JP2514857B2 - サ―フェイスアクチュエ―タの駆動方法 - Google Patents
サ―フェイスアクチュエ―タの駆動方法Info
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- JP2514857B2 JP2514857B2 JP24326790A JP24326790A JP2514857B2 JP 2514857 B2 JP2514857 B2 JP 2514857B2 JP 24326790 A JP24326790 A JP 24326790A JP 24326790 A JP24326790 A JP 24326790A JP 2514857 B2 JP2514857 B2 JP 2514857B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＸ軸に対して45度及び13
5度の方向に直接駆動が可能なサーフェイスアクチュエ
ータの駆動方法に関する。
5度の方向に直接駆動が可能なサーフェイスアクチュエ
ータの駆動方法に関する。
［従来技術と問題点］ 機械の特選運動を得るために、回転型モータの運動を
ギアを用いて直線運動に変換する方法は古くから知られ
ている。しかし、所謂OA（オフィス・オートメーショ
ン）機器やFA（ファクトリ・オートメーション）機器の
性能向上に伴い、上記の変換方法に代わってリニアモー
タによる直接駆動が提案されている。例えば、XY軸方向
の夫々にリニアモータ（即ち２組のリニアモータ）を設
けてプロッタのヘッドを平面上の所望位置に移動させる
Ｘ−Ｙプロッタ等が知られている。しかしながら、この
装置はＸ軸及びＹ軸方向の直線運動用に夫々リニアモー
タを設けているため装置が大型となり機構が複雑という
問題がある。
ギアを用いて直線運動に変換する方法は古くから知られ
ている。しかし、所謂OA（オフィス・オートメーショ
ン）機器やFA（ファクトリ・オートメーション）機器の
性能向上に伴い、上記の変換方法に代わってリニアモー
タによる直接駆動が提案されている。例えば、XY軸方向
の夫々にリニアモータ（即ち２組のリニアモータ）を設
けてプロッタのヘッドを平面上の所望位置に移動させる
Ｘ−Ｙプロッタ等が知られている。しかしながら、この
装置はＸ軸及びＹ軸方向の直線運動用に夫々リニアモー
タを設けているため装置が大型となり機構が複雑という
問題がある。
上述の従来例の問題を解決するために、本出願人等は
昭和63年12月19日に「直接駆動型サーフェイスアクチュ
エータ」と題する発明を出願した（特願昭63−319886
号、特開平２−168846号）。この発明では、Ｘ軸方向に
移動子を移動させるにはＡ相Ｂ相叉はＣ相Ｄ相を励磁
し、Ｙ軸方向に移動子を移動させるにはＡ相Ｃ相叉はＢ
相Ｄ相を励磁し、Ｘ軸に対して45度及び135度の方向に
移動子を移動させるにはＸ軸移動の後にＹ軸移動（或い
はＹ軸移動の後にＸ軸移動）の如くＸ軸及びＹ軸方向の
移動が必要であった。即ち、上記の特願昭63−319886号
に係る発明は、斜め移動には必ずＸ軸及びＹ軸方向の移
動を伴うという問題があった。
昭和63年12月19日に「直接駆動型サーフェイスアクチュ
エータ」と題する発明を出願した（特願昭63−319886
号、特開平２−168846号）。この発明では、Ｘ軸方向に
移動子を移動させるにはＡ相Ｂ相叉はＣ相Ｄ相を励磁
し、Ｙ軸方向に移動子を移動させるにはＡ相Ｃ相叉はＢ
相Ｄ相を励磁し、Ｘ軸に対して45度及び135度の方向に
移動子を移動させるにはＸ軸移動の後にＹ軸移動（或い
はＹ軸移動の後にＸ軸移動）の如くＸ軸及びＹ軸方向の
移動が必要であった。即ち、上記の特願昭63−319886号
に係る発明は、斜め移動には必ずＸ軸及びＹ軸方向の移
動を伴うという問題があった。
［発明の目的］ 本発明の目的は、移動子を斜め（Ｘ軸に対して45度及
び135度）の方向に直接移動させることが出来るサーフ
ェイスアクチュエータを提供することである。
び135度）の方向に直接移動させることが出来るサーフ
ェイスアクチュエータを提供することである。
［課題を解決するための手段及び作用］ 本発明は、複数の永久磁石を、直交座標系のＸ軸及び
Ｙ軸方向に、隣接する磁極が異なるように格子状に配置
した固定子と;4相（Ａ相、Ｂ相、Ｃ相、Ｄ相）のコアコ
イルの組を少なくとも１組有し、前記固定子の表面と平
行な面内で移動可能に支持された移動子とを備え；該移
動子の前記Ｂ相の磁極は前記Ａ相の磁極に対してＸ軸方
向にＰ・ｎ±P/4（Ｐは前記固定子の格子状に配置され
た磁極ピッチ、ｎは正の整数）離れて配置され、前記Ｃ
相の磁極は前記Ａ相の磁極に対してＹ軸方向にＰ・ｎ±
P/4離れて配置され、前記Ｄ相は前記Ａ相に対してＸ軸
及びＹ軸方向に夫々Ｐ・ｎ±P/4だけ離れて配置され；
前記移動子をＸ軸方向に移動させる場合には、前記Ａ相
及びＢ相を選択的に励磁し；前記移動子をＹ軸方向に移
動させる場合には、前記Ａ相及びＣ相を選択的に励磁
し；前記移動子をＸ軸に対して45度及び135度の方向に
移動させる場合には、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＤ相の内の
何れか１相と、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＤ相の内の３相と
を選択的に励磁することを特徴とするサーフェイスアク
チュエータの駆動方法である。
Ｙ軸方向に、隣接する磁極が異なるように格子状に配置
した固定子と;4相（Ａ相、Ｂ相、Ｃ相、Ｄ相）のコアコ
イルの組を少なくとも１組有し、前記固定子の表面と平
行な面内で移動可能に支持された移動子とを備え；該移
動子の前記Ｂ相の磁極は前記Ａ相の磁極に対してＸ軸方
向にＰ・ｎ±P/4（Ｐは前記固定子の格子状に配置され
た磁極ピッチ、ｎは正の整数）離れて配置され、前記Ｃ
相の磁極は前記Ａ相の磁極に対してＹ軸方向にＰ・ｎ±
P/4離れて配置され、前記Ｄ相は前記Ａ相に対してＸ軸
及びＹ軸方向に夫々Ｐ・ｎ±P/4だけ離れて配置され；
前記移動子をＸ軸方向に移動させる場合には、前記Ａ相
及びＢ相を選択的に励磁し；前記移動子をＹ軸方向に移
動させる場合には、前記Ａ相及びＣ相を選択的に励磁
し；前記移動子をＸ軸に対して45度及び135度の方向に
移動させる場合には、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＤ相の内の
何れか１相と、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＤ相の内の３相と
を選択的に励磁することを特徴とするサーフェイスアク
チュエータの駆動方法である。
［実施例］ 本発明に係る一実施例を、第１図乃至第６図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図は本発明に係るサーフェイスアクチュエータ
（以下SFAと略する場合がある）の駆動方法に直接関係
する装置の基本構造を示す斜視図、 第２図は第１図の機構の一部を更に説明するための
図、 第３図は第１図に示した固定子と移動子の関係を分か
りやすく説明するための図、 第４図乃至第６図は夫々本発明を更に詳しく説明する
ための図である。
（以下SFAと略する場合がある）の駆動方法に直接関係
する装置の基本構造を示す斜視図、 第２図は第１図の機構の一部を更に説明するための
図、 第３図は第１図に示した固定子と移動子の関係を分か
りやすく説明するための図、 第４図乃至第６図は夫々本発明を更に詳しく説明する
ための図である。
第１図に示すように、本発明に係るSFAは、固定子1
0、移動子20、この移動子20をＸ軸及びＹ軸方向に移動
可能に支持するＸ軸レール30及びＹ軸レール40等からな
る。
0、移動子20、この移動子20をＸ軸及びＹ軸方向に移動
可能に支持するＸ軸レール30及びＹ軸レール40等からな
る。
固定子10はバックアイアン12の複数の永久磁石14とを
有する。バックアイアン12上に設けられた複数の永久磁
石14は磁極が格子状（即ちチェス盤状）に配置されてい
る。つまり、複数の永久磁石14を直交座標系のＸ軸及び
Ｙ軸の方向にＮ極Ｓ極が交互になるように配置する。第
１図において、斜線部分は例えばＮ極を示し白い部分は
Ｓ極を示す。
有する。バックアイアン12上に設けられた複数の永久磁
石14は磁極が格子状（即ちチェス盤状）に配置されてい
る。つまり、複数の永久磁石14を直交座標系のＸ軸及び
Ｙ軸の方向にＮ極Ｓ極が交互になるように配置する。第
１図において、斜線部分は例えばＮ極を示し白い部分は
Ｓ極を示す。
移動子20は、図示の実施例では２組のコアコイル群を
有し、コイル支持部26に支持されている。第１のコアコ
イル群はコアコイル22A（Ａ相）、22B（Ｂ相）、22C
（Ｃ相）及び22D（Ｄ相）からなり、第２のコアコイル
群はコアコイル2A（Ａ相）、24B（Ｂ相）、24C（Ｃ相）
及び24D（Ｄ相）からなる。第１図にはコアコイルの一
部分しか示していない。第１図の蒲鉾型の形状は「コ」
の字型のコア（第２図の22A及び22B参照）の中央部（第
２図のコアのＭの部分）に巻回したコイル部分である。
尚、本発明はコアコイル群が少なくとも１組あれば実施
可能である。
有し、コイル支持部26に支持されている。第１のコアコ
イル群はコアコイル22A（Ａ相）、22B（Ｂ相）、22C
（Ｃ相）及び22D（Ｄ相）からなり、第２のコアコイル
群はコアコイル2A（Ａ相）、24B（Ｂ相）、24C（Ｃ相）
及び24D（Ｄ相）からなる。第１図にはコアコイルの一
部分しか示していない。第１図の蒲鉾型の形状は「コ」
の字型のコア（第２図の22A及び22B参照）の中央部（第
２図のコアのＭの部分）に巻回したコイル部分である。
尚、本発明はコアコイル群が少なくとも１組あれば実施
可能である。
尚、移動子20を直角２方向に移動可能に支持する機構
（本実施例ではレール30,40及びこれらのレールに案内
される車輪及び車軸等）は公知の機構を使用すればよ
く、本発明に直接関係がないので詳細な説明は省略す
る。
（本実施例ではレール30,40及びこれらのレールに案内
される車輪及び車軸等）は公知の機構を使用すればよ
く、本発明に直接関係がないので詳細な説明は省略す
る。
第２図に第１図の機構の一部の概略を示す。第２図に
おいて、バックアイアン12と複数の永久磁石14とから成
る固定子10の上方に、移動子の構成要素であるコイルコ
ア22A及び22B（但しコイルの図示を省略してある）がＸ
軸及びＹ軸方向に移動可能に支持されている。尚、図示
を省略したコイルはコアの中央部分Ｍに巻回される。第
２図において、上部に横線を付したＡ及びＢは夫々Ａ相
及びＢ相と逆に励磁される相であることを示している
（以下、明細書中の/A及び/B等の前の斜めの線／は逆相
を示し図面の文字上の横線に対応する）。
おいて、バックアイアン12と複数の永久磁石14とから成
る固定子10の上方に、移動子の構成要素であるコイルコ
ア22A及び22B（但しコイルの図示を省略してある）がＸ
軸及びＹ軸方向に移動可能に支持されている。尚、図示
を省略したコイルはコアの中央部分Ｍに巻回される。第
２図において、上部に横線を付したＡ及びＢは夫々Ａ相
及びＢ相と逆に励磁される相であることを示している
（以下、明細書中の/A及び/B等の前の斜めの線／は逆相
を示し図面の文字上の横線に対応する）。
第３図において、参照番号22A乃至22D、24A乃至24Dは
夫々第１図に示した同一番号のコアコイル（但しコイル
の図示を省略してある）に対応する。第１のコアコイル
の組（22A乃至22D）のＢ相の磁極はＡ相の磁極に対して
Ｘ軸方向にＰ・ｎ±P/4（Ｐは前記固定子の格子状に配
置された磁極ピッチ、ｎは正の整数）離れて配置され、
Ｃ相の磁極はＡ相の磁極に対してＹ軸方向にＰ・ｎ±P/
4離れて配置され、Ｄ相は前記Ａ相に対してＸ軸及びＹ
軸方向に夫々Ｐ・ｎ±P/4だけ離れて配置されている。
この関係は逆相（/A,/B,/C,D相）の場合でも同様であ
る。更に、第２のコアコイルの組（22A乃至22D）につい
ても同様である。
夫々第１図に示した同一番号のコアコイル（但しコイル
の図示を省略してある）に対応する。第１のコアコイル
の組（22A乃至22D）のＢ相の磁極はＡ相の磁極に対して
Ｘ軸方向にＰ・ｎ±P/4（Ｐは前記固定子の格子状に配
置された磁極ピッチ、ｎは正の整数）離れて配置され、
Ｃ相の磁極はＡ相の磁極に対してＹ軸方向にＰ・ｎ±P/
4離れて配置され、Ｄ相は前記Ａ相に対してＸ軸及びＹ
軸方向に夫々Ｐ・ｎ±P/4だけ離れて配置されている。
この関係は逆相（/A,/B,/C,D相）の場合でも同様であ
る。更に、第２のコアコイルの組（22A乃至22D）につい
ても同様である。
第３図のコアコイルの磁極位置はＡ相を励磁した場合
であり、Ａ相はＮ極（斜線部分）と完全に対向した位置
にある。第３図の状態から移動子をＸ軸方向に移動させ
ようとする場合、Ｂ相を励磁すれば移動子はP/4だけＸ
軸方向に移動する。又、移動子をＹ軸方向に移動させる
場合には、Ｃ相を励磁することによりP/4移動させるこ
とができる。このように励磁相を切り換えることにより
移動子をP/4単位でＸ軸及びＹ軸方向に移動可能であ
る。
であり、Ａ相はＮ極（斜線部分）と完全に対向した位置
にある。第３図の状態から移動子をＸ軸方向に移動させ
ようとする場合、Ｂ相を励磁すれば移動子はP/4だけＸ
軸方向に移動する。又、移動子をＹ軸方向に移動させる
場合には、Ｃ相を励磁することによりP/4移動させるこ
とができる。このように励磁相を切り換えることにより
移動子をP/4単位でＸ軸及びＹ軸方向に移動可能であ
る。
即ち、移動子をＸ軸方向に移動させるにはＡ相Ｂ相励
磁またはＣ相Ｄ相励磁、一方、移動子をＹ軸方向に移動
させるにはＡ相Ｃ相励磁またはＢ相Ｄ相励磁とすればよ
い。上記のＸ軸及びＹ軸方向への移動子20の移動は、既
に、上記特開平２−168846号公報に記載されている。
磁またはＣ相Ｄ相励磁、一方、移動子をＹ軸方向に移動
させるにはＡ相Ｃ相励磁またはＢ相Ｄ相励磁とすればよ
い。上記のＸ軸及びＹ軸方向への移動子20の移動は、既
に、上記特開平２−168846号公報に記載されている。
本発明の特徴は、移動子20をＸ軸に対して45度及び13
5度の方向に直接移動できることにある。即ち、従来例
の如くＸ軸及びＹ軸移動により間接的に行なうのではな
く、移動子20自体を斜め方向に移動できることである。
5度の方向に直接移動できることにある。即ち、従来例
の如くＸ軸及びＹ軸移動により間接的に行なうのではな
く、移動子20自体を斜め方向に移動できることである。
ここで特に注意を促したいのは、第１図に示す実施例
では、Ｘ軸及びＹ軸に設けたレール30及び40のために、
コイル支持部26はＸ軸及びＹ軸方向にしか移動できない
ことである。従って、本発明の特徴である移動子の斜め
方向の直接移動はＸ軸及びＹ軸方向の極く短い移動の連
続によって達成される。つまり、斜め移動のＸ軸Ｙ軸の
移動は、上述のＸ軸或いはＹ軸の移動と本質的に異な
る。従って、移動子をその移動面内で自由に移動できる
支持部を用いれば、直線状に移動子を斜め移動できるの
で本発明の効果は更に発揮できる。
では、Ｘ軸及びＹ軸に設けたレール30及び40のために、
コイル支持部26はＸ軸及びＹ軸方向にしか移動できない
ことである。従って、本発明の特徴である移動子の斜め
方向の直接移動はＸ軸及びＹ軸方向の極く短い移動の連
続によって達成される。つまり、斜め移動のＸ軸Ｙ軸の
移動は、上述のＸ軸或いはＹ軸の移動と本質的に異な
る。従って、移動子をその移動面内で自由に移動できる
支持部を用いれば、直線状に移動子を斜め移動できるの
で本発明の効果は更に発揮できる。
第４図及び第５図を参照して、本発明を更に詳しく説
明する。尚、第４図では、図締を簡潔にするため、第３
図の場合と異なり、１組のコアコイル群のみを示すと共
にＡ相,B相,C相,D相の磁極のみを示し、各逆相磁極を省
略してある。
明する。尚、第４図では、図締を簡潔にするため、第３
図の場合と異なり、１組のコアコイル群のみを示すと共
にＡ相,B相,C相,D相の磁極のみを示し、各逆相磁極を省
略してある。
第４図の（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は、夫々Ａ相、Ｂ
相、Ｃ相、Ｄ相励磁時であり、第３図を参照して説明し
たように、Ｘ軸及びＹ軸方向には双方向矢印←→にした
がってP/4づつ移動可能である。
相、Ｃ相、Ｄ相励磁時であり、第３図を参照して説明し
たように、Ｘ軸及びＹ軸方向には双方向矢印←→にした
がってP/4づつ移動可能である。
一方、移動子を第４図（ａ）の位置（Ａ相励磁時）か
ら第４図（ｃ）の位置に斜めに移動させるには、従来例
の如くＢ相励磁→Ｄ相励磁ではなく、Ａ相Ｂ相Ｃ相（AB
C相と略す）同時励磁（第４図の（ｅ））→BCD相同時励
磁（第４図の（ｆ））→Ｄ相励磁によって行うことがで
きる。即ち、ABC相同時励磁により、移動子をＡ相励磁
位置から、Ｘ軸に対して45度の角度で且つ第４図（ｄ）
に示す磁極位置方向に、斜め移動距離の約1/3を移動さ
せる。次に、BCD相同時励磁により同方向に更に約1/3進
め、最後にＤ相励磁により第４図（ｄ）の位置とする。
尚、移動子を第４図（ｄ）の位置から逆にＸ軸に対して
45度の方向に移動させて第４図（ａ）の位置にするには
上述と逆の励磁を行なえばよい。
ら第４図（ｃ）の位置に斜めに移動させるには、従来例
の如くＢ相励磁→Ｄ相励磁ではなく、Ａ相Ｂ相Ｃ相（AB
C相と略す）同時励磁（第４図の（ｅ））→BCD相同時励
磁（第４図の（ｆ））→Ｄ相励磁によって行うことがで
きる。即ち、ABC相同時励磁により、移動子をＡ相励磁
位置から、Ｘ軸に対して45度の角度で且つ第４図（ｄ）
に示す磁極位置方向に、斜め移動距離の約1/3を移動さ
せる。次に、BCD相同時励磁により同方向に更に約1/3進
め、最後にＤ相励磁により第４図（ｄ）の位置とする。
尚、移動子を第４図（ｄ）の位置から逆にＸ軸に対して
45度の方向に移動させて第４図（ａ）の位置にするには
上述と逆の励磁を行なえばよい。
同様に、移動子を第４図の（ｂ）の位置から（ｄ）の
位置に移動させるには、ABD相同時励磁→ACD相同時励磁
→Ｃ相励磁とすればよい。但し、図面を簡略化するため
に格子状に配置した永久磁石及び移動子の磁極等の図示
を省略してある。
位置に移動させるには、ABD相同時励磁→ACD相同時励磁
→Ｃ相励磁とすればよい。但し、図面を簡略化するため
に格子状に配置した永久磁石及び移動子の磁極等の図示
を省略してある。
第５図は、第４図で説明した本発明の動作原理をより
一般化して説明するための図面である。
一般化して説明するための図面である。
第５図において、右上隅のＡ相励磁（丸印で囲んであ
る）からＸ軸に対して45度の角度で左斜め下のＤ相励磁
の位置に移動子を移動させることは第４図を参照して既
に説明した。
る）からＸ軸に対して45度の角度で左斜め下のＤ相励磁
の位置に移動子を移動させることは第４図を参照して既
に説明した。
第６図は、移動子のＸ軸及びＹ軸方向移動（第６図の
（ａ）及び（ｂ））、斜め方向移動（第６図（ｃ））に
必要な各相への電流（或いは電圧）供給のタイミング図
である。第６図（ａ）に示すようにＡ相及びＢ相を励磁
すれば（（イ）〜（ホ））移動子のＡ相に相当する磁極
は、第５図の右上隅の位置から左上隅の位置までＸ軸に
沿って移動し、第６図（ｂ）に示すようにＡ相及びＣ相
を励磁すれば（（イ）〜（ホ））移動子のＡ相に相当す
る磁極は第５図の右上隅から左下隅に移動する。更に、
第６図（ｃ）に示すように各相を順次励磁すれば
（（イ）〜（ト））移動子のＡ相に相当する磁極は第５
図の右上隅の位置から左下隅の位置に移動する。
（ａ）及び（ｂ））、斜め方向移動（第６図（ｃ））に
必要な各相への電流（或いは電圧）供給のタイミング図
である。第６図（ａ）に示すようにＡ相及びＢ相を励磁
すれば（（イ）〜（ホ））移動子のＡ相に相当する磁極
は、第５図の右上隅の位置から左上隅の位置までＸ軸に
沿って移動し、第６図（ｂ）に示すようにＡ相及びＣ相
を励磁すれば（（イ）〜（ホ））移動子のＡ相に相当す
る磁極は第５図の右上隅から左下隅に移動する。更に、
第６図（ｃ）に示すように各相を順次励磁すれば
（（イ）〜（ト））移動子のＡ相に相当する磁極は第５
図の右上隅の位置から左下隅の位置に移動する。
［発明の効果］ 本発明によれば、移動子を斜め方向に移動させる場合
に、従来のようにＸ軸及びＹ軸移動により行なうのでは
なく、斜め方向の直接移動できるという顕著な効果を有
する。
に、従来のようにＸ軸及びＹ軸移動により行なうのでは
なく、斜め方向の直接移動できるという顕著な効果を有
する。
第１図は本発明が応用される直接駆動型サーフェイスア
クチュエータの一例を示す斜視図、第２図は第１図の機
構の一部を説明するための図、第３図、第４図及び第５
図は夫々本発明の動作を説明するための図、第６図は本
発明を説明するため各相励磁のタイミングチャート図で
ある。 図中、10は固定子、12はバックアイアン、14は永久磁
石、20は移動子、22A乃至22Dは夫々コイルコア、24A乃
至24Dは夫々コイルを示す。
クチュエータの一例を示す斜視図、第２図は第１図の機
構の一部を説明するための図、第３図、第４図及び第５
図は夫々本発明の動作を説明するための図、第６図は本
発明を説明するため各相励磁のタイミングチャート図で
ある。 図中、10は固定子、12はバックアイアン、14は永久磁
石、20は移動子、22A乃至22Dは夫々コイルコア、24A乃
至24Dは夫々コイルを示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−100161（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−128859（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−95848（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−178957（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−21285（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−40281（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】複数の永久磁石を、直交座標系のＸ軸及び
Ｙ軸方向に、隣接する磁極が異なるように格子状に配置
した固定子と、 ４相（Ａ相、Ｂ相、Ｃ相、Ｄ相）のコアコイルの組を少
なくとも１組有し、前記固定子の表面と平行な面内で移
動可能に支持された移動子とを備え、 該移動子の前記Ｂ相の磁極は前記Ａ相の磁極に対してＸ
軸方向にＰ・ｎ±P/4（Ｐは前記固定子の格子状に配置
された磁極ピッチ、ｎは正の整数）離れて配置され、前
記Ｃ相の磁極は前記Ａ相の磁極に対してＹ軸方向にＰ・
ｎ±P/4離れて配置され、前記Ｄ相は前記Ａ相に対して
Ｘ軸及びＹ軸方向に夫々Ｐ・ｎ±P/4だけ離れて配置さ
れ、 前記移動子をＸ軸方向に移動させる場合には、前記Ａ相
及びＢ相を選択的に励磁し、 前記移動子をＹ軸方向に移動させる場合には、前記Ａ相
及びＣ相を選択的に励磁し、 前記移動子をＸ軸に対して45度及び135度の方向に移動
させる場合には、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＤ相の内の何れ
か１相と、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＤ相の内の３相とを選
択的に励磁することを特徴とするサーフェイスアクチュ
エータの駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24326790A JP2514857B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | サ―フェイスアクチュエ―タの駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24326790A JP2514857B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | サ―フェイスアクチュエ―タの駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04125055A JPH04125055A (ja) | 1992-04-24 |
| JP2514857B2 true JP2514857B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=17101326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24326790A Expired - Fee Related JP2514857B2 (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 | サ―フェイスアクチュエ―タの駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2514857B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6147421A (en) * | 1998-11-16 | 2000-11-14 | Nikon Corporation | Platform positionable in at least three degrees of freedom by interaction with coils |
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| JP6533765B2 (ja) * | 2016-07-26 | 2019-06-19 | Thk株式会社 | アクチュエータ |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP24326790A patent/JP2514857B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04125055A (ja) | 1992-04-24 |
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