JPH0438049B2 - - Google Patents
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- JPH0438049B2 JPH0438049B2 JP1497582A JP1497582A JPH0438049B2 JP H0438049 B2 JPH0438049 B2 JP H0438049B2 JP 1497582 A JP1497582 A JP 1497582A JP 1497582 A JP1497582 A JP 1497582A JP H0438049 B2 JPH0438049 B2 JP H0438049B2
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- light beam
- parallel light
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- optical system
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 22
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 20
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/095—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble
- G11B7/0956—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble to compensate for tilt, skew, warp or inclination of the disc, i.e. maintain the optical axis at right angles to the disc
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、回転円板の面振れを光学的に測定す
る装置に係り、特に、測定点における上下振れの
大きさ、及び加速度を簡単で正確に測定する装置
に関する。
る装置に係り、特に、測定点における上下振れの
大きさ、及び加速度を簡単で正確に測定する装置
に関する。
［従来の技術］
従来、回転円板の面振れの測定には、静電容量
型の微小変位計が一般に用いられているが、被測
定面が導電材料から成つている必要があり、ガラ
ス円板にTeなどの非導電材料が蒸着された回転
円板などの面振れは測定することができなかつ
た。
型の微小変位計が一般に用いられているが、被測
定面が導電材料から成つている必要があり、ガラ
ス円板にTeなどの非導電材料が蒸着された回転
円板などの面振れは測定することができなかつ
た。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の目的は、上記した問題を解決し、簡単
な構成で、測定範囲や測定感度が被測定面の面振
れの大きさにあわせて容易に調整でき、しかも信
頼度の高い面振れ測定装置を提供することにあ
る。
な構成で、測定範囲や測定感度が被測定面の面振
れの大きさにあわせて容易に調整でき、しかも信
頼度の高い面振れ測定装置を提供することにあ
る。
本発明の他の目的は、非測定面が導電材料では
ない回転円盤の面振れを正確に測定することがで
きる面振れ測定装置を提供することにある。
ない回転円盤の面振れを正確に測定することがで
きる面振れ測定装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の回転円板の面振れ測定装置は、光を面
振れ測定用のプローブに用いて実現される。すな
わち、ほぼ平行な光束を出射する光源と、該平行
光束を回転円板の被測定面にほぼ垂直に入射する
ように導く第１の光学系と、該被測定面から反射
された上記平行光束を光点位置検出器に導く第２
の光学系と、上記平行光束が被測定面に入射した
位置と被測定面の回転中心との距離を検出する装
置を備え、上記光点位置検出器の出力を、上記距
離を検出する装置の出力で割算することを特徴と
する。さらに他の構成としては、ほぼ平行な光束
を出射する光源と、該平行光束を回転円板の被測
定面にほぼ垂直に入射するように導く第１の光学
系と、該被測定面から反射された上記平行光束を
光点位置検出器に導く第２の光学系とを備え、上
記被測定面から反射された上記平行光束が上記光
点位置検出器に達するまでの距離が、上記平行光
束が被測定面に入射した位置と被測定面の回転中
心との距離に比例するように上記第２の光学系を
構成したことを特徴とする。
振れ測定用のプローブに用いて実現される。すな
わち、ほぼ平行な光束を出射する光源と、該平行
光束を回転円板の被測定面にほぼ垂直に入射する
ように導く第１の光学系と、該被測定面から反射
された上記平行光束を光点位置検出器に導く第２
の光学系と、上記平行光束が被測定面に入射した
位置と被測定面の回転中心との距離を検出する装
置を備え、上記光点位置検出器の出力を、上記距
離を検出する装置の出力で割算することを特徴と
する。さらに他の構成としては、ほぼ平行な光束
を出射する光源と、該平行光束を回転円板の被測
定面にほぼ垂直に入射するように導く第１の光学
系と、該被測定面から反射された上記平行光束を
光点位置検出器に導く第２の光学系とを備え、上
記被測定面から反射された上記平行光束が上記光
点位置検出器に達するまでの距離が、上記平行光
束が被測定面に入射した位置と被測定面の回転中
心との距離に比例するように上記第２の光学系を
構成したことを特徴とする。
［作用］
本発明の構成によれば、光源から出射した平行
光をそのまま回転円盤上に導き、回転円盤からの
反射光を光点位置検出器で受光して差動増幅器に
よつて信号処理するので、被測定面の材料に対す
る制約を取り除くことができる。
光をそのまま回転円盤上に導き、回転円盤からの
反射光を光点位置検出器で受光して差動増幅器に
よつて信号処理するので、被測定面の材料に対す
る制約を取り除くことができる。
本発明の他の構成によれば、被測定面から反射
された平行光束が光検出器に達するまでの距離と
回転中心測定点との距離が一定である。従つて、
照射位置の要素（半径要素）に依存しない。回転
円板の面振れを測定するために必要な絶対値が簡
単に算出できるので、面振れによる上下振れの大
きさや加速度を正確に検出することができる。ま
た、本発明では平行光をそのまま使用するので焦
点あわせをしなくてよく、回転円盤が大きく傾い
た場合でも正確に面振れによる上下振れの大きさ
や加速度を検出することができる。
された平行光束が光検出器に達するまでの距離と
回転中心測定点との距離が一定である。従つて、
照射位置の要素（半径要素）に依存しない。回転
円板の面振れを測定するために必要な絶対値が簡
単に算出できるので、面振れによる上下振れの大
きさや加速度を正確に検出することができる。ま
た、本発明では平行光をそのまま使用するので焦
点あわせをしなくてよく、回転円盤が大きく傾い
た場合でも正確に面振れによる上下振れの大きさ
や加速度を検出することができる。
［実施例］
以下、本発明の原理を第１図を用いて説明す
る。第１図において、１は円板で３を中心に矢印
の方向に回転している。光ビーム100は、円板１
の面にほぼ垂直に入射し、点10で反射する。通
常、反射した光束200は点10における面の方向に
よつて入射光束100とは異なつた方向を向いてい
る。今、点10を原点として第１図のようにｘ，
Ｙ，ｚ軸をとる。すなわち、ｘは点10における回
転方向、ｙは半径の方向、ｚは円板１の回転軸の
方向である。点10における接面とＸ軸となす角を
ψとすると、点10における円板１のｚ軸方向の振
れ（上下振れと呼ぶ）の大きさｚとの間に、 dz／dx＝tanψ なる関係がある。半径ｒの円板は、一定角速度ω
で回転しているとすれば dz／dx＝１／rωdz／dt 一方、反射光束200のｘ軸方向の振れ角をθとす
れば、θ＝2ψであるから dz／dt＝rω・tanθ／２ である。ここで、充分小さな振れ角に対しては dz／dt＝rωθ／２ 従つて、上下振れの大きさｚは ｚ＝rω／２θdt ……(1) で与えられる。又、上下振れの加速度αは α＝d2z／dt2＝rω／２dθ／dt ……(2) で与えられる。
る。第１図において、１は円板で３を中心に矢印
の方向に回転している。光ビーム100は、円板１
の面にほぼ垂直に入射し、点10で反射する。通
常、反射した光束200は点10における面の方向に
よつて入射光束100とは異なつた方向を向いてい
る。今、点10を原点として第１図のようにｘ，
Ｙ，ｚ軸をとる。すなわち、ｘは点10における回
転方向、ｙは半径の方向、ｚは円板１の回転軸の
方向である。点10における接面とＸ軸となす角を
ψとすると、点10における円板１のｚ軸方向の振
れ（上下振れと呼ぶ）の大きさｚとの間に、 dz／dx＝tanψ なる関係がある。半径ｒの円板は、一定角速度ω
で回転しているとすれば dz／dx＝１／rωdz／dt 一方、反射光束200のｘ軸方向の振れ角をθとす
れば、θ＝2ψであるから dz／dt＝rω・tanθ／２ である。ここで、充分小さな振れ角に対しては dz／dt＝rωθ／２ 従つて、上下振れの大きさｚは ｚ＝rω／２θdt ……(1) で与えられる。又、上下振れの加速度αは α＝d2z／dt2＝rω／２dθ／dt ……(2) で与えられる。
このように、反射光束200の角度θを測定すれ
ば、それから、上下振れの大きさ及び加速度を知
ることができる。この種の、光を用いた面振れ測
定技術は、例えば、特公昭61−49604号に提案さ
れている。
ば、それから、上下振れの大きさ及び加速度を知
ることができる。この種の、光を用いた面振れ測
定技術は、例えば、特公昭61−49604号に提案さ
れている。
しかし、式(1)および(2)から明らかなように、こ
のようにして求めた上下振れの大きさおよび加速
度は、ｒすなわち測定点の半径に比例しており、
単純に角度の変化だけを測定すると、上下振れの
大きさ及び加速度の絶対値を算出するための比例
係数が、測定点の半径によつて変化し、絶対値の
算出の手続きが複雑になる。
のようにして求めた上下振れの大きさおよび加速
度は、ｒすなわち測定点の半径に比例しており、
単純に角度の変化だけを測定すると、上下振れの
大きさ及び加速度の絶対値を算出するための比例
係数が、測定点の半径によつて変化し、絶対値の
算出の手続きが複雑になる。
本発明では、このような測定値が半径に比例す
るという欠点をのぞくため、(1)測定点の半径を検
出し、測定値を補正する方法、(2)測定用の光学系
を工夫し、測定値が半径に依存しないようにする
方法、を用いることを特徴とする。
るという欠点をのぞくため、(1)測定点の半径を検
出し、測定値を補正する方法、(2)測定用の光学系
を工夫し、測定値が半径に依存しないようにする
方法、を用いることを特徴とする。
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
本発明の第１の実施例を第２図および第３図を用
いて説明する。第２図において、１は円板で、３
を中心に回転している。面振れ測定用の光ビーム
８は、ほぼ平行光束でレーザ光源５から供給され
る。レーザ光源５は、通常の白色光源でおきかえ
ることができるが、その場合には、適当なコリメ
ータ系でほぼ平行な光束を作る必要がある。光束
８は、ハーフミラー６によつてデイスク１の被測
定面２に垂直に入射するように向きをかえられ
る。被測定面２からの反射光束９はハーフミラー
６を通つて、光点位置検出器７に達する。光点位
置検出器７の出力端子２０Ａおよび２０Ｂには入
射光束の位置に応じて電流が流れる。上記一連の
光学系は、一つの移動台５０に搭載され、円板１
の内外周が測定できるようになつている。移動台
５０には、移動台の移動量、すなわち、面振れ測
定用の光束９が円板２に入射する位置（半径）を
検出するためのセンサー２１Ｃが取付けられてお
り、センサー２１Ｃの他端は抵抗器１２に電気的
に接触している。移動量の検値は、例えば、抵抗
器１２によつて行なわれる。抵抗器１２の両端２
１Ａと２１Ｂの間には一定の電圧が印加され、セ
ンサー２１Ｃにより、移動量に応じた電圧が読み
出される。この場合、一方の側、例えば２１Ａを
接地し、さらに２１Ａと２１Ｃの距離が、円板１
の回転中心３から測定点の距離に一致するように
配置するのが好適である。このようにすれば、セ
ンサー２１Ｃで検知される電圧は、直接測定点の
半径に比例したものになる。
本発明の第１の実施例を第２図および第３図を用
いて説明する。第２図において、１は円板で、３
を中心に回転している。面振れ測定用の光ビーム
８は、ほぼ平行光束でレーザ光源５から供給され
る。レーザ光源５は、通常の白色光源でおきかえ
ることができるが、その場合には、適当なコリメ
ータ系でほぼ平行な光束を作る必要がある。光束
８は、ハーフミラー６によつてデイスク１の被測
定面２に垂直に入射するように向きをかえられ
る。被測定面２からの反射光束９はハーフミラー
６を通つて、光点位置検出器７に達する。光点位
置検出器７の出力端子２０Ａおよび２０Ｂには入
射光束の位置に応じて電流が流れる。上記一連の
光学系は、一つの移動台５０に搭載され、円板１
の内外周が測定できるようになつている。移動台
５０には、移動台の移動量、すなわち、面振れ測
定用の光束９が円板２に入射する位置（半径）を
検出するためのセンサー２１Ｃが取付けられてお
り、センサー２１Ｃの他端は抵抗器１２に電気的
に接触している。移動量の検値は、例えば、抵抗
器１２によつて行なわれる。抵抗器１２の両端２
１Ａと２１Ｂの間には一定の電圧が印加され、セ
ンサー２１Ｃにより、移動量に応じた電圧が読み
出される。この場合、一方の側、例えば２１Ａを
接地し、さらに２１Ａと２１Ｃの距離が、円板１
の回転中心３から測定点の距離に一致するように
配置するのが好適である。このようにすれば、セ
ンサー２１Ｃで検知される電圧は、直接測定点の
半径に比例したものになる。
第３図に、上記装置に用いる信号処理回路の一
例を示す。差動増巾器３１によつて第２図の光点
位置検出器７の出力２０Ａと２０Ｂの差信号が得
られる。この信号は、光ビームの位置に対応して
いる。コンデンサー３３および抵抗３４で、AC
成分のみを取出し、割算器３５に供給する。一
方、加算回路３２で、出力２０Ａと２０Ｂの和信
号をつくり、割算器３５に供給し、上記差信号の
AC成分を上記和信号で割算する。上記和信号は、
光点位置検出器７に入射する光ビームの光量に比
例している。従つて、割算器３５の出力は純粋に
光点の位置に比例したものになる。次に、割算器
３５の出力は、割算器３６に供給され、センサー
２１Ｃの出力で割算される。センサー２１Ｃの出
力は、上下振れ測定点の半径に比例しているの
で、割算器３６の出力を使用すれば、測定値の半
径依存性を除去することができる。すなわち、割
算器３６の出力は、上下振れの速度に比例してお
り、又、積分器３７および微分器３８の出力は、
それぞれ、上下振れの大きさおよび加速度に比例
し、しかも、移動台を動かして測定半径を変えて
も、測定感度は不変に保たれる。
例を示す。差動増巾器３１によつて第２図の光点
位置検出器７の出力２０Ａと２０Ｂの差信号が得
られる。この信号は、光ビームの位置に対応して
いる。コンデンサー３３および抵抗３４で、AC
成分のみを取出し、割算器３５に供給する。一
方、加算回路３２で、出力２０Ａと２０Ｂの和信
号をつくり、割算器３５に供給し、上記差信号の
AC成分を上記和信号で割算する。上記和信号は、
光点位置検出器７に入射する光ビームの光量に比
例している。従つて、割算器３５の出力は純粋に
光点の位置に比例したものになる。次に、割算器
３５の出力は、割算器３６に供給され、センサー
２１Ｃの出力で割算される。センサー２１Ｃの出
力は、上下振れ測定点の半径に比例しているの
で、割算器３６の出力を使用すれば、測定値の半
径依存性を除去することができる。すなわち、割
算器３６の出力は、上下振れの速度に比例してお
り、又、積分器３７および微分器３８の出力は、
それぞれ、上下振れの大きさおよび加速度に比例
し、しかも、移動台を動かして測定半径を変えて
も、測定感度は不変に保たれる。
本発明の第２の実施例を第４図を用いて説明す
る。実施例１と同様に、レーザ光源５から出射し
た光束８は、ハーフミラー６によつて、デイスク
１の測定面２にほぼ垂直に入射し、その反射光９
は、光学系によつて光点位置検出器７に入射する
ようになつている。実施例１との相異点は、反射
光束９の光路に、ミラー１１，１２，１３、およ
び１４からなる光学系が挿入されていることであ
る。第４図に示したように、上記光学系のうち、
ミラー１１および１４は、移動台５０の上に固定
されており、ミラー１２および１３は移動台の外
部に固定されている。デイスク面２からミラー１
１までの距離をl1、ミラー１２からミラー１３ま
での距離をl2、ミラー１４から光点位置検出器７
までの距離をl3とし、ミラー１１からミラー１２
までの距離とミラー１３からミラー１４までの距
離をそれぞれL1，L2とする。距離L1およびL2は、
移動台５０の位置によつて変化する。今、L1＋
L2＝０になるような移動台５０の位置における
被測定点１０の半径をr0とし、又実際の測定点の
半径をｒとすると、第４図のミラー１１，１２，
１３、および１４の位置関係から明らかに距離
L1およびL2は（ｒ−r0）に比例する。その比例定
数をａ，ｂすなわち L1＝ａ（ｒ−r0），L2＝ｂ（ｒ−r0）とした時、ミ
ラー１１，１２，１３および１４の位置を距離l1
＋l2＋l3＝（ａ＋ｂ）r0となるようにすれば、デイ
スク面２から光点位置検出器７までの光路長ｌは ｌ＝l1＋L1＋l2＋L2＋l3 ＝（ａ＋ｂ）r0＋ａ（ｒ−r0）＋ｂ（ｒ−r0） ＝（ａ＋ｂ）ｒ ……(3) となつて半径ｒに比例する。
る。実施例１と同様に、レーザ光源５から出射し
た光束８は、ハーフミラー６によつて、デイスク
１の測定面２にほぼ垂直に入射し、その反射光９
は、光学系によつて光点位置検出器７に入射する
ようになつている。実施例１との相異点は、反射
光束９の光路に、ミラー１１，１２，１３、およ
び１４からなる光学系が挿入されていることであ
る。第４図に示したように、上記光学系のうち、
ミラー１１および１４は、移動台５０の上に固定
されており、ミラー１２および１３は移動台の外
部に固定されている。デイスク面２からミラー１
１までの距離をl1、ミラー１２からミラー１３ま
での距離をl2、ミラー１４から光点位置検出器７
までの距離をl3とし、ミラー１１からミラー１２
までの距離とミラー１３からミラー１４までの距
離をそれぞれL1，L2とする。距離L1およびL2は、
移動台５０の位置によつて変化する。今、L1＋
L2＝０になるような移動台５０の位置における
被測定点１０の半径をr0とし、又実際の測定点の
半径をｒとすると、第４図のミラー１１，１２，
１３、および１４の位置関係から明らかに距離
L1およびL2は（ｒ−r0）に比例する。その比例定
数をａ，ｂすなわち L1＝ａ（ｒ−r0），L2＝ｂ（ｒ−r0）とした時、ミ
ラー１１，１２，１３および１４の位置を距離l1
＋l2＋l3＝（ａ＋ｂ）r0となるようにすれば、デイ
スク面２から光点位置検出器７までの光路長ｌは ｌ＝l1＋L1＋l2＋L2＋l3 ＝（ａ＋ｂ）r0＋ａ（ｒ−r0）＋ｂ（ｒ−r0） ＝（ａ＋ｂ）ｒ ……(3) となつて半径ｒに比例する。
前記(1)および(2)式の光ビームのふれ角θは、光
点位置検出器７上での光ビームの移動量をｘとす
れば、θ≒ｘ／ｌで与えられ、従つて、上下振れの 大きさｚおよび加速度αは、(3)式を考慮すると ｚ＝ω／２（ａ＋ｂ）xdt 又 α＝ω／２（ａ＋ｂ）dx／dt となり、測定値の測定点半径依存性を取り除くこ
とができる。本実施例の光学系に用いる信号処理
回路は、第３図に示した信号処理回路から、割算
回路３６を取り除けばよい。
点位置検出器７上での光ビームの移動量をｘとす
れば、θ≒ｘ／ｌで与えられ、従つて、上下振れの 大きさｚおよび加速度αは、(3)式を考慮すると ｚ＝ω／２（ａ＋ｂ）xdt 又 α＝ω／２（ａ＋ｂ）dx／dt となり、測定値の測定点半径依存性を取り除くこ
とができる。本実施例の光学系に用いる信号処理
回路は、第３図に示した信号処理回路から、割算
回路３６を取り除けばよい。
さらに、光路長ｌを長くして高感度化するため
には、第４図のミラー１１，１２，１３および１
４からなる光学系と同様な光学系を被測定面２か
ら光点位置検出器７までの光路中に複数個挿入す
ればよい。
には、第４図のミラー１１，１２，１３および１
４からなる光学系と同様な光学系を被測定面２か
ら光点位置検出器７までの光路中に複数個挿入す
ればよい。
［発明の効果］
本発明によれば、精度の良く上下振れの大きさ
及び加速度を得ることができ、これらにあわせて
装置を容易に調整でき、簡単な構成で、信頼度の
高い面振れ測定装置が実現できる。さらに、非測
定面が導電材料ではない回転円板の面振れをも正
確に測定することができる。
及び加速度を得ることができ、これらにあわせて
装置を容易に調整でき、簡単な構成で、信頼度の
高い面振れ測定装置が実現できる。さらに、非測
定面が導電材料ではない回転円板の面振れをも正
確に測定することができる。
第１図は本発明の原理を説明するための図、第
２図及び第３図は本発明の一実施例の構成を示す
図、第４図は本発明の他の実施例の構成を示す図
である。
２図及び第３図は本発明の一実施例の構成を示す
図、第４図は本発明の他の実施例の構成を示す図
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ほぼ平行な光束を出射する光源と、該平行光
束を回転円板の被測定面にほぼ垂直に入射するよ
うに導く第１の光学系と、該被測定面から反射さ
れた上記平行光束を光点位置検出器に導く第２の
光学系と、上記平行光束が被測定面に入射した位
置と被測定面の回転中心との距離を検出する装置
を備え、上記光点位置検出器の出力を、上記距離
を検出する装置の出力で割算することを特徴とす
る回転円板の面振れ測定装置。 ２ ほぼ平行な光束を出射する光源と、該平行光
束を回転円板の被測定面にほぼ垂直に入射するよ
うに導く第１の光学系と、該被測定面から反射さ
れた上記平行光束を光点位置検出器に導く第２の
光学系とを備え、上記被測定面から反射された上
記平行光束が上記光点位置検出器に達するまでの
距離が、上記平行光束が被測定面に入射した位置
と被測定面の回転中心との距離に比例するように
上記第２の光学系を構成したことを特徴とする回
転円板の面振れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1497582A JPS58133641A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 回転円板の面振れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1497582A JPS58133641A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 回転円板の面振れ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58133641A JPS58133641A (ja) | 1983-08-09 |
| JPH0438049B2 true JPH0438049B2 (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=11875975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1497582A Granted JPS58133641A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 回転円板の面振れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58133641A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63153456A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-25 | Yokogawa Electric Corp | 光デイスクテストシステム |
| JPH03170028A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-23 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | レベル計 |
| CN105606028B (zh) * | 2016-03-22 | 2018-01-23 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 吸盘跳动检测装置及检测方法 |
-
1982
- 1982-02-03 JP JP1497582A patent/JPS58133641A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58133641A (ja) | 1983-08-09 |
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