JP2002034232A - リニアモータシステムおよび回転形モータ - Google Patents
リニアモータシステムおよび回転形モータInfo
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- JP2002034232A JP2002034232A JP2000217726A JP2000217726A JP2002034232A JP 2002034232 A JP2002034232 A JP 2002034232A JP 2000217726 A JP2000217726 A JP 2000217726A JP 2000217726 A JP2000217726 A JP 2000217726A JP 2002034232 A JP2002034232 A JP 2002034232A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 円軌道に沿って複数の移動体を精度よく移動
させることが可能なリニアモータシステムを提供する。 【解決手段】 このリニアモータシステムは、円弧状の
レール部材を連結して作製した円軌道のレール２０に沿
って６つの移動体２１が移動可能になされている。移動
体２１は、レール２０に沿って敷設された二次側コア３
１との間に磁界を発生させるコイル等を有しており、各
移動体２１のコイルに供給する励磁電流を制御すること
により、これらの動作を個別に制御することができる。
させることが可能なリニアモータシステムを提供する。 【解決手段】 このリニアモータシステムは、円弧状の
レール部材を連結して作製した円軌道のレール２０に沿
って６つの移動体２１が移動可能になされている。移動
体２１は、レール２０に沿って敷設された二次側コア３
１との間に磁界を発生させるコイル等を有しており、各
移動体２１のコイルに供給する励磁電流を制御すること
により、これらの動作を個別に制御することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータシス
テムおよび回転形モータに関する。
テムおよび回転形モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体工場などにおいて、半導体
部品の搬送や実装を行うために、搬送装置や実装装置を
搭載した移動体を備える移動体システムが用いられてい
る。半導体部品搬送や部品実装に精度および自動化が要
求されるため、このような半導体工場に設置される移動
体システムとしては、リニアモータやボールスクリュー
方式などを利用したものが用いられている。
部品の搬送や実装を行うために、搬送装置や実装装置を
搭載した移動体を備える移動体システムが用いられてい
る。半導体部品搬送や部品実装に精度および自動化が要
求されるため、このような半導体工場に設置される移動
体システムとしては、リニアモータやボールスクリュー
方式などを利用したものが用いられている。
【０００３】ここで、図１に上記のような搬送装置等を
搭載した移動体を移動させる移動体システムの概略を示
す。同図に示すように、このシステムでは、Ｘ軸方向に
敷設される軌道１、および軌道１に沿って移動可能に設
けられる移動体３などを含むリニアモータシステム１６
自体をボールスクリュー方式でＹ軸方向に移動できるよ
うにしている。具体的には、リニアモータシステム１６
をボールスクリュー１５によって駆動される架台に固定
し、ボールスクリュー１５をモータ１７で駆動すること
により、リニアモータシステム１６全体をＹ軸方向に移
動させることができるようになっている。このシステム
によれば、ボールスクリュー１５およびリニアモータの
両者の駆動を制御することにより、移動体３をＸＹ平面
の任意の位置に移動させることができる。
搭載した移動体を移動させる移動体システムの概略を示
す。同図に示すように、このシステムでは、Ｘ軸方向に
敷設される軌道１、および軌道１に沿って移動可能に設
けられる移動体３などを含むリニアモータシステム１６
自体をボールスクリュー方式でＹ軸方向に移動できるよ
うにしている。具体的には、リニアモータシステム１６
をボールスクリュー１５によって駆動される架台に固定
し、ボールスクリュー１５をモータ１７で駆動すること
により、リニアモータシステム１６全体をＹ軸方向に移
動させることができるようになっている。このシステム
によれば、ボールスクリュー１５およびリニアモータの
両者の駆動を制御することにより、移動体３をＸＹ平面
の任意の位置に移動させることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した移動
体システムでは、ＸＹ平面上の任意に位置に移動体３を
移動させることができるが、このシステムで駆動できる
移動体３は１つだけである。従って、多数の部品を上記
ＸＹ平面内の第１の位置から第２の位置に搬送する場合
には、搬送する部品の数だけ移動体３を第１の位置と第
２の位置との間で往復させる必要があり、多大な搬送時
間を要することになってしまう。複数の移動体を移動さ
せれば、搬送時間等を短縮することはできるが、上記の
ような従来の移動体システムでは、複数の移動体を駆動
することは不可能である。
体システムでは、ＸＹ平面上の任意に位置に移動体３を
移動させることができるが、このシステムで駆動できる
移動体３は１つだけである。従って、多数の部品を上記
ＸＹ平面内の第１の位置から第２の位置に搬送する場合
には、搬送する部品の数だけ移動体３を第１の位置と第
２の位置との間で往復させる必要があり、多大な搬送時
間を要することになってしまう。複数の移動体を移動さ
せれば、搬送時間等を短縮することはできるが、上記の
ような従来の移動体システムでは、複数の移動体を駆動
することは不可能である。
【０００５】また、現在では、様々な方式の回転形モー
タが用いられているが、回転形モータの大型化は困難で
あった。
タが用いられているが、回転形モータの大型化は困難で
あった。
【０００６】本発明は、上記の事情を考慮してなされた
ものであり、円軌道に沿って複数の移動体を精度よく移
動させることが可能なリニアモータシステムを提供する
ことを目的とする。また、大型化の容易な回転形モータ
を提供することを目的とする。
ものであり、円軌道に沿って複数の移動体を精度よく移
動させることが可能なリニアモータシステムを提供する
ことを目的とする。また、大型化の容易な回転形モータ
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１に記載のリニアモータシステム
は、円軌道に沿って移動可能に設けられる複数の移動体
と、前記円軌道に沿って設けられる第１の磁界発生手段
と、前記移動体の各々に設けられ、前記円軌道に沿って
設けられた前記第１の磁界発生手段と対向する位置に配
置される第２の磁界発生手段とを具備し、前記第１の磁
界発生手段または前記第２の磁界発生手段のいずれかに
電力が供給された場合に前記第１の磁界発生手段および
前記第２の磁界発生手段が協働して磁界を発生し、前記
第１の磁界発生手段および前記第２の磁界発生手段が発
生した磁界によって前記移動体に推力を付与して前記移
動体を前記円軌道に沿って移動させることを特徴として
いる。
め、本発明の請求項１に記載のリニアモータシステム
は、円軌道に沿って移動可能に設けられる複数の移動体
と、前記円軌道に沿って設けられる第１の磁界発生手段
と、前記移動体の各々に設けられ、前記円軌道に沿って
設けられた前記第１の磁界発生手段と対向する位置に配
置される第２の磁界発生手段とを具備し、前記第１の磁
界発生手段または前記第２の磁界発生手段のいずれかに
電力が供給された場合に前記第１の磁界発生手段および
前記第２の磁界発生手段が協働して磁界を発生し、前記
第１の磁界発生手段および前記第２の磁界発生手段が発
生した磁界によって前記移動体に推力を付与して前記移
動体を前記円軌道に沿って移動させることを特徴として
いる。
【０００８】また、請求項２に記載のリニアモータシス
テムは、請求項１に記載のリニアモータシステムにおい
て、前記第１の磁界発生手段は、前記円軌道に沿って敷
設されるコアを有しており、前記第２の磁界発生手段
は、電力が供給された場合に前記コアと協働して磁界を
発生するコイルを有していることを特徴としている。
テムは、請求項１に記載のリニアモータシステムにおい
て、前記第１の磁界発生手段は、前記円軌道に沿って敷
設されるコアを有しており、前記第２の磁界発生手段
は、電力が供給された場合に前記コアと協働して磁界を
発生するコイルを有していることを特徴としている。
【０００９】また、請求項３に記載のリニアモータシス
テムは、請求項１または２に記載のリニアモータシステ
ムにおいて、前記移動体は、物体を保持する保持手段が
搭載されており、前記保持手段が前記物体を保持した状
態で前記移動体が移動することにより、前記物体を搬送
するようにしたことを特徴としている。
テムは、請求項１または２に記載のリニアモータシステ
ムにおいて、前記移動体は、物体を保持する保持手段が
搭載されており、前記保持手段が前記物体を保持した状
態で前記移動体が移動することにより、前記物体を搬送
するようにしたことを特徴としている。
【００１０】また、請求項４に記載の回転形モータは、
円軌道に沿って設けられる第１の磁界発生手段と、前記
円軌道に沿って移動可能に設けられる移動体と、前記移
動体と結合され、前記円軌道に沿って前記移動体が移動
した場合に、この移動に伴って回転させられるロータ
と、前記移動体における前記第１の磁界発生手段と対向
する位置に設けられる第２の磁界発生手段とを具備し、
前記第１の磁界発生手段または前記第２の磁界発生手段
のいずれかに電力が供給された場合に前記第１の磁界発
生手段および前記第２の磁界発生手段が協働して磁界を
発生し、前記第１の磁界発生手段および前記第２の磁界
発生手段が発生した磁界によって前記移動体に推力を付
与して前記移動体を前記円軌道に沿って移動させ、これ
により前記ロータを回転させることを特徴としている。
円軌道に沿って設けられる第１の磁界発生手段と、前記
円軌道に沿って移動可能に設けられる移動体と、前記移
動体と結合され、前記円軌道に沿って前記移動体が移動
した場合に、この移動に伴って回転させられるロータ
と、前記移動体における前記第１の磁界発生手段と対向
する位置に設けられる第２の磁界発生手段とを具備し、
前記第１の磁界発生手段または前記第２の磁界発生手段
のいずれかに電力が供給された場合に前記第１の磁界発
生手段および前記第２の磁界発生手段が協働して磁界を
発生し、前記第１の磁界発生手段および前記第２の磁界
発生手段が発生した磁界によって前記移動体に推力を付
与して前記移動体を前記円軌道に沿って移動させ、これ
により前記ロータを回転させることを特徴としている。
【００１１】また、請求項５に記載の回転形モータは、
請求項４に記載の回転形モータにおいて、前記第１の磁
界発生手段は、前記円軌道に沿って敷設されるコアを有
しており、前記第２の磁界発生手段は、電力が供給され
た場合に前記コアと協働して磁界を発生するコイルを有
していることを特徴としている。
請求項４に記載の回転形モータにおいて、前記第１の磁
界発生手段は、前記円軌道に沿って敷設されるコアを有
しており、前記第２の磁界発生手段は、電力が供給され
た場合に前記コアと協働して磁界を発生するコイルを有
していることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。 Ａ．第１実施形態 まず、図２は本発明の第１実施形態に係るリニアモータ
システムの構成を示す平面図である。同図に示すよう
に、このリニアモータシステムでは、円軌道に沿って敷
設されたレール２０と、レール２０に沿って移動可能に
設けられる６つの移動体２１とを備えている。
施形態について説明する。 Ａ．第１実施形態 まず、図２は本発明の第１実施形態に係るリニアモータ
システムの構成を示す平面図である。同図に示すよう
に、このリニアモータシステムでは、円軌道に沿って敷
設されたレール２０と、レール２０に沿って移動可能に
設けられる６つの移動体２１とを備えている。
【００１３】ここで、図３は図２のIII−III線に沿って
みた図である。同図に示すように、移動体２１は、円軌
道に沿って敷設されたレール２０の上面に設けられたリ
ニアガイド３０によって移動可能に支持される断面Ｃ字
状の本体部３４を有している。この本体部３４の上面等
に半導体実装ヘッドなどの部品等の取り出し、保持およ
び実装が可能な作業装置を搭載できるようになってい
る。
みた図である。同図に示すように、移動体２１は、円軌
道に沿って敷設されたレール２０の上面に設けられたリ
ニアガイド３０によって移動可能に支持される断面Ｃ字
状の本体部３４を有している。この本体部３４の上面等
に半導体実装ヘッドなどの部品等の取り出し、保持およ
び実装が可能な作業装置を搭載できるようになってい
る。
【００１４】レール２０の上面には、断面Ｃ字状の本体
部３４の内部に侵入する二次側コア（第１の磁界発生手
段）３１が立設されている。つまり、二次側コア３１も
円軌道に沿って設けられており、移動体２１側における
二次側コア３１の図の左右両面と対向する位置に一次側
コア３２が設けられている。これらの一次側コア３２に
は、それぞれコイル３３が券回されている。図示せぬ制
御回路からコイル３３に励磁電流が供給されると、二次
側コア３１、一次側コア３２およびコイル３３等が協働
して移動体２１に推力を付与するための磁界を発生させ
るようになっている。
部３４の内部に侵入する二次側コア（第１の磁界発生手
段）３１が立設されている。つまり、二次側コア３１も
円軌道に沿って設けられており、移動体２１側における
二次側コア３１の図の左右両面と対向する位置に一次側
コア３２が設けられている。これらの一次側コア３２に
は、それぞれコイル３３が券回されている。図示せぬ制
御回路からコイル３３に励磁電流が供給されると、二次
側コア３１、一次側コア３２およびコイル３３等が協働
して移動体２１に推力を付与するための磁界を発生させ
るようになっている。
【００１５】ここで、上述したようにレール２０、二次
側コア３１およびリニアガイド３０は円軌道に沿って敷
設されている。このような円軌道のレール２０やリニア
ガイド３０は、円弧状のレール部材やリニアガイドを連
結することにより製造することができる。また、円軌道
に沿って設けられる二次側コア３１も、レール２０と同
様に円弧状のコア部材を連結することにより製造するこ
とができる。また、これに対応して二次側コア３１と対
向配置される一次側コア３２もその端面が円弧状となっ
ている（図５参照）。また、二次側コア３１としては、
渦電流の方向に磁気抵抗が高くなってしまうといった渦
電流対策を考慮し、ラミネートコアを用いることが好ま
しい。上記のような円弧状のコアを作製する場合には、
図４に示すような方向にラミネートすることが強度の点
から好ましい。
側コア３１およびリニアガイド３０は円軌道に沿って敷
設されている。このような円軌道のレール２０やリニア
ガイド３０は、円弧状のレール部材やリニアガイドを連
結することにより製造することができる。また、円軌道
に沿って設けられる二次側コア３１も、レール２０と同
様に円弧状のコア部材を連結することにより製造するこ
とができる。また、これに対応して二次側コア３１と対
向配置される一次側コア３２もその端面が円弧状となっ
ている（図５参照）。また、二次側コア３１としては、
渦電流の方向に磁気抵抗が高くなってしまうといった渦
電流対策を考慮し、ラミネートコアを用いることが好ま
しい。上記のような円弧状のコアを作製する場合には、
図４に示すような方向にラミネートすることが強度の点
から好ましい。
【００１６】次に、図５を参照しながら、二次側コア３
１およびコイル３３等の磁界発生構成について説明す
る。本実施形態では、移動体２１を駆動するリニアモー
タとして、特開平３−１２４２５７号公報に記載された
リニアパルスモータを用いており、以下、これについて
簡単に説明する。
１およびコイル３３等の磁界発生構成について説明す
る。本実施形態では、移動体２１を駆動するリニアモー
タとして、特開平３−１２４２５７号公報に記載された
リニアパルスモータを用いており、以下、これについて
簡単に説明する。
【００１７】図５に示すように、二次側コア３１の一次
側コア３２と対向する面には、等間隔に歯部３０ａが形
成されている。
側コア３２と対向する面には、等間隔に歯部３０ａが形
成されている。
【００１８】一方、一次側コア３２は、Ａ相磁極３２
ａ、Ｂ相磁極３２ｂおよびＣ相磁極３２ｃと、これらに
それぞれ券回されるコイル３３ａ〜３３ｃとを備えてい
る。各相磁極３２ａ〜３２ｃの二次側コア３１と対向す
る面には、上述した歯部３０ａに対応させて、等間隔に
極歯が形成され、各極歯の間には、隣り合うもの同士の
極性が互いに逆方向となるように永久磁石３６が挿入配
置されている。また、各極歯の端面には、これら各極歯
の磁化を強める方向に作用する補助永久磁石３７が配置
されている。
ａ、Ｂ相磁極３２ｂおよびＣ相磁極３２ｃと、これらに
それぞれ券回されるコイル３３ａ〜３３ｃとを備えてい
る。各相磁極３２ａ〜３２ｃの二次側コア３１と対向す
る面には、上述した歯部３０ａに対応させて、等間隔に
極歯が形成され、各極歯の間には、隣り合うもの同士の
極性が互いに逆方向となるように永久磁石３６が挿入配
置されている。また、各極歯の端面には、これら各極歯
の磁化を強める方向に作用する補助永久磁石３７が配置
されている。
【００１９】この構成の下、図６に示す励磁シーケンス
でＡ相磁極３２ａに券回されるコイル３３ａ、Ｂ相磁極
３２ｂに券回されるコイル３３ｂ、Ｃ相磁極３２ｃに券
回されるコイル３３ｃに極性が反転するパルス電流を供
給して駆動する、いわゆるバイポーラ駆動を行えば、二
次側コア３１に対する移動体２１の磁気的安定点が移り
変わり、これに伴って移動体２１が円軌道に沿って移動
するようになっている。
でＡ相磁極３２ａに券回されるコイル３３ａ、Ｂ相磁極
３２ｂに券回されるコイル３３ｂ、Ｃ相磁極３２ｃに券
回されるコイル３３ｃに極性が反転するパルス電流を供
給して駆動する、いわゆるバイポーラ駆動を行えば、二
次側コア３１に対する移動体２１の磁気的安定点が移り
変わり、これに伴って移動体２１が円軌道に沿って移動
するようになっている。
【００２０】次に、上記構成のリニアモータシステムに
よる動作について説明する。ここでは、各移動体２１に
図示せぬ半導体部品実装ヘッド（保持手段）が搭載され
ているものとし、これらの実装ヘッドを用いて半導体部
品実装を行う場合について図７を参照しながら説明す
る。
よる動作について説明する。ここでは、各移動体２１に
図示せぬ半導体部品実装ヘッド（保持手段）が搭載され
ているものとし、これらの実装ヘッドを用いて半導体部
品実装を行う場合について図７を参照しながら説明す
る。
【００２１】例えば、品置き場から半導体部品を取り出
し、実装台にある基板等にこの部品を実装する場合、ま
ず、図７（ａ）に示すように、部品置き場近傍にある移
動体２１が部品置き場の前に移動させられる。そして、
これに搭載される実装ヘッドが半導体部品を取り出した
後、移動体２１はいずれかの方向で実装台の位置まで移
動させられる（以下、図の時計方向に移動するものとす
る）。
し、実装台にある基板等にこの部品を実装する場合、ま
ず、図７（ａ）に示すように、部品置き場近傍にある移
動体２１が部品置き場の前に移動させられる。そして、
これに搭載される実装ヘッドが半導体部品を取り出した
後、移動体２１はいずれかの方向で実装台の位置まで移
動させられる（以下、図の時計方向に移動するものとす
る）。
【００２２】上記の実装ヘッドによる部品取り出し時に
は、図７（ａ）に示すように、他の移動体２１は部品置
き場の近傍まで移動させられる。そして、１台目の移動
体２１に搭載された実装ヘッドが半導体部品を取り出し
て実装台へ移動を開始すると、次の移動体２１が部品置
き場の前に移動し、これに搭載される実装ヘッドが半導
体部品を取り出す。このように順番に各移動体２１に搭
載される実装ヘッドが半導体部品を部品置き場から取り
出す。
は、図７（ａ）に示すように、他の移動体２１は部品置
き場の近傍まで移動させられる。そして、１台目の移動
体２１に搭載された実装ヘッドが半導体部品を取り出し
て実装台へ移動を開始すると、次の移動体２１が部品置
き場の前に移動し、これに搭載される実装ヘッドが半導
体部品を取り出す。このように順番に各移動体２１に搭
載される実装ヘッドが半導体部品を部品置き場から取り
出す。
【００２３】そして、図７（ｂ）に示すように、最初に
半導体部品を取り出した実装ヘッドを搭載する移動体２
１が実装台の前に停止し、この位置で実装ヘッドによる
部品実装が行われる。このような実装が行われている
間、部品置き場から半導体部品を取り出した実装ヘッド
を搭載する移動体２１が順次実装台近傍を移動する。そ
して、前の移動体２１に搭載された実装ヘッドによる実
装作業が終了すると、待機している移動体２１が順次実
装台の前に移動して実装を行う。
半導体部品を取り出した実装ヘッドを搭載する移動体２
１が実装台の前に停止し、この位置で実装ヘッドによる
部品実装が行われる。このような実装が行われている
間、部品置き場から半導体部品を取り出した実装ヘッド
を搭載する移動体２１が順次実装台近傍を移動する。そ
して、前の移動体２１に搭載された実装ヘッドによる実
装作業が終了すると、待機している移動体２１が順次実
装台の前に移動して実装を行う。
【００２４】このようにして各移動体２１が円軌道に敷
設されたレール２０に沿って１回転すると、部品置き場
から６つの半導体部品を取り出して実装台で基板に実装
するといった作業を行うことができる。従来の半導体部
品実装に用いられる移動体システム（図１参照）では、
１つの移動体しか移動させることができなかったため、
複数回の実装作業を繰り返す場合には、移動体が部品置
き場から実装台へ複数回往復しなくてはならず、多大な
作業時間を必要としていた。これに対し、本実施形態で
は、上述したように移動体２１が１回転する間に、最大
６つ（つまり、レール２０に移動可能に設けられた移動
体２１の数）の半導体部品実装作業を行うことができ
る。
設されたレール２０に沿って１回転すると、部品置き場
から６つの半導体部品を取り出して実装台で基板に実装
するといった作業を行うことができる。従来の半導体部
品実装に用いられる移動体システム（図１参照）では、
１つの移動体しか移動させることができなかったため、
複数回の実装作業を繰り返す場合には、移動体が部品置
き場から実装台へ複数回往復しなくてはならず、多大な
作業時間を必要としていた。これに対し、本実施形態で
は、上述したように移動体２１が１回転する間に、最大
６つ（つまり、レール２０に移動可能に設けられた移動
体２１の数）の半導体部品実装作業を行うことができ
る。
【００２５】また、このような半導体部品実装作業は、
実装位置などに非常に高い精度が要求されるが、本実施
形態に係る移動体システムでは、高精度の位置決めが可
能なリニアパルスモータを用いているので、上記のよう
な半導体部品実装作業に用いられるシステムとしても好
適である。
実装位置などに非常に高い精度が要求されるが、本実施
形態に係る移動体システムでは、高精度の位置決めが可
能なリニアパルスモータを用いているので、上記のよう
な半導体部品実装作業に用いられるシステムとしても好
適である。
【００２６】また、本実施形態では、各移動体２１毎に
供給する励磁電流等を制御すれば、各移動体２１を個別
に制御することができる。従って、上記のような半導体
実装作業において、特定の移動体２１は部品置き場を通
過させるといったことも可能となる。従って、様々な工
程に対応した、つまり他品種の製品を製造するために用
いるシステムとしても好適である。
供給する励磁電流等を制御すれば、各移動体２１を個別
に制御することができる。従って、上記のような半導体
実装作業において、特定の移動体２１は部品置き場を通
過させるといったことも可能となる。従って、様々な工
程に対応した、つまり他品種の製品を製造するために用
いるシステムとしても好適である。
【００２７】Ｂ．第２実施形態 次に、本発明の第２実施形態に係る回転形モータについ
て図８を参照しながら説明する。なお、本実施形態にお
いて、第１実施形態と共通する構成要素には、同一の符
号を付けて、その説明を省略する。
て図８を参照しながら説明する。なお、本実施形態にお
いて、第１実施形態と共通する構成要素には、同一の符
号を付けて、その説明を省略する。
【００２８】図８に示すように、本実施形態に係る回転
形モータは、上述した第１実施形態と同様に円軌道に沿
って敷設されるレール２０の中心を軸として回転する回
転軸（ロータ）７１を有している。この回転軸７１は、
連結部材７２に取り付けられている。連結部材７２は、
放射状に伸びる６つの連結部７２ａを有しており、これ
らの連結部７２ａと、上記のようにレール２０に沿って
リニアモータによって駆動される６つの移動体２１とが
連結されている。従って、これらの移動体２１は、図示
のように連結された状態で一体となってレール２０に沿
って移動することになる。このため、各移動体２１のコ
イル（図３参照）に対しては、全て同じ励磁電流が供給
され、各移動体２１は同じ方向に同じ速度で移動するこ
とになる。
形モータは、上述した第１実施形態と同様に円軌道に沿
って敷設されるレール２０の中心を軸として回転する回
転軸（ロータ）７１を有している。この回転軸７１は、
連結部材７２に取り付けられている。連結部材７２は、
放射状に伸びる６つの連結部７２ａを有しており、これ
らの連結部７２ａと、上記のようにレール２０に沿って
リニアモータによって駆動される６つの移動体２１とが
連結されている。従って、これらの移動体２１は、図示
のように連結された状態で一体となってレール２０に沿
って移動することになる。このため、各移動体２１のコ
イル（図３参照）に対しては、全て同じ励磁電流が供給
され、各移動体２１は同じ方向に同じ速度で移動するこ
とになる。
【００２９】ここで、回転軸７１は、連結部材７２と連
結されているため、上記のように６つの移動体２１がレ
ール２０に沿って移動すると、これに伴って回転軸７１
が回転させられるようになっている。
結されているため、上記のように６つの移動体２１がレ
ール２０に沿って移動すると、これに伴って回転軸７１
が回転させられるようになっている。
【００３０】第２実施形態に係る回転形モータは、レー
ル２０に沿ってリニアモータにより駆動される移動体２
１の回転に伴って回転させられる回転軸７１を有してい
る。ここで、上述した第１実施形態で説明したように、
レール２０は円弧状のレール部材およびコアを連結する
ことにより作製することができるため、レール２０が敷
設される円軌道を大きくすることもできる。これによ
り、上記のように６つの移動体２１を軌道上に配置する
ことができ、これらが回転軸７１を回転駆動することが
できる。従って、回転軸７１を回転させる駆動力とし
て、６つの移動体２１を利用することが可能となり、大
きな回転駆動力を得ることができる。つまり、高出力の
大型回転形モータを容易に作製することができる。
ル２０に沿ってリニアモータにより駆動される移動体２
１の回転に伴って回転させられる回転軸７１を有してい
る。ここで、上述した第１実施形態で説明したように、
レール２０は円弧状のレール部材およびコアを連結する
ことにより作製することができるため、レール２０が敷
設される円軌道を大きくすることもできる。これによ
り、上記のように６つの移動体２１を軌道上に配置する
ことができ、これらが回転軸７１を回転駆動することが
できる。従って、回転軸７１を回転させる駆動力とし
て、６つの移動体２１を利用することが可能となり、大
きな回転駆動力を得ることができる。つまり、高出力の
大型回転形モータを容易に作製することができる。
【００３１】なお、上記第２実施形態では、６つの移動
体２１によって回転軸７１を回転駆動する構成となって
いたが、上述したようにレール２０を敷設する円軌道を
より大きなものとすれば、さらに多くの移動体２１を配
置することが可能となり、さらに大きな出力を有する回
転形モータを製造することができる。
体２１によって回転軸７１を回転駆動する構成となって
いたが、上述したようにレール２０を敷設する円軌道を
より大きなものとすれば、さらに多くの移動体２１を配
置することが可能となり、さらに大きな出力を有する回
転形モータを製造することができる。
【００３２】Ｃ．変形例 なお、本発明は、上述した第１および第２実施形態に限
定されるものではなく、以下のような種々の変形が可能
である。
定されるものではなく、以下のような種々の変形が可能
である。
【００３３】（１）上述した実施形態では、図３に示す
ような構成のリニアモータを用いて各移動体２１を駆動
するようにしていたが、これに限らず、他の構成のもの
であってもよく、例えば図９〜図１２に示すような構成
のリニアモータを用いるようにしてもよい。
ような構成のリニアモータを用いて各移動体２１を駆動
するようにしていたが、これに限らず、他の構成のもの
であってもよく、例えば図９〜図１２に示すような構成
のリニアモータを用いるようにしてもよい。
【００３４】図９に示す例では、断面矩形状のレール部
材９０の上下にリニアガイド３０が支持されており、円
軌道に沿って敷設されるレール部材９０の外周面（図の
左側面）に二次側コア３１が支持されている。一方、移
動体９１は、円軌道の内周側であるレール部材９０側が
開放した断面コ字状の本体部９２を有しており、本体部
９２の両端部において上記リニアガイド３０に図の紙面
垂直方向に移動可能に支持されている。移動体９１は、
本体部９２内部において二次側コア３１と対向する位置
に配置される一次側コア３２、およびこれに券回される
コイル３３を有している。この構成の下、上述した実施
形態と同様にコイル３３に励磁電流が供給されると、二
次側コア３１、一次側コア３２およびコイル３３等によ
って発生する磁界により移動体９１に推力が付与される
ようになっている。このような構成のリニアモータを採
用すれば、構造が簡易であるため、システムの軽量化が
可能となるといった利点がある。
材９０の上下にリニアガイド３０が支持されており、円
軌道に沿って敷設されるレール部材９０の外周面（図の
左側面）に二次側コア３１が支持されている。一方、移
動体９１は、円軌道の内周側であるレール部材９０側が
開放した断面コ字状の本体部９２を有しており、本体部
９２の両端部において上記リニアガイド３０に図の紙面
垂直方向に移動可能に支持されている。移動体９１は、
本体部９２内部において二次側コア３１と対向する位置
に配置される一次側コア３２、およびこれに券回される
コイル３３を有している。この構成の下、上述した実施
形態と同様にコイル３３に励磁電流が供給されると、二
次側コア３１、一次側コア３２およびコイル３３等によ
って発生する磁界により移動体９１に推力が付与される
ようになっている。このような構成のリニアモータを採
用すれば、構造が簡易であるため、システムの軽量化が
可能となるといった利点がある。
【００３５】図１０に示す例では、円軌道に沿って敷設
されるレール部材１００の上下にリニアガイド３０が設
けられており、これらのリニアガイド３０によって移動
体１０１の本体部１０２が移動可能に支持されている。
また、レール部材１００の内周側（図の右側面）に二次
側コア３１が設けられている。
されるレール部材１００の上下にリニアガイド３０が設
けられており、これらのリニアガイド３０によって移動
体１０１の本体部１０２が移動可能に支持されている。
また、レール部材１００の内周側（図の右側面）に二次
側コア３１が設けられている。
【００３６】移動体１０１の本体部１０２は、レール部
材１００を覆うような断面形状であり、レール部材１０
０に設けられた二次側コア３１と対向する位置に一次側
コア３２およびコイル３３が配置された構成となってい
る。この構成の下、上述した実施形態と同様にコイル３
３に励磁電流が供給されると、二次側コア３１、一次側
コア３２およびコイル３３等によって発生する磁界によ
り移動体１０１に推力が付与されるようになっている。
この構成では、二次側コア３１がレール部材１００の内
周側に配置されているため、上記のようにラミネートに
より形成される二次側コア３１の支持構造が簡易とな
る。
材１００を覆うような断面形状であり、レール部材１０
０に設けられた二次側コア３１と対向する位置に一次側
コア３２およびコイル３３が配置された構成となってい
る。この構成の下、上述した実施形態と同様にコイル３
３に励磁電流が供給されると、二次側コア３１、一次側
コア３２およびコイル３３等によって発生する磁界によ
り移動体１０１に推力が付与されるようになっている。
この構成では、二次側コア３１がレール部材１００の内
周側に配置されているため、上記のようにラミネートに
より形成される二次側コア３１の支持構造が簡易とな
る。
【００３７】図１１に示す例では、断面Ｌ字状のレール
部材１１０が円軌道に沿って敷設されている。レール部
材１１０は上下方向に伸びるコア支持部１１０ａと、コ
ア支持部１１０ａの下端から内周側（図の右側）に伸び
る屈曲部１１０ｂとを有しており、コア支持部１１０ａ
の上部および屈曲部１１０ｂの内周側端部にそれぞれリ
ニアガイド３０が設けられている。また、コア支持部１
１０ａの内周側面には、二次側コア３１が設けられてい
る。
部材１１０が円軌道に沿って敷設されている。レール部
材１１０は上下方向に伸びるコア支持部１１０ａと、コ
ア支持部１１０ａの下端から内周側（図の右側）に伸び
る屈曲部１１０ｂとを有しており、コア支持部１１０ａ
の上部および屈曲部１１０ｂの内周側端部にそれぞれリ
ニアガイド３０が設けられている。また、コア支持部１
１０ａの内周側面には、二次側コア３１が設けられてい
る。
【００３８】移動体１１１は、レール部材１１０のコア
支持部１１０ａを覆うような断面形状の本体部１１２を
有しており、この本体部１１２の二次側コア３１と対向
する位置に一次側コア３２およびコイル３３が設けられ
ている。この構成の下、上述した実施形態と同様にコイ
ル３３に励磁電流が供給されると、二次側コア３１、一
次側コア３２およびコイル３３等によって発生する磁界
により移動体１１１に推力が付与されるようになってい
る。
支持部１１０ａを覆うような断面形状の本体部１１２を
有しており、この本体部１１２の二次側コア３１と対向
する位置に一次側コア３２およびコイル３３が設けられ
ている。この構成の下、上述した実施形態と同様にコイ
ル３３に励磁電流が供給されると、二次側コア３１、一
次側コア３２およびコイル３３等によって発生する磁界
により移動体１１１に推力が付与されるようになってい
る。
【００３９】図１２に示す例では、上方が開放した断面
コ字状のレール部材１２０が円軌道に沿って敷設されて
いる。このレール部材１２０の左右の内壁には、それぞ
れ二次側コア３１が設けられている。また、レール部材
１２０の両端部には、それぞれリニアガイド３０が設け
られており、これらのリニアガイド３０によって移動体
１２１が移動可能に支持されている。
コ字状のレール部材１２０が円軌道に沿って敷設されて
いる。このレール部材１２０の左右の内壁には、それぞ
れ二次側コア３１が設けられている。また、レール部材
１２０の両端部には、それぞれリニアガイド３０が設け
られており、これらのリニアガイド３０によって移動体
１２１が移動可能に支持されている。
【００４０】移動体１２１は、上述したリニアガイド３
０によって支持される断面Ｌ字状の本体部１２２を有し
ている。本体部１２２には、レール部材１２０の内部に
侵入するように配置されるコア取付部材１２３が取り付
けられており、このコア取付部材１２３の左右両側にコ
イル３３が券回された一次側コア３２が設けられてい
る。これにより、レール部材１２０の内壁に設けられた
二次側コア３１と一次側コア３２とが対向配置される。
この構成の下、上述した実施形態と同様にコイル３３に
励磁電流が供給されると、二次側コア３１、一次側コア
３２およびコイル３３等によって発生する磁界により移
動体１１１に推力が付与されるようになっている。
０によって支持される断面Ｌ字状の本体部１２２を有し
ている。本体部１２２には、レール部材１２０の内部に
侵入するように配置されるコア取付部材１２３が取り付
けられており、このコア取付部材１２３の左右両側にコ
イル３３が券回された一次側コア３２が設けられてい
る。これにより、レール部材１２０の内壁に設けられた
二次側コア３１と一次側コア３２とが対向配置される。
この構成の下、上述した実施形態と同様にコイル３３に
励磁電流が供給されると、二次側コア３１、一次側コア
３２およびコイル３３等によって発生する磁界により移
動体１１１に推力が付与されるようになっている。
【００４１】（２）また、上述した第２実施形態におい
ては、レール２０に沿って移動可能に設けられた複数の
移動体２１が回転軸７１を駆動するようになっていた
が、これに限らず、図１３に示すようなアウターロータ
タイプの回転形モータに本発明を適用するようにしても
よい。同図に示すように、この構成では、６つの移動体
２１と、これらと連結された円環状の連結部材１３０と
がこの回転形モータのロータとなっている。この構成の
下、上記第２実施形態と同様に各移動体２１がレール２
０に沿って移動することにより、ロータである連結部材
１３０が回転させられるようになっている。
ては、レール２０に沿って移動可能に設けられた複数の
移動体２１が回転軸７１を駆動するようになっていた
が、これに限らず、図１３に示すようなアウターロータ
タイプの回転形モータに本発明を適用するようにしても
よい。同図に示すように、この構成では、６つの移動体
２１と、これらと連結された円環状の連結部材１３０と
がこの回転形モータのロータとなっている。この構成の
下、上記第２実施形態と同様に各移動体２１がレール２
０に沿って移動することにより、ロータである連結部材
１３０が回転させられるようになっている。
【００４２】（３）また、上述した実施形態において
は、移動体２１をリニアパルスモータによって駆動する
ようにしていたが、これ以外の誘導型など他のタイプの
リニアモータによって移動体２１を駆動するようにして
もよい。
は、移動体２１をリニアパルスモータによって駆動する
ようにしていたが、これ以外の誘導型など他のタイプの
リニアモータによって移動体２１を駆動するようにして
もよい。
【００４３】（４）また、上述した第１実施形態におい
ては、移動体２１に搭載される実装ヘッドを移動させて
半導体部品の実装を行う構成について説明したが、移動
体２１が搭載するものは、実装ヘッドに限定されるわけ
ではなく、半導体部品搬送ロボット等であってもよい。
また、半導体製造に関わるものに限定されるものではな
く、他の用途に用いられる搬送ロボットや搬送台等であ
ってもよい。
ては、移動体２１に搭載される実装ヘッドを移動させて
半導体部品の実装を行う構成について説明したが、移動
体２１が搭載するものは、実装ヘッドに限定されるわけ
ではなく、半導体部品搬送ロボット等であってもよい。
また、半導体製造に関わるものに限定されるものではな
く、他の用途に用いられる搬送ロボットや搬送台等であ
ってもよい。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
円軌道に沿って複数の移動体を精度よく移動させること
が可能となる。従って、部品搬送等に本発明に係るシス
テムを利用すれば、より迅速な搬送作業が可能となる。
また、大型の回転形モータを作製することができる。
円軌道に沿って複数の移動体を精度よく移動させること
が可能となる。従って、部品搬送等に本発明に係るシス
テムを利用すれば、より迅速な搬送作業が可能となる。
また、大型の回転形モータを作製することができる。
【図１】 従来の半導体工場に用いられる移動体システ
ムの概略を示す斜視図である。
ムの概略を示す斜視図である。
【図２】 本発明の第１実施形態に係るリニアモータシ
ステムを示す平面図である。
ステムを示す平面図である。
【図３】 図２のIII−III線に沿って視た図である。
【図４】 前記リニアモータシステムの構成要素である
二次側コアの製造方法を説明するための図である。
二次側コアの製造方法を説明するための図である。
【図５】 図３のV−V線に沿って視た図である。
【図６】 前記リニアモータシステムにおける励磁シー
ケンスを示す図である。
ケンスを示す図である。
【図７】 前記リニアモータシステムによる半導体部品
実装動作を説明するための図である。
実装動作を説明するための図である。
【図８】 本発明の第２実施形態に係る回転形モータの
主要部を示す正面図である。
主要部を示す正面図である。
【図９】 前記リニアモータシステムの変形例の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図１０】 前記リニアモータシステムの他の変形例の
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図１１】 前記リニアモータシステムのその他の変形
例の構成を示す断面図である。
例の構成を示す断面図である。
【図１２】 前記リニアモータシステムのさらにその他
の変形例の構成を示す断面図である。
の変形例の構成を示す断面図である。
【図１３】 前記回転形モータの変形例の主要部を示す
正面図である。
正面図である。
２０……レール、２１……移動体、３０……リニアガイ
ド、３１……二次側コア、３２……一次側コア、３３…
…コイル、３４……本体部、３６……永久磁石、３７…
…補助永久磁石、７１……回転軸（ロータ）、７２……
連結部材、９０……レール部材、９１……移動体、１０
０……レール部材、１０１……移動体、１１０……レー
ル部材、１１１……移動体、１２０……レール部材、１
２１……移動体、１３０……連結部材（ロータ）
ド、３１……二次側コア、３２……一次側コア、３３…
…コイル、３４……本体部、３６……永久磁石、３７…
…補助永久磁石、７１……回転軸（ロータ）、７２……
連結部材、９０……レール部材、９１……移動体、１０
０……レール部材、１０１……移動体、１１０……レー
ル部材、１１１……移動体、１２０……レール部材、１
２１……移動体、１３０……連結部材（ロータ）
Claims (5)
- 【請求項１】 円軌道に沿って移動可能に設けられる複
数の移動体と、 前記円軌道に沿って設けられる第１の磁界発生手段と、 前記移動体の各々に設けられ、前記円軌道に沿って設け
られた前記第１の磁界発生手段と対向する位置に配置さ
れる第２の磁界発生手段とを具備し、 前記第１の磁界発生手段または前記第２の磁界発生手段
のいずれかに電力が供給された場合に前記第１の磁界発
生手段および前記第２の磁界発生手段が協働して磁界を
発生し、前記第１の磁界発生手段および前記第２の磁界
発生手段が発生した磁界によって前記移動体に推力を付
与して前記移動体を前記円軌道に沿って移動させること
を特徴とするリニアモータシステム。 - 【請求項２】 前記第１の磁界発生手段は、前記円軌道
に沿って敷設されるコアを有しており、 前記第２の磁界発生手段は、電力が供給された場合に前
記コアと協働して磁界を発生するコイルを有しているこ
とを特徴とする請求項１に記載のリニアモータシステ
ム。 - 【請求項３】 前記移動体には、物体を保持する保持手
段が搭載されており、 前記保持手段が前記物体を保持した状態で前記移動体が
移動することにより、前記物体を搬送するようにしたこ
とを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ
システム。 - 【請求項４】 円軌道に沿って設けられる第１の磁界発
生手段と、 前記円軌道に沿って移動可能に設けられる移動体と、 前記移動体と結合され、前記円軌道に沿って前記移動体
が移動した場合に、この移動に伴って回転させられるロ
ータと、 前記移動体における前記第１の磁界発生手段と対向する
位置に設けられる第２の磁界発生手段とを具備し、 前記第１の磁界発生手段または前記第２の磁界発生手段
のいずれかに電力が供給された場合に前記第１の磁界発
生手段および前記第２の磁界発生手段が協働して磁界を
発生し、前記第１の磁界発生手段および前記第２の磁界
発生手段が発生した磁界によって前記移動体に推力を付
与して前記移動体を前記円軌道に沿って移動させ、これ
により前記ロータを回転させることを特徴とする回転形
モータ。 - 【請求項５】 前記第１の磁界発生手段は、前記円軌道
に沿って敷設されるコアを有しており、 前記第２の磁界発生手段は、電力が供給された場合に前
記コアと協働して磁界を発生するコイルを有しているこ
とを特徴とする請求項４に記載の回転形モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000217726A JP2002034232A (ja) | 2000-07-18 | 2000-07-18 | リニアモータシステムおよび回転形モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000217726A JP2002034232A (ja) | 2000-07-18 | 2000-07-18 | リニアモータシステムおよび回転形モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002034232A true JP2002034232A (ja) | 2002-01-31 |
Family
ID=18712793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000217726A Pending JP2002034232A (ja) | 2000-07-18 | 2000-07-18 | リニアモータシステムおよび回転形モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002034232A (ja) |
Cited By (2)
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| JP2008514175A (ja) * | 2004-09-22 | 2008-05-01 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 電気機械 |
| JP2010517498A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 直線形一次側部品セグメントを備えた回転駆動装置 |
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-
2000
- 2000-07-18 JP JP2000217726A patent/JP2002034232A/ja active Pending
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| US7800256B2 (en) | 2004-09-22 | 2010-09-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Electric machine |
| JP2010517498A (ja) * | 2007-01-18 | 2010-05-20 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 直線形一次側部品セグメントを備えた回転駆動装置 |
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