JP3262946B2 - 紙の伸縮度測定装置 - Google Patents

紙の伸縮度測定装置

Info

Publication number
JP3262946B2
JP3262946B2 JP20421594A JP20421594A JP3262946B2 JP 3262946 B2 JP3262946 B2 JP 3262946B2 JP 20421594 A JP20421594 A JP 20421594A JP 20421594 A JP20421594 A JP 20421594A JP 3262946 B2 JP3262946 B2 JP 3262946B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
light
piece
measurement
sample table
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20421594A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0850008A (ja
Inventor
藤男 一杉
朴 生田
安彦 高橋
Original Assignee
大昭和製紙株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 大昭和製紙株式会社 filed Critical 大昭和製紙株式会社
Priority to JP20421594A priority Critical patent/JP3262946B2/ja
Publication of JPH0850008A publication Critical patent/JPH0850008A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3262946B2 publication Critical patent/JP3262946B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一度に多数枚の紙片
を自動的に精度良く測定できる紙の伸縮度測定装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】紙は、おかれている環境条件により、伸
縮し、この伸縮挙動を測定することは、紙の特性を設計
する上で非常に重要となる。
【0003】従来は、紙の伸縮を測定するのには、主
に、マイクロゲージ式伸縮計等が用いられていた。この
伸縮計は、支柱を中心にして対向して回転可能に取り付
けられた上下二枚の円板を備え、下部円板には試料掴み
を固定して取付け、上部円板に可動試料掴みを備えるマ
イクロゲージを取付け、試料片(紙片)の一端を下部円
板の固定試料掴みで把持し、他端をマイクロゲージの可
動試料掴みで把持して、マイクロゲージの錘により試料
の弛みをなくし、マイクロゲージの指針が0点となるよ
うにセットした後、諸条件による紙の伸縮を測定するも
のである。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】上記従来例は上部円
板に取付けることができる測定装置の数に制限され、一
度に測定できる試料片の数も限定される問題があり、又
測定者がそれぞれのゲージの指示値を直読し、記録しな
ければならないため種々の条件、例えば温度、湿度を変
化させた時の紙の伸縮を測定する場合、測定者は何回も
温度、湿度を変化させ、一定時間経過後ゲージの指示値
を直読し、記録するといった作業をしなければならず、
測定に時間がかかり、作業能率はよくないのが現状であ
る。
【0005】又、マイクロゲージは10μmの精度で、
測定精度としては満足できるものではないばかりか、マ
イクロゲージの錘を適当に選ばないと紙片の伸縮に影響
を与え、又少しの振動でもあると測定値に急激な変動が
起る等の問題があった。
【0006】
【問題点を解決するための手段】この発明は一度に多数
枚の試料片(紙片)の伸縮度を自動的に精度良く測定す
る紙の伸縮度測定装置を提供するものであり、その手段
として、回転駆動可に軸支された円形試料テーブルと、
該円形試料テーブルの上面と下面で開口し周方向に沿っ
て間隔的に多数配置された透光窓と、該透光窓を通して
レーザー光束を通過させるレーザー外径測定器とから成
り、上記各透光窓の上部開口面に置かれた試料片(紙
片)がこの透光窓を通過する上記レーザー光束の一部を
遮ることにより各試料片の寸法を測定する構成としたも
のである。
【0007】そして上記試料片(紙片)は該紙片の周方
向の両側部を上記円形試料テーブル上面に支持して上記
透光窓の上部開口面を塞ぎ且つ上記透光窓の径方向の両
端を開口するように横架される。即ち上記透光窓はその
径方向巾が紙片の寸法測定巾より広巾にし、その周方向
巾を紙片の巾より小にし、各透光窓の周方向の上部開口
面に紙片を配置するようにする。 更に該紙片の上記両側
上面を押えて浮上りを抑止する試料押えを備える。該試
料押えは端部を円形試料テーブルにマグネット吸着して
該マグネット吸着部内側において上記紙片の伸縮を許容
しつつ上記浮上りを抑止する構成を有し、よって上記各
透光窓の上部開口面に置かれた紙片がこの透光窓を通過
する上記レーザー光束の一部を遮ることにより各紙片の
寸法を測定する。
【0008】
【作用】この発明によれば、円形試料テーブルの透光窓
を通過するレーザー光束の一部を透光窓の上部開口面に
置かれた試料片が遮ることにより試料片の寸法が測定さ
れてレーザー光束による高精度の測定を行うことがで
き、しかも円形試料テーブルの回転駆動によって円形試
料テーブル上の試料片が次々に連続して自動的に測定さ
れるため、温度、湿度の変化に追随して生ずる試料片の
伸縮度の変化を連続的に測定することができ、かつ夜
間、休日を問わず継続的な測定が可能であり、測定の無
人化を図ることもでき、測定作業効率が大幅に改善され
る。
【0009】又円形試料テーブルの周方向に沿って試料
片を多数置きレーザー光束を透過させる装置であるた
め、試料片を狭間隔で円形試料テーブルに配置して一度
に測定できる試料片の数を増加させることができ、従来
数以上の試料片の測定が連続して自動的に行える。
【0010】又試料押えで各透光窓の上面開口に置かれ
た試料片の変位を抑止する手段を付加することにより適
正なる測定が行える。
【0011】
【実施例】以下この発明の実施例を図1乃至図10に基
いて詳細に説明する。
【0012】1は伸縮度(寸法)測定に供される適宜の
寸法に裁断された試料片たる紙片を示し、2はこの試料
片1が多数枚置かれる円形試料テーブルである。
【0013】円形試料テーブル2は、図2に示すように
金属又はプラスチック等から成る円板で、円形試料テー
ブル2の中央に設けた軸穴12に駆動モーター3の軸
3′を連結して円形試料テーブル2を回転駆動可に軸支
する。
【0014】この円形試料テーブル2には同試料テーブ
ル2の上面と下面で開口する矩形状の透光窓10を試料
テーブル2の円周方向に沿って等間隔で多数配置する。
【0015】各透光窓10は、測定試料数をより多くす
るためにその長辺が円形試料テーブル2の中心部に向か
った(径方向に延びる)矩形にするのが好ましく、透光
窓10の長辺を後記するレーザー光束13の巾より大き
くする。
【0016】又透光窓10はその径方向巾が試料片1の
寸法測定巾より広巾にし、その周方向巾を試料片1の巾
より小にし、各透光窓10の周方向の上部開口面に試料
片1を配置するようにする。
【0017】つまり試料片1はその両側部を透光窓10
の短辺側部の円形試料テーブル2上面で支持して透光窓
10の短辺方向に横架して置かれる。換言すれば試料片
1を透光窓10の上部開口面の中央付近を塞ぐように試
料テーブル2上面に置く。従って透光窓10の径方向の
両端(長辺側の両端)は試料片1に塞がれず開口してい
る。
【0018】この時円形試料テーブル2上への試料片1
の配置数は円形試料テーブル2の直径の大きさによって
異なるが、例えば直径50cmの円形試料テーブル2で
20数枚の試料片1が配置できる。
【0019】上記円形試料テーブル2に置かれた試料片
1は試料押え15により浮上り、反り等の変位を抑止す
る。
【0020】試料押え15は図3及び図4に示すよう
に、試料片1の一側長より長い押えバーの両端に試料片
1の紙厚の約2倍厚のフィルムシートを試料片1の押え
巾にあわせて貼り付けたスぺーサー15′を備え、試料
テーブル2の上面にマグネットシート18を敷設して吸
着止させる。マグネットシート18には試料テーブル2
の透光窓10と同形状の透光窓10を設けて双方の透光
窓10を上下に連通させ、この透光窓10の長辺(径方
向辺)方向に沿って試料押え15を配し、透光窓10の
上部開口面の中央付近を塞ぐように置いた試料片1の一
端耳部に一方のスぺーサー15′を充がい、他方のスぺ
ーサー15′をマグネットシート18に充がって吸着止
させることにより、試料片1の一端を押え他端をフリー
の状態とする。
【0021】又上記試料押え15の他例として図5に示
すように、押えバー15aの端部にマグネット15bを
取付けて着磁性材から成る円形試料テーブル2の上面に
対し吸着可とし、押えバー15aの延在部の途中に小パ
ッド15cを設けて試料片1の適所を軽微な力で押える
ようにする。この試料押え15は透光窓10の上部開口
面に置かれた試料片1の伸縮を妨げないよう試料押え1
5のマグネット15b部内側と試料片1の端面との間に
約50μm程度の僅かな間隙を存し、かつ弱圧で押えて
試料片1の変位を抑止するのが良い。上記試料押え15
はマグネットゴムシートで形成できる。
【0022】又円形試料テーブル2を例えばプラスチッ
ク等の樹脂材で形成する場合、マグネット片を円形試料
テーブル2に取付けるか、着磁性金属片を埋込む等して
試料押え15を着磁性材で形成し使用に供する。
【0023】上記説明した各試料押え15は図6に示す
ように、矩形透光窓10の短辺(周方向辺)と略平行に
配して試料片1の変位を抑止するようにしてもよい。
【0024】又試料押え15の他例として図7に示すよ
うに、クリップ16を円形試料テーブル2上面の各透光
窓10の端縁に固定するか又はマグネットにより着脱可
とし、試料片1の一端耳部をクリップ16で挟持して押
えることにより試料片1の変位を抑止する。
【0025】上記の如く試料押え15,16によって円
形試料テーブル2上の試料片1は矩形透光窓10の上部
開口面を部分的に塞ぐように押えられる。
【0026】図8乃至図10は上記円形試料テーブル2
の他例であり、図8に示すように、円板の中央に駆動モ
ーター3の軸3′を連結せる軸穴12を設けて回転駆動
可に軸支した円形試料テーブル2に、試料テーブル2の
上面と下面で開口し同試料テーブル2の外周縁で開放し
中央(軸穴12)側で閉鎖する透光窓10′を形成し、
この透光窓10′の上記開放端側を連結部17を介し連
結して径方向に分割せる分割透光窓10′とする。
【0027】上記分割透光窓10′は試料テーブル2の
中央に向かう(径方向に延びる)矩形を呈し、その長辺
を後記するレーザー光束13の巾より大にすると共に、
透光窓10′の径方向巾を試料片1の寸法測定巾より広
巾にし、その周方向巾を試料片1の巾より小に形成し
て、試料テーブル2の円周方向に沿って等間隔で多数配
置する。
【0028】円形試料テーブル2の上面には上記分割透
光窓10′と同形状の透光窓10′を有するマグネット
シート18を試料テーブル2と同心円に吸着止して両透
光窓10′を上下に連通させ、このマグネットシート1
8を介しその上面に金属製円板から成る試料片案内板1
9を同心円に吸着止する。
【0029】案内板19はその外周縁20が上記分割透
光窓10′の閉鎖端側と重なる小径の円板であり、案内
板19の外周縁20で開放し上記透光窓10′の閉鎖端
側と略同形状の矩形口21を周方向に沿って同一間隔で
設け、隣接する矩形口21間の外周縁20の略中間に試
料片1の位置決め用突起22を設ける。
【0030】この矩形口21は円形試料テーブル2及び
マグネットシート18の透光窓10′の閉鎖端側と上下
に連通し、図9に示すように透光窓10′上面に置いた
試料片1を案内板19の外周縁20に当接して径方向の
位置決めを行い、上記突起22により試料片1の周方向
の位置決め及び隣接する試料片1との相対位置決めを行
って各試料片1と各透光窓10′との位置決めを図る。
【0031】これにより試料片1は透光窓10′の開放
端側の一部と閉鎖端側の一部を開口して試料テーブル2
に置かれ、試料片1の中央付近下面を分割透光窓10′
の上記連結部17で支持しつつ、試料押え15によって
試料片1の両側上面を押えて変位を抑止する。この時図
8に示すように試料押え15の一端を案内板19に片持
ち支持させ他端にスぺーサー15′を介在して試料押え
15と試料片1間に間隙を存し、スペーサー15′部の
ポイント圧で試料片1を押える。
【0032】上記した円形試料テーブル2には透光窓1
0′の内側付近に後記する赤外線検知装置等の検出器4
によって試料片1の測定始点を検出する透光穴14を設
ける。
【0033】5は透光窓10,10′の上面開口に置か
れた試料片1の伸縮度(寸法)を測定するレーザー外径
測定器を示し、このレーザー外径測定器5はレーザー光
を発射する半導体レーザー等の射光部5aと、射光部5
aから発射されたレーザー光をポリゴンミラー,反射ミ
ラー,コリメーターレンズを通し、平行光線とし、測定
物(試料片1)に当った後、受光レンズを通り受光素子
で受ける受光部5bから成り、レーザ光の明暗に応じた
電気信号に変換される。
【0034】このレーザー光が遮られた影を生じている
時間の長さを演算することにより、寸法を測定する。
【0035】レーザー外径測定器5の射光部5a及び受
光部5bは円形試料テーブル2に透光窓10,10′の
上位と下位に対向して配する。例えば透光窓10,1
0′の上面側に射光部5aを同下面側に受光部5bを配
して透光窓10,10′を介在して射光部5aと受光部
5bとを互いに対向配置してレーザー光が透光窓10,
10′をその径方向において通過する構成とする。
【0036】つまりレーザー外径測定器5の射光部5a
から発射されたレーザー光は、透光窓10,10′の長
辺と略平行且つ試料片1の径方向の測定巾より広巾な帯
状のレーザー光束13として透光窓10,10′を通過
させ、図4及び図10に示すように円形試料テーブル2
の透光窓10,10′の開口面に置かれた試料片1がそ
の光束13を遮った影の長さ、即ち試料片1によって一
部塞がれた透光窓10,10′の長辺方向にあたる試料
片1の長さを測定することで試料片1の寸法が測定され
る。換言すれば矩形状の透光窓10,10′に取り付け
られた試料片1の、円形試料テーブル2の円周部から中
心部に向かう方向の寸法を測定する。
【0037】上記レーザー外径測定器5はレーザー光の
走査速度が速く、測定に時間を要しない利点があり、又
光束13の巾が60mmに対して0.1μmの分解能が
あることから高信頼の測定データが得られる。
【0038】上記レーザー光束13を照射して円形試料
テーブル2上面に置いた多数枚の試料片1を測定する場
合、円形試料テーブル2を駆動モーター3により、連続
回転して測定する方式と、間欠回転して試料片1を測定
位置たるレーザー外径測定器5の配置位置に停止させ、
測定後次の試料片1を測定位置に移動させて測定を繰り
返す方式があるが、どちらの方法でも、精度の良い、作
業能率を向上させる紙・板紙の伸縮度測定装置を提供で
きる。
【0039】連続回転して測定する方式の方が、間欠回
転して測定する方式よりも総合的に優れているので、連
続回転方式を例にして記述する。
【0040】試料片1群の測定始点を検出する手段とし
て測定始点位置検出器4を配する。この検出器4は例え
ば赤外線検知装置等の光検出器から成り、円形試料テー
ブル2の上下に対向して射光部と受光部を対向配置す
る。そして透光窓10,10′の内側付近に測定始点検
出用の透光穴14を設ける。
【0041】又、測定始点検出方法は上記透過光による
方法、又は透光穴14の代わりに反射板を設け、反射板
の反射光による方法等一般的な方法が用いられるが、必
ずしもこれらに限定されるものではない。
【0042】試料片1を多数枚配置した円形試料テーブ
ル2を駆動モーター3により定速で回転させ、レーザー
外径測定器5で測定を開始する。測定始点位置を検出器
4が透光穴14を感知してその信号を測定始点位置検出
器4とのインターフェース用ハードウェアーが収納され
た制御ボックス7に送り、これを経由してコンピュータ
ー8に転送する。
【0043】コンピューター8はこの測定始点信号をも
って最初の測定する試料片1を認識する。試料片1が置
かれた円形試料テーブル2を連続回転させてレーザー外
径測定器5によって測定することは、言い換えれば、円
形試料テーブル2上を試料片1の有無に拘らずレーザー
光束13を照射しつつ連続して測定を行なうことであ
る。
【0044】レーザー外径測定器5は、透光窓10,1
0′の開口部を測定している時は試料片1の寸法が測定
されて測定値の測定信号を出力するが、透光窓10,1
0′以外の場所を測定している時はレーザー光束13が
透過しないため、測定異常の状態信号を出力する。
【0045】即ち、レーザー外径測定器5は、円形試料
テーブル2の透光窓10,10′の上に置かれた試料片
1がレーザー光束13を一部遮る位置(即ち測定位置)
に達する度に試料片1の長さを測定し、測定データをコ
ントローラ部6を経てコンピューター8に送り、又試料
片1が測定位置に達しない間は測定異常の状態信号をコ
ントローラ部6を経てコンピューター8に送る。
【0046】従って測定異常の状態信号は、円形試料テ
ーブル2の透光窓10,10′の等間隔配置によって測
定信号と交互に発生することになる。コンピューター8
では、状態信号から試料片1の測定信号だけを弁別す
る。
【0047】一方、透光窓10,10′を試料片1が通
過する間の連続測定値は、試料片1が支柱を中心に円運
動をするために一定値とはならない。レーザー光束13
が透光窓10,10′に達した当初は大きく、試料片1
の測定辺がレーザー光束13と直角の位置に近づくに従
って小さくなり、直角に達した時が最も小さい値とな
り、直角から遠ざかるに連れて再び大きくなる。
【0048】よって測定値の最も小さい値(最小値)が
試料片1の長さの正しい測定値となる。コンピューター
8では送られてきた連続測定値の最小値を算出して試料
片1の長さの測定値を得る。
【0049】又測定始点から試料片1の測定値の有無を
計数することによって、試料片1の番号付けも同時にで
きる。このようにして試料片1多数枚を連続に測定し、
円形試料テーブル2が一回転して、再度、測定始点位置
の透光穴14を検出器4が感知した時一回分の測定を終
了する。
【0050】続けて測定する場合はこのまま測定を継続
すればよく、温度や湿度を変化させた時の試料片1の寸
法の変化を連続的に測定することができる。
【0051】上記の如く、駆動モーター3により回転す
る円形試料テーブル2、及び試料片1の寸法を測定する
レーザー外径測定器5、試料測定始点検出器4を上記コ
ントローラ部6、制御ボックス7、コンピューター8で
制御すれば伸縮度測定装置11の、夜間,休日の無人の
測定が可能となり、作業効率が大幅に改善されるもので
ある。
【0052】
【発明の効果】この発明によれば、円形試料テーブルの
透光窓を通過するレーザー光束の一部を透光窓の上部開
口面に置かれた試料片が遮ることにより試料片の寸法が
測定されてレーザー光束による高精度の測定を行うこと
ができ、高信頼の測定結果が得られる。しかも円形試料
テーブルの回転駆動により円形試料テーブル上の試料片
が次々に連続して自動的に測定されるため、温度、湿度
に変化によって生ずる試料片の伸縮度の変化を連続的に
測定することができ、かつ夜間、休日を問わず継続的な
測定が可能であり、測定の無人化を図ることもでき、測
定作業効率が大幅に改善される。
【0053】又円形試料テーブルの周方向に沿って試料
片を多数置きレーザー光束を透過させる装置であるた
め、試料片を狭間隔で円形試料テーブルに配置して一度
に測定できる試料片の数を増加させることができ、従来
数以上の試料片の測定が連続して自動的に行える。
【0054】又試料押えで各透光窓の上面開口に置かれ
た試料片の変位を抑止する手段付加することにより適正
なる測定が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す紙の伸縮度測定装置を
概示する側断面図。
【図2】同伸縮度測定装置の円形試料テーブルを示す平
面図。
【図3】円形試料テーブルの透光窓上面に置かれた試料
片を試料押えにて押える状態を示す平面図。
【図4】図3におけるI−I線断面図。
【図5】試料押えの他例を示す断面図。
【図6】試料片の押え態様の他例を示す平面図。
【図7】試料押えの更に他例を示す断面図。
【図8】円形試料テーブルの他例を示す平面図。
【図9】図8に示す円形試料テーブルに試料片を置いた
状態の一部を拡大して示す平面図。
【図10】図9におけるII−II線断面図。
【符号の説明】
1 試料片 2 円形試料テーブル 3 駆動モーター 4 試料測定始点検出器 5 レーザー外径測定器 6 コントローラ部 7 制御ボックス 8 コンピューター 10,10′ 透光窓 11 紙の伸縮度測定装置 12 軸穴 13 レーザー光束 14 透光穴 15 試料押え 15′ スペーサー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−149899(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/16

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転駆動可に軸支された円形試料テーブル
    と、該円形試料テーブルの上面と下面で開口し周方向に
    沿って間隔的に多数配置された透光窓と、該透光窓を通
    してレーザー光束を通過させるレーザー外径測定器とか
    ら成り、試料片(紙片)は該紙片の周方向の両側部を上
    記円形試料テーブル上面に支持して上記透光窓の上部開
    口面を塞ぎ且つ上記透光窓の径方向の両端を開口するよ
    うに横架され、更に該紙片の上記両側上面を押えて浮上
    りを抑止する試料押えを備え、該試料押えは端部を円形
    試料テーブルにマグネット吸着して該マグネット吸着部
    内側において上記紙片の伸縮を許容しつつ上記浮上りを
    抑止する構成を有し、上記各透光窓の上部開口面に置か
    れた紙片がこの透光窓を通過する上記レーザー光束の一
    部を遮ることにより各紙片の寸法を測定する構成を有す
    ることを特徴とする紙の伸縮度測定装置。
JP20421594A 1994-08-05 1994-08-05 紙の伸縮度測定装置 Expired - Fee Related JP3262946B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20421594A JP3262946B2 (ja) 1994-08-05 1994-08-05 紙の伸縮度測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20421594A JP3262946B2 (ja) 1994-08-05 1994-08-05 紙の伸縮度測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0850008A JPH0850008A (ja) 1996-02-20
JP3262946B2 true JP3262946B2 (ja) 2002-03-04

Family

ID=16486748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20421594A Expired - Fee Related JP3262946B2 (ja) 1994-08-05 1994-08-05 紙の伸縮度測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3262946B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0850008A (ja) 1996-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4154684B2 (ja) 光学検査用のディスク、光学検査システム、及び光学検査の処理方法
US6367159B1 (en) Method and apparatus for measuring surface shape of thin element
EP0448362A2 (en) Mirror rotation angle detection mechanism
US4280354A (en) Acoustic method and apparatus for measuring surfaces of wafers and similar articles
JP2002213914A (ja) 共焦点原理の単位変位センサを用いた超精密変位測定器及び多様な変位測定方法
JP3262946B2 (ja) 紙の伸縮度測定装置
JP2826300B2 (ja) 円形部材の外径測定装置
JP2874795B2 (ja) オリエンテーションフラット検出装置
CN215374439U (zh) 一种折射率测量装置
JP2535479Y2 (ja) 磁気検出器
JP3337543B2 (ja) 単結晶インゴットの端面測定装置
JP5587628B2 (ja) 薄膜の傾き測定装置及び傾き測定方法
JP2940962B2 (ja) ポリゴンスキャナのジッタ計測装置
JPH06259816A (ja) スタンパーの厚み測定方法
JPH10253334A (ja) 真円度測定機および真円度測定機の被測定物位置決め方法
JPH1012709A (ja) 円形基板位置決め装置
JPH05301658A (ja) シート位置決め機構
JPH02203216A (ja) 基板の中心位置検出方法及び基板の中心打抜き装置
JPH0486539A (ja) 光ビーム径の測定装置
JPH0443815Y2 (ja)
JPH104470A (ja) 密着センサの設定距離測定装置
JPH0438049B2 (ja)
JPH0791925A (ja) 厚さ測定装置
JPH10160449A (ja) 管の主要寸法測定装置
JPS63235847A (ja) 動摩擦係数測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071221

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees