から第2の位置に搬送する場合には、搬送する部品の数だけ移動体3を第1の位置と第2の位置との間で往復させる必要があり、多大な搬送時間を要することになってしまう。複数の移動体を移動させれば、搬送時間等を短縮することはできるが、上記のような従来の移動体システムでは、複数の移動体を駆動することは不可能である。
【0005】
本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであり、同一軌道に沿って複数の移動体を精度よく移動させることが可能な移動体システムを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の請求項1に記載の移動体システムは、同一の周回軌道に沿って移動可能に設けられる複数の移動体と、前記移動体に対応して設けられ、前記周回軌道の中央部に積層配置される回転駆動機構と、対応する前記回転駆動機構と前記移動体を連結し、所定の作業を行う作業実行手段を有する連結部材と、前記作業実行手段によって前記所定の作業が行われる作業台と、前記作業台を前記周回軌道の中央部と前記周回軌道上の間で移動可能に制御し、当該作業台を回転可能に制御する駆動機構とを具備し、前記回転駆動機構が前記連結部材を回転させることにより、当該連結部材に連結された前記移動体を前記周回軌道に沿って移動させることを特徴としている。
また、本発明の請求項2に記載の移動体システムは、同一の直線軌道と円弧軌道とが組み合わせられた周回軌道に沿って移動可能に設けられ、所定の作業を行う作業実行手段を各々有する複数の移動体と、前記移動体に対応して設けられ、前記周回軌道の中央部に積層配置される回転駆動機構と、対応する前記回転駆動機構と前記移動体を連結する連結部材と、前記周回軌道に沿って前記移動体を案内するガイド部材と、前記ガイド部材と前記移動体が接する部分に当該移動体を接触させる部材とを具備し、前記回転駆動機構が前記連結部材を回転させることにより、当該連結部材に連結された前記移動体を前記ガイド部材に沿って移動させ、前記直線軌道上において当該移動体の前記作業実行手段により前記所定の作業を行うことを特徴としている。
【0007】
また、請求項3に記載の移動体システムは、請求項2に記載の移動体システムにおいて、前記ガイド部材は、前記直線軌道を有するガイド部材と前記円弧軌道を有するガイド部材とで構成されていることを特徴としている。
【0008】
また、請求項4に記載の移動体システムは、請求項2に記載の移動体システムにおいて、前記連結部材は、その一端部が前記回転駆動機構に固定され、他端部側で前記移動体を前記回転駆動機構の回転円の半径方向に移動可能に支持していることを特徴としている。
【0013】
また、請求項5に記載の移動体システムは、請求項1ないし4のいずれかに記載の移動体システムにおいて、前記回転駆動機構は、ダイレクトドライブモータであることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
A.第1実施形態
A−1.全体構成
まず、図2は本発明の第1実施形態に係る移動体システムの構成を示す平面図である。同図に示すように、この移動体システムは、筒状のガイド部材20の内壁に沿って6つの移動体21が移動可能になされている。各移動体21には半導体部品等を実装する実装ヘッド(作業実行手段)24が搭載されている。また、各移動体21には、ガイドロール21aが設けられており、移動体21の移動時には、これらのガイドロール21aがガイド部材20の内壁上を回転することになる。
【0015】
ガイド部材20の中央部には、アウターロータタイプのダイレクトドライブモータ(回転駆動機構)22が配置されている。図3に示すように、ダイレクトドライブモータ22は上下方向に6つ積層配置されている。図2および図3に示すように、各々のダイレクトドライブモータ22のロータ22aには、ダイレクトドライブモータ22の回転円の半径方向に伸びる連結部材23の一端が取り付けられており、連結部材23はロータ22aの回転に伴って回転するようになっている。
【0016】
上述した6つの移動体21は、それぞれ積層配置された6つのダイレクトドライブモータ22に取り付けられた連結部材23の他端側に取り付けられている。ここで、図2に示すように、移動体21は、連結部材23に形成された半径方向に伸びる長孔23aに沿って移動可能になされている。つまり、移動体21は、連結部材23によって半径方向に沿って移動可能に保持されている。また、移動体21は、ガイド部材20の内壁側に図示せぬマグネット等により吸引されており、これによりその軌道上のいずれの位置にある場合にも、ガイドロール21aがガイド部材20の内壁と接するようになっている。
【0017】
本実施形態では、ガイド部材20は、平面的にみると、2つの直線ガイド20aと2つの円弧状ガイド20bとが組み合わされた形状となっている。従って、ダイレクトドライブモータ22のロータ22aが回転して連結部材23およびこれに保持される移動体21が回転すると、通常移動体21は円軌道に沿って移動することになるが、この場合、円軌道ではなく直線と円弧が組み合わされた平面形状のガイド部材20に沿った周回軌道に沿って移動する。このような軌道に沿った移動を可能とするために、上記のように移動体21が半径方向に移動可能に連結部材23に保持されており、常にガイド部材20の内壁に沿って移動できるようになっている。また、図2に示すように、円弧状ガイド20bには、上述した連結部材23の端部が円弧状ガイド20bと交錯しないように溝20cが形成されている。また、図示はしないが直線ガイド20aにも、連結部材23との交錯を回避するための貫通孔が設けられている。
【0018】
A−2.ダイレクトドライブモータ
次に、上記移動体21を駆動するダイレクトドライブモータ22について説明する。ダイレクトドライブモータ22としては、公知の種々のものを用いることができるが、本実施形態では、特開平3−124257号公報に開示されたモータを利用しており、以下このダイレクトドライブモータ22について図4を参照しながら説明する。
【0019】
図4に示すように、このダイレクトドライブモータ22は、円筒状の磁性体であるロータ22aを有しており、その内周面に等間隔に歯部30aと凹溝30bが交互に形成されている。各凹溝30bには、隣り合うもの同士の極性が互いに逆方向となるように永久磁石31が挿入配置されている。また、歯部30aの内周面には、歯部30aの磁極を強める方向に作用する補助永久磁石32が配置されている。
【0020】
ステータ33は、A相磁極35a、B相磁極35bおよびC相磁極43cを有する鉄心35と、各相磁極35a〜35cに券回されたコイル36a〜36cとを備えている。ここで、各相磁極35aから35cは、周方向に順次P/3ずつずらして配置される(Pは歯部30aのピッチ(形成間隔))。このような鉄心35がシャフト37に固定されている。この構成の下、図5に示すような励磁シーケンスでA相磁極35aに券回されるコイル36a、B相磁極35bに券回されるコイル36b、C相磁極35cに券回されるコイル36cに極性が反転するパルス電流を供給して駆動する、いわゆるバイポーラ駆動を行えば、ステータ33に対するロータ22aの磁気的安定点が移り変わり、これに伴ってロータ22aが回転する。
【0021】
A−3.動作
次に、上記構成の移動体システムによる動作について説明する。ここでは、各移動体21に搭載された実装ヘッド24を用いて半導体部品実装を行う場合について図6を参照しながら説明する。
【0022】
例えば、品置き場から半導体部品を取り出し、実装台にある基板等にこの部品を実装する場合、まず、図6(a)に示すように、部品置き場近傍にある移動体21が部品置き場の前に移動させられる。そして、これに搭載される実装ヘッド24が半導体部品を取り出し、その移動体21を駆動するダイレクトドライブモータ22(図2参照)によっていずれかの方向で実装台の位置まで移動させられる(以下、図の時計方向に移動するものとする)。
【0023】
上記の実装ヘッド24による部品取り出し時には、図6(a)に示すように、他の移動体21はそれぞれ対応するダイレクトドライブモータ22によって部品置き場の近傍まで移動させられる。そして、1台目の移動体21に搭載された実装ヘッド24が半導体部品を取り出して実装台へ移動を開始すると、次の移動体21が部品置き場の前に移動し、これに搭載される実装ヘッド24が半導体部品を取り出す。このように順番に各移動体21に搭載される実装ヘッド24が半導体部品を部品置き場から取り出す。
【0024】
そして、図6(b)に示すように、最初に半導体部品を取り出した実装ヘッド24を搭載する移動体21が実装台の前に停止し、この位置で実装ヘッド24による部品実装が行われる。このような実装が行われている間、部品置き場から半導体部品を取り出した実装ヘッド24を搭載する移動体21が順次実装台近傍を移動する。そして、前の移動体21に搭載された実装ヘッド24による実装作業が終了すると、待機している移動体21が順次実装台の前に移動して実装を行う。
【0025】
このようにして各移動体21がガイド部材20を1回転すると、部品置き場から6つの半導体部品を取り出して実装台で基板に実装するといった作業を行うことができる。従来の半導体部品実装に用いられる移動体システム(図1参照)では、1つの移動体しか移動させることができなかったため、複数回の実装作業を繰り返す場合には、移動体が部品置き場から実装台へ複数回往復しなくてはならず、多大な作業時間を必要としていた。これに対し、本実施形態では、上述したように移動体21が1回転する間に、最大6つ(つまり、ガイド部材20に移動可能に設けられた移動体21の数)の半導体部品実装作業を行うことができる。
【0026】
また、このような半導体部品実装作業は、実装位置などに非常に高い精度が要求されるが、本実施形態に係る移動体システムでは、高精度の位置決めが可能なダイレクトドライブモータを用いているので、半導体部品実装作業に用いられる移動体システムとしても好適である。また、ガイド部材20における円弧状ガイド20bの部分で移動体21の位置決めを高精度に行うのは困難であるが、上記のように部品置き場や実装台といった移動体21が停止する必要がある場所をガイド部材20における直線ガイド20aの部分とすることにより、高精度の位置決めを容易に行うことができる。
【0027】
また、各移動体21は、それぞれに対応して設けられたダイレクトドライブモータ22によって駆動されているため、各移動体21を個別に制御することができる。従って、上記のような半導体実装作業において、特定の移動体21は部品置き場を通過させるといったことも可能となる。従って、様々な工程に対応した、つまり他品種の製品を製造するために用いる移動体システムとしても好適である。また、このような各移動体21を個別に制御できるようにするために、6つのダイレクトドライブモータ22を設けるようにしたが、これらを上述したように積層配置することにより、平面的な設置スペースの増加を抑制している。特に、半導体工場などでは、工場内をクリーンルームとすることが多く、設置スペースの増加は、設備の製造コストに多大な影響を与えることになるが、本実施形態に係る移動体システムでは、上記のように設置スペースの増加を抑制できるので、コストの増加を抑制することができる。
【0028】
B.第2実施形態
次に、本発明の第2実施形態に係る移動体システムについて説明する。なお、第2実施形態において、第1実施形態と共通する構成要素には、同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【0029】
図7に示すように、第2実施形態に係る移動体システムは、上記第1実施形態のように移動体21を案内するガイド部材を有しておらず、移動体21は連結部材23の端部に位置に支持されている。従って、第2実施形態では、移動体21に対応して積層配置されたダイレクトドライブモータ22のロータ22aの回転に伴って各移動体21が円軌道に沿って移動させられることになる。
【0030】
また、移動体21は、連結部材23の端部に設けられた回転軸72によって回転自在に支持されている。この回転軸72は、ダイレクトドライブモータ22上に設けられた回転軸70とスチールベルト71によって連結されている。この構成の下、図示せぬ駆動源により回転軸70が回転させられると、回転軸72が回転し、これに伴って移動体21が連結部材23の端部において回転することができるようになっている。
【0031】
また、第2実施形態に係る移動体システムでは、図の下方側にワーク台75が設けられており、移動体21に設けられた実装ヘッド(図示略)が、このワーク台75上に載置された基板等に対して部品実装作業等を実行するようになっている。ここで、ワーク台75は、リニアモータ等の駆動機構によって図の上下方向であるダイレクトドライブモータ22の回転円の半径方向に移動可能になされている。
【0032】
第2実施形態に係る移動体システムにおいても、上述した第1実施形態と同様に同一軌道上で複数の移動体21を個別に制御して移動させることができ、上述したように作業時間の短縮といった効果が得られる。また、これらの移動体21もダイレクトドライブモータ22によって駆動されているため、高精度の位置決めを行うこともできる。また、この実施形態では、移動体21の移動可能な軌道が円軌道に規制されるため、作業場所と実装ヘッド24との位置関係の調整が必要となることもあり得るが、上述したように、作業場所であるワーク台75を移動可能に設けるとともに、移動体21を回転させて向き調整などを行えるようにしたため、上記のような位置関係の調整を行うことができる。
【0033】
C.第3実施形態
次に、本発明の第3実施形態に係る移動体システムについて説明する。なお、第3実施形態において、第1および第2実施形態と共通する構成要素には、同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【0034】
図8に示すように、第3実施形態に係る移動体システムは、上記第1実施形態のように移動体を案内支持するガイド部材を有しておらず、実装ヘッド(移動体、作業実行手段)24が連結部材23の端部に取り付けられている。これにより、実装ヘッド24に対応して積層配置されたダイレクトドライブモータ22のロータ22aの回転に伴って実装ヘッド24は円軌道に沿って移動させられることになる。
【0035】
ここで、実装ヘッド24は連結部材23の端部にダイレクトドライブモータ80を介して取り付けられている。すなわち、実装ヘッド24は連結部材23の端部においてダイレクトドライブモータ80の回転に伴って回転可能に設けられている。一方、第3実施形態においても、上記第2実施形態と同様に移動可能になされたワーク台75が設けられている。
【0036】
第3実施形態に係る移動体システムにおいても、上記第1および第2実施形態と同様に同一軌道上で複数の移動体21を個別に制御して移動させることができ、上述したように作業時間の短縮といった効果が得られる。また、これらの移動体21もダイレクトドライブモータ22によって駆動されているため、高精度の位置決めを行うこともできる。また、この実施形態では、移動体21の移動可能な軌道が円軌道に規制されるため、作業場所と実装ヘッド24との位置関係の調整が必要となることもあり得るが、上述したように、作業場所であるワーク台75を移動可能に設けるとともに、実装ヘッド24をダイレクトドライブモータ22により所望の角度に回転させて向き調整などを行えるようにしたため、上記のような位置関係の調整を行うことができる。
【0037】
D.第4実施形態
次に、本発明の第4実施形態に係る移動体システムについて説明する。なお、第4実施形態において、第1ないし第3実施形態と共通する構成要素には、同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【0038】
図9に示すように、第4実施形態に係る移動体システムは、上記第1実施形態のように移動体を案内支持するガイド部材を有しておらず、実装ヘッド(移動体)24が連結部材23の端部に取り付けられている。これにより、実装ヘッド24に対応して積層配置されたダイレクトドライブモータ22のロータ22aの回転に伴って24は円軌道に沿って移動させられることになる。
【0039】
第4実施形態においては、実装ヘッド24は連結部材23の端部に固定されており、実装ヘッド24自体を移動させて向き調整等を行うことは不可能である。しかしながら、図9および図10に示すように、本実施形態に係る移動体システムでは、作業を行うワーク台90が、リニアモータ93によって第2および第3実施形態と同様にダイレクトドライブモータ22の回転円の半径方向に移動可能になされているとともに、ワーク台90がダイレクトドライブモータ91によって回転自在になされている。従って、上述した実装ヘッド24がワーク台90上の所定の位置に停止した後、ワーク台90を半径方向に移動させたり、回転させたりすることにより、実装ヘッド24とワーク台90との位置関係を適正なものに調整することができる。
【0040】
また、上記第1ないし第3実施形態と同様に同一軌道上で複数の移動体21を個別に制御して移動させることができ、上述したように作業時間の短縮といった効果が得られる。また、これらの移動体21もダイレクトドライブモータ22によって駆動されているため、高精度の位置決めを行うこともできる。
【0041】
E.変形例
なお、上述した様々な実施形態では、実装ヘッド24を移動させて半導体部品の実装を行うための移動体システムについて説明したが、移動させるものは、実装ヘッド24に限定されるわけではなく、半導体部品搬送ロボット等であってもよい。また、半導体製造に関わるものに限定されるものではなく、他の用途に用いられるロボット等であってもよい。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、同一軌道に沿って複数の移動体を精度よく移動させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の半導体工場に用いられる移動体システムの概略を示す斜視図である。
【図2】 本発明の第1実施形態に係る移動体システムの構成を示す平面図である。
【図3】 第1実施形態に係る前記移動体システムを示す断面図である。
【図4】 第1実施形態に係る前記移動体システムの構成要素であるダイレクトドライブモータの構成を示す図である。
【図5】 前記ダイレクトドライブモータにおける励磁シーケンスを示す図である。
【図6】 第1実施形態に係る前記移動体システムによる半導体部品実装動作を説明するための図である。
【図7】 本発明の第2実施形態に係る移動体システムの構成を示す平面図である。
【図8】 本発明の第3実施形態に係る移動体システムの構成を示す平面図である。
【図9】 本発明の第4実施形態に係る移動体システムの構成を示す平面図である。
【図10】 第4実施形態に係る前記移動体システムを示す断面図である。
【符号の説明】
20……ガイド部材、20a……直線ガイド、20b……円弧状ガイド、21……移動体、22……ダイレクトドライブモータ(回転駆動機構)、23……連結部材、24……実装ヘッド(作業実行手段、移動体)、70……回転軸、71……スチールベルト、72……回転軸、75……ワーク台、80……ダイレクトドライブモータ、90……ワーク台、91……ダイレクトドライブモータ、92……リニアモータ
Claims (5)
- 同一の周回軌道に沿って移動可能に設けられる複数の移動体と、
前記移動体に対応して設けられ、前記周回軌道の中央部に積層配置される回転駆動機構と、対応する前記回転駆動機構と前記移動体を連結し、所定の作業を行う作業実行手段を有する連結部材と、
前記作業実行手段によって前記所定の作業が行われる作業台と、
前記作業台を前記周回軌道の中央部と前記周回軌道上の間で移動可能に制御し、当該作業台を回転可能に制御する駆動機構とを具備し、
前記回転駆動機構が前記連結部材を回転させることにより、当該連結部材に連結された前記移動体を前記周回軌道に沿って移動させることを特徴とする移動体システム。 - 同一の直線軌道と円弧軌道とが組み合わせられた周回軌道に沿って移動可能に設けられ、所定の作業を行う作業実行手段を各々有する複数の移動体と、
前記移動体に対応して設けられ、前記周回軌道の中央部に積層配置される回転駆動機構と、対応する前記回転駆動機構と前記移動体を連結する連結部材と、
前記周回軌道に沿って前記移動体を案内するガイド部材と、
前記ガイド部材と前記移動体が接する部分に当該移動体を接触させる部材とを具備し、
前記回転駆動機構が前記連結部材を回転させることにより、当該連結部材に連結された前記移動体を前記ガイド部材に沿って移動させ、前記直線軌道上において当該移動体の前記作業実行手段により前記所定の作業を行うことを特徴とする移動体システム。 - 前記ガイド部材は、前記直線軌道を有するガイド部材と前記円弧軌道を有するガイド部材とで構成されていることを特徴とする請求項2に記載の移動体システム。
- 前記連結部材は、その一端部が前記回転駆動機構に固定され、他端部側で前記移動体を前記回転駆動機構の回転円の半径方向に移動可能に支持していることを特徴とする請求項2に記載の移動体システム。
- 前記回転駆動機構は、ダイレクトドライブモータであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の移動体システム。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58100010A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-06-14 | リスビン エス・アール・エル リチェルチェ エ スビルツポ インダストリアーレ | 連続運動で運搬される操作手段により製品をハンドリングするための方法とその装置 |
JPS63225020A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-20 | Yoshitsuka Seiki:Kk | 搬送装置 |
JPH06100137A (ja) * | 1992-03-21 | 1994-04-12 | Handtmann A Punkt Autom Gmbh | 搬送装置 |
JPH0862289A (ja) * | 1994-08-23 | 1996-03-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
JPH1167879A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体実装方法及びその装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58100010A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-06-14 | リスビン エス・アール・エル リチェルチェ エ スビルツポ インダストリアーレ | 連続運動で運搬される操作手段により製品をハンドリングするための方法とその装置 |
JPS63225020A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-20 | Yoshitsuka Seiki:Kk | 搬送装置 |
JPH06100137A (ja) * | 1992-03-21 | 1994-04-12 | Handtmann A Punkt Autom Gmbh | 搬送装置 |
JPH0862289A (ja) * | 1994-08-23 | 1996-03-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
JPH1167879A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体実装方法及びその装置 |
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