JP3023771B2 - 振動センサ校正装置 - Google Patents
振動センサ校正装置Info
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- JP3023771B2 JP3023771B2 JP9189358A JP18935897A JP3023771B2 JP 3023771 B2 JP3023771 B2 JP 3023771B2 JP 9189358 A JP9189358 A JP 9189358A JP 18935897 A JP18935897 A JP 18935897A JP 3023771 B2 JP3023771 B2 JP 3023771B2
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- Japan
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- vibration sensor
- optical path
- pulse signal
- vibration
- amplitude
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、周期的な振動振
幅を振動センサを用いて測定するとともに、マイケルソ
ン型光波干渉計を用いて計数法で測定し、その計数法に
よる測定情報を参照情報として振動センサ測定情報を校
正するようにした振動センサ校正装置に関するものであ
る。
幅を振動センサを用いて測定するとともに、マイケルソ
ン型光波干渉計を用いて計数法で測定し、その計数法に
よる測定情報を参照情報として振動センサ測定情報を校
正するようにした振動センサ校正装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】振動ピックアップ（振動センサ）の絶対
校正法は現在ＪＩＳ Ｂ ０９０８（振動及び衝撃ピッ
クアップの校正方法−基本概念、１９９１年）に規定さ
れている。そのうち、マイケルソン型光波干渉計を用
い、周期的振動に対応する光路長の変化を干渉縞の最大
輝度の数として検出し、その最大輝度数から変位振幅を
求める方法は計数法と呼ばれ、広く実施されている。
校正法は現在ＪＩＳ Ｂ ０９０８（振動及び衝撃ピッ
クアップの校正方法−基本概念、１９９１年）に規定さ
れている。そのうち、マイケルソン型光波干渉計を用
い、周期的振動に対応する光路長の変化を干渉縞の最大
輝度の数として検出し、その最大輝度数から変位振幅を
求める方法は計数法と呼ばれ、広く実施されている。
【０００３】図３は従来の振動センサ校正装置における
光学系を原理的に示す図である。この振動センサ校正装
置は、加振器３（対物鏡４）の振動振幅を、振動ピック
アップ（振動センサ）１０１と光学系（マイケルソン型
光波干渉計）とを用いてそれぞれ測定し、その双方の測
定データを比較検討することで、振動ピックアップ１０
１を校正するものである。
光学系を原理的に示す図である。この振動センサ校正装
置は、加振器３（対物鏡４）の振動振幅を、振動ピック
アップ（振動センサ）１０１と光学系（マイケルソン型
光波干渉計）とを用いてそれぞれ測定し、その双方の測
定データを比較検討することで、振動ピックアップ１０
１を校正するものである。
【０００４】図において、光源１の光は、電界ベクトル
Ｅ０の電場内を進んでビームスプリッタ（半透反射板）
２に入射し、そのまま透過もしくは反射する。透過光
は、電界ベクトルＥ２の電場内を進んで、加振器３で振
動させられている対物鏡４で反射後、ビームスプリッタ
２に戻る。反射光は、電界ベクトルＥ１の電場内を進ん
で、参照鏡５で反射後、同様にビームスプリッタ２に戻
ってくる。そして、これらのビームスプリッタ２に戻っ
てきた各々の光は再結合して干渉光となり、電界ベクト
ル（Ｅ１＋Ｅ２）の電場内を進み、光検出器６に入る。
Ｅ０の電場内を進んでビームスプリッタ（半透反射板）
２に入射し、そのまま透過もしくは反射する。透過光
は、電界ベクトルＥ２の電場内を進んで、加振器３で振
動させられている対物鏡４で反射後、ビームスプリッタ
２に戻る。反射光は、電界ベクトルＥ１の電場内を進ん
で、参照鏡５で反射後、同様にビームスプリッタ２に戻
ってくる。そして、これらのビームスプリッタ２に戻っ
てきた各々の光は再結合して干渉光となり、電界ベクト
ル（Ｅ１＋Ｅ２）の電場内を進み、光検出器６に入る。
【０００５】干渉光は、ビームスプリッタ２から参照鏡
５、対物鏡４までの各距離（基準光路長）Ｌ１，Ｌ２の
距離差Ｌに応じて、強め合ったり、打ち消し合ったりし
ている。
５、対物鏡４までの各距離（基準光路長）Ｌ１，Ｌ２の
距離差Ｌに応じて、強め合ったり、打ち消し合ったりし
ている。
【０００６】ここで、測定すべき対物鏡４の振動変位を
ｄ（ｔ）で表し、その振幅をｄ０とする。光源１の光の
波長をλとすると、光検出器６に入射する光束（干渉
光）の輝度Ｉ（ｔ）は、次式（１）で表される。
ｄ（ｔ）で表し、その振幅をｄ０とする。光源１の光の
波長をλとすると、光検出器６に入射する光束（干渉
光）の輝度Ｉ（ｔ）は、次式（１）で表される。
【数１】
【０００７】上記式（１）において、最大輝度は、次の
式（２）の条件を満たすとき生じる。
式（２）の条件を満たすとき生じる。
【数２】 ここで、ｎ：整数 さらに、２つの最大輝度間の距離に相当する変位はλ／
２（波長の半分）で与えられる。
２（波長の半分）で与えられる。
【０００８】図４は従来の振動センサ校正装置の装置例
を示す図である。干渉光は光検出器６により電気信号と
して検出される。加振器３は正弦波発振器７により生じ
増幅器８で増幅された正弦波に従い振動し、その振動に
応じて対物鏡４が振動する。計数カウンタ９は正弦波発
振器７からの正弦波の１周期をゲートタイムとし、この
間の光検出器６からの電気的なパルス信号Ｖｏを干渉光
の最大輝度として計数する。１周期（ゲートタイム）の
間に計数された最大輝度数をＲとすると、対物鏡５の変
位振幅ｄ０は、次式（３）で与えられる。
を示す図である。干渉光は光検出器６により電気信号と
して検出される。加振器３は正弦波発振器７により生じ
増幅器８で増幅された正弦波に従い振動し、その振動に
応じて対物鏡４が振動する。計数カウンタ９は正弦波発
振器７からの正弦波の１周期をゲートタイムとし、この
間の光検出器６からの電気的なパルス信号Ｖｏを干渉光
の最大輝度として計数する。１周期（ゲートタイム）の
間に計数された最大輝度数をＲとすると、対物鏡５の変
位振幅ｄ０は、次式（３）で与えられる。
【数３】
【０００９】一方、加振器３と対物鏡４との間には、振
動ピックアップ１０１が介在しており、この振動ピック
アップ１０１が検出した加振器３（対物鏡４）の振動
は、電気信号としてピックアップアンプ１０２で増幅さ
れた後、電圧計１０３から出力される。そして、この電
圧計１０３に出力された振動ピックアップ１０１による
測定データと、上記の計数カウンタ９でのデータとが比
較検討され、その結果に基づいて振動ピックアップ１０
１の校正が行われる。
動ピックアップ１０１が介在しており、この振動ピック
アップ１０１が検出した加振器３（対物鏡４）の振動
は、電気信号としてピックアップアンプ１０２で増幅さ
れた後、電圧計１０３から出力される。そして、この電
圧計１０３に出力された振動ピックアップ１０１による
測定データと、上記の計数カウンタ９でのデータとが比
較検討され、その結果に基づいて振動ピックアップ１０
１の校正が行われる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の振動センサ
校正装置による測定、すなわち光学系による測定の不確
かさ（誤差）の要因のうち、振動振幅に関するものは、
主に量子化誤差と干渉縞の計数誤差に起因する。このう
ち、量子化誤差は光干渉による輝度間隔を計測の最小単
位（レーザ波長の１／２）とするため避けられないもの
である。
校正装置による測定、すなわち光学系による測定の不確
かさ（誤差）の要因のうち、振動振幅に関するものは、
主に量子化誤差と干渉縞の計数誤差に起因する。このう
ち、量子化誤差は光干渉による輝度間隔を計測の最小単
位（レーザ波長の１／２）とするため避けられないもの
である。
【００１１】一方、計数誤差は、パルス信号のうち、実
際には輝度に対応する信号ではなく、単なるノイズであ
るにもかかわらず、そのノイズを輝度信号として計数し
てしまう現象である。この現象を図５に示す。横軸は時
間ｔを、縦軸は電圧Ｖを示す。Ｖｏは光検出器６での検
出電圧、Ｖｔｈは計数カウンタ９におけるしきい電圧を
それぞれ示す。計数カウンタ９は、１周期（ゲートタイ
ム）内で検出電圧Ｖｏがしきい電圧Ｖｔｈを上回った回
数を計数する。対物鏡４の振動折り返し付近における検
出電圧Ｖｏを拡大したものが図６である。区間Ｍに示す
ように、検出電圧Ｖｏは実際にはノイズを含んでいるた
め、検出電圧Ｖｏがしきい電圧Ｖｔｈ近傍で折り返すと
き、ノイズによる計数誤差が生じる。このことは、参照
データとして用いる光学系データの信頼性を低下させ、
結果的に振動ピックアップ１０１の校正精度を悪化させ
る要因となっていた。
際には輝度に対応する信号ではなく、単なるノイズであ
るにもかかわらず、そのノイズを輝度信号として計数し
てしまう現象である。この現象を図５に示す。横軸は時
間ｔを、縦軸は電圧Ｖを示す。Ｖｏは光検出器６での検
出電圧、Ｖｔｈは計数カウンタ９におけるしきい電圧を
それぞれ示す。計数カウンタ９は、１周期（ゲートタイ
ム）内で検出電圧Ｖｏがしきい電圧Ｖｔｈを上回った回
数を計数する。対物鏡４の振動折り返し付近における検
出電圧Ｖｏを拡大したものが図６である。区間Ｍに示す
ように、検出電圧Ｖｏは実際にはノイズを含んでいるた
め、検出電圧Ｖｏがしきい電圧Ｖｔｈ近傍で折り返すと
き、ノイズによる計数誤差が生じる。このことは、参照
データとして用いる光学系データの信頼性を低下させ、
結果的に振動ピックアップ１０１の校正精度を悪化させ
る要因となっていた。
【００１２】
【課題を解決するための手段】 このようなノイズによる
計数誤差は、図５および図６に示すように、検出電圧Ｖ
ｏをＶｏ’にシフトし、電圧波形の折り返しレベルをＶ
ｔｈから確実に離すことにより防ぐことができる。
計数誤差は、図５および図６に示すように、検出電圧Ｖ
ｏをＶｏ’にシフトし、電圧波形の折り返しレベルをＶ
ｔｈから確実に離すことにより防ぐことができる。
【００１３】そして、検出電圧Ｖｏの波形を望ましい波
形Ｖｏ’にシフトさせるには、基準光路長Ｌ１を光波長
λの数分の１程度増減すればよい。光源１にＨｅ−Ｎｅ
レーザを用いた場合、波長λは約６３３ｎｍなので、１
００ｎｍ程度に相当する。
形Ｖｏ’にシフトさせるには、基準光路長Ｌ１を光波長
λの数分の１程度増減すればよい。光源１にＨｅ−Ｎｅ
レーザを用いた場合、波長λは約６３３ｎｍなので、１
００ｎｍ程度に相当する。
【００１４】基準光路長Ｌ１を変化させるのは一般に参
照鏡５を移動することで実現できるが、機械的に行うた
めには、波長λに比べ十分な位置分解能と直進安定性の
ある直動装置が必要となる。このような装置は一般に大
がかりで高価であるという欠点がある。
照鏡５を移動することで実現できるが、機械的に行うた
めには、波長λに比べ十分な位置分解能と直進安定性の
ある直動装置が必要となる。このような装置は一般に大
がかりで高価であるという欠点がある。
【００１５】この発明は上記に鑑み提案されたもので、
振動センサの校正精度を向上させるとともに、光学系に
よる測定の不確かさを減ずる手段を安価に実現すること
ができる振動センサ校正装置を提供することを目的とす
る。
振動センサの校正精度を向上させるとともに、光学系に
よる測定の不確かさを減ずる手段を安価に実現すること
ができる振動センサ校正装置を提供することを目的とす
る。
【００１６】 上記目的を 達成するために、この発明の振
動センサ校正装置は、周期的な振動振幅を振動センサを
用いて測定するとともに、マイケルソン型光波干渉計を
用いて計数法で測定し、その計数法による測定情報を参
照情報として振動センサ測定情報を校正するようにした
振動センサ校正装置において、上記マイケルソン型光波
干渉計での干渉縞を電気的なパルス信号に変換するとと
もに、そのマイケルソン型光波干渉計でのビームスプリ
ッタと参照鏡との間の光路内に光透過体を配置し、その
光透過体と光路との成す角度の微少調整により、上記パ
ルス信号をシフトアップし、そのシフトアップしたパル
ス信号のカウント数から振動振幅を求め上記参照情報と
した、ことを特徴としている。
動センサ校正装置は、周期的な振動振幅を振動センサを
用いて測定するとともに、マイケルソン型光波干渉計を
用いて計数法で測定し、その計数法による測定情報を参
照情報として振動センサ測定情報を校正するようにした
振動センサ校正装置において、上記マイケルソン型光波
干渉計での干渉縞を電気的なパルス信号に変換するとと
もに、そのマイケルソン型光波干渉計でのビームスプリ
ッタと参照鏡との間の光路内に光透過体を配置し、その
光透過体と光路との成す角度の微少調整により、上記パ
ルス信号をシフトアップし、そのシフトアップしたパル
ス信号のカウント数から振動振幅を求め上記参照情報と
した、ことを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。図１はこの発明の振動セ
ンサ校正装置における光学系を原理的に示す図である。
なお、以下の説明において、上記従来の振動センサ校正
装置（図３、図４、図５および図６）と同一の構成要素
には、同一符号等を付してその説明を省略することとす
る。
面に基づいて詳細に説明する。図１はこの発明の振動セ
ンサ校正装置における光学系を原理的に示す図である。
なお、以下の説明において、上記従来の振動センサ校正
装置（図３、図４、図５および図６）と同一の構成要素
には、同一符号等を付してその説明を省略することとす
る。
【００１８】この発明は、ビームスプリッタ２と参照鏡
５との間の基準光路長は、参照鏡５を移動させる以外
に、その光路内に屈折率の異なる物質を挿入することで
も等価的に変化させることができることに着目して成さ
れたものである。すなわち、ビームスプリッタ２と参照
鏡５との間の光路に、均一な厚さと屈折率を有する光透
過体、例えばガラスまたはガラスに準ずる材料から成る
平板Ｐを挿入している。この平板Ｐは回転微動台１０に
保持してあり、平板Ｐと光路との成す角度は、回転微動
台１０によって任意の角度に微調整するすることができ
る。なお、この平板Ｐの光路への挿入は、図１からも分
かるように、基準光路長の変化にのみ寄与し、光軸のズ
レなどの悪影響は生じない。
５との間の基準光路長は、参照鏡５を移動させる以外
に、その光路内に屈折率の異なる物質を挿入することで
も等価的に変化させることができることに着目して成さ
れたものである。すなわち、ビームスプリッタ２と参照
鏡５との間の光路に、均一な厚さと屈折率を有する光透
過体、例えばガラスまたはガラスに準ずる材料から成る
平板Ｐを挿入している。この平板Ｐは回転微動台１０に
保持してあり、平板Ｐと光路との成す角度は、回転微動
台１０によって任意の角度に微調整するすることができ
る。なお、この平板Ｐの光路への挿入は、図１からも分
かるように、基準光路長の変化にのみ寄与し、光軸のズ
レなどの悪影響は生じない。
【００１９】ここで、平板Ｐの空気に対する屈折率を
Ｎ、厚さをｔとする。光の入射角（回転微動台１０の回
転角度）がθとなるように回転微動台１０を調整する
と、この平板Ｐを挿入したことによる実質的な基準光路
長変化量δは近似的に、次式（４）で表される。
Ｎ、厚さをｔとする。光の入射角（回転微動台１０の回
転角度）がθとなるように回転微動台１０を調整する
と、この平板Ｐを挿入したことによる実質的な基準光路
長変化量δは近似的に、次式（４）で表される。
【数４】
【００２０】Ｎを１．５、ｔを２ｍｍとすると、上記式
（４）から光の入射角θを０度から０．１度に変化させ
たときの基準光路長変化量δは、約２ｎｍとなる。一般
に分解能１／１０度程度の回転微動台は容易に得ること
ができる。一方、上記したように、光源１にＨｅ−Ｎｅ
レーザを用いた場合、検出電圧Ｖｏを望ましい波形Ｖ
ｏ’にシフトさせるには、基準光路長を１００ｎｍ程度
増減することが要求されるが、回転微動台１０を用いる
上記手段では、θを０度から０．１度に変化させたとき
の基準光路長変化量δは約２ｎｍであるので、基準光路
長Ｌ１を波長λの数十分の１レベルで変化させることが
できる。
（４）から光の入射角θを０度から０．１度に変化させ
たときの基準光路長変化量δは、約２ｎｍとなる。一般
に分解能１／１０度程度の回転微動台は容易に得ること
ができる。一方、上記したように、光源１にＨｅ−Ｎｅ
レーザを用いた場合、検出電圧Ｖｏを望ましい波形Ｖ
ｏ’にシフトさせるには、基準光路長を１００ｎｍ程度
増減することが要求されるが、回転微動台１０を用いる
上記手段では、θを０度から０．１度に変化させたとき
の基準光路長変化量δは約２ｎｍであるので、基準光路
長Ｌ１を波長λの数十分の１レベルで変化させることが
できる。
【００２１】このため、この発明の構成によれば十分な
分解能で波形Ｖｏをシフトさせることができ、しきい電
圧Ｖｔｈ付近におけるノイズの影響を除去することがで
きる。したがって、光学系の測定精度を向上させること
ができ、振動ピックアップ１０１の校正を高精度で確実
なものとすることができる。
分解能で波形Ｖｏをシフトさせることができ、しきい電
圧Ｖｔｈ付近におけるノイズの影響を除去することがで
きる。したがって、光学系の測定精度を向上させること
ができ、振動ピックアップ１０１の校正を高精度で確実
なものとすることができる。
【００２２】また、基準光路長Ｌ１の増減を、容易に得
ることができる回転微動台１０を用いて行うので、安価
に振動センサ校正装置の精度向上を実現することができ
る。
ることができる回転微動台１０を用いて行うので、安価
に振動センサ校正装置の精度向上を実現することができ
る。
【００２３】図６は本発明の振動センサ校正装置の構成
例を示す図である。平板Ｐを保持する回転微動台１０を
適当に回転し、検出電圧Ｖｏのシフトにより計数カウン
タ９の表示値が安定するまで、回転角度θを調整するこ
とで、ノイズの影響のない加速度測定が可能となる。
例を示す図である。平板Ｐを保持する回転微動台１０を
適当に回転し、検出電圧Ｖｏのシフトにより計数カウン
タ９の表示値が安定するまで、回転角度θを調整するこ
とで、ノイズの影響のない加速度測定が可能となる。
【００２４】もしくは、オシロスコープ１１により検出
電圧Ｖｏの波形を観察し、適当な波形にシフトするま
で、回転微動台１０の回転角度θを調整するようにして
もよい。
電圧Ｖｏの波形を観察し、適当な波形にシフトするま
で、回転微動台１０の回転角度θを調整するようにして
もよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の振動セ
ンサ校正装置によれば、マイケルソン型光波干渉計での
ビームスプリッタと参照鏡との間の光路内に光透過体を
配置し、その光透過体と光路との成す角度の微少調整に
より、パルス信号をシフトアップし、そのシフトアップ
したパルス信号をカウントするようにしたので、基準光
路長を波長に比べ十分精密に変化させることができ、こ
のため、十分な分解能でパルス信号をシフトアップで
き、このシフトアップにより、ノイズの影響を確実に除
去させることができる。したがって、マイケルソン型光
波干渉計での測定精度を向上させることができ、振動セ
ンサの校正を高精度で確実なものとすることができる。
ンサ校正装置によれば、マイケルソン型光波干渉計での
ビームスプリッタと参照鏡との間の光路内に光透過体を
配置し、その光透過体と光路との成す角度の微少調整に
より、パルス信号をシフトアップし、そのシフトアップ
したパルス信号をカウントするようにしたので、基準光
路長を波長に比べ十分精密に変化させることができ、こ
のため、十分な分解能でパルス信号をシフトアップで
き、このシフトアップにより、ノイズの影響を確実に除
去させることができる。したがって、マイケルソン型光
波干渉計での測定精度を向上させることができ、振動セ
ンサの校正を高精度で確実なものとすることができる。
【００２６】また、光透過体と光路との成す角度の調整
は、例えば回転微動台を用いることで容易に行うことが
できるので、安価に振動センサ校正装置の精度向上を実
現することができる。
は、例えば回転微動台を用いることで容易に行うことが
できるので、安価に振動センサ校正装置の精度向上を実
現することができる。
【図１】本発明の振動センサ校正装置における光学系を
原理的に示す図である。
原理的に示す図である。
【図２】本発明の振動センサ校正装置の構成例を示す図
である。
である。
【図３】従来の振動センサ校正装置における光学系を原
理的に示す図である。
理的に示す図である。
【図４】従来の振動センサ校正装置の装置例を示す図で
ある。
ある。
【図５】干渉光の光検出器による検出電圧Ｖｏとしきい
電圧Ｖｔｈを示す図である。
電圧Ｖｔｈを示す図である。
【図６】検出電圧Ｖｏカウント時のノイズによる影響の
説明とそれを改善した場合の波形の例を示す図である。
説明とそれを改善した場合の波形の例を示す図である。
１ 光源 ２ ビームスプリッタ ３ 加振器 ４ 対物鏡 ５ 参照鏡 ６ 光検出器 ７ 正弦発振器 ９ 計数カウンタ １０ 回転微動台 １１ オシロスコープ Ｐ 平板 δ 基準光路長変化量 θ 光入射角（回転微動台の回転角度） Ｖｏ 干渉光の検出電圧 Ｖｏ’シフト電圧
Claims (2)
- 【請求項１】 周期的な振動振幅を振動センサを用い
て測定するとともに、マイケルソン型光波干渉計を用い
て計数法で測定し、その計数法による測定情報を参照情
報として振動センサ測定情報を校正するようにした振動
センサ装置において、 上記マイケルソン型光波干渉計での干渉縞を電気的なパ
ルス信号に変換するとともに、そのマイケルソン型光波
干渉計でのビームスプリッタと参照鏡との間の光路内に
均一な厚さと屈折率を有する透過体を配置し、その光透
過体と光路との成す角度の微少調整により、基準光路長
を変更して上記パルス信号をシフトアップすることによ
り上記パルス信号のノイズの影響を除去し、そのシフト
アップしたパルス信号のカウント数から振幅を求め上記
参照情報とした、 ことを特徴とする振動センサ校正装置。 - 【請求項２】 上記光透過体を任意の角度に設定可能
な回転微動台に保持することで、上記透過体と光路との
成す角度の微少調整を行うようにした、 ことを特徴とする請求項１に記載の振動センサ校正装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9189358A JP3023771B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 振動センサ校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9189358A JP3023771B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 振動センサ校正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137807A JPH1137807A (ja) | 1999-02-12 |
| JP3023771B2 true JP3023771B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=16239997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9189358A Expired - Lifetime JP3023771B2 (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 振動センサ校正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3023771B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5421577B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2014-02-19 | アズビル株式会社 | 物理量センサおよび物理量計測方法 |
| EP2634594A1 (de) * | 2012-03-01 | 2013-09-04 | Leica Geosystems AG | Verfahren zum Bestimmen einer Entfernungsänderung mittels Interferometrie |
| CN104764477B (zh) * | 2014-01-08 | 2018-01-12 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 具有在线校正功能的光学检测装置 |
| CN110793489A (zh) * | 2019-10-18 | 2020-02-14 | 国营芜湖机械厂 | 一种角位置传感器检测装置 |
-
1997
- 1997-07-15 JP JP9189358A patent/JP3023771B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1137807A (ja) | 1999-02-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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