JPS58133641A - 回転円板の面振れ測定装置 - Google Patents
回転円板の面振れ測定装置Info
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- JPS58133641A JPS58133641A JP1497582A JP1497582A JPS58133641A JP S58133641 A JPS58133641 A JP S58133641A JP 1497582 A JP1497582 A JP 1497582A JP 1497582 A JP1497582 A JP 1497582A JP S58133641 A JPS58133641 A JP S58133641A
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- Japan
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- measuring
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- output
- radius
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/095—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble
- G11B7/0956—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble to compensate for tilt, skew, warp or inclination of the disc, i.e. maintain the optical axis at right angles to the disc
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、回転円板の面振れを光学的に測定する装置に
関する。
関する。
従来、回転円板の面振れの測定には、静電容量囚の微小
変位針が一般に用−られているが、被測定面が導電材料
から成っている必要があり、ガラス円板にＴＣなどの非
導電材料が蒸着された回転円板などの面振れは測定する
ことができなり、このような被測定面の材料に対する制
約を取抄除くため本発明では、党會面振れ測定用のグロ
ーブに用−ている０本発明は、簡単な構成で、測定範囲
や測定感度が被測定面の面振れの大きさにめわせて容易
に調整でき、しかも信ＩＩ度の高い面振れ測定装置を提
供することにある。
変位針が一般に用−られているが、被測定面が導電材料
から成っている必要があり、ガラス円板にＴＣなどの非
導電材料が蒸着された回転円板などの面振れは測定する
ことができなり、このような被測定面の材料に対する制
約を取抄除くため本発明では、党會面振れ測定用のグロ
ーブに用−ている０本発明は、簡単な構成で、測定範囲
や測定感度が被測定面の面振れの大きさにめわせて容易
に調整でき、しかも信ＩＩ度の高い面振れ測定装置を提
供することにある。
以下、本発明の原理を第１図を用いて説明する。
第１図において、１は円板で３を中心に矢印の方向に回
転してμる。光ビーム１００は、円板１の面にほぼ−直
に入射し、点１０で反射する。通常、反射した光束２０
０は点１０における面の方向によって入射光束１００と
は異なう先方向を向いてｉる。今、点１０ｔ−原点とし
て第１図のようにＸ。
転してμる。光ビーム１００は、円板１の面にほぼ−直
に入射し、点１０で反射する。通常、反射した光束２０
０は点１０における面の方向によって入射光束１００と
は異なう先方向を向いてｉる。今、点１０ｔ−原点とし
て第１図のようにＸ。
ｙｅｓｍをとる。すなわち、Ｘは点１０における回転方
向、ｙは半径の方向、２は円板１の回転軸の方向である
６点１０における接面とＸ軸となす角をψとすると、点
１０における円板１の翼軸方向の撮れ（上下振れと呼ぶ
）の大きさ２との間に、ｘ □＝−９ ｘ なる関係かめる。半径ｒの円板は、−足角速度ωで回転
しているとすれば 一万、反射光束２００（Ｚ）Ｘ軸方向の嶽れ角ｔｏとす
れば、０＝２９でめるがら である。ここで、充分小さな蛋れ角に対しては従って、
上下損れの大きさ２は で与えられる。又、上下振れの加速度αはで与えられる
。
向、ｙは半径の方向、２は円板１の回転軸の方向である
６点１０における接面とＸ軸となす角をψとすると、点
１０における円板１の翼軸方向の撮れ（上下振れと呼ぶ
）の大きさ２との間に、ｘ □＝−９ ｘ なる関係かめる。半径ｒの円板は、−足角速度ωで回転
しているとすれば 一万、反射光束２００（Ｚ）Ｘ軸方向の嶽れ角ｔｏとす
れば、０＝２９でめるがら である。ここで、充分小さな蛋れ角に対しては従って、
上下損れの大きさ２は で与えられる。又、上下振れの加速度αはで与えられる
。
このように１反射光束２０Ｇの角度＃１−［定すれば、
七れから、上下振れの大きさ及び加速度を知ることがで
きる。
七れから、上下振れの大きさ及び加速度を知ることがで
きる。
しかし、式（υおよび（２）から明らかなように、この
ようにして求めた上下振れの大きさおよび加速摩は、ｒ
すなわち測定点の半径に比例しており、単＃ＩＫ角度の
変化だけを測定すると、上下振れの大きさ及び加速度の
絶対値を算出する丸めの比例係数が、淘定点の半径によ
って変化し、絶対値の算出の手続きが複雑になる。
ようにして求めた上下振れの大きさおよび加速摩は、ｒ
すなわち測定点の半径に比例しており、単＃ＩＫ角度の
変化だけを測定すると、上下振れの大きさ及び加速度の
絶対値を算出する丸めの比例係数が、淘定点の半径によ
って変化し、絶対値の算出の手続きが複雑になる。
本発明では、このような測定値が半径に比例すると匹う
欠点ｔのぞ〈九め、（１）測定点ｉｖ＃ｆ−径を検出し
、測定値を補正する方法、（２１測゛足用の気宇系を工
夫し、測定値が半径に依存しないようＫする方法、を用
いることｔ特徴とする。
欠点ｔのぞ〈九め、（１）測定点ｉｖ＃ｆ−径を検出し
、測定値を補正する方法、（２１測゛足用の気宇系を工
夫し、測定値が半径に依存しないようＫする方法、を用
いることｔ特徴とする。
以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
本発明の第１の実施例ｔ−第２図および第３図を用ｉ″
ＣＣ説明、１１２図に訃φて、ｌは円板で、３會中心に
回転している。面振れｍＪ定用の光ビーム８は、はぼ平
行光束でンーザ光源５がら供給される。レーザ光源５は
、通常の白色光源でおきかえることができるが、その場
合には、適当なコリメータ系でほぼ平行な光束を作る必
要がめる。光束８は、バー７ミラー６によってディスク
１の被測定面２に垂直に入射するように向１！をかえら
れる。
ＣＣ説明、１１２図に訃φて、ｌは円板で、３會中心に
回転している。面振れｍＪ定用の光ビーム８は、はぼ平
行光束でンーザ光源５がら供給される。レーザ光源５は
、通常の白色光源でおきかえることができるが、その場
合には、適当なコリメータ系でほぼ平行な光束を作る必
要がめる。光束８は、バー７ミラー６によってディスク
１の被測定面２に垂直に入射するように向１！をかえら
れる。
被測定面２からの反射巻束９は八でフミラ−６ｔ−通っ
て、光点位置検出器７に達する。光点位置検出器７の出
力端子２０Ａおよび２０Ｂには入射光束の位置に応じて
電流が流れる。上記一連の光学系は、一つの移動台５ｑ
に搭載され、円板ｌの内外周が＃１足できるようになっ
て−る。移動台５０に畔、移動台の移動量、すなわち、
面振れ測定用の光束９が円板２に入射する位置（９径）
ｔ−検出するためのセンサー２１Ｃが取付けられており
、センサー２１Ｃの他熾は抵抗器１２に電気的に接触し
てｉる。移動量の検値は、例えば、抵抗器１２によって
行なわれる。抵抗器１２の両端２、ＩＡと２１Ｂの間に
は一定の電圧が印加され、センサー２１Ｃによシ、移動
量に応じた電圧が読み出され今、この場合、−万の側、
例えば２１Ａｔ接地し、さらに２１Ａと２１Ｃの距離が
、円板１の回転中心３から測定点め距離に一致するよう
に配置するのが好適でるる。この、ようにすれば、セン
サー２１Ｃで倹昶される電圧は、直接測定点の半径に比
例したものになる。
て、光点位置検出器７に達する。光点位置検出器７の出
力端子２０Ａおよび２０Ｂには入射光束の位置に応じて
電流が流れる。上記一連の光学系は、一つの移動台５ｑ
に搭載され、円板ｌの内外周が＃１足できるようになっ
て−る。移動台５０に畔、移動台の移動量、すなわち、
面振れ測定用の光束９が円板２に入射する位置（９径）
ｔ−検出するためのセンサー２１Ｃが取付けられており
、センサー２１Ｃの他熾は抵抗器１２に電気的に接触し
てｉる。移動量の検値は、例えば、抵抗器１２によって
行なわれる。抵抗器１２の両端２、ＩＡと２１Ｂの間に
は一定の電圧が印加され、センサー２１Ｃによシ、移動
量に応じた電圧が読み出され今、この場合、−万の側、
例えば２１Ａｔ接地し、さらに２１Ａと２１Ｃの距離が
、円板１の回転中心３から測定点め距離に一致するよう
に配置するのが好適でるる。この、ようにすれば、セン
サー２１Ｃで倹昶される電圧は、直接測定点の半径に比
例したものになる。
第３図に、上記装置に用−る信号処理回路の一例を夾す
・差−増巾器３１によりて１図０元点位置検中器７の出
力２０Ａと２０！の差信号が得られる。この信号は、空
ビームの位置に対応している。コンテン？−３３および
抵抗３４で、ＡＣ成分のみを取出し、割算器３５に供給
する。一方、加算（ロ）路３−２で・出力２０Ａと２０
Ｂｅ和信号をつくり、割算器３５に供給し、上記讐！
号のＡＣ成分を上記和信号でＩｆｆ算する。上記和信号
は、光点位置検出器７に入射する光ビームの光量−比例
している。従って、割算器３５の出力は純粋に光点の位
置に比例し７’ｔ４のになる。次に、割算器２１ Ｃｏ
ａｌ力で割算される。センサー、２１９（７）出力は、
上下振れ測定点の半径に比例しているので、！算器３６
の出力を匣用すれば、測嚢直の半径依存性を除去するこ
とができる。すなわち、割算器３６の出力は、上下振れ
の速度に比例しており、又、積分器３７および微分器３
８の出力は、それぞれ、上下振れの大きさおよび加速度
に比例し、しかも、移動台奮励かして測定牛径會変えて
も、測定感度は不変に僚友れる。
・差−増巾器３１によりて１図０元点位置検中器７の出
力２０Ａと２０！の差信号が得られる。この信号は、空
ビームの位置に対応している。コンテン？−３３および
抵抗３４で、ＡＣ成分のみを取出し、割算器３５に供給
する。一方、加算（ロ）路３−２で・出力２０Ａと２０
Ｂｅ和信号をつくり、割算器３５に供給し、上記讐！
号のＡＣ成分を上記和信号でＩｆｆ算する。上記和信号
は、光点位置検出器７に入射する光ビームの光量−比例
している。従って、割算器３５の出力は純粋に光点の位
置に比例し７’ｔ４のになる。次に、割算器２１ Ｃｏ
ａｌ力で割算される。センサー、２１９（７）出力は、
上下振れ測定点の半径に比例しているので、！算器３６
の出力を匣用すれば、測嚢直の半径依存性を除去するこ
とができる。すなわち、割算器３６の出力は、上下振れ
の速度に比例しており、又、積分器３７および微分器３
８の出力は、それぞれ、上下振れの大きさおよび加速度
に比例し、しかも、移動台奮励かして測定牛径會変えて
も、測定感度は不変に僚友れる。
本発明の第２の実施例ｔ−Ｍ４図を用いて説明する。実
施例１と同様に、レーザ光源５から出射した光束８は、
ハーフミラ−６によって、ディスク１の測定Ｅｉｉｉ２
にほぼ喬直に入射し、その反射光９は、光学系によって
光点位置検出器７に入射するようになっている。実施例
１との相真点は、反射光束９の光路に、ミラー１１．１
２，１３、および１４からなる光学系が挿入されている
ことでるる。第４図に示し九ように、上記光学系のうち
、ミラー１１および１４は、移動台５０の上に固定され
ており、ミラー１２および１３は移動台の外部に固定さ
れている。ディスク面２からミラー１１までの距離をＬ
ｌｓ ミラー１２からミラー１３までの距１１１ｍ’ｔ
ｌ−ｓ ％ ミラー１４から光点位置検出器７ｔでの
距離ｔ１ｍとし、ミラー１１からミラー１２までの距離
とミラー１２からミラー１４１での距＋ｒｔそれぞれＬ
ｔ ＊ Ｌｍとする。距離Ｌ１およびＬｌは、移動台５
０の位置によって変化する。今、Ｌｓ ＋ＬＨ＝Ｏにな
るような移動台５０の位置における被測定点１ｏの半径
ｔ ｒ 。
施例１と同様に、レーザ光源５から出射した光束８は、
ハーフミラ−６によって、ディスク１の測定Ｅｉｉｉ２
にほぼ喬直に入射し、その反射光９は、光学系によって
光点位置検出器７に入射するようになっている。実施例
１との相真点は、反射光束９の光路に、ミラー１１．１
２，１３、および１４からなる光学系が挿入されている
ことでるる。第４図に示し九ように、上記光学系のうち
、ミラー１１および１４は、移動台５０の上に固定され
ており、ミラー１２および１３は移動台の外部に固定さ
れている。ディスク面２からミラー１１までの距離をＬ
ｌｓ ミラー１２からミラー１３までの距１１１ｍ’ｔ
ｌ−ｓ ％ ミラー１４から光点位置検出器７ｔでの
距離ｔ１ｍとし、ミラー１１からミラー１２までの距離
とミラー１２からミラー１４１での距＋ｒｔそれぞれＬ
ｔ ＊ Ｌｍとする。距離Ｌ１およびＬｌは、移動台５
０の位置によって変化する。今、Ｌｓ ＋ＬＨ＝Ｏにな
るような移動台５０の位置における被測定点１ｏの半径
ｔ ｒ 。
とし、又実際の測定点の半径をｒとすると、第４図のミ
ラー１１，１２．１３、および１４の位置関係から明ら
かに距離ＬｔおよびＬ！は（ｒ ｒｅ）に比例する。
ラー１１，１２．１３、および１４の位置関係から明ら
かに距離ＬｔおよびＬ！は（ｒ ｒｅ）に比例する。
その比例定数ｔ’ａｓｂすなわちＬ１＝ａ （ｒ−ｔｏ
） ｅ Ｌｍ ＝ｂ （ｒ ｔｏ ）とし九時、ミ
ラー１１，１２．１３および１４の位置を距ｆｌｌＬｘ
＋ｊｓ ＋１ｍ ＝ （ａ十ｂ） ｔｏ トナルヨう
にすれば、ディスク面２から光点位置検出器７までの光
路長ｔは ＬｍＬｓ ＋Ｌｓ ＋ｔ＊ ”＋Ｌ鵞＋１゜＝ （ａ＋
ｂ） ｒ（１＋ａ （ｒ−ｒ＠ ）＋ｂ （ｒ−ｒ＠
）＝（ａ＋ｂ）ｒ ・・・・・・・・・・
・・（３）となって牛＆ｒに比例する。
） ｅ Ｌｍ ＝ｂ （ｒ ｔｏ ）とし九時、ミ
ラー１１，１２．１３および１４の位置を距ｆｌｌＬｘ
＋ｊｓ ＋１ｍ ＝ （ａ十ｂ） ｔｏ トナルヨう
にすれば、ディスク面２から光点位置検出器７までの光
路長ｔは ＬｍＬｓ ＋Ｌｓ ＋ｔ＊ ”＋Ｌ鵞＋１゜＝ （ａ＋
ｂ） ｒ（１＋ａ （ｒ−ｒ＠ ）＋ｂ （ｒ−ｒ＠
）＝（ａ＋ｂ）ｒ ・・・・・・・・・・
・・（３）となって牛＆ｒに比例する。
前記（１）および（２）式の元ビームのふれ角θは、光
点位置検出器７上での光ビームの移動量をＸとすきさ２
および加速度αは、（３）式會考慮すると２（ａ＋ｂ）
ｄｔ となり、測定値の測定点半径依存性ｔ−取り除くことが
できる。本実施例の光学系に用いる信号処理回路は、第
３図に示した信号処理回路から、割算回路３６１−＊り
除けばよ―。
点位置検出器７上での光ビームの移動量をＸとすきさ２
および加速度αは、（３）式會考慮すると２（ａ＋ｂ）
ｄｔ となり、測定値の測定点半径依存性ｔ−取り除くことが
できる。本実施例の光学系に用いる信号処理回路は、第
３図に示した信号処理回路から、割算回路３６１−＊り
除けばよ―。
さらに、光路長１ｔ−長くして高感度化するためには、
第４図のミラー１１，１２．１３および１４からなる光
学系と同様な光学系を被測定面２から光点位置検出器７
ｔでの光路中に複数個挿入すればよい。
第４図のミラー１１，１２．１３および１４からなる光
学系と同様な光学系を被測定面２から光点位置検出器７
ｔでの光路中に複数個挿入すればよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の詳細な説明するための図、第２図及び
＄３図は本発明の一実施例の構成を示す図、第４図は本
発明の他の実施例の構成を示す図″ｆＪ＋ 図 ３ ■２図 １１４ ／２ ＺＩＢ′ｖ５３
団
＄３図は本発明の一実施例の構成を示す図、第４図は本
発明の他の実施例の構成を示す図″ｆＪ＋ 図 ３ ■２図 １１４ ／２ ＺＩＢ′ｖ５３
団
Claims (1)
- １、はぼ平行な光束を出射する光源と、該平行光束ＬＰ
回転円板の被測定ｒＪＫはぼ−直に入射するように導く
第１の光学系と、該被測定面から反射された上記平行光
束を光点位置検出器に導く第２の光学系と、上記平行光
束が被測定面圧入射し九位置と被測定面の回転中心との
距離を検出する装置を備え、上記光点位置検出−の出力
を、上記距離を検出する装置の出力で割算するととｔ−
特黴七する回転円板の面振れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1497582A JPS58133641A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 回転円板の面振れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1497582A JPS58133641A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 回転円板の面振れ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58133641A true JPS58133641A (ja) | 1983-08-09 |
| JPH0438049B2 JPH0438049B2 (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=11875975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1497582A Granted JPS58133641A (ja) | 1982-02-03 | 1982-02-03 | 回転円板の面振れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58133641A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2608790A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Yokogawa Electric Corp | Dispositif perfectionne de test pour disques optiques |
| JPH03170028A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-23 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | レベル計 |
| CN105606028A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-05-25 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 吸盘跳动检测装置及检测方法 |
-
1982
- 1982-02-03 JP JP1497582A patent/JPS58133641A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2608790A1 (fr) * | 1986-12-18 | 1988-06-24 | Yokogawa Electric Corp | Dispositif perfectionne de test pour disques optiques |
| JPH03170028A (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-23 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | レベル計 |
| CN105606028A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-05-25 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 吸盘跳动检测装置及检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438049B2 (ja) | 1992-06-23 |
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